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HINTERGRUND DER ERFINDUNG
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1. GEBIET DER ERFINDUNG
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Die
Erfindung betrifft eine kleine Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung
mit geringem Gewicht, die für
eine Massenfertigung geeignet ist und gute Hochfrequenzcharakteristiken
besitzt.
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2. BESCHREIBUNG DER VERWANDTEN
TECHNIK
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Da
sich in den letzten Jahren die Verarbeitungsgeschwindigkeit von
Datenverarbeitungsvorrichtungen und die Auflösung von Bildverarbeitungseinrichtungen
verbessert haben, hat eine schnelle Personalkommunikationsvorrichtung
mit großer
Kapazität,
die Hochfrequenzwellen verwendet, wie etwa Mikrowellen oder Millimeterwellen,
die öffentliche Aufmerksamkeit
erregt. Als eine Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung zur
Verwendung in einer derartigen Kommunikationsvorrichtung ist ein Modul
aktiv entwickelt worden, bei dem ein Hochfrequenz-Halbleiterchip
direkt auf einem dielektrischen Substrat, auf dem sich Übertragungsleitungen
befinden, angebracht ist. Bei der Verwendung von höheren Frequenzen
hat ein Flip-Chip-Anbringungsverfahren die besondere öffentliche
Aufmerksamkeit erregt, bei dem der Halbleiterchip über Metallhöcker mit dem
dielektrischen Substrat verbunden ist.
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21A ist eine schematische Darstellung, die einen
Schaltkreis HMIC 5100 (integrierte Hybrid-Mikrowellenschaltung)
als eine beispielhafte Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung veranschaulicht. 21B ist eine Schnittansicht des HMIC 5100 längs der
Linie 21A-21B von 21A.
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Der
HMIC 5100 enthält
einen Einzeltransistorchip 211, ein dielektrisches Substrat 212,
auf dem durch Übertragungsleitungen
passive Schaltungen 5150 ausgebildet sind, und Metallhöcker 213.
Der Einzeltransistorchip 211 und das dielektrische Substrat 212 sind
aneinander befestigt, wobei die entsprechenden Oberflächenseiten
einander gegenüberliegen,
so dass Elektroden auf dem Ein zeltransistorchip 211 über die
Metallhöcker 213 mit
Signalleitungen 214 und Erdungsleiterabschnitten 215 auf
dem dielektrischen Substrat 212 physikalisch und elektrisch verbunden
sind. Die Erdungsleiterabschnitte 215 auf der Oberflächenseite
des dielektrischen Substrats 212 sind über Durchgangslöcher 216 mit
einer Erdungsleiteroberfläche 217 auf
der Rückseite
des dielektrischen Substrats 212 verbunden. Ein Gleichspannungs-Begrenzungskondensator 218,
eine radiale Blindleitung 219, ein Chipwiderstand 220,
ein Chipkondensator 221 und dergleichen sind als die passiven
Schaltungen 5150 auf der Oberflächenseite des dielektrischen
Substrats 212 ausgebildet.
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Ein
Beispiel einer derartigen HMIC-Technik ist in 1997 IEEE MTT-S Digest,
Seite 447 bis 450, beschrieben.
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Eine
weitere derartige Technik ist eine Flip-Chip-Anbringungstechnik
eines MMIC (integrierte monolithische Mikrowellenschaltung) auf
dem dielektrischen Substrat 212. Die MMIC enthält ein aktives
Element, wie etwa ein Transistor, und passive Elemente, wie etwa
eine Übertragungsleitung,
einen Spiralleiter und einen Dünnschichtkondensator,
die auf demselben Halbleiterchip vorgesehen sind, wodurch funktionale
Blöcke,
wie etwa ein Verstärker,
ein Mischer und ein Oszillator, auf dem Halbleiterchip implementiert
sind. 22A veranschaulicht eine beispielhafte
MMIC 222, die nach dem Flip-Chip-Verfahren auf dem dielektrischen
Substrat 212 angebracht ist, und 22B ist
eine Schnittansicht längs
der Linie 22A-22B von 22A.
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Die
dargestellte Flip-Chip-Struktur enthält die MMIC 222, das
dielektrische Substrat 212, das darauf vorgesehene Übertragungsleitungen
enthält, und
die Metallhöcker 213.
Das dielektrische Substrat 212 und die MMIC 222 sind
aneinander befestigt, wobei die entsprechenden Oberflächenseiten
einander gegenüberliegen,
so dass Elektroden, die am Umfang der MMIC 222 vorgesehen
sind, über
die Metallhöcker 213 mit
Signalleitungen 224 und den Erdungsleiterabschnitten 215 auf
dem dielektrischen Substrat 212 physikalisch und elektrisch
verbunden sind. Die Erdungsleiterabschnitte 215 auf der
Oberflächenseite
des dielektrischen Substrats 212 sind über die Durchgangslöcher 216 mit
der Erdungsleiteroberfläche 217 auf
der Rückseite
des dielektrischen Substrats 212 verbunden.
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Eine
beispielhafte MMIC-Flip-Chip-Technik ist in 1994 IEEE MTT-S Digest, Seite
1707 bis 1710, beschrieben.
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Bei
den herkömmlichen
Techniken bestehen jedoch die folgenden Probleme.
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Bei
der HMIC besteht das erste Problem darin, dass die Halbleiterchips
als die einzigen aktiven Elemente einzeln angebracht werden müssen, wodurch
sich hohe Fertigungskosten ergeben. Das zweite Problem besteht darin,
dass der Halbleiterchip als das einzige aktive Element eine sehr
geringe Größe besitzt
und daher schwer zu handhaben ist. Folglich besteht die Wahrscheinlichkeit,
dass eine Änderung
der Hochfrequenzcharakteristiken infolge einer Fehlausrichtung zwischen
den einzelnen aktiven Elementen und dem Substrat auftritt. Das dritte
Problem besteht darin, dass die Anzahl von Metallhöckern, die an
einem Halbleiterchip angebracht werden kann, begrenzt ist, wodurch
sich eine unzureichende Anbringungsfestigkeit und schlechte Wärmeabstrahlungscharakteristiken
ergeben. Das vierte Problem besteht darin, dass zwischen den einzelnen
Halbleiterchips für
den Anbringungsprozess ein verhältnismäßig großer Abstand
vorgesehen werden muss, wodurch das dielektrische Substrat eine
große
Fläche
benötigt.
Da ein derartig großer
Abstand zwischen den Halbleiterchips vorgesehen ist, steigt darüber hinaus
die Induktivität
zwischen den Erdungsanschlüssen
aller aktiven Elemente an, wodurch der Betrieb des Elements instabil
wird.
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Bei
der MMIC besteht das erste Problem darin, dass das aktive Element
und die passiven Elemente auf demselben Halbleiterchip entworfen
und gefertigt werden, wobei jede Entwurfsänderung die Neuproduktion der
gesamten Vorrichtung erforderlich macht, wodurch eine lange Zeit
für die
Vorrichtungsentwicklung erforderlich ist. Das zweite Problem besteht
darin, dass der spezifische ohmsche Widerstand des Halbleitersubstrats
kleiner ist als der des dielektrischen Substrats und ein hoher Q-Wert
nicht erreicht werden kann, wodurch es schwierig ist, ein leistungsstarkes
passives Element zu fertigen. Da insbesondere das Halbleitersubstrat
einen kleineren Widerstand besitzt als das dielektrische Substrat,
besteht bei einer passiven Schaltung, die auf dem Halbleitersubstrat
gefertigt ist, der Nachteil einer charakteristischen Verschlechterung
infolge von Faktoren, wie etwa ein Signalverlust auf dem Substrat.
Das dritte Problem besteht darin, dass die passiven Elemente eine
wesentliche Fläche
auf dem Halbleiterchip einnehmen, wodurch die Materialkosten ansteigen. Das
vierte Problem besteht darin, dass das aktive Element und die passiven Elemente
mit einer hohen Dichte auf demselben Halbleiterchip integriert sind, wodurch
sich eine schlechte elektrische Isolation zwischen den entsprechenden
Elementen ergibt.
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Während die
HMIC-Technik und die MMIC-Technik einige Vorteile besitzen, weisen
sie außerdem
Nachteile auf, die zu überwinden
sind.
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Im
Patent US-A-5.406.125 ist ein Halbleiterchip offenbart, der ein
Mikrowellen-Chip
mit mehreren komplexen Funktionen sein kann. Der Chip enthält auf seinem
oberen Abschnitt eine elektrische Schaltungsanordnung, Signalübertragungsleitungen, die
mit der Schaltungsanordnung verbunden sind, und metallbeschichtete
Löcher,
die sich von dem oberen Abschnitt zu einem unteren Abschnitt des Chips
erstrecken, um die Schaltungsanordnung des Chips mit einem Trägersubstrat
zu verbinden.
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ZUSAMMENFASSUNG
DER ERFINDUNG
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Eine
Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung der Erfindung umfasst:
ein
dielektrisches Substrat, das wenigstens eine Signalleitung, eine
passive Schaltung und einen ersten Erdungsleiterabschnitt, die auf
einer Oberflächenseite
des dielektrischen Substrats ausgebildet sind, enthält; und
ein
Halbleitersubstrat, das mehrere aktive Elemente, die auf derselben
Oberfläche
ausgebildet sind, enthält,
wobei:
ein Eingangs-/Ausgangsanschluss eines der mehreren aktiven
Elemente auf dem Halbleitersubstrat nicht mit irgendeinem Eingangs-/Ausgangsanschluss eines
weiteren der mehreren aktiven Elemente elektrisch verbunden ist,
jedoch der Eingangs-/Ausgangsanschluss eines der mehreren aktiven
Elemente mit dem Eingangs-/Ausgangsanschluss eines weiteren der
mehreren aktiven Elemente in der Weise elektrisch verbunden ist,
dass:
die Signalleitung zwischen die Eingangs-/Ausgangsanschlüsse des
einen und des anderen aktiven Elements über Metallhöcker physikalisch und elektrisch geschaltet
ist; und
der erste Erdungsleiterabschnitt mit einem Erdungsanschluss
des aktiven Elements über
einen weiteren Metallhöcker
physikalisch und elektrisch verbunden ist.
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In
einer Ausführungsform
enthält
die Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vor richtung ferner einen zweiten
Erdungsabschnitt auf einer Oberflächenseite des Halbleitersubstrats,
wobei der zweite Erdungsabschnitt durch Verbinden entsprechender
Erdungsanschlüsse
der mehreren aktiven Elemente miteinander über einen ersten Leiter gebildet
ist.
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In
einer Ausführungsform
ist ein zweiter Leiter auf einer Rückseite des Halbleitersubstrats
vorgesehen; und der Erdungsleiterabschnitt auf der Oberflächenseite
des Halbleitersubstrats ist mit dem zweiten Leiter über ein
Durchgangsloch verbunden.
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In
einer Ausführungsform
ist eine Erdungsleiteroberfläche
auf einer Rückseite
des dielektrischen Substrats vorgesehen; und die Erdungsleiteroberfläche ist
mit dem Erdungsleiterabschnitt auf der Oberflächenseite des dielektrischen
Substrats über ein
Durchgangsloch verbunden.
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In
einer Ausführungsform
enthält
das dielektrische Substrat eine erste dielektrische Schicht, eine Zwischenleiterschicht
und eine zweite dielektrische Schicht; eine Erdungsleiteroberfläche ist
auf einer Rückseite
der zweiten dielektrischen Schicht vorgesehen; ein Erdungsleiterabschnitt
ist auf der Oberflächenseite
des dielektrischen Substrats vorgesehen; und Durchgangslöcher sind
vorgesehen, um eine Verbindung zwischen dem Erdungsleiterabschnitt und
der Zwischenleiterschicht bzw. zwischen der Zwischenschicht und
der Erdungsleiteroberfläche herzustellen.
