DE69826769T2

DE69826769T2 - Düsenplatte und Herstellungsverfahren, für ein Ausstossgerät

Info

Publication number: DE69826769T2
Application number: DE69826769T
Authority: DE
Inventors: Shuji Ohta-ku Koyama; Kazuaki Ohta-ku Masuda; Ken Ohta-ku Ikegame; Hiroaki Ohta-ku Mihara; Toshio Ohta-ku Kashino; Hiroyuki Ohta-ku Ishinaga
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1997-07-03
Filing date: 1998-07-02
Publication date: 2006-03-09
Anticipated expiration: 2018-07-03
Also published as: EP0888892A2; AU749988B2; CA2242819C; ATE278554T1; EP0888892A3; CA2242819A1; DE69826769D1; CN1089693C; EP0888892B1; US6328420B1; AU7405598A; JPH11129483A; CN1204578A

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG
Bereich der Erfindung
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Herstellen einer Öffnungsplatte für einen Flüssigkeitsabgabekopf, der eine gewünschte Flüssigkeit durch Erzeugung von Blasen ausstößt, welche durch das Anlegen von thermischer Energie oder dergleichen erzeugt werden. Sie bezieht sich auch auf einen Flüssigkeitsabgabekopf, der mit solch einer Öffnungsplatte versehen ist und ein Verfahren zum Herstellen eines Flüssigkeitsabgabekopfes. Die vorliegende Erfindung ist anwendbar bei einem Drucker, einem Kopierer, einem Faxgerät, das mit einem Kommunikationssystem versehen ist, einer Textverarbeitungseinheit, die mit einer Druckeinheit versehen ist, und einigen anderen Geräten. Sie ist auch bei industriellen Aufzeichnungssystemen anwendbar, bei dem verschiedene Verarbeitungsgeräte komplex kombiniert sind, um dadurch zu ermöglichen, auf einem Aufzeichnungsmedium aufzuzeichnen, wie beispielsweise Papier, Fäden, Fasern, Kleidung, Leder, Metall, Plastik, Glas, Holz, Keramik oder dergleichen.
Hierbei bezieht sich in der vorliegenden Erfindung der Term „Aufzeichnen", auf den in dieser Beschreibung verwiesen wird, nicht nur auf das Bereitstellen von Buchstaben, Grafiken oder anderen Bildern, die eine gewisse Bedeutung zum Aufzeichnen auf ein Aufzeichnungsmedium haben, sondern bedeutet auch das Bereitstellen von Bildern, die nicht irgendeine besondere Bedeutung repräsentieren, wie beispielsweise Muster, die auf ein Aufzeichnungsmedium aufgezeichnet werden.
Einschlägige Technik
Herkömmlicherweise ist ein Tintenstrahlaufzeichnungsverfahren bekannt, bei dem eine Tinte mit Hitze oder einer anderen Energie versehen wird, die erzeugt wird, um zu veranlassen, dass sich die Zustände der Tinte mit einer plötzlichen Volumenveränderung verändern (Erzeugung von Blasen), so dass Tinte von einer Abgabeöffnung auf der Basis einer Wirkkraft, ausgestoßen wird, die durch solch eine Zustandsänderung angelegt wird, wodurch Bilder auf einem Aufzeichnungsmedium, durch Anhaften der Tinte an dieses, ausgebildet werden. Das Aufzeichnungsgerät, welches dieses Tintenstrahlaufzeichnungsverfahren verwendet, ist im allgemeinen versehen mit der Tintenabgabeöffnung zum Ausstoßen von Tinte, der Tintenströmungsbahn, die mit der Abgabeöffnung verbunden ist und Hitzeerzeugungsvorrichtungen (Elektro-Thermal-Umwandlungsvorrichtungen), die als Energieerzeugungseinrichtung zum Ausstoß von Tinte dienen, die in jede der Tintenströmungsbahnen verteilt wird, wie in der Beschreibung der japanischen Patentveröffentlichung Nr. 61-59911 und der japanischen Patentveröffentlichung Nr. 61-95514 und einigen anderen offenbart. Gemäß diesem Aufzeichnungsverfahren ist es möglich, hoch qualitative Bilder bei hohen Geschwindigkeiten mit weniger Geräuschentwicklung aufzuzeichnen. Gleichzeitig ist es möglich, die Tintenabgabeöffnung in einer hohen Dichte für den Flüssigkeitsabgabekopf anzuordnen, der dieses Aufzeichnungsverfahren verwendet. Daher können Bilder mit einer hohen Auflösung durch Verwendung eines kleineren Geräts aufgezeichnet werden, während neben einigen anderen Vorteilen erleichtert wird, Farbbilder zu erhalten. Infolgedessen wurde das Tintenstrahlaufzeichnungsverfahren in den vergangenen Jahren oft für Büroausstattungen verwendet, wie beispielsweise einem Drucker, einem Kopierer oder einem Faxgerät. Dieses Verfahren wurde auch für ein Textildruckgerät sowie andere Industrieaufzeichnungssysteme verwendet.
Neben der Verwendung der Tintenstrahltechnologien und Techniken in den verschiedenen Anwendungsbereichen bestand eine starke Nachfrage an der Bereitstellung von Aufzeichnungsgeräten, die in der Lage sind zu niedrigeren Kosten mit höherer Auflösung aufzuzeichnen.
Hierbei wird die Tintenabgabeöffnung auf einer Öffnungsplatte ausgebildet. Jedoch wird für gewöhnlich die Öffnungsplatte an die Seite des Flüssigkeitsabgabekopfhauptkörpers geklebt und zwar durch Anbringen von Klebstoff oder dergleichen, nachdem die Abgabeöffnung an ihm ausgebildet wurde.
Nachfolgend wird nun detailliert das herkömmliche Verfahren zum Herstellen einer Öffnungsplatte beschrieben, wobei dieses herkömmliche Verfahren im Dokument US-A-4 184 925 offenbart ist, welches dem Dokument DE-A-28 54 822 entspricht. Ein ähnliches Verfahren ist im Dokument EP-A-321 075 offenbart.
Die 14A bis 14C sind Darstellungen, welche die Herstellungsschritte entsprechend eines herkömmlichen Verfahrens zum Herstellen einer Öffnungsplatte veranschaulichen.
Zunächst wird unter Verwendung des photolithographischen Verfahrens der Fotolack 307 an einer bestimmten Position auf dem Substrat 301 ausgebildet (14A).
Dann wird auf dem Substrat 301 auf dem der Fotolack 307 ausgebildet ist, Nickel 308 unter Verwendung von Galvanoformung bzw. Elektroausbilden ausgebildet (14B).
Danach wird der Fotolack 307 und das Substrat 301 von dem Nickel 308 eins nach dem anderen in dieser Reihenfolge abgeschält, um die Abgabeöffnung 302 auszubilden (14C).
Außerdem gibt es ein Verfahren zum Herstellen einer Öffnungsplatte mit Harz anstatt der Verwendung des Galvanoformungsverfahrens, das vorstehend beschrieben wurde.
