DE2537788B2 - Ultraschallwandler - Google Patents

Ultraschallwandler

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Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen Ultraschailwandler, wie er im Oberbegriff des Patentanspruches angegeben ist.
Aus der DD-Patentschrift 56 124 ist es bekannt, für einen Ultraschallwandler ein Anpassungsglied mit λ.'4-Schichten vorzusehen, mit dem eine stufenweise Anpassung dieses Wandlers an ein flüssiges Medium erreicht wird. Für eine der λ/4-Schichten gilt, daß das Produkt aus Schallgeschwindigkeit und Dichte des Materials dieser Schicht angenähert gleich dem Wert des geometrischen Mittels ist, das sich für die Produkte aus Schallgeschwindigkeit und Dichte der angrenzenden Medien ergibt. Eine λ/4-Schicht dieses Anpassungsglieds kann dabei ein Anteil des Gehäuses des Wandlers sein.
Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, für eine Anpassung eines Ultraschallwandlers aus Piezokeramik an Luft als Schall-Ausbreitungsmedium für die λ/4-Schicht ein Material anzugeben, das trotz der anzustrebenden geringen, sich aufgrund der mathematischen Anpassungsbedingung ergebenden Dichte eine für die Schallabstrahlung in Luft ausreichend hohe mechanische Festigkeit hat.
Diese Aufgabe wird für einen Ultraschallwandler nach dem Oberbegriff erfindungsgemäß mit den Merkmalen des Kennzeichens des Patentanspruches gelöst.
Für die Schallabstrahlung in Luft als Schallausbreitungsmedium sind hohe Schwingamplituden des schallabgebenden Körpers erforderlich. Aus diesem Grunde ließ sich, wie der Erfinder festgestellt hat, Schaumpolystyrol für eine λ/4-Schicht zur Anpassung an Luft nicht verwenden, obwohl dieses Material eine geringe Dichte hat, die sich aufgrund der mathematischen Anpassungsbedingung für den Wellenwiderstand Qs ■ Cs = (qlCuQkCk)U2 ergibt. Es wurde gefunden, daß erst ein wie erfindungsgemäß verwendeter Schaumstoff mit sehr hoher Elastizität bei geringer Dichte das der Erfindung gesteckte Ziel erreichen läßt. Der erfindungsgemäß verwendete Schaumstoff hat eine so hohe mechanische Festigkeit, daß dieser Schaumstoff bei Anschlagen mit einem harten Gegenstand einen hellen, fast metallischen Klang von sich gibt. Dieses Material mit geringer Dichte und niedriger Schallgeschwindigkeit ist mechanisch robust und homogen und hat eine
h"> hohe Schwinggüte, d.h. geringe mechanische Dämpfung.
Bei einem ersten Ausführungsbeispiel wurden gläserne Hohlkugeln, deren Durchmesser ca. 0,1 mm betrug, mit Polystyrollack vermischt Nach dem Trocknen des Lackes erhielt man einen Schaumstoff mit einer Porengröße von ca. 0,1 mm und einer Dichte von ca. 03 g · cm"3. Dieses Material besaß eine akustische Impendanz von 3,6 · Wg · Cm2S-'.
Bei einem anderen Ausführungsbeispiel wurde ein Schaumstoff aus einer Mischung von Polystyrollack mit Hohlkugeln aus Silsziumdioxid, die einen Durchmesser zwischen den Werten 30 μπι und 125 μΐη und eine Wandstärke von ca. 2 μπι aufwiesen, hergestellt. Derartige Hohlkugeln sind unter dem Namen Eccosphsres SI der Fa. Emerson & Cumming bekannt Diese Kugeln bilden ein weißes Pulver mit einer Dichte von ca. 0,18 g · cm-3, die Dichte der Kugelwandungen beträgt im Mittel ca. 0,26 g · cm-3.
Ein aus vier Gewichtsteilen Benzol und einem Gewichtsteil Polystyrol bestehender Lack wurde mit zwei Gewichtsteilen dieser Siliziumdioxid-Hohlkugeln verrührt. Dabei wurde darauf geachtet, daß möglichst keine Luftblasen entstehen. Anschließend wurde die entstandene breiige Masse auf dem Boden eines Gefäßes zum Trocknen vergossen. Nach einer Trockenzeit von 2 Tagen erhält man eine Schaumstoffplatte mit einer Dichte von ca. 0,16 g · cm-3. Diese Platte gibt beim Anschlagen mit einem harten Gegenstand einen hellen, fast metallischen Klang von sich. Dieser Schaumstoff weist eine Schallgeschwindigkeit von ca. 1450 m/s auf, damit ergibt sich eine akustische Impedanz von 2,1 · ICg · cm-2s-'. Die Porengröße des Schaumes ist durch die Siliziumdioxid-Hohlkugeln vorgegeben. Die Dichte des Schaumes ist kleiner als die Dichte des Hohlkugelpulvers. Dies ist dadurch zu erklären, daß beim Verdunsten des Benzols das Polystyrol durch Kappillarkräfte an den Berührungspunkten zwischen den Kugeln kleine Polystyroltröpfchen bildet, der übrige Zwischenraum zwischen den Hohlkugeln bleibt leer. Im Vergleich zur dichtesten Kugelpackung der Siliziumdioxid-Hohlkugeln vergrößert sich damit der Abstand dieser Kugeln untereinander, so daß die Dichte des fertigen Schaumstoffes geringer ist als die Dichte des Hohlkugelpulvers. Dieser Schaumstoff hat sehr günstige akustische Eigenschaften, dafür sind wahrscheinlich die elastischen Eigenschaften der Hohlkugeln verantwortlich.
Das beschriebene Mischungsverhältnis für den Schaumstoff aus Siliziumdioxid-Hohlkugeln hat sich als optimal herausgestellt, bei kleinerem Polystyrolanteil leidet die mechanische Stabilität des Schaumstoffes, während eine Steigerung des Polystyrolanteiles um den Faktor 1,5 bereits die akustischen Eigenschaften deutlich verschlechtert, ohne die mechanische Stabilität des Schaumstoffes zu verbessern. Auch der richtige Benzolanteil ist wichtig, zuwenig Benzol ergibt einen zähen Brei, der sich nur schwer verrühren und vergießen läßt. Zuviel Benzol erschwert das Mischen, weil die Siliziumdioxid-Hohlkugeln dann auf dem Benzol-Polystyrol-Gemisch schwimmen, außerdem besitzt eine derartige Mischung eine lange Trocknungszeit und neigt zu Rißbildung und Schrumpfung.
Statt Polystyrol können auch Epoxidharz oder andere organische Harze verwendet werden.
Die getrocknete Schaumstoffplatte sollte an keiner Stelle dünner als 5 mm sein. Durch Schneiden und Schleifen werden danach die für den Ultraschallwandler
