DE3026655A1 - Piezoelektrischer schwinger - Google Patents
Piezoelektrischer schwingerInfo
- Publication number
- DE3026655A1 DE3026655A1 DE19803026655 DE3026655A DE3026655A1 DE 3026655 A1 DE3026655 A1 DE 3026655A1 DE 19803026655 DE19803026655 DE 19803026655 DE 3026655 A DE3026655 A DE 3026655A DE 3026655 A1 DE3026655 A1 DE 3026655A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- electrode
- plate
- electrodes
- piezoelectric
- damping means
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000013016 damping Methods 0.000 claims description 37
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 claims description 20
- 239000011324 bead Substances 0.000 claims description 19
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 13
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 9
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000007767 bonding agent Substances 0.000 claims description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 2
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 claims 1
- 239000004568 cement Substances 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 10
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 9
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 7
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 5
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 3
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 3
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 2
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 2
- 101100400378 Mus musculus Marveld2 gene Proteins 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101150109310 msrAB1 gene Proteins 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
- H03H9/177—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator of the energy-trap type
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/0538—Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements
- H03H9/0542—Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements consisting of a lateral arrangement
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/10—Mounting in enclosures
- H03H9/1007—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
- H03H9/1035—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by two sealing substrates sandwiching the piezoelectric layer of the BAW device
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/54—Filters comprising resonators of piezo-electric or electrostrictive material
- H03H9/56—Monolithic crystal filters
- H03H9/562—Monolithic crystal filters comprising a ceramic piezoelectric layer
Description
Glawe, Delfs, KoIl & Partner - ρ 9715/80 - Seite ßf
Beschreibung
Die Erfindung "betrifft einen Schwinger mit piezoelektrischen
Keramikbestandteilen und insbesondere den Aufbau eines piezoelektrischen Schwingers des Typs mit eingefangener
Energie, der Schwingungen der Art mit Dickenänderung erzeugt.
Konventionell sind verschiedene Typen dieses Schwingers vorgeschlagen worden, die für die Benutzung in Filtern,
Resonatoren, Oszillatoren, Sperren und Diskriminatoren geeignet sind. Ein typischer piezoelektrischer Schwinger
ist in den Fig. 1a und 1b gezeigt und weist eine dünne Platte, die aus piezoelektrischem Keramikmaterial besteht,
ein Paar von Elektroden 2a und 2b, die auf gegenüberliegenden flachen Oberflächen der Platte 1 einander
gegenüberstehend ungefähr im Mittelteil der Platte 1 aufgebracht sind, eine Verbindungselektrode 3a, die sich von
der Elektrode 2a zu einer Anschlußelektrode 4a erstreckt,
die an einer'Ecke der Platte 1 angeordnet ist, und eine Verbindungselektrode 3b auf, die sich von der Elektrode 2b
zu einer Anschlußelektrode 4b erstreckt, die an einer anderen
Ecke der Platte 1 angeordnet ist. Zwei Anschlußstifte
oder -streifen 5a und 5b' erstrecken sich von den Anschlußelektroden
4a beziehungsweise 4b und sind für äußere elektrische Verbindung mit den Elektroden 2a und 2b bestimmt.
Wird ein elektrisches Wechselpotential zwischen den Elektroden 2a und 2b angelegt, wird ein elektrisches Wechselfeld
erzeugt, das eine lokalisierte Schwingung in der Platte 1 zwischen den Elektroden 2ä und 2b bewirkt. Die Schwingung
pflanzt sich radial in Richtung auf die Kantender Platte 1 in Form
einer Dickenscherungsschwingung oder Dickenexpansionsschwingung
fort und gibt dabei Anlaß zu einer Schwingung in der
030065/092S •••7
ORIGINAL INSPECTED
Glawe, DeIfβ, KoIl & Partner - ρ 9713/80 - Seite /
Platte 1. Da die Schwingung in erster Linie im mittigen schwingenden Teil der Platte 1 stattfindet, kann die Schwingungsenergie
im mittigen Abschnitt der Platte 1 eingefangen werden, wie sich dies aus der Theorie der Energieeinfangung
verstehen läßt. Sogar wenn der inaktive Teil oder ein Teil, der kaum schwingt, sehr festgehalten wird, kann
daher die Schwingung, die im aktiven Mittelteil auftritt, ohne irgendwelche Störungen erregt werden. Demgemäß ist
der konventionelle Schwinger noch mit einem Überzug 6 versehen, der die Platte 1 vollständig umgibt und Hohlräume
7a und 7b aufweist, die um die Elektroden 2a und 2b herum ausgebildet sind. Die Umhüllung 6 dient als Dämpfer zum Halten
des nichtschwingenden Teiles der Platte 1 und auch zum
Unterdrücken unerwünschter Wellen.
Ein weiterer konventioneller Schwinger ist in den Figuren 2a und 2b gezeigt und weist ein erstes Paar getrennter Elektroden
8a und 8b und ein zweites Paar getrennter Elektroden 9a und 9b auf, die auf einer flachen Oberfläche der Platte
1 aufgebracht sind. Erdelektroden oder Gegenelektroden 10 und 11 sind auf der anderen flachen Oberfläche der Platte 1
an Stellen aufgebracht, die den ersten und zweiten getrennten Elektroden 8 beziehungsweise 9 entsprechen. Die getrenn ten
Elektroden 8a und 9a sind miteinander verbunden, und die
getrennten Elektroden 8b und 9b sind mit Anschlußstreifen oder -stiften 5a und 5b wie gezeigt verbunden. Die Erdelektroden
10 und 11 sind mit einem Anschlußstift 5c verbunden.
Dieser konventionelle Schwinger, der im allgemeinen als Doppeleinheitstyp im Gegensatz zum Einzeleinheitstyp, der
in den Fig. 1a und 1b gezeigt ist, bezeichnet wird, ist auch mit einer Umhüllung 6 versehen. Diese konventionellen Schwinger
haben den Nachteil, daß die Platte 1 eine beträchtliche Größe haben muß, damit Anschlußelektroden 4a und 4b und auch
•. .8
030065/0925
Glawe, DeIfs, KoIl & Partner - ρ 9713/80 -
die Umhüllung 6 aufgebracht werden können, und daß die Anschlußstifte für die externe elektrische Verbindung
notwendig sind. Außerdem werden durch den Schritt, der
für das Versehen mit der Umhüllung 6 notwendig ist, die Herstellungkosten erhöht.
Demgemäß ist es eine Hauptaufgabe der Erfindung, einen piezoelektrischen Schwinger des genannten Typs zu schaffen,
der eine kompakte Größe und einen einfachen Aufbau hat. Eine weitere Aufgabe der Erfindung besteht in der
Schaffung eines piezoelektrischen Schwingers des oben beschriebenen Typs, der einfach mit niedrigen Kosten hergestellt
'werden kann.