Unter den Flüssigkeitsabgabeköpfen, die unter Verwendung dieser Verfahren hergestellt werden, gibt es das eine, dessen Druckzuverlässigkeit durch Einfangen von Tinte verbessert wurde, indem Tinte, die an eine Fläche anhaftet, durch ein Flächenmuster eingefangen wurde (die Abgabeöffnungsfläche hat das wasserabweisende Muster am Umfang der Fläche der Abgabeöffnung und das wasserbindende Muster am Bereich weg von dessen Umfang). Hierbei ist das Flächenmuster dieser Bauart durch Einstrahlung eines Excimer-Lasers auf die Harztafel zu erhalten.
Jedoch wird entsprechend dem herkömmlichen Verfahren der Fotolack im Voraus auf dem Bereich abgebildet, wo die Abgabeöffnung ausgebildet wird und dann wird unter Verwendung der Galvanoformung Nickel ausgebildet, um die Öffnungsplatte bereitzustellen. Danach wird die Abgabeöffnung durch Abschälen des Fotolacks von dem Nickel ausgebildet. Infolgedessen wird unvermeidbar die Stufe 310 an der Abgabeöffnung ausgebildet, wie in 14C dargestellt. Das Ausbilden solch einer Stufe 310 ist für das Durchführen effektiver Tintenausstöße nicht wünschenswert.
Insbesondere, wenn irgendeine Tinte, die eine erhöhte Viskosität hat, aufgrund des Vorhandenseins dieser Stufe anhaften sollte, ist es für die Ausstoßenergie erschwert den Ausstoß der Tröpfchen effektiv zu bewirken oder wenn der Aufbau jeder solchen Stufe variieren sollte, ist es möglich, dass die Ausstoßrichtung dementsprechend variiert.
Hierbei erleichtert der Eckabschnitt 311, der durch die Stufe 310 ausgebildet wird, dass Ausstoßtröpfchen auf dem Abschnitt verbleiben, um dementsprechend einen Verlust an Ausstoßenergie zu verursachen.
Wenn außerdem das wasserbindende Muster durch Anlegen von Laser ausgebildet wurde, entsteht das Problem, dass dieses Ausbilden erschwert, die Position der Öffnungen mit einer ausreichend hohen Präzision anzuordnen.
Hierbei ist es im Hinblick auf die Verbesserung der Abnutzbeständigkeit und Lebensdauer der Öffnungsplatte, wie vorstehend beschrieben, wünschenswert, Ni oder andere Metallwerkstoffe für die Öffnungsplatte zu verwenden.
Wenn jedoch der Abschnitt auf dem Elementarsubstrat, auf dem die Öffnungsplatte, die Deckelplatte und die Heizer angeordnet sind, und der in Kontakt mit der Tinte ist, aus einem Metall oder einem anderen leitenden Werkstoff (unter dem Gesichtspunkt seiner Herstellung) ausgebildet ist, wird der Flüssigkeitsausstoß und dieser Bereich durch Tinte elektrisch leitend (durch den direkten Kontakt oder durch den Klebstoff), so dass eine Zellstruktur vorliegt, die in einigen Fällen die Bedingungen erfüllt, welche erlauben, dass elektrolytische Korrosion auftritt.
Die Öffnungsplatte bleibt unter solchen Bedingungen nicht in Takt, da die Öffnungen auf der Öffnungsplatte aufgelöst werden, so dass sie den Bereich der Öffnungsfläche ändern. Denkbarerweise ist deshalb die Ausstoßmenge nicht konstant.
In Hinblick auf den Umgang mit solchen Bedingungen, wie vorstehend beschrieben, haben die Erfinder als neues Thema aufgegriffen, dass die Zuverlässigkeit der Öffnungsplatte nicht variabel und für eine längere Zeitdauer stabiler sein sollte.
Außerdem wird in Anbetracht jedes Werkstoffs, der für den Innenaufbau der Flüssigkeitsströmungsbahnen des Flüssigkeitsabgabekopfes verwendet wird, der mit der Öffnungsplatte versehen ist, natürlich einschließlich der Flächen, die in Kontakt mit der Flüssigkeit sind, so wie dessen externe Schichtabschnitte, angenommen, dass in einigen Fällen der Innenaufbau elektrisch leitfähig werden kann, nicht notwendigerweise direkt wie vorstehend beschrieben, sondern abhängig von den Bestandteilen, die in der Flüssigkeit enthalten sind. Mit anderen Worten kann der Zustand der elektrolytischen Korrosion abhängig von einigen Metallionen oder anderen Ionen erfüllt sein, die gegebenenfalls in der Flüssigkeit enthalten sind. Ein Ion dieser Art kann unvermeidbar in der Flüssigkeitsströmungsbahn existieren, aufgrund des Aufbaus des Flüssigkeitsbehälters, der als Versorgungsquelle der Flüssigkeit dient, oder aufgrund der unvorbereiteten Zufuhr von Flüssigkeit, die nicht der vorgesehenen entspricht. Deshalb haben die Erfinder als zweites Thema aufgegriffen, dass selbst in solch einem Fall, wie vorstehend beschrieben, die Zuverlässigkeit der Öffnungsplatte nicht variabel und für eine lange Zeitdauer stabil sein sollte.
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
In Anbetracht dieser zwei Themen wurde die vorliegende Erfindung entworfen. Es ist eine Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zum Herstellen einer Öffnungsplatte bereit zu stellen, deren Zuverlässigkeit nicht variiert und über eine längere Zeitspanne stabilisiert wird. Darüber hinaus ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Flüssigkeitsabgabekopf bereitzustellen, der mit solch einer verbesserten Öffnungsplatte versehen ist und ein Verfahren zum Herstellen eines Flüssigkeitsabgabekopfes.
Bezüglich des erfindungsgemäßen Verfahrens, wird die vorstehende Aufgabe durch ein Verfahren gemäß Anspruch 1 gelöst.
Die Ansprüche 16 und 22 definieren jeweils den Flüssigkeitsabgabekopf und das Verfahren zum Herstellen eines erfindungsgemäßen Flüssigkeitsabgabekopfes. Vorteilhafte Weiterentwicklungen der Erfindung sind in den abhängigen Ansprüchen definiert.
Da in dem erfindungsgemäßen Verfahren die Abgabeöffnung ohne Verwendung von Fotolack ausgebildet wird, besteht keine Möglichkeit, dass irgendeine Stufe bezüglich der Abgabeöffnung ausgebildet wird. Daher wird es möglich, jegliche Schwierigkeit zu vermeiden, die verhindert, dass die Ausstoßenergie effektiv auf die Ausstoßflüssigkeitströpfchen wirkt oder es ist möglich, zu verhindern, dass die Ausstoßausrichtung variiert.
