DE2713672A1

DE2713672A1 - Mehrfachresonator oder -filter, der in einer gekoppelten mode schwingt

Info

Publication number: DE2713672A1
Application number: DE19772713672
Authority: DE
Inventors: Alphonse E Zumsteg
Original assignee: SSIH Management Services SA
Current assignee: Meggitt SA
Priority date: 1976-12-10
Filing date: 1977-03-28
Publication date: 1978-08-31
Also published as: CH620801A5; DE2713672C2; NL7705248A; US4076987A; JPS5372436A; FR2373918B1; GB1553343A; FR2373918A1

Description

DR. BERG DIPL-ING. .TTAPF DIPL.-ING. SCHWABE DR. DR. SANDMAIR

PATENTANWÄLTE Postfach 860245, 8000 München 86 4 # I 4 P / /

Anwaltsakte 2 7 964 28.März 1977

SUISSE POUR L¹ INDUSTRIE HORLOGERE Management Services S.A.
2500 B i e 1 / Schweiz

Nunmehr selbständige Patentanmeldung

Mehrfachresonator oder -Filter, der in einer gekoppelten Mode schwingt

Die nachfolgende Erfindung steht in enger Beziehung zur Patentanmeldung P 2701 416.0.

In jener Anmeldung wurde die Lösung des Problems aufgezeigt, einen Präzisions-Hochfrequenzquarzresonatoroder-Schwinger zu schaffen, der in Zeitmeßinstrumenten, z.B. Armbanduhren, verwendet werden kann. Die vorgeschlagene Lösung stand im Gegensatz zu allen bekannten Lösungen zur Schaffung von Hochfrequenzquarzresonatoren,

viii/wi. 809835/0450

r (089) 988272 Mauerkircherstn 45 - 8000 München 80 Banken:

988273 Telegramme: Bayerische Veransbank Manchen 453100

988274 BERGSTAPFPATENT München Hypo-Bank München 3890002624 983310 TELEX: 0524560 BERGd Postscheck München 65343-808

d.h. Lösungen, die während der vergangenen 35 Jahre benutzt wurden. Bei dem Lösungsvorschlag jener Anmeldung wurde von etwas Gebrauch gemacht, das als gekoppelte Schwingungsmoden bezeichnet werden kann.

Die vorliegende Erfindung will die Lehre jener früheren Anmeldung auf Mehrfachresonatoren oder -Filter erweitern.

Die Verwendung eines Blockes aus Quarz oder anderen piezoelektrischen Materialien, auf dem einige Energieeinschlußzonen sind, um Filterwirkung zu erzielen, ist wohlbekannt. Die nachfolgenden Veröffentlichungen zeigen gewisse theoretische Betrachtungsweisen und praktische Verwirklichungen für solche Filter:

1. M. Onoe and H. Jumonji

Analysis of piezoelectric resonators vibrating in trapped energy modes., Electr. & Comm. Eng. Japon Vol. 48, pg 84 (1965)

2. R.A. Sykes, W.L. Smith and W.J. Spencer Monolithic crystal filters,

IEEE Intern. Convention Record, part. Ill, page 78, (1967)

3. H. Mailer and D.R. Beuerle

Incorporation of multi-resonator crystals into filters

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for quantity production

Proc. 20th annual Symposium on frequency control, Pg. 309 (1966).

Diese Veröffentlichungen untersuchen alle einen Fall, bei dem Dickenscherschwingungen auftreten und worin die Elektroden nur einen kleinen Bereich der Oberfläche des piezoelektrischen Blockes oder der piezoelektrischen Platte einnehmen. Solch eine Beschränkung ist nötig im Hinblick auf die folgenden Erscheinungen:

1. In einer dünnen Platte endlicher Ausdehnung ist die Dickenscherschwingungsmode immer mit einer Biegungsschwingungsmode gekoppelt, die sich in der Richtung der Verschiebung von Teilchen des Materials aufgrund der Dickenscherschwingungen fortpflanzt. Z.B. ist in einem Quarzblock oder einer Quarzplatte im AT-Schnitt die Dickenschermode TS.. immer mit einer Biegungsmode F.. gekoppelt. Die Mode TS₁ tritt in einer Ebene XY¹ mit einer Verschiebung der Teilchen des Materials in der X-Richtung des Quarzes (elektrische Achse) auf. Die Mode F₁ tritt in der gleichen Ebene XY' auf und pflanzt sich entlang der X-Achse des Quarzes fort.