vorgesehenen λ/4-Schichten hergestellt
Im folgenden wird die Erfindung anhand der F i g. 1 und 2 erläutert die Ausführungsbeispiele von erfindungsgemäßen Ultraschallwandlern zeigen.
Die F i g. 1 stellt einen piezokeramischen Ultraschallwandler dar. Dieser besitzt eine:i, piezoelektrischen Keramikkörper I1 der beispielsweise zylindrisch ist und einen Durchmesser von 8,5 mm und eine Länge von 6,9 mm besitzt Die Piezokeramik ist in der Richtung der Längsachse des Zylinders gepolt Die Stirnflächen dieses Zylinders sind mit den Elektroden 2 und 3 versehen, die z. B. aus Silber bestehen können und durch Einbrennen hergestellt werden können. An diese Elektroden sind die Anschlußlitzen 20,30 angelötet, sie können mit einer Wechselspannungsquelle verbunden werden, so daß der Schallwandler Ultraschallschwingungen mit der Frequenz der Wechselspannung ausführt Zumindest eine der Elektroden ist kappenartig etwas über den Rand der Stirnfläche des Keramikzylinders herumgezogen. Damit ist es möglich, die _>o Anschlußlitze 30 seitlich anzulöten, so daß die Stirnfläche auf dieser Seite des Zylinders vollständig plan ist wie es zum Aufbringen der λ/4-Schicht 31 vorteilhaft ist Im Bereich einer Schwingungsknotenlinie, die hier mit der Linie 5 bezeichnet ist, kann der Ultraschallwandler in eine Halterung (nicht dargestellt) eingespannt werden.
Die Verbesserung des Wirkungsgrades des erfindungsgemäßen Ultraschallwandlers, die auf der speziellen Wahl des Materials für die λ/4-Schicht beruht, läßt erreichen, daß innerhalb des Ultraschallwardlers weniger Schallenergie in Wärme umgewandelt wird.
Ein wie erfindungsgemäßer Ultraschallwandler läßt eine relativ schmale Abstrahlkeule erreichen, wodurch er sich besonders gut für einen Ultraschall- Entfernungsmesser eignet. Bei einer solchen Entfernungsmessung wird ein Ultraschallimpuls ausgesandt, der von einem Objekt zum Ultraschallwandler zurückreflektiert wird. In diesem Ultraschallwandler wird nach Ablauf der Laufzeit des Ultraschallimpulses (vom Wandler zum -to Objekt und wieder zurück) ein entsprechendes elektrisches Ausgangssignal abgegriffen. Bei einem minimalen Objektabstand von ca. 40 cm beträgt die akustische Laufzeit ca. 2,4 ms.
Bislang war es schwierig, bei Ultraschallaussendung in Luft eine genügend kurze Abklingzeit des Ultraschallwandlers zu erreichen. Unter Abklingzeit versteht man eine Zeitspanne, die ein Ultraschallwandler nach Aussendung eines Schallimpulses benötigt, um wieder in Ruhezustand zu gelangen. Die λ/4-Schicht aus dem >o erfindungsgemäß verwendeten Material, das aufgrund seiner oben angegebenen Eigenschaften zu einer hohen Abstrahlleistung (auch bei nicht eingehaltener, oben angegebener mathematischer Bedingung bezüglich der Dichte) führt, bewirkt indirekterweise eine höhere Betriebsdämpfung des Ultraschallwandlers. Dessen AbkJingzeit wird damit drastisch vermindert Mit der erfindungsgemäß getroffenen Wahl des Materials für diese λ/4-Schicht wird somit erreicht, daß die Restschwingung des Ultraschallwar.dlers mit dem zeitlich nächstmöglichen Echoimpuls, d. h. mit dem nach kürzester Zeit von einem Objekt reflektierten Schallimpuls, interferiert Das in der F i g. 1 dargestellte Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Ultraschallwandlers besitzt eine Abklingzeitkonstante von 0,24 ms, d. h. nach einer Zeitspanne von 0,24 ms ist die Amplitude des Schallwandlers auf ihren halben Wert abgesunken.
Aufgrund der höheren Betriebsdämpfung besitzt der erfindungsgemäß ausgestattete Ultraschallwandler eine entsprechend größere Bandbreite, so daß auch solche Frequenzen, die von der Resonanzfrequenz des Wandlers abweichen, noch mit einer großen Schallintensität erzeugt werden können.
Der in der F i g. 1 dargestellte Ultraschallwandler besitzt eine Serienresonanzfrequenz von 190 kHz und eine Parallelresonanzfrequenz von 230 kHz. Aufgrund der höheren Leistungsaufnahme bei dieser Resonanz wurde der Wandler in Parallelresonanz betrieben. Dabei beziehen sich Parallelresonanz und Serienresonanz auf das Ersatzschaltbild des Wandlers. Bei Parallelresonanz wird die Resonanz einer Kapazität und eine dazu parallel liegenden Induktivität angeregt, bei Serienresonanz die Resonanz einer Kapazität und einer dazu in Reihe liegenden Induktivität
Ein anderes vorteilhaftes Beispiel für einen Wandler mit λ/4-Schicht ist ein Radialschwinger, wie er in F i g. 2 dargestellt ist. Diese Wandler besitzt einen scheibenförmigen, kreisförmigen Keramikkörper 11, der auf seinen beiden Stirnflächen die Elektroden 12, 13 besitzt. Auf einer Elektrode ist die λ/4-Schicht 14 aufgeklebt. Wird an die Elektroden eine Wechselspannung gelegt, so führt der Keramikkörper Radialschwingungen aus, gleichzeitig werden in Dickenrichtung des Keramikkörpers Kontraktionen und Expansionen erzeugt. Durch die λ/4-Schicht auf der einen Stirnfläche wird wiederum vorteilhafterweise erreicht, daß fast nur von dieser Stirnfläche Schallenergie abgestrahlt wird, nicht aber von der anderen Stirnfläche bzw. vom Körperrand.
Eine λ/4-Schicht aus erfindungsgemäß verwendetem Material für Schallstrahlung in Luft kann auch bei anderen Wandlerkonstruktionen verwendet werden, z. B. bei einem Biegeschwinger, bei dem eine Keramiklamelle zu Biegeschwingungen erregt wird. In diesem Falle liegt die λ/4-Schicht auf einer Seite der Lamelle.
Es ist auch möglich, magnetostriktive Ultraschallwandler an einer Schallabstrahlfläche mit einer λ/4-Schicht mit erfindungsgemäß verwendetem Material auszurüsten.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (1)

