DE69823618T2 - Ferroelektrischer Direktzugriffspeicher mit kurzlebigem Zelldetektor für Prüfung eines ferroelektrischen Kapazitors und Verfahren zur Prüfung von ferroelekrischen Speicherzellen - Google Patents

Ferroelektrischer Direktzugriffspeicher mit kurzlebigem Zelldetektor für Prüfung eines ferroelektrischen Kapazitors und Verfahren zur Prüfung von ferroelekrischen Speicherzellen Download PDF

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