EP0254111B1 - UV-Strahler - Google Patents

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EP0254111B1
EP0254111B1 EP87109674A EP87109674A EP0254111B1 EP 0254111 B1 EP0254111 B1 EP 0254111B1 EP 87109674 A EP87109674 A EP 87109674A EP 87109674 A EP87109674 A EP 87109674A EP 0254111 B1 EP0254111 B1 EP 0254111B1
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dielectric
radiator according
tube
discharge space
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EP87109674A
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English (en)
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Baldur Dr. Eliasson
Peter Dr. Erni
Michael. Dr Hirth
Ulrich Dr. Kogelschatz
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Heraeus Noblelight GmbH
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BBC Brown Boveri AG Switzerland
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J61/00Gas-discharge or vapour-discharge lamps
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J65/00Lamps without any electrode inside the vessel; Lamps with at least one main electrode outside the vessel

Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf einen UV-Strahler mit einem mit Füllgas gefüllten, von Wänden begrenzten Entladungsraum wobei mindestens eine Wand von einem Dielektrikum gebildet wird, mit einer ersten und einer zweiten metallischen Elektrode, wobei die erste Elektrode auf der dem Entladungsraum abgewandten Oberfläche des Dielektrikums angeordnet ist, und einer an die beiden Elektroden angeschlossenen Wechselstromquelle zur Speisung der Entladung, sowie Mitteln zur Leitung der durch stille elektrische Entladungen erzeugten Strahlung in einen Aussenraum.
  • Die Erfindung nimmt dabei Bezug auf einen Stand der Technik, wie er sich beispielsweise aus der Veröffentlichung "Vacuum-ultraviolet lamps with a barrier discharge in inert gases" Von G.A. Volkova. N.N. Kirillova, E.N. Pavlovskaya and A.V. Yakovleva in der SU-Zeitschrift Zhurnal Prikladnoi Spektroskopii 41 -(1984) No. 4, 691-695. veröffentlicht in einer englischsprachigen Uebersetzung der Plenum Publishing Corporation 1985. Dok. Nr. 0021-9037/84/4104-1194 $ 08.50. S. 1194 ff., ergibt.
  • Stand der Technik
  • Für Hochleistungsstrahler, insbesondere Hochleistungs-UV-Strahler, gibt es diverse Anwendungen wie z.B. Entkeimung, Aushärten von Lacken und Kunstharzen, Rauchgasreinigung, Zerstörung und Synthese spezieller chemischer Verbindungen. Im allgemeinen wird die Wellenlänge des Strahlers sehr genau auf den beabsichtigten Prozess abgestimmt sein müssen. Der bekannteste UV-Strahler ist vermutlich der Quecksilberstrahler, der UV-Strahlung der Wellenlänge 254 nm und 185 nm mit hohem Wirkungsgrad abstrahlt. In diesen Strahlern brennt eine Niederdruck-Glimmentladung in einem Edelgas-Quecksilberdampf-Gemisch.
  • In der eingangs genannten Veröffentlichung "Vakuum ultraviolet lamps ..." wird eine auf dem Prinzip der stillen elektrischen Entladung basierende UV-Strahlenquelle beschrieben. Dieser Strahler besteht aus einem Rohr aus dielektrischem Material mit Rechteckquerschnitt. Zwei gegenüberliegende Rohrwände sind mit flächenhaften Elektroden in Form von Metallfolien versehen, die an einen Impulsgenerator angeschlossen sind. Das Rohr ist an beiden Enden verschlossen und mit einem Edelgas (Argon. Krypton oder Xenon) gefüllt. Derartige Füllgase bilden beim Zünden einer elektrischen Entladung unter bestimmten Bedingungen sogenannte Excimere. Ein Excimer ist ein Molekül, das aus einem angeregten Atom und einem Atom im Grundzustand gebildet wird.

    z.B. Ar + Ar - Ar * 2
    Figure imgb0001

  • Es ist bekannt, dass die Umwandlung von Elektronenenergie in UV-Strahlung mit diesen Excimeren sehr effizient erfolgt. Bis zu 50 % der Elektronenenergie kann in UV-Strahlung umgewandelt werden, wobei die angeregten Komplexe nur einige Nanosekunden leben und beim Zerfall ihre Bindungsenergie in Form von UV-Strahlung abgehen. Wellenlängenbereiche:
    Figure imgb0002
  • Bei dem bekannten Strahler gelangt das erzeugte UV-Licht bei einer ersten Ausführung über ein stirnseitiges Fenster im dielektrischen Rohr in den Aussenraum. Bei einer zweiten Ausführungsform sind die Breitseiten des Rohres mit Metallfolien versehen, welche die Elektroden bilden. An den Schmalseiten ist das Rohr mit Ausnehmungen versehen, über welche spezielle Fenster geklebt sind, durch welche die Strahlung austreten kann.
