EP0178346B1 - Ultraschallwandler - Google Patents
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- EP0178346B1 EP0178346B1 EP84112594A EP84112594A EP0178346B1 EP 0178346 B1 EP0178346 B1 EP 0178346B1 EP 84112594 A EP84112594 A EP 84112594A EP 84112594 A EP84112594 A EP 84112594A EP 0178346 B1 EP0178346 B1 EP 0178346B1
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Definitions
- the invention relates to an ultrasonic transducer that can be used as a proximity switch or measuring sensor, as described in the preamble of claim 1.
- a known ultrasonic transducer of this type (US-A-3 555 311) has a multi-part cup-shaped inner housing made of metal, in the opening of which a piezoelectric element is seated.
- the bottom of this inner housing has a central opening through which two contact pins, which are connected to the piezoelectric field, are led out of the housing in an inserted sleeve.
- the inner housing is coated on all sides with plastic or enclosed by a one-piece plastic housing, the plastic forming an upper plate that transmits vibrations to the piezoelectric element and supports it. In the area of the lower plate of the inner housing, the plastic surrounds the aforementioned sleeve with an annular bulge.
- the metal inner housing also forms a reflector.
- FR-A-2 325 266 Another ultrasonic transducer is known (FR-A-2 325 266) in which a top plate made of closed-pore plastic is used to improve the resolving power when carrying out ultrasonic distance measurements and thus to reduce the reverberation time.
- a so-called "load ring”, which is also designed as a housing, is arranged on the side of the top plate carrying the piezoelectric element can be, but without this being explained in more detail.
- the load ring In relation to the top plate, the load ring must have a high weight and in one embodiment is made of aluminum, that is to say a material with a significantly higher specific weight than the open-pore plastic of the top plate, whose pore size should be between 30 ⁇ and 125 ⁇ .
- the invention has for its object to provide a generic ultrasonic transducer in such a way that with a low reverberation time a manageable can shape is given, as is desirable with proximity switches or sensors and makes access to the piezoelectric well possible.
- This object is achieved by the features of claim 1.
- the top plate material known per se for this purpose is also used as the material of the cylindrical wall of the one-piece housing and provided with pores, which are no longer defined by the lower and upper absolute sizes, but by the lower and upper middle sizes, which are between 50 ⁇ and 100 ⁇ lies.
- the cylindrical wall is designed so that it does not have a retracted bottom like that of the generic document, but the cylindrical wall is completely open on its side facing away from the top and by a large area lying within the free edge of the cylindrical wall Cover plate closed.
- the housing consists of a one-piece pot-shaped plastic part and its smooth cover.
- ultrasonic transducers have proven to be poorly suited for use as a proximity switch or sensor for determining the distance from a substrate, partly because they have a pulse decay time that is too long, partly because they are difficult to handle.
- the ultrasonic transducer according to the invention does not have any of these disadvantages.
- both the pulse rise time and the pulse fall time become short, as in FIG. 11.
- a piezoelectric element 12 with electrodes 12a and 12b is bonded to the inner surface of an upper plate 11a of the housing part 11 to form an integrated component (FIG. 1, 2).
- the housing part 11 has a cylindrical side wall 11b which is made in one piece with the top plate 11a.
- the open end portion of the housing part 11 is provided with a cover plate 13 to which a pair of terminal pins 14a and 14b are attached. Lead wires 15a and 15b extend between electrode 12a and pin 14a and between electrode 12b and pin 14b, respectively.
- the cover plate 13 is covered with an insulating layer 16. 17 denotes an insulating sleeve which is provided because the cover plate is formed from an electrical conductor, and cover plate 13 and the insulating layer form a lower plate within the free edge of the housing part 11.
- Both the top plate 11a and the side wall 11b are. made of porous plastic.
- porous plastic as used herein is intended to include a synthetic polymeric material that has a large number of closed cells that are distributed within the polymeric material.
- suitable porous plastics are synthetic polymer materials in which a large number of glass microballoons are distributed, as well as foamed synthetic polymer materials. which are produced in a conventional manner using foaming agents.
- the porous plastic has an average pore diameter that is between 50 and 100 microns.
- suitable polymer materials are epoxy resins, polyolefin resins, styrene resins, acrylic resins and vinyl chloride resins.
- the pulse rise and fall time can be shortened as shown in FIG. 11.