Eine solche Kupplung gewinnt an Bedeutung in dem Ausmaß, in dem das Verhältnis a/b kleiner wird, wobei a die seitliche Ausdehnung des Quarzblockes in der X-Richtung und b

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die Dicke der Platte ist.

Der Einfluß dieser Kopplung zeigt sich insbesondere am Frequenzspektrum, wo, wenn das Verhältnis a/b klein wird, die Frequenz nicht langer einzig von der Dicke b der Platte, sondern ebenso in einem wesentlichen Ausmaß von der seitlichen Ausdehnung a abhängt.

Wenn man also wünscht, eine reine Dickenscherschwingungsmode zu benutzen, um die theoretische Analyse und eine evtl. Herstellung zu vereinfachen, muß das Verhältnis a/b einen großen Wert haben, damit die Resonanzfrequenz nur von der Dicke der Platte abhinge. In der Praxis wird ein Verhältnis a/b benutzt, das gleich oder größer als 30 ist. Auch in dem Beispiel der Massenherstellung (siehe die oben angegebene Schrift No. 3, Seite 322, Fig. 3) wird ein Filter für eine Frequenz von 5,3 MHz gezeigt, der einer Dicke von 0,31 mm entspricht, und wo die Ausdehnung längs der X-Achse 11,7 mm beträgt, was ein Verhältnis a/b von 38 ergibt.

2. Eine beinahe reine Dickenscherschwingung hat eine bloße Amplitudendämpfung ausserhalb der Energieeinschlußzone zur Folge. So ist eine beträchtliche Entfernung zwischen dem Rand der Energieeinschlußzone (z.B. dem Rand der Elektrode) und dem Rand des Quarzes nötig, um Absorptionen oder Reflexionen zu vermeiden, die die Qua-

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lität des Filters herabsetzen können.

In der Praxis wird diese Art Filter für Frequenzen über 3 bis 4 MHz benutzt. Unterhalb dieser Grenze werden die Platten unmässig groß.

Für Frequenzen unter 1 MHz werden andere Schwingungsmoden anstelle der Dickenscherung benutzt. Im Britischen Patent No. 1 361 622 wird eine Breitenausdehnungsmode benutzt.

Mit dieser letzteren Mode können Filter erhalten werden, die vernünftige Ausdehnungen für Frequenzen bis hinunter zu ungefähr 262 kHz haben. Solch eine Mode kann jedoch nicht mehr für Frequenzen oberhalb 1 MHz benutzt werden, wenn man nicht Oberschwingungen benutzt, die wahrscheinlich eine ungewöhnlich große Impedanz zur Folge haben. Ein anderer Nachteil einer longitudinalen Mode im Quarz

,ein
ist hier im Vergleich zu dem einer Dickenscherungsmode

im AT-Schnitt ungünstiges thermisches Verhalten.

Obwohl die Erörterung bis hier unter Berücksichtigung der speziellen Eigenschaften von Quarz zum Gebrauch in Resonatoren stattfand, können gleiche Grundsätze auf andere Materialien angewandt werden, insbesondere wo andere Anwendungsbereiche angestrebt werden, wie z.B. im Entwurf von Filtern. Wo andere Materialien verwendet werden,

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* >. copy |y

ist es ersichtlich, daß die verschiedenen verwendeten Kristallstrukturen wahrscheinlich erheblich vom Quartzabweichen werden und folglich wird die Methode des Schneidens wie auch die elastischen Konstanten, die angewandt werden, abweichen. Nichtsdestoweniger sind die hier gezeigten Grundsätze gleichermaßen gültig, welches piezoelektrische Material auch immer für einen speziellen Filter, der in dieser Weise arbeitet, angewendet werden mag.

