NL8000297A - Piezoelektrische triller. - Google Patents

Piezoelektrische triller. Download PDF

Info

Publication number
NL8000297A
NL8000297A NL8000297A NL8000297A NL8000297A NL 8000297 A NL8000297 A NL 8000297A NL 8000297 A NL8000297 A NL 8000297A NL 8000297 A NL8000297 A NL 8000297A NL 8000297 A NL8000297 A NL 8000297A
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
electrodes
electrode
face
axis
main surfaces
Prior art date
Application number
NL8000297A
Other languages
English (en)
Original Assignee
Philips Nv
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Philips Nv filed Critical Philips Nv
Priority to NL8000297A priority Critical patent/NL8000297A/nl
Priority to CH221/81A priority patent/CH652261A5/de
Priority to JP332881A priority patent/JPS56106414A/ja
Priority to GB8101016A priority patent/GB2069232B/en
Priority to DE19813100831 priority patent/DE3100831A1/de
Priority to CA000368595A priority patent/CA1171516A/en
Priority to BE0/203493A priority patent/BE887091A/fr
Priority to FR8100795A priority patent/FR2474255A1/fr
Priority to US06/225,958 priority patent/US4388548A/en
Publication of NL8000297A publication Critical patent/NL8000297A/nl

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/46Filters
    • H03H9/54Filters comprising resonators of piezo-electric or electrostrictive material
    • H03H9/56Monolithic crystal filters

