DE4430300C1 - Excimerstrahler und dessen Verwendung - Google Patents
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Description
Bei der Erfindung wird ausgegangen von einem Excimerstrahler
nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Mit dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 nimmt die Erfindung
auf einen Stand der Technik Bezug, wie er aus der EP-A1-0 385
205 bekannt ist. Dort sind mehrere Excimer-
Hochleistungsstrahler nebeneinander in einer geraden Reihe oder
bogenförmig angeordnet. Die Einzelstrahler können verschiedene
Gasfüllungen für unterschiedliche UV-Wellenlängen enthalten.
Mindestens eine der den Entladungsraum begrenzenden Elektroden
und/oder Dielektrikumsschichten kann als ein UV-transparenter,
elektrisch leitfähiger Belag ausgebildet sein. Eine am
Außenumfang des jeweiligen Strahlers aufgedampfte teilweise
Aluminiumbeschichtung dient als Außenelektrode und gleichzeitig
als Reflektor.
In der Schweizer Firmenzeitschrift ABB Technik 3 (1991), S.
21-28, sind zylindrische Excimer-UV-Strahler für
unterschiedliche Wellenlängen mit ringförmigem Entladungsspalt
und 2 zylindrischen Elektroden für industrielle Anwendungen,
wie z. B. UV-Trocknung, UV-Härtung und Metallbeschichtung,
beschrieben. Diese Excimerstrahler werden bei Frequenzen von
etwa 50 kHz und Spannungsamplituden von 5 kV-10 kV betrieben,
wobei das heiße Entladungsplasma mit den Elektroden nicht in
Berührung kommt. Es wird darauf hingewiesen, daß auch flache
UV-Quellen und spezielle Geometrien für photochemische
Reaktoren realisierbar sind. Excimerstrahler liefern bei kurzer
Pulsdauer eine definierte Wellenlänge mit hoher
Spitzenintensität und hoher Wiederholfrequenz.
Aus der Zeitschrift: Meas. Sci. Technol. 4 (1993) S. 668-676
ist ein tragbares, diffus reflektierendes Spektralphotometer
für schnelle und automatische Messungen an Gewebe bekannt, bei
dem Licht von einer Wolfram-Halogenlampe über ein IR-Filter und
optische Fasern zum Gewebe und zurück zu einem Spektrometer
geleitet wird. Dort wird es mittels einer 1dimensionalen
CCD-Schicht von 1024 Photodetektorelementen detektiert und der
erhaltene Meßwert von einem MOS-Schieberegister erfaßt.
Durch das Buch von Clifton C. Thompson, ULTRAVIOLET-VISIBLE
ABSORPTION SPECTROSCOPY, 1974, Willard Grant Press, 20 Newbury
Street, Boston, Massachusetts 02116, S. 39-45, ist ein
Doppelstrahl-Spektralphotometer bekannt, bei dem
monochromatisches Licht mittels eines Zerhackers und
Strahlteilers alternierend einerseits durch eine Probe und
andererseits durch einen Vergleichsabsorber geleitet wird. Als
UV-Lichtquelle wird, abhängig von dem gewünschten
Wellenlängenbereich, eine Wolfram- oder Wasserstoff-
Breitbandlampe verwendet, aus deren emittiertem Spektrum durch
ein optisches System, üblicherweise durch ein Interferenzfilter
oder Beugungsgitter, ein enges Wellenlängenband selektiert
wird.
Nachteilig sind die geringe Lebensdauer und Stabilität dieser
breitbandigen und teuren Strahlenquellen.
Zum einschlägigen Stand der Technik wird zusätzlich auf die
EP-A1-0 254 111 und EP-A2-0 521 553 hingewiesen, aus denen flache
Excimerstrahler mit 2 Elektroden, von denen eine transparent
ist, bekannt sind.
Die Erfindung, wie sie im Patentanspruch 1 definiert ist, löst
die Aufgabe, einen Excimerstrahler der eingangs genannten Art
derart weiterzuentwickeln, daß er von einer relativ kleinen
Fläche mehrere enge Wellenlängenbereiche abstrahlt. Im Anspruch
5 ist eine vorteilhafte Verwendung des Mehrwellenlängen-
Excimerstrahlers angegeben.
Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den
abhängigen Patentansprüchen definiert.