  1. Patentanspruch:
    Ultraschallwandler zur Aussendung von Ultraschallschwingungen vorgegebener Wellenlängen in ein Ausbreitungsmedium, mit einem Wandlerkörper r> und mit einer an das Ausbreitungsmedium angrenzenden λ/4-Schicht, die einen Kunststoff enthält und eine akustische Impendanz hat, die zwischen der des Materials des Wandlerkörpers und dem des Ausbreitungsmediums liegt, dadurch gekenn- κ» zeichnet, daß der Wandlerkörper (1) aus Piezokeramik besteht und daß zur Aussendung in Luft als Ausbreitungsmedium die λ/4-Schicht (31) aus Hohlkugeln aus Glas oder Siliziumdioxid besteht, die mittels eines organischen Harzes, wie '5 Epoxydharz oder mittels Polystyrol zu einem Schaumstoff gewunden sind, der bei einer an Luft als Ausbreitungsmedium angepaßten akustischen Impedanz kleine Dichte und hohe Schwinggüte aufweist
    20
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3431620A1 (de) * 1984-08-28 1986-03-13 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Material fuer anpassungskoerper fuer ultraschall-wandler
DE9003124U1 (de) * 1990-03-16 1990-06-21 Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen, De
DE3911047A1 (de) * 1989-04-05 1990-10-11 Pepperl & Fuchs Ultraschallwandler
DE3920663A1 (de) * 1989-06-23 1991-01-10 Siemens Ag Breitstrahlender ultraschallwandler
DE4325398C1 (de) * 1993-07-29 1994-07-21 Grieshaber Vega Kg Schallwandler mit einer chemisch beständigen Anpaßschicht und Verfahren zur Herstellung einer solchen Anpaßschicht
DE4230773C2 (de) * 1992-09-15 2000-05-04 Endress Hauser Gmbh Co Ultraschallwandler
DE10344741A1 (de) * 2003-09-25 2005-04-14 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Schall- oder Ultraschallwandler
DE102009022187A1 (de) * 2009-05-20 2010-11-25 Valeo Schalter Und Sensoren Gmbh Ultraschallsensor und/oder Ultraschallwandler in einem geschlossenen Gehäuse und ein Herstellungsverfahren

