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GEBIET DER ERFINDUNG
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Die vorliegende Erfindung betrifft
elektrische Heizgeräte
und genauer elektrische Widerstandsheizgeräte, die ein oder mehrere Quarzsubstrate
benutzen.
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ALLGEMEINER
STAND DER TECHNIK
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Es ist bekannt, dass es drei Arten
oder Modi der Wärmeübertragung
gibt, nämlich
die Leitung, die Konvektion und die Ausstrahlung. Alle elektrischen Widerstandsheizgeräte benutzen
eine dieser Formen der Wärmeübertragung,
um Wärme
an die umliegenden Umgebung zu liefern. Im Allgemeinen weisen elektrische
Widerstandsheizgeräte
ein wärmeerzeugendes
Element (z. B. einen Widerstandsdraht) auf, das mit einer Quelle
für elektrische
Energie gekoppelt ist. Wenn die elektrische Energie zum Widerstandsdraht
geführt
wird, wird sich der Draht durch seinen Widerstand erhitzen. Das
Ausmaß der
Wärme,
die durch den Widerstandsdraht erzeugt wird, ist ein Faktor des
Materials und der Form des Drahts und der Spannung, des Stroms und/oder
der Frequenz der zum Draht geführten
elektrischen Energie.
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Im Allgemeinen ist der Widerstandsdraht
in elektrischen Widerstandsheizgeräten durch ein Umhüllungsmaterial
umgeben und/oder steht minimal damit in Kontakt. Das Umhüllungsmaterial
trägt auch zu
den Betriebseigenschaften des Heizgeräts bei.
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Es ist auch bekannt, dass es elektrische Heizgeräte gibt,
die für
das äußere Umhüllungsmaterial
Quarz benutzen, obwohl Quarz verglichen mit üblicheren Heizgeräteumhüllungsmaterialien
wie etwa Metallen oder Keramik beträchtlich teurer in der Verwendung
ist. Es gibt viele Gründe
für die
Benutzung von Quarz, einschließlich
der folgenden:
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- 1. Quarz kann eine Hochtemperaturverwendung ertragen.
- 2. Quarz ist Infrarotenergie gegenüber verhältnismäßig durchlässig, was es dem wärmeerzeugenden Element
im Inneren des Quarzes gestattet, Wärme bei geringer Erhöhung der
Temperatur des Quarzes direkt vom Element zum Prozeß oder zur
Last auszustrahlen.
- 3. Quarz wird als eines der wenigen annehmbaren Materialien
für eine
Verwendung in besonderen Umgebungen oder Prozessen wie etwa der
ultrareinen Halbleiterverarbeitung z. B. zum Erhitzen von entionisiertem
Wasser betrachtet.
- 4. Quarz weist einen geringen Wärmeausdehnungskoeffizienten
auf, der ihm von Natur aus die Fähigkeit verleiht,
bedeutenden Wärmestößen und
Temperaturabweichungen standzuhalten, ohne zu zerbrechen.
- 5. Quarz weist eine angemessen gute Korrosionsbeständigkeit
auf, wenn er vielen Chemikalien und entionisiertem Wasser ausgesetzt
ist.
- 6. Quarz ist kennzeichnenderweise ein verschmolzenes Glasmaterial
mit einem sehr kleinen Molekülabstand.
Es ist somit möglich,
abgeschlossene Heizgeräte
herzustellen, die weder "atmen" oder es Verunreinigungen
um sie herum gestatten, hindurchzudringen und das Heizungselement
anzugreifen, noch es Materialien, die durch das Heizungselement
freigesetzt werden, gestatten, den Prozess oder die umliegende Umgebung
zu verschmutzen.
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Obwohl elektrische Widerstandsheizgeräte, die
Quarz als das äußere Umhüllungsmaterial
benutzen, bekannt sind, gebietet die Gestaltung derartiger Heizgeräte des Stands
der Technik im allgemeinen jedoch, dass sie als ausstrahlende Heizgeräte (im ausstrahlenden
Modus der Wärmeübertragung)
und nicht als konvektive oder leitende Heizgeräte (konvektiver Modus der Wärmeübertragung
bzw. leitender Modus der Wärmeübertragung)
tätig sind.