Description

r * ,+ PHN 9676 1 N.V. Philips’ Gloeilampenfabrieken te Eindhoven Piezoelektrische triller
De uitvinding heeft betrekking op een piezoelektrische triller bevattende een lichaam in de vorm van een in hoofdzaak rechthoekig blok gesneden uit een piezoelektrisch kristal, welk lichaam twee onderling para-5 lelie hoofdvlakken bevat, die in de direkte nabijheid van een der twee deze hoofdvlakken begrenzende eindvlakken zijn voorzien van een elektrodenstelsel terwijl het tegenover dit eindvlak gelegen eindvlak voor de ondersteuning van het lichaam is bestemd en waarbij het lichaam een rond de X-as 10 geroteerde kristalsnede vertoont.
Hierbij wordt onder een rond de X-as geroteerde kristalsnede op gebruikelijke wijze verstaan dat het lichaam met een zodanige oriëntatie uit het kristal is gesneden dat één hoofdas van het lichaam parallel is I5 aan de X-as, terwijl de beide andere hoofdassen parallel zijn aan een Y'- respektievelijk Z'-as die uit de Y- en Z-as zijn ontstaan door rotatie van de kristalassen rond de X-as.
Een dergelijke triller is bijvoorbeeld be-20 kenduit de Duitse octrooiaanvrage nr. 2701416. Hierbij bestaat het lichaam uit een langwerpig, rechthoekig blok gesneden uit een kwartskristal volgens de AT-snede, waarbij het lichaam twee langwerpige hoofdvlakken bevat met de lengteas in de Z'-richting en de breedteas in de X-richting 25 en deze hoofdvlakken zijn voorzien van tegenover elkaar gelegen elektroden. Door de gekozen snede in kombinatie met het elektrodenstelsel wordt een gekombineerde trillingsmodus aangestoten bestaande uit een XY'-dikteschuiftrilling en een XY '-buigingstrilling.
30 Bij dergelijke trillers, bestemd voor re- sonantiefrequenties groter dan 100 kHz, streeft men er naar de afmetingen zo klein mogelijk te houden. Aan deze eis wordt bij de bekende triller tegemoet gekomen doordat de aan- 8000297 * PHN 9676 2 gestoten trillingsmodi beide een bewegingsrichting bezitten die gelegen is in het XY'-vlak dat wil zeggen een vlak loodrecht op de lengteas van het lichaam. Dit houdt tevens in dat het mogelijk is de elektroden asymmetrisch op de 5 hoofdvlakken aan te brengen indien men slechts êên der deze beide hoofdvlakken in de lengterichting begrenzende eind-vlakken als draagvlak voor de triller gebruikt. Omdat de trillingsmodi een bewegingsrichting evenwijdig aan deze eindvlakken bezitten verstoort het vrije eindvlak deze trillingsmodi niet waardoor ten aanzien van dit eindvlak de eis vervalt dat ter plekke de trilling reeds uitgestorven dient te zijn, hetgeen inhoudt dat de elektroden op de hoofdvlakken in de buurt van dit vrije eindvlak aangebracht mogen worden. Bovendien wordt door de elektroden een zoge-15 naamde energie-invang (energy-trapping) bewerkstelligd, dat wil zeggen dat de opgewekte trillingen voornamelijk beperkt zijn tot het gebied tussen de elektroden, terwijl de amplitude van de trillingen van de aangegeven trillingsmodi buiten dit elektrodengebied als funktie van de afstand 20 tot dit elektrodengebied relatief sterk afneemt.
Het streven naar reduktie van de afmetingen van de triller wordt bij deze bekende triller begrensd door de eis dat ter plekke van het als draagvlak fungerende eindvlak de trilling volledig uitgedempt moet zijn, waar-25 door de minimale afstand tussen elektrodengebied en dit draagvlak wordt vastgelegd. Bovendien heeft deze triller als nadeel dat zowel de dikte als de breedte van het lichaam trillingsfrequentie bepalende afmetingen zijn hetgeen natuurlijk nauwkeurigheidseisen bij de fabrikage oplegt.
30 De uitvinding beoogt een piezoelektrische triller te verschaffen die zeer geringe afmetingen kan bezitten en tevens eenvoudig en betrouwbaar te fabriceren is.
Daartoe heeft de piezoelektrische triller 35 volgens de uitvinding als kenmerk dat het elektrodenstelsel in kombinatie met de snede van het lichaam zodanig gekozen is dat in het lichaam een gekombineerde trillingsmodus wordt verkregen, bestaande uit een XY'-dikteschüi-ftrilling en een 8000297 * » PHN 9676 3 diktetrilling in de X- of Y'-richting.
In de piezoelektrische triller volgens de uitvinding u/ordt een gekombineerde trillingsmodus bestaande uit een XY'-dikteschuiftrilling en een diktetrilling in de 5 X- of Y'-richting, welke gekombineerde trillingsmodus een zogenaamde randmodus (edge-mode) is. Dit houdt in dat deze modus alleen aangestoten kan worden in de direkte nabijheid van een de hoofdvlakken begrenzende eindvlakken, zodat automatisch aan de, voor een minimale afmeting van belang 10 zijnde asymmetrische plaatsing van de elektroden op de hoofdvlakken wordt voldaan. Bovendien blijkt dat de toegepaste trillingsmodus met toenemende afstand tot dit eind-vlak zeer sterk uitdempt, hetgeen inhoudt dat de afstand van het als draagvlak fungerende eindvlak tot dit vrije 15 eindvlak aanzienlijk geringer kan zijn dan bij de bekende triller. Verder wordt door de toegepaste trillingsmodus bereikt dat slechts êên afmeting van het lichaam bepalend is voor de trillingsfrequentie, hetgeen de fabrikage sterk vergemakkelijkt.
