DE10112900C1 - Excimer-Strahler, insbesondere UV-Strahler - Google Patents
Excimer-Strahler, insbesondere UV-StrahlerInfo
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Abstract
Bei einem Excimer-Strahler, insbesondere UV-Strahler, mit dielektrisch behinderter Entladung ist in einem gegenüber der Umgebungsatmosphäre abgeschlossenen Entladungsraum eine erste Elektrode auf einem langgestreckten Träger aufgebracht, der aus seiner Längsachse, in radialer Richtung gesehen, im Abstand von einem den Entladungsraum begrenzenden Entladungsgefäß aus Quarz umgeben ist; auf der Außenseite des Entladungsgefäßes ist eine zweite Elektrode angeordnet, die für wenigstens einen Teil der im Entladungsraum erzeugten Strahlung durchlässig ist. DOLLAR A Um trotz langgestreckter Innenelektrode eine ausreichende Stabilität in den bei Herstellung des Strahlers erforderlichen Glühprozessen auch ohne äußere Kühlmaßnahmen aufrechtzuerhalten, wird ein Ende des Trägers (8) der ersten Elektrode in einen sich, im Längsschnitt gesehen, verjüngenden hohlkörperartigen Abschnitt (5) des Entladungsgefäßes (1) eingebracht und fixiert, während das andere Ende des Trägers (8) mit einem Sockel (11) verbunden wird, der wenigstens eine Stromdurchführung (16) für die erste Elektrode (9) aufweist.
Description
Die Erfindung betrifft einen Excimerstrahler, insbesondere UV-Strahler, mit dielektrisch behin
derter Entladung, wobei in einem gegenüber der Umgebungsatmosphäre abgeschlossenen
Entladungsraum eine erste Elektrode auf einem langgestreckten Träger aufgebracht ist, der aus
seiner Längsachse in radialer Richtung gesehen im Abstand von einem den Entladungsraum
begrenzenden Entladungsgefäß aus dielektrischem, strahlungsdurchlässigen Material umgeben
ist, wobei auf der Außenseite des Entladungsgefäßes eine zweite Elektrode angeordnet ist, die
für wenigstens einen Teil der im Entladungsraum erzeugten Strahlung durchlässig ist.
Aus der EP 0 254 111 A1 ist ein Hochleistungsstrahler bekannt, der einen durch eine einseitig
gekühlte Metallelektrode und ein Dielektrikum begrenzten und mit Edelgas oder Gasgemisch
gefüllten Entladungsraum aufweist, wobei sowohl das Dielektrikum als auch die auf der dem
Entladungsraum abgewandte Oberfläche des Dielektrikums liegende andere Elektrode für die
durch stille elektrische Entladungen erzeugte Strahlung transparent sind. Es wird auf diese
Weise ein großflächiger UV-Strahler mit hohem Wirkungsgrad geschaffen, der mit großen elekt
rischen Leistungsdichten bis zu 50 kW/m2 aktiver Elektrodenoberfläche betrieben werden kann.
Weiterhin ist ein UV-Excimerstrahler zur Behandlung von breiten Substraten aus der DE 41 40 497 A1
bekannt.
Als problematisch erweist sich bei bekannten Strahleranordnungen der verhältnismäßig hohe
Aufwand, der mit einem Kühlsystem für die Kühlung im Inneren des Strahlers verbunden ist.
Aus der DE 42 35 743 A1 ist ein Hochleistungsstrahler, insbesondere für ultraviolettes Licht,
bekannt, der einen Entladungsraum mit einem Füllgas aufweist, welches unter Entladungsbe
dingungen Strahlung aussendet, wobei die Außenwand des Entladungsraumes zumindest teilweise
durch ein erstes für die Strahlung transparentes Dielektrikumsrohr gebildet ist. Das Die
lektrikumsrohr ist auf seiner dem Entladungsraum abgewandten Oberfläche mit metallischen
gitter- oder netzförmigen Außenelektroden versehen, wobei zumindest eine zweite in Rohr
längsrichtung verlaufende Elektrode vorgesehen ist, die mit einer Schutzschicht versehen ist,
wobei das Dielektrikum vorzugsweise an beiden Enden durch Quetschen verschlossen ist. In
einer weiteren Ausführungsform sind mehrere zweite Elektroden exzentrisch zur Längsachse
des Entladungsraumes angeordnet. Ein solchermaßen aufgebauter Strahler lässt sich gut küh
len und weist eine hohe Lebensdauer auf.