  • Der mit dem bekannten Strahler erreichbare Wirkungsgrad liegt in der Grössenordnung von 1 %, also weit unter dem theoretischen Wert von um 50 %, weil sich das Füllgas unzulässig aufheizt. Eine weitere Unzulänglichkeit des bekannten Strahlers ist darin zu sehen, dass sein Lichtaustrittsfenster aus Stabilitätsgründen nur eine vergleichsweise kleine Fläche aufweist.
  • Aus der BE-A-739 064 ist eine UV-Niederdruck-Lampe für das nahe UV-Spektrum bekannt. Die Wandungen dieser Lampe bestehen aus einem UV-durchlässigem Dielektrikum, das auf beiden Seiten mit einer UV-durchlässigen elektrisch leitenden Schicht versehen ist. Diese Dreischicht-Anordnung dient als Kondensator zur Stabilisierung der Lampe. Die äussere der beiden Schichten ist gleichzeitig Elektrode und besteht aus Indium- oder Zinnoxid, also Materialien, welche bekanntlich nur für sichtbares Licht oder das nahe UV transparent sind.
  • Aus der Zusammenfassung des Dokuments JP-A-60-79662 ist ferner bekannt, der negativen Wirkung, die sich aus einer unzulässigen Aufheizung des Füllgases einer UV-Sterilisationslampe ergibt, dadurch entgegenzutreten, indem ein Kühleffekt auf den Entladungsraum ausgeübt wird.
  • Kurze Beschreibung der Erfindung
  • Ausgehend vom Bekannten liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, einen UV-Strahler zu schaffen, der einen hohen Wirkungsgrad aufweist, mit hohen elektrischen Leistungsdichten betrieben werden kann, die Erzeugung von UV-Strahlung in einem weiten Spektralbereich ermöglicht und den Bau grossflächiger Strahler mit praktisch beliebig grossen Lichtaustrittsflächen zulässt.
  • Die Lösung dieser Aufgabe erfolgt erfindungsgemäss durch die in den Patentansprüchen gekennzeichneten Merkmale.
  • Auf diese Weise ist ein Hochleistungsstrahler geschaffen, der mit grossen elektrischen Leistungsdichten und hohem Wirkungsgrad betrieben werden kann. Die Geometrie des Hochleistungsstrahlers ist in weiten Grenzen dem Prozess anpassbar, in welchem er eingesetzt wird. So sind neben grossflächigen ebenen Strahlern auch zylindrische, die nach innen oder nach aussen strahlen, möglich. Die Entladungen können bei hohem Druck (0.1 - 10 bar betrieben werden. Mit dieser Bauweise lassen sich elektrische Leistungsdichten von 1 - 50 KW/m² realisieren. Da die Elektronenenergie in der Entladung weitgehend optimiert werden kann, liegt der Wirkungsgrad solcher Strahler sehr hoch, auch dann, wenn man Resonanzlinien geeigneter Atome anregt. Die Wellenlänge der Strahlung lässt sich durch die Art des Füllgases einstellen z.B. Quecksilber (185 nm, 254 nm), Stickstoff (337-415 nm), Selen (196, 204, 206 nm), Xenon (119, 130, 147 nm), Krypton (124 nm). Wie bei anderen Gasentladungen empfiehlt sich auch die Mischung verschiedener Gasarten.