- the reduction in the pulse decay time advantageously leads to the reduction in the reverberation time.
- the top plate 11a contains a relatively large amount of air, the acoustic impedance of the top plate 11a approaches that of air. Therefore, the fitting conditions between the top plate 11a and the ambient air are improved, which leads to an improvement in the response, that is, a more intense output can be obtained after receiving an ultrasonic wave of constant intensity.
- an ultrasonic transducer whose housing is made of stainless steel, a pulse rise time of 0.5 ms, a pulse fall time of 2.0 ms and an output voltage of 0.4 V.
- An ultrasonic transducer whose housing is made of non-porous epoxy resin, provides a pulse rise time of 0.2 ms, a pulse fall time of 1.2 ms and an output voltage of 2.6 V.
- the one-piece housing part 11 is formed in its entirety from an epoxy resin in which a large Distributed number of glass microballoons, which have a diameter of 50 to 100 microns, there is a pulse rise and fall time of 0.2 or 1.2 ms, and the output voltage is 6.4 V.
- the thickness of the top plate 11a of the housing part 11 is about 1/4 of the wavelength of the speed of sound of the top plate 11a in order to achieve the best response.
- the ultrasonic transducer the housing part 11 of which is formed from porous plastic with an acoustic impedance of 1 x 3000 g / cm s, shows a wave-transmitting pulse characteristic, as shown by line 20 in FIG. 3.
- a tubular part or parts on the outside and / or or provides the inner circumference of the cylindrical side wall of the transducer (Fig. 4.5), the tubular part having a higher acoustic impedance than the cylindrical side wall.
- a tubular part 18 is provided within a housing and glued to the inner periphery of its cylindrical side wall 11b (Fig. 4). In an alternative embodiment, shown in Fig. 5 ... the tubular member 18 is adhered to the outer periphery of the side wall 11b.
- the arrangement of the tubular part 18 improves the vibration-damping effect on the side of the vibration housing in order to reduce the reverberation time.
- Attachment of tubular member 18 to side wall 11b can be accomplished by any known means, such as glue.
- the tubular part 18 is provided within the housing 11, then it is expedient to design the tubular part as an elastic tube, specifically a metal tube which has a slot 18a which extends parallel to the axis of the tube (FIG. 6). .
- the tube 18 has a larger outer diameter than the inner diameter of the side wall 11b in the free state. By inserting the tube 18 into the inside of the housing, the tube 18 is in pressure contact with the inner surface of the cylindrical side wall 11b.
- a rubber tube should be used which has a smaller inner diameter than the outer diameter of the cylindrical side wall 11b. By fitting the rubber tube 18 around the circumference of the side wall 11b, the tube is held in pressure contact with the side plate 11b.
- the side wall 11b is always the forces in the direction perpendicular to the axis of the cylinder. exposed side wall 11b and prevented from vibrating.
- the piezoelectric element in the form of a disc-shaped plate 12 is arranged concentrically on the top plate 11a, and that the top plate 11a has an annular portion which is arranged next to and along the outer circumference of the piezoelectric element and on which the thickness of the top plate is suddenly changed such that the transverse vibration originating from the circumference of the piezoelectric element can be absorbed or reduced at the annular section.
- the annular portion is a boundary area of a raised portion 11c provided from the outer surface (FIG. 7) and the inner surface of the top plate 11a on at least one of these surfaces.
- the annular section can also be an annular groove which is provided on the outer and inner surface of the top plate 11a on at least one of these surfaces (FIGS. 9, 10).
- annular groove 11c is shown in FIG. 8. It extends from the raised section above the piezoelectric element to the area of the cylindrical wall 11b.
- the height of the raised portion 11c and the depth of the ring groove 11d are not larger than 1/3 of the thickness D of the top plate 11a to prevent a decrease in responsiveness.
- tubular part 18 is not shown in FIGS. 7 to 10, since these only relate to the design of the top plate, it goes without saying that this part also in the above-mentioned embodiments according to FIGS. 7 to 10 to be used.
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Description
- Die Erfindung betrifft einen als Näherungsschalter bzw. Meßfühler einsetzbaren Ultraschallwandler, wie er im Oberbegriff des Anspruchs 1 beschrieben ist.