Dieser Umstand besteht, da die Quarzheizgeräte des Stands der Technik den
Quarz selbst im wesentlichen nicht erhitzen, was notwendig ist,
damit es zu einer Konvektions- oder einer Leitungserhitzung kommt. Als
solche nutzen die elektrischen Widerstandsquarzheizgeräte die vielen
Eigenschaften von Quarz als ein Umhüllungsmaterial nicht und sind
somit nicht als Heizgeräte
im Konvektions- oder im Leitungsmodus tätig. Dies beschränkt den
Umfang der Anwendungen, bei denen das Heizgerät verwendet werden kann.
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In der am 31. Juli 1962 an F. L.
Lefebvre ausgegebenen US-Patentschrift Nr. 3,047,702 mit dem Titel "Plate Heater" ist ein Heizgerät offenbart,
das Quarz benutzt. Ein als eine Spule geformtes Widerstandselement
wird so gegen eine Oberfläche
einer Quarzplatte gehalten, dass Abschnitte der Spule in Kontakt
damit stehen. Da jedoch der größte Teil
der heizenden Oberfläche
der Spiralen der Widerstandsspule nicht in Kontakt mit dem Quarz
steht, kommt es nur zu einer geringen Erwärmung des Quarzes. Die Heizspule
heizt vielmehr das umliegende Medium auf, als Wärme zur Quarzplatte zu übertragen.
Somit ist das Plattenheizgerät
des '702er-Patents
im allgemeinen nur in einem ausstrahlenden Wärmeübertragungsmodus tätig, was
das Heizgerät
eher wirkungslos macht und/oder seine Verwendung auf Heizanwendungen
mit niedrigeren Temperaturen beschränkt.
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In der am 23. Juli 1985 an Canfield
et al. ausgegebenen US-Patentschrift Nr. 4,531,047 mit dem Titel "Clip-Mounted Quartz
Tube Electric Heater" ist ein
elektrisches Heizgerät
offenbart, das ein Quarzrohr beinhaltet, welches in sich eine Heizspule
aufweist. Die Heizspule wird durch einen keramischen Träger getragen,
der sich entlang der Länge
der Spule erstreckt und mit einer wärmereflektierenden Auskehlung
ausgebildet ist. Kleine bogenförmige
Abschnitte jeder Spirale der Heizspule stehen mit der inneren Oberfläche des
Quarzrohrs in Kontakt. Das '047er-Patent
erkannte, dass Quarzheizgeräte
des Stands der Technik wie etwa das '702er-Patent an Levebvre wie oben angegeben
unzureichend waren, und versucht, die Unzulänglichkeiten durch das Hinzufügen eines
haltenden wärmereflektierenden
Elements zum Konzentrieren der durch die Heizspule im Rohr entwickelten
Wärme zu
vermindern.
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Die japanische Patentanmeldung JP-A-08138845
von Hattori Hiiteingu Kogyo offenbart ein komplexes Quarzheizgerät, das bei
der Anfertigung der Quarzoberfläche
für ein
Heizungselement eine umfassende Ätzung
erfordert.
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Angesichts des Obigen ist es eine
Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein leistungsfähigeres Quarzheizgerät bereitzustellen.
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Es ist eine andere Aufgabe der vorliegenden Erfindung,
ein Quarzheizgerät
bereitzustellen, das in jedem beliebigen der drei Wärmeübertragungsmodi tätig sein
kann.
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Es ist noch eine andere Aufgabe der
vorliegenden Erfindung, ein elektrisches Widerstandselement-Heizgerät bereitzustellen,
das eine Quarzumhüllung
aufweist, wobei die Quarzumhüllung
Wärme im
Konvektions- oder im Leitungswärmeübertragungsmodus
liefert.
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KURZDARSTELLUNG
DER ERFINDUNG
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Die vorliegende Erfindung ist ein
elektrisches Widerstandsheizgerät,
das ein Quarzsubstrat/eine Quarzumhüllung aufweist, das/die eine
Verwendung des Heizgeräts
in jedem beliebigen oder allen drei Wärmeübertragungsmodi, Ausstrahlung,
Konvektion und Leitung, gestattet.
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Das Obige wird in der vorliegenden
Erfindung dadurch erreicht, dass das (die) elektrischen Heizungselemente)
in einem kontinuierlichen engen Kontakt mit dem Quarzsubstrat/der
Quarzumhüllung stehen.
Vorzugsweise ist das elektrische Heizungselement direkt auf das
Substrat/die Umhüllung
aufgebracht und durch ein anderes Quarzsubstrat/eine andere Quarzumhüllung abgedeckt.
Dies bildet einen Schichtaufbau.