Die Erfindung will einen Mehrfachresonator oder -Filter schaffen, der von einem Block aus piezoelektrischem Material, dessen Umriß eine rechteckige Form hat und der zumindest zwei Energieeinschlußionen zeigt, erhalten wird. Solch ein Block oder eine solche Platte sollte äusserst verminderte Abmessungen haben.

So ist es möglich, im Verhältnis zu bekannten praktischen Verwirklichungen die Ausdehnung eines Filters, der aus einer Quarzplatte geschnitten wurde, in der X-Richtung um den Faktor 10 zu vermindern. Die Wahl der Ausdehnungsverhältnisse und der Ausrichtung ermöglicht eine sehr genaue Kontrolle über die Kopplung der verschiedenen Energieeinschlußzonen ebenso wie die Kontrolle über die thermischen und elektrischen Kennlinien. Solche Grundsätze können auf verschiedene piezoelektrische Materialien angewandt werden.

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-X-

Solche Filter werden Anwendung finden, wo immer der verfügbare Platz für die Wahl ausschlaggebend wird.

Die Erfindung schafft dementsprechend einen Mehrfachresonator oder -Filter in der Form eines rechteckigen Blockes aus piezoelektrischem Material, der mindestens zwei Energieeinschlußzonen hat und Elektrodeneinrichtungen, die so angeordnet sind, daß sie Anregungsenergie auf den Block übertragen. Die MaßVerhältnisse des Blockes sind so, daß er in einer Mode schwingt, in der Dickenscherschwingungen stark mit geraden harmonischen Biegeschwingungen gekoppelt sind, fortgepflanzt bei einem Breiten/Dicken-Verhältnis, das kleiner als 10,4 ist, wobei die Breite als die seitliche Erstreckung des Blockes in der Richtung definiert ist, in der sich die Teilchenverschiebung aufgrund der Dickenscherschwingungen ergibt. Die Energieeinschlußzonen erstrecken sich über die ganze Breite des Blockes.

Eine bevorzugte Ausführungsform hat die Form eines Blockes eines Y-geschnittenen Quarzes, der um ungefähr 35° gedreht ist und dessen größte Ausdehnung (Länge) entlang der gedrehten optischen (Z¹) Achse angeordnet ist, wobei der Block so angeordnet und angepaßt ist, daß er in einer Mode schwingt, in der Dickenscherschwingungen stark mit geraden harmonischen Biegeschwingungen gekoppelt sind, wobei das Breite/Dicke-Verhältnis (wo die Breite entlang

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-A -

der elektrischen (X) Achse gemessen wird) die folgenden Wertebereiche hat:

1.1 bis 1,9 für die Kopplung mit der 2. Biegeharmonischen

2.2 bis 3,6 für die Kopplung mit der 4. Biegeharmonischen 3,6 bis 5,3 für die Kopplung mit der 6. Biegeharmonischen 5,1 bis 6,8 für die Kopplung mit der 8. Biegeharmonischen 6,5 bis 8,4 für die Kopplung mit der IO. Biegeharmonischen 8 bis 10,4 für die Kopplung mit der 12. Biegeharmonischen

und wobei mindestens zwei Energieeinschlußzonen auf dem Block vorgesehen sind und sich diese Zonen über die ganze Breite des Blockes erstrecken.

Die Erfindung schafft also einen Mehrfachresonator oder -Filter in der Form eines rechteckigen Blockes aus piezoelektrischem Material, dessen Abmessungsverhältnisse so ausgewählt sind, daß eine Schwingung in einer Dickenscherschwingungsmode, die stark mit einer Biegeschwingungsmode gekoppelt ist, sichergestellt ist. Es sind mindestens zwei EnergieeinSchlußζonen vorgesehen, die sich über die ganze Breite des Blockes erstrecken. Die Anordnung ermöglicht die Erzielung eines hohen Gütefaktors im Verein mit äusserst kleinen Abmessungen.