Die erfindungsgemäße Lösung dieser und anderer Aufgaben
besteht bei einer bevorzugten Ausführungsform des piezoelektrischen
Schwingers darin, daß er eine längliche piezoelektrische Platte, eine erste Elektrode, die ungefähr
in einem Mittelbereich auf einer flachen oder ebenen Oberfläche der piezoelektrischen Platte aufgebracht
ist, und eine zweite Elektrode aufweist, die ungefähr in einem Mittelbereich auf der anderen flachen Oberfläche
der piezoelektrischen Platte gegenüber der ersten Elektrode aufgebracht ist. Die ersten und zweiten Elektroden können
elektrische Signale empfangen, die mechanische Schwingung in der piezoelektrischen Platte bewirken. Ein erstes
Dämpfungsmittel ist an einem ersten Endbereich' der länglichen piezoelektrischen Platte vollständig entlang einer Breitenausdehnung
der länglichen piezoelektrischen Platte angeordnet. Eine zweite Dämpfungseinrichtung ist an' einem zweiten
Endkantenbereich der länglichen piezoelektrischen Platte vollständig entlang der Breitenausdehnung der länglichen
piezoelektrischen Platte aufgebracht. :
030065/0925
-3-
Glawe, Delfs, Moll & Partner - ρ 9713/?O - Seite
Ein piezoelektrischer Schwinger gemäß einer anderen "bevorzugten
Ausführungsform der Erfindung weist eine längliche
piezoelektrische Platte mit ersten und zweiten Halbbereichen auf entsprechenden Seiten der Mittellinie auf, die
in einer Breitenrichtung der länglichen piezoelektrischen Platte in einem Bereich verläuft, der in der Mitte der Längenausdehnung
der piezoelektrischen Platte angeordnet ist. Eine erste Elektrode ist ungefähr in einem Mittelbereich
des ersten Halbiereiches und auf einer flachen Oberfläche
der piezoelektrischen Platte aufgebracht. Eine zweite Elektrode ist ungefähr in einem Mittelbereich des ersten Halbbereiches
und auf der anderen flachen Oberfläche der piezoelektrischen Platte gegenüber der ersten Elektrode aufgebracht.
Die ersten und zweiten Elektroden können elektrische Signale empfangen, die mechanische Schwingungen im ersten
Halbbereich der länglichen piezoelektrischen Platte bewirken. Auf ähnliche Weise sind dritte und vierte Elektroden
ungefähr in einem Mittelbereich des zweiten Halbbereiches und auf einer und der anderen flachen Oberfläche der piezoelektrischen
Platte einander gegenüber aufgebracht. Die dritten und vierten Elektroden können elektrische Signale
empfangen, die mechanische Schwingung im zweiten Halbbereich der länglichen piezoelektrischen Platte bewirken.
Erste und zweite Dämpfungsmittel sind an ersten beziehungsweise zweiten Endkantenbereichen der länglichen piezoelektrischen
Platte angebracht und erstrecken sich vollständig entlang der Breitenausdehnung der länglichen piezoelektrischen
Platte. Ein drittes Dämpfungsmittel ist darüber hinaus in einem Mittelbereich der länglichen piezoelektrischen
Platte entlang der Mittellinie aufgebracht.
Die Erfindung wird im folgenden unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen, in denen gleiche Teile mit gleichen
Bezugs zeichen versehen sind, anhand von vorteilhaften
...10
030068/0925
Glawe, DeIfs, KoIl & Partner - ρ 9713/80 - Seite
Ausfuhrungsformen "beschrieben. Es zeigen:
Pig. 1a eine Draufsicht auf einen vorbekannten
Schwinger;
Pig. 1b eine Querschnittsansicht entlang der
Linie Ib-Ib der Pig. 1a;
Pig. 2a eine Draufsicht auf einen anderen vorbekannt en Schwinger;
Pig. 2b eine Querschnittsansicht entlang der
Linie ITb-IIb in Fig. 2a;
Pig. 3a eine Draufsicht auf eine Ausführungsform
des erfindungsgemäßen Schwingers;
Pig. 3b eine Querschnittsansicht entlang der Linie
HTb-IITb in Pig. 3a;
Fig. 4a und 4b in ähnlichen Ansichten wie in den Pig.
3a und 3b eine Abwandlung der Ausführungsform
gemäß dieser Pig.;
Pig. 5a und 5b in ähnlichen Ansichten wie in den Fig. 3a
und 3b eine weitere Abwandlungsform der
Ausführungsform dieser Pig.;
Pig. 6 eine Querschnittsansicht eines piezoelek
trischen Schwingers vom prinzipiellen
Typ;
Pig. 7 eine graphische Darstellung der Abhängig
keit zwischen dem mechanischen Gütefaktor und der Länge der piezoelektrischen Platte;
Pig. 8a eine schematische Ansicht eines erfindungs-
gemäßen Schwingers;
Pig. 8b eine Querschnittsansicht entlang einer
Linie VIIIb-VIIIb in Pig. 8a;
Pig. 9 eine schematische Ansicht für die Erklärung
der Wellenfortpflanzung durch die piezoelektrische Platte;
...11
030065/092S
Glawe, DeIfs, Moll & Partner - ρ 9713/80 - Seite
Pig. 10a eine Draufsicht auf einen Schwinger
gemäß einer anderen Ausführungsform der
Erfindung;
Pig. 10t) eine Querschnitts ansicht entlang der
Linie Xb-Xb in Pig. 10a;
Pig. 11a und 11b in ähnlichen Ansichten wie in den Pig.
10a und 10b eine Abwandlung der Ausführungsform
dieser Pig.;
Pig. 12 eine vergrößerte, teilweise weggebrochene Ansicht des Schwingers der Pig. 11a ;
Pig. 13 ein äquivalentes Schaltschema des Schwingers der Pig. 11a;
Pig. 14 eine perspektivische Ansicht eines Schwingers gem. einer weiteren Abwandlung des
Schwingers der Pig. 10a;
Pig. 15 eine perspektivische Ansicht eines Verfahrens für die Herstellung elektrischer
Verbindung mit dem erfindungsgemäßen Schwinger;
Pig. 16 eine perspektivische Ansicht eines weiteren Verfahrens zum Herstellen externer
elektrischer Verbindung mit dem erfindungsgemäßen Schwinger;
Pig. 17 . eine Draufsicht auf ein weiteres Verfahren
für die Herstellung externer elektrischer Verbindung mit dem erfindungsgemäßen Schwinger;
Pig. 18 in einer perspektivischen Ansicht ein Verfahren zum Anbringen von Schutzplatten am
erfindungsgemäßen Schwinger;
...12
030065/0925
Glawe, DeIfs, Moll & Partner -ρ 9713/80 - Seite VE
Fig. 19 eine Querschnittsansicht entlang der
Linie XIX-XIX in Fig. 18;
Fig. 20 eine Draufsicht auf eine Schutzplatte;
und
Fig. 21 eine perspektivische Ansicht eines
Schwingers gem. einer weiteren Abwandlung
des Schwingers der Fig. 10a.