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4184094A (en) * 1978-06-01 1980-01-15 Advanced Diagnostic Research Corporation Coupling for a focused ultrasonic transducer
NL7904924A (nl) * 1979-06-25 1980-12-30 Philips Nv Akoestische transducent.
DE3401979A1 (de) * 1984-01-20 1985-07-25 Pepperl & Fuchs Gmbh & Co Kg, 6800 Mannheim Ultraschall-wandler
US4656384A (en) * 1984-10-25 1987-04-07 Siemens Aktiengesellschaft Ultrasonic detection sensor in hybrid structure with appertaining electronic circuit
DE3832947C2 (de) * 1988-09-28 1996-04-11 Siemens Ag Ultraschall-Wandler
DE3842759C2 (de) * 1988-12-19 1997-12-18 Siemens Ag Richtscharfer Ultraschall-Wandler mit gekrümmter Abstrahlfläche
DE4424194C1 (de) * 1994-07-08 1996-02-08 Sonotec Dr Zur Horst Meyer Und Ultraschallwandler
DE19725003A1 (de) * 1997-06-13 1998-12-17 Philippron Jean Claude Schalldämpfer und Schalldämmstoff
DE19811982C5 (de) * 1998-03-19 2011-02-03 Microsonic Gesellschaft für Mikroelektronik und Ultraschalltechnik mbH Ultraschall-Luftfederanordnung
DE102007047013A1 (de) * 2007-10-01 2009-04-02 Robert Bosch Gmbh Reaktionsharz und Zweikomponentensystem zur Herstellung desselben
DE102007060989A1 (de) * 2007-12-14 2009-06-18 Endress + Hauser Flowtec Ag Ultraschallwandler zur Bestimmung und/oder Überwachung eines Durchflusses eines Messmediums durch ein Messrohr
DE102012000275A1 (de) 2012-01-10 2013-07-11 Nicolay Verwaltung Gmbh Schallwandler, insbesondere Ultraschallwandler, und Verfahren zu dessen Herstellung
DE102014110163A1 (de) * 2014-07-18 2016-01-21 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Vorrichtung zur Bestimmung oder Überwachung einer physikalischen oder chemischen Prozessgröße eines Mediums
DE102017107331A1 (de) 2017-04-05 2018-10-11 Turck Holding Gmbh Ultraschallsensor

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3431620A1 (de) * 1984-08-28 1986-03-13 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Material fuer anpassungskoerper fuer ultraschall-wandler
DE3911047A1 (de) * 1989-04-05 1990-10-11 Pepperl & Fuchs Ultraschallwandler
DE3920663A1 (de) * 1989-06-23 1991-01-10 Siemens Ag Breitstrahlender ultraschallwandler
DE9003124U1 (de) * 1990-03-16 1990-06-21 Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen, De
DE4230773C2 (de) * 1992-09-15 2000-05-04 Endress Hauser Gmbh Co Ultraschallwandler
DE4325398C1 (de) * 1993-07-29 1994-07-21 Grieshaber Vega Kg Schallwandler mit einer chemisch beständigen Anpaßschicht und Verfahren zur Herstellung einer solchen Anpaßschicht
DE10344741A1 (de) * 2003-09-25 2005-04-14 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Schall- oder Ultraschallwandler
DE102009022187A1 (de) * 2009-05-20 2010-11-25 Valeo Schalter Und Sensoren Gmbh Ultraschallsensor und/oder Ultraschallwandler in einem geschlossenen Gehäuse und ein Herstellungsverfahren

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Publication number Publication date
DE2537788C3 (de) 1980-04-10
DE2537788A1 (de) 1977-03-10

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