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In einer Form davon umfasst das Heizgerät einen
Schichtaufbau, der ein erstes Quarzsubstrat, auf dem ein elektrisches
Heizungselement direkt angeordnet ist, und ein zweites Quarzsubstrat,
welches das freiliegende Heizungselement abdeckt, aufweist. Diese
Annäherung
gestattet eine Verwendung des Heizgeräts im Leitungs- und im Konvektionsmodus der
Wärmeübertragung,
der von einem engen Kontakt zwischen dem elektrischen Heizungselement und
dem Quarz abhängig
ist. Dies führt
zu einer geringeren Elementtemperatur, die höhere Leistungsdichten ermöglicht.
So erwärmt
stellen die äußeren Quarzoberflächen dem
Prozess und/oder der Last sowohl im konvektiven als auch im leitenden
Wärmeübertragungsmodus
Wärme bereit.
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In einer Form davon ist der Schichtaufbau aus
einem in die gewünschte
Form geschnittenen ersten Quarzsubstrat, auf dem ein geätzter elektrischer
Folienheizschaltkreis mit einem gegebenen Muster angeordnet ist,
und einem zweiten, über
dem Heizungselement angeordneten, ergänzenden Quarzsubstrat gebildet.
Das elektrische Heizungselement ist zwischen die beiden Quarzsubstrate
geschichtet/eingefügt,
wobei die beiden Quarzsubstrate durch einen Schweißprozess,
ein besonders formuliertes Lötglas
wie das durch Vitta Glass Co. hergestellte, oder einen anderen Prozess
dauerhaft miteinander verbunden sind, um den Schichtaufbau zusammenzuhalten.
Das Verschmelzen der beiden Quarzsubstrate kann je nachdem, ob das
fertige Heizgerät
von der Umgebung, in der es verwendet werden wird, abgeschlossen
sein muß,
oder nicht, entweder fortlaufend oder nicht fortlaufend sein.
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In einer anderen Form davon ist der Schichtaufbau
aus einem in die gewünschte
Form geschnittenen ersten Quarzsubstrat gebildet, auf den eine leitfähige oder
widerstandsbehaftete Tinte siebgedruckt ist, wodurch das Heizungselement
gebildet wird. Der gedruckte Schaltkreis wird durch Verwendung besonderer
leitfähiger
Tinten, die durch Firmen wie etwa Electro Science Laboratories hergestellt werden,
ausgeführt.
Die siebgedruckte Tinte (die elektrischen Heizungsschaltkreise)
wird dann durch einen Brenn-/Sinterprozeß gehärtet. Nach dem Härten wird
ein zweites Quarzsubstrat über
dem Heizungsschaltkreis angeordnet und in der gleichen Weise wie
im Vorhergehenden in Bezug auf das geätzte Folienheizungselement
beschrieben angebracht.
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In noch einer anderen Form davon
ist der Schichtaufbau durch Ablagern eines dünnen leitfähigen Films unter Verwendung
eines Dünnfilmablagerungsprozesses
wie Sputtern, chemische Aufdampfung o. a. auf ein erstes Quarzsubstrat
gebildet. Erneut ist ein zweites Quarzsubstrat über dem elektrischen Heizungskreis
und auf dem ersten Quarzsubstrat angebracht.
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Am Heizungselement sind Leitungen
oder Klemmen bereitgestellt, an denen externe Leistungsleitungen
entweder vor dem Verschmelzen, falls die Leitungen im Inneren des
Schichtaufbaus liegen, oder nach dem Verschmelzen, falls die Leitungen
außerhalb
des Schichtaufbaus liegen, angebracht werden können.
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Bei der Anwendung der Grundsätze der
vorliegenden Erfindung sollte es leicht verständlich sein, dass die Quarzsubstrate
jede beliebige Form wie etwa ein Rohr, einen Tank, ein Vieleck o.
a. annehmen können.
Die elektrischen Schaltkreise können an
den inneren und/oder an den äußeren Oberflächen der
Quarzsubstrate zusammengesetzt oder aufgebracht werden. Je nach
der Anwendung und der Form können
Dickfilm-, Dünnfilm- oder Folienschaltkreise
als Heizungselement verwendet werden. Andere Arten von Heizungselementen
können verwendet
werden, wenn sie nach dem Grundsätzen der
vorliegenden Erfindung angewendet werden.