In den Fig. 3a und 3"b ist ein piezoelektrischer Schwinger
gem. einer Ausführungsform der Erfindung gezeigt. Der piezoelektrische
Schwinger ist vom Einzeleinheitstyp und weist eine längliche rechteckige dünne Platte 20 aus einem piezoelektrischen
Keramikmaterial wie zum Beispiel Blei-Zirkonium-Titanat auf, die gesintert ist. Ein Satz eines Resonators
R vom Typ mit eingefangener Energie im Einzel-Mode wird in der Platte 20 gebildet, der "besonders geeignet für eine
Sperre oder einen Oszillator ist. Der Resonator R weist Elektroden 21 und 22 auf, die auf gegenüberliegenden flachen
Oberflächen der Platte 20 ungefähr in einem Mittelbereich derselben einander gegenüber stehend aufgebracht
sind. Auf der Oberfläche der Platte 20, die.mit der Elektrode 21 versehen ist, ist eine streifenförmige
Elektrode 23 vorgesehen, die sich entlang einem kurzen Seitenkantenbereich der Platte 20 in Richtung ihrer Breiten-.erstreckung
erstreckt. Auf ähnliche Weise ist auf der anderen Oberfläche der Platte 20, die mit der Elektrode 22 versehen
ist, eine streifenförmige Elektrode 24 vorgesehen, die sich entlang dem anderen kurzen Seitenkantenbereich
der Platte 20 in Richtung der Breitenerstreckung erstreckt. Die Mittelelektrode 21 und die Streifenelektrode. 23 sind mit-
...13
030065/0925
-43-
Clawe, DeIfs, KoIl &. Partner - ρ 9713/80 - Seit3 Qi! 6 6 5 5
einander durch eine Verbindungselektrode 25 verbunden,
und die Mittelelektrode 22 ist mit der Streifenelektrode 24 durch eine Verbindungselektrode 26 verbunden. Eine geeignete
Menge eines Lötwulstes 27 ist entlang der gesamten Länge der Seitenelektrode 23 aufgebracht. In der Zeichnung
ist der Lötwulst 27 teilweise entfernt, um die Elektrode 24 zu zeigen, die unter dem Wulst aus Lötmaterial angeordnet
ist. In ähnlicher Weise ist ein Lötwulst 28 entlang der gesamten Länge der Seitenelektrode 24 aufgebracht.
Jeder dieser Lötwulste 27 und 28 dient als Dämpfungsmittel, damit die Größe der Platte 20 in Breitenrichtung wie weiter
unten beschrieber: verkleinert wird. Darüber hinaus ist es nicht notwendig, da die Lötwulste 27 und 28 die unerwünschten
Wellen unterdrücken, irgendeine Umhüllung um den erfindungsgemäßen Schwinger vorzusehen.
Es sollte bemerkt werden, daß die Platte 20 eine Form haben kann, die von der rechteckigen Form abweicht, wie zum
Beispiel ovale Form, wie dies in den Fig. 4a und 4b gezeigt
ist. Außerdem kann eine Mittelelektrode, zum Beispiel die Elektrode 21, ein Satz von getrennten Elektroden 21a
und 21b sein, wie dies in den Fig. 5a und 5b gezeigt ist.
In diesem Falle sollten die getrennten Elektroden 21a und 21b vorzugsweise mit den Seitenelektroden 23 beziehungsweise
24 verbunden sein, während die andere Mittelelektrode 22 vorzugsweise mit einem Anschluß 29 verbunden sein sollte,
der an einer langen Seitenkante der Platte 20 angeordnet ist. Darüber hinaus können die Lötwulste 27 und 28 auch
auf Oberflächen auf entgegengesetzten Seiten der Platte 20 vorgesehen sein, wie dies in Fig. 5b gezeigt ist. Wenn die
...14
030065/092S
-fa-
Glawe, DeIfs, Moll & Partner - ρ 9713/80 - Seite
getrennten Elektroden Anwendung finden, kann der Schwinger als Filter oder Diskriminator vom Typ mit eingefangener
Energie mit Vielfach-Mode verwendet werden.
Es ist zwar aus US-PS 3 676 724 von Berlincourt et al.
bekannt, auf entgegengesetzten Enden der länglichen piezoelektrischen Platte Dämpfungsmittel aufzubringen. Durch
diese Schrift ist es jedoch nicht "bekannt, solche Dämpfungsmittel entlang der gesamten Breite der piezoelektrischen
Platte aufzubringen. Außerdem werden in dieser Schrift keine Betrachtungen bezüglich der Frage angestellt,
ob und wie die Größe der piezoelektrischen Platte verkleinert werden kann. Im Gegensatz dazu wird durch
das Aufbringen des Dämpfungsmittels entlang der gesamten
Breite der piezoelektrischen Platte erreicht, daß die für den erfindungsgemäßen Schwinger verwendete piezoelektrische
Platte ungefähr halb so klein gemacht werden kann wie die Platte, die bei konventionellen Schwingern Verwendung
findet. Der Grund, warum diese Verkleinerung möglich ist, wird weiter unten beschrieben. In einem Versuch
für den Schwinger der Fig. 8a und 8b wurde der mechanische Gütefaktor Q in X-Richtung bei gleichzeitiger
Änderung der Länge D zwischen der Kante der Mittelelektrode 21 und der Kante des Dämpfungsmittels gemessen. Die Änderung
der Länge D wird dadurch bewirkt, daß das Gebiet und die Menge des Lötwulstes, der auf die Platte 20 aufgebracht
wird, geändert wird.
In der graphischen Darstellung der Fig. 7 werden die Kurven A und B an einem Punkt gesättigt oder erreichen dort ihren
Maximalwert, an dem die sich fortpflanzenden Wellen abklingen. Was die Kurve A anbetriffti so klingen die Wellen
...15
030065/0925
Glawe, Delfs, Moll & Partner - ρ 9713/80 - Seite >5
am Punkt X1 aus. Was die Kurve B anbetrifft, so klingen
die Wellen am Punkt X2 aus. Ist anders gesagt die Dicke T die Einheit, so fällt das aktive Gebiet der Platte 20
des Haupttyps in eine Entfernung X1 von der Kante der Mittelelektrode, während das aktive Gebiet in der Platte
der vorliegenden Erfindung in eine Entfernung X2 von der Kante der Mittelelektrode fällt. Da X2
< X1 und da der inaktive Bereich von der Platte 20 entfernt werden kann, kann gesagt werden, daß der erfindungsgemäße Schwinger
eine Platte 20 kleinerer Größe haben kann, als dies für den Schwinger des Haupttyps notwendig ist. Unter einem
theoretischen Gesichtspunkt kann die Verkleinerung der Größe der Platte 20 wie folgt erklärt werden.
