JPH08138845A - 石英ガラスヒータ及びその製造方法 - Google Patents
石英ガラスヒータ及びその製造方法Info
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- JPH08138845A JPH08138845A JP29887794A JP29887794A JPH08138845A JP H08138845 A JPH08138845 A JP H08138845A JP 29887794 A JP29887794 A JP 29887794A JP 29887794 A JP29887794 A JP 29887794A JP H08138845 A JPH08138845 A JP H08138845A
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- quartz glass
- quartz
- glasses
- glass heater
- heating element
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ２枚の石英ガラス同士の密着面の密着度合い
を強力にし、密着度合が全面に均一に保ち、発熱体と石
英ガラスの間の密着度が発熱体素材の厚さを十分に精密
に管理し、さらに、熱伝導率を均一にし、発熱体全面に
おける均一な熱発生を保つことを可能にして、部分的に
温度が異なることなく、長期間にわたり、高い品質を保
持することを可能にする。 【構成】 ２枚の石英ガラスを接合し、その接合面の両
方又はいずれか片方の表面を削抉して形成した凹所に平
板状発熱体を形成し、両石英ガラスの接合面を研磨また
は超精密仕上げを施して密着した構成。
を強力にし、密着度合が全面に均一に保ち、発熱体と石
英ガラスの間の密着度が発熱体素材の厚さを十分に精密
に管理し、さらに、熱伝導率を均一にし、発熱体全面に
おける均一な熱発生を保つことを可能にして、部分的に
温度が異なることなく、長期間にわたり、高い品質を保
持することを可能にする。 【構成】 ２枚の石英ガラスを接合し、その接合面の両
方又はいずれか片方の表面を削抉して形成した凹所に平
板状発熱体を形成し、両石英ガラスの接合面を研磨また
は超精密仕上げを施して密着した構成。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、板状の石英ガラスの高
温耐久性を利用して、表面を削抉加工して凹所を形成
し、平板状発熱体を成形した石英ガラスヒータに関する
ものである。
温耐久性を利用して、表面を削抉加工して凹所を形成
し、平板状発熱体を成形した石英ガラスヒータに関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】従来この種のガラスヒータは、図９にそ
の一実施例の分解斜視図を示した実開平３−１０１８９
６号公報に開示されているごとく、平板状発熱体４を間
に挟み込んで重ね合わされた２枚のガラス板２，３の周
囲が互いに気密に接着されたガラスヒータ１としたもの
である。（符号は原公報図面のとおり）
の一実施例の分解斜視図を示した実開平３−１０１８９
６号公報に開示されているごとく、平板状発熱体４を間
に挟み込んで重ね合わされた２枚のガラス板２，３の周
囲が互いに気密に接着されたガラスヒータ１としたもの
である。（符号は原公報図面のとおり）
【０００３】また、製造方法については、特開平３−１
９２６７０号公報に開示されたものがあり、特定組成比
のスラリーを調整する工程と、板状体を得る工程と、板
状体とヒータエレメントと金属基板を一体化する工程か
らなるものであり、緻密で気孔のない電気絶縁体にヒー
タエレメントが内蔵され、片面には金属基板が設けられ
ているので、機械的強度があり、軽量化された面ヒータ
が得られる、と開示されている。
９２６７０号公報に開示されたものがあり、特定組成比
のスラリーを調整する工程と、板状体を得る工程と、板