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Sensoren wie etwa Thermoelemente
oder Widerstandstemperaturdetektoren können ebenfalls in den Heizgeräteausbauten
beinhaltet sein. Die Sensoren und ihre zugehörigen Schaltkreise könnten eigenständige, siebgedruckte
oder Dünnfilmablagerungs-Bestandteile oder
Schichtungen sein, die im Herstellungsprozess beinhaltet sind. Es
ist auch möglich, über mehrere
Substrate mit Schaltkreisen, die auf mehrere Oberflächen von
derartigen Substraten aufgebracht sind, zu verfügen.
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KURZE BESCHREIBUNG
DER ZEICHNUNGEN
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Die oben erwähnten und andere Merkmale, Vorteile
und Aufgaben dieser Erfindung und die Weise, in der sie erzielt
werden, werden unter Bezugnahme auf die ausführliche Beschreibung in Verbindung mit
den folgenden beiliegenden Zeichnungen, in denen
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1 eine
Draufsicht auf ein Quarzsubstrat mit einem darauf befindlichen Heizungselement
nach den Grundsätzen
der vorliegenden Erfindung ist;
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2 eine
Querschnittsansicht entlang der Linie 2-2 von 1 ist;
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2A eine
Querschnittsansicht entlang der Linie 2A-2A von 1 ist;
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3 eine
perspektivische Ansicht eines geschichteten Quarzheizgeräteaufbaus
nach den Grundsätzen
der vorliegenden Erfindung ist;
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4 eine
Querschnittsansicht entlang der Linie 4-4 von 3 ist;
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5 eine
Draufsicht auf eine alternative Ausführungsform eines Quarzsubstrats
mit einem darauf befindlichen Heizungselement nach den Grundsätzen der
vorliegenden Erfindung ist;
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6 eine
isometrische Ansicht der auf ein röhrenförmiges Quarzsubstrat angewandten
vorliegenden Erfindung ist; und
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7 eine
Querschnittsansicht entlang der Linie 7-7 von 6 ist,
einleuchtender werden und
am besten verstanden werden.
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AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
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Unter Bezugnahme auf 1 und 2 ist
ein Quarzträger 10 mit
einer im Allgemeinen scheibenförmigen
Form gezeigt. Es sollte ganz klar und verständlich sein, dass das Substrat
im Wesentlichen jede beliebige Gestalt oder Form annehmen kann, die
aus Quarz gestaltet werden kann, solange die Grundsätze der
vorliegenden Erfindung, wie sie in dieser Beschreibung bekannt gemacht
sind, befolgt werden. Somit kann das Quarzsubstrat 10 anstelle scheibenförmig vielmehr
röhrenförmig (wie
in 6 und 7), kugelförmig, vieleckig, oder von jeder
beliebigen anderen Form sein, in die der Quarz gestaltet werden
kann. Ferner ist das in 1 und 2 gezeigte Substrat 10 nur
ein Abschnitt der gesamten Heizgeräteumhüllung, ist jedoch gezeigt,
um das elektrische Heizungselement in Bezug auf das Substrat zu
veranschaulichen.
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Ein elektrisches Heizungselement 12,
das, wie am besten in 2 sichtbar
ist, eine untere Seite oder Oberfläche 13 aufweist, die
im wesentlichen kontinuierlich in direktem Kontakt mit einer oberen Oberfläche 11 des
Quarzsubstrats 10 steht, ist direkt auf der oberen oder
ersten Oberfläche 11 des
Quarzsubstrats 10 angeordnet. Durch Maximierung des Kontaktoberflächenbereichs
zwischen der Quarzsubstratoberfläche
und dem Heizungselement wird die maximale Wärmeübertragung erreicht. Die Form
des Heizungselements 12 ist eine von der Heizgeräteausgangsleistung
abhängige
Frage von Gestaltungsüberlegungen.
In 1 ist das Heizungselement 12 in
einem sinusförmigen
Muster auf der oberen Oberfläche
des Quarzsubstrats ausgebildet. Das Heizungselement 12 endet
an beiden Enden in Leitungen oder Klemmen 15, 16 und
ist dazu geeignet, zur Anlegung von elektrischer Energie in einer
bekannten Weise an externe elektrische Leitungen angeschlossen zu
werden, um das Heizen zu steuern. Die (nicht gezeigten) Leitungen
können
an die Klemmen 15, 16 geschweißt, geklebt, gelötet, hartgelötet oder
mechanisch angebracht werden, wie in der Technik von elektrischen
Heizgeräten
wohlbekannt ist.