Desweiteren gibt es keine Fotolackwand, wenn das Plattieren bzw. Galvanisieren durchgeführt wird. Infolgedessen weist der Querschnittsaufbau der Abgabeöffnung die geneigte Form auf, um das Halten des Wulstrands für die Durchführung von stabilisierten Flüssigkeitsausstößen zu erleichtern sowie das Nachfüllvermögen zu verbessern. Außerdem existieren keine scharfen Kanten auf der Oberfläche der Öffnungsplatte, wodurch folglich ermöglicht wird, die Lebensdauer der Blende zu verbessern und einen Aufbau auszubilden, der es erleichtert, Flüssigkeit einzufangen.
In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der Erfindung wird Chrom mittels Elektronenstrahl auf einer Glasplatte geätzt und als Maske verwendet, um die Muster der Glasrillen auszubilden. Dann, nachdem die Glasrillen mit Nickel plattiert bzw. galvanisiert sind, wobei Silber in ihnen angeordnet ist, kann der Nickel des weiteren mit einem Beschichtungsmaterial galvanisiert werden, das eine höhere Korrosionsbeständigkeit als der Nickel hat. Infolgedessen, selbst wenn Silikon oder Metall für das Elementarsubstrat verwendet wird, das mit Heizelementen versehen ist, und die Deckelplatte mit Strömungsbahnen dafür versehen ist, gibt es keine Möglichkeit, dass die Öffnungsplatte aufgrund der Ausbildung von Zellreaktionen aufgelöst wird.
KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
1A, 1B, 1C, 1D, 1E, 1F, 1G, 1H, 1I, 1J, 1K und 1L sind Darstellungen, welche jeden der Schritte des Verfahrens zum Herstellen einer Öffnungsplatte gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung darstellen; 1A, 1B, 1C, 1D und 1E sind Draufsichten und 1F, 1G, 1H, 1I und 1J sind Schnittdarstellungen, entlang der Linien 1F-1F bis 1J-1J; und 1K und 1L sind jeweils Ausschnittsvergrößerungen.
2 ist eine räumliche Darstellung, welche ein Gerät veranschaulicht, das für den Galvanisierschritt in dem Verfahren zum Herstellen einer Öffnungsplatte verwendet wird, das in den 1A, 1B, 1C, 1D, 1E, 1F, 1G, 1H, 1I, 1J, 1K und 1L dargestellt ist.
3 ist eine räumliche Darstellung, welche das externe Erscheinungsbild des Aufbaus der Öffnungsplatte darstellt, die durch das Verfahren hergestellt ist, welches in den 1A, 1B, 1C, 1D, 1E, 1F, 1G, 1H, 1I, 1J, 1K und 1L dargestellt ist.
4 ist eine Darstellung, welche einen Montageschritt der Öffnungsplatte darstellt, die durch das Verfahren hergestellt wird, das in den 1A, 1B, 1C, 1D, 1E, 1F, 1G, 1H, 1I, 1J, 1K und 1L dargestellt ist, um einen Flüssigkeitsabgabekopf auszubilden.
5A, 5B, 5C und 5D sind Darstellungen, welche den Aufbau des Flüssigkeitsabgabekopfes veranschaulichen, der mit der Öffnungsplatte versehen ist, die durch das Verfahren hergestellt wird, welches in den 1A, 1B, 1C, 1D, 1E, 1F, 1G, 1H, 1I, 1J, 1K und 1L dargestellt ist; 5A ist eine räumliche Darstellung, welche dessen externes Erscheinungsbild darstellen; 5B ist eine Ausschnittsvergrößerung, welche den Abschnitt 5B in 5A darstellt; 5C ist eine Querschnittsdarstellung entlang der Linie 5C-5C in 5B; 5D ist eine Ausschnittsvergrößerung, welche den Abschnitt 5D in 5C darstellt.
6 ist eine Darstellung, welche einen Montageschritt der Öffnungsplatte zum Ausbilden eines Flüssigkeitsabgabekopfs der Seitenausstoßbauart darstellt, die durch das Verfahren hergestellt wird, welches in den 1A, 1B, 1C, 1D, 1E, 1F, 1G, 1H, 1I, 1J, 1K und 1L.
7 ist eine Darstellung, welche den Aufbau des Flüssigkeitsabgabekopfes der Seitenausstoßbauart darstellt, der mit der Öffnungsplatte versehen ist, die durch das Verfahren hergestellt ist, welches in den 1A, 1B, 1C, 1D, 1E, 1F, 1G, 1H, 1I, 1J, 1K und 1L dargestellt ist.
8A, 8B, 8C, 8D, 8E, 8F, 8G, 8H, 8I, 8J, 8K und 8L sind Darstellungen, welche jeden der Schritte eines Verfahrens zum Herstellen einer Öffnungsplatte gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung darstellen; 8A, 8B, 8C, 8D, und 8E sind Draufsichten, und 8F, 8G, 8H, 8I und 8J sind Querschnittsdarstellungen entlang der Linien 8F-8F bis 8J-8J; und 8K und 8L sind jeweils Ausschnittsvergrößerungen.
9 ist eine Darstellung, die einen Montageschritt der Öffnungsplatte zum Ausbilden eines Flüssigkeitsabgabekopfs darstellt, welche durch das Verfahren hergestellt wird, welches in den 8A, 8B, 8C, 8D, 8E, 8F, 8G, 8H, 8I, 8J, 8K und 8L dargestellt ist.
10A, 10B, 10C und 10D sind Darstellungen, welche den Aufbau des Flüssigkeitsabgabekopfes veranschaulichen, der mit der Öffnungsplatte versehen ist, die durch das Verfahren hergestellt ist, welches in den 8A, 8B, 8C, 8D, 8E, 8F, 8G, 8H, 8I, 8J, 8K und 8L dargestellt ist; 10A ist eine räumliche Darstellung, welche deren externes Erscheinungsbild darstellt; 10B ist eine Ausschnittsvergrößerung, welche den Abschnitt 10B in 10A darstellt; 10C ist eine Querschnittsdarstellung entlang der Linie 10C-10C in 10B; 10D ist eine Ausschnittsvergrößerung, welche den Abschnitt 10D in 10C darstellt.
11 ist eine Darstellung, welche einen Montageschritt der Öffnungsplatte zum Ausbilden eines Flüssigkeitsabgabekopfs der Seitenausstoßbauart darstellt, die durch das Verfahren hergestellt ist, welches in den 8A, 8B, 8C, 8D, 8E, 8F, 8G, 8H, 8I, 8J, 8K und 8L dargestellt ist.
12 ist eine Darstellung, welche eine Betriebsart darstellt, die das Tintenstrahlgerät verwendet, an welches der entsprechend dem vorliegenden Ausführungsbeispiel hergestellte Flüssigkeitsabgabekopf angebracht ist.
13 ist eine Darstellung, welche schematisch den sogenannten Volllinienflüssigkeitsabgabekopf und dessen Vorrichtung veranschaulicht, in dem eine Vielzahl an Abgabeöffnungen über den gesamten Aufzeichnungsbereich eines Aufzeichnungsmediums angeordnet sind.
14A, 14B und 14C sind Darstellungen, welche ein herkömmliches Verfahren zum Herstellen einer Öffnungsplatte veranschaulichen.
DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSBEISPIELE
Nachfolgend werden unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen die erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiele beschrieben.
Ausführungsbeispiel 1
Die 1A bis 1L sind Darstellungen, welche jeden der Schritte eines Verfahrens zum Herstellen einer Öffnungsplatte gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung veranschaulichen; Die 1A bis 1E sind Draufsichten und die 1F bis 1J sind Querschnittsdarstellungen entlang der Linien 1F-1F bis 1J-1J; und die 1K und die 1L sind jeweils Ausschnittsvergrößerungen.
Hierbei tritt gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel die Silberspiegelreaktion auf der Glasplatte auf, auf der die Musterrillen einer Öffnungsplatte in hoher Präzision ausgebildet sind. Dann wird nachdem Silber abgerieben wurde, Nickel in die gemusterten Rillen auf der Glasplatte plattiert bzw. galvanisiert, so dass Silber in ihnen zurückbleibt, wobei auf diese Art und Weise die Öffnungsplatte hergestellt wird. Durch das vorliegende Ausführungsbeispiel wird beispielhaft dargestellt, dass die so hergestellte Öffnungsplatte an den Flüssigkeitsabgabekopf der Kantenausstoßbauart geklebt wird.
Zuerst wird mit den gleichen Abläufen, wie jene, die zum Herstellen einer Fotomaske erforderlich sind, Chrom schichtförmig auf dem Glas aufgetragen und Fotolack wird mittels des EB-Ätzens musterförmig ausgebildet. Dann wird Chrom geätzt, um das Chrommuster zu erzeugen. Mit Chrom als Maske, wird Glas geätzt, um die gemusterten Rillen einer Öffnungsplatte auszubilden. Auf diese Art und Weise wird die Glasplatte 1 erzeugt (1A und 1F).
Nachdem die Glasplatte 1 erzeugt wurde, wird über die gesamte Oberfläche die Silberspiegelreaktion bewirkt, um Silber 3 aufzutragen (1B und 1G).
Nachfolgend wird durch Verwendung eines Schwamms Silber abgerieben, so dass Silber in den gemusterten Rillen (ausgesparter Abschnitt) der Glasplatte 1 zurückbleibt. Da hierbei die gemusterten Rillen 2 auf der Glasplatte 1 ausgebildet werden, wird es dem Silber 3 erlaubt, nur in den gemusterten Rillen 2 der Öffnungsplatte zurückzubleiben, wenn das Silber, welches auf der Oberfläche vorliegt, abgerieben wird (die 1C und 1H). Hierbei ist die Oberfläche des Silbers 3 rau, wie in 1H dargestellt.
Dann wird unter Verwendung von Galvanoformung Nickel 4 in einer Dicke von 10 μm auf den Abschnitten entwickelt, wo Silber 3 zurückbleibt, um das Nickelgalvanisieren durchzuführen (die 1D und 1I).
Danach wird die mit dem Nickel 4 galvanisierte Öffnungsplatte 10 von der Glasplatte 1 abgeschält, um die Öffnungsplatte 10 (1E und 1J) fertigzustellen. Bei diesem Zeitpunkt ist der Durchmesser, der so ausgebildeten Abgabeöffnung, 16 μm ± 3%.
Nun wird das Verfahren zum Galvanisieren von Nickel 4, das vorstehend beschrieben wurde, detailliert beschrieben.
2 ist eine räumliche Darstellung, die ein Gerät zeigt, welches für das Galvanisierverfahren des Verfahrens zum Herstellen einer Öffnungsplatte verwendet wird, welches in den 1A bis 1L dargestellt ist.
Als Galvanisierlösung wird Nickel-Sulfamat zusammen mit einem angewandten Reduktionsmittel (applied reducer), Zeol (hergestellt durch die World Metal K. K), Borsäure, einem Loch-Inhibitor (pit inhibitor), NS-APS (hergestellt durch die World Metal K. K.) und Nickel-Chlorid verwendet.
An die Elektroden wird das elektrische Feld in solch einer Art und Weise angelegt, dass die Elektroden in der Galvanisierlösung mit der Anodenseite verbunden sind, während die Elektroden, auf denen Silben 3 ausgebildet ist, mit der Kathodenseite verbunden sind. Die Galvanisiertemperatur ist 50°C. Die Stromdichte beträgt 5 A/dm².
Diesbezüglich ist der Abschnitt, der in 1C durch die schrägen Linien gekennzeichnet ist, die Elektrodeneinheit, mit der die Kathode verbunden ist.
Gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel wird Nickel galvanisiert. Daneben kann es jedoch möglich sein, den Silberabschnitt 3 mit Gold, Palladium, Platin, Chrom, Nickel-Kobalt-Legierung oder Nickel-Palladium-Legierung zu galvanisieren.
3 ist eine räumliche Darstellung, welche das externe Erscheinungsbild der Öffnungsplatte darstellt, die durch das Verfahren hergestellt ist, welches in den 1A bis 1L dargestellt ist.
Da kein Fotolack für das Herstellungsverfahren verwendet wird, welches in den 1A bis 1L dargestellt ist, wird es Nickel erlaubt, sich isotropisch auszubilden, so dass sein Querschnitt die gerundete Form repräsentiert, die in 3 dargestellt ist.
4 ist eine Darstellung, welche einen Montageschritt der Öffnungsplatte an den Flüssigkeitabgabekopf darstellt, wobei die Öffnungsplatte durch das Verfahren hergestellt ist, welches in den 1A bis 1L dargestellt ist.
Wie in 4 dargestellt, wird die Öffnungsplatte 10 mit Klebstoff 6 beschichtet. Dann wird die Öffnungsplatte 10 mit dem darauf beschichteten Klebstoff 6 an die Fläche der Anordnung geklebt, welche die Flüssigkeitsströmungsbahnen 104, das Elementarsubstrat 100, das mit dem Heizelement 103 versehen ist, und die Deckelplatte 109 des Flüssigkeitsabgabekopfes aufweist.
Die 5A bis 5D sind Darstellungen, welche den Aufbau des Flüssigkeitsabgabekopfes veranschaulichen, der mit der Öffnungsplatte versehen ist, die durch das Verfahren hergestellt wird, welches in den 1A bis 1L dargestellt ist; 5A ist eine räumliche Darstellung, welche dessen externes Erscheinungsbild darstellt; 5B ist eine Ausschnittsvergrößerung, welche den Abschnitt 5B in 5A darstellt; 5C ist eine Querschnittsdarstellung entlang der Linie 5C-5C in 5B; 5D ist eine Ausschnittsvergrößerung, welche den Abschnitt 5D in 5C darstellt.
In dem Verarbeitungsschritt, der in 4 dargestellt ist, wird die Öffnungsplatte 10 an die Stirnfläche des Flüssigkeitsabgabekopfes geklebt. Danach wird der montierte Körper in eine Tintenkartusche 120 eingebaut.