Im Folgenden wird die Erfindung anhand bevorzugter Ausführungsbeispiele unter Bezugnahme auf die anliegenden

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Zeichnungen im Einzelnen erläutert.
Es zeigen:

Fig. 1 und la einen ebenen bzw. einen senkrechten Querschnitt an der Linie A-A eines herkömmlichen Mehrfachresonators oder -Filters;

Fig. 2 und 2a einen ebenen bzw. einen senkrechten Querschnitt an der Linie B-B eines anderen herkömmlichen Mehrfachresonators;

Fig. 3a die Teilchenverschiebung in einer Platte aus einem Material, das in reiner Dickenscherung schwingt;

Fig. 3b die gleiche Platte aus einem Material, das eine Biegeschwingung hat;

Fig. 4 die Ausrichtung einer AT-geschnittenen Quarzplatte ;

Fig. 5 das Frequenzspektrum einer Quarzplatte als Funktion des Abmessungsverhältnisses a/b;

Fig. 6 den Einfluß des Verhältnisses a/b auf die thermischen Eigenschaften eines Quarzresonators;

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Fig. 7 den Einfluß des Verhältnisses a/b auf die dynamische Kapazität C₁;

Fig. 8 das Spektrum eines Resonators der erfindungsgemäß und für eine Grundfrequenz von 4,19 MHz hergestellt wurde;

Fig. 9 und 9a eine Auf- bzw. Seitenansicht einer bevorzugten Ausfuhrungsform eines Mehrfachresonators;

Fig. IO und lOa eine Auf- bzw. Seitenansicht einer anderen bevorzugten Ausführungsform der Erfindung;

Fig. 11 und 11a eine Auf- bzw. Seitenansicht einer weiteren bevorzugten Ausführungsform;

Fig. 12 und 12a eine perspektivische bzw. eine Querschnittsansicht einer weiteren bevorzugten Ausführungsform;

Fig. 13 die Ausrichtung eines Mehrfachresonators der aus einer Platte aus AT-geschnittenem Quarz erfindungsgemäß hergestellt wurde.

In Fig. 1 ist ein Mehrfachresonator oder monolithischer

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Filter dargestellt, der zwei gekoppelte Resonatoren aufweist und nach herkömmlichen Verfahren hergestellt ist. Die Energieeinschlußzonen 1 und 2 werden durch eine metallische Elektrodenablagerung gebildet und können mit Hilfe von Zuführungen 3 und 4, die eine geringere Dicke der Metallisation als die Elektroden 1 und 2 haben, an Stromquellen angekoppelt werden. Die Energieeinschlußzonen nehmen nur einen sehr kleinen Bereich der ganzen Oberfläche der Platte ein. Bemerkenswert ist der beträchtliche Abstand zwischen dem Rand der Energieeinschlußzonen und dem Rand der piezoelektrischen Platte in X-Richtung. Das Verhältnis der seitlichen

,zur Dicke

Ausdehnung der Platte in der X-Richtung liegt im allgemeinen in der Größenordnung von 30 oder mehr.

In Fig. 2 ist eine andere Form eines herkömmlichen Mehrfachresonators dargestellt, der drei Energieeinschlußzonen aufweist. Der zentrale Bereich ist nicht notwendig mit einer Elektrode versehen. Auch hier sind die seitlichen Ausmaße der Platte im Verhältnis zur Dicke groß (30 mal so groß oder mehr).

Fig. 3aerläutert die reine Dickenschwingung in einem Block aus einem Material mit Verschiebung der Teilchen des Materials in der Richtung X, die in einem Quarzblock oder einer Platte des AT-Schnitts auftreten, die in einer Mode schwingt, die als TS- bezeichnet wird. Die

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• Λ5 ·

Dickenscherungswelle breitet sich in der Richtung Y¹ unter Reflexion an den freien Flächen aus und bildet die stehende Welle. Fig. 3b zeigt in der gleichen Art Platte eine Biegungsschwingungswelle, die sich auch in der X-Richtung fortpflanzt^ obwohl in diesem Falle die Verschiebung der Teilchen in der Y-Richtung auftritt.