Weiterhin ist aus der WO 00/62330 A1 eine Entladungslampe für den Betrieb mittels die
lektrisch behinderter Entladung bekannt, wobei die Lampe ein Entladungsgefäß aufweist, des
sen Wand eine ionisierbare Füllung umschließt; weiterhin sind Elektroden vorgesehen, von de
nen mindestens eine im Inneren und mindestens eine auf der Außenwand des Entladungsgefä
ßes angeordnet ist; darüber hinaus ist mindestens eine äußere Stromzuführung vorgesehen,
wobei durch einen Lampenfuß hindurch die mindestens eine Innenelektrode mit der äußeren
Stromzuführung gasdicht verbunden ist. Die Lampe weist ein Befestigungsmittel auf, mit dem
der Sockel am Lampenfuß befestigt ist, wobei zwischen dem Sockel und der Außenwandung
des Entladungsgefäßes ein Abstand vorgesehen ist.
Die Erfindung stellt sich die Aufgabe einen Excimerstrahler mit langgestreckter Innenelektrode
anzugeben, welche eine ausreichende Stabilität in den bei Herstellung des Strahlers erforderli
chen Glühprozessen auch ohne äußere Kühlmaßnahmen beibehält.
Weiterhin soll auch die Formstabilisierung und Trägerfunktion im Falle einer ersten bzw. inneren
Elektrode mit aufgebrachter Beschichtung, insbesondere Metallschicht, gewährleistet sein.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass ein Ende des Trägers der ersten
Elektrode in einen sich - im Längsschnitt gesehen - verjüngenden hohlkörperartigen Abschnitt
des Entladungsgefäßes eingebracht und fixiert und zentriert ist, während das andere Ende des
Trägers mit einem Sockel verbunden ist, der wenigstens eine Stromdurchführung für die erste
Elektrode aufweist.
Als vorteilhaft erweist es sich, dass aufgrund eines als Träger dienenden Quarzrohres die inne
re Elektrode formstabil fixiert und zentriert ist, wobei sich diese Anordnung insbesondere bei
einem impulsartig betriebenen Excimerstrahler bewährt hat.
Darüber hinaus ist eine hohe Stabilität auch bei langer Betriebsdauer zu erzielen.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Ansprüchen 2 bis 24 angege
ben.
Vorteilhafterweise ist der hohlkörperartige Abschnitt sich konisch verjüngend ausgebildet.
In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung weist der langgestreckte Träger eine elekt
risch isolierende Oberfläche auf, auf der Material für die erste Elektrode aufgebracht ist. Der
Träger für die innere Elektrode weist einen Hohlraum auf, der mit dem Entladungsraum in Gas
verbindung steht. Vorteilhafterweise ist der Träger als Quarzrohr ausgebildet.
Weiterhin ist in einer bevorzugten Ausführungsform der Sockel mit einem umlaufenden Rand
des Entladungsgefäßes vakuumdicht verbunden. Vorzugsweise besteht das Entladungsgefäß
aus Quarzglas ebenso wie der Sockel, wobei der Sockel mit dem als Quarzglaskolben ausge
bildeten Entladungsgefäß durch Schmelzen verbunden ist.
In einer ersten vorteilhaften Ausgestaltung ist an den hohlkörperartigen Abschnitt im Innenraum
des Entladungsgefäßes ein nach außen gerichteter rohrförmiger Abschnitt als Pumpstutzen
angefügt, der zum Anschluss an eine Pump- und Dosiervorrichtung vorgesehen ist; als vorteil
haft erweist es sich dabei, dass der hohlkörperartige Abschnitt zwar einerseits den als Quarz
rohr ausgebildeten Träger der ersten Elektrode ausreichend fixiert bzw. zentriert, jedoch keinen
hermetisch dichten Abschluss herbeiführt, so dass über den nach außen führenden rohrförmi
gen Abschnitt sowohl die Luft aus dem Innenraum des Entladungsgefäßes und ggf. des lang
gestreckten Trägers abgepumpt als auch das Füllgas für den späteren Betrieb zugeführt wer
den kann. Nach der Füllung des Entladungsgefäßes wird der zunächst als Pumpstutzen die
nende rohrförmige Abschnitt des Entladungsgefäßes als Abschmelzstutzen verwendet, wo
durch eine Abdichtung des Innenraums des Entladungsgefäßes erfolgt.
