DE2752734B1 - Als Obertonresonator verwendeter Dickenscherschwinger - Google Patents

Als Obertonresonator verwendeter Dickenscherschwinger

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DE2752734B1
DE2752734B1 DE2752734A DE2752734A DE2752734B1 DE 2752734 B1 DE2752734 B1 DE 2752734B1 DE 2752734 A DE2752734 A DE 2752734A DE 2752734 A DE2752734 A DE 2752734A DE 2752734 B1 DE2752734 B1 DE 2752734B1
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resonator
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Werner Mattuschka
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Siemens AG
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    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/15Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
    • H03H9/17Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
    • H03H9/19Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator consisting of quartz

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Description

IL f
= (4 bis 5) · 10"
bestimmt ist, wobei f die Betriebsfrequenz des Resonators ist. 5»
Die Erfindung bezieht sich auf einen als Obertonresonator verwendeten Dickenscherschwinger für einen quarzstabilisierten Oszillator im MHz-Bereich, wobei die Verwendung des zur Zusammenarbeit mit einer im wesentlichen aperiodischen Schwingschaltung bestimmten Resonators ohne zusätzliche Frequenzselek- bo tionsmittel durch bestimmte Abmessungsverhältnisse des Resonators ermöglicht ist.
Ein solcher Resonator ist aus der DE-AS 26 41 571 bekannt. Dieser Resonator kann ohne zusätzliche Selektionsmittel zusammen mit einer insbesondere in μ integrierter Schaltungstechnik erstellten aperiodischen Schwingschaltung entweder mit der dritten oder fünften Harmonischen oder Resonatorgrundfrequenz betrieben werden, wobei jeweils die Grundschwingung und die dritte Harmonische beim Betrieb mit der fünften Harmonischen oder die Grundichwingung und die fünfte Harmonische beim Betrieb mit der dritten Harmonischen in ausreichender Weise durch bestimmte Abmessungen des Resonators selbst und seiner Anregungselektroden unterdrückt wird.
Liegt die gewünschte Betriebsfrequenz des Resonators und der Oszillatorschaltung jedoch z. B. in dem für den dritten Oberton eines Dickenscherungsschwingers relativ niedrigen Frequenzbereich von ca. 10 bis 25 MHz, so kann es bei bestimmten Anwendungsfällen, insbesondere auch durch den Einfluß der integrierten Schaltung, zu einer nicht genügenden Unterdrückung der fünften Harmonischen kommen.
Aufgabe der Erfindung ist es daher, einen Resonator der eingangs genannten Art so weiterzubilden, daß bei diesem eine noch bessere Unterdrückung des Grundtones und der unerwünschten Harmonischen gewährleistet werden kann.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch eine den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruches 1 entsprechende Ausbildung eines solchen Resonators gelöst.
Daß die bi- bzw. plankonvexe, also halblinsenförmige oder linsenförmige Ausbildung plattenförmiger Dickenscherungsschwinger, die kreisscheibenförmig ausgebildet sind oder in Form rechteckiger oder quadratischer Platten vorliegen, gegenüber solchen Dickenscherungsschwingern, die planparallele große Oberflächen aufweisen, Vorteile bringen können, ist schon seit langem bekannt, z. B. aus der DE-AS 10 81 065 oder der DE-AS 12 44 250. So ist z. B. in Spalte 4, Zeilen 28 bis 32 der DE-AS 10 81 065 ausgeführt, daß durch die linsenförmige Ausbildung eines piezoelektrischen Resonators, der als Dickenscherungsschwinger betrieben wird, die Randschwingungen ohnehin schon schwächer sind, als bei Körpern mit ebenen Begrenzungsflächen. Im allgemeinen führt dies dazu, daß der Durchmesser bzw. die Diagonale eines Resonators mit linsenförmiger oder halblinsiger Ausbildung kleiner gemacht werden kann, als bei solchen Resonatoren, die planparallele Begrenzungsflächen aufweisen, so daß z. B. die Gefahr des Zerbrechens solcher Resonatoren vermindert werden kann. Darüber hinaus befaßt sich die DE-AS 10 81 065 jedoch nur mit Maßnahmen, die beim Betrieb eines piezoelektrischen Resonators in der Grundschwingung die Unterdrückung parasitärer Nebenwillen ermöglicht und die DE-AS 12 44 250 mit der Erzeugung sog. Dickenscherungs-Randschwingungen der zweiten oder dritten Ordnung, die jedoch keine ganzzahligen Vielfachen der Grundschwingung eines solchen piezoelektrischen Resonators sind.