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In
einer Ausführungsform
weist die Zwischenleiterschicht ein Schlitzkopplungsloch auf; eine zweite
Signalleitung ist auf der Rückseite
der zweiten dielektrischen Schicht vorgesehen; eine erste Signalleitung
ist auf einer Oberflächenseite
der ersten dielektrischen Schicht vorgesehen; und die zweite Signalleitung
ist mit der ersten Signalleitung über das Schlitzkopplungsloch
für eine
gewünschte
Frequenz elektromagnetisch gekoppelt.
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In
einer Ausführungsform
sind wenigstens eine Mischereingang-Anpassungsschaltung und eine Filterschaltung
als die passiven Schaltungen vorgesehen; und die Mikrowellen- und
Mikrometerwellen-Vorrichtung enthält ferner eine Frequenzumsetzungsvorrichtung.
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In
einer Ausführungsform
ist ein Rahmenkörper
längs eines
Umfangs des di elektrischen Substrats vorgesehen; ein Deckel ist
auf dem Rahmenkörper
vorgesehen, um das Halbleitersubstrat abzudecken; und der Rahmenkörper und
der Deckel sind jeweils geerdet.
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In
einer Ausführungsform
ist eine erste Signalleitung auf der Oberflächenseite des dielektrischen
Substrats vorgesehen; ein externer Verbindungsanschluss und eine
zweite Signalleitung sind auf einer Rückseite des dielektrischen
Substrats vorgesehen; der externe Verbindungsanschluss ist mit der
zweiten Signalleitung verbunden; die zweite Signalleitung ist mit
der ersten Signalleitung über
ein Durchgangsloch oder ein Schlitzkopplungsloch verbunden; und
die erste Signalleitung ist mit der passiven Schaltung verbunden.
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In
einer Ausführungsform
ist ein Eingangsanschluss auf der Oberflächenseite des dielektrischen
Substrats vorgesehen; eine ebene Antenne ist auf der Rückseite
des dielektrischen Substrats vorgesehen; die ebene Antenne enthält einen
Leistungsversorgungsabschnitt für
die Verbindung mit der Oberflächenseite
des dielektrischen Substrats; der Leistungsversorgungsabschnitt
ist mit dem Eingangsanschluss über
ein Durchgangsloch oder ein Schlitzkopplungsloch verbunden; und
ein Eingang ist von dem Eingangsanschluss zu der passiven Schaltung
vorgesehen.
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Das
dielektrische Substrat kann aus Silicium hergestellt sein und eine
Isolationsschicht auf der Oberflächenseite
des dielektrischen Substrats besitzen; und die passive Schaltung
ist durch einen Halbleiterprozess für Silicium ausgebildet.
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Gemäß einem
weiteren Aspekt der Erfindung enthält eine Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung:
ein dielektrisches Substrat mit wenigstens einer Signalleitung,
eine passive Schaltung und einen Erdungsleiterabschnitt, die auf
einer Oberflächenseite
des dielektrischen Substrats ausgebildet sind; und ein Halbleitersubstrat
mit mehreren Transistoren, einer Diode und einem Funktionsblock,
der durch ein vorgegebenes Schaltungselement gebildet ist, wobei
das dielektrische Substrat und das Halbleitersubstrat über einen
Metallhöcker
physikalisch und elektrisch verbunden sind.
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Der
Metallhöcker
lässt eine
Verbindung zwischen Anschlüssen
zu, die auf dem dielektrischen Substrat und auf dem Halbleitersubstrat
vorgesehen sind.
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Das
dielektrische Substrat kann ein mehrlagiges Dünnschichtsubstrat sein, das
auf dem Halbleitersubstrat vorgesehen ist.
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Der
Funktionsblock kann ein Paar Transistoren und ein Paar Dioden enthalten.
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Der
Funktionsblock kann einen Transistor und eine Vorspannungsschaltung
für den
Transistor enthalten.
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Der
Funktionsblock kann einen Transistor und eine Rückkopplungsschaltung für den Transistor enthalten.
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Erdungsanschlüsse für den Funktionsblock und
die entsprechenden Transistoren können auf dem dielektrischen
Substrat an Positionen vorgesehen sein, derart, dass sie den Funktionsblock
und die Transistoren umgeben.
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Alternativ
können
Erdungsanschlüsse
für den
Funktionsblock und die entsprechenden Transistoren auf dem Halbleitersubstrat
an Positionen vorgesehen sein, derart, dass sie den Funktionsblock und
die Transistoren umgeben.
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Erdungsanschlüsse für den Funktionsblock und
die jeweiligen Transistoren können
auf dem dielektrischen Substrat und/oder auf dem Halbleitersubstrat
an Positionen vorgesehenen sein, derart, dass sie den Funktionsblock
und die Transistoren umgeben.
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In
einer Ausführungsform
sind die mehreren Transistoren so angeordnet, dass sie eine erste
Reihe und eine zweite Reihe bilden, wobei Eingangs- und Ausgangsanschlüsse für die erste
Reihe auf dem Halbleitersubstrat in einer ersten Richtung vorgesehen
sind, während
Eingangs- und Ausgangsanschlüsse
für die
zweite Reihe auf dem Halbleitersubstrat in einer zweiten Richtung,
die zu der ersten Richtung im Wesentlichen entgegengesetzt ist,
vorgesehen sind.
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Die
hier beschriebene Erfindung ermöglicht somit
den Vorteil der Schaffung einer kleinen kostengünstigen Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung,
die eine Verkürzung
der Entwicklungszeit ermöglicht,
die Anbringungsfestigkeit eines Halbleiterchips verbessert und gute
Passivelement-Charakteristiken aufweist.
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Diese
sowie weitere Vorteile der Erfindung werden einem Fachmann beim
Lesen und Verstehen der folgenden genauen Beschreibung unter Bezugnahme
auf die beigefügten
Figuren deutlich.
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KURZBESCHREIBUNG
DER ZEICHNUNG
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Die 1A bis 1C veranschaulichen eine Struktur einer
Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung gemäß dem Beispiel
1 der Erfindung;
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die 2A und 2B sind
schematische Darstellungen zur Erläuterung eines bipolaren Transistors
mit Heteroübergang
als ein beispielhaftes aktives Element;
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die 3A und 3B sind
schematische Darstellungen zur Erläuterung eines Feldeffekttransistors
als ein beispielhaftes aktives Element;
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die 4A und 4B veranschaulichen eine
Struktur einer Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung gemäß dem Beispiel
2 der Erfindung;
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die 5A und 4B veranschaulichen eine
Struktur einer Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung gemäß dem Beispiel
3 der Erfindung;
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die 6A und 6B veranschaulichen eine
Struktur einer Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung gemäß dem Beispiel
3 der Erfindung;
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die 7A bis 7C veranschaulichen eine
Struktur einer Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung gemäß dem Beispiel
4 der Erfindung;
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die 8A bis 8C veranschaulichen eine Struktur einer
Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung gemäß dem Beispiel
5 der Erfindung;
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die 9A und 9B veranschaulichen eine
Struktur einer Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung gemäß dem Beispiel
6 der Erfindung;
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10 veranschaulicht
eine Struktur einer Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung gemäß dem Beispiel
7 der Erfindung;
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die 11A und 11B veranschaulichen eine
Struktur einer Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung gemäß dem Beispiel
8 der Erfindung;
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12 veranschaulicht
eine Struktur einer Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung gemäß dem Beispiel
9 der Erfindung;
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die 13A und 13B veranschaulichen eine
Struktur einer Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung gemäß dem Beispiel
10 der Erfindung;
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die 14A und 14B veranschaulichen eine
Struktur einer Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung gemäß dem Beispiel
11 der Erfindung;
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15 veranschaulicht
eine Struktur einer Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung gemäß dem Beispiel
11 der Erfindung;
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16 veranschaulicht
eine Struktur einer Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung gemäß dem Beispiel
12 der Erfindung;
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die 17A und 17B veranschaulichen eine
Struktur einer Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung gemäß dem Beispiel
13 der Erfindung;
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die 18A und 18B veranschaulichen eine
Struktur einer Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung gemäß dem Beispiel
14 der Erfindung;
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19 veranschaulicht
eine Struktur einer Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung gemäß dem Beispiel
14 der Erfindung;
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20 veranschaulicht
eine Struktur einer Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung gemäß dem Beispiel
15 der Erfindung;
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die 21A und 21B sind
schematische Darstellungen, die eine HMIC als eine beispielhafte
herkömmliche
Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung veranschaulicht;
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die 22A und 22B sind
schematische Darstellungen, die eine Vorrichtung veranschaulichen,
die eine darauf angebrachte MMIC als eine beispielhaft her kömmliche
Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung enthält;
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23A veranschaulicht einen Schaltplan einer Mikrowellen-
und Millimeterwellen-Vorrichtung gemäß dem Beispiel 16 der Erfindung;
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23B veranschaulicht eine Struktur einer Mikrowellen-
und Millimeterwellen-Vorrichtung gemäß dem Beispiel 16 der Erfindung;
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23C veranschaulicht ein Schaltungslayout einer
Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung gemäß dem Beispiel
16 der Erfindung;
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die 24A(a) und 24A(b) veranschaulichen
eine weitere Schaltungskonfiguration, die in einer Mikrowellen-
und Millimeterwellen-Vorrichtung gemäß dem Beispiel 16 der Erfindung
enthalten sein kann;
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die 24B(a) und 24B(b) veranschaulichen
eine weitere Schaltungskonfiguration, die in einer Mikrowellen-
und Millimeterwellen-Vorrichtung gemäß dem Beispiel 16 der Erfindung
enthalten sein kann;
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die 24C(a) und 24C(b) veranschaulichen
eine weitere Schaltungskonfiguration, die in einer Mikrowellen-
und Millimeterwellen-Vorrichtung gemäß dem Beispiel 16 der Erfindung
enthalten sein kann;
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25A veranschaulicht einen Schaltplan einer Mikrowellen-
und Millimeterwellen-Vorrichtung gemäß dem Beispiel 17 der Erfindung;
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die 25B(a) bis 25B(c) veranschaulichen
eine Struktur einer Mikrowellen- und
Millimeterwellen-Vorrichtung gemäß dem Beispiel
17 der Erfindung;
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die 25C(a) bis 25C(c) veranschaulichen
eine weitere Struktur einer Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung
gemäß dem Beispiel
17 der Erfindung, die den 25B(a) bis 25B(c) entspricht;
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die 25D(a) bis 25D(c) veranschaulichen
eine weitere Struktur einer Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung
gemäß dem Beispiel
17 der Erfindung, die den 25B(a) bis 25B(c) entspricht; und
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25E veranschaulicht ein Schaltungslayout einer
Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung gemäß dem Beispiel
17 der Erfindung.
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BESCHREIBUNG
DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
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BEISPIEL 1
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Die 1A bis 1C veranschaulichen eine Struktur einer
Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung 100 gemäß dem Beispiel
1 der Erfindung.
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Die 1A veranschaulicht
die Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung 100,
die von der Rückseite
eines Halbleitersubstrats 2 betrachtet wird, wobei das
Halbleitersubstrat 2 für
eine genaue Darstellung der Verbindungen zwischen aktiven Elementen 6 auf
der Oberflächenseite
des Halbleitersubstrats 2 und einem dielektrischen Substrat 1 transparent
dargestellt ist. 1B ist eine Schnittansicht längs einer
Linie 1A-1B von 1A. Die 1C ist eine
Schnittansicht längs
der Linie 1C-1D von 1A.