  • Der Vorteil dieser Strahler liegt in der flächenhaften Abstrahlung grosser Strahlungsleistungen mit hohem Wirkungsgrad. Fast die gesamte Strahlung ist auf einen oder wenige Wellenlängenbereiche konzentriert. Wichtig ist in allen Fällen, dass die Strahlung durch eine der Elektroden austreten kann. Dieses Problem ist lösbar mit transparenten, elektrisch leitenden Schichten oder aber auch, indem man ein feinmaschiges Drahtnetz oder aufgebrachte Leiterbahnen als Elektrode benützt, die einerseits die Stromzufuhr zum Dielektrikum gewährleisten, andererseits für die Strahlung aber weitgehend transparent sind. Auch kann ein transparenter Elektrolyt, z.B. H₂O, als weitere Elektrode verwendet werden, was insbesondere für die Bestrahlung von Wasser/Abwasser vorteilhaft ist, da auf diese Weise die erzeugte Strahlung unmittelbar in die zu bestrahlende Flüssigkeit gelangt und diese Flüssigkeit gleichzeitig als Kühlmittel dient.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • In der Zeichnung sind Ausführungsbeispiele der Erfindung schematisch dargestellt, und zwar zeigt
  • Fig. 1
    ein Ausführungsbeispiel der Erfindung in Gestalt eines ebenen Flächenstrahlers im Schnitt
    Fig. 2
    einen zylindrischen nach aussen abstrahlenden Strahler, der in einen Bestrahlungsbehälter für durchströmende Flüssigkeiten oder Gase integriert ist im Schnitt
    Fig. 3
    einen zylindrischen nach innen abstrahlenden Strahler für photochemische Reaktionen
    Fig. 4
    eine Abwandlung des Strahlers nach Fig. 1 mit einem beidseits durch ein Dielektrikum begrenzten Enladungsraum
    Fig. 5
    ein Ausführungsbeispiel eines Strahlers in Gestalt eines doppelwandigen Quarzrohrs.
    Ausführliche Beschreibung der Erfindung
  • Der Hochleistungsstrahler nach Fig. 1 umfasst eine Metallelektrode 1, die auf ihrer einen Seite mit einem Kühlmedium 2, z.B. Wasser, in Kontakt steht. Auf der anderen Seite der Metallelektrode 1 ist - distanziert durch elektrisch isolierende Distanzstücke 3, die punktuell über Fläche verteilt sind - eine Platte 4 aus dielektrischem Material angeordnet. Sie besteht für einen UV-Hochleistungsstrahler z.B. aus Quarz oder Saphir, das für die UV-Strahlung durchlässig ist. Für sehr kurzwellige Strahlungen kommen auch Materialien, wie z.B. Magnesiumfluorid und Calziumfluorid in Frage. Für Strahler, welche Strahlung im sichtbaren Bereich des Lichtes liefern sollen, ist das Dielektrikum Glas. Dielektrikum 4 und Metallelektrode 1 begrenzen einen Entladungsraum 5 mit einer typischen Spaltweite zwischen 1 und 10 mm. Auf der dem Entladungsraum 5 abgewandten Oberfläche der dielektrischen Platte 4 ist ein feines Drahtnetz 6 aufgebracht, von dem nur die Kett- oder Schussfäden in Fig. 1 sichtbar sind. Anstelle eines Drahtnetzes kann auch eine transparente elektrisch leitende Schicht vorhanden sein, wobei für sichtbares Licht die Schicht aus Indium- oder Zinnoxid, für sichtbares und UV-Licht eine 50 - 100 Angström dicke Goldschicht und speziell im UV auch eine dünne Schicht aus Alkalimetallen verwendet werden kann. Eine Wechselstromquelle 7 ist zwischen die Metallelektrode 1 und die Gegenelektrode (Drahtnetz 6) geschaltet.
  • Als Wechselstromquelle 7 können generell solche verwendet werden, wie sie im Zusammenhang mit Ozonerzeugern seit langem eingesetzt werden.
  • Der Entladungsraum 5 ist seitlich in üblicher Weise geschlossen, wurde vor dem Verschliessen evakuiert und mit einem inerten Gas, oder einer bei Entladungsbedingungen Excimere bildenden Substanz, z.B. Quecksilber, Edelgas, Edelgas-Metalldampf-Gemisch, Edelgas-Halogen-Gemisch, gefüllt, gegebenenfalls unter Verwendung eines zusätzlichen weiteren Edelgases (Ar, He, Ne) als Puffergas.
  • Je nach gewünschter spektraler Zusammensetzung der Strahlung kann dabei eine Substanz gemäss nachfolgender Tabelle Verwendung finden:
    Füllgas Strahlung
    Helium 60 - 100 nm
    Neon 80 - 90 nm
    Argon 107 - 165 nm
    Xenon 160 - 190 nm
    Stickstoff 337 - 415 nm
    Krypton 124 nm, 140 - 160 nm
    Krypton + Fluor 240 - 255 nm
    Quecksilber 185, 254 nm
    Selen 196, 204, 206 nm
    Deuterium 150 - 250 nm
    Xenon + Fluor 400 - 550 nm
    Xenon + Chlor 300 - 320 nm
  • In der sich bildenden stillen Entladung (dielectric barrier discharge) kann die Elektronenenergieverteilung durch Variation der Spaltweite des Entladungsraumes, Druck und/oder Temperatur (über die Intensität der Kühlung) optimal eingestellt werden.
  • Beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 2 sind ein Metallrohr 8, ein von diesem distanziertes Rohr 9 aus dielektrischem Material und ein äusseres Metallrohr 10 koaxial ineinander angeordnet. Durch den Innenraum 11 des Metallrohres wird Kühlflüssigkeit oder ein gasförmiges Kühlmittel geleitet. Der Ringspalt 12 zwischen den Rohren 8 und 9 bildet den Entladungsraum. Zwischen dem dielektrischen Rohr 9 (im Beispielsfall ein Quarzrohr) und dem von diesem durch einen weiteren Ringspalt 13 distanzierten äusseren Metallrohr befindet sich die zu bestrahlende Flüssigkeit, im Beispielsfall Wasser, das aufgrund seiner elektrolytischen Eigenschaft die andere Elektrode bildet. Die Wechselstromquelle 7 ist demzufolge an die beiden Metallrohre 8 und 10 angeschlossen.
  • Diese Anordnung hat den Vorteil, dass die Strahlung unmittelbar auf das Wasser einwirken kann, das Wasser gleichzeitig als Kühlmittel dient, und damit eine separate Elektrode auf der äusseren Oberfläche des dielektrischen Rohres 9 entbehrlich ist.
  • Ist die zu bestrahlende Flüssigkeit kein Elektrolyt, so kann eine der im Zusammenhang mit Fig. 1 genannten Elektroden (transparente elektrisch leitende Schicht, Drahtnetz) auf die äussere Oberfläche des dielektrischen Rohres 9 aufgebracht sein.
  • Im Ausführungsbeispiel nach Fig. 3 ist ein mit einer transparenten elektrisch leitenden Innenelektrode 14 versehenes Quarzrohr 9 koaxial in einem Metallrohr 8 angeordnet. Zwischen beiden Rohren 8, 9 erstreckt sich ein ringförmiger Entladungsspalt 12. Das Metallrohr 8 ist unter Bildung eines ringförmigen Kühlspaltes 15, durch den ein Kühlmittel, z.B. Wasser, hindurchleitbar ist, von einem äusseren Rohr 10 umgeben. Die Wechselstromquelle 7 ist zwischen die Innenelektrode 14 und das Metallrohr 8 geschaltet.
  • Wie im Falle der Fig. 2 wird durch den Innenraum 16 des dielektrischen Rohres 9 die zu bestrahlende Substanz geführt und dient - sofern geeignet - gleichzeitig als Kühlmittel.
  • Auch bei der Anordnung nach Fig. 3 kann neben festen, auf dem Rohrinneren angebrachten Innenelektroden 14 (Schichten, Drahtnetz) ein Elektrolyt, z.B. Wasser als Elektrode Verwendung finden.
  • Sowohl bei Aussenstrahlern gemäss Fig. 2 als auch bei Innenstrahlern nach Fig. 3 erfolgt die Distanzierung bzw. relative Fixierung der einzelnen Rohre gegeneinander durch Distanzierungselemente, wie sie in der Ozontechnik verwendet werden.
  • Experimente haben gezeigt, dass es vorteilhaft sein kann, bei bestimmten Füllgasen hermetisch abgeschlossene Entladungsgeometrien, z.B. abgeschmolzene Quarz- oder Glasbehälter, zu verwenden. In einer solchen Konfiguration kommt das Füllgas nicht mehr mit einer metallischen Elektrode in Berührung, die Entladung ist allseits von Dielektrika begrenzt.
    Der prinzipielle Aufbau eines derartigen Hochleistungsstrahlers geht aus Fig. 4 hervor. Dort sind die mit Fig. 1 gleichwirkenden Teile mit denselben Bezugszeichen versehen. Der prinzipielle Unterschied zwischen Fig. 1 und Fig. 4 besteht in der Zwischenschaltung eines zweiten Dielektrikums 17 zwischen Entladungsraum 5 und metallischer Elektrode 1. Wie im Falle der Fig. 1 ist die metallische Elektrode 1 durch ein Kühlmedium 2 gekühlt; die Strahlung verlässt den Entladungsraum 5 durch das für die Strahlung durchlässige Dielektrikum 4 und das als zweite Elektrode dienende Drahtnetz 6.