Weitere Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Merkmalen der Unteransprüche.
Anhand von vier Figuren werden nachstehend Ausführungsbeispiele der Erfindung noch näher erläutert.
Dabei zeigen in grobschematischer Darstellung
F i g. I einen kreisscheibenförmigen plankonvexen,
F i g. 2 einen kreisscheibenförmigen bikonvexen,
F i g. 3 einen quadratischen und
F i g. 4 einen rechteckförmigen Resonator, wobei die beiden letzteren ebenfalls entweder plan- oder bikonvex ausgebildet sind.
Im einzelnen ist den Figuren zu entnehmen, daß bei den entweder kreisscheibenförmigen, quadratischen oder rechteckigen Resonatoren 1 zumindest eine der beiden großen Oberflächen 2 linsenförmig gewölbt ist.
Der Bereich maximaler Dicke befindet sich daher in der Mitte des Resonators. Diese maximale Dicke d soll in Millimetern den Wert η ■ 1700)//haben, wobei anstelle von f die gewünschte Betriebsfrequenz in kHz einzusetzen ist und π die Ordnungszahl der gewählten Harmonischen ist Dies ergibt z. B. bei einer Betriebsfrequenz von 20 MHz und einem Betrieb des Resonators mit der 3. Harmonischen (n = 3) eine maximale Resonatordicke von ca. 0,25 mm. Der Durchmesse! D des Resonators bei kreisscheibenförmiger Ausbildung ι ο des Resonators ist ca. (54 bis 72)/n-mal so groß wie die maximale Dicke des Resonators zu wählen. Somit ergibt sich ein Resonatordurchmesser Dbei einer Betriebsfrequenz von 20 MHz im 3. Oberton von ca. 5 mm, wobei
als Multiplikator der Wert y = 20 gewählt worden ist. '5 Bei quadratischem oder rechteckförmigem Resonatorformat ist die Diagonale D ebenfalls (54 bis 72)/n-mal so groß wie die maximale Dicke des Resonators zu bemessen.
Der Resonator kann entweder plankonvex, also halblinsig, oder bikonvex, also mi* linsenförmigem Querschnitt versehen werden.
Bei plankonvexer Ausbildung des Resonators ist der Linsenradius 3 so zu bemessen, daß sich sein Wert aus der Multiplikation der reziproken maximalen Dicke des Resonators mit einem zwischen 140 und 180 liegenden Zahlenwert ergibt. Ein Dickenscherungsschwir jer für die Betriebsfrequenz von 20 MHz ist daher bei einer maximalen Dicke von 0,25 mm und einem Durchmesser jo von 5 mm bei plankonvexer Ausbildung des Resonators mit einem Linsenradius 3 von etwa 600 mm zu versehen, wobei als Multiplikator der Wert 150 verwendet wurde. Bei einer ebenfalls möglichen bikonvexen, also linsenförmigen Ausbildung des Resonators ist für die Linsenradien 4 der doppelte Wert des Linsenradius 3 anzusetzen. Somit ergibt sich für die Linsenradien 4 bei bikonvexem Resonator ein Wert von 1200 mm. Gleiche Wer'e für den Linsenradius 3 bzw. die Linsenradien 4 sind auch bei einer quadratischen oder rechteckförmigen Ausbildung des Resonators zu wählen.
Um die Selektivität des Resonators bezüglich der gewünschten z. B. der dritten Harmonischen noch weiter zu verbessern, ist der Durchmesser der konzentrisch zum Resonatormittelpunkt vorgesehenen Anregungselektroden 5, die bei allen Resonatorformaten im wesentlichen vorteilhaft kreisförmig ausgebildet sind, etwa gleich dem 0,4- bis 0,5fachen von D, also dem Resonatordurchmesser oder der Resonatordiagonalen zu wählen. Bei einem Resonatordurchmesser von 5 mm sind daher die Anregungselektroden mit einem Durchmesser von ca. 2,5 mm zu versehen.
Die Elektrodenmasse, d. h. die Menge des auf den Resonator zur Bildung der Elektroden aufzudampfenden oder jedenfalls auf diesen aufzubringenden leitenden Materials, ist so zu wählen, daß der noch unbeschichtete, also nackte Resonator, etwa eine um
Af-
IO-3· f
(4 bis 5)
höhere Schwingfrequenz aufweist, als die gewünschte Betriebsfrequenz f. Bei einer Betriebsfrequenz von 20MHz ist also der nackte Resonator bei der Feinbearbeitung so zu bemessen, daß er mit einer Frequenz von /= 20,080 bis 20,100 MHz schwingt. Diese Schwingfrequenz ist dann durch eine so lange fortgesetzte Beschichtung oder Bedampfung des Resonators mit Elektrodenmaterial herabzusetzen, bis die gewünschte Betriebsfrequenz von 20 MHz erreicht ist.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (3)