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Die
Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung 100 enthält: das
dielektrische Substrat 1 mit passiven Schaltungen 5,
die aus Mikrostreifenleitungen gebildet sind; das Halbleitersubstrat 2 mit
einer Gruppe von aktiven Elementen, die mehrere aktive Elemente 6 enthält, die
auf seiner Oberfläche
ausgebildet sind; und mehrere Metallhöcker 3. Die passiven
Elemente, die die passiven Schaltungen 5 auf dem dielektrischen
Substrat 1 bilden, sind mit den aktiven Elementen 6 auf
dem Halbleitersubstrat 2 über die Metallhöcker 3 physikalisch
und elektrisch verbunden.
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Als
das dielektrische Substrat 1 kann ein keramisches Substrat
oder ein Kunstharzsubstrat verwendet werden. Auf der Oberflächenseite
des dielektrischen Substrats 1 werden die passiven Schaltungen 5,
die vor den vorgesehenen Zweck geeignet sind, zuerst unter Verwendung
von Mikrostreifenleitungen 4 oder dergleichen durch ein
Dünnschichtdruckverfahren
oder durch ein Ätz- und Plattierungsverfahren
ausgebildet. Obwohl die Mikrostreifenleitungen im Beispiel 1 auf
dem dielektrischen Substrat 1 vorgesehen sind, können alternativ
koplanare Leitungen verwendet werden. Die passiven Schaltungen 5 können eine
Impedanzanpassungsschaltung, eine Gleichstrom-Leistungsversorgungsschaltung und
dergleichen enthalten. Zusätzlich
zu den Mikrostreifenleitungen und den koplanaren Leitungen können die
passiven Schaltungen 5 außerdem einen Chipwiderstand,
einen Chipkondensator, eine Chipspule und dergleichen enthalten.
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Das
Halbleitersubstrat 2 kann ein GaAs-Substrat oder ein InP-Substrat
sein, das gute Hochfrequenzcharakteristiken besitzt. Weiterhin sind
mehrere einzelne Aktivelemente 6, wie etwa ein Feldeffekttransistor
oder ein bipolarer Transistor mit Heteroübergang, in einem bestimmten
Layout auf der Oberfläche
des Halbleitersubstrats 2 unter Verwendung eines herkömmlichen
Halbleiterprozesses vorgesehen. Im Hinblick auf den typischen Schaltungsmaßstab der
Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung und die Größe des Halbleitersubstrats
liegt die Anzahl der einzelnen aktiven Elemente 6, die
vorzusehen sind, vorteilhaft im Bereich von 4 bis 6, obwohl die
Erfindung nicht darauf beschränkt
ist.
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In
den 2A und 2B wird
ein Fall beschrieben, bei dem ein bipolarer Transistor mit Heteroübergang
jeweils für
die aktiven Elemente 6 verwendet wird.
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2A ist
eine schematische Darstellung, die einen bipolaren Transistor mit
Heteroübergang veranschaulicht,
und 2B ist ein Schaltplan eines derartigen bipolaren
Transistors mit Heteroübergang.
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Ein
Signal wird über
einen Eingangsanschluss 7 als Basis des bipolaren Transistors
mit Heteroübergang
eingegeben und wird verstärkt
und über
einen Ausgangsanschluss 8 als Kollektor ausgegeben. Der
Erdungsanschluss 9 als Emitter ist über die Metallhöcker 3 mit
einem Erdungsleiterabschnitt 10 auf dem dielektrischen
Substrat 1 verbunden und ist über den Erdungsleiterabschnitt 10,
ein Durchgangsloch 11 und eine Erdungsleiteroberfläche 12 geerdet.
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In ähnlicher
Weise wird in den 3A und 3B ein
Fall beschrieben, bei dem ein Feldeffekttransistor jeweils für die aktiven
Elemente 6 verwendet wird.
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3A ist
eine schematische Darstellung, die einen Feldeffekttransistor veranschaulicht,
und 3B ist ein Schaltplan eines derartigen Feldeffekttransistors.
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Ein
Signal wird über
einen Eingangsanschluss 7 als Gate des Feldeffekttransistors
eingegeben und wird verstärkt
und über
einen Ausgangsanschluss 8 als Drain ausgegeben. Der Erdungsanschluss 9 als
Source ist über
die Metallhöcker 3 mit einem
Erdungsleiterabschnitt 10 auf dem dielektrischen Substrat 1 verbunden
und ist über
den Erdungsleiterabschnitt 10, ein Durchgangsloch 11 und eine
Erdungsleiteroberfläche 12 geerdet.
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Der
Eingangsanschluss 7 eines derartigen aktiven Elements 6 ist
mit den Mikrostreifenleitungen 4 auf dem dielektrischen
Substrat 1 verbunden und der Ausgangsanschluss 8 des
aktiven Elements 6 ist über
die Metallhöcker 3 mit
den Mikrostreifenleitungen 4 auf dem dielektrischen Substrat 1 verbunden. Metallhöcker sind
an ausgewählten
Anschlüssen
der aktiven Elemente 6 auf dem Halbleitersubstrat 2 vorgesehen.
Das Halbleitersubstrat 2 ist auf dem dielektrischen Substrat 1 angebracht,
wobei die Oberflächenseite
des Halbleitersubstrats 2 dem dielektrischen Substrat 1 gegenüberliegt.
Der Anbringungsvorgang wird so ausgeführt, dass alle Metallhöcker 3 auf
dem Halbleitersubstrat 1 auf die entsprechenden Anschlüsse der
passiven Schaltung 5 auf dem dielektrischen Substrat 1 ausgerichtet
sind.
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Die
Verbindung zwischen dem Halbleitersubstrat 2 und dem dielektrischen
Substrat 1 über
die Metallhöcker 3 kann
z. B. durch Erwärmen
des Halbleitersubstrats 2 geschaffen werden, während das Substrat 2 gegen
das dielektrische Substrat 1 gepresst wird. Für die Metallhöcker 3 können z.
B. Au-Höcker
verwendet werden. Die Grenzfläche
der Metallhöcker 3 mit
dem Erdungsleiterabschnitt 10 und den Mikrostreifenleitungen 4 auf
dem dielektrischen Substrat 1 ist legiert, wodurch die
Substrate miteinander elektrisch und physikalisch verbunden werden.
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Die
Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung enthält typischerweise:
ein aktives Element zum Verstärken
oder Modulieren eines Signals; und ein passives Element, wie etwa
eine Impedanzanpassungsschaltung, eine Gleichspannungs-Leistungsversorgungsschaltung
und dergleichen. In der Erfindung ist nur das Aktivelement 6 auf
dem Halbleitersubstrat 2 implementiert, während lediglich
das Passivelement 5 auf dem dielektrischen Substrat 1 implementiert
ist. Bei einer derartigen Struktur sind die mehreren aktiven Elemente 6 auf
einem Halbleitersubstrat 2 angeordnet, wodurch das Halbleitersubstrat 2 durch
ein einzelnes Flip-Chip-Anbringungsverfahren auf dem dielektrischen Substrat 1 angebracht
werden kann. Da das Halbleitersubstrat 2 eine ausreichende
Fläche
aufweist, ist es leicht zu handhaben und es besteht eine geringere
Wahrscheinlichkeit, dass eine Fehlausrichtung in Bezug auf das dielektrische
Substrat 1 auftritt. Im Vergleich mit der HMIC gibt es
ferner eine größere Anzahl
von Metallhöckern 3,
die zum Verbinden des Halbleitersubstrats 2 mit dem dielektrischen
Substrat 1 verwendet werden, wodurch eine ausreichende
Anbringungsfestigkeit erreicht wird. Da lediglich die aktiven Elemente 6 auf
dem Halbleitersubstrat 2 vorgesehen sind, können die
Materialkosten verringert werden. In der Erfindung ist darüber hinaus
die passive Schaltung auf dem dielektrischen Substrat 1 vorgesehen, wodurch
eine passive Schaltung 5 mit einem hohen Q-Wert erreicht
wird.
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Noch
wichtiger ist, dass das Universal-Halbleitersubstrat 2 gefertigt
werden kann, welches für
ein beliebiges Schaltungssystem verwendet werden kann, wodurch der
Schaltungsentwurf lediglich durch das dielektrische Substrat 1 festgelegt
werden kann. Darüber
hinaus werden nicht alle aktiven Elemente 6 und die Anschlüsse auf
dem Halbleitersubstrat 2 notwendigerweise verwendet, sondern
die passiven Schaltungen 5 können so entworfen sein, dass
lediglich einige der aktiven Elemente 6 und der Anschlüsse verwendet
werden. Ferner kann eine Entwurfsänderung einfach ausgeführt werden,
indem die passiven Schaltungen 5 auf dem dielektrischen
Substrat 1 geändert
werden, wodurch die Entwicklungszeit verkürzt wird.
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BEISPIEL 2
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Die 4A und 4B veranschaulichen eine
Struktur einer Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung 200 gemäß dem Beispiel
2 der Erfindung.
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4A veranschaulicht
die Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung 200,
die von der Rückseite
des Halbleitersubstrats 2 betrachtet wird, wobei das Halbleitersubstrat 2 für eine genaue
Darstellung der Verbindung zwischen den aktiven Elementen 41 bis 50 auf
der Oberflächenseite
des Halbleitersubstrats 2 und dem dielektrischen Substrat 1 transparent
dargestellt ist. 4B ist eine Schnittansicht längs der
Linie 4A-4B von 4A. In den 4A und 4B sind
die Komponenten, die ebenfalls in den 1A bis 1C gezeigt sind, mit den gleichen Bezugszeichen
angegeben und werden nicht weiter beschrieben, da sie im Wesentlichen
in der gleichen Weise funktionieren, die oben im Beispiel 1 be schrieben
wurde.
-
Die
Vorrichtung 200 vom Beispiel 2 kann durch die Anordnung
der Aktivelemente 41 bis 45 auf dem Halbleitersubstrat 2 gekennzeichnet
werden. Im Vergleich zum Beispiel 1, das in den 1A bis 1C dargestellt ist, sind die Aktivelemente 41 bis 45 im Einzelnen
auf dem Halbleitersubstrat 2 in einer Anordnung angeordnet,
derart, dass die entsprechenden aktiven Elemente 41 bis 45 abwechselnde
Eingangs-/Ausgangsrichtungen aufweisen. Wie in 4A dargestellt
ist, sind die aktiven Elemente 41 bis 45 so angeordnet,
dass sie abwechselnde Eingangsrichtungen haben, d. h. die aktiven
Elemente 41, 43 und 45 weisen eine Eingangsrichtung
auf, während
die anderen aktiven Elemente 42 und 44 die entgegengesetzte
Eingangsrichtung aufweisen. Deswegen sind der Eingangsanschluss 7 eines
aktiven Elements und der Ausgangsanschluss 8 eines benachbarten
aktiven Elementes auf der gleichen Seite angeordnet, wodurch die
Anordnung der passiven Elemente 5, um zwei benachbarten
aktiven Elementen miteinander zu verbinden, vereinfacht wird.
-
BEISPIEL 3
-
Die 5A, 5B, 6A und 6B veranschaulichen
eine Struktur einer Mikrowellen- und
Millimeterwellen-Vorrichtung 300 gemäß dem Beispiel 3 der Erfindung.
