TW440708B - Method and device to optically analyze the structurized surface of objects - Google Patents

Description

44 07 0 8 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（/ ) 本發明是一種以光學方式檢驗已結構化之物體表面所用 的方法，尤其是用於晶圓及/或遮罩中。本方法使用：一 種觀測用之光束通道，其中心軸垂直地指向物體之表面： —種照明用之光束，其中心光束垂直地入射於物體之表面 :另一照明用之光束，其中心光束斜向地入射於物體之表 面，而在觀測用之光束通道中可觀測及/或偵測物體表面 的影像。上述方法是依據申請專利範圍第1項之前言。本 發明亦涉及實現這方法所用的設備，其是依據申請專利範 圍第6項之前言。 在光學檢測技術中，平坦機板上之複雜的結構是以像場 (image field )之方式來檢測。這種方式尤其是運用於 半導體工業中，以便以光學方式對晶圓與遮罩之已結構化 之表面進行檢測。由此可以將可能出現的缺陷偵測出而加 以分類及/或將最小的結構寬度（cri t ical diroens [ons )進行檢查且加以測量。存在於已結構化之表面上的缺陷 可由如塵埃粒子、光阻中小的空氣雜質、晶圓上的光阻殘 渣，邊緣上的破損等所造成。 這種檢測可以經由例如光學設備和照明來達成，其中照 明用之光束之中心光束垂直地照射至物體之表面。這類型 的檢測裝置例如以製作在顯微鏡中’其具有一種科樂氏（ K6hier )明視場照明裝置。然而目前已證實當明視場照明 法應用於帶缺陷的邊緣 '點狀的缺陷、角落上的缺陷以及 隆起或凹陸結構所形成的邊界等之偵測時通常是不夠的。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 440708 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（2 ) 因此，吾人可忽略此種偵測而以照钥用之光束進行另一種 檢測，此種光束之中心光束斜向地入射至物體之表面。這 一類型的照明法舉例而言是製作在一種設有暗視場照明裝 匱的顯微鏡中。這種照明方式特別適用於偵測上述有缺陷 之結構，但在此種暗視場照明中各表面是不可見的。邊緣 與結構可以對比淸晰地顯現成暗色背景上的明亮線條，而 線條的不規則性則指出有缺陷的邊緣或結構。 在德國專利案號DE-0S 20 21 784和DE 23 3 1 750 C3 中已知有爲顯微鏡而設計的照明裝置，其中可選擇性地由 明視場照明轉換成暗視場照明在這兩種照明裝置中，在照 明用之光束通道中主要設置了有光源、可調節的光圈，環 形光圈，其帶有可轉入及轉出之中間遮板、和物鏡，且其 設置一種圍繞此物鏡之環狀鏡面。環狀光圈是透明的而中 間遮板是不透明的。當中間遮板轉入時，就可以由明視場 照明切換至暗視場照明。現在照明光線不再經由物鏡而轉 換到只經由環狀鏡面而折向物體。照明用之光束的中心光 束不再是垂直地，而是斜向地入射於物體表面《這兩種顯 微鏡不論在暗視場及明視場照明下都設置一種共用之觀酒1 用之光束通道。在前述兩案號的說明書中卻並未提及同時 運用明視場與暗視場照明的設計。 在歐洲專利案號EP 0 183 946 B1中描述了一種組合式 明視場與暗視場照明裝置，其具有二個光源，其中運用了 機械式的快門使明視場照明切換至暗視場照明，而每個光 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --7-------Ί— — ' --衣-------1 ^-------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 440708 A7 ____B7五、發明說明（3 ) 原有其個別的快門。此外此裝置之設計方式是可同時使用 此兩種型式之照明《於是兩個快門被開啓。