Patentansprüche:
1. Als Obertonresonator verwendeter Dickenscherschwinger für einen quarzstabilisierten Oszillator im M Hz-Bereich, wobei die Verwendung des zur Zusammenarbeit mit einer im wesentlichen aperiodischen Schwingschaltung bestimmten Resonators ohne zusätzliche Frequenzselektionsmittel durch bestimmte Abmessungsverhältnisse des Resonators ermöglicht ist, dadurch gekennzeichnet, daß der als plan- oder bikonvexe Scheibe ausgebildete Resonator (1) mit einer maximalen Resonatordicke (d) in Millimetern von ca. (λ ■ 1700)//versehen ist, wobei /die Betriebsfrequenz in kHz und η die Ordnungszahl der erwünschten Harmonischen ist, daß der Radius (3) der konvoxen Wölbung des Resonators in Millimetern bei plankonvex ausgebildetem Resonator ca. das 140- bis 180fache des Kehrwertes der maximalen Resonatordicke (d) und bei bikonvex ausgebildetem Resonator ca. das 280 bis 360fache dessen (d) ist und daß bei im wesentlichen kreisscheibenförmiger Resonatorkonfiguration der Resonatordurchmesser (D) und bei im wesentlichen rechteckförmiger Resonatorkonfiguration die Rechteckdiagonale (D) gleich ca. dem (54 bis 72)/n-fachen der maximalen Resonatordicke bemessen ist.
2. Obertonresonator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Durchmesser der konzen- jo trisch zum Scheibenmittelpunkt auf den beiden großen Oberflächen des Resonators (1) einander gegenüberliegend angeordneten Anregungselektroden (5) ca. dem 0,4- bis 0,5fachen des Durchmessers (D) bei im wesentlichen kreisscheibenförmigem r> Resonator oder der Diagonalen (D) bei im wesentlichen rechteckförmigem Resonator entspricht.
3. Obertonresonator nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Masse der Anregungselektroden (5) durch einen relativen Frequenzunterschied zwischen dem elektrodenfreien (nackten) und dem mit den Anregungselektroden (5) versehenen Resonator (1) von ca.
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FR7832521A FR2410391A1 (fr) 1977-11-25 1978-11-17 Resonateur producteur d'harmoniques
US05/962,384 US4188557A (en) 1977-11-25 1978-11-20 Piezoelectric overtone resonator with at least a convex surface and specific thickness and diameter or diagonal
IT3004978A IT1100292B (it) 1977-11-25 1978-11-22 Risonatore armonico