In einer zweiten vorteilhaften Ausgestaltung ragt der mit einem inneren Hohlraum versehene
Träger durch eine zentrische Öffnung im sich konisch verjüngenden, hohlkörperartigen Ab
schnitt des Entladungsgefäßes nach außen heraus, wobei die zentrische Öffnung gegenüber
der Außenfläche des hindurchgeführten Trägers durch Schmelzen gasdicht abgeschlossen ist;
der nach außen durch die Öffnung geführte Teil des Trägers ist als Pumpstutzen ausgebildet
und zum Anschluss an eine Pump- und Dosiervorrichtung vorgesehen.
Weiterhin dient der nach außen geführte Teil des Trägers der ersten (bzw. inneren) Elektrode
auch als Abschmelzstutzen für den Abdichtvorgang des Entladungsgefäßes.
In einer ersten Ausführungsform der inneren bzw. ersten Elektrode ist diese als spiralförmige
Wendel aus einem Metalldraht auf dem Träger angeordnet. Die erste Elektrode ist dabei vor
zugsweise als Nickel-Chrom-Draht-Wendel ausgebildet.
Die Wendel erweist sich insbesondere in der Fertigung als besonders vorteilhaft, da sie auf
einfache Weise auf den Träger für die erste Elektrode aufgeschoben werden bzw. der Träger
auf einfache Weise in die Wendel eingeschoben werden kann.
In einer zweiten Ausführungsform der ersten Elektrode ist diese in Form eines Metallnetzes auf
dem langgestreckten Träger angeordnet. Das Metallnetz besteht vorzugsweise aus Monel-
Metall (Nickellegierung mit Kupfer und Mangan).
In einer dritten Ausführungsform ist die erste Elektrode als elektrisch leitende Schicht vorzugs
weise Dickschicht, auf dem langgestreckten Träger aufgebracht; die aufgebrachte Schicht weist
im Wesentlichen Metall, insbesondere Edelmetall, auf.
In einer ersten Ausführungsform der äußeren Elektrode ist die zweite Elektrode als Metallnetz
auf der Außenfläche des Entladungsgefäßes angeordnet; dabei besteht das aufgebrachte Me
tallnetz im Wesentlichen aus Monel-Metall (Nickellegierung mit 30-32% Kupfer und 1% Man
gan).
In einer zweiten Ausführungsform ist die zweite Elektrode als spiralförmige Metall-Wendel auf
der Außenfläche des Entladungsgefäßes angeordnet; sie besteht vorzugsweise aus Nickel-
Chrom-Draht.
In einer dritten Ausführungsform ist die zweite Elektrode wenigstens teilweise als elektrisch lei
tende Beschichtung auf die Außenfläche des Entladungsgefäßes aufgebracht; dabei besteht die
zweite Elektrode im Wesentlichen aus Metall, insbesondere aus Edelmetall; die Beschichtung
ist für die im Entladungsgefäß erzeugte Strahlung wenigstens zum größten Teil durchlässig.
Als Edelmetall wird vorzugsweise Gold bzw. eine Goldlegierung eingesetzt.
In einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist der langgestreckte Träger der inneren E
lektrode als Hohlkörper ausgebildet, dessen Innenraum mit dem Entladungsraum in Gasverbin
dung steht, wobei der Innenraum des Trägers zur Aufnahme von Gettermaterial vorgesehen ist.
Im folgenden ist der Gegenstand der Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen in den Fig. 1 und 2 näher erläutert.