  • Eine praktische Realisierung eines derartigen Hochleistungsstrahlers ist in Fig. 5 schematisch veranschaulicht. Ein doppelwandiges Quarzrohr 18, bestehend aus einem Innenrohr 19 und einem Aussenrohr 20 ist aussen von einem Drahtnetz 6 umgeben, das als erste Elektrode dient. Die zweite Elektrode ist als Metallschicht 21 an der Innenwandung des Innenrohrs 19 ausgeführt. Die Wechselstromquelle 7 ist an diese beiden Elektroden angeschlossen. Der Ringraum zwischen Innen- und Aussenrohr dient als Entladungsraum 5. Dieser ist durch Abschmelzen des Füllstutzens hermetisch gegenüber dem Aussenraum abgeschlossen. Die Kühlung des Strahlers erfolgt durch Hindurchleiten eines Kühlmittels durch den Innenraum des Innenrohrs 19, wobei zur Kühlmittelführung ein Rohr 23 in das Innenrohr 19 unter Belassung eines Ringraums 24 zwischen Innenrohr 19 und Rohr 23 eingesetzt ist. Die Strömungsrichtung des Kühlmittels ist durch Pfeile verdeutlicht. Auch der hermetisch abgeschlossene Strahler nach Fig. 5 lässt sich als Innenstrahler analog Fig. 3 betreiben, wenn man die Kühlung aussen anbringt und die UV-durchlässige Elektrode innen.
  • Im Lichte der Ausführungen zu den in den Figuren 1 bis 3 beschriebenen Anordnungen versteht es sich von selbst, dass auch die Hochleistungsstrahler gemäss Fig. 4 und 5 in mannigfaltiger Weise abgewandelt werden können, ohne den Rahmen der Erfindung zu verlassen:
    So kann bei der Ausführung nach Fig. 4 auf die metallische Elektrode 1 verzichtet werden, wenn das Kühlmedium ein Elektrolyt ist, der gleichzeitig als Elektrode dient. Auch kann das Drahtnetz 6 durch eine elektrisch leitfähige, für die Strahlung durchlässige Schicht ersetzt werden.
  • Auch im Falle der Fig. 5 kann das Drahtnetz 6 durch eine derartige Schicht ersetzt werden. Bildet man die Metallschicht 21 als für die Strahlung durchlässige Schicht, z.B. aus Indium- oder Zinnoxid, aus, so kann die Strahlung unmittelbar auf das Kühlmedium, z.B. Wasser, einwirken. Ist das Kühlmittel selbst ein Elektrolyt, so kann dieses die Funktion der Elektrode 21 übernehmen.
  • Bei den vorgeschlagenen inkohärenten Strahlern wird jedes Volumenelement im Entladungsspalt seine Strahlung in den ganzen Raumwinkel 4π abstrahlen. Will man nur die Strahlung ausnutzen, die aus der UV-durchlässigen Elektrode 6 austritt, kann man die nutzbare Strahlung praktisch verdoppeln, wenn die Gegenelektrode 21 aus einem Material ist, das UV-Strahlung gut reflektiert (z.B. Aluminium). Bei der Anordnung der Fig. 5 könnte die innere Elektrode eine Aluminiumbedampfung sein.
  • Für die UV-durchlässige elektrisch leitfähige Elektrode 6 bieten sich auch dünne (0.1-1µm) Schichten aus Alkalimetallen an. Wie bekannt ist, weisen die Alkalimetalle Lithium, Kalium, Rubidium, Cäsium im ultravioletten Spektralbereich eine hohe Transparenz bei geringer Reflexion auf. Auch Legierungen (z.B. 25 % Natrium / 75 % Kalium) bieten sich an. Da die Alkali-Metalle mit Luft (z.T. sehr heftig) reagieren, muss man sie nach der Aufbringung im Vakuum mit einer UV-durchlässigen Schutzschicht (z.B. Mg F₂) versehen.

Claims (16)

  1. UV-Strahler mit einem mit Füllgas gefüllten, von Wänden begrenzten Entladungsraum (5), wobei mindestens eine Wand von einem Dielektrikum (4;9;17;19;20) gebildet wird, mit einer ersten (6;10;14) und einer zweiten metallischen Elektrode (1;8;21), wobei die erste Elektrode auf der dem Entladungsraum (5) abgewandten Oberfläche des Dielektrikums angeordnet ist, und einer an die beiden Elektroden angeschlossenen Wechselstromquelle (7) zur Speisung der Entladung, sowie Mitteln zur Leitung der durch stille elektrische Entladungen erzeugten Strahlung in einen Aussenraum, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Elektrode aus linien- oder streifenförmigem Metall besteht, dass sowohl diese erste Elektrode als auch das Dielektrikum für die durch die stillen elektrischen Entladungen erzeugte Strahlung durchlässig sind, und dass zumindest die zweite Elektrode gekühlt ist.