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3623840A1 (de) * 1985-07-15 1987-01-15 Seikosha Kk Dickenscherquarzschwinger

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4365182A (en) * 1980-10-14 1982-12-21 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Method of fabricating acceleration resistant crystal resonators and acceleration resistant crystal resonators so formed
US4375604A (en) * 1981-02-27 1983-03-01 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Method of angle correcting doubly rotated crystal resonators
JPH0640612B2 (ja) * 1986-03-31 1994-05-25 朝日電波株式会社 圧電振動子
US5283496A (en) * 1988-07-20 1994-02-01 Asahi Dempa Co., Ltd. Thickness shear crystal resonator and manufacturing method therefor
JPH0230207A (ja) * 1988-07-20 1990-01-31 Asahi Denpa Kk 水晶振動子及びその製造方法
EP0459631B1 (de) * 1990-04-27 1998-08-12 Seiko Epson Corporation In AT-Richtung geschnittenes Kristalloszillatorelement und sein Herstellungsverfahren
US6658376B1 (en) 1999-06-15 2003-12-02 Seiko Epson Corporation Determination of vibration frequency characteristics of electroded crystal plate
JP4563437B2 (ja) * 2007-10-18 2010-10-13 日本電波工業株式会社 2回回転yカット板からなる水晶振動子
US8174352B2 (en) * 2008-06-26 2012-05-08 Cornell University Method for making a transducer, transducer made therefrom, and applications thereof
WO2014123519A1 (en) 2013-02-06 2014-08-14 Empire Technology Development Llc Devices, systems, and methods for detecting odorants
US20170040971A1 (en) * 2014-01-30 2017-02-09 Empire Technology Development Llc Crystal oscillators and methods for fabricating the same
US20160349216A1 (en) * 2014-01-30 2016-12-01 Empire Technology Development Llc Odor sensors
US10686425B2 (en) * 2017-06-30 2020-06-16 Texas Instruments Incorporated Bulk acoustic wave resonators having convex surfaces, and methods of forming the same
US10615772B2 (en) 2017-06-30 2020-04-07 Texas Instruments Incorporated Acoustic wave resonators having Fresnel surfaces
US10622966B2 (en) 2017-07-26 2020-04-14 Texas Instruments Incorporated Bulk acoustic wave resonators having a phononic crystal acoustic mirror
US10855251B2 (en) 2017-08-08 2020-12-01 Texas Instruments Incorporated Unreleased plane acoustic wave resonators

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2159796A (en) * 1937-11-30 1939-05-23 Rca Corp Quartz piezoelectric element
DE1244250B (de) * 1959-04-09 1967-07-13 Tokujiro Ando Kristallschwinger in Form einer konvexen, vorzugsweise bikonvexen Linse
GB1401042A (en) * 1972-05-30 1975-07-16 Suisse Horlogerie Quartz crystal resonator
JPS5069981A (de) * 1973-10-24 1975-06-11
US4017753A (en) * 1975-02-05 1977-04-12 Kabushiki Kaisha Meidensha Shaped quartz crystal resonator
DE2641571B1 (de) * 1976-09-15 1977-06-08 Siemens Ag Als obertonquarz verwendeter dickenscherungsschwinger

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3623840A1 (de) * 1985-07-15 1987-01-15 Seikosha Kk Dickenscherquarzschwinger

Also Published As

Publication number Publication date
FR2410391B1 (de) 1982-07-02
US4188557A (en) 1980-02-12
IT1100292B (it) 1985-09-28
IT7830049A0 (it) 1978-11-22
FR2410391A1 (fr) 1979-06-22

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8230 Patent withdrawn