-
Technischer
Hintergrund der Erfindung
-
Technisches
Gebiet der Erfindung
-
Die
Erfindung betrifft eine Belichtungsvorrichtung. Die Erfindung betrifft
insbesondere eine Vorrichtung zur schrägen Lichtbestrahlung, welche für eine Belichtungsvorrichtung
oder dergleichen verwendet wird, bei welcher eine Ausrichtungsschicht eines
Flüssigkristall-Anzeigenelementes
(LCD) mit UV-Strahlung bestrahlt und eine optische Ausrichtung der
Flüssigkristalle
durchgeführt
wird.
-
Beschreibung
des Standes der Technik
-
Um
die Größe sowie
die Richtung des Prä-Neigungswinkels
einer optischen Ausrichtungsschicht eines Flüssigkristall-Anzeigenelementes
festzulegen, wurde ein Verfahren vorgeschlagen, bei welchem ein
Flüssigkristall-Anzeigenelement
als Werkstück
mit UV-Strahlung schräg
bestrahlt wird (vgl. beispielsweise 1 aus der
veröffentlichten
japanischen Patentanmeldung HEI 9-211465; US-Patent 5889571).
-
Der
Winkel des in das Werkstück
einfallenden Lichtes ist je nach der Art der optischen Ausrichtungsschicht
sowie den Behandlungsbedingungen sonstiger Herstellungsvorgänge unterschiedlich.
Bei einer Vorrichtung, bei welcher ein Werkstück mit Licht schräg bestrahlt
und sommit belichtet wird (eine derartige Belichtungsvorrichtung
wird "Vorrichtung
zur schrägen
Belichtung" genannt)
besteht deshalb ein Bedarf an einer freien Einstellung des Winkels
des in das Werkstück
einfallenden Bestrahlungslichtes.
-
Bei
der vorstehend beschriebenen Vorrichtung zur schrägen Belichtung
kann man sich ein Verfahren zur schrägen Bestrahlung vorstellen,
bei welchem ein Lichtbestrahlungsteil (Lampengehäuse) selbst bezüglich des
Werkstücks
schräg
geneigt wird, wie in der veröffentlichten
japanischen Patentanmeldung HEI 9-211465 anhand der vorstehend erwähnten Figur
gezeigt wird.
-
Ferner
wird in der veröffentlichten
japanischen Patentanmeldung HEI 10-154658 (erteilte, parallel anhängige US-Patentanmeldung
09/025,732 mit gemeinsamem Inhaber), eine Vorrichtung gezeigt, bei
welcher ein Lichtbestrahlungsteil mit einer kreisbogenförmigen Schiene
versehen und geneigt wird, ohne dass die Lampe selbst geneigt wird.
-
Ein
Lichtbestrahlungsteil (Lampengehäuse) umfasst
eine Lampe, einen Fokussierspiegel, welcher das Licht aus der Lampe
fokussiert und in paralleles Licht umwandelt, einen Kollimator sowie
optische Elemente zum Umlenken des optischen Wegs, wie einen Reflektor
oder dergleichen.
-
Im
Fall des vorstehend beschriebenen Lichtbestrahlungsteils in der
veröffentlichten
japanischen Patentanmeldung HEI 10-154658 braucht man nur einen
kleinen Lichtbestrahlungsteil, wenn die mit Licht zu bestrahlende
Fläche
relativ klein ist. Man braucht deshalb auch eine keine große Vorrichtung zum
Neigen des Lichtbestrahlungsteils. Die Merkmale des Oberbegriffs
der unabhängigen
Ansprüche sind
aus diesem Dokument bekannt.
-
Flüssigkristall-Anzeigenelemente
mit großen Substraten
von 550 × 650
mm bis 650 × 830
mm werden in letzter Zeit immer häufiger und wichtiger. Bei einer
Vergrößerung des
Substrats wird die zu bestrahlende Fläche dementsprechend auch größer. Der
Lichtbestrahlungsteil wird deshalb auch vergrößert.