状体とヒータエレメントと金属基板を一体化する工程か
らなるものであり、緻密で気孔のない電気絶縁体にヒー
タエレメントが内蔵され、片面には金属基板が設けられ
ているので、機械的強度があり、軽量化された面ヒータ
が得られる、と開示されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
従来のこの種ガラスヒータにあっては、発熱体全面にお
ける温度の分布状態が不均一になるという問題があっ
た。また、このようなガラスヒータにあっては、２枚の
ガラス同士の接合面の密着度合が全面に均一に保たれ
ず、また、発熱体とガラスの間の密着度が均一でなく、
さらに、発熱体の周囲に大気圧の空気が存在するので、
熱伝導率が部分的に異なるので、熱発生の全面における
分布均一度が保てず、発熱体自体が変形して発熱体の部
分的な温度が異なり、また発熱体が燃焼して寿命が短く
なるという問題もあった。
従来のこの種ガラスヒータにあっては、発熱体全面にお
ける温度の分布状態が不均一になるという問題があっ
た。また、このようなガラスヒータにあっては、２枚の
ガラス同士の接合面の密着度合が全面に均一に保たれ
ず、また、発熱体とガラスの間の密着度が均一でなく、
さらに、発熱体の周囲に大気圧の空気が存在するので、
熱伝導率が部分的に異なるので、熱発生の全面における
分布均一度が保てず、発熱体自体が変形して発熱体の部
分的な温度が異なり、また発熱体が燃焼して寿命が短く
なるという問題もあった。
【０００５】そこで、本発明は、このような従来のガラ
スヒータが有していた課題を解決するために、２枚の石
英ガラス同士の密合面は、どちらの面も研磨または超精
密仕上げを施してあるので、接着剤を介在させなくても
密着度合いは極めて強力で、密着度合が全面に均一に保
たれる。また、発熱体と石英ガラスの間の密着度が発熱
体素材の厚さの生成を十分に精密に管理でき、さらに、
発熱体の周囲の空気を減圧して密封することにより、熱
伝導率がどの部分をとってみても均一になるので、発熱
体全面における均一な熱発生を保つことができ、発熱体
自体が変形しないので、発熱体の部分的な温度が異なる
ということはなく、また発熱体が燃焼して寿命が短くな
るという問題も解消して、長期間にわたり、高い品質を
保持することが可能な石英ガラスヒータを提供すること
にある。
スヒータが有していた課題を解決するために、２枚の石
英ガラス同士の密合面は、どちらの面も研磨または超精
密仕上げを施してあるので、接着剤を介在させなくても
密着度合いは極めて強力で、密着度合が全面に均一に保
たれる。また、発熱体と石英ガラスの間の密着度が発熱
体素材の厚さの生成を十分に精密に管理でき、さらに、
発熱体の周囲の空気を減圧して密封することにより、熱
伝導率がどの部分をとってみても均一になるので、発熱
体全面における均一な熱発生を保つことができ、発熱体
自体が変形しないので、発熱体の部分的な温度が異なる
ということはなく、また発熱体が燃焼して寿命が短くな
るという問題も解消して、長期間にわたり、高い品質を
保持することが可能な石英ガラスヒータを提供すること
にある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】該目的を達成するための
本発明の構成を、実施例に対応する図１乃至図８を用い
て説明すると、本発明は、２枚の石英ガラス２，３の接
合面の両方又はいずれか片方の表面を削抉した凹所３ａ
に平板状発熱体４を形成し、前記２枚の石英ガラス２，
３の接合面を研磨または超精密仕上げを施して接合し、
周縁端部を溶接した構成の石英ガラスヒータ１である。
本発明の構成を、実施例に対応する図１乃至図８を用い
て説明すると、本発明は、２枚の石英ガラス２，３の接
合面の両方又はいずれか片方の表面を削抉した凹所３ａ
に平板状発熱体４を形成し、前記２枚の石英ガラス２，
３の接合面を研磨または超精密仕上げを施して接合し、
周縁端部を溶接した構成の石英ガラスヒータ１である。
【０００７】また、２枚の石英ガラス２，３の接合面の