Hierbei wird gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel die Kante des Musters 124, dessen Ausstoßöffnungen in einer spezifischen Position auf der Öffnungsplatte ausgebildet sind, wie in 5D dargestellt, zu einer gerundeten Form wie bei 125, wenn die Kante in der Nähe der Abführöffnung zum Zeitpunkt des Verteilens und in der Anfangsphase der Verwendung verschwindet. Gleichzeitig wird die Oberfläche unregelmäßig.
Diese Formgebung findet statt, wenn die Fläche durch die Klinge zum Entfernen von Staubpartikeln und Tinte, welche auch an die Fläche anhaften, abgewischt wird. Außerdem kann Tinte an die Fläche anhaften, so dass es eine solche Formgebung zur Folge hat.
Auf diese Art und Weise wird es möglich, die Klinge daran zu hindern, durch das scharfe kantige Muster der Fläche abgeschnitten zu werden und zu verhindern, dass die Klinge abgenutzt wird. Außerdem wird mit den Unregelmäßigkeiten, die auf der Oberfläche ausgebildet sind, die wasserbindende Eigenschaft dieses Abschnittes sehr viel höher als an anderen Abschnitten, wodurch es möglich wird, Tinte auf ihm einzufangen.
Da des weiteren das Muster 124, das mit der wasserbindenden Eigenschaft versehen ist, durchgehend angeordnet ist, wird es möglich, einen breiteren Bereich bereitzustellen, der als Tinteneinfangbereich dient und das Tinteneinfangvermögen entsprechend zu verbessern, während es für die Tinte schwierig wird, die an die Fläche anhaftet, in die Abgabeöffnung einzutreten.
Ausführungsbeispiel 2
Für das Ausführungsbeispiel, das vorstehend beschrieben wurde, wurde das Beispiel beschrieben, in dem eine Öffnungsplatte bei einem Flüssigkeitsabgabekopf der Kantenausstoßbauart verwendet wird. Jedoch ist es auch möglich, die Öffnungsplatte bei einem Flüssigkeitsabgabekopf der Seitenausstoßbauart zu verwenden.
6 ist eine Darstellung, welche einen Montageschritt der Öffnungsplatte an einen Flüssigkeitsabgabekopf der Seitenausstoßbauart darstellt, wobei die Öffnungsplatte durch das Verfahren hergestellt wird, welches in 1A bis 1L dargestellt ist. 7 ist eine Darstellung, welche den Aufbau des Flüssigkeitsabgabekopfes der Seitenausstoßbauart darstellt, der mit der Öffnungsplatte versehen ist, die durch das Verfahren hergestellt ist, welches in 1A bis 1L dargestellt ist.
Wie in 6 dargestellt, wird die Öffnungsplatte 10 mit Klebstoff 6 beschichtet. Dann wird die Öffnungsplatte 10, auf der die Abgabeöffnungen 5 angeordnet sind, an die Anordnung geklebt, welche die Flüssigkeitsströmungsbahnen 104, das Elementarsubstrat 100 und die Tintenzuführbahn 119 des Flüssigkeitsabgabekopfes aufweist.
Nachdem die Öffnungsplatte angeklebt wurde, um den Flüssigkeitsabgabekopf auszubilden, wird sie in eine Tintenkartusche 120 eingebaut, wie in 7 dargestellt.
Hierbei wird gemäß dem Ausführungsbeispiel, das vorstehend beschrieben wurde, Klebstoff auf die Öffnungsplattenseite aufgetragen, wenn sie an andere Elemente des Flüssigkeitsabgabekopfes geklebt wird. Jedoch ist es beim Flüssigkeitsabgabekopf, der in 6 dargestellt ist, auch möglich, Klebstoff auf eine Fläche der anderen Elemente des Flüssigkeitsabgabekopfes, der in 4 dargestellt ist, oder auf die Elementarsubtratseite aufzutragen. Als Kleber wird der zwei Komponentenkleber, der ein Epoxidkleber ist (CS-2340-5: hergestellt durch Cemedain K. K.) oder Polyether-Amid-Kleber (HIMAL: hergestellt durch Hitachi Kasei K. K.) verwendet.
Ausführungsbeispiel 3
Die 8A bis 8L sind Darstellungen, welche jeden der Schritte eines Verfahrens zum Herstellen einer Öffnungsplatte gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung veranschaulichen; Die 8A bis 8E sind Draufsichten und die 8F bis 8J sind Querschnittsdarstellungen entlang der Linien 8F-8F bis 8J-8J; und die 8K und die 8L sind jeweils Ausschnittsvergrößerungen.
Hierbei tritt gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel die Silberspiegelreaktion auf der Glasplatte auf, auf der die Musterrillen einer Öffnungsplatte in hoher Präzision ausgebildet sind. Dann wird nachdem Silber abgerieben wurde, Nickel in die gemusterten Rillen auf der Glasplatte plattiert bzw. galvanisiert, so dass Silber in ihnen zurückbleibt, wobei auf diese Art und Weise die Öffnungsplatte hergestellt wird. Durch das vorliegende Ausführungsbeispiel wird beispielhaft dargestellt, dass die so hergestellte Öffnungsplatte an einem Flüssigkeitsabgabekopf der Kantenausstoßbauart verwendet wird.
Zuerst wird mit den gleichen Abläufen, wie jene, die zum Vorbereiten einer Fotomaske erforderlich sind, Chrom schichtförmig auf dem Glas aufgetragen und Fotolack wird mittels des EB-Ätzens musterförmig ausgebildet. Dann wird Chrom geätzt, um das Chrommuster zu erzeugen. Mit Chrom als Maske, wird Glas geätzt, um die gemusterten Rillen 2 einer Öffnungsplatte auszubilden. Auf diese Art und Weise wird die Glasplatte 1 erzeugt (8A und 8F).
Nachdem die Glasplatte 1 erzeugt wurde, wird über die gesamte Oberfläche die Silberspiegelreaktion bewirkt, um Silber 3 aufzutragen (8B und 8G).
Nachfolgend wird durch Verwendung eines Schwamms Silber abgerieben, so dass Silber in den gemusterten Rillen (ausgesparter Abschnitt) der Glasplatte 1 zurückbleibt. Da hierbei die gemusterten Rillen 2 auf der Glasplatte 1 ausgebildet werden, wird es dem Silber 3 erlaubt, nur in den gemusterten Rillen 2 der Öffnungsplatte zurückzubleiben, wenn das Silber, welches auf der Oberfläche vorliegt, abgerieben wird (die 8C und 8H). Insofern ist die Oberfläche des Silbers 3 rau, wie in 8H dargestellt.
Dann wird unter Verwendung von Galvanoformung Nickel 4 in einer Dicke von 10 μm auf den Abschnitten ausgebildet, wo Silber 3 zurückbleibt, um das Nickelgalvanisieren durchzuführen und dann wird unter Verwendung von Galvanoformung das Gold 7 auf das Nickel 4 galvanisiert, so dass es zu einem Beschichtungselement wird (8D–8I).