-
Das
Gewicht des Lichtbestrahlungsteils nimmt bei einer Vergrößerung desselben
zu, was eine Vergrößerung der
Vorrichtung zum Neigen des Lichtbestrahlungsteils sowie eine enorme
Vergrößerung der
gesamten Vorrichtung hervorruft.
-
Zusammenfassung
der Erfindung
-
Die
Erfindung wurde gemacht, um den vorstehend beschriebenen Nachteil
beim Stand der Technik zu beseitigen. Der Erfindung liegt daher
die primäre
Aufgabe zugrunde, bei einer Lichtbestrahlungsvorrichtung zum schrägen Bestrahlen
eines Werkstücks
mit Licht eine kompakte Anordnung zu erhalten und den Winkel des
in das Werkstück
einfallenden Lichtes frei einzustellen, ohne einen großen Lichtbestrahlungsteil
bewegen zu müssen.
-
Die
Aufgabe wird erfindungsgemäß folgendermaßen gelöst:
- (1) Auf der Austrittsseite einer Kollimationslinse oder
eines Kollimationsspiegels eines Lichtbestrahlungsteils ist ein
Flachspiegel angeordnet, welcher mittels einer Spiegelantriebsvorrichtung in
einer Richtung, in welcher die Länge
des optischen Wegs des Bestrahlungslichtes verändert wird, in der Weise bewegt
wird, dass sein Winkel bezüglich
der optischen Achse verändert
wird und zugleich die Mitte eines durch Reflexion vom Flachspiegel
zu bestrahlenden Bereiches sich im Wesentlichen nicht bewegt. Somit
wird der Winkel des in das Werkstück einfallenden Reflexionslichtes
vom Flachspiegel verändert.
- (2) Man ordnet eine Spiegelantriebsvorrichtung an, welche den
Kollimationsspiegel antreibt. Mittels der Spiegelantriebsvorrichtung
wird der Kollimationsspiegel in einer Richtung, in welcher die Länge des
optischen Wegs des Bestrahlungslichtes verändert wird, in der Weise bewegt,
dass sein Winkel verändert
wird und zugleich die Mitte eines durch Reflexion vom Kollimationsspiegel
gebildeten, zu bestrahlenden Bereiches sich nicht bewegt. Somit
wird der Winkel des in das Werkstück einfallenden Reflexionslichtes
vom Kollimationsspiegel verändert.
- (3) Bei (1) und (2) besteht die Spiegelantriebsvorrichtung aus
Führungsbauteilen
zum Befestigen des vorstehend beschriebenen Flachspiegels sowie
des Kollimationsspiegels und aus einer kurvenartigen Führung, wobei
die vorstehend beschriebenen Führungsbauteile
entlang der kurvenartigen Führung
bewegbar sind.
- (4) Bei (1) und (2) besteht die Spiegelantriebsvorrichtung aus
einem Gestell, welches in Richtung der optischen Achse des Bestrahlungslichtes
bewegbar ist und auf welchem der Flachspiegel bzw. der Kollimationsspiegel
schwenkbar abgestützt ist.
-
Nachfolgend
wird die Erfindung anhand von mehreren, in den Zeichnungen gezeigten
Ausführungsbeispielen
konkret beschrieben.
-
Kurze Beschreibung
der Zeichnungen
-
1 zeigt
eine schematische Darstellung eines ersten Ausführungsbeispiels der Erfindung;
-
2(a) zeigt eine schematische Darstellung der Mitte
des zu bestrahlenden Bereiches im Fall einer Veränderung des Winkels und der
Position des Flachspiegels;
-
2(b) zeigt eine schematische Darstellung der Mitte
des zu bestrahlenden Bereiches im Fall einer Veränderung des Winkels des Flachspiegels;
-
3 zeigt
eine schematische Darstellung einer Vorrichtung zur Veränderung
des Winkels sowie der Position des Flachspiegels beim ersten Ausführungsbeispiel
der Erfindung;
-
4(a) und (b) zeigen jeweils eine schematische
Darstellung einer konkreten Anordnung einer Vorrichtung zur Einstellung
des Winkels sowie der Position des Flachspiegels beim ersten Ausführungsbeispiel
der Erfindung;
-
5 stellt
schematisch die Position, den Winkel sowie den optischen Weg des
Flachspiegels bei einem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung dar;
-
6 zeigt
eine schematische Darstellung des Ausmaßes der Abweichung der Bestrahlungsmitte
bezüglich
einer Veränderung
der Position sowie des Winkels des Flachspiegels beim zweiten Ausführungsbeispiel
der Erfindung;
-
7(a) und (b) zeigen jeweils eine schematische
Darstellung einer konkreten Anordnung einer Vorrichtung zur Einstellung
des Winkels sowie der Position des Flachspiegels beim zweiten Ausführungsbeispiel
der Erfindung, wobei 7(a) ein Querschnitt
entlang der Linie A-A in 7(b) ist;
und
-
8 ist
eine schematische Darstellung eines dritten Ausführungsbeispiels der Erfindung.
