DE974136C - Verfahren zur Herstellung eines Verdampfers - Google Patents
Verfahren zur Herstellung eines VerdampfersInfo
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- DE974136C DE974136C DES31720A DES0031720A DE974136C DE 974136 C DE974136 C DE 974136C DE S31720 A DES31720 A DE S31720A DE S0031720 A DES0031720 A DE S0031720A DE 974136 C DE974136 C DE 974136C
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/26—Vacuum evaporation by resistance or inductive heating of the source
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Description
In dem Hauptpatent 851 385 wurde bereits ein VerdampferschifEchen
angegeben, bei dem die stabförmige Metallelektrode in die Kohle hineinragt und innerhalb
der Kohle mindestens an ihrem Ende mechanisch fest und elektrisch gut leitend mit der Kohle verbunden
ist. Diese Verdampferschiffchen haben sich besonders für die Verdampfung von Aluminium als geeignet erwiesen.
Der Grund hierfür Hegt einerseits in der festen, elektrisch gut leitenden Verbindung der Zuführungselektrode
mit der Kohle und den Halbleitereigenschaften des Schiffchens. Hierdurch entsteht nämlich
beim Betrieb der Verdampferschiffchen eine heiße Zone an den Enden des vom Metall benetzten Teiles
des Schiffchens, wodurch vor allem bei der Verdampfung von Aluminium ein Überkriechen des Verdampfungsmetalls
über die heiße Zone an die kalten Enden des Schiffchens vermieden wird. In der Mitte des von
dem Verdampfungsgut benetzten Teiles des Schiffchens ist die Erwärmung infolge des Kurzschlusses des
Halbleiters durch das metallische Verdampfungsgut wesentlich geringer.
Diese geschilderten Eigenschaften des Verdampfers nach dem Hauptpatent haben nun aber zur Folge,
daß eine Bedampfung breiter Bänder erschwert ist, weil das Schiffchen nicht beliebig lang ausgebildet
werden kann. Würde man es trotzdem tun, so würde die Bedampfung infolge des Kurzschlusses des Schiffchens
durch das Verdampfungsgut in der Mitte des Schiffchens wesentlich geringer sein als an den Enden,
und die auf dem breiten Band niedergeschlagene Metallschicht würde ungleich stark werden. Es genügt
nicht, zur Beseitigung des Kurzschlusses des Halbleiters ein langes Kohlestück zu verwenden, das mit
einzelnen Bohrungen, Ausnehmungen od. dgl. für die Aufnahme des Bedampfungsgutes versehen ist, wie
dies z. B. in Fig. 1 dargestellt ist; denn in diesem Falle kommt die oben geschilderte Ausbildung einer heißen
Zone zwischen den von dem Bedampfungsgut benetzten Teilen des Schiffchens in Fortfall; das AIuminium
würde daher während der Verdampfung schnell die zwischen den einzelnen Ausnehmungen
für das Aluminium befindlichen Oberflächenteile der Kohle benetzen und wieder den Kurzschluß für die
Kohlen bilden. Gemäß der vorliegenden Erfindung wird deshalb vorgeschlagen, zur Bedampfung breiter
Bänder mehrere Kohleschiffchen gemäß dem Hauptpatent zu verwenden und diese jeweils durch ein mit
seinen beiden Enden mit je einem Kohleschiffchen verschweißte Zwischenelektrode in Reihenschaltung
miteinander zu verbinden, wie dies in Fig. 2 dargestellt ist. In Fig. 2 bedeutet wieder 1 ein nach dem Hauptpatent
hergestelltes Kohleschiffchen, das bei 6 und 7 mit je einer Elektrode aus einem hochschmelzenden
Metall, wie Wolfram, Molybdän oder Tantal, in der im Hauptpatent angegebenen Weise verschmolzen ist. Im
ganzen sind in dem gezeigten Ausführungsbeispiel vier Kohleschiffchen hintereinandergeschaltet, die
jeweils durch die Zwischenelektroden 5' elektrisch miteinander verbunden sind. Die Stromlinien bei diesen
Kohleschiffchen verlaufen also im wesentlichen von °o
den Endpunkten 6, 7 der Elektroden 4, 5 durch die Schiffchen 1 zu dem Verdampfungsgut, insbesondere
dem Aluminium in den Ausnehmungen der Schiffchen. Infolge der hohen Erhitzung und wegen der Halbleitereigenschaft
des Schiffchens nimmt der Widerstand des Stromweges von den Verschweißungsstellen
6, 7 der Elektroden 4, 5 und 5' zu dem Verdampfungsgut 10 stark ab, so daß bei Dauerbetrieb
fast der gesamte Strom nur über diesen Weg fließt, die übrigen Teile des Verdampferschiffchens jedoch
verhältnismäßig kälter bleiben. Es bildet sich also an den Enden des von dem Verdampfungsgut 10 benetzten
Teiles des Schiffchens jeweils eine hoch erhitzte Zone aus, die das Überkriechen des Verdampfungsgutes
verhindert.