20 Een eerste uitvoeringsvorm van de triller volgens de uitvinding is gekenmerkt doordat de snede van het lichaam zodanig is dat de hoofdvlakken loodrecht staan op de Y'-as en de genoemde eindvlakken loodrecht op de X-as en dat elk der hoofdvlakken een elektrode bevat, 25 waarbij de elektroden der beide hoofdvlakken tegenover elkaar zijn gelegen en met een eerste signaalklem zijn verbonden, terwijl het zich in de direkte nabijheid van deze elektroden bevindende eindvlak eveneens een elektrode bevat, die met een tweede signaalklem is verbonden. Deze 30 uitvoeringsvorm heeft als voordeel dat door het aangegeven elektrodenstelsel een elektrisch veld in het lichaam wordt opgewekt dat direkt zowel de XY1-dikteschuiftrilling als de diktetrilling in de Y'-richting aanstoot, zodat een groot rendement wordt verkregen.
35 Een tweede uitvoeringsvorm van de triller volgens de uitvinding is gekenmerkt doordat de snede van het lichaam zodanig is dat de hoofdvlakken loodrecht staan op de X-as en de genoemde eindvlakken loodrecht op de Y'-as 8000297
<v V
PHN 9676 4 en dat elk der hoofdvlakken een elektrode bevat, die met een afzonderlijke signaalklem is verbonden, waarbij deze elektroden der beide hoofdvlakken tegenover elkaar zijn gelegen. Deze uitvoeringsvorm heeft het voordeel van een 5 eenvoudiger elektrodenstelsel. Door dit elektrodenstelsel wordt in eerste instantie alleen de diktetrilling in de X-richting aangestoten, terwijl de XY'-dikteschuiftrilling dan ontstaat door de door het vrije eindvlak aan deze diktetrilling opgelegde randvoorwaarden. Om het rendement 10 te vergroten kan deze uitvoeringsvorm als verder kenmerk vertonen, dat het zich in de direkte nabijheid van de elektroden op de hoofdvlakken bevindende eindvlak eveneens voorzien is van een elektrode. Deze elektrode op het eindvlak behoeft niet met een signaalklem te worden verbonden, 15 zodat hiervoor geen geleidésanen op het lichaam behoeven te worden aangebracht.
Een derde uitvoeringsvorm van de triller volgens de uitvinding heeft als kenmerk dat de snede van het lichaam zodanig is dat de hoofdvlakken loodrecht staan 20 op de Z'-as en de genoemde eindvlakken loodrecht op de X- of Y'-as en dat het elektrodenstelsel is ingericht voor het opwekken van twee onderling tegengestelde elektrische velden loodrecht op de hoofdvlakken, waarbij deze velden elk afzonderlijk optreden in de nabijheid van een der loodrecht 25 op de eerste zijvlakken staande zijvlakken. Deze uitvoeringsvorm heeft als voordeel dat de afmeting van het lichaam dwars op de hoofdvlakken zeer gering kan zijn, hetgeen uit een oogpunt van fabrikage rendement gewenst is, terwijl deze afmeting niet frequentiebepalend is.
30 De uitvinding zal in het navolgende worden toegelicht aan de hand van de figuren, waarbij de figuren 1 tot en met 4 een aantal uitvoeringsvormen van de triller volgens de uitvinding tonen, en figuur 5 schematisch een trillingspatroon.
35 De eerste uitvoeringsvorm van de triller volgens de uitvinding zoals weergegeven in figuur 1 bevat een lichaam 1 in de vorm van een rechthoekig blok. Dit 8000297 PHN 9676 5 blok bevat twee hoofdvlakken 2 en 3, twee eindvlakken 4 en 5 en twee zijvlakken 6 en 7. Dit lichaam 1 is gesneden uit een piezoelektrisch kristal volgens een rond de X-as gedraaide snede en wel zodanig dat de Y'-as loodrecht staat 5 op de beide hoofdvlakken 2 en 3 en de X-as loodrecht op de beide eindvlakken 4 en 5.
Op het hoofdvlak 2 is in de nabijheid van het eindvlak 4 een elektrode 8 aangebracht en daartegenover op het hoofdvlak 3 een elektrode 9. Deze elektroden 8 10 respektievelijk 9 zijn via geleide-banen 10 respektievelijk 11 verbonden met een signaalklem 12. Het gehele eindvlak 4 is voorzien van een elektrode 13, die via een geleidebaan 14 op het zijvlak 6 met een signaalklem 15 is verbonden, De beide signaalklemmen 12 en 15 fungeren hierbij niet 15 alleen als elektrische aansluitpunten voor het toe te voeren signaal maar tevens als bevestigingspunten voor de triller, zodat dientengevolge het eindvlak 5 en zijn direkte omgeving als draagpunten voor de triller fungeren.
Wordt aan de béide signaalklemmen 12 en 15 20 een ingangsverschilsignaal toegevoerd dan ontstaat tussen de elektroden 8, 9 en 13 een elektrisch veld E dat opgesplitst kan worden in een veld in de Y'-richting, dat in de boven- en benedenhelft van het lichaam 1 een tegengestelde richting bezit, en een veld in de X-richting. Het 25 veld in de Y'-richting stoot hierbij een XY'-dikteschuif-trilling aan en het veld in de X-richting een Y'-diktetril-ling. De totaal opgewekte gekombineerde trilling vertoont dan een trillingspatroon zoals in figuur 5 schematisch is weergeven. Tevens is in figuur 5 schematisch aangegeven uit 30 welke twee komponenten dit trillingspatroon is opgebouwd, namelijk een diktetrilling T en een dikteschuiftrilling S.