両方又はいずれか片方の表面を削抉して凹所３ａを形成
し、前記凹所３ａに平板状発熱体４を形成するととも
に、前記２枚の石英ガラス２，３の接合面を研磨または
超精密仕上げを施して接合し、周縁端部を溶接して固着
して減圧加工する工程よりなる石英ガラスヒータ１の製
造方法である。
両方又はいずれか片方の表面を削抉して凹所３ａを形成
し、前記凹所３ａに平板状発熱体４を形成するととも
に、前記２枚の石英ガラス２，３の接合面を研磨または
超精密仕上げを施して接合し、周縁端部を溶接して固着
して減圧加工する工程よりなる石英ガラスヒータ１の製
造方法である。
【０００８】
【作用】本発明は、このような構成としたものであるか
ら、２枚の石英ガラス２，３同士の密着面は、どちらの
面も研磨または超精密仕上げ加工を施してあるので、接
着剤を介在させることなく、周縁端部の密着度合いは極
めて強力に、かつ、全面に均一に保たれる。さらに周縁
端部を溶接６して密封することにより、密封度は増加す
る。また、発熱体４と石英ガラス２，３の間の密着度が
発熱体４素材の厚さの生成を十分に精密に管理でき、さ
らに、発熱体４の周囲にの空気を減圧するので、熱伝導
率が部分的に均一になるので、発熱体４全面における均
一な熱発生を保持することができる。
ら、２枚の石英ガラス２，３同士の密着面は、どちらの
面も研磨または超精密仕上げ加工を施してあるので、接
着剤を介在させることなく、周縁端部の密着度合いは極
めて強力に、かつ、全面に均一に保たれる。さらに周縁
端部を溶接６して密封することにより、密封度は増加す
る。また、発熱体４と石英ガラス２，３の間の密着度が
発熱体４素材の厚さの生成を十分に精密に管理でき、さ
らに、発熱体４の周囲にの空気を減圧するので、熱伝導
率が部分的に均一になるので、発熱体４全面における均
一な熱発生を保持することができる。
【０００９】したがって、本発明の石英ガラスヒータ１
は、その結果、部分的に温度が異なるという問題もなく
なり、長期間にわたり、高い品質を保持することが可能
な石英ガラスヒータ１となる。
は、その結果、部分的に温度が異なるという問題もなく
なり、長期間にわたり、高い品質を保持することが可能
な石英ガラスヒータ１となる。
【００１０】また、本発明方法は、２枚の石英ガラス
２，３の両方又はいずれか片方の表面に、発熱体４のパ
ターンのとおりの形状の凹所３ａを削抉して形成し、前
記凹所３ａに平板状発熱体４を形成するとともに、前記
２枚の石英ガラス２，３の接着面を研磨または超精密仕
上げを施して接合し、端部を溶接して６固着し、空気を
抜いて密閉した石英ガラスヒータ１の製造方法である。
２，３の両方又はいずれか片方の表面に、発熱体４のパ
ターンのとおりの形状の凹所３ａを削抉して形成し、前
記凹所３ａに平板状発熱体４を形成するとともに、前記
２枚の石英ガラス２，３の接着面を研磨または超精密仕
上げを施して接合し、端部を溶接して６固着し、空気を
抜いて密閉した石英ガラスヒータ１の製造方法である。
【００１１】
【実施例】以下本発明の実施例について図１乃至図８に
基づいて説明する。図中、図１は本発明の１実施例の石
英ガラス２の一部欠切平面図、図２は図１中のII−II線
に沿った断面図、図３は本発明の石英ガラスヒータをフ
ラスコに配設実施した例を示す断面図、図４は本発明の
石英ガラスヒータをシャーレ状の容器に配設実施した例
で、片方の石英ガラスに凹所を削抉した例を示す断面
図、図５は本発明の石英ガラスヒータをシャーレ状の容
器に配設実施した例で、両方の石英ガラスに凹所を削抉
した例を示す断面図、図６は２枚の石英ガラスの内、片
方が容器の壁であって、片方の石英ガラスに凹所を削抉
した実施例を示す部分拡大断面図、図７は２枚の石英ガ
ラスの内、片方が容器の壁であって、両方の石英ガラス
に凹所を削抉した実施例を示す部分拡大断面図、図８は
本発明の石英ガラスヒータをビーカ状の容器に配設実施
した例で、片方の石英ガラスに凹所を削抉した例を示す
断面図である。
基づいて説明する。図中、図１は本発明の１実施例の石
英ガラス２の一部欠切平面図、図２は図１中のII−II線