In einer Platte mit endlichen Abmessungen können die Schwingungen in reiner Dickenscherung nicht existieren, da das Drehmoment sonst nicht erhalten würde. Zu einer solchen Schwingung müssen die transversalen Bewegungen (senkrecht zur Platte) hinzugefügt werden, um den Ausgleich des Drehmoments sicherzustellen, und diese Bewegungen treten in der Form von Biegeschwingungen auf. Für einen AT-Schnitt, für den die Dickenscherung TS₁ in der Ebene XY¹ auftritt, treten die Biegeschwingungen F₁, die mit der Mode TS₁ gekoppelt sind, in derselben Ebene

XY' auf und pflanzen sich in der X-Richtung fort.

Fig. 4 zeigt einen AT-geschnittenen Quarz, für den der Drehwinkel 0 um die X-Achse ungefähr 35° beträgt. Bei einem solchen Schnitt wird bei höheren Verhältnissen a/b die Kopplung den Moden TS₁ und F₁ vermindert und das ist der Grund, warum bis heute die Tendenz bestand, grössere Platten zu benutzen, bei denen a/b gleich oder größer als 30 war, um den Einfluß einer solchen Kopplung zu vermindern. So bleiben die Eigenschaften des Resonators

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oder Filters in solchen Fällen im wesentlich unabhängig von dem Maß a. Die Biegeschwingungsmoden, die sich in der X-Richtung fortpflanzen, werden jedoch ausserhalb der Energieeinschlußzonen nicht gedämpft und können so Verluste verursachen, wenn die Platte an ihren X-Flächen

,durch
gehalten wird und/oder parasitäre Reflexionen, wenn

die X-Flächen frei sind.

Für ein sehr kleines Abmessungsverhältnis a/b, z.B. a/t = 3, besteht eine sehr starke Kopplung zwischen den Moden TS₁ und F... Eine solche Kopplung ändert die bekannten Eigenschaften der üblichen Arten von AT-Resonatoren. Z.B. hängt die Frequenz ebenso wie das elektrische und thermische Verhalten von dem Maß a ab und dies kann Probleme verursachen. Für eine gegebene Frequenz muß die Breite a und die Dicke b genau kontrolliert werden, siehe z.B. Fig. 5. Andererseits können auch Vorteile erzielt werden, da das thermische Verhalten uurch den Schnittwinkel und das Maß a beeinflußt wurden kann und das erlaubt es, einen Wendepunkt bei OU zu erhalten. Die Neiyung bei 25 der rrequ-jMiz-'lcmporatar-Kurven und die dynamische Kapazität des iiesonatois mit einen r.c.r kleinen Verhältnis a/b h.'iivjon In parasol i uchc-r und zyklischer Weise von diesem Verhältnis «ib, siehe Insbesondere Fi cj. 0 und 7.

In Ficj. b stellt die Ordinate die normalisierte Frequenz

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JOPY

ORIGINAL INSPECTED

f/f dar, wobei f die Resonanzfrequenz einer unendlich ausgedehnten Platte ist und durch f = C _ß6/4b f gegeben ist. C'gg ist die gedrehte elastische Konstante und f die Dichte des Quarzes. Ein ähnlicher Aspekt besteht für alle dünnen Platten, die in Dickenscherung schwingen. Zu beachten ist der Bereich großer Abmessungsverhältnisse a/b = 30, wo Stufen oder Absätze bestehen, d.h. wo die Frequenz praktisch nicht von dem Maß a abhängt. Dieser Bereich, wo der Einfluß der Kopplung mit der Biegeschwingungsmode vernachlässigbar ist, wird bei Mehrfachresonatoren oder Filtern benutzt, die nach herkömmlichen Verfahren hergestellt werden. Hier wird im Gegensatz dazu der Bereich schmaler Abmessungsverhältnisse a/b, z.B. 10,4 oder weniger, benutzt, wo die Frequenz stark von dem Maß a abhängt, was erlaubt, die seitlichen Abmessungen bis um den Faktor 10 zu reduzieren.