Fig. 1 zeigt eine seitliche Ansicht eines Excim erstrahlers in einer ersten Ausführungsform kurz
vor dem Abpump- und Quetschvorgang, wobei ein für den Anschluss an eine Pump- und Do
siervorrichtung vorgesehenes Quarzrohr sich direkt an den sich verjüngenden hohlkörperartigen
Abschnitt des Entladungsgefäßes anschließt.
Fig. 2 zeigt einen Querschnitt durch das Entladungsgefäß entlang der Linie AA der Fig. 1.
Fig. 3 zeigt eine seitliche Ansicht eines Excimerstrahlers in einer zweiten Ausführungsform
ähnlich wie in Fig. 1, wobei jedoch im Gegensatz zu Fig. 1 das zum Anschluss an eine
Pump- und Dosiervorrichtung vorgesehene Quarzrohr durch einen nach außen verlängerten
Teil des Trägers für die erste bzw. innere Elektrode gebildet ist.
Gemäß Fig. 1 weist das Entladungsgefäß 1 einen hohlzylindrisch ausgebildeten Teil 2 auf, der
an einem Ende mit einem offenen ringförmig umlaufenden Rand 3 abgeschlossen ist, während
das dem offenen Rand 3 abgewandte Ende 4 einen sich hohlkörperartig konisch verjüngenden
Abschnitt 5 aufweist, der in ein hohles Quarzrohr 6 mit verringertem Durchmesser mündet. Das
Entladungsgefäß 1 weist in seinem Inneren einen entlang einer Längsachse 7 als Quarzrohr
ausgebildeten Träger 8 für eine innere Elektrode auf, welcher von einer Wendel aus Metalldraht
als erste Elektrode 9 umwickelt ist. Die Kontaktierung der ersten Elektrode 9 mit einer Strom
durchführung 16 durch den Sockel 11 erfolgt mittels einer Kontaktbrücke 10. Als Werkstoff für
die auf dem als Träger dienenden Quarzrohr ausgebildete Wendel 9 ist vorzugsweise Nickel-
Chrom bzw. Nickel-Chrom-Draht vorgesehen. Es ist jedoch auch möglich, die erste bzw. innere
Elektrode durch Aufbringung einer Schicht aus leitfähigem Material bzw. durch ein Metallnetz
aus Monel-Metall oder Edelmetall auf dem Quarzrohr zu bilden.
Um trotz langgestreckter Innenelektrode eine ausreichende Stabilität in den bei Herstellung des
Strahlers erforderlichen Glühprozessen auch ohne äußere Kühlmaßnahmen aufrechtzuerhal
ten, wird ein Ende des Trägers 8 der ersten Elektrode in den sich im Längsschnitt gesehen
verjüngenden hohlkörperartigen Abschnitt 5 des Entladungsgefäßes 1 eingebracht und zent
riert.
Das zum offenen Ende am Rand 3 des Entladungsgefäßes 1 gerichtete Ende des Trägers 8 ist
mit dem ebenfalls aus Quarzglas bestehenden Sockel 11 verbunden, der an seinem zum Entla
dungsgefäß gerichteten Rand 12 mit dem umlaufenden Rand 3 des Entladungsgefäßes durch
Schmelzen verbunden ist. An den dem Sockel 11 abgewandten Ende 13 des Quarzglasrohres
bzw. Trägers 8 ist dieses in den sich annähernd konisch verjüngenden hohlkörperartigen Ab
schnitt 5 des Entladungsgefäßes 1 eingeschoben und somit entlang der Achse 7 gegen Aus
wandern in radialer Richtung arretiert bzw. zentriert.
Da es sich hierbei um eine lose Arretierung des Trägers 8 handelt, kann über das Quarzrohr 6 des
Entladungsgefäßes 1 die innere Atmosphäre des Entladungsraumes 15 abgepumpt und durch
ein Füllgas für die Entladung - beispielsweise Xenon mit einem Kaltfülldruck von wenigen mbar
bzw. Pa bis zu 981 mbar, bzw. 98,1 KPa, vorzugsweise einen Kaltfülldruck von ≦ 300 mbar,
bzw. 30 KPa - ersetzt werden. Es ist jedoch auch möglich, als Füllgas Edelgas enthaltende
Gasgemische einzusetzen. Nach dem Füllvorgang wird das Entladungsgefäß durch einen
Abschmelz- bzw. Quetschvorgang im Bereich des Quarzglasrohres 6 hermetisch dicht ver
schlossen, ebenso wie zuvor bereits im Bereich des unteren Randes 3.