In der Theorie wird eine ideale piezoelektrische keramische Platte 20, die in Fig. 9 gezeigt ist, betrachtet. Die ideale
piezoelektrische keramische Platte 20 wird in der X-Z-Ebene angeordnet und wird in X-Richtung auf eine Weise polarisiert,
wie dies ähnlich bei den R1-und R2-Platten in einem Kristall der Fall ist. Die Abmessungen der Platte 20 sind so, daß
ihre länge in X-Richtung unendlich ist. Nur eine Wellenfortpflanzung
in Z-Richtung mit einer Ablenkung in X-Richtung, die sogenannte SH-Welle, wird betrachtet. Im Gegensatz
zu Kristallen hat die piezoelektrische keramische Platte 20 eine beträchtliche piezoelektrische Reaktion, und
es tritt das Problem der elektrischen Grenzbedingungen auf, wenn sich die Wellen fortpflanzen. Pur den Zweck der
Kürze werden diese Reaktion und diese Bedingung in der unten diskutierten Theorie jedoch nicht betrachtet. Wenn
die gegenüberstehenden flachen Oberflächen der idealen piezoelektrischen Platte 20 frei von irgendwelchen Objekten
...16
030065/092S
Glawe, DeIfs, Moll & Partner - ρ 9713/80 - Sei
sind, kann das Ausmaß der Ablenkung in die Z-Richtung
wie folgt ausgedrückt werden:
D = Acos ( )exp3(w t+β z) (D
wobei A eine Konstante, T die Dicke der Platte 20, k?
eine Kreisfrequenz und β eine Fortpflanzungskonstante
in Z-Richtung sind. Außerdem kann ß wie folgt ausgedrückt werden:
ß = ^ψ- Γ ( — )2 - 1 (2)
1 V nfο·
wobei fo1 (fo'>fo) eine fundamentale Frequenz von Wellen,
die sich im Dickenscherungs-Mode fortpflanzen, durch
eine unendlich "breite Platte und η eine Zahl ist, die die Nummer der Oberschwingung bezeichnet.
Wird die Platte 20 mit Dämpfungsmitteln, wie zum Beispiel Lötwülsten 27 und 28, entlang der gesamten Breite der
Platte 20 versehen, ändert die Konstante A ihren Wert zu A1, der kleiner ist als A. Daher kann die Gleichung (1)
wie folgt ausgedrückt werden:
D = A'cos (n7Ty/T)expj (b) t+ßz) (3)
Wenn die sich in X-Richtung fortpflanzenden Wellen vor-
...17
030065/092S
Glawe, DeIfs, Moll & Partner - ρ 9713/80 - Seit
handen wären, so könnte ihre Ablenkung D wie folgt ausgedrückt
werden:
D = A1 α cos(nTCy/T)exp;i (ü t+ßx) (4)
(A/A·) >a > 1 (5)
Da die Wellen exponentiell im Frequenzbereich fo< fo1
abgeschwächt werden und da sich aus den Gleichungen (3)» (4) und (5) ergibt, daß A1 ■<
A' « (<A) ist, ändert sich die Entfernung, die notwendig ist, um eine gewisse Größe
von Ablenkung Do zu erhalten, von Xa zu Xb (Xa> Xb). Diese Änderung entspricht der Änderung des Punktes,
an dem der größte Gütefaktor Q erreicht wird, von X1 zu X2. Gemäß den Versuchen wurde herausgefunden, daß eine
Entfernung G (Fig. 8a) zwischen der Kante der Mittelelektrode 21 und der Kante der langen Seite der Platte 20,
dividiert durch die Dicke T, vorzugsweise zwischen 0 und 15 liegen sollte. Diese Beziehung kann ausgedrückt werden
als 0 < -|· 5" 15jJ~In den Fig. 10a und 10b ist ein
Schwinger vom DoppeIeinheitstyp gemäß einer zweiten Ausführungsform
der Erfindung gezeigt. Dieser Schwinger weist zwei Sätze von Filtern F1 und F2 vom Typ mit eingefangener
Energie des Multi-Modes auf. Der erste Filter F1, der ungefähr in einem Mittelteil der linken Hälfte der länglichen
Platte 20 angeordnet ist, hat ein erstes Paar getrennter Elektroden 31a und 31b, die auf einer Oberfläche der länglichen
rechteckigen piezoelektrischen keramischen Platte 20 nebeneinander mit einem vorbestimmten Zwischenraum g
zwischen ihnen aufgebracht sind. Eine Gegenelektrode 32 ist
...18
030065/0925
Glawe, DeIfs, Moll & Partner - ρ 9713/80 - Seite
auf der anderen Plattenoberfläche der piezoelektrischen Platte 20 gegenüber den ersten getrennten Elektroden 31a
und 31b aufgebracht. Der zweite Filter F2, der ungefähr in einem Mittelteil der rechten Hälfte der Platte 2o angeordnet
ist, hat ein zweites Paar getrennter Elektroden 33a und 33b, deren Gegenelektrode 34 in ähnlicher Weise
wie bei dem ersten Filter F1 aufgebracht ist. Die getrennte Elektrode 31a des ersten Filters F1 und die getrennte
Elektrode 33a des zweiten Filters F2 sind elektrisch miteinander durch eine Verbindungselektrode 35 verbunden.
Um die Dämpfmittel, wie zum Beispiel Lötwulste 38 und 39 an entgegengesetzten Enden der länglichen Platte 20 aufzubringen,
sind Elektroden 36 und 37 in Form eines Riemens oder Streifens entlang den entgegengesetzten kurzen
Seitenkantenbereichen der Platte 20 vorgesehen. Es sollte
bemerkt werden, daß die Dämpfmittel auch etwas anderes sein.können als ein Lötwulst, wie zum Beispiel ein elektrisch
leitendes Bindungsmittel. Obwohl irgendein Material als Dämpfungsmittel benutzt werden kann, wird ein
Material mit hohem spezifischem Gewicht bevorzugt. Die Streifenelektroden 36 und 37 sind mit den getrennten Elektroden
31b beziehungsweise 33b verbunden, so daß eine externe elektrische Verbindung der getrennten Elektroden
31b und 33b durch die Streifenelektroden 36 und 37 möglich ist. Eine ähnliche Streifenelektrode 40 ist über
den Mittelbereich der Platte 20 auf der Oberfläche vorgesehen, die mit den Gegenelektroden 32 und 34 versehen ist.
Ein Lötwulst 41, der als Dämpfmittel dient", ist auf der Streifenelektrode 40 aufgebracht. Dieses Dämpfmittel, das
durch den Lötwulst 41 gebildet ist, ist auch zur Verhinderung von Signalüberlagerungen zwischen den Filtern F1
und F2 vorgesehen. Die Streifenelektrode 40 ist mit den
...19 030065/0925
Glawe, DeIfs, Moll & Partner - ρ 9713/80 - Seite
Gegenelektroden 32 und 34 so verbunden, daß eine externe elektrische Verbindung der Gegenelektroden 32 und 34
möglich ist.
