JPS63309462A - バブルジェットヘッド用ノズル板 - Google Patents
バブルジェットヘッド用ノズル板Info
- Publication number
- JPS63309462A JPS63309462A JP14560187A JP14560187A JPS63309462A JP S63309462 A JPS63309462 A JP S63309462A JP 14560187 A JP14560187 A JP 14560187A JP 14560187 A JP14560187 A JP 14560187A JP S63309462 A JPS63309462 A JP S63309462A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle plate
- jet head
- bubble jet
- heating resistor
- oxide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、プリンターなどに用いるバブルジェ−／ ）
ヘッド用ノズル板に関する。
ヘッド用ノズル板に関する。
従来、第２図（ａ）に示すようにバブルジェットヘッド
の発熱抵抗体３と電気導体４の表面を保護膜５でカバー
したバブルジェットヘッドや第２図（ｂ）に示すように
バブルジェットヘッドの電気導体４の表面のみを保護膜
５でカバーし、発熱抵抗体３の表面は露出させたバブル
ジェットヘッド、及び第２図（Ｃ）に示すように発熱抵
抗体３と電気導体４の両表面共に保Ｎ膜でカバーしない
で全面、露出させたままのバブルジェットヘッドが知ら
れていた。
の発熱抵抗体３と電気導体４の表面を保護膜５でカバー
したバブルジェットヘッドや第２図（ｂ）に示すように
バブルジェットヘッドの電気導体４の表面のみを保護膜
５でカバーし、発熱抵抗体３の表面は露出させたバブル
ジェットヘッド、及び第２図（Ｃ）に示すように発熱抵
抗体３と電気導体４の両表面共に保Ｎ膜でカバーしない
で全面、露出させたままのバブルジェットヘッドが知ら
れていた。
しかし、従来のバブルジェットヘッドは、第２図（ａ）
に示すような発熱抵抗体３と電気導体４の表面を保護膜
５でカバーした例においては、発熱抵抗体３へ供給する
電力エネルギーを高（しないと気泡８の発生が行なわれ
ない、又供給する電力エネルギーが高くなるので、その
分売熱抵抗体３の劣化が大きくなり、発熱抵抗体３の耐
久性が著しく低下するという問題点を有していた。
に示すような発熱抵抗体３と電気導体４の表面を保護膜
５でカバーした例においては、発熱抵抗体３へ供給する
電力エネルギーを高（しないと気泡８の発生が行なわれ
ない、又供給する電力エネルギーが高くなるので、その
分売熱抵抗体３の劣化が大きくなり、発熱抵抗体３の耐
久性が著しく低下するという問題点を有していた。
又ｍ２図（ｂ）に示すような電気導体４の表面のみを保
８Ｂ５でカバーし、発熱抵抗体３の表面は露出させたバ
ブルジェットヘッドは、発熱抵抗体３の表面が露出して
いるので、僅かな電力エネルギーの供給で気泡８の発生
が可能となるが、発熱抵抗体３の表面上へ保ＷＩＩ２５
が形成されないように電気導体４の表面へのみ保護膜５
を精度よく形成する必要がある為にコスト高の要因とな
っていた。又供給された電力エネルギーがインク６の中
を迷走電流として発熱抵抗体３の露出部分よりノズル板
７へ流れノズル板７を電解腐蝕させるという問題点を有
していた。
８Ｂ５でカバーし、発熱抵抗体３の表面は露出させたバ
ブルジェットヘッドは、発熱抵抗体３の表面が露出して
いるので、僅かな電力エネルギーの供給で気泡８の発生
が可能となるが、発熱抵抗体３の表面上へ保ＷＩＩ２５
が形成されないように電気導体４の表面へのみ保護膜５
を精度よく形成する必要がある為にコスト高の要因とな
っていた。又供給された電力エネルギーがインク６の中
を迷走電流として発熱抵抗体３の露出部分よりノズル板
７へ流れノズル板７を電解腐蝕させるという問題点を有
していた。
次に、第２図（Ｃ）に示すように保護膜は使用しないで
発熱抵抗体３及び電気導体４の全面を露出させた形状の
バブルジェットヘッドは、工程が簡単になるが、前記第
２図（ｂ）の問題点と同様に、供給された電力エネルギ
ーがインク６の中を迷走電流として発熱抵抗体３及び電
気導体４の表面よりノズル板７へ流れノズル板７を電解
ＭＥ＠させるという大きな問題点を有していた。
発熱抵抗体３及び電気導体４の全面を露出させた形状の