に沿った断面図、図３は本発明の石英ガラスヒータをフ
ラスコに配設実施した例を示す断面図、図４は本発明の
石英ガラスヒータをシャーレ状の容器に配設実施した例
で、片方の石英ガラスに凹所を削抉した例を示す断面
図、図５は本発明の石英ガラスヒータをシャーレ状の容
器に配設実施した例で、両方の石英ガラスに凹所を削抉
した例を示す断面図、図６は２枚の石英ガラスの内、片
方が容器の壁であって、片方の石英ガラスに凹所を削抉
した実施例を示す部分拡大断面図、図７は２枚の石英ガ
ラスの内、片方が容器の壁であって、両方の石英ガラス
に凹所を削抉した実施例を示す部分拡大断面図、図８は
本発明の石英ガラスヒータをビーカ状の容器に配設実施
した例で、片方の石英ガラスに凹所を削抉した例を示す
断面図である。
【００１２】図１〜８において、２，３は石英ガラス
で、図１，２，３，４，６，８は、それらの接合面の片
方に凹所３ａ，を形成し、図５，７は、それらの接合面
の両方に凹所２ａ，３ａを形成して、抵抗皮膜からなる
平板状発熱体４をその凹所に形成してある。そして、前
記凹所２ａ，３ａは、弗酸加工処理によるエッチングに
よる腐食、ブラスト、又は研磨等の手段により平板状発
熱体４のパターンとおりの形状に削抉し、次いで抵抗皮
膜からなる平板状発熱体４を、パターンマスク法もしく
はエッチング法による腐食、あるいはプラズマジェット
溶射により前記石英ガラス２，３の表面の凹所２ａ，３
ａに付着して形成する。石英ガラス２，３は、プラズマ
ジェット溶射の際の、極めて高温度（１０，０００〜２
０，０００℃）に対しても十分なる耐久力を具えて、変
形、変質することが無い。
で、図１，２，３，４，６，８は、それらの接合面の片
方に凹所３ａ，を形成し、図５，７は、それらの接合面
の両方に凹所２ａ，３ａを形成して、抵抗皮膜からなる
平板状発熱体４をその凹所に形成してある。そして、前
記凹所２ａ，３ａは、弗酸加工処理によるエッチングに
よる腐食、ブラスト、又は研磨等の手段により平板状発
熱体４のパターンとおりの形状に削抉し、次いで抵抗皮
膜からなる平板状発熱体４を、パターンマスク法もしく
はエッチング法による腐食、あるいはプラズマジェット
溶射により前記石英ガラス２，３の表面の凹所２ａ，３
ａに付着して形成する。石英ガラス２，３は、プラズマ
ジェット溶射の際の、極めて高温度（１０，０００〜２
０，０００℃）に対しても十分なる耐久力を具えて、変
形、変質することが無い。
【００１３】この凹所２ａ，３ａの深さは、腐食により
成形したもので、μｍオーダで平板状発熱体４を厚さの
過不足なく、抵抗皮膜からなる平板状発熱体４は、又は
プラズマジェット溶射により石英ガラスの表面に成形し
たものであって、同様にμｍオーダで仕上げることがで
き、公差の少ない均一な寸法が得られる。前記２枚の石
英ガラス２，３の接着面は、研磨又は超精密仕上げを施
した上、両側から接合することにより密着することがで
きる。したがって、接合面は接着剤を使用せずとも、気
密性が保たれ、平面状ヒータ部分は、凹所３ａの空気を
抜いて減圧し、さらには減圧状態に保持できる。プラズ
マジェット溶射形成した後、経年変化を無くすために約
６００〜１２００℃で焼鈍するのが望ましい。
成形したもので、μｍオーダで平板状発熱体４を厚さの
過不足なく、抵抗皮膜からなる平板状発熱体４は、又は
プラズマジェット溶射により石英ガラスの表面に成形し
たものであって、同様にμｍオーダで仕上げることがで
き、公差の少ない均一な寸法が得られる。前記２枚の石
英ガラス２，３の接着面は、研磨又は超精密仕上げを施
した上、両側から接合することにより密着することがで
きる。したがって、接合面は接着剤を使用せずとも、気
密性が保たれ、平面状ヒータ部分は、凹所３ａの空気を
抜いて減圧し、さらには減圧状態に保持できる。プラズ
マジェット溶射形成した後、経年変化を無くすために約
６００〜１２００℃で焼鈍するのが望ましい。
【００１４】前記した２枚の石英ガラス２，３の密着度
は前記の加工で十分であるが、さらに周端縁を溶接固着