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Ein maximaler, kontinuierlicher und
enger Kontakt wird am besten durch die Verwendung eines wie in den
Figuren gezeigten flachen Heizungselements 12 erreicht.
Ein flaches Heizungselement weist verglichen zu seiner oberen und
unteren Oberfläche
sehr dünne
seitliche Oberflächen
auf und ist somit nach den hierin definierten Grundsätzen eine ideale
Heizungselementform, obwohl andere Formen einschließlich jener
mit gekrümmten
Oberflächen verwendet
werden können.
Die Dicke des flachen Heizungselements ist in den Figuren übertrieben,
um seine Konfiguration besser zu zeigen.
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Ein flaches Heizungselement, das
eine Oberfläche
in engem und im wesentlichen kontinuierlichem Kontakt mit der Oberfläche des
Quarzsubstrats aufweist, kann durch mehrere Verfahren erhalten werden.
Ein erstes Verfahren zum Bilden des Heizungselements ist, einen
elektrischen Folienheizungsschaltkreis – derartige elektrische Folienheizungsschaltkreise
sind in der Heizgeräteindustrie
bekannt – zu
benutzen, der direkt auf einer Oberfläche eines vorzugsweise im voraus
geformten Quarzsubstrats angeordnet wird. Der Folienschaltkreis
kann durch Ätzen,
Formstanzen, Schneiden oder einen ähnlich bekannten Prozess gebildet
werden.
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Ein zweites Verfahren zum Bilden
des Heizungselements ist, ein Dickfilmablagerungsmaterial wie etwa
elektrisch leitfähige
oder widerstandsbehaftete Tinten, die direkt auf die Quarzsubstratoberfläche siebgedruckt
sind, zu verwenden. Derartige siebdruckbare leitfähige und
widerstandsbehaftete Tinten, die als erhitzbare Widerstandselemente
tätig sind,
können
von verschiedensten Firmen wie etwa Electro Science Laboratories
erhalten werden. Im allgemeinen müssen die Schaltkreise bei Dickfilmtinten durch
einen Brenn-/Sinterprozess völlig
gehärtet werden.
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Der Dickfilm kann auch durch Streifenbildung,
Drucken oder Streichen abgelagert werden, wobei der Film auf einem
Zwischensubstrat angeordnet und passend getrocknet wird. Der Film
wird anschließend
auf das Zielquarzsubstrat übertragen
und gehärtet,
um einen elektrisch leitfähigen
Dickfilmschaltkreis zu bilden.
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Ein drittes Verfahren ist, durch
einen Dünnfilmablagerungsprozess
wie etwa Sputtern, chemische Aufdampfung, Ionenimplantation oder
einen anderen Dünnfilmablagerungsprozess
ein Dünnfilmheizungselement
zu bilden.
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Ein anderer Heizgeräteaufbau
ist in 3 und 4 dargestellt, und die Aufmerksamkeit
wird nun auf diese Figuren gerichtet. Da die gesamten Fähigkeiten
des vorliegenden Heizgeräts
dadurch optimiert werden, dass so viel des Oberflächenbereichs des
Heizungselements wie möglich
in direktem Kontakt mit dem Quarzsubstrat stehen, besteht ein Heizgeräteaufbau 20 vorzugsweise
aus einem Schichtaufbau. Ein erstes Quarzsubstrat 22 weist
ein Heizungselement 24 auf, das darauf nach den vorliegenden
Grundsätzen
angeordnet ist, so dass seine untere Oberfläche 25 in einem engen
oder anliegenden, im Wesentlichen kontinuierlichen Kontakt mit dem
Substrat steht. Ein zweites, vorzugsweise in der Form ergänzendes
Quarzsubstrat 26 ist über
und auf einer oberen Oberfläche 27 des
Heizungselements 24 angeordnet. Die obere Oberfläche 27 des Heizungselements 24 steht
in einem engen oder anliegenden, im Wesentlichen kontinuierlichen
Kontakt mit der Oberfläche
des zweiten Quarzsubstrats 26.
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Das zweite Quarzsubstrat 26 wird
an das erste Quarzsubstrat 22 geklemmt und dann vorzugsweise
entweder durch einen Schweißprozess
oder durch die Verwendung eines besonders formulierten Lötglases
wie etwa die durch Vitta Glass Company hergestellten Lötgläser an einem
Verbindungs-/Kopplungsbereich 23 dauerhaft damit verbunden,
wodurch ein Heizgeräteaufbau/Schichtaufbau
gebildet wird. Der Kopplungsbereich 23 ist in 3 zur Klarheit durch eine
Linie dargestellt, obwohl die beiden Substrate 22, 26 nach
dem Verbinden in Wirklichkeit homogen werden und der Kopplungsbereich 23 daher
für das
bloße
Auge nicht sichtbar ist. Die Substrate 22, 26 können auch
durch Verschmelzen, Verkleben oder andere ähnliche Mittel gekoppelt werden.