Ein Vorteil der Erfindung besteht darin, daß ein komplexes
optisches System durch eine einzige Strahlenquelle ersetzt
werden kann. Mit der Erfindung lassen sich kompakte
Spektralphotometer realisieren.
Ein weiterer Vorteil besteht in der langen Lebensdauer der
Excimerstrahler. Es sind keine hohen Intensitäten erforderlich.
Gemäß einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung entfallen
Lichtverluste an Schlitzen, Beugungsgittern, Filtern usw.
Die Erfindung wird nachstehend anhand von Ausführungsbei
spielen erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 ein 2-Weg-Spektralphotometer mit einer
Excimerstrahlenquelle,
Fig. 2 einen schichtförmigen Excimerstrahler mit 2
Schichtelektroden,
Fig. 3 ein Kompakt-Spektralphotometer mit einer
Excimerstrahlenquelle,
Fig. 4 ein Kompakt-Spektralphotometer gemäß Fig. 3 in
auseinandergezogener Darstellung,
Fig. 5 einen schichtförmigen Excimerstrahler mit einer
gemeinsamen, transparenten Maschenelektrode und
mehreren Excimerstrahlenquellen, die separat
ansteuerbar sind, in auseinandergezogener
Darstellung,
Fig. 6 eine Anordnung von mehreren Excimerstrahlenquellen,
die Gasreservebehälter aufweisen, und
Fig. 7 eine Excimerstrahlenquelle gemäß Fig. 6 mit einem
Gasreservebehälter.
In den Figuren sind gleiche Teile mit gleichen Bezugszeichen
gekennzeichnet.
Das in Fig. 1 dargestellte und in seinem Aufbau aus dem
eingangs genannten Buch von Clinton C. Thompson bekannte 2Weg-
Spektralphotometer enthält anstelle einer oder mehrerer
üblicher Breitbandstrahlenquellen eine Mehrwellenlängen-
Excimerstrahlenquelle (1). Das von dieser Mehrwellenlängen-
Excimerstrahlenquelle (1) ausgehende Licht mit mehreren engen
Wellenlängenbereichen wird durch ein Beugungsgitter (2) nach
Wellenlängen selektiert und durch einen Lichtspalt (3) auf
einen Zerhacker und Strahlteiler (4) geleitet, auf dem ein
Spiegel (5) angebracht ist. Über diesen Spiegel (5) wird das
eintreffende Licht alternierend einerseits über einen Spiegel
(6), ein Vergleichsobjekt (7), einen Spiegel (8) und
andererseits über einen Spiegel (9), eine Probe (10) und einen
Spiegel (11) über ein Prisma (12) einem Lichtdetektor (13)
zugeführt.
Fig. 2 zeigt eine perspektivische Ansicht einer schichtförmig
aufgebauten Mehrwellenlängen-Excimerstrahlenquelle (1), wie sie
in dem 2Weg-Spektralphotometer gemäß Fig. 1 anwendbar ist.
Zwischen einer 1. Elektrode bzw. Spiegelelektrode (14), deren
Spiegeloberfläche versilbert sein kann, und einer mindestens
teilweise transparenten 2. Elektrode bzw. Draht- oder
Maschenelektrode (15) sind mehrere in Reihen und Spalten
matrixartig nebeneinander und untereinander angeordnete, mit
unterschiedlichen Gasen gefüllte Flachzylinder bzw.
Excimerlampen (L11-Lnm) angebracht, von denen nur die
Excimerlampen (L11-L41) in der 1. Reihe und (L41-L44) in
der 4. Spalte teilweise zu sehen sind. Je Zeile können
allgemein n Excimerlampen und je Spalte m Excimerlampen
vorgesehen sein, n, m ganzzahlig. Die unterschiedlichen
Gasfüllungen der flachzylindrischen Excimerlampen (L11-Lnm),
die aus Glas oder erforderlichenfalls aus Quarz bestehen,
bewirken beim Anlegen eines elektrischen Wechselfeldes
unterschiedliche Wellenlängenbereiche mit enger Bandbreite des
durch die Maschenelektrode (15) abgestrahlten Lichtes. Die
Mehrwellenlängen-Excimerstrahlenquelle (1) wird mit
Spannungsamplituden im Bereich von 5 kV-10 kV mit Frequenzen
von etwa 50 kHz betrieben.