-
Ausführliche
Beschreibung der Erfindung
-
1 zeigt
die Anordnung eines ersten Ausführungsbeispiels
der erfindungsgemäßen Lichtbestrahlungsvorrichtung.
In der Darstellung wird von einer Lampe 1 Licht emittiert
und von einem Fokussierspiegel 2 fokussiert, von einem
ersten Flachspiegel 3 reflektiert und fällt in eine Integrationslinse 4 ein.
Das aus der Integratorlinse 4 austretende Licht fällt über einen
zweiten Flachspiegel 5 in einen Kollimationsspiegel 6 ein,
wird mittels des Kollimationsspiegels 6 in paralleles Licht
umgewandelt, von einem dritten Flachspiegel 7 reflektiert
und fällt
in ein großes
Werkstück
W, wie beispielsweise ein Flüssigkristall-Substrat
oder dergleichen, schräg
ein. Man kann ferner statt des vorstehend beschriebenen Kollimationsspiegels 6 eine
Kollimationslinse verwenden.
-
Der
Winkel des dritten Flachspiegels 7 (nachfolgend nur "Flachspiegel 7" genannt) ist
veränderbar.
Durch Verändern
des Winkels des Flachspiegels 7 bezüglich der optischen Achse kann
man den Winkel des in das Werkstück
W einfallenden Lichtes verändern.
Wenn man hierbei nur den Winkel des Flachspiegels 7 verändert, bewegt
sich die Mitte des zu bestrahlenden Bereiches, welcher durch Reflexion
vom Flachspiegel 7 auf die zu bestrahlende Fläche bestrahlt
werden soll, wie in 2(a) gezeigt wird.
Man muss deshalb entsprechend dem Winkel des Flachspiegels 7 die
Position des Werkstücks
W bewegen. Bei diesem Ausführungsbeispiel
wird deshalb der Winkel des Flachspiegels 7 verändert und zugleich
die Position des Flachspiegels 7 in der Weise bewegt, dass
der Abstand im optischen Weg (Länge
des optischen Wegs) von der Lichtquelle bis zum Werkstück W verändert wird,
damit die Mitte des zu bestrahlenden Bereiches, welcher durch eine
Reflexion vom Flachspiegel 7 gebildet wird, sich nicht
bewegt, wie in 2(b) gezeigt wird.
-
3 ist
eine schematische Darstellung einer Vorrichtung zur Veränderung
des Winkels sowie der Position des Flachspiegels 7.
-
Wie
in der Zeichnung dargestellt wird, gibt es einen Spiegelhalteteil 11,
welcher eine Vorrichtung zur Winkeleinstellung sowie eine Vorrichtung
zur Bewegung in Richtung der optischen Achse aufweist und den Flachspiegel 7 festhält. Während der
Winkel des Flachspiegels 7 bezüglich der optischen Achse durch
die Vorrichtung zur Winkeleinstellung des Winkels des Flachspiegels 7 eingestellt
wird, wird letzerer durch die Vorrichtung zur Bewegung in Richtung der
optischen Achse auf einer linearen Führung 12 in Richtung
der optischen Achse parallel bewegt.