- Ein bekannter Ultraschallwandler dieser Art (US-A-3 555 311) weist ein mehrteiliges topfförmiges Innengehäuse aus Metall auf, in dessen Öffnung ein piezoelektrisches Element sitzt. Der Boden dieses Innengehäuses weist einen mittigen Durchbruch auf, durch den in einer eingesetzten Hülse zwei Kontaktstifte, welche an das piezoelektrische Feld angeschlossen sind, aus dem Gehäuse herausgeführt sind. Das Innengehäuse ist allseitig mit Kunststoff beschichtet bzw. von einem einstückigen Kunststoffgehäuse umschlossen, wobei der Kunststoff eine schwingungsübertragend mit dem piezoelektrischen Element verbundene und diese tragende Oberplatte bildet. Im Bereich der unteren Platte des Innengehäuses umschließt der Kunststoff mit einer ringwulstförmigen Ausstülpung die vorerwähnte Hülse. Das Innengehäuse aus Metall bildet zusätzlich einen Reflektor.
- Es ist ein anderer Ultraschallwandler bekannt (FR-A-2 325 266), bei welchem zur Verbesserung des Auflösungsvermögens bei der Vornahme von Ultraschall-Entfernungsmessungon und somit zur Verringerung der Nachhallzeit eine Oberplatte aus geschlossenporigem Kunststoff verwendet wird. An der das piezoelektrische Element tragenden Seite der Oberplatte ist ein sogenannter "Belastungsring" angeordnet, der auch als Gehäuse ausgebildet sein kann, ohne daß jedoch hierzu etwas näheres ausgeführt wäre. In Relation zur Oberplatte muß der Belastungsring ein hohes Gewicht aufweisen und ist in einem Ausführungsbeispiel aus Aluminium gebildet, also einem Material mit erheblich höherem spezifischen Gewicht als der offenporige Kunststoff der Oberplatte, dessen Porengröße zwischen 30 µ und 125 µ liegen soll.
- Ausgehend von diesem Stand der Technik liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, einen gattungsgemäßen Ultraschallwandler dahingehend auszubilden, daß bei geringer Nachhallzeit eine gut handhabbare Dosenform gegeben ist, wie sie bei Näherungsschaltern bzw. Meßfühlern wünschenswert ist und den Zugang zum piezoelektrischen gut möglich macht. Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Merkmale des Anspruchs 1 gelöst.
- Hierbei wird das zu diesem Zweck an sich bekannte Oberplattenmaterial auch als Material der zylindrischen Wand des insoweit einstückigen Gehäuses verwendet und mit Poren versehen, die nicht mehr durch die untere und obere absolute Größe, sondern durch die untere und obere mittlere Größe definiert sind, welche zwischen 50 µ und 100 µ liegt. Ferner wird die zylindrische Wand so ausgebildet, daß sie nicht, wie jene der gattungsbildenden Druckschrift, einen eingezogenen Boden aufweist, sondern die zylindrische Wand ist an ihrer der Oberseite abgekehrten Seite völlig offen ausgebildet und durch eine großflächige, innerhalb des freien Randes der zylindrischen Wand liegenden Abdeckplatte verschlossen. Das Gehäuse besteht also aus einem einstückig topfförmigen Kunststoffteil und dessen glattem Deckel.
- Bekannte Ultraschallwandler haben sich als schlecht geeignet zur Verwendung als Näherungsschalter oder Meßfühler für die Ermittlung des Abstandes von einem substrat erwiesen, teils weil sie eine zu lange Impuls-Abfallzeit aufweisen, teils weil sie schlecht handhabbar sind. Keinen diese Nachteile weist der erfindungsgemäße Ultraschallwandler auf.
- Es hat sich herausgestellt, daß dann, wenn das Gehäuse im wesentlichen aus einem Kunststoff gebildet ist, etwa aus Epoxidharz, sowohl die Impulsanstiegzeit als auch die Impulsabfallzeit kurz werden, wie in Fig. 11. Außerdem ergibt sich auch eine Verbesserung in der Intensität der Ausgangsspannung, die in Abhängigkeit vom Empfang einer Ultraschallwelle abgegeben wird.