バブルジェットヘッドは、工程が簡単になるが、前記第
２図（ｂ）の問題点と同様に、供給された電力エネルギ
ーがインク６の中を迷走電流として発熱抵抗体３及び電
気導体４の表面よりノズル板７へ流れノズル板７を電解
ＭＥ＠させるという大きな問題点を有していた。
そこで本発明は、従来のこのような問題点を解決するた
めに、簡単な工程で尚かつ、耐久性の高い発熱抵抗体及
び電解腐蝕のおこらないノズル板を形成したバブルジェ
ットヘッドを得ることを目的としている。
めに、簡単な工程で尚かつ、耐久性の高い発熱抵抗体及
び電解腐蝕のおこらないノズル板を形成したバブルジェ
ットヘッドを得ることを目的としている。
上記問題点を解決するために、本発明のバブルジェット
ヘッド用ノズル板は、基板上に形成された発熱抵抗体と
、前記発熱抵抗体へ電力を供給する電気導体とインクを
吐出するノズル穴を有するノズル板から成るバブルジェ
ットヘッドにおいて前記ノズル板へ酸化物の保護膜を形
成したことを特徴とする。
ヘッド用ノズル板は、基板上に形成された発熱抵抗体と
、前記発熱抵抗体へ電力を供給する電気導体とインクを
吐出するノズル穴を有するノズル板から成るバブルジェ
ットヘッドにおいて前記ノズル板へ酸化物の保護膜を形
成したことを特徴とする。
以下に本発明の実施例を図面にもとづいて説明する。第
１図において、Ｓｉの基板１上へＳｉＯ２の蓄熱層２を
形成し、その上にＴａ−３ｉ−０、から成る発熱抵抗体
３を形成する、続いてＮｉ−Ｃｒ及びＡｕから成る電気
導体４を形成し以上を発熱体部Ａとする。
１図において、Ｓｉの基板１上へＳｉＯ２の蓄熱層２を
形成し、その上にＴａ−３ｉ−０、から成る発熱抵抗体
３を形成する、続いてＮｉ−Ｃｒ及びＡｕから成る電気
導体４を形成し以上を発熱体部Ａとする。
次に、Ｎｊ電鋳により作成されたノズル板７とインクｂ
との接触面側へ５ｉｎｓの酸化物をスパッタにより１〜
２μｍ保護膜５として形成し、該ノズル板７と前記発熱
体部Ａを組合わせてバブルジェットヘッドとする。
との接触面側へ５ｉｎｓの酸化物をスパッタにより１〜
２μｍ保護膜５として形成し、該ノズル板７と前記発熱
体部Ａを組合わせてバブルジェットヘッドとする。
上記の本発明のバブルジェットヘッドと従来のバブルジ
ェットヘッドの吐出試験をおこなった結寒、従来のバブ
ルジェットヘッドはｔｘｉｏ’回の吐出において、印字
品質が低下したが、 本発明によるバブルジェットヘッ
ドはＩ Ｘ １０’回の吐出においても何ら印字品質が
低下することがなく、前記吐出試験後のバブルジェット
ヘッドのノズル板を顕微鏡検査した結果、従来のノズル
板はノズル穴径が吐出試験前より大きくなり溶解した形
跡が認められたが原因は迷走電流による電解腐蝕による
ためと推定される。本発明のノズル板はノズル穴径及び
周囲に何ら異状は認められなかった。これは酸化物によ
り、ノズル板が迷走電流より保護されたためと推定され
る。
ェットヘッドの吐出試験をおこなった結寒、従来のバブ
ルジェットヘッドはｔｘｉｏ’回の吐出において、印字
品質が低下したが、 本発明によるバブルジェットヘッ
ドはＩ Ｘ １０’回の吐出においても何ら印字品質が
低下することがなく、前記吐出試験後のバブルジェット
ヘッドのノズル板を顕微鏡検査した結果、従来のノズル
板はノズル穴径が吐出試験前より大きくなり溶解した形
跡が認められたが原因は迷走電流による電解腐蝕による
ためと推定される。本発明のノズル板はノズル穴径及び
周囲に何ら異状は認められなかった。これは酸化物によ
り、ノズル板が迷走電流より保護されたためと推定され
る。
又、酸化物の保Ｎ膜１０として前記Ｓ ｉ Ｏ＊以外の
実施例として、ＴｉＯ＊ 、Ｔａｇ Ｏｓ 、Ｚｒ０１
、Ａβ、０．などが仔効である。
実施例として、ＴｉＯ＊ 、Ｔａｇ Ｏｓ 、Ｚｒ０１
、Ａβ、０．などが仔効である。
本発明は、以上説明したように、 ノズル板へ酸化物の
保護膜を形成するという簡単な方法により、発熱抵抗体
を露出させることが可能となり、僅かな電力エネルギー
で使用が可能となる為、発熱抵抗体の耐久性が大幅に向
上する。又、ノズル板が迷走電流の影響を受けなくなり
、電解腐蝕されないという大きな効果がある。
保護膜を形成するという簡単な方法により、発熱抵抗体
を露出させることが可能となり、僅かな電力エネルギー
で使用が可能となる為、発熱抵抗体の耐久性が大幅に向
上する。又、ノズル板が迷走電流の影響を受けなくなり
、電解腐蝕されないという大きな効果がある。
第１図は、本発明にかかるバブルジェットヘッドの横断