Deze gekombineerde trilling kenmerkt zich enerzijds door het feit dat hij sterk geconcentreerd blijft tot het gebied in de nabijheid van het vrije eindvlak 4 35 en daarbuiten met toenemende afstand zeer sterk uitdempt.
Dit heeft tot gevolg dat de afstand tussen de elektroden 8 en 9, op de hoofdvlakken en het als draagvlak fungerende 8000297 PHN 9676 6 eindvlak 5 zeer klein gekozen kan worden zonder dat daarbij de door dit eindvlak opgelegde randvoorwaarden tot verstoringen in het trillingspatroon aanleiding geven. Zo is gebleken dat vergeleken met de in de inleiding be-5 schreven bekende triller genoemde afstand tussen de elektroden 8 en 9 en eindvlak 5 met een faktor 2 έ 3 gereduceerd kan worden. Dit betekent dat de triller volgens de uitvinding met aanzienlijk geringere afmetingen kan volstaan.
Een tweede additioneel voordeel van de 10 triller volgens de uitvinding is het feit dat de frequentie van de opgewekte gekombineerde trilling slechts door één afmeting van het lichaam 1 wordt bepaald, bij de uitvoering volgens figuur 1 de dikte van het lichaam dat wil zeggen de afstand d tussen de hoofdvlakken 2 en 3. Dit betekent 15 dat tijdens de fabrikage ook alleen deze afmeting met de voor het vastleggen van de resonantiefrequentie vereiste nauwkeurigheid dient te worden gerealiseerd.
De temperatuurafhankelijkheid van de getoonde triller is uiteraard afhankelijk van de gekozen 20 kristalsnede, dat wil zeggen de hoek Θ waarover de Y- en Z-as rond de X-as van het kristal gedraaid zijn, zoals aangegeven in het bij figuur 1 getoonde assenstelsel. Computerberekeningen hebben aangetoond dat voor kwarts de eerste orde temperatuurcoëfficiënt nul is voor ö .= + 16°. Voor het 25 frequentiegetal, dat wil zeggen het produkt van de resonan-tiefrequentie fo en de afmeting d, geldt voor deze snedes fo.d = 2710 kHz.m-3 (0=+16°) en fo.d = 2390 (0=-16°) kHz.m"3.
Als alternatief van het elektrodenstelsel 30 volgens figuur 1 kan men ook de elektroden 8 en 9 tot aan het eindvlak 4 laten lopen en de elektrode 13 smaller maken, dat wil zeggen niet tot aan de hoofdvlakken 2 en 3 laten lopen. Zoals uit de figuur is te zien strekken de elektroden 8 en 9 zich niet over de gehele breedte van de hoofd-35 vlakken uit maar blijven daarentegen een zekere afstand van het zijvlak 6 verwijderd. Dit is gedaan om een eventueel storend veld tussen deze elektroden en de geleider 14 te vermijden.
8000297 9 PHN 9676 7
Figuur 2 toont een tweede uitvoeringsvorm van de triller volgens de uitvinding waarbij overeenkomstige elementen met dezelfde verwijzingscijfers zijn aangegeven als in figuur 1. Bij deze uitvoeringsvorm wordt een kristal-5 snede gebruikt waarbij de X-as loodrecht op de hoofdvlakken 2 en 3 staat en de Y'-as loodrecht op de eindvlakken 4 en 5. Op de hoofdvlakken 2 en 3 zijn grenzend aan het eindvlak 4 twee elektroden 8 en 9 aangebracht, die via geleiders 10 en 11 met de signaalklemmen 12 en 15 zijn verbonden. Door het 10 aanbrengen van een ingangsverschilsignaal aan de signaalklemmen 12 en 15 ontstaat tussen de elektroden 8 en 9 een elektrisch veld in de X-richting. Als gevolg van de gekozen snede wordt hierdoor een diktetrilling in de X-richting aangestoten, die ook weer een XY'-dikteschuiftrilling tot 15 gevolg heeft. Aangezien deze XY'-dikteschuiftrilling niet rechtstreeks wordt opgewekt is deze wijze van aanstoten minder effektief dan die volgens figuur 1. Dit rendement kan worden verbeterd door op het eindvlak 4 een extra elektrode 13 aan te brengen. Deze elektrode 13 is niet met 20 een der signaalklemmen verbonden en neemt daardoor een potentiaal aan ongeveer halverwege de signaalniveaus aan de beide signaalklemmen. Met behulp van deze extra elektrode 13 wordt een komponent van het elektrische veld in de Y'-richting verkregen, die in de bovenhelft en onder-25 helft van het lichaam van tegengesteld teken is, waardoor de XY'-dikteschuiftrilling wordt aangestoten. Het voordeel van het elektrodenstelsel volgens figuur 2 ten opzichte van dat in figuur 1 is dat geen geleidebaan voor de verbinding van de elektrode 13 met een signaalklem nodig is.
30 Figuur 3 toont een uitvoeringsvoorbeeld van de triller volgens de uitvinding, waarbij een snede wordt gebruikt met de Z'-as loodrecht op de hoofdvlakken 2 en 3 en de X-as loodrecht op de eindvlakken 4 en 5. Als alternatief kan ook de Y'-as loodrecht op de eindvlakken 35 4 en 5 gekozen worden, zoals in het assenstelsel tussen haakjes is aangegeven.