Die flachzylindrischen Excimerlampen (L11-L41) haben
vorzugsweise einen Durchmesser im Bereich von 0,5 cm-3 cm und
eine Tiefe bzw. Dicke im Bereich von 2 mm-5 mm.
Fig. 3 zeigt ein Kompakt-Spektralphotometer mit einer
Mehrwellenlängen-Excimerstrahlenquelle (1) gemäß Fig. 2 im
Querschnitt und Fig. 4 in auseinandergezogener Darstellung.
Die Mehrwellenlängen-Excimerstrahlenquelle (1) ist in Reihe mit
einem Behälter bzw. einer Küvette (16; 16a, 16b), mit einem
Behälter mit einem fluoreszierenden Material (17) und mit einem
Lichtdetektor (18; D11-Dnm) angeordnet. Die Küvette (16)
besteht aus einem Behälterteil mit Probe (16a) und einem dazu
benachbarten Behälterteil mit Vergleichsmaterial (16b); sie ist
seitlich derart verschiebbar, daß sich nur entweder der
Behälterteil mit der zu untersuchenden Probe (16a) oder der
Behälterteil mit dem Vergleichsmaterial (16b) im Strahlengang
der Mehrwellenlängen-Excimerstrahlenguelle (1) befindet. Der
Behälter mit einem fluoreszierenden Material (17) dient zur
Umsetzung von UV-Licht in sichtbares Licht, um bei
Untersuchungen mit UV-Licht einen billigen, für sichtbares
Licht empfindlichen Lichtdetektor (18; D11-Dnm) verwenden zu
können. Der Behälter mit einem fluoreszierenden Material (17)
kann ggf. weggelassen werden. Der mit Dioden für sichtbares
Licht bestückte Lichtdetektor (18; D11-Dnm) enthält in einer
Ebene n·m matrixartig angeordnete Lichtdetektoren
(D11-Dnm), die in ihrer Anordnung den matrixartig angeordneten
Excimerlampen (L11-Lnm) entsprechen und diesen derart
zugeordnet sind, daß jeder Lichtdetektor (D11-Dnm) im
wesentlichen nur das Licht von einer der Excimerlampen
(L11-Lnm) empfängt.
Diese Anwendung entspricht derjenigen eines Spektralphotometers
mit einem 2Strahl-System gemäß Fig. 1. Wollte man die Bewegung
bzw. Verschiebung der Küvette (16; 16a, 16b) vermeiden, so
müßte die Anordnung doppelt ausgelegt werden.
Fig. 5 zeigt in auseinandergezogener Darstellung eine
Mehrwellenlängen-Excimerstrahlenquelle (1), entsprechend Fig.
2, jedoch mit n·m gegenseitig elektrisch isolierten und
separat ansteuerbaren Spiegelelektroden (E11-E44) bzw.
(E11-Enm), die hinter den Excimerlampen (L11-Lnm) derart
angeordnet sind, daß je eine Spiegelelektrode (E11-E44) in
Reihe zu einer Excimerlampe (L11-Lnm) angebracht ist. Damit
kann diese Mehrwellenlängen-Excimerstrahlenquelle (1) als
monochromatische Strahlenquelle eingesetzt werden und einzelne
schmalbandige Wellenlängenbereiche abstrahlen; sie kann jedoch
auch mehrere schmalbandige Wellenlängenbereiche abstrahlen,
wenn mehrere Spiegelelektroden (E11-E44) gleichzeitig
angesteuert werden. Diese einfach aufgebaute Mehrwellenlängen-
Excimerstrahlenquelle (1) ist somit vielseitig einsetzbar,
vorzugsweise zur Messung des Farbgehalts von Gewebe,
insbesondere von Papierbahnen, in einem Wellenlängenbereich von
vorzugsweise 200 nm-1 µm. Durch diese Mehrwellenlängen-
Excimerstrahlenquelle (1) kann für viele Anwendungsfälle das
Strahlerzeugssystem üblicher Photometer ersetzt werden.
Fig. 6 zeigt eine Anordnung von mehreren Excimerlampen
(L11-Lnm), die randseitig Gasreservebehälter (19) außerhalb der
optischen Aktivregion aufweisen. Die Gasreservebehälter (19)
verlängern die Lebensdauer der Excimerlampen (L11-Lnm).