Die Durchführung dieses erfindungsgemäßen Verfahrens ist nicht auf die Verwendung von Kohleschiffchen
beschränkt. An Stelle von Kohleschiffchen können vielmehr auch Schiffchen aus Karbiden, wie
solchen der Schwermetalle, des Siliciums oder Bors, verwendet werden, die mit den Stromzuführungen 4
bzw. 5 in der im Hauptpatent angegebenen Weise »verschweißbar« sind.
Eine gemäß vorliegender Erfindung aus mehreren hintereinandergeschalteten Verdampferschiffchen bestehende
Anordnung eignet sich zur fortlaufenden Verdampfung
von Metall, besonders von Aluminium, zur Bedampfung von Bändern, deren Breite wesentlich
größer ist als die Länge der einzelnen Verdampferschiffchen, besonders von Isolierstoffbändern für elektrische
Kondensatoren oder für elektrische Registrierzwecke.
Claims (2)
1. Verfahren zur Herstellung eines Verdampfers nach Patent 851385, dadurch gekennzeichnet,
daß mehrere getrennte Schiffchen (1) aus Kohlenstoff oder Karbiden, wie solchen der Schwermetalle,
des Siliciums oder Bors, durch mit dem Schiffchen nach dem Hauptpatent verschweißte
Zwischenelektroden (5') in Reihenschaltung miteinander verbunden werden.
2. Anwendung einer aus mehreren hintereinandergeschalteten Verdampferschiffchen bestehenden
Anordnung nach Anspruch 1 zur fortlaufenden Verdampfung von Metall, vorzugsweise von Aluminium
zur Bedampfung von breiten Bändern, insbesondere von Isolierstoffbändern für elektrische
Kondensatoren oder für elektrische Registrierzwecke, wobei die Breite der Bänder wesentlich
größer ist als die Länge des einzelnen Verdampferschiffchens.
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Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DES31720A DE974136C (de) | 1953-01-08 | 1953-01-08 | Verfahren zur Herstellung eines Verdampfers |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DES31720A DE974136C (de) | 1953-01-08 | 1953-01-08 | Verfahren zur Herstellung eines Verdampfers |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE974136C true DE974136C (de) | 1960-09-22 |
Family
ID=7480619
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DES31720A Expired DE974136C (de) | 1953-01-08 | 1953-01-08 | Verfahren zur Herstellung eines Verdampfers |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE974136C (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1193765B (de) * | 1960-03-31 | 1965-05-26 | Nat Res Corp | Verdampfergefaess zum Vakuumbedampfen von beweglichen Unterlagen mit Aluminium und Verfahren zu dessen Herstellung |
EP0989201A1 (de) * | 1998-09-24 | 2000-03-29 | Leybold Systems GmbH | Verdampferkörper |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE205115C (de) * | ||||
DE851385C (de) * | 1950-10-13 | 1952-10-02 | Siemens Ag | Verfahren zur Herstellung einer Stromzufuehrung zu einem Kohlestueck, z. B. einem Verdampferschiffchen aus Kohle |
-
1953
- 1953-01-08 DE DES31720A patent/DE974136C/de not_active Expired
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE205115C (de) * | ||||
DE851385C (de) * | 1950-10-13 | 1952-10-02 | Siemens Ag | Verfahren zur Herstellung einer Stromzufuehrung zu einem Kohlestueck, z. B. einem Verdampferschiffchen aus Kohle |
Cited By (2)
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DE1193765B (de) * | 1960-03-31 | 1965-05-26 | Nat Res Corp | Verdampfergefaess zum Vakuumbedampfen von beweglichen Unterlagen mit Aluminium und Verfahren zu dessen Herstellung |
EP0989201A1 (de) * | 1998-09-24 | 2000-03-29 | Leybold Systems GmbH | Verdampferkörper |
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