Danach wird die mit dem Nickel 4 galvanisierte Öffnungsplatte 10 von der Glasplatte 1 abgeschält, um die Öffnungsplatte 10 (8E und 8J) fertigzustellen. Bei diesem Zeitpunkt ist der Durchmesser, der so ausgebildeten Abgabeöffnung 5, 16 μm ± 3%.
Nun wird das Verfahren zum Galvanisieren von Nickel 4 und Gold 7, das vorstehend beschrieben wurde, detailliert beschrieben.
Als Galvanisierlösung für Nickel wird Nickel-Sulfamat zusammen mit einem angewandten Reduktionsmittel (applied reducer), Zeol (hergestellt durch die World Metal K. K), Borsäure, einem Loch-Inhibitor (pit inhibitor), NS-APS (hergestellt durch die World Metal K. K.) und Nickel-Chlorid verwendet. Für das Gold wird Kalium-Gold-Cyanid oder Kalium-Cyanid verwendet.
Für die Elektrodenposition für das Nickel wird das elektrische Feld in solch einer Art und Weise angelegt, dass die Elektroden in der Galvanisierlösung mit der Anodenseite verbunden sind, während die Elektroden, auf denen Silben 3 ausgebildet ist, mit der Kathodenseite verbunden sind. Die Galvanisiertemperatur ist 50°C. Die Stromdichte beträgt 5 A/dm². Außerdem werden für die Elektrodenposition von Gold, die Elektroden mit der Anodenseite in der Galvanisierlösung verbunden, während die Elektroden, auf denen Nickel 4 ausgebildet ist, mit der Kathodenseite verbunden sind. Die Galvanisiertemperatur ist 65°C und die Stromdichte beträgt 4 A/dm².
Diesbezüglich ist der Abschnitt, der in 8C durch die schrägen Linien gekennzeichnet ist, die Elektrodeneinheit, mit der die Kathode verbunden ist.
9 ist eine Darstellung, welche einen Montageschritt der Öffnungsplatte an den Flüssigkeitabgabekopf darstellt, wobei die Öffnungsplatte durch das Verfahren hergestellt ist, welches in den 8A bis 8L dargestellt ist.
Wie in 9 dargestellt, wird die Öffnungsplatte 10 mit Bindemittel 6 beschichtet. Dann wird die Öffnungsplatte 10 mit dem darauf beschichteten Bindemittel 6 an die Fläche der Anordnung geklebt, welche die Flüssigkeitsströmungsbahnen 104, das Elementarsubstrat 100 und die Deckelplatte 109 des Flüssigkeitsabgabekopfes aufweist.
Die 10A bis 10D sind Darstellungen, welche den Aufbau des Flüssigkeitsabgabekopfes veranschaulichen, der mit der Öffnungsplatte versehen ist, die durch das Verfahren hergestellt wird, welches in den 8A bis 8L dargestellt ist; 10A ist eine räumliche Darstellung, welche dessen externes Erscheinungsbild darstellt; 10B ist eine Ausschnittsvergrößerung, welche den Abschnitt 10B in 10A darstellt; 10C ist eine Querschnittsdarstellung entlang der Linie 10C-10C in 10B; 10D ist eine Ausschnittsvergrößerung, welche den Abschnitt 10D in 10C darstellt.
In dem Verarbeitungsschritt, der in 9 dargestellt ist, wird die Öffnungsplatte 10 an die Stirnfläche des Flüssigkeitsabgabekopfes geklebt. Danach wird der montierte Körper in eine Tintenkartusche 120 eingebaut.
Hierbei wird gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel die Kante des Musters 124, dessen Ausstoßöffnungen in einer spezifischen Position auf der Öffnungsplatte ausgebildet sind, wie in 10D dargestellt, zu einer gerundeten Form wie bei 125, wenn die Kante in der Nähe der Abführöffnung zum Zeitpunkt des Verteilens und in der Anfangsphase der Verwendung verschwindet. Gleichzeitig wird die Oberfläche unregelmäßig.
Diese Formgebung findet statt, wenn die Fläche durch die Klinge zum Entfernen von Staubpartikeln und Tinte, welche auch an die Fläche anhaften, abgewischt wird. Außerdem kann anhaftende Tinte an der Fläche korrodiert, so dass es eine solche Formgebung zur Folge hat.
Auf diese Art und Weise wird es möglich, die Klinge daran zu hindern, durch das scharfe kantige Muster der Fläche abgeschnitten zu werden und zu verhindern, dass die Klinge abgenutzt wird. Außerdem wird mit den Unregelmäßigkeiten, die auf der Oberfläche ausgebildet sind, die wasserbindende Eigenschaft dieses Abschnittes sehr viel höher als an anderen Abschnitten, wodurch es möglich wird, Tinte auf ihm einzufangen.
Außerdem wurde der Erhaltungstest unter Verwendung von Tinte durchgeführt mit dem Ergebnis durchgeführt, dass keine Zellreaktion auftritt, die irgendeine Korrosion bei der Öffnungsplatte verursacht, die entsprechend dem vorliegenden Ausführungsbeispiel hergestellt ist. Außerdem wird gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel Gold 7 als Beschichtungsmaterial verwendet. Jedoch ist die vorliegende Erfindung nicht notwendigerweise darauf begrenzt. Das zu verwendende Material muss lediglich eine höhere Beständigkeit gegenüber Korrosion aufweisen als das Material, das für die Öffnungsplattenherstellung (wie Nickel, das in dem vorliegenden Ausführungsbeispiel verwendet wird) verwendet wird.
Ausführungsbeispiel 4
Für das Ausführungsbeispiel, das vorstehend beschrieben wurde, wurde das Beispiel beschrieben, in dem eine Öffnungsplatte bei einem Flüssigkeitsabgabekopf der Kantenausstoßbauart verwendet wird. Jedoch ist die Öffnungsplatte auch bei einem Flüssigkeitsabgabekopf der Seitenausstoßbauart anwendbar.
11 ist eine Darstellung, welche einen Montageschritt der Öffnungsplatte an einen Flüssigkeitsabgabekopf der Seitenausstoßbauart darstellt, wobei die Öffnungsplatte durch das Verfahren hergestellt wird, welches in 8A bis 8L dargestellt ist.
Wie in 11 dargestellt, wird die Öffnungsplatte 10 mit Klebstoff 6 beschichtet. Dann wird die Öffnungsplatte 10, auf der die Abgabeöffnungen 5 angeordnet sind, an die Anordnung geklebt, welche die Flüssigkeitsströmungsbahnen 104, das Elementarsubstrat 100, das mit den Heizelementen 103 versehen ist, und die Tintenzuführbahn 119 aufweist.
Nachdem die Öffnungsplatte angeklebt wurde, um den Flüssigkeitsabgabekopf auszubilden, wird sie in eine Tintenkartusche 120 eingebaut, wie in 7 dargestellt.