Op het hoofdvlak 2 zijn twee elektroden 8 8000297 PHN 9676 8 en 8' aangebracht, waarbij de elektrode 8 aansluit op het eindvlak 4 en het zijvlak 7 en de elektrode 8' aansluit op het eindvlak 4 en zijvlak 6. Op dezelfde u/ijze zijn op het hoofdvlak 3 elektroden 9 en 9' aangebracht. Deze elek-Λ 5 troden 8, 8', 9 en 9* zijn via respektievelijk geleiders 10, 10', 11 en 11' en daaraan verbonden aansluitdraden verbonden met de signaalklemmen 12 en 15 en wel zo dat een kruiselingse verbinding ontstaat dat wil zeggen, dat de elektroden 8 en 9' met de signaalklem 12 en de elektroden 81 en 9 met de signaalklem 15 zijn verbonden. Door middel van dit elektrodenstelsel worden tussen de elektroden 8 en 9 respektievelijk 8' en 9' twee onderling tegengestelde elektrische velden in de Zl- richting opgewekt.
In tegenstelling tot de voorafgaande uit-15 voeringen is de frequentiebepalende afmeting d van het lichaam 1 nu niet de afstand tussen de hoofdvlakken 2 en 3 maar de afstand tussen de zijvlakken 6 en 7. Dit betekent dat de afstand tussen de hoofdvlakken 2 en 3 klein gekozen kan worden, hetgeen een groot voordeel bij de fabrikage is.
20 Daarbij is het tevens gewenst dat er in de hoofdvlakken tussen de elektroden 8 en 8' respektievelijk 9 en 9' een voldoende afstand bestaat om ervoor te zorgen dat het elektrisch veld parallel aan deze hoofdvlakken voldoende klein blijft.
25 Figuur 4 toont tenslotte een uitvoerings vorm die in grote trekken overeenkomt met die volgens figuur 3. Het enige onderscheid is het feit dat in plaats van de elektroden 9 en 9' nu één elektrode 9 op het hoofdvlak 3 is aangebracht welke elektrode zich volledig 30 tussen de zijvlakken 6 en 7 uitstrekt en dus zowel tegenover de elektrode 8 als de elektrode 8* op het hoofdvlak 2 is gelegen. Deze elektrode is niet met een signaalklem verbonden. Deze elektrode neemt automatisch een potentiaal aan die is gelegen halverwege de niveaus van de 35 beide aan de signaalklemmen 12 en 15 aangeboden signalen, zodat ook bij dit elektrodenstelsel de gewenste tegengesteld gerichte velden in de Z'-richting ontstaan. Het voor- 8 0 0 0 2 9 7 PHN 9676 9 deel van deze uitvoeringsvorm is de minder gekompliceerde opzet van de geleide-banen voor het tot stand brengen van de benodigde verbindingen met de signaalklemmen.
Opgemerkt zij dat de uitvinding geenszins 5 beperkt is tot de in de figuren weergegeven uitvoeringsvormen. Binnen het kader van de onderhavige uitvinding kan men natuurlijk afhankelijk van de gekozen kristalsnede afwijkende elektrodenstelsels en/of elektrodevormen toepassen. Zo zullen bijvoorbeeld de elektroden op de hoofd-10 vlakken niet geheel tot aan de randen van het hazofdvlak behoeven door te lopen. Ook kan men bijvoorbeeld op elk hoofd/lak in de nabijheid van het eindvlak twee met de rand tussen dit eindvlak en het hoofdvlak parallelle elektrodes plaatsen, dit op enige afstand van elkaar zijn gelegen en 15 elk met een afzonderlijke signaalklem zijn verbonden. Ook een dergelijk elektrodenstelsel wekt een kombinatie van elektrische velden op die afhankelijk van de gekozen kristalsnede de gewenste trillingsmodus kan aanstoten.
Zo zal het ook duidelijk zijn dat er ten aanzien van de 20 vorm en plaatsing van de geleide-banen en de tevens als ondersteuning dienende signaalklemmen vele varianten mogelijk zijn.
Ten aanzien van de vorm van het lichaam dient opgemerkt te worden dat, alhoewel deze vorm in hoofd-25 zaak rechthoekig dient te zijn, bepaalde afwijkingen van deze rechthoekvorm mogelijk en eventueel wenselijk zijn.
Zo is het in het algemeen moeilijk haakse vlakken te fabriceren zonder dat gedeeltes van de rand afbrokkelen. Omdat hierdoor het trillingspatroon verstoord kan worden worden 30 dan veelal de betreffende randen, in het bijzonder de randen tussen de hoofvlakken 2 en 3 en het eindvlak 4 in een nabewerking afgerond. Verder is het mogelijk in de nabijheid van het voor de ondersteuning bestemde eindvlak 5 een facettering van het lichaam toe te passen. In het 35 bijzonder kan men in de nabijheid van dit eindvlak de afstand tussen de hoofdvlakken (uitvoeringsvormen volgens figuur 1 en 2) of de afstand tussen de zijvlakken 6 en 7 8000257 PHN 9676 10 (uitvoeringsvormen volgens figuur 3 en 4) geleidelijk verminderen. Hiermede wordt de asymmetrie van de triller, die een voorwaarde is voor het tot stand brengen van de gewenste trillingsmodus, extra vergroot.
5 Verder zal het duidelijk zijn dat het ge wenst is de bevestiging van de triller zodanig uit te voeren dat ongewenste trillingsmodi bij deze ondersteuning nabij het eindvlak 5 gedempt worden. Hierdoor wordt bereikt dat alle trillingsmodi die symmmetrisch zijn ten opzichte van 10 de eindvlakken volledig gedempt worden.
15 20 25 30 1 8000297