Gemäß Fig. 2 befindet sich auf dem als Quarzglasrohr ausgebildeten Träger 8 die im Quer
schnitt dargestellte Wendel 9 als innere Elektrode, wobei diese formschlüssig auf dem Träger 8
aufliegt. Im Abstand zur ersten Elektrode bzw. Wendel 9 ist der im Querschnitt dargestellte zy
lindrische Teil 2 des Entladungsgefäßes 1 erkennbar, das den Entladungsraum 15 gegenüber
der Außenatmosphäre hermetisch dicht abschließt. Auf der Außenseite des Entladungsgefäßes
1 befindet sich im zylindrischen Teil 2 eine symbolisch dargestellte Schicht 17 als zweite Elekt
rode. Es ist jedoch auch möglich, eine zweite Elektrode aus einer Wendel oder einem Metall
netz auf die zylindrisch ausgebildete Außenfläche von Entladungsgefäß 1 einzusetzen.
Eine Schicht 17 als zweite bzw. äußere Elektrode besteht vorzugsweise aus einer elektrisch
leitenden Dickfilm-Schicht, welche Edelmetall - vorzugsweise Gold - enthält.
Es ist weiterhin auch möglich, eine zweite Elektrode durch PVD (Physical Vapour Deposition)
Flamm-Spritzen, Kathodenzerstäubung bzw. Drucken aufzubringen.
Nach Fig. 3 weist das Entladungsgefäß 51 - ähnlich wie in der Anordnung nach Fig. 1 - ei
nen hohlzylindrisch ausgebildeten Teil 52 auf, der an einem Ende mit einem offenen ringförmig
umlaufenden Rand 53 abgeschlossen ist, während das dem offenen Rand 53 abgewandte En
de 54 einen sich hohlkörperartig verjüngenden Abschnitt 55 aufweist, der in einen sich trichter
förmig verengenden Bereich 69 mit Öffnung 80 mündet. Das Entladungsgefäß 51 weist in sei
nem Inneren einen entlang einer Längsachse 57 als Quarzrohr ausgebildeten Träger 58 auf,
welcher im hohlzylindrisch ausgebildeten Teil 52 von einer Wendel aus Metalldraht als erste
Elektrode 59 umwickelt ist. Der Rand 82 des sich trichterförmig verengenden Bereichs 69 um
fasst eine elektrodenfreie Verlängerung 81 des rohrförmigen Trägers 58 entlang der Längsach
se 57 für die innere bzw. erste Elektrode 59, wobei im Herstellungsverfahren der Rand 82 mit
dem durch Öffnung 80 geführten Segment des Trägers 58 (Verlängerung 81) durch Schmelzen
vakuumdicht verbunden wird. Die Kontaktierung der ersten Elektrode 59 mit einer Stromdurch
führung 76 durch den Sockel 61 erfolgt mittels einer Kontaktbrücke 60.
Als Werkstoff für die auf dem als Träger dienenden Quarzrohr ausgebildete Wendel ist vor
zugsweise Nickel-Chrom bzw. Nickel-Chrom-Draht vorgesehen - wie es bereits zu Fig. 1 an
gegeben ist. Es ist jedoch auch möglich, die erste Elektrode durch Aufbringung einer Schicht
aus leitfähigem Material bzw. durch ein Metallnetz aus Monel-Metall oder Edelmetall auf dem
Quarzrohr zu bilden.
Um trotz langgestreckter Innenelektrode eine ausreichende Stabilität in den bei Herstellung des
Strahlers erforderlichen Glühprozessen auch ohne äußere Kühlmaßnahmen aufrechtzuerhal
ten, wird ein Ende des Trägers 58 der ersten Elektrode in den sich im Längsschnitt gesehen
verjüngenden hohlkörperartigen Abschnitt 55 des Entladungsgefäßes 51 eingebracht und zent
riert.