面図、第２図（ａ）及び第２図（ｂ）、第２図（Ｃ）は
、従来のバブルジェットヘッドの横断面図である。 １・・・基板 ３・・・発熱抵抗体 ４・・・電気導体 ６・・・インク ７・・・ノズル板 ９・・・ノズル穴 １０・・・酸化物の保Ｎａ 頁２図（α） 菖２図（ｂ） 奮２図（Ｃ）
面図、第２図（ａ）及び第２図（ｂ）、第２図（Ｃ）は
、従来のバブルジェットヘッドの横断面図である。 １・・・基板 ３・・・発熱抵抗体 ４・・・電気導体 ６・・・インク ７・・・ノズル板 ９・・・ノズル穴 １０・・・酸化物の保Ｎａ 頁２図（α） 菖２図（ｂ） 奮２図（Ｃ）
Claims (1)
- 基板上に形成された発熱抵抗体と、前記発熱抵抗体へ電
力を供給する電気導体とインクを吐出するノズル穴を有
するノズル板から成るバブルジェットヘッドにおいて、
前記ノズル板へ酸化物の保護膜を形成したことを特徴と
するバブルジェットヘッド用ノズル板
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14560187A JPS63309462A (ja) | 1987-06-11 | 1987-06-11 | バブルジェットヘッド用ノズル板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14560187A JPS63309462A (ja) | 1987-06-11 | 1987-06-11 | バブルジェットヘッド用ノズル板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63309462A true JPS63309462A (ja) | 1988-12-16 |
Family
ID=15388831
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14560187A Pending JPS63309462A (ja) | 1987-06-11 | 1987-06-11 | バブルジェットヘッド用ノズル板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63309462A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH021321A (ja) * | 1988-03-15 | 1990-01-05 | Ricoh Co Ltd | 液体噴射記録ヘッド |
| EP0888892A3 (en) * | 1997-07-03 | 2000-06-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Orifice plate and method of manufacture, for a liquid discharging apparatus |
-
1987
- 1987-06-11 JP JP14560187A patent/JPS63309462A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH021321A (ja) * | 1988-03-15 | 1990-01-05 | Ricoh Co Ltd | 液体噴射記録ヘッド |
| EP0888892A3 (en) * | 1997-07-03 | 2000-06-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Orifice plate and method of manufacture, for a liquid discharging apparatus |
| US6328420B1 (en) | 1997-07-03 | 2001-12-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for manufacturing an orifice plate for use of a liquid discharge, an orifice plate, a liquid discharge provided with such orifice plate, and a method for manufacturing such liquid discharge |
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