Da die Dämpfmittel 38, 39 und 41 vorgesehen sind, kann
auch dieser Schwinger der zweiten Ausführungsform in kompakter
Größe hergestellt werden. Zum Beispiel hat im Falle eines Schwingers, der insbesondere zum Filtern von UKW-Zwischenfrequenzsignalen,
d. h. 10,7 MHz ausgebildet ist, der konventionelle Schwinger eine Abmessung von 7,5 x 5 x
0,2 mm, während der erfindungsgemäße eine Abmessung von
7x2,5x0,2mm hat.
In den Fig. 11a und 11b ist eine Abwandlung des Schwingers
vom DoppeIeinheitstyp gezeigt, der besonders geeignet für
den Gebrauch im Filtern ist. Der dort gezeigte Schwinger weist, verglichen mit dem Schwinger der Fig. 10a, eine
rechteckige Elektrode 42 auf, die sich von der Verbindungselektrode 35 und gegenüber der Elektrode 40 so erstreckt,
daß ein Kondensator zwischen den Elektroden 40 und 42 gebildet wird.'Demgemäß kann eine äquivalente Schaltung für
den Schwinger der Fig. 11a und 11b angegeben werden, wie dies in Fig. 13 gezeigt ist.
Um die Dämpf wirkung zu erhöhen, wird vorzugsweise ein Lötwulst
43 auf der rechteckigen Elektrode 42 aufgebracht. Darüber hinaus können die Kanten der Elektroden 36, 37 und
40, die zu den Filtern F1 und F2 gerichtet sind, gekrümmt
sein, so daß das Gebiet vergrößert wird, das zum Aufbringen der Lötwulste zur Verfügung steht.
Werden die Lötwülste in ihrer Menge so vergrößert, so ist
...20
030065/092B
Glawe, DeIfs, Moll & Partner - ρ 9713/80 - Seite
es möglich, die Größe des Schwingers weiter zu verkleinern, indem insbesondere die Entfernung zwischen den Filtern F1
und F2 verkleinert wird. Hat zum Beispiel jede der getrennten Elektroden eine Längenabmessung M=1,0 mm und eine
Breite N=O,45 mm mit einem Zwischenraum g zwischen getrennten Elektroden von 0,2 mm, und sind die Kanten der Elektroden
36, 40 und 37 entlang einem Kreis angeordnet, dessen Zentrum im Zentrum des entsprechenden Filters liegt und der einen
Radius R=1,8 mm hat, wie dies in Fig.- 12 gezeigt ist, kann die Größe des Schwingers "beträchtlich, verglichen mit konventionellen
Schwingern, die mit einer Umhüllung versehen sind, verringert werden, wie zum Beispiel volumenmäßig auf
1/50.
In Fig. 14 ist eine weitere Abwandlung des Schwingers
vom Doppeleinheitstyp gezeigt, der für Filter "benutzt
werden kann. Der Schwinger hat ein Paar Kappenelemente und 45, die aus Metallfilm hergestellt und auf den entgegengesetzten
Enden der länglichen Platte 20 für die Dämpfmittel aufgebracht sind. Ein U-förmiges Metall 46
ist über das Zentrum der länglichen Platte als mittleres Dämpfmittel aufgebracht. Es sollte bemerkt werden, daß
die getrennten Elektroden 31a und 31b oder 33a und 33b einstückig ausgebildet sein können, wie dies in Fig.
gezeigt ist.
Es· soll nun beschrieben werden, wie externe elektrische
Verbindungen des erfindungsgemäßen Schwingers bewirkt werden
kann. Die Beispiele von Verbindungsmethoden, die jetzt beschrieben werden sollen, werden in Verbindung mit dem
Schwinger des Doppelfeinheitstyps angegeben. Es ist nicht
notwendig zu erwähnen, daß solche Methoden auch beim Schwinger des Einzeleinheitstyps Anwendung finden können.
...21
030065/0925
Glawe, DeIfε, Moll & Partner - ρ 9713/80 - Seite
In Fig. 15 ist eine erste Methode gezeigt, die externe elektrische Verbindung des Schwingers zu bewirken. Da
es nicht notwendig ist, irgendeine Umhüllung um den erfindungsgemäßen
Schwinger vorzusehen, und da die Lötwülste die ' piezoelektrische Platte mechanisch verstärken
können, kann der erfindungsgemäße Schwinger
direkt mit Leitungsdrähten oder Elektroden, die auf die Schaltungsplatte gedruckt sind, durch Löten verbunden
werden. Zum Beispiel können im Falle des Schwingers der Fig. 10a die Elektroden 36, 37 und 4-0 direkt mit Leitungsdrähten
50, 51 beziehungsweise 52 wie gezeigt verbunden werden.
In Fig. 16 ist eine zweite Methode gezeigt, die externe elektrische Verbindung des Schwingers zu bewirken. Gemäß
dieser Methode sind drei Anschlußstifte oder -streifen 53» 54 und 55 vorgesehen, die sich von den Elektroden 36, 37
beziehungsweise 40 erstrecken. Um die Befestigung der Anschlußstreif
en. zu erleichtern, wird ein Streifen 56 vorgesehen, der einstückig mit Anschlußstreifen versehen ist,
die in vorbestimmten Abständen angeordnet sind. Nachdem die Anschlußstreifen an geeigneten Stellungen in Stellung gebracht
sind, werden Lötwülste über die entsprechenden Elektroden aufgebracht. Da die Anschlußstreifen entlang des
Streifens 56 mit einem vorbestimmten Abstand angeordnet sind, können die Anschlußstreifen an ihren richtigen Stellungen
ohne irgendeine Einstellung in Stellung gebracht werden. Nachdem die Anschlußstreifen befestigt worden sind,
werden die Anschlußstreifen geschnitten, um dieselben von dem länglichen Streifen zu trennen. Da die Anschlußstreifen
ein beträchtliches Gewicht haben, kann vorgesehen sein, daß sie sich entlang den Streifenelektroden erstrecken, so daß
sie als Dämpfmittel wirken.
....22 030065/0925
Glawe, DeIfs, KoIl & Partner - ρ 9713/80 - Seite 2?
In dem Falle, daß die Anschlußstreifen verhältnismäßig
nahe beieinander angeordnet sein sollten, so daß den Erfordernissen
für irgendwelche Standardisierimgen Genüge getan wird, können sich die Elektroden 36 und 37 zur
Mittelelektrode 40 erstrecken, wie dies in Fig. 17 dargestellt ist, so daß die Abschnitte, die zum Befestigen
der Anschlußstreifen zur Verfügung stehen, nahe beieinander
angeordnet sind.