-
5A veranschaulicht
die Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung 300,
die von der Rückseite
des Halbleitersubstrats 2 betrachtet wird, wobei das Halbleitersubstrat
für eine
genaue Darstellung der Verbindung zwischen den aktiven Elementen 55, 57 bis 59, 61 und 62 auf
der Oberflächenseite des
Halbleitersubstrats 2 und dem dielektrischen Substrat 1 transparent
dargestellt ist. 5B ist eine Schnittansicht längs der
Linie 5A-5B von 5A, betrachtet aus der Richtung,
die durch die Pfeile angegeben ist. 6A veranschaulicht
passive Elemente 54, 56 und 60, die Mikrostreifenleitungen 4 und
die Erdungsanschlüsse 10,
die auf dem dielektrischen Substrat 1 vorgesehen sind. 6B veranschaulicht die
oben erwähnten
aktiven Elemente, die auf dem Halbleitersubstrat 2 vorgesehen
sind. In den 5A, 5B, 6A und 6B sind
die Komponenten, die ebenfalls in den 1A bis 1C gezeigt sind, durch die gleichen Bezugszeichen
angegeben und werden nicht weiter beschrieben, da sie im Wesentlichen
in der gleichen Weise funktionieren, die oben im Beispiel 1 beschrieben
wurde.
-
Die
Vorrichtung 300 vom Beispiel 3 kann dadurch gekennzeichnet
werden, dass die Erdungsanschlüsse 10 der
Aktivelemente auf dem Halbleitersubstrat 2 über einen
Leiter miteinander verbunden sind, und dass ein Leistungsverstärker als
eine beispielhafte Schaltungsform implementiert ist. Die Erdungsanschlüsse 10 der
aktiven Elemente auf dem Halbleitersubstrat 2 sind über Erdungsleiter 51, 52 bzw. 53 miteinander
verbunden. Da die Erdungsanschlüsse 10 von
allen aktiven Elementen über
Erdungsleiter 51, 52 und 53 auf dem Halbleitersubstrat 2 miteinander
verbunden sind, ist die Erdungsinduktivität zwischen den aktiven Elementen
geringer und die Signaltrennung zwischen den aktiven Elementen ist
verbessert.
-
In
den 5A, 5B, 6A und 6B wird
ein Betrieb des Leistungsverstärkers
des Beispiels beschrieben.
-
Ein
Eingangssignal verläuft
durch das passive Element 54 auf dem dielektrischen Substrat 1 und wird
in das Aktivelement 55 auf dem Halbleitersubstrat 2 eingegeben.
Das Signal wird durch das Aktivelement 55 verstärkt und
verläuft
durch die passive Schaltung 56. Anschließend wird
das Signal durch die Mikrostreifenleitung 4 in drei Signale
unterteilt und diese werden auf dem Halbleitersubstrat 2 in
die aktiven Elemente 57, 58 bzw. 59 eingegeben.
Die Signale werden durch die aktiven Elemente 57, 58 bzw. 59 verstärkt und
durch die Mikrostreifenleitung 4 auf dem dielektrischen
Substrat 1 wieder zu einem Signal synthetisiert. Dann wird
das Signal über
das Passivelement 60 ausgegeben. In dem Beispiel wird das aktive
Element 61 nicht verwendet und es wird lediglich der Erdungsanschluss
des aktiven Elements 62 verwendet.
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BEISPIEL 4
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Die 7A bis 7C veranschaulichen eine
Struktur einer Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung 400 gemäß dem Beispiel
4 der Erfindung.
-
7A veranschaulicht
die Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung 400,
die von der Rückseite
des Halbleitersubstrats 2 betrachtet wird, wobei das Halbleitersubstrat 2 für die genaue
Darstellung der Verbindung zwischen den aktiven Elementen 55, 57 bis 59, 61 und 62 auf
der Oberflächenseite
des Halbleitersubstrats 2 und dem dielektrischen Substrat 1 transparent
darge stellt ist. 7B ist eine Schnittansicht längs der
Linie 7A-7B von 7A, betrachtet aus der Richtung,
die durch die Pfeile angegeben ist. 7C veranschaulicht
die oben erwähnten
aktiven Elemente, die auf dem Halbleitersubstrat 2 vorgesehen
sind. In den 7A bis 7C sind
die Komponenten, die ebenfalls in den 7A und 7B gezeigt
sind, durch die gleichen Bezugszeichen angegeben und werden nicht
weiter beschrieben, da sie im Wesentlichen in der gleichen Weise
funktionieren, die oben im Beispiel 3 beschrieben wurde.
-
Ein
Unterschied zwischen Beispiel 4 und Beispiel 3 besteht darin, dass
das Halbleitersubstrat 2 einen Leiter auf seiner Rückseite
enthält
und die Leiter 51, 52 und 53 auf der
Oberflächenseite
des Halbleitersubstrats 2 über ein leitendes Durchgangsloch 2 mit
dem Leiter 71 auf der Rückseite
des Halbleitersubstrats 2 verbunden sind. Die anderen Komponenten
funktionieren im Wesentlichen in der gleichen Weise, die in den
obigen Beispielen beschrieben wurde, und werden deswegen im Folgenden
nicht weiter beschrieben.
-
Wenn
die oben genannten aktiven Elemente Leistungsverstärker sind,
muss das Problem, das mit ihrer Wärmeerzeugung verbunden ist,
behandelt werden. Im Beispiel 4 wird die Wärme, die von den aktiven Elementen
erzeugt wird, nicht nur auf das dielektrische Substrat 1 übertragen,
sondern außerdem über das
Durchgangsloch 72 auf den Leiter 71 auf der Rückseite
des Halbleitersubstrats 2 übertragen und von diesem abgestrahlt.
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BEISPIEL 5
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Die 8A bis 8C veranschaulichen eine Struktur einer
Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung 500 gemäß dem Beispiel
5 der Erfindung.
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8 veranschaulicht die Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung 500,
die von der Rückseite
Halbleitersubstrats 2 betrachtet wird, wobei das Halbleitersubstrat 2 für eine genaue
Darstellung der Verbindungen zwischen den aktiven Elementen 6 auf der
Oberflächenseite
des Halbleitersubstrats 2 und dem dielektrischen Substrat 1 transparent
dargestellt ist. 8B ist eine Schnittansicht längs der
Linie 8A-8B von 8A, die aus der Richtung betrachtet wird,
die durch die Pfeile angegeben ist. 8C ist eine
Schnittansicht längs
der Linie 8C-8D von 8A, die aus der Richtung betrachtet
wird, die durch die Pfeile angegeben ist. In den 8A und 8B sind
die Komponenten, die ebenfalls in 1A bis 1C gezeigt sind, durch die gleichen Bezugszeichen
angegeben und werden nicht weiter beschrieben, da sie im Wesentlichen
in der gleichen Weise funktionieren, die oben im Beispiel 1 beschrieben
wurde.
-
Ein
Unterschied zwischen dem Beispiel 5 und dem Beispiel 1 besteht darin,
dass die passiven Schaltungen 5 auf dem dielektrischen
Substrat 1 unter Verwendung von koplanaren Leitungen ausgebildet
sind. Die koplanaren Leitungen enthalten eine Signalleitung 81 und
Erdungsleiterabschnitte 82 auf dem dielektrischen Substrat 1 und
die kennzeichnende Impedanz wird durch die Breite der Signalleitung 81 und
den Abstand zwischen der Signalleitung 81 und dem Erdungsleiterabschnitt 82 bestimmt.
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Um
eine stabile Übertragungscharakteristik bei
Verwendung einer koplanaren Leitung zu erreichen, ist es wichtig,
das Potential des Erdungsleiterabschnitts 82 zu stabilisieren.
Deswegen sind in dem Beispiel die Erdungsleiterabschnitte 82 auf
der Oberflächenseite
des dielektrischen Substrats 1 über die Durchgangslöcher 11 mit
der Erdungsleiteroberfläche 12 auf
der Rückseite
verbunden, wodurch die Erdung der koplanaren Leitungen sichergestellt
wird und somit ein stabiler Betrieb der Vorrichtung ermöglicht wird.
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BEISPIEL 6
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Die 9A und 9B veranschaulichen eine
Struktur einer Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung 600 gemäß dem Beispiel
6 der Erfindung.
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9A veranschaulicht
die Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung 600,
die von der Rückseite
des Halbleitersubstrats 2 betrachtet wird, wobei das Halbleitersubstrat 2 für eine genaue
Darstellung der Verbindungen zwischen den aktiven Elementen 6 auf
der Oberflächenseite
des Halbleitersubstrats 2 und dem dielektrischen Substrat 1 transparent
dargestellt ist. 9B ist eine Schnittansicht längs der
Linie 9A-9B von 9A, die aus der Richtung betrachtet
wird, die durch die Pfeile angegeben ist. In den 9A und 9B sind
die Komponenten, die ebenfalls in 1A bis 1C gezeigt sind, durch die gleichen Bezugszeichen
angegeben und werden im Folgenden nicht weiter beschrieben, da sie
im Wesentlichen in der gleichen Weise funktionieren, die oben im
Beispiel 1 beschrieben wurde.
-
Die
Vorrichtung 600 des Beispiels unterscheidet sich von der
Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung 100 des Beispiels 1,
die in Verbindung mit den 1A bis 1C beschrieben wurde, darin, dass ein Siliciumsubstrat 92 mit
einer Isolationsschicht 91, die darauf abgelagert ist,
als dielektrisches Substrat 1 verwendet wird, und dass
aktive Schaltungen 93 durch einen Halbleiterprozess vorgesehen
sind.
-
Das
Siliciumsubstrat 92 besitzt einen spezifischen ohmschen
Widerstand, der geringer ist als bei anderen dielektrischen Materialien,
und deswegen besitzt das Siliciumsubstrat in einer passiven Schaltung
keinen hohen Q-Wert. Das Siliciumsubstrat ist jedoch kostengünstig und
ist für
die Verwendung bei einem Halbleiterprozess geeignet. Deswegen können passive
Elemente, wie etwa ein Dünnschichtkondensator,
ein Spiralleiter oder ein Widerstand, mit einer hohen Dichte auf
dem Substrat integriert werden. Wenn das Siliciumsubstrat 92,
das die Isolationsschicht 91 aufweist, verwendet wird,
können
die aktiven Schaltungen 93, wie etwa der Spiralleiter,
auf der Rückseite
des Halbleitersubstrats 2 vorgesehen werden, was zu einer
Vergrößerung der
Dichte der passiven Schaltungen beiträgt. Dadurch kann die Größe der Mikrowellen-
und Millimeterwellen-Vorrichtung stark verringert werden. Sie ist
insbesondere geeignet für
Anwendungen mit einer verhältnismäßig geringen
Frequenz, bei denen keine sehr hohe Leistungsfähigkeit der passiven Elemente
erforderlich ist.
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BEISPIEL 7
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10 ist
eine Schnittansicht, die eine Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung 700 gemäß dem Beispiel
7 der Erfindung veranschaulicht. In 10 sind
die Komponenten, die ebenfalls in den 1A bis 1C gezeigt sind, durch die gleichen Bezugszeichen
angegeben und werden im Folgenden nicht weiter beschrieben, da sie
im Wesentlichen in der gleichen Weise funktionieren, die oben im
Beispiel 1 beschrieben wurde.