して補強すると、空気漏れを完全に防止できて密封度合
いがさらに増加し、内部の減圧にも十分耐える。
は前記の加工で十分であるが、さらに周端縁を溶接固着
して補強すると、空気漏れを完全に防止できて密封度合
いがさらに増加し、内部の減圧にも十分耐える。
【００１５】本発明の平板状発熱体４は、抵抗皮膜から
なり、腐食法または、プラズマジェット溶射によりガラ
スの表面に成形した凹所２ａ，３ａに形成するので、従
来のニクローム線のような低温度（８００℃前後）で溶
解したりするような事が無く、温度膨張係数が極めて小
さく、長期間にわたって高温度（８００℃程度以上）に
耐えることができ、また、その平板状発熱体４の両端
は、石英ガラス２，３の接合面で気密裡に挟み、端縁か
ら外部へ突出して設けた電気入力端子５ａ，５ｂとの接
続部を石英ガラスで封入することができる。この気密度
は１０００℃において、２気圧に加圧されて、耐久し得
る。
なり、腐食法または、プラズマジェット溶射によりガラ
スの表面に成形した凹所２ａ，３ａに形成するので、従
来のニクローム線のような低温度（８００℃前後）で溶
解したりするような事が無く、温度膨張係数が極めて小
さく、長期間にわたって高温度（８００℃程度以上）に
耐えることができ、また、その平板状発熱体４の両端
は、石英ガラス２，３の接合面で気密裡に挟み、端縁か
ら外部へ突出して設けた電気入力端子５ａ，５ｂとの接
続部を石英ガラスで封入することができる。この気密度
は１０００℃において、２気圧に加圧されて、耐久し得
る。
【００１６】以上本発明の説明を石英ガラスについて説
明したが、本発明は必ずしもこれらの実施例構造のみに
限定されるものではなく、他の例えば水晶結晶体（天
然、人造を問わない）等においても、又、石英ガラス及
び発熱体の形状、寸法、大きさは自由に採り得て、本発
明にいう前記の構成要件を備え、かつ、本発明にいう目
的を達成し、以下にいう効果を有する範囲内において適
宜改変して実施することができるものである。
明したが、本発明は必ずしもこれらの実施例構造のみに
限定されるものではなく、他の例えば水晶結晶体（天
然、人造を問わない）等においても、又、石英ガラス及
び発熱体の形状、寸法、大きさは自由に採り得て、本発
明にいう前記の構成要件を備え、かつ、本発明にいう目
的を達成し、以下にいう効果を有する範囲内において適
宜改変して実施することができるものである。
【００１７】例えば、図面３〜５に示すように、石英ガ
ラスのフラスコ状容器、ビーカ状容器、あるいはシャー
レ状の容器の底面２’を石英ガラスヒータ構成部材とし
て取り込み、抵抗皮膜からなる本発明発熱体４を形成し
て、その接合面に本発明構造を実施し、また、本発明方
法を実施して、容器底面の温度分布、ひいては容器内部
の温度分布を緻密に、かつ、きわめて精密に均一に保つ
ことができるので、熱伝導率を大きく採り得る。勿論、
図３に示すフラスコ状容器に実施した例のように、発熱
体４及び石英ガラス２，３の形状を円筒状、または円殻
状の曲面等にすることも容易に可能であり、さらに、３
×６（尺）の定尺体のような大きな面積の発熱体に利用
して、周縁部と中心部等各部の温度分布を極めて均一に
できるとともに、また、内覗鏡内部のような極小部への
取り付け使用も可能である。
ラスのフラスコ状容器、ビーカ状容器、あるいはシャー
レ状の容器の底面２’を石英ガラスヒータ構成部材とし
て取り込み、抵抗皮膜からなる本発明発熱体４を形成し
て、その接合面に本発明構造を実施し、また、本発明方
法を実施して、容器底面の温度分布、ひいては容器内部
の温度分布を緻密に、かつ、きわめて精密に均一に保つ
ことができるので、熱伝導率を大きく採り得る。勿論、
図３に示すフラスコ状容器に実施した例のように、発熱
体４及び石英ガラス２，３の形状を円筒状、または円殻
状の曲面等にすることも容易に可能であり、さらに、３
×６（尺）の定尺体のような大きな面積の発熱体に利用
して、周縁部と中心部等各部の温度分布を極めて均一に
できるとともに、また、内覗鏡内部のような極小部への
取り付け使用も可能である。