然而在其說明 書卻完全沒有說明：這種混合方式有何特別的優點。明視 場及/或暗視場照明用之光束通道之編碼及稍後之解碼亦 不會發生。 在德國專利案號DE 37 14 830 A1中已知有一種爲顯微 鏡設計的一種組合式明視場與暗視場入射式照明裝置，其 中以一可組裝的中間遮板使明視場照明切換至暗視場照明 。此外，在暗視場光束通道中設計了 一種由數個相鄰配置 的透鏡環形面所組成的環形光學組件。而這些透鏡環形面 可具有不同的光譜穿透性。但這個照明裝置並沒有同時設 置明視場與暗視場照明，並且也沒有說明這種彩色的照明 有何特別的好處。 運用一種具有組合式明視場與暗視場照明之顯微鏡以達 成物體之已結構化之表面的光學檢測所用之最佳的檢測方 法是能依順序地應用這兩種照明方法$由此所造成之照明 條件的人工切換不只使得一物體的接收時間或檢測時間加 倍，還須在顯微鏡上對中間遮板進行額外的人工操作。本 發明之目的因此是發展一種方法和設備以便於以光學方式 來檢測物體之已結構化之表面，其中利用明視場照明光東 與暗視場照明光束使測量時間與檢測時間最小化。 依據本發明，在本方法中由以下幾點達成了上述目的： 兩種照明用之光束至少有一種設置了標記：而此兩種照明 {請先閱謓背面之注意事項再填寫本頁> 本紙張又度適用中囤固家標準（CNS)A4規格（2】0 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印裳 44 07 0 8 a? B7 五、發明說明（户） 用之光束須同時照射到物體表面；並且由此兩種不同之照 明光束所生成之影像在觀測用之光束通道中是彼此分離的 :且須進行觀察及/或評估。 依據本發明，在本設備中由以下幾點達成了上述目的： 光學裝置中設置了一種在觀測用之光束通道中所安置的濾 色元件及/或偵測裝匱和照明裝匱，以便同時產生明視場 和暗視場照明：對此種明視場及/或暗視場照明用之光束 配置了一種元件以便標記此種照明用之光東。 本發明中其他有利的構成方式敘述在申請專利範困各附 屬項中。 藉助本發明可以使物體同時被明視場和暗視場照明用之 光束所照射。這兩種光束中至少有一種是經由彩色，極化 或調制而被編碼。從物體所反射的照明用之光束在共同的 觀測用之光束通道中經由相對應的濾色元件及/或相對應 的偵測裝置而分離出來。例如暗視場中之樣本能在一平坦 之入射角下例如以紅色光來照射，同時又在物鏡的孔鏡錐 體內以其餘之可見的藍/綠光譜來照明。因爲光線在共同 的觀測用之光東通道中再次被混合成彩色，因此在觀測用 之光束通道內須依據彩色來進行分離•這例如可藉由雙色 相的分離與隨後成像於個別的黑白CCD照相照相機中來達 成。 在觀測用之光束通道中當然也可以直接設置一個RGB-CCD照相機。如此這兩個光束通道即可藉由RGB頻道的以個 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公楚） —；-------------4--------訂-------—線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 五、發明說明（5 ) 人電腦爲主之處理過程而分離。 在本發明的其他構成中之設計方式是··照明裝置具有一 個共用之光源或至少具有兩個彼此分開的光源以便同時產 生明視場和暗視場照明》 本發明的簡易實施形式之設計方式是：在明視場中是以 一般的白色光來照射物體之表面•而以一單獨置於物體側 邊的紅色光源來作爲暗視場的斜向所產生之照明光束。其 後兩個影像的分離在觀測用之光束通道中是藉由濾色元件 及/或偵測裝置來達成。 標示上述照明光束所用的裝置例如可具有濾色器、極化 濾色器 '調變濾色器或是雙色分光器。但也可使用彩色光 源或使用具有單色發射特性的光源。所屬的濾色元件則可 例如設置濾色器、極化濾色器、解調濾色器或雙色分光器 0 偵測裝置也可僅由一形成例如黑白照相機或彩色照相機 的CCD組件所構成。