Hierbei wird gemäß dem Ausführungsbeispiel, das vorstehend beschrieben wurde, Klebstoff auf die Öffnungsplattenseite aufgetragen, wenn sie an andere Elemente des Flüssigkeitsabgabekopfes geklebt wird. Jedoch ist es auch möglich, Klebstoff auf eine Fläche der anderen Elemente des Flüssigkeitsabgabekopfes, der in 9 dargestellt ist, oder auf die Elementarsubtratseite bezüglich des Flüssigkeitsabgabekopfes, der in 11 dargestellt ist, aufzutragen. Als Kleber wird der zwei Komponentenkleber, der ein Epoxidkleber ist (CS-2340-5: hergestellt durch Cemedain K. K.) oder Polyether-Amid-Kleber (HIMAL: hergestellt durch Hitachi Kasei K. K.) verwendet.
Außerdem ist es möglich für das Material, das in dem Herstellungsschritten in 8D für die Galvanoformung verwendet wird, nicht nur Nickel, sondern auch eine Legierung von Nickel und Kobalt oder die Legierung von Nickel und Palladium zu verwenden. Da in diesem Fall die Abnutzbeständigkeit der Öffnungsplatte erhöht wird, wird dementsprechend die Lebensdauer erhöht. Hierbei kann das Material Gold, Platin oder Chrom sein.
Außerdem wird der Tintenbehälter (nicht dargestellt), der für den Innenraum der Tintenkartusche vorgesehen ist, die in den 10A bis 10D dargestellt ist, so angeordnet, dass er durch Nachfüllen der Tinte, wenn die Tinte verbraucht ist, wiederverwendbar ist.
Nachfolgend wird nun das Flüssigkeitsstrahlgerät beschrieben, das mit dem Flüssigkeitsabgabekopf versehen ist, der vorstehend beschrieben wurde.
12 ist eine Darstellung, die ein Ausführungsbeispiel des Flüssigkeitsstrahlgerätes (IJRA) darstellt, an dem der Flüssigkeitsabgabekopf montiert ist.
Wie in 12 dargestellt, ist es so ausgebildet, dass auf einem Schlitten HC eine Kopfkartusche montiert wird, wo eine Flüssigkeitsvorratsbehältereinheit 70 und eine Flüssigkeitsabgabekopfeinheit 60 lösbar montierbar sind. Der Schlitten HC kann sich, wie durch die Pfeile a und b dargestellt, in der Breitenrichtung eines Aufzeichnungsmediums 80, das von einer Aufzeichnungsmediumtrageeinrichtung getragen wird, hin- und herbewegen. Wenn die Ansteuersignale von der Ansteuersignalzuführeinrichtung (nicht dargestellt) zur Flüssigkeitsabgabeeinrichtung auf dem Schlitten HC zugeführt werden, wird Tinte oder eine andere Flüssigkeit entsprechend solchen Signalen von dem Flüssigkeitsabgabekopf an das Aufzeichnungsmedium ausgestoßen.
Außerdem ist für das Flüssigkeitsstrahlgerät des vorliegenden Ausführungsbeispiels ein Motor 81, der als Antriebsquelle dient, um die Aufzeichnungsmediumtrageeinrichtung sowie den Schlitten HC anzutreiben; die Zahnräder 82 und 83, die die Antriebsleistung von der Antriebsquelle zum Schlitten HC übertragen; und die Schlittenwelle 85 und einige andere Elemente vorgesehen.
13 ist eine Darstellung, die schematisch den Volllinienkopf und seine Vorrichtung darstellt, wobei eine Vielzahl an Abgabeöffnungen über den Aufzeichnungsbereich eines Aufzeichnungsmediums angeordnet sind.
Wie in 13 dargestellt, ist der Volllinienflüssigkeitsabgabekopf 61 des vorliegenden Ausführungsbeispiels in einer Position angeordnet, die zum Aufzeichnungsmedium 80 verschiebbar ist. Außerdem ist die Trägertrommel 90 als Einrichtung zum Tragen des Aufzeichnungsmediums vorgesehen.
Hierbei ist natürlich gemäß der vorliegenden Erfindung möglich die Flüssigkeitsabgabeköpfe und die Flüssigkeitsstrahlgeräte der vorliegenden Erfindung jeweils bei jedem Tintenausstoßverfahren, Tintenstrahlaufzeichnungsköpfe und Tintenaufzeichnungsgeräten anzuwenden, indem Aufzeichnugnstinte verwendet wird, die als auszustoßende Flüssigkeit dient, nicht notwendigerweise auf die vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiele begrenzt.
Wie vorstehend beschrieben gemäß der vorliegenden Erfindung, wird das Chrom, welches auf der Glassplatte Elektronenstrahl geätzt wird, als Maske verwendet, um die Glassrillen musterartig auszubilden. Die Glassrillen werden mit Silber galvanisiert, das sich darin ablagert. So wird die Öffnungsplatte ausgebildet. Infolgedessen wird es möglich die Glassmaske mit der gleichen Präzision zu verwirklichen, wie die, die für die Photolithographie verwendet wird. Auf diese Art und Weise, wird die Variation der Öffnungsflächen kleiner und somit wird die Ausbildung hoch-dichter Öffnungen möglich.
Da außerdem die Abgabeöffnung ohne Verwendung von Fotolack ausgebildet wird, besteht keine Möglichkeit, dass irgendeine Stufe bezüglich der Abgabeöffnung ausgebildet wird. Daher wird es möglich, jegliche Schwierigkeit zu vermeiden, die verhindert, dass die Ausstoßenergie effektiv auf die Ausstoßflüssigkeitströpfchen wirkt oder es ist möglich, zu verhindern, dass die Ausstoßausrichtung variiert.
Außerdem werden die photolithographischen Schritte nicht übernommen, damit die Öffnungsplatten zu niedrigeren Kosten hergestellt werden. Gleichzeitig gibt es keine optische Interferenz, die einen elliptischen Aufbau jeder Abgabeöffnung zur Folge hat. Desweiteren gibt es keine Fotolackwand, wenn das Galvanisieren durchgeführt wird. Infolgedessen weist der Querschnittsaufbau der Abgabeöffnung die runde Form auf, um das Halten des Wulstrands für die Durchführung von stabilisierten Flüssigkeitsausstößen zu erleichtern sowie das Nachfüllvermögen zu verbessern.
Außerdem wird das mittels Elektronenstrahl auf einer Glasplatte geätzte Chrom als Maske verwendet, um die Muster der Glasrillen auszubilden. Dann, nachdem die Glasrillen mit Nickel galvanisiert sind, wobei Silber in ihnen angeordnet ist, wird der Nickel des weiteren mit einem Beschichtungsmaterial galvanisiert, das eine höhere Korrosionsbeständigkeit als der Nickel hat. Infolgedessen, selbst wenn Silikon oder Metall für das Elementarsubstrat verwendet wird, das mit Heizelementen versehen ist, und die Deckelplatte mit Strömungsbahnen dafür versehen ist, gibt es keine Möglichkeit, dass die Öffnungsplatte aufgrund der Ausbildung von Zellreaktionen aufgelöst wird.