Claims (8)

1. Piezoelektrische triller bevattende een lichaam in de vorm van een in hoofdzaak rechthoekig blok gesneden uit een piezoelektrisch kristal, welk lichaam twee onderling parallelle hoofdvlakken bevat, die in de direkte nabijheid 5 van een der twee deze hoofdvlakken begrenzende eindvlakken zijn voorzien van een elektrodenstelsel, terwijl het tegenover dit eindvlak gelegen eindvlak voor de ondersteuning van het lichaam is bestemd en waarbij het lichaam een rond de X-as geroteerde kristalsnede vertoont, met het kenmerk 10 dat het elektrodenstelsel in kombinatie met de snede van het lichaam zodanig gekozen is dat in het lichaam een ge-kombineerde trillingsmodus wordt verkregen, bestaande uit een XY'-dikteschuiftrilling en een diktetrilling in de X- of Y'-richting.
2. Piezoelektrische triller volgens konklusie 1, met het kenmerk, dat de snede van het lichaam zodanig is dat de hoofdvlakken loodrecht staan op de Y'-as en de genoemde eindvlakken loodrecht op de X-as en dat elk der hoofdvlakken een elektrode bevat, waarbij de elektroden 20 der beide hoofdvlakken tegenover elkaar zijn gelegen en met een eerste signaalklem zijn verbonden, terwijl het zich in de direkte nabijheid van deze elektroden bevindende eindvlak eveneens een elektrode bevat, die met een tweede sginaalklem is verbonden.
3. Piezoelektrische triller volgens konklusie 2, met het kenmerk dat de elektrode op het eindvlak dit gehele zijvlak bedekt en de elektroden op de hoofdvlakken een geringe afstand van dit eindvlak verwijderd blijven.
4. Piezoelektrische triller volgens konklusie 1, 30 met het kenmerk, dat de snede van het lichaam zodanig is dat de hoofdvlakken loodrecht staan op de X-as en de genoemde eindvlakken loodrecht op de Y'-as en dat elk der hoofdvlakken een elektrode bevat, die met een afzonderlijke signaalklem is verbonden, waarbij deze elektroden der beide 35 hoofdvlakken tegenover elkaar zijn gelegen.
5. Piezoelektrische triller volgens konklusie 4, met het kenmerk dat het zich in de direkte nabijheid van 8000297 PHN 9676 12 de elektroden op de hoofdvlakken bevindende eindvlak eveneens voorzien is van een elektrode.
6. Piezoelektrische triller volgens konklusie 1, met het kenmerk dat de snede van het lichaam zodanig is 5 dat de hoofdvlakken loodrecht staan op de Z'-as en de genoemde eindvlakken loodrecht op de X- of Y'-as en dat het elektrodenstelsel is ingericht voor het opwekken van twee onderling tegengestelde elektrische velden loodrecht op de hoofdvlakken,waarbij deze velden elk afzonderlijk optreden 10 in de nabijheid van een der loodrecht op de eerste zijvlakken staande zijvlakken.
7. Piezoelektrische triller volgens konklusie 6, met het kenmerk, dat elk der hoofdvlakken twee elektroden bevat die elk afzonderlijk zijn geplaatst in de direkte na- 15 bijheid van een der loodrecht op de eindvlakken staande zijvlakken en dat de vier elektroden kruiselings met twee signaalklemmen zijn verbonden.
8. Piezoelektrische triller volgens konklusie 6, met het kenmerk, dat een der hoofdvlakken is voorzien van 20 twee elektroden die afzonderlijk zijn geplaatst in de direkte nabijheid van een der loodrecht op de eindvlakken staande zijvlakken, welke twee elektroden afzonderlijk zijn verbonden met twee signaalklemmen en dat het andere hoofdvlak is voorzien van een gemeenschappelijk tegenover 25 deze beide elektroden geplaatste elektrode. 30 1
NL8000297A 1980-01-17 1980-01-17 Piezoelektrische triller. NL8000297A (nl)