- Ausführunsbeispiele des erfindungsgemäßen Ultraschallwandlers werden nun unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben; in diesen ist:
- Fig. 1
- eine teilweise geschnittene Draufsicht, welche schematisch ein Ausführungsbeispiel des Ultraschallwandlers der vorliegenden Erfindung zeigt,
- Fig. 2
- die Ansicht eines Aufrisses, der längs der Linie II-II in Fig. 1 vorgenommen wurde,
- Fig. 3
- ein Diagramm, welches eine Impulscharakteristik zeigt,
- Fig. 4
- ein Aufriß ähnlich Fig. 2, der schematisch ein weiteres Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung zeigt,
- Fig. 5
- eine Ansicht ähnlich Fig. 2, wobei ein weiteres Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung gezeigt ist,
- Fig. 6
- eine Perspektivansicht, die schematisch ein elastisches Metallrohr zeigt, welches in das Gehäuse zum Verringern der Reflexions- bzw. Nachhallzeit eingeführt werden soll,
- Fig. 7
- ein Aufriß ähnlich Fig. 2, der schematisch ein weiteres Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung zeigt,
- Fig. 8 bis 10
- jeweils ein Teilaufriß, die schematisch Alternativausführungen der Fig. 7 zeigen,
- Fig. 11
- ein Diagramm, welches die Impulscharakteristik des Wandlers der vorliegenden Erfindung zeigt.
- Ein piezoelektrisches Element 12 mit Elektroden 12a und 12b ist zur Bildung eines integrierten Bauteils an die Innenfläche einer Oberplatte 11a des Gehäuseteils 11 geklebt (Fig 1,2). Das Gehäuseteil 11 weist außer der Oberplatte 11a eine zylindrische Seitenwand 11b auf, welche einstückig mit der Oberplatte 11a ausgeführt ist. Der offene Endabschnitt des Gehäuseteils 11 ist mit einer Abdeckplatte 13 versehen, an welcher ein Paar Anschlußstifte 14a und 14b angebracht sind. Leitungsdrähte 15a und 15b erstrecken sich zwischen der Elektrode 12a und dem Anschlußstift 14a bzw. zwischen der Elektrode 12b und dem Anschlußstift 14b. Die Abdeckplatte 13 ist mit einer Isolierschicht 16 überdeckt. Mit 17 ist eine Isolierhülse bezeichnet, die vorgesehen ist, weil die Abdeckplatte aus einem elektrischen Leiter gebildet ist, und Abdeckplatte 13 und Isolierschicht bilden eine untere Platte innerhalb des freien Randes des Gehäuseteils 11.
- Sowohl die Oberplatte 11a als auch die Seitenwand 11b sind. aus porösem Kunststoff gebildet. Der Begriff "poröser Kunststoff", der hier verwendet wird, soll ein synthetisches Polymermaterial umfassen, das eine große Anzahl geschlossener Zellen aufweist, die innerhalb des Polymermaterials verteilt sind. Beispielhaft für geeignete poröse Kunststoffe sind synthetische Polymermaterialien, in welchen eine große Anzahl von Glas-Mikroballons verteilt ist, sowie aufgeschäumte, synthetische Polymermaterialien, die unter Verwendung von Aufschäummitteln in herkömmlicher Weise hergestellt sind. Der poröse Kunststoff hat einen mittleren Porendurchmesser, der zwischen 50 und 100 µ liegt. Beispielhaft für geeignete Polymermaterialien sind Epoxidharze, Polyolefinharze, Styrolharze, Acrylharze und Vinylchloridharze.
- Weil der Gehäuseteil 11 der vorliegenden Erfindung aus porösem Kunststoff geformt ist, werden die Impuls-Anstiegs-und -Abfallzeit verkürzt werden kann, wie in Fig. 11 dargestellt ist. Die Verringerung der Impuls-Abfallzeit führt vorteilhafterweise zur Verringerung der Nachhallzeit. Da außerdem die Oberplatte 11a eine verhältnismäßig große Luftmenge enthält, nähert sich die akkustische Impedanz der Oberplatte 11a jener von Luft. Deshalb sind die Anpaßbedingungen zwischen der Oberplatte 11a und der Umgebungsluft verbessert, was zu einer Verbesserung beim Ansprechverhalten führt,das heißt, es ist ein intensiverer Ausgang nach dem Empfang einer Ultraschallwelle gleichbleibender Intensität erzielbar.