-
Der
Winkel sowie die Position des Flachspiegels 7 wird dadurch
entsprechend dem Winkel des in das Werkstück W einfallenden Lichtes so
geregelt, dass im voraus der Winkel des Flachspiegels, welcher dem
Winkel des in das Werkstück
W einfallenden Lichtes entspricht, sowie die Position des Flachspiegels
in Richtung der optischen Achse ermittelt werden.
-
4(a) & (b)
zeigen jeweils in schematischer Form eine konkrete Anordnung einer
Vorrichtung zur Veränderung
des Winkels sowie der Position des Flachspiegels 7 (nachfolgend "Vorrichtung zur Einstellung
des Winkels und der Position" genannt). 4(a) ist eine schematische Darstellung, bei welcher
die Vorrichtung zur Einstellung des Winkels sowie der Position von
der Richtung her betrachtet wird, welche die Bewegungsrichtung des
Flachspiegels 7 orthogonal schneidet. 4(b) ist eine schematische Darstellung, bei welcher
die Vorrichtung zur Einstellung des Winkels und der Position von
der Bewegungsrichtung des Flachspiegels her betrachtet wird. 4(a) ist eine der Linie A-A gemäß 4(b) entsprechende Querschnittdarstellung.
-
In 4(a), 4(b) befindet
sich auf der Basis 13 ein Haltebauteil 14, in
welchem eine lineare Führung 12 eingebaut
ist. In der linearen Führung 12 ist
ein Spiegelhalteteil 11 bewegbar eingebaut und wird entlang
der linearen Führung 12 bewegt
durch eine Vorrichtung (nicht dargestellt) zur Bewegung in Richtung
der optischen Achse, welche eine Kugelumlaufspindel, eine Riemenscheibe
oder dergleichen aufweist.
-
In
dem Spiegelhalteteil 11 ist der Flachspiegel 7 drehbar
eingebaut, dessen Drehachse 7a über ein Getriebe 16 an
einen Spiegelantriebsmotor 15 angeschlossen ist. Durch
den Antrieb des Spiegelantriebsmotors 15 wird der Winkel
des Flachspiegels 7 verändert.
-
Auf
der oberen Seite des Spiegelhalteteils 11 ist ein Spiegelpositions-Fühler 17 angeordnet,
durch welchen die Position des Flachspiegels 7 ermittelt wird.
Ferner ist an der Drehachse 7a des Flachspiegels 7 ein
Winkelfühler
(nicht dargestellt) eingebaut, welcher den Winkel des Flachspiegels
ermittelt. Die Position sowie der Winkel des Flachspiegels 7,
welche durch den Spiegelpositions-Fühler 17 sowie den Winkelfühler ermittelt
werden, werden zu einer Regelvorrichtung (nicht dargestellt) gesendet.
-
Die
Regelvorrichtung ermittelt den Winkel des Flachspiegels sowie die
Position in Richtung der optischen Achse, welche einem Ausgabe-Winkel
des in das Werkstück
W einfallenden Lichtes entsprechen. Durch die vorstehend beschriebene
Vorrichtung zur Bewegung in Richtung der optischen Achse sowie den
Spiegelantriebsmotor 15 wird der Spiegelhalteteil 11 entlang
der linearen Führung 12 bewegt und
zugleich der Winkel des Flachspiegels 7 verändert. Die
Regelvorrichtung regelt somit in der Weise, dass der Winkel sowie
die Position in Richtung der optischen Achse des Flachspiegels 7 die
gewünschten
Werte erreichen.
-
Es
reicht, wenn eine stufenweise Regelung des Winkels des Flachspiegels 7 mit
einem Schritt von ca. 5 ° durchgeführt wird.
Man braucht auch keine Positionierung mit hoher Genauigkeit, um
die Position des Flachspiegels 7 in Richtung der optischen Achse
zu regeln. Als Spiegel positions-Fühler 17 sowie Winkelfühler kann
man deshalb beispielsweise einen optischen Fühler, wie einen Fotofühler oder dergleichen,
verwenden.