Priority Applications (9)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL8000297A NL8000297A (nl) 1980-01-17 1980-01-17 Piezoelektrische triller.
CH221/81A CH652261A5 (de) 1980-01-17 1981-01-14 Piezoelektrischer schwinger.
JP332881A JPS56106414A (en) 1980-01-17 1981-01-14 Piezoelectric resonator
GB8101016A GB2069232B (en) 1980-01-17 1981-01-14 Piezoelectric resonator
DE19813100831 DE3100831A1 (de) 1980-01-17 1981-01-14 Piezoelektrischer schwinger
CA000368595A CA1171516A (en) 1980-01-17 1981-01-15 Multiple mode piezoelectric resonator
BE0/203493A BE887091A (fr) 1980-01-17 1981-01-15 Resonateur piezo-electrique
FR8100795A FR2474255A1 (fr) 1980-01-17 1981-01-16 Resonateur piezo-electrique
US06/225,958 US4388548A (en) 1980-01-17 1981-01-19 Multiple mode piezoelectric resonator

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL8000297A NL8000297A (nl) 1980-01-17 1980-01-17 Piezoelektrische triller.
NL8000297 1980-01-17

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL8000297A true NL8000297A (nl) 1981-08-17

Family

ID=19834690

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL8000297A NL8000297A (nl) 1980-01-17 1980-01-17 Piezoelektrische triller.

Country Status (9)

Country Link
US (1) US4388548A (nl)
JP (1) JPS56106414A (nl)
BE (1) BE887091A (nl)
CA (1) CA1171516A (nl)
CH (1) CH652261A5 (nl)
DE (1) DE3100831A1 (nl)
FR (1) FR2474255A1 (nl)
GB (1) GB2069232B (nl)
NL (1) NL8000297A (nl)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4469979A (en) * 1983-05-27 1984-09-04 Statek Corporation Microresonator of double-ended tuning fork configuration
US4625138A (en) * 1984-10-24 1986-11-25 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Piezoelectric microwave resonator using lateral excitation
US5221873A (en) * 1992-01-21 1993-06-22 Halliburton Services Pressure transducer with quartz crystal of singly rotated cut for increased pressure and temperature operating range
JPH08242026A (ja) * 1995-03-03 1996-09-17 Fujitsu Ltd 圧電振動子及びこれを具備する圧電振動子デバイス並びに該デバイスを具備する回路装置
US6658376B1 (en) 1999-06-15 2003-12-02 Seiko Epson Corporation Determination of vibration frequency characteristics of electroded crystal plate
US6654711B1 (en) 1999-06-15 2003-11-25 Seiko Epson Corporation Correction factors for the analysis of piezoelectric devices
US20060284628A1 (en) * 2005-06-16 2006-12-21 Jiun-Der Yu Super element for the prediction of viscosity effect on crystal plate

