JPH06152035A - レーザー光照射装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 レーザー光を用いた加工装置またはレーザー
光を用いた照明装置等に適用されるレーザー光照射装置
に関するもので、多数の穴あけ加工等において同時に複
数個加工等が可能となり、レーザー光の利用効率の大き
い、しかも制御の容易な新たなレーザー光照射装置を提
供することを目的としている。 【構成】 レーザー装置１から発射されるレーザー光２
は反射鏡３で反射されたのち、モザイク形集光鏡４で集
光され照射光８となり加工物９の任意の個所に照射され
る。モザイク形集光鏡４は、多数の要素鏡５と、その裏
側に設けた角度調整部６及びこれらを固定している基板
７から構成される。各要素鏡５は、それぞれ角度調整用
電源制御ケーブル１２に接続しており、その端末は要素
鏡用制御ユニット１３に接続している。制御ユニット１
３の操作により各要素鏡５を独立に、任意の方向に速や
かに設定でき、多数の穴加工や多数個所の照明を同時に
行なうことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はレーザー光を用いた加工
装置またはレーザー加工装置以外のレーザー光を用いる
装置例えば照明装置、記録装置等に適用される、レーザ
ー光照射装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のレーザー加工、レーザー照明装置
におけるレーザー光照射装置の１例として、レーザー光
の光路中にマスクを配置した場合を図３に、またレーザ
ー光路中にレンズを配置した場合を図４に示す。

【０００３】図３の場合は、レーザー装置１から発射さ
れたレーザー光２は、光路途中に配設された多数の穴を
穿設したマスク１０を通過しその照射光８を照射対象物
（この場合加工物）９に照射してレーザーによる穴あけ
加工を行なっている。

【０００４】また図４の場合は、レーザー装置から出た
レーザー光２が、途中に配置したレンズ１１により照射
光８となり、加工物９に導かれて所要の加工を行なって
いる。

【０００５】なおその他の手段として図３に示す装置と
図４に示す装置とを組み合わせて縮小照射を行なうこと
もある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで例えば多数の
穴あけ加工を行なう場合、図４に示すような従来装置の
ように１個毎にレンズによる集光で加工していては、加
工速度が小さいので非能率であり、図３の装置のように
マスクに多数の穴を穿設しておき、該マスクを通過する
照射光により同時に多数の穴あけ加工を行なっている。

【０００７】しかしながら図３に示す従来装置の場合
は、レーザー光の利用は、マスクに穿設した穴のみの通
過光の利用であり、マスク断面の一部の利用にすぎな
い。

【０００８】このように従来装置のものは、何れも照射
対象物（加工物）に高速で多数の穴あけ加工を行ない、
かつレーザー光の利用効率の高い照射手段としては不適
当なものであった。

【０００９】本発明はこれらの不具合点を解消し、同時
に多数の穴あけ加工等を可能とした新たなレーザー光照
射装置を提供することを目的としている。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の構成として、本発明のレーザー光照射装置は、レーザ
ー光を対象物に照射するためのレーザー光照射装置にお
いて、該レーザー光の光路途中に、それぞれ角度調整手
段を有する多数の集光用要素鏡をモザイク形に形成した
モザイク集光鏡を配設し、該集光鏡の各要素鏡を制御ユ
ニットに接続し、該制御ユニットの制御により前記各要
素鏡の角度を調節し、その照射光を対象物の任意の場所
に照射可能にしたことを特徴としている。

【００１１】

【作用】本発明のレーザー光照射装置では要素鏡の数以
下の穴加工などの場合には、それぞれを重ねることを含
めて任意の方向に設定することによって同時に多数の穴
を加工できる。

【００１２】そして要素鏡間の間隔は、角度調整に必要
な量で、これは一般に小さいので、レーザー光断面の利
用率が大きい。

【００１３】また従来のマスク利用のレーザー光照射装
置では、穴のある部分以外はレーザー照射により損傷を
受け、マスクの寿命が短かい欠点があったが、本発明装
置のようなモザイク形集光鏡では、レーザー光の反射率
が１００％に近いため、マスクに比較して寿命が長い。

【００１４】さらに、従来のマスク利用の場合は、穴の
配置が異なる場合、マスクをそれぞれ製作し、取り換え
なければならなかったが、本発明のモザイク形集光鏡で
は、要素鏡の数以下の穴数の加工では、その配置が異な
っても、要素鏡用制御ユニットにおいて装置の構造はそ
のままで、制御用プログラムを変更するだけで対応でき
る。

【００１５】

【実施例】以下図面により本発明の一実施例について説
明すると、図１は本発明レーザー光照射装置の作用説明
図、図２は同装置で使用するモザイク形集光鏡の一例を
示す斜視図である。

【００１６】これらの図において、１はレーザー装置、
２は同装置により発射されるレーザー光、３は反射鏡、
４はモザイク形集光鏡である。

【００１７】モザイク形集光鏡は多数の要素鏡５と、そ
の裏側に設けた角度調節部６及びこれらを固定している
基板７から構成されている。

【００１８】図２に一例として示すモザイク形集光鏡の
形状は、レーザー断面形状に合わせて、円形でも長方形
でも良い。

【００１９】また要素鏡５の形状は、多数の要素鏡間の
すきまが小さくなる形状とする。

【００２０】図２の場合は、要素鏡の形状が正方形の場
合である。

【００２１】また角度調整部６の一例としては、それぞ
れの角度調整部に、２軸回転用に２組のピエゾ素子を使
用することが考えられる。これにより各要素鏡５は２方
向に回転可能となる。

【００２２】これら各要素鏡５は、それぞれ角度調整部
用電源制御ケーブル１２に接続されており、その端末は
要素鏡用制御ユニット１３に接続している。

【００２３】その結果制御ユニット１３の操作により各
要素鏡５を独立に、任意の方向に速やかに設定でき、多
数の穴加工を同時に行なうことができる。

【００２４】なお８は照射光、９は加工物を示す。

【００２５】以上本発明の一実施例につき説明したが、
本発明は上記実施例に限定されることなく、本発明技術
思想の範囲内において種々設計変更が可能であり、それ
らは何れも本発明の技術的範囲に属する。

【００２６】

【発明の効果】本発明のレーザー光照射装置によれば、
多数の穴あけ加工等において、同時に複数個加工するこ
とが可能であり、しかも、レーザー光の利用効率が大き
い。

【００２７】また、加工物に穴あけする場合の穴の配置
形状は、角度調整部を制御ユニットでコンピュータ制御
することにより、任意にプログラムできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係るレーザー光照射装置の
作用説明図である。

【図２】同装置において使用するモザイク形集光鏡の一
例の斜視図である。

【図３】従来のレーザー光照射装置の１例の説明図であ
る。

【図４】従来のレーザー光照射装置の別の１例の説明図
である。

【符号の説明】

１ レーザー装置 ２ レーザー光 ３ 反射鏡 ４ モザイク形集光鏡 ５ 要素鏡 ６ 角度調整部 ７ 基板 ８ 照射光 ９ 加工物 １２ 角度調整部用電源制御ケーブル １３ 要素鏡用制御ユニット

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 レーザー光を対象物に照射するためのレ
   ーザー光照射装置において、該レーザー光の光路途中に
   それぞれ角度調整手段を有する多数の集光用要素鏡をモ
   ザイク形に形成したモザイク形集光鏡を配設し該集光鏡
   の各要素鏡を制御ユニットに接続し、該制御ユニットの
   制御により前記各要素鏡の角度を調節し、その照射光を
   対象物の任意の場所に照射可能にしたことを特徴とする
   レーザー光照射装置。