In den Fig. 18 und 19 ist eine Methode zum Anbringen von Anschlußstreifen und Schutzplatten an den erfindungsgemäßen
Schwinger dargestellt. Ein Paar von Schutzplatten 57 und 58 aus Glas und jeweils mit einem Aufbau, der identisch
mit dem der Platte 20 ist, werden hergestellt. Die Schutzplatte 57, die auf der Seite des Schwingers angeordnet
werden soll, der mit den getrennten Elektroden 31a, 31b usw. versehen ist, weist Metallstreifen 59 und 60 auf,
die entlang seinen kurzen Seitenkanten, wie dies in Fig. 20 gezeigt ist, nach irgendeinem bekannten Verfahren wie
zum Beispiel Aufbringung im Vakuum aufgebracht sind. Andererseits
besitzt die Schutzplatte 58, die auf der Seite des Schwingers angeordnet werden soll, die mit den Gegenelektroden
32 und 34 versehen ist, zusätzlich zu den Streifen 59 und 60 an ihren entgegengesetzten kurzen Seiten
einen Mittelstreifen 61 quer über die Glasplatte, wie dies durch die gestrichelte Linie in Fig. 20 gezeigt ist. Auf
jedem Metallstreifen 59, 60 oder 61 wird vorher ein Lötwulst aufgebracht. Die Schutzplatte 57 und 58 und die
Anschlußstreifen 53, 54 und 55 werden auf dem Schwinger
in der folgenden Weise angebracht.
Die Anschlußstreifen 53 und 54 werden .zeitweilig zwischen
...23
030065/0925
Glawe, DeIfs, Moll & Partner - ρ 9713/80 - Seite
die Glasplatte 57 und die Platte 20 an Orten festgehalten, wie dies in Fig. 18 gezeigt ist. Es wird dann ein
leichter Druck auf die Glasplatte 57 so ausgeübt, daß die Anschlußstreifen 53 und 54 zwischen den Platten 57 und
20 zusammengedrückt werden; gleichzeitig wird Wärme auf die Anschlußstreifen 53 und 54 angewendet, um die Lötwülste
auf der Glasplatte 57 zu schmelzen. Wenn sich die Anschlußstreifen 53 und 54 abgekühlt haben, sind sie zwischen den
Platten 20 und 57 fest verlötet. Der Anschlußstreifen 55
wird zwischen den Platten 20 und 58 in ähnlicher Weise wie eben beschrieben verlötet. TJm den Druck, der auf
die Glasplatte 58 ausgeübt wird, auszugleichen, wird vorzugsweise mehr Material an Lötwulst über die Metallstreifen
59 und 60 der Platte 58 aufgebracht als auf den Mittelstreifen 61. Um eine feste Verbindung der Glasplatte
58 mit der Platte 20 zu erhalten und um die Dämpfwirkung zu erhöhen, werden vorzugsweise Streifenelektroden
36' und 37* an Orten vorgesehen, die den Metallstreifen
59 beziehungsweise 60 entsprechen. Da vorbestimmte Zwischenräume zwischen der piezoelektrischen Platte und den entsprechenden
Glasplatten vorgesehen sind, können die Filter F1 und E2 ohne irgendwelche Behinderungen in Schwingung
versetzt werden. Bei der in Verbindung mit den Fig.18 und 19 beschriebenen Anordnung kann weiter eine Umhüllung
wie zum Beispiel aus Kunstharz über den Glasplatten angebracht werden. In dem Falle, bei dem Schutzplatten, zum
Beispiel die Platten 57 und 58, nicht vorgesehen sind, kann eine Kunstharzumhüllung wie zum Beispiel die in den Fig.
1b und 2b gezeigte über den erfindungsgemäßen Schwinger
angebracht werden.
030065/0925
e e r s e ι f e
Claims (25)
- PatentansprüchePiezoelektrischer Schwinger vom Typ mit eingefangener Energie mit einer länglichen piezoelektrischen Platte, mit einer ungefähr in der Kitte auf einer flachen Oberfläche der Platte aufgebrachten ersten Elektrode und einer gegenüber dieser auf der zweiten Oberfläche aufgebrachten zweiten Elektrode, dadurch gekennzeichnet, daß erste (27) und zweite (28) Dämpfungsmittel an ersten und zweiten Endkantenbereichen der Platte (20) entlang der gesamten Breitenerstreckung derselben aufgebracht sind.
- 2. Schwinger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Entfernung G zwischen der Kante der ersten Elektrode (21) und der Kante der langen Seite der piezoelektrischen Platte (20) und die Dicke T der piezoelektrischen Platte (20) der Beziehung 0 * G/T 5 15 genügen.
- 3. Schwinger nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das erste Dämpfungsmittel eine dritte Elektrode (23) einschließt, die auf dem ersten Endkantenbereich der länglichen030066/0925-Ά-Glawe, DeIfs, Moll & Partner - ρ 9713/80 - Seitepiezoelektrischen Platte (20) entlang der gesamten Breiteners treckung derselben angeordnet ist, und daß ein Dämpfungsmaterial (27) auf dem gesamten Bereich dieser dritten Elektrode (23) aufgebracht ist.
- 4. Schwinger nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das zweite Dämpfungsmittel eine vierte Elektrode (24) aufweist, die am zweiten Endkantenbereich der länglichen piezoelektrischen Platte (20) entlang der gesamten Breitenerstreckung derselben angeordnet ist, und daß ein Dämpfungsmaterial (28) auf dem gesamten Bereich der vierten Elektrode (24) aufgebracht ist.
- 5. Schwinger nach .Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Dämpfungsmaterial (27, 28) ein Lötwulst ist.
- 6. Schwinger nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Dämpfungs material (27, 28) ein elektrisch leitendes Bindungsmittel ist.
- 7. Schwinger nach einem der Ansprüche 3 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die ersten (21) und dritten (23) Elektroden elektrisch miteinander verbunden sind.
- 8. Schwinger nach einem der Ansprüche 3 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die zweiten (22) und vierten (24) Elektroden elektrisch miteinander verbunden sind.
- 9. Schwinger nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß sich ein erster Anschlußstreifen von der dritten Elektrode (23) erstreckt.
- 10. Schwinger nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß sich ein zweiter Anschlußstreifen von der vierten Elektrode (24) erstreckt.030065/092530266SSGlawe, DeIfs, Moll & Partner - ρ 9713/80 - Seite Y
- 11. Schwinger nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die ersten und zweiten Dämpfungsmittel kappenförmige Metallelemente sind, die mit Pestsitz auf den Endkantenbereichen der länglichen piezoelektrischen Platte (20) befestigt sind.
- 12. Schwinger nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Elektrode (21) aus zwei getrennten Elektrodensegmenten (21 a, 21 b) besteht, die nebeneinander angeordnet sind.