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2886787A (en) * 1953-07-30 1959-05-12 Donald E Johnson Piezoelectric device
JPS49123788A (nl) * 1973-03-30 1974-11-27
JPS539917B2 (nl) * 1973-05-02 1978-04-10 Suwa Seikosha Kk
US3946257A (en) * 1973-09-17 1976-03-23 Kabushiki Kaisha Daini Seikosha Quartz crystal vibrator with partial electrodes for harmonic suppression
US4071797A (en) * 1976-01-20 1978-01-31 Societe Suisse Pour L'industrie Horlogere Management Services S.A. Quartz piezo-electric element vibrating in a coupled mode
JPS5323589A (en) * 1976-08-18 1978-03-04 Seiko Epson Corp Crystal vibrator
JPS5851687B2 (ja) * 1976-10-22 1983-11-17 セイコーインスツルメンツ株式会社 音叉型水晶振動子
US4076987A (en) * 1976-12-10 1978-02-28 Societe Suisse Pour L'industrie Horlogere Management Services S.A. Multiple resonator or filter vibrating in a coupled mode
GB2006520B (en) * 1977-09-07 1982-06-30 Suwa Seikosha Kk Piezoelectric resonator
JPS5453883A (en) * 1977-10-06 1979-04-27 Seiko Instr & Electronics Ltd Thickness-width slip crystal vibrator
JPS54100685A (en) * 1978-01-26 1979-08-08 Seiko Epson Corp Crystal vibrator
NL7900811A (nl) * 1978-02-16 1979-08-20 Suisse Horlogerie Inrichting met een piezo-elektrische resonator.
NL7810583A (nl) * 1978-10-24 1980-04-28 Philips Nv Piezoelektrische triller.

Also Published As

Publication number Publication date
FR2474255A1 (fr) 1981-07-24
JPS56106414A (en) 1981-08-24
GB2069232A (en) 1981-08-19
CA1171516A (en) 1984-07-24
GB2069232B (en) 1983-10-19
BE887091A (fr) 1981-07-15
US4388548A (en) 1983-06-14
CH652261A5 (de) 1985-10-31
DE3100831A1 (de) 1981-12-17
FR2474255B1 (nl) 1984-04-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2000332568A (ja) 横モード抑制が改善されたバルク音波共振器フィルタ
EP2341619A2 (en) Resonator element, resonator, oscillator, electronic device, and frequency adjustment method
US8760041B2 (en) Resonator element with mass formed on vibrating arm
JP2008252800A (ja) 音叉型屈曲水晶振動素子、及びそれを搭載した水晶振動子並びに水晶発振器
US4139793A (en) Integral resonant support arms for piezoelectric microresonators
NL8000297A (nl) Piezoelektrische triller.
US6362561B1 (en) Piezoelectric vibration device and piezoelectric resonance component
JP6589986B2 (ja) 共振子及び共振装置
US4641055A (en) Piezoelectric resonator with notched sides
JP2002111434A (ja) ラーメ振動水晶振動子
NL7810583A (nl) Piezoelektrische triller.
CN112187207A (zh) 压电振动片、压电振动器、以及它们的制造方法
US3684905A (en) Piezoelectric crystal device including loading elements having the shape of chordal sections
US10763821B2 (en) Crystal resonator
JP4600677B2 (ja) 振動型ジャイロスコープ
WO2018142789A1 (ja) 音叉型振動子
JP6841678B2 (ja) 水晶振動子
JP2020043484A (ja) 音叉型水晶素子及び水晶デバイス
US20190165761A1 (en) Tuning-fork type quartz crystal vibrating element and piezoelectric device
US5153478A (en) Resonator having a bar designed to vibrate in one extension mode
JP2607668Y2 (ja) 水晶振動子
JP2003017978A (ja) 圧電振動子
JP6971875B2 (ja) 水晶素子および水晶デバイス
JP4441258B2 (ja) 水晶振動子
JPH03150911A (ja) 高調波結合振動子

Legal Events

Date Code Title Description
A1B A search report has been drawn up
BV The patent application has lapsed