-
Bei
diesem Ausführungsbeispiel
ist, wie vorstehend beschrieben wurde, auf der Austrittsseite des
Kollimationsspiegels bzw. der Kollimationslinse der Lichtbestrahlungsvorrichtung
der Flachspiegel 7 angeordnet, der Winkel des Flachspiegels 7 sowie seine
Position in Richtung der optischen Achse werden verändert und
dadurch wird der Winkel des in das Werkstück W einfallenden Lichtes verändert. Man
kann deshalb den Winkel des in das Werkstück einfallenden Lichtes frei
einstellen, ohne einen großen
Lichtbestrahlungsteil bewegen zu müssen.
-
Bei
dem vorstehend beschriebenen ersten Ausführungsbeispiel wird er Flachspiegel
entlang der linearen Führung
bewegt. Man kann jedoch die Bewegungsvorrichtungen für den Flachspiegel
dadurch vereinfachen, dass der Flachspiegel entlang einer kreisbogenförmigen Führung bewegt
wird.
-
Nachfolgend
wird ein zweites Ausführungsbeispiel
der Erfindung beschrieben, bei welchem der Flachspiegel entlang
einer kreisbogenförmigen
Führung
bewegt wird.
-
5 ist
eine schematische Darstellung der Position, des Winkels sowie des
optischen Wegs des Flachspiegels 7 bei diesem Ausführungsbeispiel.
-
Wie
in den Zeichnungen dargestellt wird, wird ein Kreis mit einem Radius
von 2R angenommen, wenn der Abstand zwischen dem Flachspiegel 7 bei
einer senkrechten Lichtbestrahlung der zu bestrahlenden Fläche und
der zu bestrahlenden Fläche mit
R bezeichnet wird. Wenn der Flachspiegel 7 sich auf dem
Kreisbogen dieses Kreises in der Weise bewegt, dass sein Winkel
sich bezüglich
der Tangente dieses Kreises nicht verändert, verändern sich der Winkel des Flachspiegels 7 bezüglich der
optischen Achse sowie die Länge
des optischen Wegs. Man kann somit den Einfallswinkel bezüglich des
Werkstücks
verändern,
ohne die Mitte des zu bestrahlenden Bereiches auf der zu bestrahlenden
Fläche
wesentlich zu verändern.
-
Konkret
wird eine R-Führung
mit einem Radius von 2R bereitgestellt. In einem Bewegungsteil, welcher
sich auf dieser R-Führung
bewegt, ist ein Spiegel eingebaut. Der Spiegel wird entlang der R-Führung bewegt.
-
Bei
dem vorstehend beschriebenen ersten Ausführungsbeispiel ist es erforderlich,
als Bewegungsvorrichtung für
den Flachspiegel 7 zwei Vorrichtungen, nämlich die
Vorrichtung zur Winkeleinstellung und die Vorrichtung zur Bewegung
in Richtung der optischen Achse, anzuordnen. Bei diesem Ausführungsbeispiel
braucht man jedoch nur eine Vorrichtung, da die Bewegungsvorrichtung
den Flachspiegel 7 in Form eines Kreisbogens entlang der
R-Führung
bewegt, so dass sich die Einfallsposition des den Spiegel bestrahlenden
Lichtes verschiebt, wenn der Spiegel sich bewegt. In 5 schwingt
beispielsweise der Flachspiegel 7 nach oben und bewegt
sich nach unten, während
er sich in der Zeichnung nach rechts bewegt, wobei die mit dem Licht
zu bestrahlende Position im Flachspiegel 7 nach oben verschoben
wird.
-
Bei
diesem Ausführungsbeispiel
ist es deshalb erforderlich, dass die Fläche des Flachspiegels 7 unter
Berücksichtigung
der Größe des Lichtstrahls des
Bestrahlungslichtes sowie des Positionsabweichungsmaßes des
Spiegels bezüglich
der optischen Achse ausreichend groß ist.
-
Bei
diesem Ausführungsbeispiel
weicht die Mitte des zu bestrahlenden Bereiches auf der zu bestrahlenden
Fläche
entsprechend der Bewegung des Flachspiegels in geringem Maß ab. Es
ist deshalb erforderlich, dass der mit dem Bestrahlungslicht zu
bestrahlende Bereich größer gemacht
wird als der zu bestrahlende Bereich auf dem Werkstück.