Die Ordinate der Fig. 6 gibt die Steigerung der Frequenz-Temperatur-Kurven bei 25° an. Die Kurven 4, 8 und 12 sind für einen Winkel von 35°15· und 8a für 34°36' berechnet. Die Kurven 4', 8¹ und 12· sind für einen Winkel von 35°15· gemessen und 4" für einen Winkel von 34^C40'. So ist es ersichtlich, daß für diese kleinen Maßverhältnisse nicht länger versucht wird, eine Dämpfung der Schwingungsmode in der Richtung X ausserhalb der Energieeinschlußzone zu erhalten. Im Gegenteil wird eine kon-

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-yS-

stante Schwingungsamplitude entlang der X-Achse angestrebt, indem der Erstreckung der Energieeinschlußzone entlang X der gleiche Wert wie das Maß a der Platte gegeben wird. Anders gesagt: die Energieeinschlußzone erstreckt sich über die ganze Breite a der Platte wie aus den Fig. 9 bis 13 ersichtlich.

Wie durch Messungen gezeigt wurde, besitzt diese gekoppelte Mode entlang der Richtung Z¹ eine Dämpfung, die stärker ist als die durch die wohlbekannte Formel, die für reine Dickenverwindung gilt, gegebene:

_e-2,94

Hierbei ist Δ die relative Absenkung der Frequenz des Resonators mit und ohne Elektroden (Energieeinschlußzone) und d ist der Abstand vom Rand der Elektrode. Diese starke Dämpfung erlaubt es, das Maß c entlang der Achse Z¹ zu begrenzen, während ein sehr hoher Gütefaktor bestehen bleibt. Der Energieeinschluß, der vollkommen ist, da sich keine Biegeschwingungsmode in der Richtung Z¹ fortpflanzt, erlaubt auch eine sehr starre Befestigung der Platte, wodurch parasitäre Moden, die nicht dem Energieeinschluß unterworfen sind, sehr gering gemacht oder gänzlich beseitigt werden.

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Fig. 8 zeigt das Spektrum eines Resonators mit einem einzigen Paar von Elektroden. Die Reinheit dieses Spektrums beruht auf folgendem:

a) der perfekte EnergieeinSchluß erlaubt eine starre Befestigung, die alle parasitären Moden begrenzt oder beseitigt,

b) die gekoppelten Moden TS₁ plus F.. unmittelbar oberhalb und unterhalb der Grundmode sind einerseits in ihrer Frequenz getrennt (siehe Fig. 5) und haben andererseits eine sehr kleine dynamische Kapazität (siehe Fig. 7),

c) da das Maß a sehr klein ist, haben die Resonanzen

der Moden, die von diesem Maß abhängen, eine sehr hohe Frequenz und sind wenig zahlreich.

Beim Gebrauch einer solchen Platte mit verschiedenen Energieeinschlußzonen, die voneinander durch einen gegebenen Abstand getrennt sind, erhält man Filter äusserst kleiner Abmessungen und äusserst hoher Spektralreinheit.

In den Fig. 9 und 9a ist ein Mehrfachresonator gezeigt, der zwei Energieeinschlußzonen hat und dessen seitliche Abmessungen äusserst begrenzt sind.

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-IT-

Fig. 10 und 10a zeigen gleicherweise einen Resonator, der eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung darstellt, bei dem die zwei Energieeinschlußzonen durch eine gemeinsame Elektrode verbunden sind, siehe insbesondere Fig. 10a.

Fig. 11 und 11a zeigen eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung, bei der drei Zonen für den Energieeinschluß vorgesehen sind.

Fig. 12 zeigt einen Mehrfachresonator in einer bevorzugten Ausführungsform, in dem der Energieeinschluß im Zentralbereich von piezoelektrischer Natur ist und durch Kurzschließen der oberen und unteren Elektroden durch eine Metallschicht an den Seiten erhalten wird. Eine solche Schicht kann verschiedene Abmessungen haben oder aus verschiedenen Metallen bestehen, um den Widerstand und damit den Kurzschlußstrom zu variieren.