Fig. 7 zeigt eine Excimerlampe (L) mit einem abgewinkelten
Gasreservebehälter (19) im Querschnitt, wie sie ggf. für innen
angeordnete Excimerlampen (L22-L33) gemäß Fig. 6 verwendet
werden kann.
Es versteht sich, daß die Excimerlampen (L11-Lnm) statt
kreiszylindrisch im Querschnitt rechteckig oder z. B. 5eckig
oder oval oder anders gestaltet sein können. Sie müssen auch
nicht notwendig in waagerechten und senkrechten Reihen
angeordnet sein. Wichtig ist, daß mehrere flache Excimer-
Miniaturlampen für unterschiedliche Wellenlängenbereiche zu
einer einzigen Mehrwellenlängen-Excimerstrahlenquelle (1)
zusammengesetzt sind.
Bezugszeichenliste
1 Mehrwellenlängen-Excimerstrahlenquelle, Lichtquelle
2 Beugungsgitter
3 Lichtspalt
4 Strahlteiler, Zerhacker
5, 6, 8, 9, 11 Spiegel
7 Vergleichsobjekt
10 Probe
12 Prisma
13 Lichtdetektor
14 1. Elektrode, Spiegelelektrode
15 2. Elektrode, transparente Elektrode, Drahtelektrode, Maschenelektrode
16 Behälter, Küvette
16a Behälterteil mit Probe
16b Behälterteil mit Vergleichsmaterial
17 Behälter mit einem fluoreszierenden Material
18, D11-D44 Lichtdetektoren
19 Reservebehälter
E11-E44 Spiegelelektroden
L, L11-L44 Excimerlampen, Excimerstrahlenquellen, gasgefüllte Flachzylinder.
2 Beugungsgitter
3 Lichtspalt
4 Strahlteiler, Zerhacker
5, 6, 8, 9, 11 Spiegel
7 Vergleichsobjekt
10 Probe
12 Prisma
13 Lichtdetektor
14 1. Elektrode, Spiegelelektrode
15 2. Elektrode, transparente Elektrode, Drahtelektrode, Maschenelektrode
16 Behälter, Küvette
16a Behälterteil mit Probe
16b Behälterteil mit Vergleichsmaterial
17 Behälter mit einem fluoreszierenden Material
18, D11-D44 Lichtdetektoren
19 Reservebehälter
E11-E44 Spiegelelektroden
L, L11-L44 Excimerlampen, Excimerstrahlenquellen, gasgefüllte Flachzylinder.
Claims (8)
1. Excimerstrahler (1)
- a) mit mehreren separaten Excimerstrahlenquellen (L, L11- Lnm)
- b) zwischen mindestens einer 1. Elektrode (14, E11-Enm) und
- c) einer mindestens teilweise transparenten 2. Elektrode (15),
- d) wobei mehrere Excimerstrahlenquellen (L, L11-Lnm), die unter Entladungsbedingungen Strahlung in unterschiedlichen, engen Wellenlängenbereichen ausstrahlen, zu einer Mehrwellenlängen- Excimerstrahlenquelle (1) vereinigt sind, dadurch gekennzeichnet,
- e) daß die Excimerstrahlenquellen (L, L11-Lnm) als flachzylindrische Miniaturlampen ausgebildet sind und
- f) daß für alle Excimerstrahlenquellen (L, L11-Lnm) des Excimerstrahlers (1) nur eine, allen gemeinsame, mindestens teilweise transparente 2. Elektrode (15) vorgesehen ist.
2. Excimerstrahler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Excimerstrahlenquellen (L, L11-Lnm) matrixartig
nebeneinander und untereinander angeordnet sind.
3. Excimerstrahler nach Anspruch 1 oder 2, dadurch
gekennzeichnet, daß mindestens einige der
Excimerstrahlenquellen (L, L11-Lnm) einen
Gasreservebehälter (19) aufweisen.
4. Excimerstrahler nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß jeder Excimerstrahlenquelle (L,
L11-Lnm) eine separat ansteuerbare, gegenseitig
elektrisch isolierte 1. Elektrode (E11-Enm) zugeordnet
ist.
5. Verwendung eines Excimerstrahlers nach einem der
vorhergehenden Ansprüche als Lichtquelle (1; L, L11-Lnm)
in einem Spektralphotometer.