-
6 zeigt
das Abweichungsmaß der
Mitte des zu bestrahlenden Bereiches bei einer schrägen Lichtbestrahlung
eines Substrates von größer/gleich 550
bis 650 mm. In der Darstellung wird ein Fall gezeigt, in welchem
bei R = 1400 mm und der Winkel des Flachspiegels sich von 10 ° bis 40 ° verändert.
-
Im
Fall eines Substrates mit der vorstehend beschriebenen Größe kann
man eine Abweichung der Mitte des zu bestrahlenden Bereiches von
ca. 50 mm noch zulassen. Wie aus 6 ersichtlich,
kann man die in 5 gezeigte R-Führung mit
einem Radius von 2R verwenden, wenn der Winkel des Flachspiegels 7 in
einem der Senkrechte angenäherten Winkelbereich
von 90 ° bis
70 ° liegt.
-
Je
kleiner der Winkel wird, das heißt, je größer die Neigung des Flachspiegels 7 wird,
desto größer wird
das Bewegungsmaß der
Bestrahlungsmitte, wodurch die Anwendung der R-Führung
mit einem Radius von 2R schwierig wird. Es ist deshalb erforderlich,
die Form der R-Führung unter
Berücksichtigung
des Abstandes zwischen dem Flachspiegel 7 und der zu bestrahlenden
Fläche
sowie des schrägen Bestrahlungswinkels
auszuwählen.
Die R-Führung muss
nicht unbedingt kreisbogenförmig
sein, sondern kann auch in Form einer unterschiedlichen Kurve ausgebildet
sein.
-
7(a) und 7(b) zeigen
jeweils schematisch eine konkrete Anordnung einer Vorrichtung zur
Bewegung des Flachspiegels 7 bei diesem Ausführungsbeispiel.
-
7(a) zeigt die Bewegungsvorrichtung aus einer
Richtung betrachtet, welche die Bewegungsrichtung des Flachspiegels 7 orthogonal schneidet,
während 7(b) die Vorrichtung zur Einstellung des Winkels
und der Position aus der Bewegungsrichtung des Flachspiegels betrachtet
zeigt. 7(a) ist eine der Linie A-A
gemäß 7(b) entsprechende Querschnittdarstellung.
-
In 7(a) und (b) wird auf einer Basis 13 ein
Haltebauteil 14 angeordnet, in welchem eine R-Führung 21 angeordnet
ist, welche eine kreisbogenförmige
Durchgangsöffnung
ist. Auf jeder der beiden Seiten des Spiegelhalteteils 11,
in welchem der Flachspiegel 7 eingebaut ist, sind zwei
Führungsbauteile 22 eingebaut,
welche mit der R-Führung 21 im Eingriff
stehen. Der Spiegelhalteteil 11 wird anhand einer Antriebsvorrichtung
(nicht dargestellt) angetrieben und bewegt sich über die Führungsbauteile 22 entlang
den R-Führungen 21.
-
Wenn
der Spiegelhalteteil 11 durch die Antriebsvorrichtung bewegt
wird, bewegt sich deshalb der Flachspiegel 7 in der Weise,
dass sein Winkel bezüglich
der Tangente der R-Führung 21 sich
nicht verändert.
-
In
dem Spiegelhalteteil 11 ist ein Positionsfühler (nicht
dargestellt) angeordnet, dessen Ausgabe zu einer Regelvorrichtung
(nicht dargestellt) gesendet wird. Diese Regelvorrichtung ermittelt
die Position des Flachspiegels 7, welche einem Ausgabe-Winkel
des in das Werkstück
S einfallenden Lichtes entspricht. Aufgrund der Ausgabe des Positionsfühlers wird
der Spiegelhalteteil 11 bewegt. Die Regelvorrichtung regelt
somit in der Weise, dass die Position des Flachspiegels 7 eine
gewünschte
Position erreicht.