- Es liefert beispielsweise ein Ultraschallwandler, dessen Gehäuse aus rostfreiem Stahl gebildet ist, eine Impulsanstiegszeit von 0,5 ms, eine Impulsabfallzeit von 2,0 ms und eine Ausgangsspannung von 0,4 V. Ein Ultraschallwandler, dessen Gehäuse aus nicht porösem Epoxidharz gebildet ist, liefert eine Impulsanstiegszeit von 0,2 ms, eine Impulsabfallzeit von 1,2 ms und eine Ausgangsspannung von 2,6 V. Im Fall eines erfindungsgemäßen Ultraschallwandlers, bei welchem das einstückige Gehause teil 11 inseiner Gesamtheit aus einem Epoxidharz gebildet ist, in welchem eine große Anzahl von Glas-Mikroballons verteilt ist, die einen Durchmesser von 50 bis 100 µ aufweisen, ergibt sich eine Impulsanstiegs und -abfallzeit von 0,2 bzw. 1,2 ms, und die Ausgangsspannung beträgt 6,4 V.
- Die Dicke der Oberplatte 11a des Gehäuseteils 11 beträgt etwa 1/4 der Wellenlänge der Schallgeschwindigkeit der Oberplatte 11a, um ein bestes Ansprechverhalten zu erreichen.
- Es zeigt beispielsweise der Ultraschallwandler, dessen Gehäusetiel 11 aus porösem Kunststoff mit einer akustischen Impedanz von 1 x 3000 g/cm s geformt ist, eine Wellen sendende Impulscharakteristik, wie sie durch die Linie 20 in Fig. 3 gezeigt ist.
- Wenn nun ausgehend von einem solchen, der Anmelderin intern bekannten Ultraschallwandler dessen Nachhallzeit weiter verringert werden soll, so kann eine solche Verringerung der Nachhallzeit (oder Impuls-Abfallzeit) erfindungsgemäß dadurch bewirkt werden, daß man ein rohrförmiges Teil oder Teile an dem Außen- und/oder Innenumfang der zylindrischen Seitenwand des Wandlers vorsieht (Fig. 4,5), wobei das rohrförmige Teil eine höhere akustische Impedanz aufweist als die zylindrische Seitenwand. Ein rohrförmiges Teil 18 ist innerhalb eines Gehäuses vorgesehen und mit dem Innenumfang seiner zylindrischen Seitenwand 11b verklebt (Fig. 4). In einer Alternativausführung, die in Fig. 5 gezeigt ... ist, ist das rohrförmige Teil 18 am Außenumfang der Seitenwand 11b angeklebt. Durch die Anordnung des rohrförmigen Teils 18 wird die schwingungsdämpfende Wirkung an der Seite des Schwinggehäuses verbessert, um die Nachhallzeit zu verringern. Die Befestigung des rohrförmigen Teils 18 an der Seitenwand 11b kann durch irgendwelche bekannten Mittel, etwa durch Kleber, bewirkt werden. Wenn das rohrförmige Teil 18 innerhalb des Gehäuses 11 vorgesehen ist, dann ist es zweckmäßig, das rohrförmige Teil als elastisches Rohr auszubilden, und zwar allgemein ein Metallrohr, welches einen Schlitz 18a aufweist, der sich parallel zur Achse des Rohres erstreckt (Fig. 6). Das Rohr 18 weist einen größeren Außendurchmesser als den Innendurchmesser der Seitenwand 11b in freiem Zustand auf. Durch Einsetzen des Rohrs 18 in das Innere des Gehäuses steht das Rohr 18 in Druckberührung mit der Innenfläche der zylindrischen Seitenwand 11b. Wenn in ähnlicher Weise das rohrförmige Teil 18 die Gehäusewand 11b umgeben soll, soll ein Gummirohr benutzt werden, das einen kleineren Innendurchmesser als der Außendurchmesser der zylindrischen Seitenwand 11b aufweist. Durch passendes Aufsetzen des Gummirohrs 18 rund um den Umfang der Seitenwand 11b wird das Rohr in Druckberührung mit der Seitenplatte 11b gehalten. Wenn das elastische rohrförmige Teil verwendet wird, ist die Seitenwand 11b stets den Kräften in der Richtung senkrecht zur Achse der zylindri. schen Seitenwand 11b ausgesetzt und an der Schwingung gehindert.