在運用RGB照相機且以彩色來標示照 明光線的情況下，在分離明視場與暗視場影像時，可省略 其他之濾色元件，因爲R, G, B頻道可以分別被讀取。 偵測裝置於本發明之其他構造中以電性/電子方式與一 計算機裝置相連接。這計算機裝置具有多個平行工的計算 機以同時獲取及/或評估一些影像'藉由這些平行工作的 計算機可同時進行不同階段的影像讀取，影像分析或檢查 ，誤差分析，誤差分類以及測量（結構寬度測量）。經由 本纸張尺度適用1國國家標準（CNS)A4規格（2〗0 X 297公釐） -----：-----.--— '^.—--—---訂 — — — II 丨— I· ί <請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 iU〇7 0 8 A7 B7 五、發明說明（么） 平行的處理而縮短了個別物體相對應的檢測時間。 在本發明另一構成方式中*這光學設置可已是顯微鏡。 在這顯微鏡中有利地設置了一種科樂氏（iOihler )照明配 置。這種照明配置可以入射式及/或透射式照明裝置來構 成。 在本發明另一構成方式中可以設置多個不同之已編碼的 暗視場光束通道也可以從各不相同的角度照射至物體。 本發明以下依據實施例藉助於槪要圖示來作更進一步的 詳述。圖示簡要說明： 第1圖：在入射光中一顯微鏡之同時具有明視場與暗視 場的照明裝置和所屬的觀測用之光束通道。 第2圖：具有2個光源之照明裝置和其所屬之照明光束 用的標示裝置。 第3圖：具有2個CCD組件的偵測裝置和串聯的濾色元件 0 第4圖：濾色元件的彩色濾色器。 第5圖：在入射光中一顯微鏡之同時具有明視場與暗視 場的照明裝置和暗視場用之安置於外部的光源° 第6圖：一種組合式的孔徑光圈。 第1圖所表示的是在入射光中一顯微鏡1的照明裝置’ 其具有照明用之光束通道4和觀測用之光束通道6 °在照 明用之光束通道4中描繪了（由光源7及配置於其後之聚 光鏡8開始）一種明視場照明用之光束2和一種暗視場照 本紙張疋度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） „ -----.---我--------tT-·----I--- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 44 07 0 8 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ______B7五、發明說明（7 ) 明用之光束3 »二種光束2、3被引導經過一種照明透鏡9 ’一種具有可調節之孔徑光圈之孔徑光圈平面AP,—種具 有可調節之場光圈之照明場光圈平面LF和一種聚光透鏡 10。在此兩種光束抵達標示裝置11之前，暗視場照明光束 3經由一暗視場環狀透鏡47而被引導。 這種標示裝置11是以下述方式構成：這兩種光束2，3 各別獲得不同的標示。標示裝置11因此可配置一種濾色器 或一種極化濾色器或一種調變濾色器又或是一種雙色分光 器。 若不用此種標示裝置，則若孔徑光圈例如視由彩色玻璃 及/或薄層濾色器所製成時，亦可在孔徑光圈平面AP之位 置上對暗視場及/或明視場照明光束進行標示。 在照明用之光束通道4接下來的位置上設置了一種分光 鏡12，這分光鏡12具有：全反射外環20，用以偏轉暗視 場光束3 ;和一在內部之半透光的圓形區域21，用以偏轉 明視場光束2以及傳輸上述觀測用之光束5。 已偏轉的明視場照明光束2經由暗視場物鏡13的物鏡透 鏡系統14而被引導，且因此照射到物體16的表面。此明 視場光東2的中心光束是垂直地入射於物體16的表面。明 視場光束2之中心光束40的軸與觀測用之光束5之中心光 束42的軸是相對準的》 被分光鏡12所偏轉的暗視場光束3會由旁經過暗視場物 鏡13的物鏡透鏡系統14而到達設置於物境外殼內的瑗形 -9- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --Γ---1-------- ;衣--------訂---------線！ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消贄合作社印製 ，在 4 0 7 Q 8 at Β7 五、發明說明（g ) _ 15。由此使暗視場光束3偏轉到物體16上。此處暗視場 光束3的中心光束41是斜向地入射於物體16之表面。因爲 這暗視場光束3的橫切面是以環狀形式構成’所以這裡所 有的中心光東41都由這環形而斜向地入射於物體16之表 面。 從物體16發出的觀測用之光束5在觀測用之光束通道6 中經由物鏡透鏡系統14，分光鏡12和管形透鏡17而被引 導且到達一濾色元件38及/或偵測裝置1 8。這個偵測裝 置18在此處的實施例中是由CCD彩色相機所構成》這偵測 裝置18在電性上是與計算機裝置25相連接。 這兩種照明光束2，3在照明用之光束通道4中經由標示 裝置11而被引導，這個標示裝置11可例如由一組合式的 濾色器（其具有明視場光束2所用之藍色圓形區）及一圍 繞此藍色圓形區之紅色環所構成，而紅色環是用於暗視場 照明光束3中（參閱第4圖）。這兩種光束於此設置不同 的標示，且以適當之編碼方式同時入射至物體16。此兩種 彩色之光束在共同的觀測用之光束5中混合。這兩個影像 經由偵測裝置18 (其含彩色照相機19 )和計算機裝置25 而以電子方式分離開來。在這個特別的實施例中不需濾色 元件38。 經由對藍色色彩成份的讀取而產生此物體16的明視場 影像，而經由對紅色色彩成份之讀取而產生此物體16的暗 視場影像。然後以計算機裝置25對這兩個影像同時進行處 -10- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公楚） — 4 — — ·_·ι·ιΊ— — '^· — — II· — — — —— — — —— I — 線！ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 440708 五、發明說明（7) 理以便進行誤差分析，誤差分類和結構測量。 顯然地這標示裝置並不限於一種組合式之紅，藍色濾色 器。若形式爲濾色元件及/或偵測裝置之相對應的解碼裝 置可供使用’則每一種形式之標示都可用在照明用之光束 中 。 第1圖所示的標示裝置並不限定於設置在照明用之光束 通道4內部中一特定位置上=標示裝置11也可以被設置於 孔徑光圈AP的區域內，界面S1的區域內或者也可以雙色 層的方式而設置在半透光之鏡面12上，或設置在暗視場物 鏡13的環形鏡15上。 本發明亦不受限於唯一之光源7。例如在界面S1上可以 設置一種具有兩個或多個光源的照明裝置。 在第2圖顯示了一種具有兩個光源26和27的照明裝置= 光源26中設置一個光圈29以便產生暗視場光束3,其中照 明用之光束由另一分光鏡30而入射至照明用之光束通道4 中。光源27爲產生明視場光束3而設置了一種光圈29，其 具有不透光之中間遮板37，其中照明光東經由另一分光鏡 30的中央部位而進入照明用之光束通道4中。 標示裝置11也可以是這兩個光圈28和29的組成部份， 且因此也可以取代一個或兩個光圈。此外，也可以另外設 置一個分光鏡30以作爲標示裝置，且例如將雙色層應用在 這分光鏡上》 第3圖描繪了 一種濾色元件38及至於其後之偵測裝置18 -11 - 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 * 297公爱） — Jill.— I I I Μ I I I * — — — — — — — — — — — I » {請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁> 經濟部智慧財產局員工消貲合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -ΑΔΟ^Οδ 五、發明說明（β) 所構成之實施例，其具有二個黑白照相機32和33 ，以及 另一個分光鏡31，此分光鏡31在此可以是雙色鏡面。