-
Bei
dem vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiel wird auf der
Austrittsseite des Kollimationsspiegels bzw. der Kollimationslinse
der Flachspiegel angeordnet und sein Winkel sowie seine Position
so verändert,
dass sich der Winkel des in das Werkstück einfallenden Lichtes verändert, ohne
die Position der Bestrahlungsmitte zu verändern. Man kann jedoch ein
optisches System verwenden, bei welchem ohne Anordnung eines derartigen
Flachspiegels der Winkel des Kollimationsspiegels bezüglich der
optischen Achse sowie die Position bezüglich der Länge des optischen Wegs geregelt
wird und bei welcher ohne Veränderung
der Mitte des zu bestrahlenden Bereiches auf der zu bestrahlenden
Fläche der
Winkel des in das Werkstück
einfallenden Lichtes verändert
wird.
-
8 zeigt
das vorstehend beschriebene dritte Ausführungsbeispiel der Erfindung.
-
In
dieser Figur wird das von einer Lampe 1 emittierte Licht
von einem Fokussierspiegel 2 fokussiert und fällt in eine
Integratorlinse 4 ein. Das aus der Integratorlinse 4 austretende
Licht wird mittels eines ersten Flachspiegels 3 reflektiert,
mittels des Kollimationsspiegels 6 in paralleles Licht
umgewandelt und fällt
in ein großes
Werkstück
W, wie beispielsweise ein Flüssigkristall-Substrat oder dergleichen,
schräg ein.
-
Der
Kollimationsspiegel 6 ist wie der Flachspiegel 7 bei
dem ersten Ausführungsbeispiel
in Richtung der optischen Achse bewegbar angeordnet, und sein Winkel
bezüglich
der optischen Achse ist veränderbar.
Durch Veränderung
des Winkels sowie der Position des Kollimationsspiegels 6 bezüglich der optischen
Achse kann man den Winkel des in das Werkstück W einfallenden Lichtes verändern.
-
Als
Vorrichtung zur Veränderung
der Position und des Winkels des Kollimationsspiegels 6 kann man
dieselbe Vorrichtung wie bei dem vorstehend beschriebenen ersten
oder zweiten Ausführungsbeispiel
verwenden. Der Winkel sowie die Position in Richtung der optischen
Achse des Kollimationsspiegels 6 werden entsprechend des
Winkels des in das Werkstück
W einfallenden Lichtes geregelt, und somit wird der Winkel des in
das Werkstück
W einfallenden Lichtes verändert.
-
Bei
diesem Ausführungsbeispiel
ist es nicht erforderlich, den beim ersten und zweiten Ausführungsbeispiel
gezeigten Flachspiegel anzuordnen, weil die Position sowie der Winkel
des Kollimationsspiegels 6 in der vorstehend beschriebenen
Weise verändert
werden und der Winkel des in das Werkstück W einfallenden Lichtes verändert wird.
Man kann somit eine einfache Anordnung erhalten.
-
Wirkung der
Erfindung
-
Wie
vorstehend beschrieben wurde, kann man erfindungsgemäß folgende
Wirkungen erhalten:
-
- (1) Durch die Maßnahme, dass der Flachspiegel oder
der Kollimationsspiegel bewegt werden und somit der Winkel des in
das Werkstück
einfallenden Lichtes verändert
wird, kann man eine kleinere Antriebsvorrichtung zur Bewegung des
Spiegels sowie eine kompaktere Anordnung der gesamten Vorrichtung
im Vergleich zum Fall einer Bewegung des gesamten Lichtbestrahlungsteils erhalten.
- (2) Durch die Veränderung
des Winkels des Spiegels bezüglich
der optischen Achse sowie durch die Bewegung der Position des Flachspiegels oder
des Kollimationsspiegels in der Weise, dass die Länge des
optischen Wegs verändert
wird, wird verhindert, dass sich die Mitte des zu bestrahlenden
Bereiches verschiebt, auch wenn der Einfallswinkel des Lichtes bezüglich des
Werkstücks
sich verändert.
Es ist deshalb nicht erforderlich, das Werkstück zu bewegen.