-
Beispiel
7 unterscheidet sich vom Beispiel 1, das in Verbindung mit den 1A bis 1C beschrieben wurde, in den folgenden
Punkten. Als das dielektrische Substrat 1 werden eine erste
dielektrische Schicht 101, eine Zwischenleiterschicht 102 und
eine zweite dielektrische Schicht 103 abgelagert. Die Erdungsleiteroberfläche 12 ist
teilweise oder vollständig über der
Rückseite
der zweiten dielektrischen Schicht 103 vorgesehen. Die
Erdungsleiterabschnitte 10 auf der Oberflächenseite
der ersten dielektrischen Schicht 101 sind über die
Durchgangslöcher 11 mit der
Zwischenleiterschicht 102 verbunden und die Zwischenleiterschicht 102 ist über die
Durchgangslöcher 11 mit
der Erdungsleiteroberfläche 12 verbunden.
-
Insbesondere
dann, wenn die passiven Schaltungen wie im Beispiel 1 aus den Mikrostreifenleitungen
gebildet sind, muss der Abstand zwischen den Mikrostreifenleitungen
und der Erdungsleiteroberfläche 12 verringert
werden, wenn die Frequenz ansteigt, um dadurch die Dicke des dielektrischen Substrats
zu verringern. Dies kann eine Verringerung der mechanischen Festigkeit
des dielektrischen Substrats zur Folge haben. Indem jedoch die erste
dielektrische Schicht 101, die Zwischenleiterschicht 102 und
die zweite dielektrische Schicht 103 wie im Beispiel als
das dielektrische Substrat 1 abgelagert werden, ist es
möglich,
die charakteristische Impedanz der Mikrostreifenleitungen durch
die Signalleitungen auf der ersten dielektrischen Schicht 102 und
der Zwischenleiterschicht 102 zu bestimmen, während die
mechanische Festigkeit des dielektrischen Substrats durch die zweite
dielektrische Schicht 103 vergrößert wird. Darüber hinaus
muss für
die erste dielektrische Schicht 102 und die zweite dielektrische Schicht 103 nicht
das gleiche Material verwendet werden.
-
BEISPIEL 8
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Die 11A und 11B veranschaulichen eine
Struktur einer Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung 800 gemäß dem Beispiel
8 der Erfindung.
-
11A veranschaulicht die Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung 800,
die von der Rückseite
des Halbleitersubstrats 2 betrachtet wird, wobei das Halbleitersubstrat 2 für eine genaue
Darstellung der Verbindungen zwischen den aktiven Elementen 6 auf
der Oberflächenseite
des Halbleitersubstrats 2 und dem dielektrischen Substrat 1 transparent
dargestellt ist. 11B ist eine Schnittansicht längs der
Linie 11A-11B von 11A. In den 11A und 11B sind
die Komponenten, die ebenfalls in den 1A bis 1C gezeigt sind, durch die gleichen Bezugszeichen
angegeben und werden im Folgenden nicht weiter beschrieben, da sie
im Wesentlichen in der gleichen Weise funktionieren, die oben im
Beispiel 1 beschrieben wurde.
-
Beispiel
8 unterscheidet sich von dem Beispiel 1, das in Verbindung mit den
-
1A bis 1C beschrieben wurde, in den folgenden
Punkten. Ein Rahmenkörper 111 aus
metallbeschichteten Seitenwänden
ist längs
des Umfangs des dielektrischen Substrats 1 vorgesehen.
Darüber hinaus
ist ein metallbeschichteter Deckel 112 an dem Rahmenkörper 111 so
vorgesehen, dass er das Halbleitersubstrat 2 abdeckt. Die
Erdungsleiterabschnitte 10 auf der Oberflächenseite
des dielektrischen Substrats 1 sind mit dem Rahmenkörper 111 physikalisch und
elektrisch verbunden, der seinerseits mit dem Deckel 112 physikalisch
und elektrisch verbunden ist. Der Rahmenkörper 111 und der Deckel 112 dienen dazu,
eine unerwünschte
Strahlung von den aktiven Elementen 6 auf dem Halbleitersubstrat 2 und
den passiven Elementen auf dem dielektrischen Substrat 1 bzw.
zu diesen zu verhindern.
-
Wenn
die Vorrichtung in dem Millimeterwellenband bei einer Frequenz von
etwa 30 GHz oder größer verwendet
wird, kann eine unerwünschte
Welle in der Wellenleitermode im Rahmenkörper 111 eliminiert
werden, da der Rahmenkörper 111 und
der Deckel 112 elektrisch geerdet sind, während das Halbleitersubstrat 2 und
das dielektrische Substrat 1 über die Metallhöcker 3 dreidimensional
geerdet sind. Dies verbessert die Isolationscharakteristiken zwischen
dem Eingang und dem Ausgang und realisiert dadurch eine gute und
stabile Charakteristik.
-
Während für den Rahmenkörper 111 und
den Deckel 110 in dem Beispiel ein metallbeschichtetes Material
verwendet wird, kann alternativ ein Metallmaterial verwendet werden.
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BEISPIEL 9
-
12 veranschaulicht
eine Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung 900 gemäß dem Beispiel
9 der Erfindung. 12 veranschaulicht die Mikrowellen-
und Millimeterwellen-Vorrichtung 900, die von der Rückseite
des Halbleitersubstrats betrachtet wird, wobei das Halbleitersubstrat
für eine genaue
Darstellung der Verbindungen zwischen den aktiven Elementen auf
der Oberflächenseite
des Halbleitersubstrats und dem dielektrischen Substrat transparent
dargestellt ist.
-
Die
Struktur der Vorrichtung 900 in diesem Beispiel ist im
Wesentlichen gleich der des Beispiels 5, das in Verbindung
mit 8 beschrieben wurde, das Bei spiel
veranschaulicht jedoch eine beispielhafte Struktur eines Abwärtsumsetzers,
der als ein Hochfrequenzverstärker,
ein Mischer und ein Zwischenfrequenzverstärker funktioniert.
-
Ein
Hochfrequenzsignal wird über
einen Eingangsanschluss 121 in eine Eingangsanpassungsschaltung/Leistungsversorgungsschaltung 122 eingegeben
und wird durch ein aktives Element 123 verstärkt. Dann
verläuft
das verstärkte
Signal durch eine Zwischenstufenanpassungsschaltung/Leistungsversorgungsschaltung 124 und
wird durch ein aktives Element 125 weiter verstärkt. Das
Hochfrequenzsignal, das von dem aktiven Element 125 ausgegeben wird,
wird einer Impedanzanpassung unterzogen und seine unerwünschte Welle
wird durch eine Ausgangsanpassungsschaltung/Leistungsversorgungsschaltung/Filterschaltung 126 entfernt
und es wird anschließend
in eine Mischereingangsanpassungsschaltung/Lokalversorgungsschaltung 127 eingegeben.
Das Hochfrequenzsignal wird mit einem Lokaloszillationssignal, das
durch eine Lokaloszillationsschaltung erzeugt wird, synthetisiert
und in ein aktives Element 128 eingegeben. Infolge der
Nichtlinearität
des aktiven Elements 128 werden das Hochfrequenzsignal
und das Lokaloszillationssignal miteinander gemischt, wodurch ein
Zwischenfrequenzsignal erzeugt wird, das der Frequenzdifferenzkomponente
zwischen dem Hochfrequenzsignal und dem Lokaloszillationssignal
entspricht. Das Zwischenfrequenzsignal verläuft durch eine ZF-Eingangsanpassungsschaltung/Leistungsversorgungsschaltung 129 und
wird durch ein aktives Element 130 verstärkt. Dann
verläuft
das verstärkte
Signal durch eine ZF-Zwischenstufenanpassungsschaltung/Leistungsversorgungsschaltung 131 und
wird durch ein aktives Element 132 weiter verstärkt, damit
es über
eine ZF-Ausgangsanpassungsschaltung/Leistungsversorgungsschaltung 133 ausgegeben
wird. Ein aktives Element 910 wird nicht verwendet.
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Während das
Beispiel 9 ein Beispiel veranschaulicht, bei dem die passiven Schaltungen
aus kopolaren Leitungen gebildet sind, können sie alternativ wie im
Beispiel 1 aus Mikrostreifenleitungen gebildet sein. Während das
Beispiel 9 einen Abwärtsumsetzer
zum Umsetzen eines Hochfrequenzsignals in ein Zwischenfrequenzsignal
veranschaulicht, kann darüber
hinaus ein Aufwärtsumsetzer
zum Umsetzen eines Zwischenfrequenzsignals in ein Hochfrequenzsignal
im Wesentlichen in der gleichen Weise gebildet werden.
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Wie
in dem Beispiel ist es möglich,
dass ein Halbleiterchip verwendet wird, um Frequenzumsetzungsvorrichtungen,
wie etwa einen Abwärtsumsetzer
oder einen Aufwärtsumsetzer,
zu schaffen. Wenn die herkömmliche
MMIC- oder HMIC-Struktur verwendet wird, um eine Frequenzumsetzungsvorrichtung
für das
Millimeterwellenband bei einer Frequenz von etwa 30 GHz oder größer zu schaffen,
verschlechtern sich häufig
die Charakteristiken von einigen Schaltungen, wie etwa eine Mischerschaltung oder
eine Filterschaltung, die in der resultierenden Frequenzumsetzungsvorrichtung
enthalten sind. Gemäß dem Beispiel
kann dagegen eine derartige Verschlechterung verhindert werden.
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BEISPIEL 10
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Die 13A und 13B veranschaulichen eine
Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung 1000 gemäß dem Beispiel
10 der Erfindung.
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13A veranschaulicht die Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung 1000,
die von der Rückseite
des Halbleitersubstrats betrachtet wird, wobei das Halbleitersubstrat
für eine
genaue Darstellung der Verbindungen zwischen den aktiven Elementen
auf der Oberflächenseite
des Halbleitersubstrats und dem dielektrischen Substrat transparent dargestellt
ist. 13B ist eine Schnittansicht
längs der
Linie 13A-13B von 13A, die aus der Richtung betrachtet
wird, die durch die Pfeile angegeben ist.
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Die
Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung 1000 von
Beispiel 10 besitzt im Wesentlichen die gleiche Struktur wie die
Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung 900 vom Beispiel 9,
unterscheidet sich jedoch darin, dass ein externer Verbindungsanschluss 134 vorgesehen
ist.
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In
der Vorrichtung 1000 enthält die Rückseite des dielektrischen
Substrats 1 im Einzelnen eine Signalleitung 135 als
eine koplanare Leitung, wovon ein Ende als externer Verbindungsanschluss 134 dient.
Auf der Oberflächenseite
des dielektrischen Substrats 1 ist der Eingangsanschluss
durch eine Signalleitung 136 als eine koplanare Leitung
verlängert und
die Signalleitung 136 ist über ein Durchgangsloch 137 mit
dem anderen Ende der Signalleitung 135 als eine koplanare
Leitung auf der Rückseite
des dielektrischen Substrats 1 verbunden. Darüber hinaus
ist der Rahmenkörper 111 aus
metallbeschichteten Seitenwänden
längs des
Umfangs des dielektrischen Substrats 1 vorgesehen und der
metallbeschichtete Deckel 112 ist auf dem Rahmenkörper 111 so
vor gesehen, dass er das Halbleitersubstrat 2 abdeckt. Die
Erdungsleiterabschnitte auf der Oberflächenseite des dielektrischen
Substrats 1 sind mit dem Rahmenkörper 111 physikalisch
und elektrisch verbunden, der seinerseits mit dem Deckel 112 physikalisch
und elektrisch verbunden ist. Der Rahmenkörper 111 und der Deckel 112 dienen
dazu, eine unerwünschte
Strahlung von den aktiven Elementen auf dem Halbleitersubstrat 2 und
den passiven Elementen auf dem dielektrischen Substrat 1 oder
zu diesen zu verhindern. Durch Vorsehen der Signalleitung 136 als
eine koplanare Leitung auf der Rückseite
des dielektrischen Substrats 1 von dem Durchgangsloch 137,
des Rahmenkörpers 111 und
des Deckels 112 ist es darüber hinaus möglich, ein
Signal auszugeben, das nicht durch ein elektromagnetisches Feld
beeinflusst wird, das von den Schaltungen auf der Oberflächenseite
des dielektrischen Substrats 1 abgestrahlt.