- Gemäß Fig. 7-10 ist das piezoelektrische Element in der Form einer scheibenförmigen Platte 12 konzentrisch an der Oberplatte 11a angeordnet, und daß die Oberplatte 11a, weist einen ringförmigen Abschnitt auf der neben und längs dem Außenumfang des piezoelektrischen Elements angeordnet ist und an welchem die Dicke der Oberplatte plötzlich derart geändert ist, daß die Querschwingung, die vom Umfang des piezoelektrischen Elements ausgeht, am ringförmigen Abschnitt absorbiert oder abgemildert werden kann.
- Der ringförmige Abschnitt ist ein Grenzbereich eines erhabenen Abschnitts 11c, der von der Außenfläche (Fig. 7) und der Innenfläche der Oberplatte 11a zumindest an einer dieser Flächen vorgesehen ist.
- Der ringförmige Abschnitt kann auch eine Ringnut sein, die von Außen- und Innenoberfläche der Oberplatte 11a an mindestens einer dieser Flächen vorgesehen ist (Fig. 9,10). Eine Möglichkeit einer Ringnut 11c ist in Fig. 8 dargestellt. Sie reicht von dem erhabenen Abschnitt oberhalb des piezoelektrischen Elementes bis in den Bereich der zylindrischen Wand 11b.
- Vorzugsweise sind die Höhe des erhabenen Abschnitts 11c und die Tiefe der Ringnut 11d nicht größer als 1/3 der Dicke D der Oberplatte 11a, um eine Verringerung im Ansprechverhalten zu verhindern.
- Auch wenn in den Figuren 7 bis 10, da diese nur die Ausgestaltung der Oberplatte betreffen, der Einfachheit halber das rohrförmige Teil 18 nicht eingezeichnet ist, so versteht es sich von selbst, daß dieses Teil auch in den genannten Ausführungsformen nach den Figuren 7 bis 10 eingesetzt werden soll.
Claims (4)
- Als geschlossenes Gehäuse und Ultraschallwandler ausgebildeter Näherungsschalter bzw. Meßfühler mit einem zylindrischen, unter Verwendung von Kunststoff gefertigten Gehäuse aus einer Oberplatte, mit deren Innenseite ein piezoelektrisches Element verbunden ist, mit einer zu der Oberplatte parallelen unteren Platte, durch die Anschlüsse der Elektroden des piezoelektrischen Elementes in der Form von gegeneinander isolierten Kontaktstiften aus dem Gehäuse herausgeführt sind und mit einer zylindrischen Wand zwischen Ober- und unterer Platte,
dadurch gekennzeichnet, daß die Oberplatte (11a) und zylindrische Wand (11b) einstückig aus einem aufgeschäumten Polymerharz mit einem mittleren Porendurchmesser zwischen 50 und 100µ, wobei die Oberplatte (11a) eine verhältnismäßig große Luftmenge zur Annäherung ihrer akustischen Impedanz an jene der Umgebungsluft und eine Dicke von etwa 1/4 der Wellenlänge ihrer Schallgeschwindigkeit aufweist, bestehen, wobei ein rohrförmiges Teil (18), das aus einem Material geformt ist, dessen akustische Impedanz größer ist als jene der zylindrischen Seitenplatte (11b), an mindestens einer von Innen- und Außenumfangsfläche der zylindrischen Seitenwand zum Verringern der Nachhallzeit vorgesehen ist und wobei der untere Abschluß des Gehäuses durch eine untere Platte (13, 16) erfolgt, die als selbständiges Element innerhalb des freien Randes der zylindrischen Wand liegt und eine außen mit einer Isolierschicht (16) versehenen Abdeckplatte (13) ist, durch die die Kontaktstifte (14a, 14b) hindurchgeführt sind, wobei einer von ihnen durch eine eingesetzte Isolierbuchse (17) gegenüber der Abdeckplatte isoliert ist. - Ultraschallwandler nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß das rohrförmige Teil ein elastisches Rohr (18) auf der Außenseite der Wand (11b) ist. - Ultraschallwandler nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß das rohrförmige Teil als mit einem Längsschlitz (18a) versehenes Metallrohr (18) an der Innenseite der Wand (11b) anliegt. - Ultraschallwandler nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß die Oberplatte (11a) eine in den Bereich der zylindrischen Wand (11b) hineinreichende Ringnut aufweist, die einen erhabenen Abschnitt (11c) der Innenseite der Oberplatte umgibt, an dem koaxial das piezoelektrische Element (12) befestigt ist.
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