經 由共同的界面S2，此偵測裝置可與濾色元件整合在第1圖 之觀測用之光束通道中。這兩個黑白照相機32，33分別 與計算機裝置2 5相連接。而濾鏡元件3 8則對應於標示裝 置11而配置以一種彩色濾色器，一種極化濾色器，一種解 調濾色器或雙色分光器。 在本發明中下述情況不需要：兩種照明用之光束通道都 經由標示裝置例如以紅色與藍色光來加以編碼。在許多應 用中例如只要暗視場光束設置一種標示而明視場光東另外 含有白色光即已足夠。 然而亦可存在某些應用，其中唯一之標示對於暗視場或 明視場光束而言並不足夠。在這樣的情況下，可以將各別 的暗視場及/或明視場照明光束例如既設匱彩色標示且亦 設置一種極化標示。但亦可使暗視場及/或明視場照明光 束藉截波器（chopper)或類似物而形成一種頻率調變。 第4圖表示一種具有組合式彩色濾色器34之標示裝置的 實施例。此種組合式彩色濾色器34對明視場光束而言設有 一種位於內部之藍色圓形區域35，且對暗視場光束而言設 有一種位於外部之紅色環形區域36。但這濾色器34也可 具有由調變器及/或彩色濾色器及/或極化濾色器所構成 之其他組合。 第5圖描繪一依據第1圖而來之顯微鏡的照明裝匱。此 -12- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --^---.-----------------訂·--—------- (諳先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) V 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 44 07 08 A7 _B7 _ 五、發明說明（// ) 種整合在顯微鏡1中且具有光源7的照明裝置構成了一般 的明視場照明裝置。相對於第1圖的實施例而言，此處也 設置了一種明視場物鏡22。在這實施例中的明視場光束其 走向是類似於第1圖中所描繪之明視場光束。暗視場光束3 於此是由兩個設置於未繪出的顯微鏡基座上的外部光源 23和24所產生。標示裝置11配屬於此二個光源23，24 〇 觀測用之光束通道6類似於業已描述之光束通道而以濾 色器38及/或偵測裝置1 8所構成，其後設置了計算機裝 置25。暗視場光束用的光源因此就不須整合於光學設置中 。如果只設置爲--個爲暗視場照明光束3所用的配置於 外部之光源23或24，則亦足以進行本發明的方法。 第6圇表示一種組合式的孔徑光圈43，其具有一種明視 場照明用的圓形通道44和一種暗視場照明用的環形通道 45。設置幾個橫檔46以便在兩個通道44，45之間固定此 種以不透明方式構成之組件。此二個通道44，45可具有 玻璃濂色器或塑膠至的濾色器。這種組合式孔徑光圈可以 被設置於平面AP中（第1和5圖）。 元件符號說明 AP 孔徑光圈平面 LF 照明場光圈平面 51 第1介面 52 第2介面 -1 3 - __ _ ___ 一—— 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先朋讀背面之注意事項再填寫本頁) 440708 A7 B7 五、發明說明（A ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1 顯微鏡 2 明視場照明光束 3 暗視場照明光束 4 照明用之光束通道 5 觀測用之光東 6 觀測用之光束通道 7 光源 8 聚光鏡 9 照明透鏡 10 聚光透鏡 11 標示裝置 12 分光鏡 13 暗視場物鏡 14 物鏡透鏡系統 15 環形鏡 16 物體 17 管形透鏡 18 偵測裝置 19 彩色相機 20 全反射外環 2 1 部份透光圓形區域 22 明視場物鏡 23 第1外部光源 24 第2外部光源 14- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 B7五、發明說明（/3 ) 25 計算機裝置 26 