Das zum offenen Ende am Rand 53 des Entladungsgefäßes gerichtete Ende des Trägers 58 ist
mit dem ebenfalls aus Quarzglas bestehenden Sockel 61 verbunden, der an seinem zum Entla
dungsgefäß gerichteten Rand 62 mit dem umlaufenden Rand 53 des Entladungsgefäßes durch
Schmelzen vakuumdicht verbunden ist. An den dem Sockel 61 abgewandten Ende 63 des
Quarzglasrohres bzw. Trägers 58 ist dieses in den sich konisch verjüngenden hohlkörperartigen
Abschnitt 55 des Entladungsgefäßes eingeschoben und somit entlang der Achse 57 gegen
Auswandern in radialer Richtung arretiert bzw. zentriert.
Nach der Verschmelzung vom umlaufendem Rand 82 und dem elektrodenfreien Teil des Trä
gers 58 (Verlängerung 57) wird eine mechanisch feste und gasdichte Arretierung des Trägers
58 erzielt; somit kann nur über eine im Sockelbereich des Trägers 58 befindliche Öffnung zwi
schen dem Inneren des Quarzrohres und dem Entladungsraum 65 sowie ggf. über seitliche
Öffnungen 70 des als Träger 58 dienenden Quarzrohres eine Gasverbindung zur Pump- und
Dosiervorrichtung hergestellt werden. Die bedeutet, dass über den aus dem Entladungsraum
hinausragenden Teil des Trägers 58 die Atmosphäre im Entladungsraum evakuiert und an
schließend mit Gasfüllung für die Entladung versehen wird.
Dies bedeutet, dass die innere Atmosphäre des Entladungsraumes 15 zuerst über die Verlänge
rung 81 abgepumpt und durch ein Füllas für die Entladung - beispielsweise Xenon mit einem
Kaltfülldruck von wenigen mbar bis zu ca. 1000 mbar, vorzugsweise einen Kaltfülldruck von ≦
300 mbar - ersetzt wird. Es ist jedoch auch möglich, als Füllgas Edelgas enthaltende Gasgemi
sche einzusetzen. Nach dem Füllvorgang wird das Entladungsgefäß durch einen Abschmelz-
bzw. Quetschvorgang im Bereich der Verlängerung 81 des Quarzglasrohres hermetisch dicht
verschlossen.
Der Querschnitt der Ausführungsform nach Fig. 3 entspricht im Wesentlichen dem der Fig. 2,
wie sie zuvor beschrieben worden ist.
Bei der Ausführungsform gemäß Fig. 3 ist es darüber hinaus möglich Gettermaterial einzuset
zen.
Das Gettermaterial kann auf einfache Weise - beispielsweise in Form eines kurzen Bandes - in
das als langgestreckter Träger für die innere Elektrode dienende Quarzrohr eingebracht und mit
Hilfe eines Spaltes im Quarzrohr befestigt werden.
Claims (24)
1. Excimer-Strahler, insbesondere UV-Strahler, mit dielektrisch behinderter Entladung, wobei
in einem gegenüber der Umgebungsatmosphäre abgeschlossenen Entladungsraum eine
erste Elektrode auf einem langgestreckten Träger aufgebracht ist, der aus seiner Längsach
se in radialer Richtung gesehen im Abstand von einem den Entladungsraum begrenzenden
Entladungsgefäß aus dielektrischem, strahlungsdurchlässigen Material umgeben ist, wobei
auf der Außenseite des Entladungsgefäßes eine zweite Elektrode angeordnet ist, die für
wenigstens einen Teil der im Entladungsraum erzeugten Strahlung durchlässig ist, dadurch
gekennzeichnet, dass ein Ende des Trägers (8, 58) der ersten Elektrode in einen sich im
Längsschnitt gesehen verjüngenden hohlkörperartigen Abschnitt (5, 55) des Entladungsge
fäßes (1, 51) eingebracht und fixiert ist, während das andere Ende des Trägers (8, 58) mit
einem Sockel (11, 61) verbunden ist, der wenigstens eine Stromdurchführung (16, 66) für
die erste Elektrode (9, 59) aufweist.