Fig. 13 zeigt die Ausrichtung an einer bevorzugten Ausführungsform eines Mehrfachresonators, wobei der Resonator mit einem AT-Schnitt aus dem Quarz geschnitten wurde.

Die Bandpaß-Kennzeichnungsgrößen, wie Bandbreite, Bandbreitendämpfung, Impedanzcharakteristiken usw., die für diese Resonatoren, die als Filter benutzt werden,

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gewünscht werden, können durch die Wahl der Anzahl der Energieeinschlußzonen, der Trennung zwischen den Zonen, der Länge jeder Zone und der Dicke der Metallisation oder der zusätzlichen Dicke des Resonatormaterials bei jeder Zone erhalten werden.

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Claims

Ii '13672 Patentansp r ü c h e :

1.Λ Mehrfachresonator oder Filter in der Form eines rechteckigen Blockes aus piezoelektrischem Material, gekennzeichnet durch mindestens zwei Energieeinschlußzonen, und durch Elektrodeneinrichtungen, die so angeordnet sind, daß sie Anregungsenergie auf den Block übertragen, wobei die Maßverhältnisse des Blockes so gestaltet sind, daß er in einer Mode schwingt, in der Dickenscherschwlngungen stark mit geraden harmonischen Biegeschwingungen gekoppelt sind, die bei einem Breiten/Dickenverhältnis von weniger als 10,k fortgepflanzt werden, wobei die Breite als die Seitenausdehnung des Blockes in der Richtung der Teilchenverschiebung aufgrund der Dickenscherschwlngungen definiert ist, und wobei sich die Energieeinschlußzonen über die ganze Breite des Blockes erstrecken.

2. Mehrfachresonator oder Filter, insbesondere nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Block aus einem um ungefähr 35 ° gedrehten Y-geschnittenen Quarz besteht und seine größte Austehenung (Länge)

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ORIGINAL INSPECTED

entlang uer gedrehten optischen (Z¹) Achse angeordnet ist, wobei der Block so angeorunet und angepaßt ist, uaß er in einer Mode schwingt, in der Dickenscherschwingungen stark mit geraden harmonischen Biegeschwingungen gekoppelt sind, und wobei das Breiten-/Dickenverhältnis, wobei die Breite entlang der elektrischen (X) Achse gemessen wird, die folgenden Wertebereiche einnimmt:

1.1 bis 1,9 für die Kopplung mit der 2. Biegeharmonischen

2.2 bis 3,6 für die Kopplung mit der 4. Eiegeharmonisehen 3,6 bis 5,3 für die Kopplung mit der 6. Biegeharmonischen 5,1 bis 6,i3 für uie Kopplung mit der 8. Biegeharmonischen 6,5 bis 3,4 für die Kopplung mit der 10. Biegeharmonischen 8 bis 10,4 für die Kopplung mit der 12. Biegeharmonischen und wobei mindestens zwei Energieeinschlußzonen auf dem Block vorgesehen sind und sich über die ganze Breite ues Blockes erstrecken.

3. Mehrfachresonator oder Filter nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Energieeinschlußzonen durch eine Aufbringung von Metall auf den Block erhalten werden.

4. Mehrfachresonator oder Filter nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß

einige oder alle der Lnergieeinschlußzonen durch chemischen Angriff, Ionenfräsen, Plasmaätzen od. dgl. erhalten werden, wobei vorbestimmte Zonen mit Metallelektroden versehen sind.

5. Mehrfachresonator oder Filter nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eine Energieeinschlußzone durch eine kurzgeschlossene Elektrode, die sich vollständig um den Block erstreckt, erhalten wird.

6. Mehrfachresonator oder Filter nach Anspruch b, dadurch gekennzeichnet, daß die kurzgeschlossene Elektrode so ausgebildet ist, daß sie einen vorbestimmten elektrischen Widerstand aufweist und dadurch den Kurzschlußstrom bestimmt.

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