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BEISPIEL 11
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Die 14A und 14B veranschaulichen eine
Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung 1100 gemäß dem Beispiel
11 der Erfindung.
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14A veranschaulicht die Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung 1100,
die von der Rückseite
des Halbleitersubstrats betrachtet wird, wobei das Halbleitersubstrat
zur genauen Darstellung der Verbindungen zwischen den aktiven Elementen
auf der Oberflächenseite
des Halbleitersubstrats und dem dielektrischen Substrat transparent dargestellt
ist. 14B ist eine Schnittansicht
längs der
Linie 14A-14B von 14A, die aus der Richtung betrachtet
wird, die durch die Pfeile angegeben ist. 15 veranschaulicht
das dielektrische Substrat 1, das von seiner Rückseite
betrachtet wird.
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Die
Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung 1100 vom
Beispiel 11 besitzt im Wesentlichen die gleiche Struktur wie die
Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung 900 vom Beispiel
9, sie unterscheidet sich jedoch darin, dass eine ebene Antenne 141 auf
der Rückseite
des dielektrischen Substrats 1 vorgesehen ist.
-
Die
Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung 1100 vom
Beispiel 11 enthält
die ebene Antenne 141 auf der Rückseite des dielektrischen
Substrats 1 und ein Ende einer Signalleitung, die von der ebenen
Antenne 141 verlängert
und in eine koplanare Leitung umgewandelt ist, besitzt einen Leistungsversor gungsabschnitt 142.
Auf der Oberflächenseite des
dielektrischen Substrats 1 ist der Eingangsanschluss 121 des
Abwärtsumsetzers,
der oben im Beispiel 9 beschrieben wurde, durch eine koplanare Leitung
von der Eingangsanpassungsschaltung/Leistungsversorgungsschaltung 122 verlängert und
ist über
ein Durchgangsloch 143 mit dem Leistungsversorgungsabschnitt 142 der
ebenen Antenne 141 verbunden.
-
Ein
Hochfrequenzsignal aus der Umgebung der Vorrichtung 1100 trifft
auf die ebene Antenne 141 auf und wird über das Durchgangsloch 143 in
eine Eingangsanpassungsschaltung/Leistungsversorgungsschaltung 122 auf
der Oberflächenseite
des dielektrischen Substrats eingegeben. Die weitere Funktionsweise
der Vorrichtung 1100 ist im Wesentlichen gleich der im
Beispiel 9 beschriebenen Funktionsweise und wird deshalb nicht weiter
beschrieben.
-
Durch
das Vorsehen der ebenen Antenne 141 auf der Rückseite
des dielektrischen Substrats 1 ist es möglich, eine sehr kleine Mikrowellen-
und Millimeterwellen-Vorrichtung zu realisieren. Es ist außerdem möglich, die
ebene Antenne mit der Hochfrequenzschaltung über die kürzeste Entfernung zu verbinden.
Dadurch wird der Verlust des Hochfrequenzsignals verringert.
-
Beispiel
11 schafft eine beispielhafte Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung 1100,
die ein Hochfrequenzsignal über
die ebene Antenne 141 empfängt und das Hochfrequenzsignal
zu einem Zwischenfrequenzsignal umsetzt. Das gleiche Prinzip kann
in umgekehrter Weise angewendet werden, um eine Mikrowellen- und
Millimeterwellen-Vorrichtung zu schaffen, die ein Zwischenfrequenzsignal
in ein Hochfrequenzsignal umsetzt und das umgesetzte Signal über eine
ebene Antenne ausgibt.
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BEISPIEL 12
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16 ist
eine Schnittansicht, die eine Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung 1200 gemäß dem Beispiel
12 der Erfindung veranschaulicht.
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Die
Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung 1200 von
Beispiel 12 besitzt im Wesentlichen die gleiche Struktur wie die
Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung 1100 vom
Beispiel 11, sie unterscheidet sich jedoch darin, dass das Halbleitersubstrat
wie im Beispiel 8 mit einem Rahmenkörper und ei nem Deckel abgedeckt
ist.
-
In
der Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung 1200 des
Beispiels ist im Einzelnen der Rahmenkörper 111 aus metallbeschichteten
Seitenwänden
längs des
Umfangs des dielektrischen Substrats 1 vorgesehen. Darüber hinaus
ist der metallbeschichtete Deckel 112 an dem Rahmenkörper 111 so
vorgesehen, dass er das Halbleitersubstrat 2 abdeckt. Die
Erdungsleiterabschnitte 10 auf der Oberflächenseite
des dielektrischen Substrats 1 sind mit dem Rahmenkörper 111 physikalisch
und elektrisch verbunden, der seinerseits mit dem Deckel 112 physikalisch
und elektrisch verbunden ist.
-
Wenn
die ebene Antenne 141 auf der Rückseite des dielektrischen
Substrats 1 vorgesehen ist, muss das Problem der Strahlung
einer unerwünschten
Welle auf die Oberflächenseite
des dielektrischen Substrats 1 und von dieser behandelt
werden. Im Beispiel 12 kann eine Strahlung auf die Vorrichtung 1200 oder
eine Reflexion von dieser durch den Rahmenkörper 111 und den Deckel 112 verhindert
werden.
-
BEISPIEL 13
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Die 17A und 17B veranschaulichen eine
Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung 1300 gemäß dem Beispiel
13 der Erfindung. 17A veranschaulicht die Mikrowellen-
und Millimeterwellen-Vorrichtung 1300, die von der Rückseite
des Halbleitersubstrats betrachtet wird, wobei das Halbleitersubstrat
für eine
genaue Darstellung der Verbindungen zwischen den aktiven Elementen
auf der Oberflächenseite
des Halbleitersubstrats und dem dielektrischen Substrat transparent
dargestellt ist. 17B ist eine Schnittansicht
längs der
Linie 17A-17B von 17A, die aus der Richtung betrachtet
wird, die durch die Pfeile angegeben ist.
-
Die
Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung 1300 des
Beispiels besitzt im Wesentlichen die gleiche Struktur wie die Mikrowellen-
und Millimeterwellen-Vorrichtung 1000 vom Beispiel 10,
sie unterscheidet sich jedoch dadurch, dass das dielektrische Substrat 1 die
erste dielektrische Schicht 101, die Zwischenleiterschicht 102 und
die zweite dielektrische Schicht 103 enthält.
-
In
der Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung 1300 vom
Beispiel 13 sind im Einzelnen die erste dielektrische Schicht 101,
die Zwischenleiterschicht 102 und die zweite dielektrische Schicht 103 als
das dielektrische Substrat 1 abgelagert. Die Zwischenleiterschicht 102 ist
mit einem Schlitzkopplungsloch 171 versehen. Eine Signalleitung,
die aus einer Mikrostreifenleitung gebildet ist, ist auf der Rückseite
der zweiten dielektrischen Schicht 103 vorgesehen. Darüber hinaus
ist eine Mikrostreifenleitung 172 vorgesehen, die sich
zu einer Eingangsanpassungsschaltung/Leistungsversorgungsschaltung
auf der Oberflächenseite
der ersten dielektrischen Schicht 101 erstreckt. Das Ende
der Mikrostreifenleitung 172 ist für eine gewünschte Frequenz über das
Schlitzkopplungsloch 171 mit einer Signalleitung 173 auf
der Rückseite
der zweiten dielektrischen Schicht 103 elektromagnetisch
gekoppelt. Die Signalleitung 173 ist mit einem externen
Verbindungsanschluss 174 verbunden.
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Wenn
die koplanare Leitung auf der Oberflächenseite des dielektrischen
Substrats wie im Beispiel 10 über
ein Durchgangsloch mit der koplanaren Leitung auf seiner Rückseite
verbunden ist, vergrößert sich
der Verlust, wenn die Frequenz ansteigt, da das Durchgangsloch eine
hohe Impedanz besitzt. Durch Kopplung der Mikrostreifenleitung auf
der Oberflächenseite
der ersten dielektrischen Schicht 101 mit der Mikrostreifenleitung
auf der Rückseite
der zweiten dielektrischen Schicht 103 über ein Schlitzkopplungsloch
wie im Beispiel 13, kann jedoch ein Signal verlustfrei übertragen
werden.
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BEISPIEL 14
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Die 18A und 18B veranschaulichen eine
Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung 1400 gemäß dem Beispiel
14 der Erfindung.
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18A veranschaulicht die Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung 1400,
die von der Rückseite
des Halbleitersubstrats betrachtet wird, wobei das Halbleitersubstrat
für eine
genaue Darstellung der Verbindungen zwischen den aktiven Elementen
auf der Oberflächenseite
des Halbleitersubstrats und dem dielektrischen Substrat transparent dargestellt
ist. 18B ist eine Schnittansicht
längs der
Linie 18A-18B von 18A, die aus der Richtung betrachtet
wird, die durch die Pfeile angegeben ist. 19 veranschaulicht
die zweite dielektrische Schicht 103, die von ihrer Rückseite
betrachtet wird.
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Die
Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung 1400 vom
Beispiel 14 be sitzt im Wesentlichen die gleiche Struktur wie die
Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung 1300 vom
Beispiel 13, sie unterscheidet sich jedoch darin, dass die ebene Antenne 141 auf
der Rückseite
des dielektrischen Substrats 1 vorgesehen ist.
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Die
Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung 1400 gemäß dem Beispiel
14 enthält
im Einzelnen die ebene Antenne 141, die auf der Rückseite der
zweiten dielektrischen Schicht 103 vorgesehen ist. Ein
Anschluss der ebenen Antenne 141 ist für eine gewünschte Frequenz über das
Schlitzkopplungsloch 171 mit der Mikrostreifenleitung 172 der ersten
dielektrischen Schicht 101 elektromagnetisch gekoppelt.
Die Mikrostreifenleitung 172 auf der Oberflächenseite
der ersten dielektrischen Schicht 101 ist mit der Eingangsanpassungsschaltung/Leistungsversorgungsschaltung 122 verbunden.
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Ein
externes Hochfrequenzsignal aus der Umgebung der Vorrichtung 1400 trifft
auf die ebene Antenne 141 auf der Rückseite der zweiten dielektrischen
Schicht 103 auf und wird über das Schlitzkopplungsloch 171 in
die Eingangsanpassungsschaltung/Leistungsversorgungsschaltung 122 auf
der Oberflächenseite
der ersten dielektrischen Schicht 101 eingegeben. Die weitere
Funktionsweise der Vorrichtung 1400 ist im Wesentlichen
gleich der im Beispiel 9 beschriebenen Funktionsweise und wird deswegen
nicht weiter beschrieben.
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Durch
Vorsehen der ebenen Antenne 141 auf der Rückseite
der zweiten dielektrischen Schicht 103 ist es möglich, eine
sehr kleine Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung zu realisieren.
Es ist außerdem
möglich,
die ebene Antenne 141 mit der Hochfrequenzschaltung, die
auf der ersten dielektrischen Schicht 101 vorgesehen ist, über die
kürzeste Entfernung
zu verbinden. Dies verringert den Verlust des Hochfrequenzsignals.