Auf diese Art und Weise, selbst wenn das Galvanoformungsverfahren angewendet wird, ist es möglich die Tröpfchenausstöße zu stabilisieren und die Bereitstellung von hochqualitativen Bildern zu verwirklichen.

Claims

Verfahren zum Herstellen einer Öffnungsplatte (10) für einen Flüssigkeitsabgabekopf, wobei die Öffnungsplatte (10) mit zumindest einer Abgabeöffnung (5) zum Abgeben von Flüssigkeit bereitgestellt ist, und das Verfahren die Schritte umfasst: a) Vorbereiten einer nicht leitenden Platte (1) mit einem flachen Abschnitt entsprechend der Abgabeöffnung (5); b) Ausbilden eines ausgesparten Abschnittes (2) auf dem Randbereich des flachen Abschnitts, der gemusterte Nuten aufweist; c) Ausbilden eines ersten leitenden Werkstoffes (3) auf der gesamten Oberfläche der nicht leitenden Platte (1), die den ausgesparten Abschnitt (2) darauf ausgebildet aufweist; d) nach Schritt c) teilweises Abschälen des ersten leitenden Werkstoffes (3), so dass er nur in dem ausgesparten Abschnitt (2) der nicht leitenden Platte (1) verbleibt; e) nach Schritt d) Plattieren des ersten leitenden Werkstoffes (3) mit einem zweiten leitenden Werkstoff (4) durch das Elektroausbildungsverfahren und dabei Ausbilden eines Plattenteils, das aus dem ersten, leitenden Werkstoff (3) und dem zweiten leitenden Werkstoff (4) zusammengesetzt ist; und f) Erhalten der Öffnungsplatte (10), die die Abgabeöffnung (5) aufweist, durch Abschälen des Plattenteils von der nicht leitenden Platte (1).
Verfahren gemäß Anspruch 1, wobei die nicht leitende Platte (1) eine Glasplatte ist.
Verfahren gemäß jedem der Ansprüche von 1 bis 2, wobei der erste leitende Werkstoff (3) Silber ist.
Verfahren gemäß Anspruch 3, wobei in Schritt c) das Silber auf der nicht leitenden Platte (1) durch das Beschichten des Silbers auf der Oberfläche der nicht leitenden Platte (1) ausgebildet wird, und in Schritt d) das Silber durch Reiben abgeschält wird.
Verfahren gemäß Anspruch 4, wobei bei dem Schritt des Silberbeschichtens die Silberspiegelreaktion eingesetzt wird.
Verfahren gemäß Anspruch 4 oder 5, wobei bei dem Schritt des Silberabreibens ein Schwamm verwendet wird.
Verfahren gemäß jedem der Ansprüche von 1 bis 6, wobei die nicht leitende Platte (1) wiederholt verwendet wird.
Verfahren gemäß jedem der Ansprüche von 1 bis 7, wobei der zweite leitende Werkstoff (4) entweder eine Legierung aus Nickel und Kobalt oder eine Legierung aus Nickel und Palladium oder aus Gold, aus Palladium, aus Platin oder aus Chrom ist.
Verfahren gemäß jedem der Ansprüche 1 bis 7, wobei der zweite leitende Werkstoff (4) Nickel ist.
Verfahren gemäß Anspruch 9, außerdem mit dem Schritt: Plattieren eines dritten leitenden Werkstoffs (7) mit einem höheren Korrosionswiderstand als Nickel durch das Elektroausbildungsverfahren auf dem Plattenteil bevor das Plattenteil von der nicht leitenden Platte abgeschält wird.
Verfahren gemäß Anspruch 10, wobei der dritte leitende Werkstoff (7) entweder eine Legierung aus Nickel und Kobalt oder eine Legierung aus Nickel und Palladium oder aus Gold, aus Palladium, aus Platin oder aus Chrom ist.
Verfahren gemäß Anspruch 9, außerdem mit dem Schritt: Bereitstellen einer Schutzschicht (7) mit einem höheren Korrosionswiderstand als Nickel auf der Oberfläche der Öffnungsplatte (10) auf der Tintenabgabeseite.
Verfahren gemäß Anspruch 12, wobei die Schutzschicht (7) durch anorganische Oxide, Metalloxide oder anorganische Nitride ausgebildet ist.
Verfahren gemäß Anspruch 12, wobei die Schutzschicht (7) entweder aus Siliziumoxid, aus Tantaloxid, aus Nickeloxid, aus Aluminiumoxid oder aus Siliziumnitrid besteht.
Öffnungsplatte für einen Flüssigkeitsabgabekopf, wobei die Öffnungsplatte (10) zumindest mit einer Abgabeöffnung (5) bereitgestellt ist und durch das Verfahren gemäß jedem der Ansprüche von 10 bis 14 hergestellt ist.
Flüssigkeitsabgabekopf mit: einer Öffnungsplatte (10) mit zumindest einer Abgabeöffnung (5) zum Abgeben von Flüssigkeit, einen Flüssigkeitsfließweg (104) in Verbindung mit der Abgabeöffnung (5); und einem entsprechend zu dem Flüssigkeitsfließweg (104) angeordneten, energieerzeugenden Element (103), um Energie zu erzeugen, die zum Abgeben der Flüssigkeit verwendet wird, wobei die Öffnungsplatte (10) mit dem Verfahren gemäß der Ansprüche von 10 bis 14 hergestellt wird.
Flüssigkeitsabgabekopf gemäß Anspruch 16, wobei die Öffnungsplatte (10) mittels einem Kleber an einen Hauptkörper der Flüssigkeitsabgabe geklebt wird.
Flüssigkeitsabgabekopf gemäß Anspruch 17, wobei der Kleber ein Epoxykleber ist.
Flüssigkeitsabgabekopf gemäß Anspruch 17, wobei der Kleber ein Polyetheramidkleber ist.
Flüssigkeitsabgabekopf gemäß jedem der Ansprüche von 16 bis 19, wobei der Flüssigkeitsabgabekopf von der Kantenspritzbauart ist.
Flüssigkeitsabgabekopf gemäß jedem der Ansprüche von 16 bis 19, wobei der Flüssigkeitsabgabekopf von der Seitenspritzbauart ist.
Verfahren zum Herstellen eines Flüssigkeitsabgabekopfes mit einer Öffnungsplatte (10), bereitgestellt mit einer Vielzahl von Abgabeöffnungen (5) zum Abgeben von Flüssigkeit, einer Vielzahl von Flüssigkeitsfließwegen (104) in Verbindung mit den Abgabeöffnungen (5), einer Vielzahl von energieerzeugenden Elementen (103), die entsprechend zu den Flüssigkeitsfließwegen (104) angeordnet sind, um Energie zu erzeugen, die zum Abgeben der Flüssigkeit verwendet wird, und einem Träger (100), der mit den energieerzeugenden Elementen (103) bereitgestellt ist, wobei die Öffnungsplatte (10) mit dem Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 14 hergestellt ist.
Verfahren gemäß Anspruch 22, wobei der Flüssigkeitsabgabekopf von der Seitenspritzbauart ist.