【００１８】
【発明の効果】以上の説明から既に明らかなように、本
発明は、２枚の石英ガラス同士の接合面は、どちらの面
も研磨または超精密仕上げを施したものであるから、接
着剤を介在させることなく、密着度合いはきわめて強力
で、かつ、密着度合が全面に均一に保たれる。
発明は、２枚の石英ガラス同士の接合面は、どちらの面
も研磨または超精密仕上げを施したものであるから、接
着剤を介在させることなく、密着度合いはきわめて強力
で、かつ、密着度合が全面に均一に保たれる。
【００１９】また、抵抗皮膜からなる発熱体４と石英ガ
ラス２，３の間の密着度が発熱体素材の厚さを十分に精
密に管理でき、さらに、発熱体４の周囲にの空気を減圧
するので、熱伝導率が部分的に均一になるので、発熱体
全面における均一な熱発生を保持することができるとい
う従来のものには期待することが出来ない顕著な効果を
有するに至ったのである。
ラス２，３の間の密着度が発熱体素材の厚さを十分に精
密に管理でき、さらに、発熱体４の周囲にの空気を減圧
するので、熱伝導率が部分的に均一になるので、発熱体
全面における均一な熱発生を保持することができるとい
う従来のものには期待することが出来ない顕著な効果を
有するに至ったのである。
【００２０】したがって、本発明の石英ガラスヒータ１
は、その結果、部分的に温度が異なるという問題もなく
なり、長期間にわたり、高い品質を保持することが可能
な石英ガラスヒータとすることができるという効果をも
併せて期待することが出来るに至ったのである。
は、その結果、部分的に温度が異なるという問題もなく
なり、長期間にわたり、高い品質を保持することが可能
な石英ガラスヒータとすることができるという効果をも
併せて期待することが出来るに至ったのである。
【図１】本発明の１実施例の石英ガラス２の一部欠切平
面図。
面図。
【図２】図１中のII−II線に沿った断面図。
【図３】本発明の石英ガラスヒータを、フラスコに配設
実施した例を示す断面図。
実施した例を示す断面図。
【図４】本発明の石英ガラスヒータを、シャーレ状の容
器に配設実施した例で、片方の石英ガラスに凹所を削抉
した例を示す断面図。
器に配設実施した例で、片方の石英ガラスに凹所を削抉
した例を示す断面図。
【図５】本発明の石英ガラスヒータをシャーレ状の容器
に配設実施した例で、両方の石英ガラスに凹所を削抉し
た例を示す断面図。
に配設実施した例で、両方の石英ガラスに凹所を削抉し
た例を示す断面図。
【図６】２枚の石英ガラスの内、片方が容器の壁面であ
って、片方の石英ガラスに凹所を削抉した実施例を示す
部分拡大断面図。
って、片方の石英ガラスに凹所を削抉した実施例を示す
部分拡大断面図。
【図７】２枚の石英ガラスの内、片方が容器の壁面であ
って、両方の石英ガラスに凹所を削抉した実施例を示す
部分拡大断面図。
って、両方の石英ガラスに凹所を削抉した実施例を示す
部分拡大断面図。
【図８】本発明の石英ガラスヒータをビーカ状の容器に
配設実施した例で、片方の石英ガラスに凹所を削抉した
例を示す断面図。
配設実施した例で、片方の石英ガラスに凹所を削抉した
例を示す断面図。
【図９】従来例の分解斜視図。
１ 石英ガラスヒータ ２，３ 石英ガラス ２’容器の壁面 ３ａ 凹所 ４ 平板状発熱体 ５ａ，５ｂ 電気入力端子 ６ 溶接固着
Claims (14)
- 【請求項１】 ２枚の石英ガラスを接合し、その接合面
の両方又はいずれか片方の表面を削抉して形成した凹所
に平板状発熱体を形成し、両石英ガラスの接合面を研磨
または超精密仕上げを施して密着して構成した石英ガラ
スヒータ。 - 【請求項２】 前記２枚の石英ガラスの接合面の両方、
又はいずれか片方の表面の凹所を、エッチングによる腐
食、ブラスト、又は研磨等の手段により削抉した請求項
１に記載の石英ガラスヒータ。 - 【請求項３】 前記平板状発熱体が、パターンマスク法
もしくはエッチング法による腐食、あるいはプラズマジ
ェット溶射により成形されたものである請求項１又は２