6. Verwendung eines Excimerstrahlers nach Anspruch 5, dadurch
gekennzeichnet, daß das Spektralphotometer ein Kompakt-
Spektralphotometer ist, bei dem die Lichtquelle (L, L11-
Lnm) optisch in Reihe mit einer Küvette (16; 16a, 16b), die
nebeneinander eine Probe (16a) und ein Vergleichsmaterial
(16b) enthält, und mindestens einem Lichtdetektor (18;
D11-Dnm) angeordnet ist.
7. Verwendung eines Excimerstrahlers nach Anspruch 6, dadurch
gekennzeichnet, daß zwischen der Küvette (16; 16a, 16b) und
dem mindestens einen Lichtdetektor (18; D11-Dnm) ein
Behälter mit einem fluoreszierenden Material (17) zur
Umwandlung von nichtsichtbarem Licht in sichtbares Licht
vorgesehen ist.
8. Verwendung eines Excimerstrahlers nach einem der Ansprüche
5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Lichtquelle (L,
L11-Lnm) des Excimerstrahlers ein separater Lichtdetektor
(D11-Dnm) zugeordnet ist.
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DE19944430300 DE4430300C1 (de) | 1994-08-26 | 1994-08-26 | Excimerstrahler und dessen Verwendung |
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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Country | Link |
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DE (1) | DE4430300C1 (de) |
GB (1) | GB2293044B (de) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1293740A2 (de) * | 2001-09-15 | 2003-03-19 | arccure technologies GmbH | Bestrahlungsvorrichtung mit veränderlichem Spektrum |
FR2876495A1 (fr) * | 2004-10-11 | 2006-04-14 | Henri Bondar | Dispositif a influence electrique permettant l'ionisation d'un gaz a distance a travers une paroi isolante |
WO2014060592A1 (de) * | 2012-10-19 | 2014-04-24 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Uv-lichtquelle mit kombinierter ionisation und bildung von excimern |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0254111A1 (de) * | 1986-07-22 | 1988-01-27 | BBC Brown Boveri AG | UV-Strahler |
EP0385205A1 (de) * | 1989-02-27 | 1990-09-05 | Heraeus Noblelight GmbH | Hochleistungsstrahler |
EP0521553A2 (de) * | 1991-07-01 | 1993-01-07 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Hochdrucksglimmentladungslampe |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH677557A5 (de) * | 1989-03-29 | 1991-05-31 | Asea Brown Boveri | |
CH680099A5 (de) * | 1990-05-22 | 1992-06-15 | Asea Brown Boveri |
-
1994
- 1994-08-26 DE DE19944430300 patent/DE4430300C1/de not_active Expired - Fee Related
-
1995
- 1995-08-25 GB GB9517476A patent/GB2293044B/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0254111A1 (de) * | 1986-07-22 | 1988-01-27 | BBC Brown Boveri AG | UV-Strahler |
EP0385205A1 (de) * | 1989-02-27 | 1990-09-05 | Heraeus Noblelight GmbH | Hochleistungsstrahler |
EP0521553A2 (de) * | 1991-07-01 | 1993-01-07 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Hochdrucksglimmentladungslampe |
Non-Patent Citations (3)
Title |
---|
"Meas.Sci.Technol.", Bd. 4, 1993, S. 668-676 * |
ABB-Technik, 1991, Bd. 3, S. 21-28 * |
THOMPSON, Clifton C.: "Ultraviolet-visible absorption spectroscopy", Boston 1974, S. 39-45 * |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1293740A2 (de) * | 2001-09-15 | 2003-03-19 | arccure technologies GmbH | Bestrahlungsvorrichtung mit veränderlichem Spektrum |
EP1293740A3 (de) * | 2001-09-15 | 2005-08-17 | arccure technologies GmbH | Bestrahlungsvorrichtung mit veränderlichem Spektrum |
FR2876495A1 (fr) * | 2004-10-11 | 2006-04-14 | Henri Bondar | Dispositif a influence electrique permettant l'ionisation d'un gaz a distance a travers une paroi isolante |
WO2014060592A1 (de) * | 2012-10-19 | 2014-04-24 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Uv-lichtquelle mit kombinierter ionisation und bildung von excimern |
US9718705B2 (en) | 2012-10-19 | 2017-08-01 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | UV light source having combined ionization and formation of excimers |
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GB2293044A (en) | 1996-03-13 |
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