光束2用之光源 27 光束3用之光源 28 光源27用之光圈 29 光源26用之光圈 30 另一分光鏡 3 1 其他的分光鏡 32 第1具黑白相機 3 3 第2具黑白相機 34 彩色濾色器 35 光束2用之彩色濾色器34的藍色圓形區域 36 光束3用之彩色濾色器34的紅色環形區域 37 光圈28的不透光之中間遮板 38 濾色元件 39 照明裝置 40 明視場照明光束之中心光東 4 1 暗視場照明光束之中心光束 42 觀測用之光束通道之中心軸 4 3 組合式孔徑光圈 44 明視場照明用之通道 45 暗視場照明用之通道 46 橫檔 47 暗視場環狀透鏡 -1 5 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格<2】0 X 297公釐）

Claims (1)

1. 修正 / n (pi AS BS cs DS 六、申請專利範圍 第891 007 99號「以光學方式檢驗物體已結構化之表面所用 之方法與設備」專利案 （89年11月修正） 六申請專利範圍： 1. 一種以光學方式檢驗物體已結構化之表面所用之方法， 尤其是用於晶圓及/或遮罩中，本方法使用：一種觀測 用之光束通道，其中心軸垂直地指向物體之表面；一 種照明用之光束，其中心光束垂直地入射於物體之表 面；另一照明用之光束，其中心光束斜向地入射於物 體之表面，而在觀測用之光束通道可觀測及/或偵測物 體表面的影像，其特徵爲：此二種照明用之光束至少 有一種光束被設置一種標示，此兩種不同的照明用之 光束同時入射於物體之表面，由此兩種不同的照明用 之光束所產生的影像在觀測用之光束通道中彼此分離 而得以進行觀測及/或評估。 _2·如申請專利範圍第1項之以光學方式檢驗物體已結構化 之表面所用之方法，其中影像能同時被搜取並且同時 被評估。 3. 如申請專利範圍第1或第2項之以光學方式檢驗物體已 結構化之表面所用之方法，其中照明用之光束的標示 是藉由調頻或調幅或極化或光譜的選擇而達成。 4. 如申請專利範圍第】或第2項之以光學方式檢驗物體已 結構化之表面所用之方法，其中照明用之光束是以入 射及/或透射的方式指向物體。 本紙張尺度適用中國國家標牵（CNS ) A4规格（210X297公釐，) 諸先玷讀背面之注意事項再填寫本頁} 經濟部4a慧財是局a;工消費合作Ti印製 i 装----^---訂------λ---- Ji I.--- AS B8 C8 心 〇7〇8 六、申請專利範圍 n I I— i JE ί —ι> it 1— -. I 1 I— - I 1^1 It . ^Ψ (請先阽讀背而之注意事項再填寫本頁) 5. 如申請專利範圍第3項之以光學方式檢驗物體已結構化 之表面所用之方法，其中照明用之光束是以入射及/或 透射的方式指向物體。 6. 如申請專利範圍第2項之以光學方式檢驗物體已結構化 之表面所用之方法，其中同時攫取的影像經由編以標 示的濾波過程被分離。 7. —種以光學方式檢驗物體已結構化之表面所用之方法進 行時所用之設備，尤其是用於晶圓及/或遮罩中，此種 設備使用：一種觀測用之光束通道，其中心軸垂直地 指向物體之表面；一種照明用之光束，其中心光束垂 直地入射於物體之表面；另一照明用之光束，其中心 光束斜向地入射於物體之表面，而在觀測用之光束通 道可觀測及/或偵測物體表面的影像，其特徵爲：設有 —種光學裝置，其具有：一個配置在觀測用之光束通 道（6)中的濾色元件（38)及/或偵測裝置（18〕和 —個照明裝置（3 9 )，以便同時產生明視場照明和暗視 場照明，而此明視場照明光束（2)及/或暗視場照明 光束（3)都配置有一種裝置以便標示這些照明光束（2、 經濟部智葸財走局負工消費合作社印製 3 ) ° &如申請專利範圍第7項之設備，其中照明裝置（39 )具 有一用以同時產生明視場照明和暗視場照明之共用光 源（7 )。 9_如申請專利範圍第7項之設備，其中照明裝置（39)具 本紙張尺度適用中國國家榡準（CNS ) A4規格（210X297公.