2. Excimer-Strahler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der hohlkörperartige Ab
schnitt (5, 55) sich konisch verjüngt.
3. Excimer-Strahler nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Träger (8)
eine elektrisch isolierende Oberfläche aufweist, auf der Material für die erste Elektrode (9,
59) aufgebracht ist.
4. Excimer-Strahler nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der
Träger (8, 58) einen Hohlraum aufweist, der mit dem Entladungsraum in Gas-Verbindung
steht.
5. Excimer-Strahler nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Träger (8, 58) als
Quarzrohr ausgebildet ist.
6. Excimer-Strahler nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass der
Sockel (11, 61) mit einem umlaufenden Rand (3, 53) des Entladungsgefäßes (1, 51) vaku
umdicht verbunden ist.
7. Excimer-Strahler nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass das
Entladungsgefäß (1, 51) aus Quarzglas besteht.
8. Excimer-Strahler nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Sockel (11, 61) aus
Quarzglas besteht und mit dem als Quarzglaskolben ausgebildeten Entladungsgefäß (1)
durch Schmelzen verbunden ist.
9. Excimer-Strahler nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass an den
hohlkörperartigen Abschnitt (5) des Entladungsgefäßes ein nach außen gerichteter rohrför
miger Abschnitt (6) als Pumpstutzen angefügt ist, der zum Anschluss an eine Pump- und
Dosiervorrichtung vorgesehen ist.
10. Excimer-Strahler nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass der rohrförmige Abschnitt
(6) aus Quarz besteht.
11. Excimer-Strahler nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass der mit
einem inneren Hohlraum versehene Träger (58) durch eine zentrische Öffnung (80) im sich
verjüngenden, hohlkörperartigen Abschnitt (55) nach außen ragt, wobei die zentrische Öff
nung (80) gegenüber der Außenfläche des hindurchgeführten Trägers (58) durch Schmel
zen gasdicht abgeschlossen ist und der hindurchgeführte Teil des Trägers (58) als Pump
stutzen ausgebildet ist, der zum Anschluss an eine Pump- und Dosiervorrichtung vorgese
hen ist.
12. Excimer-Strahler nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass die
erste Elektrode (9, 59) als spiralförmige Wendel aus einem Metalldraht auf dem Träger (8,
58) angeordnet ist.
13. Excimer-Strahler nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Elektrode (9,
59) als Nickel-Chrom-Draht-Wendel ausgebildet ist.
14. Excimer-Strahler nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass die
erste Elektrode als Metallnetz auf dem Träger (8, 58) angeordnet ist.
15. Excimer-Strahler nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Elektrode aus
Monel-Metall besteht.
16. Excimer-Strahler nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass die
erste Elektrode (9, 59) als elektrisch leitende Schicht auf dem Träger (8, 58) aufgebracht ist.
17. Excimer-Strahler nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass die aufgebrachte
Schicht im Wesentlichen Metall, insbesondere Edelmetall, aufweist.
18. Excimer-Strahler nach einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass die
zweite
Elektrode als Metallnetz auf der Außenfläche des Entladungsgefäßes (1, 51) angeordnet ist.
19. Excimer-Strahler nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass das aufgebrachte Me
tallnetz im Wesentlichen aus Monel-Metall besteht.
20. Excimer-Strahler nach einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass die
zweite Elektrode als spiralförmige Metall-Wendel auf der Außenfläche des Entladungsgefä
ßes (1, 51) angeordnet ist.
21. Excimer-Strahler nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Elektrode
aus Nickel-Chrom-Draht besteht.
22. Excimer-Strahler nach einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass die
zweite Elektrode wenigstens teilweise als elektrisch leitende Beschichtung auf die Außen
fläche des Entladungsgefäßes (1, 51) aufgebracht ist.
23. Excimer-Strahler nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Elektrode im
Wesentlichen Metall, insbesondere Edelmetall, aufweist.
24. Excimer-Strahler nach einem der Ansprüche 4 bis 23, dadurch gekennzeichnet, dass der
Hohlraum des Trägers (8, 58) zur Aufnahme von Gettermaterial vorgesehen ist.
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