Es sollte jedoch verstanden werden, dass die Kopplung der beiden
Quarzsubstrate je nachdem, ob das fertige Heizgerät von der
Umgebung, in der es verwendet werden wird, hermetisch abgeschlossen
sein muss, oder nicht, fortlaufend oder nicht fortlaufend sein kann.
Die beiden Substrate können
auch vorgespannt sein, um eine Druckkraft auszuüben, die den engen Kontakt
zwischen dem Substrat und dem Schaltkreis weiter erhöht.
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5 stellt
eine alternative Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung dar, wobei das Quarzsubstrat 30 quadratisch
ist. Das elektrische Heizungselement 32 ist erneut direkt
auf einer Oberfläche 31 des
Substrats angeordnet, so dass ein maximaler Oberflächenbereich
einer Seite des Heizungselements in einem im Wesentlichen kontinuierlichen engen
Kontakt mit der Oberfläche 31 steht.
Das Heizungselement weist zum Anschluss an externe elektrische Leitungen
wiederum Klemmen 34, 36 auf. Selbstverständlich sind
das Substrat 30 und das Heizungselement 32 in
der oben beschriebenen Weise erneut durch ein zweites Quarzsubstrat
abgedeckt, um den Heizgeräteausbau
zu vervollständigen.
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6 und 7 zeigen ein anderes Heizgerät 40,
das die Konzepte der vorliegenden Erfindung bei einem Quarzrohrsubstrat 42 enthält. Diese
Ausführungsform
ist bei Anwendungen wie dem Erhitzen von entionisiertem Wasser,
das durch die hohle Öffnung
44 des
Quarzrohrs 42 fließen
würde,
besonders nützlich.
Erneut ist das Heizungselement 46 mit einer übertriebenen
Dicke gezeigt, um seine Konfiguration besser zu zeigen. 6 zeigt auch eine alternative Konfiguration
für die
Klemmen 48, 50, die hier als Bänder um die Enden des Quarzrohrs
geformt sind, wodurch jedwede erforderliche Ausrichtung des Heizgeräts 40,
wenn dieses mit einer Leistungsquelle gekoppelt wird, erleichtert
wird.
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Es sollte auch verstanden werden,
dass die Quarzumhüllung
und somit die jeweiligen Quarzsubstrate, die die Quarzumhüllung umfassen,
in so ziemlich jeder beliebigen Form und Größe hergestellt werden kann,
wobei die elektrischen Schaltkreise an den inneren und/oder äußeren Oberflächen davon
zusammengesetzt oder aufgebracht sein können. Dies wäre von der
Anwendung des Heizgeräts
und anderen Gestaltungsüberlegungen
abhängig.
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Es wäre auch möglich und innerhalb des Umfangs
dieser Offenbarung, in den Heizgeräteaufbauten Sensoren bereitzustellen.
Derartige Sensoren können
Thermoelemente, Widerstandstemperaturdetektoren u. ä. sein.
Die Sensoren und ihre zugehörigen
Schaltkreise könnten
eigenständig,
siebgedruckt, dünnfilmabgelagert
u. ä. sein.
Ferner können mehrere
Heizungselemente oder Schaltkreise auf einzelnen Substraten angeordnet
und gesondert oder zusammen gesteuert werden.
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Obwohl die Erfindung unter Bezugnahme
auf eine bevorzugte Ausführungsform
der Erfindung beschrieben ist, soll sie demgemäß nicht in einem beschränkenden
Sinn aufgefasst werden. Sie soll vielmehr jedwede Veränderungen,
Verwendungen oder Anpassungen bei der Erfindung unter Benutzung
ihrer allgemeinen Grundsätze
abdecken. Fachleuten werden unter Bezugnahme auf diese Beschreibung verschiedenste
Abänderungen
offenbar sein. Es ist daher beabsichtigt, dass die beiliegenden
und jedwede Ansprüche
jedwede derartigen Abänderungen oder
Ausführungsformen,
so sie in den wahren Umfang der Erfindung fallen, abdecken.