- 13. Piezoelektrischer Schwinger vom Typ mit eingefangener Energie mit einer länglichen piezoelektrischen Platte, dadurch gekennzeichnet, daß sie erste (F 1) und zweite (F 2) Halbbereiche auf jeweils einer Seite einer in Breitenrichtung verlaufenden Mittellinie, eine ungefähr in der Mitte des ersten Halbbereiches (ϊ 1) auf einer flachen Oberfläche der Platte (20) aufgebrachte erste Elektrode (31)und eine gegenüber dieser auf der zweiten Oberfläche aufgebrachte zweite Elektrode (32) eine ungefähr in der Mitte des zweiten Halbbereiches (12) auf einer flachen Oberfläche der Platte (20) aufgebrachte dritte Elektrode (33) und eine gegenüber dieser auf der zweiten Oberfläche aufgebrachten vierte Elektrode (34) aufweist, und daß erste (38) und zweite (39) Dämpfungsmittel an Endkantenbereichen und dritte Dämpfungsmittel (4-1) im Mittelbereich der Platte (20) jeweils über die gesamte Breitenerstreckung derselben aufgebracht sind.
- 14. Schwinger nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß der kleinste Abstand G zwischen der Kante sowohl der ersten (31) als auch der dritten (33) Elektrode und der Kante der langen Seite der länglichen piezoelektrischen Platte (20) und die Dicke T der Platte (20) der Beziehung 0 < G/T <15 genügen.
- 15. Schwinger nach Anspruch 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet,030065/092SGlawe, DeIf s, Moll * !-treuer - ρ TT. V1C - Seite JTdaß die ersten Dämpfungsmittel eine fünfte Elektrode (36) aufweisen, die am ersten Endkantenbereich der Platte (20) entlang der gesamten Breitenerstreckung derselben angeordnet ist und auf deren gesamter Oberfläche ein Dämpfungs material (38) aufgebracht ist.
- 16. Schwinger nach einem der Ansprüche 13 "bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß die zweiten Dämpfungsmittel eine sechste Elektrode (37) aufweisen, die am zweiten Endkantenbereich der Platte (20) entlang der gesamten Breitenerstreckung derselben angebracht ist und auf die im gesamten Bereich ihrer Oberfläche ein Dämpfungsmaterial (39) aufgebracht is t.
- 17. Schwinger nach einem der Ansprüche 13 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß die dritten Dämpfungsmittel eine siebte Elektrode (4-0) aufweisen, die im Mittelbereich der Platte (20) entlang der Mittellinie und auf der anderen Oberfläche der piezoelektrischen Platte angebracht ist und auf der im gesamten Bereich ihrer Fläche 'ein Dämpfungsmaterial (41) aufgebracht ist.
- 18. Schwinger nach einem der Ansprüche 15 bis 17,.dadurch gekennzeichnet, daß das Dämpfungsmaterial (38, 39, 41) ein Lötwulst ist.
- 19. Schwinger nach einem der Ansprüche 15 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß das Dämpfungsmaterial (38, 39, 41) ein elektrisch leitendes Bindungsmittel ist.
- 20. Schwinger nach einem der Ansprüche 13 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß die ersten (31) und dritten (33) Elektroden jeweils aus zwei getrennten Elektrodensegmenten (31 a, 31 b; 33 a, 33 ^aufgebaut sind, die nebeneinander angeordnet sind.030085/0925OWGlNAL INSPECT^)-G-Glawe, Delfs, KoIi & Partner - j- 97'-3/3O - Seite/302B655
- 21. Schwinger nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß eine Verbindungselektrode (35) vorgesehen ist, die auf einer flachen Oberfläche der Platte (20) aufgebracht ist und sich zwischen einem der getrennten Elektrodensegmente (31 a) der ersten Elektrode und einem der getrennten Elektrodensegmente (33 a) der zweiten Elektrode erstreckt,
- 22. Schwinger nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß das andere getrennte Elektrodensegment (31 b) der ersten Elektrode mit der fünften Elektrode (36) und das andere getrennte Elektrodensegment (33 b) der zweiten Elektrode mit der sechsten Elektrode (37) verbunden ist.
- 23. Schwinger nach einem der Ansprüche 17 bis 22, dadurch gekennzeichnet, daß eine achte Elektrode (42) auf der einen flachen Oberfläche der Platte (20) gegenüber der siebten Elektrode (4-0) zur Bildung eines Kondensatorelementes zwischen der siebten (40) und achten (42) Elektrode aufgebracht ist, die mit der Verbindungselektrode (35) verbunden ist.
- 24. Schwinger nach einem der Ansprüche 17 bis 22, dadurch gekennzeichnet, daß erste (53), zweite (54) und dritte (55) Anschlußstreifen mit den fünften (36), sechsten (37) beziehungsweise siebten (40) Elektroden verbunden sind.