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Das
Beispiel 14 schafft eine beispielhafte Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung 1400, die
ein Hochfrequenzsignal über
die ebene Antenne empfängt
und das Hochfrequenzsignal in ein Zwischenfrequenzsignal umsetzt.
Alternativ kann das gleiche Prinzip angewendet werden, um eine Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung
zu schaffen, die ein Zwischenfrequenzsignal zu einem Hochfrequenzsignal
umsetzt und das umgesetzte Signal über eine ebene Antenne ausgibt.
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BEISPIEL 15
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20 ist
eine Schnittansicht, die eine Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung 1500 gemäß dem Beispiel
15 der Erfindung veranschaulicht.
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Die
Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung 1500 vom
Beispiel 15 besitzt im Wesentlichen die gleiche Struktur wie die
Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung 1400 vom
Beispiel 14, sie unterscheidet sich jedoch in den folgenden Punkten.
Der Rahmenkörper 111 aus
metallbeschichteten Seitenwänden
ist längs
des Umfangs des dielektrischen Substrats 1 vorgesehen.
Darüber
hinaus ist der metallbeschichtete Deckel 112 auf dem Rahmenkörper 111 so
vorgesehen, dass er das Halbleitersubstrat 2 abdeckt. Die
Erdungsleiterabschnitte 10 auf der Oberflächenseite
des dielektrischen Substrats 1 sind mit dem Rahmenkörper 111 physikalisch
und elektrisch verbunden, der seinerseits mit dem Deckel 112 physikalisch
und elektrisch verbunden ist.
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Wenn
die ebene Antenne 141 auf der Rückseite der zweiten dielektrischen
Schicht 103 vorgesehen ist, muss das Problem der Strahlung
einer unerwünschten
Welle auf die Oberflächenseite
der ersten dielektrischen Schicht 101 und von dieser behandelt werden.
Im Beispiel 15 kann die Strahlung auf die Vorrichtung 1500 oder
die Reflexion von dieser durch den Rahmenkörper 111 und den Deckel 112 verhindert
werden.
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BEISPIEL 16
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Die 23A, 23B und 23C veranschaulichen einen beispielhaften Frequenzabwärtsumsetzer
unter Verwendung von mehreren Transistoren und einem Diodenpaar,
die auf einem Halbleitersubstrat vorgesehen sind, als eine Mikrowellen-
und Millimeterwellen-Vorrichtung gemäß dem Beispiel 16 der Erfindung.
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Die 23A veranschaulicht einen Schaltplan, der die
gesamte Schaltung der Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung
des Beispiels zeigt, die einen rauscharmen Verstärker 501 und einen
Frequenzmischer 502 enthält. Die 23B veranschaulicht
eine Verbindung zwischen einer Funktionselementanordnung 508,
die Transistoren und Dioden enthält,
die auf dem Halbleitersubstrat vorgesehen sind, und einem dielektrischen
Substrat. Die Funktionselementanordnung 508 enthält Transistoren 503, 504 und 505 und
ein Dioden paar 506, die in 23A dargestellt
sind. Die 23C ist eine Darstellung des Schaltungslayouts,
die die gesamte Schaltung zeigt, wobei eine Layoutdarstellung der
Funktionselementanordnung 508 auf dem Halbleitersubstrat
gemeinsam mit einer Layoutdarstellung der passiven Schaltungen 507 auf
einem dielektrischen Substrat 520 veranschaulicht werden.
In allen 23A bis 23C bezeichnen
gleiche Bezugszeichen gleiche Elemente.
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In
dem Schaltplan von 23A enthält der rauscharme Verstärker 501 die
passiven Schaltungen 507, die aus Übertragungsleitungen auf dem
dielektrischen Substrat gebildet sind, und die Transistoren 503, 504 und 505.
Der Frequenzmischer 502 enthält ein Bandpassfilter, ein
Tiefpassfilter, die passiven Schaltungen 507, die aus Übertragungsleitungen
gebildet sind, und das Diodenpaar 506, die auf dem dielektrischen
Substrat vorgesehen sind. In 23B ist
die Funktionselementanordnung 508 auf dem Halbleitersubstrat
insgesamt aus vier Elementen gebildet; dies sind die Mikrowellentransistoren 503, 504 und 505 und
das Diodenpaar 506. Entsprechende Basisanschlüsse B und
Kollektoranschlüsse C
der Mikrowellentransistoren 503 bis 505 und ein Eingangs-/Ausgangsanschluss
des Diodenpaars 506 sind über Metallhöcker 509 mit entsprechenden
Verbindungsanschlüssen 510 auf
dem dielektrischen Substrat physikalisch und elektrisch verbunden.
Außerdem
sind Emitteranschlüsse
E auf dem Halbleitersubstrat über
die Metallhöcker 509 mit
entsprechenden Erdungsanschlüssen 511 auf
dem dielektrischen Substrat physikalisch und elektrisch verbunden.
Darüber
hinaus sind die Erdungsanschlüsse 511 mit
entsprechenden (nicht gezeigten) Erdungsanschlüssen verbunden, die auf der
Rückseite
des dielektrischen Substrats vorgesehen sind.
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Das
Halbleitersubstrat und das dielektrische Substrat, die durch ein
Flip-Chip-Verbindungsverfahren über die
Metallhöcker 509 physikalisch
und elektrisch miteinander verbunden sind, wie in 23B dargestellt ist, können mit den passiven Schaltungen 507,
die auf dem dielektrischen Substrat 520 vorgesehen sind,
integriert werden, wie in 23C dargestellt
ist, um einen Frequenzabwärtsumsetzer
zu implementieren. Im Einzelnen werden ein Hochfrequenzeingangssignal
RFin mit einer Frequenz fRF, das in den
rauscharmen Verstärker 501 eingegeben wird,
und ein Lokaloszillationssignal LOin mit einer Frequenz fLO, das in den Frequenzmischer 502 eingegeben
wird, verwendet, um ein Zwischenfrequenzsignal IFout mit
einer Frequenz, die fRF – 2fLO entspricht,
zu erzeugen und auszugeben.
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Das
dielektrische Substrat kann ein mehrschichtiges dünnes Substrat
sein, das auf dem Halbleitersubstrat vorgesehen ist. Dies ist für die Fertigung
einer Vorrichtung geeignet, die bei einer hohen Frequenz betrieben
wird, da das Substrat einer Feinbearbeitung unterzogen werden kann.
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In
dem oben beschriebenen Beispiel sind die Mikrowellentransistoren 503 bis 505 und
das Diodenpaar 506 auf dem Halbleitersubstrat vorgesehen.
Alternativ können
mehrere Funktionsblöcke
auf dem Halbleitersubstrat angeordnet sein, wobei jeder der Funktionsblöcke durch
das Integrieren von Transistoren und einer Vorspannungsschaltung
auf dem Halbleitersubstrat erhalten wird, wie in den 24A(a) und 24A(b) dargestellt
ist. In diesem Fall können
die Elemente der Vorspannungsschaltung, wie etwa ein Widerstand 515 und
ein MIM-Kondensator 516 (MIM, Metall-Isolator-Metall) in
der unmittelbaren Umgebung eines Mikrowellentransistors auf dem
Halbleitersubstrat vorgesehen sein. Dadurch besteht eine geringe
Wahrscheinlichkeit, dass eine parasitäre Kapazitätskomponente oder eine parasitäre Induktivitätskomponente
auftreten, wodurch ein stabiler Schaltungsbetrieb realisiert wird.
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Obwohl
in dem Beispiel ein beispielhafter Frequenzabwärtsumsetzer, der den rauscharmen Verstärker 502 und
den Frequenzmischer 502 enthält, dargestellt wurde, ist
die Erfindung nicht auf eine derartige Struktur beschränkt.
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Um
z. B. einen Oszillator zur Verwendung in einem Mikrowellenband und
in einem Millimeterwellenband zu schaffen, ist für die Transistoren eine Rückkopplungssteuerung
erforderlich. In diesem Fall können
ein Kondensatorelement 516, eine kurze Blindleitung 517 (die
als ein induktives Element dient) oder dergleichen in der unmittelbaren
Umgebung eines Mikrowellentransistors vorgesehen sein, wie in den 24B(a) und 24B(b) dargestellt
ist, um dadurch einen Funktionsblock zu schaffen, der eine Reihenrückkopplungsschaltung
enthält.
Alternativ können Übertragungsleitungen 519 und
Kopplungsleitungen 518 in der unmittelbaren Umgebung eines Transistors
vorgesehen sein, wie in den 24C(a) und 24C(b) dargestellt ist, um dadurch einen Funktionsblock
zu schaffen, der eine Parallelrückkopplungsschaltung
enthält.
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Die
Größe dieser
Rückkopplungsschaltungen
verringert sich, wenn die Betriebsfrequenz ansteigt. Deswegen sind
im Fall einer Reihenrückkopplungs schaltung,
die in den 24B(a) und 24B(b) dargestellt ist, Elemente mit niedrigen Kapazitäts- oder
Induktivitätswerten
als das kapazitive Elemente 516 und das induktive Element 517 (kurze
Blindleitung) erforderlich. Im Fall einer Parallelrückkopplungsschaltung,
die in den 24C(a) und 24C(b) dargestellt ist, müssen die Kopplungsleitungen 518 einen
kleinen Kopplungsabstand 4 aufweisen.
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Es
ist im Allgemeinen schwierig, Elemente zu schaffen, die diese Anforderungen
auf einem dielektrischen Substrat, wie etwa ein Keramiksubstrat, im
Hinblick auf die dafür
erforderlichen Verarbeitungstechniken erfüllen. Gemäß der Erfindung können jedoch
derartige Elemente auf einem Halbleitersubstrat durch Mikrobearbeitung
auf der Grundlage einer Halbleiterbearbeitungstechnik geschaffen
werden. Die oben beschriebene Rückkopplungsschaltung
kann z. B. gleichzeitig ausgebildet werden, während die Mikrowellentransistoren 503 bis 505 auf
dem Halbleitersubstrat ausgebildet werden.
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Es
ist außerdem
möglich,
mehrere derartige Funktionsblöcke
zu verwenden, wovon jeder durch Integrieren von Transistoren und
einer Rückkopplungsschaltung
erhalten wird. Da in diesem Fall die Rückkopplungsschaltung in der
unmittelbaren Umgebung eines Mikrowellentransistors vorgesehen ist, besteht
eine geringe Wahrscheinlichkeit, dass eine parasitäre Kapazitätskomponente,
eine parasitäre
Induktivitätskomponente,
eine parasitäre
Leitungskomponente oder dergleichen auftrifft, wodurch ein stabiler
Schaltungsbetrieb realisiert wird.
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In
dem oben beschriebenen Frequenzabwärtsumsetzer sind lediglich
die passiven Schaltungen 507 auf dem dielektrischen Substrat
vorgesehen. Eine aktive Schaltung kann jedoch alternativ oder zusätzlich vorgesehen
sein. Der Ausgangsabschnitt der Frequenzabwärtsumsetzungsschaltung gibt
das Signal IFout in dem Zwischenfrequenzband aus,
das durch eine Abwärtsumsetzung
seiner Frequenz zu einer niedrigeren Frequenz erhalten wird, wie
oben beschrieben wurde. Es ist deswegen z. B. möglich, eine aktive Schaltung,
wie etwa eine Hybrid-IC oder eine MMIC, durch eine Kombination von einzelnen
Transistoren zu schaffen, bei denen eine Zwischenfrequenz-Signalverarbeitungsschaltung, eine
Frequenzumsetzungsschaltung zum Umsetzen eines Signals in ein Grundbandsignal
oder dergleichen als Baugruppe zusammengefasst werden.
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BEISPIEL 17
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Ein
beispielhafter Frequenzvervielfacher unter Verwendung von mehreren
Transistoren wird unter Bezugnahme auf die 25A bis 25E als eine Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung gemäß dem Beispiel
17 der Erfindung beschrieben. Elemente in den 25A bis 25E,
die gleiche Bezugszeichen aufweisen, wie die in den 23A bis 23C gezeigten
Elemente, werden nicht weiter beschrieben.
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In 25A, die einen Schaltplan darstellt, der die gesamte
Schaltung zeigt, enthält
eine Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung des Beispiels
vier Transistoren 521 bis 524, die auf einem Halbleitersubstrat
vorgesehen sind, und die passiven Schaltungen 507, die
auf dem dielektrischen Substrat 520 vorgesehen sind. 25B(a) veranschaulicht die Positionierung der
Metallhöcker 509 in
Bezug auf die Transistoranordnung 508, die die Transistoren 521 bis 524 auf
dem Halbleitersubstrat enthält. Die 25B(b) veranschaulicht die Positionierung der
Eingangs-/Ausgangs-(Verbindungs-) Anschlüsse 510, der Erdungsanschlüsse 511,
der Metallhöcker 509 und
der Durchgangslöcher 512 in
Bezug auf das dielektrische Substrat. 25B(c) veranschaulicht das
Halbleitersubstrat und das dielektrische Substrat, die miteinander
integriert sind. Darüber
hinaus entsprechen die 25C(a) bis 25C(c) bzw. 25D(a) bis 25D(c) den 25B(a) bis 25B(c), die geringfügig unterschiedliche Anordnungen
der Erdungsanschlüsse,
der Metallhöcker und
dergleichen in Bezug auf die Transistoranordnung 508 veranschaulichen. 25E ist dagegen ein Schaltplan, der die gesamte
Schaltung zeigt und eine Layoutdarstellung der Funktionselementanordnung 508 auf
einem Halbleitersubstrat 503 gemeinsam mit einer Layoutdarstellung
der passiven Schaltungen 507 auf dem dielektrischen Substrat 520 veranschaulicht.
In allen diesen Figuren sind gleiche Elemente durch gleiche Bezugszeichen
angegeben.
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In
dem Schaltplan von 25A enthält die Vorrichtung des Beispiels,
die als ein Frequenzvervielfacher funktioniert, die passiven Schaltungen 507,
die aus den Übertragungsleitungen
gebildet sind, die auf dem dielektrischen Substrat vorgesehen sind,
und die Transistoren 521 bis 524. Eine Frequenz
f0 eines vorgegebenen Eingangssignals wird in
jedem der Transistoren 521 bis 524 verdoppelt, wobei
schließlich
ein Ausgangssignal mit einer Frequenz von 16·f0 bereitgestellt
wird. Bei einem Eingangssignal z. B. mit einer Frequenz f0 = 2 GHz beträgt die Ausgangsfrequenz 32
GHz.
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Die
passive Schaltung 507 enthält eine Schaltung zum Realisieren
einer effizienten Frequenzvervielfachung durch Erreichen einer Impedanzanpassung
zwischen den Transistoren 521 bis 524 und eine
Schaltung zum Entfernen von unnötigen Wellen.
Wie in 25E dargestellt ist, ist ein
Halbleitersubstrat 530, das die darauf vorgesehene Transistoranordnung 508 enthält, durch
ein Flip-Chip-Verbindungsverfahren über die
Metallhöcker 509 mit
den entsprechenden passiven Schaltungen 507, die auf dem
dielektrischen Substrat vorgesehen sind, integriert, wodurch ein
Frequenzvervielfacher implementiert wird.
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Die
Erdungsanschlüsse 511 auf
dem dielektrischen Substrat sind jeweils über die Durchgangslöcher 512 mit
den (nicht gezeigten) Erdungsanschlüssen, die auf der Rückseite
des dielektrischen Substrats vorgesehen sind, verbunden.
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In 25B(a) enthält
die Transistoranordnung 508 auf dem Halbleitersubstrat 530 die
vier Transistoren 521 bis 524. Die Basis-, Kollektor-
und Emitteranschlüsse
B, C und E von jedem der Transistoren 521 bis 524 sind über die
Metallhöcker 509 mit den
Eingangs-/Ausgangs-(Verbindungs-) Anschlüssen 510 und den Erdungsanschlüssen 511 auf
dem dielektrischen Substrat, das in 25B(b) dargestellt
ist, physikalisch und elektrisch verbunden.
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Die
vier Transistoren 521 bis 524 sind in zwei Reihen
angeordnet. Die Transistoren 521 und 522 können z.
B. eine Reihe bilden und die anderen Transistoren 523 und 524 können die
andere Reihe bilden. Die Transistoren 521 und 522 der
ersten Reihe sind in einer Richtung angeordnet, die durch einen Pfeil 531 angegeben
ist, wohingegen die Transistoren 523 und 524 der
zweiten Reihe in der entgegengesetzten Richtung angeordnet sind,
die durch einen Pfeil 532 angegeben ist. Infolge einer
derartigen Struktur, bei der die Eingangs-/Ausgangsanschlüsse der Transistoren in den
entsprechenden Reihen in entgegengesetzten Richtungen angeordnet
sind, ist es möglich,
die Transistoren 521 bis 524 effizient zu verbinden,
um dadurch eine kleinere passive Schaltung zu erreichen, die für einen
Hochfrequenzbetrieb besser geeignet ist.
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Wie
in den 25B(a) und 25B(c) dargestellt ist, sind z. B. die einzigen
Erdungsanschlüsse,
die auf dem Halbleitersubstrat vorgesehen sind, die Emitter anschlüsse E, wohingegen
die Erdungsanschlüsse 511 auf
dem dielektrischen Substrat vorgesehen sind. Die Erdungsanschlüsse 511 sind
auf dem dielektrischen Substrat so vorgesehen, dass sie im Allgemeinen
die Transistoren 521 bis 524 umgeben. Eine derartige
Anordnung gewährleistet
eine Isolation gegenüber
der gegenseitigen Störung
der Transistoren 521 bis 524.
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Alternativ
kann ein weiterer Erdungsanschluss 526 zusätzlich auf
dem Halbleitersubstrat 530 vorgesehen sein, wie in 25C(a) dargestellt ist. Der Erdungsanschluss 526 wird
erhalten, indem die Emitteranschlüsse E miteinander verbunden
und verlängert
werden, und ist so geformt, dass er im Allgemeinen die Transistoren 521 bis 524 umgibt.
Die Erdungsanschlüsse 511 auf
dem dielektrischen Substrat sind dagegen unabhängig für die entsprechenden Transistoren 521 bis 524 vorgesehen,
wie in 25C(b) dargestellt ist. Die
sich ergebende Struktur, die in 25C(c) dargestellt
ist, gewährleistet eine
Isolierung gegen die gegenseitigen Störungen der Transistoren 521 bis 524 und
schafft eine Wärmeabstrahlungswirkung.
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In
der Struktur, die in den 25D(a) bis 25D(c) dargestellt ist, sind der Erdungsanschluss 526 (siehe 25D(a)), der auf dem Halbleitersubstrat 530 vorgesehen
ist, und die Erdungsanschlüsse 511 (siehe 25D(b)), die auf dem dielektrischen Substrat vorgesehen
sind, über
die Metallhöcker 509 verbunden.
Die Transistoren 521 bis 524 sind gemeinsam durch
die Metallhöcker 509 und
die Erdungsanschlüsse 511 und 526 dreidimensional umgeben
(siehe 25D(c)). Dies gewährleistet eine
Isolation gegen die gegenseitigen Störungen der Transistoren 521 bis 524 und
schafft eine verbesserte Wärmestrahlungswirkung,
während
unnötige elektromagnetische
Wellenmoden beseitigt werden, die zwischen dem Halbleitersubstrat
und dem dielektrischen Substrat vorhanden sind.
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Wie
oben beschrieben wurde, schafft die Erfindung eine kleine kostengünstige Mikrowellen-
und Millimeterwellen-Vorrichtung, die ermöglicht, dass die Entwicklungszeit
verkürzt
wird, und gute passive Schaltungscharakteristiken besitzt. Darüber hinaus kann
der Anbringungsbereich vergrößert werden, wodurch
die Anbringungsfestigkeit der Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung
verbessert wird. Es ist ferner möglich,
die elektrische Isolation zwischen den aktiven Elementen zu verbessern
und die Induktivität
zwischen den Erdungsanschlüssen
der entsprechenden aktiven Elemente zu verringern.
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Durch
Vorsehen eines Leiters auf der Rückseite
des Halbleitersubstrats und Verbinden des Leiters über ein
Durchgangsloch mit der Oberflächenseite
des Halbleitersubstrats, ist es möglich, die Strahlungscharakteristiken
des aktiven Elements zu verbessern.
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Die
Erfindung ermöglicht
darüber
hinaus, die Massepotentiale der passiven Elemente und der aktiven
Elemente der Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung zu stabilisieren, wodurch
die Charakteristiken der Mikrowellen und Millimeterwellen stabilisiert
werden. Durch Vorsehen des dielektrischen Substrats, das mehrere
Schichten enthält,
ist es ferner möglich,
die mechanische Festigkeit des dielektrischen Substrats zu verbessern.
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Gemäß der Erfindung
kann ferner eine Mikrowellen- und Millimeterwellen-Vorrichtung geschaffen
werden, die eine Funktionselementblockanordnung verwendet, die ein
aktives Element und ein Diodenelement enthält, um beliebige Schaltungen
im Bereich von einer Mikrowellenband-Schaltung bis zu einer Millimeterwellenband-Schaltung
aufzunehmen. Da die Mikrobearbeitung auf der Grundlage einer Halbleiterbearbeitungstechnik
bei dem Halbleitersubstrat angewendet werden kann, kann eine winzige passive
Schaltung, die für
ein Hochfrequenzband erforderlich ist, in der unmittelbaren Umgebung
eines aktiven Elements vorgesehen werden, wodurch ein stabiler Schaltungsbetrieb
realisiert wird. Da außerdem
ein dielektrisches Substrat mit einem kleinen dielektrischen Verlust,
wie etwa ein Keramiksubstrat, als Zwischenverbindung zum Verbinden
von entsprechenden Transistoren verwendet werden kann, wird eine
Zwischenverbindung mit einem geringen Verlust im Millimeterwellenband
realisiert, wodurch eine Schaltung mit hohem Gewinn und großem Wirkungsgrad
geschaffen wird. Während
die Schaltung thermisch stabilisiert ist, kann ferner eine ausreichende Isolierung
gegen gegenseitige Störungen
der Transistoren gesichert werden und unnötige elektromagnetische Wellenmoden,
die zwischen dem Halbleitersubstrat und dem dielektrischen Substrat
vorhanden sind, können
entfernt werden.
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Verschiedene
weitere Modifikationen werden einem Fachmann erscheinen und können von
diesem leicht ausgeführt
werden, ohne vom Umfang dieser Erfindung abzuweichen. Es ist demzufolge
nicht vorgesehen, dass der Umfang der beigefügten Ansprüche durch die hier dargestellte
Beschreibung eingeschränkt
werden soll, sondern dass die Ansprüche allgemein ausgelegt werden.