のいずれかに記載の石英ガラスヒータ。 - 【請求項４】 前記２枚の石英ガラスの接着面を研磨ま
たは超精密仕上げを施して接合することにより密着した
請求項１乃至３のいずれかに記載された石英ガラスヒー
タ。 - 【請求項５】 前記凹所の空気を抜いて減圧処理した請
求項１乃至４のいずれかに記載の石英ガラスヒータ。 - 【請求項６】 前記２枚の石英ガラスの周端縁を溶接し
て固着した請求項１乃至５のいずれかに記載された石英
ガラスヒータ。 - 【請求項７】 前記２枚の石英ガラスのうち、いずれか
片方が、容器を構成する容器壁である請求項１乃至６の
いずれかに記載の石英ガラスータ。 - 【請求項８】 ２枚の石英ガラスを接合し、その接合面
の両方又はいずれか片方の表面を削抉して凹所を形成
し、前記凹所に平板状発熱体を形成するとともに、前記
２枚の石英ガラスの接合面を研磨または超精密仕上げを
施して密着し、周囲端縁部を溶接して固着することを特
徴とする石英ガラスヒータの製造方法。 - 【請求項９】 前記２枚の石英ガラスの接合面の両方、
又はいずれか片方の表面の凹所を、エッチングによる腐
食、ブラスト、又は研磨等の手段により削抉して形成す
ることを特徴とする請求項８に記載の石英ガラスヒータ
の製造方法。 - 【請求項１０】 前記平板状発熱体が、パターンマスク
法もしくはエッチング法による腐食、あるいはプラズマ
ジェット溶射により成形されることを特徴とする請求項
８又は９に記載の石英ガラスヒータの製造方法。 - 【請求項１１】 前記２枚の石英ガラスの接着面を研磨
または超精密仕上げ加工工程を施こして後、接合するこ
とにより密着することを特徴とする請求項８乃至１０の
いずれかに記載された石英ガラスヒータの製造方法。 - 【請求項１２】 前記２枚の石英ガラスの接合面を、研
磨または超精密仕上げを施して密着した後、前記凹所の
空気を抜いて減圧する工程を加えることを特徴とする請
求項８乃至１１のいずれかに記載の石英ガラスヒータの
製造方法。 - 【請求項１３】 前記２枚の石英ガラスの周端縁を溶接
して固着する工程を施した請求項８乃至１２のいずれか
に記載された石英ガラスヒータの製造方法。 - 【請求項１４】 前記２枚の石英ガラスのうち、いずれ
か片方が、容器を構成する容器壁であることを特徴とす
る請求項８乃至１３のいずれかに記載の石英ガラスータ
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29887794A JPH08138845A (ja) | 1994-11-07 | 1994-11-07 | 石英ガラスヒータ及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29887794A JPH08138845A (ja) | 1994-11-07 | 1994-11-07 | 石英ガラスヒータ及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08138845A true JPH08138845A (ja) | 1996-05-31 |
Family
ID=17865340
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29887794A Pending JPH08138845A (ja) | 1994-11-07 | 1994-11-07 | 石英ガラスヒータ及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08138845A (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
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- 1994-11-07 JP JP29887794A patent/JPH08138845A/ja active Pending
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