發） AS B8 C8 D8 07 0 8 六、甲請專利範圍 有至少兩個彼此分離之用以同時產生明視場照明和暗 視場照明的光源（7、23、24 ; 26、27 )。 10. 如申請專利範圍第9項之設備’其中光源（23 ; 24 ; 27 ) 中的一個是以環狀光源構成。 11. 如申請專利範圍第9項或第1 〇項之設備，其中光源（23 ; 24: 27)中至少有一個設有一種光傳輸用之光纖維束。 12·如申請專利範圍第7項至第10項中任一項之設備，其 中使照明光束（2、3)加上標示（11)所用的裝置具 有一種彩色濾色器（34)或極化濾色器或調變濾色器 或雙色分光器。 也如申請專利範圍第11項之設備，其中使照明光束（2、 3)加上標示（Π)所用的裝置具有一種彩色濾色器（34) 或極化濾色器或調變濾色器或雙色分光器。 M.如申請專利範圍第8項至第10項中任一項之設備，其 中光源（7 ; 23 ; 24 ; 26 ; 27 )至少有一個具有彩色的 發射特性。 15. 如申請專利範圍第1 1項之設備，其中光源（7 ; 23 : 24 ; 2 6 ; 2 7 )至少有一個具有彩色的發射特性。 16. 如申請專利範圍第7項之設備，其中濾色元件（38 )具 有至少一種彩色濾色器或極化濾色器或解調濾色器或 雙色分光器。 17. 如申請專利範圍第7項之設備，其中偵測裝置（1 8 )在 電性上與至少一個計算機裝置（25)相連接。 本紙張尺度適用中國國家栳準（CNS ) Λ4規格（210X 公释） — L^---：----------裝------.訂------t. (請先閱雄背面之注意事項再填寫本莨) 經濟部智慧5:4.局0;工消費合作社印製 44 07 0 8 m a D8 經濟部智慧財4-局工消費合作社印製 六、申請專利範圍 迟如申請專利範圔第17項之設備，其中兩以同時搜取及 /或評估影像的計算機裝置具有多個平行操作的計算 稷。 m如申請專利範圍第7項之設備，其中偵測裝置具有至少 一個C C D組件。 20. 如申請專利範圍第17項之設備’其中偵測裝匱具有至 少一個CCD組件。 21. 如申請專利範圍第1 9項之設備，其中C C D組件是以黑 白照相機（32、33)或彩色照相機09)構成。 2Z如申請專利範圍第7項之設備，其中光學裝置是以顯微 鏡構成 23.如申請專利範圍第22項之設備，其中照明裝置具有一 種科樂氏（K6hler)照明配置。 24如申請專利範圍第22項之設備，其中在顯微鏡（1)處 設置一種入射式照明裝置及/或一種透射式照明裝置。 25如申請專利範圍第23項之設備，其中在顯微鏡（1)處 設置一種入射式照明裝置及/或一種透射式照明裝置。 26如申請專利範圍第22項之設備，其中爲了產生暗視場 照明光束（3)至少須設置一種由外部配置於顯微鏡（1) 處之光源（23 ; 24 )。 27.如申請專利範圍第2_3項之設備，其中爲了產生暗視場 照明光束（3)至少須設置一種由外部配置於顯微鏡（1) 處之光源（23 : 24 )。 本紙張纽適财11麟料(CNS ) A4規格（21()x2g7公锋 请先間讀背面之注意事項再填寫本頁) -丨上衣 訂 AK- 4407Q3 ABCD 六、申請專利範m 2a如申請專利範圍第24項之設備，其中爲了產生暗視場 照明光束（3)至少須設置一種由外部配置於顯微鏡C 1) 處之光源（23; 24)。 2a如申請專利範圍第16項之設備，其中解調濾色器構成 一種對物體（16)進行頻率選擇性成像所用的裝置。 30, 如申請專利範圍第6項之設備，其中照明裝置（39 )具 有多個暗鲺場照明用之光束通道。 31. 如申請專利範圍第3〇項之設備，其中須對不同的暗視 場照明用之光束通道進行配置’使光束所屬的中心光 束（41)以不同的入射角入設置物體（16)。 i J---«I—---A-----—訂------朿 (請先閱讀背西之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧3： 4工涓費合作社印製