  2. UV-Strahler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Elektrode aus auf das Dielektrikum aufgebrachten Leiterbahnen besteht.
  3. UV-Strahler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Elektrode (1;8;21) eine UV-Licht reflektierende Schicht, vorzugsweise Aluminiumschicht ist.
  4. UV-Strahler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Füllgas ein unter Entladungsbedingungen Excimere bildendes Edelgas oder Edelgasgemisch ist.
  5. UV-Strahler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Füllgas Quecksilber, Stickstoff, Selen, Deuterium oder ein Gemisch dieser Substanzen allein oder mit einem Edelgas ist.
  6. UV-Strahler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Metallelektrode (1) und das Dielektrikum (4) plattenförmig ausgebildet sind und die zweite Metallelektrode (1) von dem Dielektrikum (4) mittels Distanzstücken (3) distanziert ist.
  7. UV-Strahler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Metallelektrode (8) und das Dielektrikum (9) rohrförmig ausgebildet sind und zwischen sich den Entladungsraum (12) bilden.
  8. UV-Strahler nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Dielektrikum (9) die zweite Metallelektroden (8) konzentrisch umgibt und an seiner äusseren Oberfläche mit einer transparenten elektrisch leitenden Schicht versehen ist oder unmittelbar an einen Elektrolyt angrenzt, welcher die erste Elektrode bildet.
  9. UV-Strahler nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Dielektrikum (9) konzentrisch innerhalb der zweiten Metallelektrode (8) angeordnet ist und seine innere Oberfläche mit einer transparenten elektrisch leitenden Schicht (14) versehen ist oder an einen Elektrolyt angrenzt, welcher die erste Elektrode bildet.
  10. UV-Strahler nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Metallelektrode (8) unter Belassung eines Kühlspaltes (15) von einem Rohr (10') umgeben ist, durch welchen Kühlspalt ein Kühlmittel hindurchleitbar ist.
  11. UV-Strahler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Entladungsraum (5) im wesentlichen durch zwei distanzierte Platten (4,17) aus dielektrischen Material gebildet ist, an welche sich nach aussen hin Elektroden (6,1) anschliessen, wovon die eine (1) gekühlt ist.
  12. UV-Strahler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Entladungsraum (5) durch den Ringraum zweier Rohre (19,20) aus dielektrischem Material gebildet ist, wobei die dem Entladungsraum (5) abgewandten Oberflächen der Rohre mit einer für die Strahlung durchlässigen ersten Elektrode (6) und mit einer gekühlten zweiten Elektrode (21) versehen sind.
  13. UV-Strahler nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Innenfläche des inneren Rohres (19) mit einer Elektrode (21) versehen ist, dass in den Innenraum des inneren Rohres (19) und von diesem distanziert ein Kühlmittelführungsrohr (23) hineinragt, durch welches ein Kühlmittel zuführbar und durch den Ringraum (24) zwischen diesem und dem inneren Rohr (19) entlang der besagten Elektrode (21) abführbar ist.
  14. UV-Strahler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Füllgas ein Edelgas/Halogen-Gemisch, vorzugsweise ein Ar/F-, Kr/F-, Xe/Cl-, Xe/J-Gemisch, ist.
  15. UV-Strahler nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass das Füllgas ein Puffergas in Form eines zusätzlichen Edelgases, vorzugsweise Ar, He oder Ne, emthält.
  16. UV-Strahler nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest die zweite Elektrode (1) flüssigkeitsgekühlt ist.
EP87109674A 1986-07-22 1987-07-06 UV-Strahler Expired - Lifetime EP0254111B1 (de)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
CH2924/86 1986-07-22
CH2924/86A CH670171A5 (de) 1986-07-22 1986-07-22

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EP0254111A1 EP0254111A1 (de) 1988-01-27
EP0254111B1 true EP0254111B1 (de) 1992-01-02

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EP87109674A Expired - Lifetime EP0254111B1 (de) 1986-07-22 1987-07-06 UV-Strahler

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US (1) US4837484A (de)
EP (1) EP0254111B1 (de)
CA (1) CA1288800C (de)
CH (1) CH670171A5 (de)
DE (1) DE3775647D1 (de)

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