- 25. Schwinger nach einem der Ansprüche 1 bis 24, dadurch gekennzeichnet, daß erste und zweite Schutzplatten (57, 58) vorgesehen sind, zwischen denen die piezoelektrische Platte (20) eingeschlossen ist.• # .6030068/0925
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9991379U JPS5617710U (de) | 1979-07-18 | 1979-07-18 | |
JP7277880U JPS56174226U (de) | 1980-05-26 | 1980-05-26 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3026655A1 true DE3026655A1 (de) | 1981-01-29 |
DE3026655C2 DE3026655C2 (de) | 1987-11-19 |
Family
ID=26413912
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19803026655 Granted DE3026655A1 (de) | 1979-07-18 | 1980-07-14 | Piezoelektrischer schwinger |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4365181A (de) |
DE (1) | DE3026655A1 (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0222272A2 (de) * | 1985-11-07 | 1987-05-20 | Schott Glaswerke | Flachgehäuse zur hermetischen Kapselung von piezoelektrischen Bauelementen |
DE19859209C2 (de) * | 1997-12-24 | 2001-08-09 | Murata Manufacturing Co | Piezoelektrischer Resonator zur Erzeugung einer Oberwelle im Dickendehnungsschwingungsmodus und Verfahren zu seiner Herstellung |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6051016A (ja) * | 1983-08-30 | 1985-03-22 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振部品 |
WO1986006228A1 (en) * | 1985-04-11 | 1986-10-23 | Toyo Communication Equipment Co., Ltd. | Piezo-electric resonator for generating overtones |
JPH0732273B2 (ja) * | 1986-05-22 | 1995-04-10 | 日本電気株式会社 | 電歪効果素子 |
KR910002996B1 (en) * | 1987-05-16 | 1991-05-11 | Nihon Denba Ind Co | Piazo oscilator |
JPH02312310A (ja) * | 1989-05-27 | 1990-12-27 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電部品及びその製造方法 |
US5184043A (en) * | 1989-12-05 | 1993-02-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric resonator |
US5231327A (en) * | 1990-12-14 | 1993-07-27 | Tfr Technologies, Inc. | Optimized piezoelectric resonator-based networks |
US5170103A (en) * | 1991-05-20 | 1992-12-08 | University Of Kentucky Research Foundation | Active vibration control device |
US5302880A (en) * | 1992-05-20 | 1994-04-12 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric tuning fork resonator and method of manufacturing the same |
DE4322144C2 (de) * | 1992-07-03 | 1997-06-05 | Murata Manufacturing Co | Vibratoreinheit |
JP3094717B2 (ja) * | 1993-02-09 | 2000-10-03 | 株式会社村田製作所 | 圧電共振部品 |
DE4419085C2 (de) * | 1993-05-31 | 1999-09-02 | Murata Manufacturing Co | Chipförmiger Baustein mit piezoelektrischer Resonanz |
US5621263A (en) * | 1993-08-09 | 1997-04-15 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric resonance component |
US5648746A (en) * | 1993-08-17 | 1997-07-15 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Stacked diezoelectric resonator ladder-type filter with at least one width expansion mode resonator |
GB2281159B (en) * | 1993-08-17 | 1997-10-01 | Murata Manufacturing Co | Ladder-type filter |
JP3114526B2 (ja) * | 1994-10-17 | 2000-12-04 | 株式会社村田製作所 | チップ型圧電共振部品 |
TW438155U (en) * | 1995-07-27 | 2001-05-28 | Daishinku Corp | Multi-mode piezoelectric filter |
JPH1141062A (ja) * | 1997-07-17 | 1999-02-12 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電フィルタ |
US6150703A (en) * | 1998-06-29 | 2000-11-21 | Trw Inc. | Lateral mode suppression in semiconductor bulk acoustic resonator (SBAR) devices using tapered electrodes, and electrodes edge damping materials |
JP2000138554A (ja) * | 1998-11-02 | 2000-05-16 | Murata Mfg Co Ltd | エネルギー閉じ込め型圧電共振子 |
JP3938292B2 (ja) * | 2000-08-10 | 2007-06-27 | リオン株式会社 | 圧電性物質を用いた弾性波制御素子 |
JP3682224B2 (ja) * | 2000-12-19 | 2005-08-10 | 日本電波工業株式会社 | 4ポール・モノリシック・フィルタ |
JP2002368577A (ja) * | 2001-04-06 | 2002-12-20 | Murata Mfg Co Ltd | 二重モードフィルタ |
JP2022038679A (ja) * | 2020-08-27 | 2022-03-10 | セイコーエプソン株式会社 | レーザー干渉計およびレーザー干渉計の制御方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3676724A (en) * | 1969-10-10 | 1972-07-11 | Vernitron Corp | Multi-element piezoelectric circuit component |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3359435A (en) * | 1965-05-04 | 1967-12-19 | James E Webb | Holder for crystal resonators |
US3396287A (en) * | 1965-09-29 | 1968-08-06 | Piezo Technology Inc | Crystal structures and method of fabricating them |
US3483402A (en) * | 1968-02-26 | 1969-12-09 | Bell Telephone Labor Inc | Quartz crystals for piezoelectric resonators |
US3614483A (en) * | 1970-06-24 | 1971-10-19 | Clevite Corp | Width flexural resonator and coupled mode filter |
US3684905A (en) * | 1971-04-15 | 1972-08-15 | Mccoy Electronics Co | Piezoelectric crystal device including loading elements having the shape of chordal sections |
NL7502640A (nl) * | 1975-03-06 | 1976-09-08 | Philips Nv | Elektro-mechanisch filter. |
-
1980
- 1980-07-10 US US06/168,285 patent/US4365181A/en not_active Expired - Lifetime
- 1980-07-14 DE DE19803026655 patent/DE3026655A1/de active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3676724A (en) * | 1969-10-10 | 1972-07-11 | Vernitron Corp | Multi-element piezoelectric circuit component |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0222272A2 (de) * | 1985-11-07 | 1987-05-20 | Schott Glaswerke | Flachgehäuse zur hermetischen Kapselung von piezoelektrischen Bauelementen |
EP0222272A3 (en) * | 1985-11-07 | 1989-02-01 | Schott Glaswerke | Flat housing for hermetically enclosing piezo-electric cflat housing for hermetically enclosing piezo-electric components omponents |
DE19859209C2 (de) * | 1997-12-24 | 2001-08-09 | Murata Manufacturing Co | Piezoelektrischer Resonator zur Erzeugung einer Oberwelle im Dickendehnungsschwingungsmodus und Verfahren zu seiner Herstellung |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4365181A (en) | 1982-12-21 |
DE3026655C2 (de) | 1987-11-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3026655A1 (de) | Piezoelektrischer schwinger | |
DE19520217C2 (de) | Piezoelektrische Resonanzkomponente des Chip-Typs | |
DE4403949C2 (de) | Piezoelektrische Resonanzkomponente vom Energiefalle-Typ | |
DE3245658C2 (de) | ||
DE19951523B4 (de) | Energiesperrender piezoelektrischer Resonator und energiesperrendes piezoelektrisches Resonanzbauteil | |
DE10354026B4 (de) | Piezoelektrische Membran und deren Verwendung in einem elektroakustischen Wandler | |
DE2131170A1 (de) | Breitenausdehnungsresonator und gekoppeltes wellentypfilter | |
DE4412964C2 (de) | Resonator | |
DE2736406A1 (de) | Quarzkristallschwinger | |
DE4419085C2 (de) | Chipförmiger Baustein mit piezoelektrischer Resonanz | |
DE4427993C2 (de) | Piezoelektrische Resonanzkomponente | |
DE4005184C2 (de) | ||
DE10158109B4 (de) | Piezoelektrischer Filter mit mehreren gekoppelten longitudinalen Moden | |
DE19910889A1 (de) | Oberflächenwellenvorrichtung | |
DE19961084B4 (de) | Piezoelektrischer Dickendehnungsresonator | |
DE19854699B4 (de) | Piezoelektrischer Resonator | |
DE10100833B4 (de) | Piezoelektrischer Resonator | |
DE4290741C2 (de) | Abzweigfilter | |
DE2713672A1 (de) | Mehrfachresonator oder -filter, der in einer gekoppelten mode schwingt | |
DE4434691C2 (de) | Piezoresonator | |
DE102004022432B4 (de) | Piezoelektrisches Resonatorbauteil | |
DE19758033A1 (de) | Piezoelektrischer Dickenscherungsresonator | |
DE10322947B4 (de) | Längsgekoppelter piezoelektrischer Multi-Mode-Volumenwellenfilter und elektronische Komponente | |
DE10154168A1 (de) | Elektronikbauteil | |
DE10041502B4 (de) | Abzweigfilter |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OAP | Request for examination filed | ||
OD | Request for examination | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition |