DE69809618T2

DE69809618T2 - Tintenstrahlaufzeichnungskopf

Info

Publication number: DE69809618T2
Application number: DE69809618T
Authority: DE
Inventors: Kazuhiko Fujimori; Tsutomu Hashizume; Yoshinao Miyata; Soichi Moriya; Masato Shimada; Koji Sumi; Shiro Yazaki
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 1997-03-03
Filing date: 1998-03-02
Publication date: 2003-04-03
Anticipated expiration: 2018-03-03
Also published as: US6109736A; DE69809618D1; EP0863007B1; EP0863007A2; EP0863007A3; JPH10305578A

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf gemäß dem allgemeinen Teil von Anspruch 1 zum Emittieren eines Tintentröpfchens aus einer Düsenöffnung. Konkret betrifft die Erfindung einen Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf, der durch Biegeschwingung gemäß einer Betätigungseinrichtung ein Tintentröpfchen emittiert, sodass sich ein Teil einer Druckerzeugungskammer, die mit einer Düsenöffnung in Verbindung steht, ausdehnt und zusammenzieht.
Ein derartiger Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf ist bereits aus dem Dokument JP 07- 125197 bekannt.
In diesem Dokument ist ein Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf dargestellt, der ein durchlasserzeugendes Substrat umfasst, das eine Druckerzeugungskammer bildet, eine Düsenöffnung, die mit der Druckerzeugungskammer in Verbindung steht, und eine Betätigungseinrichtung als Druckerzeugungsvorrichtung, wobei die Druckerzeugungsvorrichtung so angeordnet ist, dass sie der jeweiligen Druckerzeugungskammer entspricht.
Aus dem Dokument EP-A-0580283 ist bereits ein Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf bekannt, der eine statische elektrische Betätigungseinrichtung als Druckerzeugungsvorrichtung verwendet.
Konventionell gibt es zwei Arten von Tintenstrahl-Aufzeichnungsköpfen: eine mit piezoelektrischem Schwingungserzeuger, der eine Druckerzeugungskammer mechanisch verformt, und zum anderen die Art von Bubble-Jet-Aufzeichnungskopf, der ein exothermes Element in einer Druckerzeugungskammer schafft, mit dem die Tinte durch den Druck der Bläschen, die von dem Kopf des exothermen Elements erzeugt werden, unter Druck gesetzt werden. Der Aufzeichnungskopf mit piezoelektrischem Schwingungserzeuger wird weiterhin in zwei Typen klassifiziert: ein erster Typ Aufzeichnungskopf mit einem piezoelektrischem Schwingungserzeuger, der in Axialrichtung verschoben wird, und ein zweiter Typ unter Verwendung eines piezoelektrischen Schwingungserzeugers, der durch Biegeschwingung verschoben wird. Der erste Aufzeichnungskopf kann bei hoher Geschwindigkeit betrieben werden und mit hoher Dichte aufzeichnen, allerdings ist der Herstellungsprozess schwierig, da zum Bearbeiten eines piezoelektrischen Schwingungserzeugers Schneidarbeiten erforderlich sind oder aber zum Befestigen des piezoelektrischen Schwingungserzeugers an einer Druckerzeugungskammer dreidimensionale Montagevorgänge ausgeführt werden müssen.
Im Gegensatz dazu kann der zweite Typ Aufzeichnungskopf, der eine Druckerzeugungskammer und eine Betätigungseinheit zum Anlegen von Druck an die Tinte mittels piezoelektrischen Schwingungserzeugers aufweist, durch einen keramischen Brennvorgang gebildet werden, weshalb der Herstellungsprozess einfacher ist als das Herstellungsverfahren des ersten Aufzeichnungskopfes. Jedoch kann sich der gesamte Aufzeichnungskopf infolge von Wärmebeanspruchung verformen. Konkret kann eine Verformung des Kopfes durch eine Differenz der thermischen Ausdehnungskoeffizienten zwischen Keramik und Metall hervorgerufen werden, da eine Düsenplatte zum Emittieren von Tinte, an die von der Betätigungseinheit Druck angelegt wurde, in Form von Tintentröpfchen aus einer Metallplatte besteht, wohingegen die Druckerzeugungskammer und die Betätigungseinheit aus Keramik gefertigt sind, sodass der Aufzeichnungskopf durch Verbindung beider über eine Klebschicht entsteht. Derartige Verformungen bzw. Verwerfungen können zu einem fehlerhaften Emittieren eines Tintentröpfchens führen und folglich zu einer Verschlechterung der Druckqualität.
Zum Lösen solcher Probleme wird ein Einstellelement für thermische Ausdehnungseigenschaften mit dem Querschnitt eines umgekehrten "C", welches nicht die Schwingungen des piezoelektrischen Schwingungserzeugers verhindert, an dem piezoelektrischen Schwingungserzeuger angebracht, der an einer Oberfläche einer Betätigungseinheit befestigt ist, um damit eine Verwerfung des gesamten Aufzeichnungskopfes infolge einer Differenz bei der thermischen Ausdehnung zu verhindern, wie in der japanischen ungeprüften Patentanmeldung Nr. H6-122197 offengelegt ist. Allerdings ist bei einem derartigen Aufzeichnungskopf, der einen piezoelektrischen Schwingungserzeuger mit Biegeschwingung verwendet, die Öffnungsfläche einer Druckerzeugungskammer zwecks Bereitstellung einer angemessenen Biegungsfläche größer als bei einem Aufzeichnungskopf mit piezoelektrischem Schwingungserzeuger mit Längsschwingungsmodus. Problematisch ist hierbei, dass im Vergleich zum ersten Aufzeichnungskopf die Aufzeichnungsdichte schlechter ist.
Zum Lösen eines derartigen Problems ist ein Verfahren unter Verwendung eines Silizium-Einkristallsubstrats als Basismaterial zur Anwendung gekommen, bei dem durch anisotropes Ätzen ein Durchlass, beispielsweise eine Druckerzeugungskammer, und ein Behälter gebildet werden und mittels Filmherstellungsverfahren, z. B. Aufsputtern von piezoelektrischem Material, ein piezoelektrischer Schwingungserzeuger entsteht. Nach diesem Verfahren kann ein extrem dünner elastischer Film hergestellt und eine Druckerzeugungskammer sowie ein piezoelektrischer Schwingungserzeuger präzise gebildet werden, sodass der Öffnungsbereich einer Druckerzeugungskammer minimiert und die Aufzeichnungsdichte verbessert werden kann. Da es sich jedoch bei der Düsenplatte noch immer um eine Metallplatte handelt, damit die Bearbeitungsgenauigkeit einer Düsenöffnung aufrechterhalten bleibt, besteht ein Problem darin, dass der gesamte Aufzeichnungskopf infolge der unterschiedlichen Wärmeausdehnung verformt wird, wie dies oben im Hinblick auf den zweiten Aufzeichnungskopf beschrieben wurde, bei dem ein piezoelektrischer Schwingungserzeuger durch Brennen befestigt wird. Ein solches Problem lässt sich durch Verwendung eines Einstellelementes für die thermischen Ausdehnungseigenschaften lösen, wie es in der japanischen ungeprüften Patentanmeldung Nr. H6-122187 offengelegt ist; wenn hingegen ein piezoelektrischer Schwingungserzeuger durch Aufsputtern von piezoelektrischem Material gebildet wird, wird ein quantitativ höheres elektrisches Feld angelegt, in dem der piezoelektrische Schwingungserzeuger dünner ist als bei einem piezoelektrischen Schwingungserzeuger, der durch Brennen einer ungebrannten Schicht gebildet wird. Wenn die obigen piezoelektrischen Schwingungserzeuger bei gleicher Spannung betrieben werden, nimmt der Kriechstrom zwischen den Ansteuerelektroden zu, Feuchtigkeit aus der Atmosphäre wird absorbiert und schließlich kommt es zu einem Durchschlag.
Das Ziel der vorliegenden Erfindung besteht in der Schaffung eines Tintenstrahl- Aufzeichnungskopfes, bei dem gleichzeitig das Problem der Verformung eines Aufzeichnungskopfes infolge unterschiedlicher Wärmeausdehnungseigenschaften zwischen den Materialien, die den Aufzeichnungskopf bilden, und von Defekten, die durch Veränderungen externer Umgebungsbedingungen, wie beispielsweise Feuchtigkeit, verursacht werden, und des Betriebs eines piezoelektrischen Schwingungserzeugers, der durch eine Filmbildungstechnik entsteht, gelöst werden.
Dieses Ziel wird durch die kennzeichnenden Eigenschaften von Anspruch 1 erreicht. Eine erste Ausführungsform der Erfindung betrifft einen Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf, der über ein durchlasserzeugendes Substrat verfügt, welches einen piezoelektrischen Schwingungserzeuger aufweist, der aus einer Membran besteht, die einen Teil einer mit einer Düsenöffnung in Verbindung stehenden Druckerzeugungskammer bildet, von der wenigstens die Oberseite als untere Elektrode fungiert, und einen piezoelektrisch aktiven Teil, der aus einem piezoelektrischen Film besteht, welcher auf der Oberfläche der Membran ausgebildet, und eine obere Elektrode, die auf der Oberfläche des piezoelektrischen Films gebildet ist und sich in einem Bereich gegenüber der Druckerzeugungskammer befindet. Ein Kappenelement, das an der Seite des piezoelektrischen Films des durchlasserzeugenden Substrats befestigt ist, dichtet einen Raum zwischen der Kappe und der Druckerzeugungskammer derart ab, dass die Schwingungsbewegung nicht verhindert wird und ein trockenes Fluid in dem Raum des Kappenelements eingeschlossen wird.
Bei einer derartigen ersten Ausführungsform wird ein Funktionsdefekt infolge der Veränderung externer Umgebungsbedingungen verhindert, da der piezoelektrische Schwingungserzeuger nach außen hin abgedichtet ist.
Fig. 1 ist eine auseinander gezogene Perspektivansicht eines Tintenstrahl- Aufzeichnungskopfes, der einer erfindungsgemäßen Ausführungsform entspricht;
Fig. 2 ist eine Schnittdarstellung des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
Fig. 3 zeigt den obigen Aufzeichnungskopf in einem Zustand vor dem Anformen eines Kappenelementes an die Oberseite;
Fig. 4 zeigt eine Ausführungsform des Kappenelementes des obigen Aufzeichnungskopfes mit der Oberfläche, die auf der Oberseite mit dem Aufzeichnungskopf in Kontakt ist;
Fig. 5 zeigt einen Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf gemäß der zweiten erfindungsgemäßen Ausführungsform in einem Zustand vor dem Anformen eines Kappenelementes an die Oberseite;
Fig. 6 zeigt den Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf entsprechend der zweiten erfindungsgemäßen Ausführungsform mit der Oberfläche des Klappenelementes, die sich auf der Oberseite mit dem Aufzeichnungskopf in Kontakt befindet;
Fig. 7 ist eine auseinander gezogene Perspektivansicht eines Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes entsprechend einer dritten Ausführungsform der Erfindung;
Fig. 8(a) und 8(b) sind eine auseinander gezogene Perspektivansicht bzw. eine Schnittdarstellung eines Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes entsprechend einer vierten Ausführungsform der Erfindung;
Fig. 9(a) und 9(b) sind eine auseinander gezogene Perspektivansicht bzw. die Schnittdarstellung eines Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes entsprechend einer fünften Ausführungsform der Erfindung;
Fig. 10 ist eine Schnittdarstellung des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes entsprechend der fünften erfindungsgemäßen Ausführungsform;
Fig. 11 ist eine teilweise Schnittdarstellung eines Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes entsprechend einer anderen Ausführungsform der Erfindung, und
Fig. 12 ist eine teilweise Schnittdarstellung eines Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.

DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG

Fig. 1 und 2 verdeutlichen die erste erfindungsgemäße Ausführungsform. Ein durchlasserzeugendes Substrat 1 mit reihenförmig gebildeten Druckerzeugungskammern 4 und 5 (bei der vorliegenden Ausführungsform zwei Reihen), mit den Behältern 6 und 7 zum Zuführen von Tinte zu Druckerzeugungskammern 4 und 5 und mit den Tintenzuführöffnungen 8 und 9, die sicherstellen, dass die Druckerzeugungskammern 4 und 5 und die Behälter 6 und 7 bei feststehendem Fluidwiderstand in Verbindung stehen, wird durch Ätzen eines Silizium-Einkristallsubstrats gebildet, sodass auf einer Oberfläche eine Öffnungsseite 2 und ein elastischer Film 3 aus Siliziumoxid entsteht und Selbiges auf der Rückseite gebildet wird.
Über eine Klebschicht und einen aufgetragenen Film wird eine Düsenplatte 12 auf der Seite der Öffnungsfläche 2 fixiert. Die Düsenplatte 12 besteht aus rostfreiem Stahl oder dergleichen, wobei die Düsenöffnungen 10 und 11 so gebildet werden, dass die Düsenöffnungen jeweils mit einem Ende der Druckerzeugungskammern 4 und 5 in Verbindung stehen.
Die Druckerzeugungseinrichtung dient dem wahlweisen Ausdehnen und Zusammenziehen der Druckerzeugungskammern 4 und 5. Die Druckerzeugungseinrichtung besteht aus einer unteren Elektrode 13, die von einer Metallschicht auf der Oberfläche des elastischen Filmes 3 gebildet wird, aus einem mittels Filmherstellungsverfahren auf der Oberfläche ausgebildeten piezoelektrischen Film 14 und aus den oberen Elektroden 15 und 16, die jeweils als Segmentelektrode an derselben Stelle wie jede der Druckerzeugungskammern 4 und 5 auf der Oberfläche des piezoelektrischen Films 14 wirkt.
An die untere Elektrode 13 und die oberen Elektroden 15 und 15 sind jeweils flexible Kabel 17 und 18 angeschlossen, sodass die untere und die oberen Elektroden ein Ansteuersignal von einer externen Antriebsschaltung empfangen.
Bei einer Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfeinheit, wie oben beschrieben, ist ein Kappenelement 20 mit Kontaktstücken 20a, 20b und 20c versehen. Die Kontaktstücke 20a und 20b befinden sich an beiden Enden des Kappenelementes 20 in einer Richtung, in der die Druckerzeugungskammern 4 und 5 angeordnet sind, und das Kontaktstück 20c ist im Bereich einer Mittellinie des durchlasserzeugenden Substrats 1 zwischen den Druckerzeugungskammern 4 und 5 ausgebildet. Des Weiteren verfügt das Kappenelement an jedem Ende über Fenster 20d und 20e als Führung für die flexiblen Kabel 17 und 18. Mittels Klebstoff oder dergleichen ist das Kappenelement 20 direkt an dem durchlasserzeugenden Substrat bzw. am elastischen Film 3 oder am piezoelektrischen Film 14 befestigt, wodurch jeder Raum 21 so an der Seite des piezoelektrischen Films befestigt ist, dass die Bewegung der druckerzeugenden Einrichtung nicht verhindert wird.
Nachdem inertes Glas, beispielsweise Stickstoff o. ä., im Raum 21 eingeschlossen ist, der von dem Klappenelement und dem durchlasserzeugenden Substrat 1 gebildet wird, dichten Formmittel 22 und 23 die flexiblen Kabel 17 bzw. 18 durch die Fenster 20d und 20e hindurch ab, wodurch ein Aufzeichnungskopf entsteht. Der wie oben beschrieben hergestellte Aufzeichnungskopf wird in einem Halter 24 untergebracht und an einem Wagen (nicht abgebildet) befestigt. Wie aus Fig. 3 und 4 hervorgeht, führen die Tinteneinlassöffnungen 25 und 26 den Speicherräumen 6 und 7 jeweils Tinte aus einem außen befindlichen Tintenbehälter (nicht abgebildet) zu.
Da der piezoelektrische Film 14 mit einem inerten Gas bedeckt ist, welches in dem aus dem Kappenelement 20 und den Formmitteln 22 und 23 gebildeten Raum 21 eingeschlossen ist, lässt sich unabhängig von Veränderungen der relativen Feuchtigkeit in der Außenumgebung ein hoher Isolierwiderstand ohne größeren Kriechstrom zwischen der unteren Elektrode 13 und jeder oberen Elektrode 15 bzw. 16 herstellen, sodass die Druckerzeugungskammern 4 und 5 weiterhin in einem bestimmten Umfang zusammengezogen bzw. ausgedehnt werden und Druckqualität aufrechterhalten werden kann.
Bei der obigen Ausführungsform wird ein trockenes Gas, beispielsweise ein inertes Gas, in den Raum eingeleitet, der von den Kappenelement und der Kopfeinheit gebildet wird; wenn allerdings Silikonöl, in dem keine Feuchtigkeit enthalten ist, bzw. eine Isolierflüssigkeit, beispielsweise inaktive Fluorflüssigkeit, eingeschlossen werden, erreicht man ähnliche Ergebnisse.
Als Trockengas kann neben inertem Gas auch reduzierendes Gas verwendet werden, umgekehrt kann oxidierendes Gas dazu benutzt werden, eine Qualitätsminderung des piezoelektrischen Films zu verhindern. Kommt ein solches inertes Gas zum Einsatz, ist es wünschenswert, wenn der Dampfdruck (Teildruck) der Feuchtigkeit in dem inerten Gas minimiert wird.
Ein Herstellungsverfahren, welches Trockengas (oder trockenes Fluid) verwendet, ist am einfachsten; berücksichtigt man jedoch eine Situation, in der ein winziges Leck in dem Kopf vorhanden ist, so wird ein Herstellungsverfahren unter Verwendung einer Isolierflüssigkeit bevorzugt, da die Isolierflüssigkeit das Eindringen von Feuchtigkeit verhindert. Die Biegsamkeit verringert sich, wenn die Viskosität der Isolierflüssigkeit hoch ist, weshalb es wünschenswert ist, die Viskosität auf einem Minimum zu halten. Eine zweite erfindungsgemäße Ausführungsform betrifft einen Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf auf der Grundlage der ersten Ausführungsform, die dadurch gekennzeichnet ist, dass es sich bei dem obigen Fluid um inertes Gas handelt.
In den Fig. 5 und 6 ist ein Kappenelement 20 abgebildet, welches einer zweiten Ausführungsform entspricht, wobei diese Ausführungsform identisch mit der ersten Ausführungsform ist, außer dass an jedem Ende des Kappenelements 20 Fenster 20f und 20g vorgesehen sind, durch die die flexiblen Kabel 17 und 18 nach oben geführt werden. Die Fenster 20f und 20g befinden sich auf der Seite der Kappe 20, auf der die flexiblen Kabel 17 und 18 entlangführen. Darüber hinaus sind an jedem Ende und auf der Mittellinie Kontaktflächen 20a, 20b und 20c ausgebildet, wie bereits oben im Hinblick auf die erste Ausführungsform erörtert, und an jedem Ende, an dem die flexiblen Kabel 17 und 18 aus den Fenstern 20f und 20g herausgeleitet werden, sind Kontaktstücke 20j und 20k ausgebildet.
Gemäß dieser Ausführungsform lässt sich das Kappenelement mühelos herstellen. Der Rand und die Mitte einer Kopfeinheit können durch das Kappenelement 20 verstärkt werden, wodurch eine Verformung des durchlasserzeugenden Substrats und der Düsenplatte 12 sicher verhindert werden kann.
Bei einer derartigen zweiten Ausführungsform wird der aktive Teil des piezoelektrischen Schwingungserzeugers in einer Atmosphäre inerten Gases gehalten und gegen Schwankungen der äußeren Umgebungsbedingungen isoliert.
Eine dritte Ausführungsform der Erfindung betrifft einen Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf auf der Grundlage der ersten Ausführungsform und ist dadurch gekennzeichnet, dass das obige Fluid ein oxidierendes Gas enthält.
Bei einer derartigen dritten Ausführungsform wird verhindert, dass ein piezoelektrischer Film, der hauptsächlich aus einem Oxid besteht, eine Qualitätsminderung erfährt.
Wie in Fig. 7 fungiert ein Halter 30 ebenfalls als Kappenelement. Die dritte Ausführungsform gleicht im Grunde der zweiten, außer dass ein Raum 31 in dem Halter ausgebildet ist und ein Kontaktstück 30a, welches sich in Kontakt mit einem durchlasserzeugenden Substrat 1 befindet, im Bereich einer Mittellinie zwischen dem Druckerzeugungskammern 4 und 5 vorgesehen ist. Darüber hinaus sind in der Nähe des unteren Endes auf beiden Seiten des Halters in Längsrichtung der Druckerzeugungskammern 8 und 9 Fenster 30c und 30d zum Durchleiten eines flexiblen Kabels 17 vorhanden, wobei zum Abtrennen des Raumes 31 eine periphere Wand 30b vorgesehen ist.
Daher ist der Halter 30 an der peripheren Wand 30d und dem Kontaktstück 30a mittels Klebstoff o. ä. direkt an dem durchlasserzeugenden Substrat 1 oder an einem elastischen Film 3 oder einer unteren Elektrode 13 befestigt. Nachdem der von dem Halter 30 und dem durchlasserzeugenden Substrat 1 gebildeten Raum 31 mit einem inerten Gas, z. B. Stickstoff, gefüllt worden ist, werden die Fenster 30c und 30d mit Formmitteln oder dergleichen zusammen mit dem flexiblen Kabel 17 abgedichtet. Der Halter 30 ist so gebildet, dass er direkt an einem Wagen der Aufzeichnungseinrichtung (nicht abgebildet) angebracht wird.
Die dritte Ausführungsform bietet dieselben Vorteile wie die zweite Ausführungsform, der Halter 30 fungiert aber auch als Kappenelement, sodass die Anzahl an Teilen und Prozessen verringert wird und dadurch die Gesamtkosten sinken.
Bei der obigen Ausführungsform dient das Fenster dem Durchleiten des flexiblen Kabels 17 durch den Halter; wenn jedoch das flexible Kabel 17 dünn genug ist, kann es ohne ein Fenster nach außen geleitet werden, wie nachstehend mit Bezug auf die vierte Ausführungsform erörtert wird.
Eine vierte Ausführungsform der Erfindung betrifft einen Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf auf der Grundlage der ersten Ausführungsform und ist dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei dem obigen Fluid um eines handelt, das verringerten Dampfdruck von darin enthaltenem Wasser aufweist.
Bei einer derartigen vierten Ausführungsform wird ein durch Feuchtigkeit verursachter Durchschlag des aktiven Teils des piezoelektrischen Schwingungserzeugers verhindert.
Bei der vierten Ausführungsform weist ein Kappenelement 40 ein erstes Kappenelement 41 mit einem Durchlassteil 40a auf, welches einen Raum schafft. Mit einem zweiten Kappenelement 42 wird wie in Fig. 8(a) und 8(b) das erste Kappenelement 41 abgedichtet. Das erste Kappenelement 41 und das zweite Kappenelement 42 werden mit einem Klebstoff oder dergleichen aneinander befestigt, und zwischen dem ersten Kappenelement 41 und dem zweiten Kappenelement 42 wird ein flexibles Kabel 17 gehalten.
Die vierte Ausführungsform entspricht im Grunde der zweiten Ausführungsform, außer dass an dem zweiten Kappenelement 42 ein Gasaustauschloch 42a zum Einleiten von inertem Gas oder dergleichen in einen Raum hinein vorgesehen ist, der durch Abdichten des Durchlassteils 40a entsteht. Durch das Gasaustauschloch 42a wird inertes Gas u. a. eingeleitet, und das Gasaustauschloch 42a wird durch Anbringen eines dritten Kappenelements 43 abgedichtet.
Folglich lassen sich gemäß dieser Ausführungsform dieselben Vorteile wie bei der zweiten Ausführungsform erreichen; darüber hinaus kann inertes Gas mühelos eingeleitet und abgedichtet werden, indem einfach das Gasaustauschloch 42a verschlossen wird.
Bei der vorliegenden Ausführungsform wird das Gasaustauschloch 42a mit dem Kappenelement 43 abgedichtet; die vorliegende Erfindung ist jedoch nicht auf diese Anordnung begrenzt und das Gasaustauschloch kann ebenso mit anderen Abdichtmitteln, wie beispielsweise mit einem Epoxyd-Klebstoff, abgedichtet werden.
Eine fünfte Ausführungsform der Erfindung betrifft einen Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf auf der Grundlage der ersten Ausführungsform und ist dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei dem obigen Fluid um eine Isolierflüssigkeit handelt.
Bei einer derartigen fünften Ausführungsform wird der aktive piezoelektrische Teil in der Atmosphäre des Isolierfluids gehalten und gegen Veränderungen der äußeren Umgebungsbedingungen isoliert.
Bei der fünften Ausführungsform ist nicht wie oben erörtert ein Gasaustauschloch an dem zweiten Kappenelement 42 vorgesehen, sondern an einem Teil eines durchlasserzeugenden Substrats 1, in dem kein Tintendurchlass ausgebildet ist, z. B. am Rand des Behälters 6, wie in Fig. 9(a) und 9(b) abgebildet. Die fünfte Ausführungsform ist identisch mit der vierten Ausführungsform bis auf die Tatsache, dass eine Verbindungsöffnung zum Verbinden einer unteren Elektrode 13, eines elastischen Films 3 und des durchlasserzeugenden Substrats 1 mit der Düsenplatte über einen Gasaustauschkanal 44 gebildet wird, mit dem der Innenraum mit dem Außenbereich verbunden wird. Bei Verwendung einer derartigen Bauart kann inertes Gas u. ä. von der Seite der Düseplatte her eingeleitet werden.
Eine sechste Ausführungsform der vorliegenden Erfindung betrifft einen Tintenstrahl- Aufzeichnungskopf auf der Grundlage der fünften Ausführungsform und ist dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei der obigen Isolierflüssigkeit um Silikonöl oder inaktive Fluorflüssigkeit handelt.
Bei einer derartigen sechsten Ausführungsform wird der aktive piezoelektrische Teil durch Silikonöl oder eine inaktive Fluorflüssigkeit nach außen hin isoliert. Die sechste Ausführungsform ist identisch mit der vierten Ausführungsform, außer dass eine der Druckerzeugungskammern eine Schein-Druckerzeugungskammer 4A ist, die sich an einem Ende der Reihe von Druckerzeugungskammern befindet, wie in Fig. 10 dargestellt. Durch den elastischen Film 3 und die untere Elektrode 13 hindurch ist eine Durchgangsöffnung 3a ausgebildet und an der Düsenplatte 12 ist ein Gasaustauschloch 45 vorgesehen, das mit der Schein-Druckerzeugungskammer 4A in Verbindung steht.
Mit dem obigen Aufbau kann ein Gasaustauschkanal gebildet werden, ohne dass dazu ein spezieller Gasaustauschweg hergestellt werden muss.
Gegenüber der Schein-Druckerzeugungskammer 4A kann auch ein scheinaktiver piezoelektrischer Teil gebildet werden.
Bislang wurden die Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung beschrieben, der Grundaufbau des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes ist aber nicht auf die obigen Ausführungsformen beschränkt.
Eine siebente erfindungsgemäße Ausführungsform betrifft einen Tintenstrahl- Aufzeichnungskopf auf der Grundtage von einer der ersten sechs Ausführungsformen und ist dadurch gekennzeichnet, dass das obige Kappenelement mit einem Gasaustauschloch versehen ist, um das obige Fluid in dem obigen Raum einzuschließen, und nach dem Einleiten des Fluids das Gasaustauschloch abgedichtet wird.
Bei einer solchen siebenten Ausführungsform lässt sich die isolierte Atmosphäre mühelos herstellen, indem lediglich das Fluid von der Seite des Kappenelements in den Raum gefüllt und das Gasaustauschloch abgedichtet wird.
Eine achte Ausführungsform der Erfindung betrifft einen Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf auf der Grundlage von einer der ersten sechs Ausführungsformen und ist dadurch gekennzeichnet, dass das obige durchlasserzeugende Substrat mit einem Gasaustauschloch versehen ist, um die obige Flüssigkeit in dem obigen Raum einzuschließen, und das Gasaustauschloch nach dem Einleiten des Fluids abgedichtet wird.
Bei einer solchen achten Ausführungsform kann das Fluid von der Seite des durchlasserzeugenden Substrat her abgedichtet werden.
Eine neunte Ausführungsform der Erfindung betrifft einen Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf auf der Grundlage der achten Ausführungsform und ist dadurch gekennzeichnet, dass das obige Gasaustauschloch des obigen durchlasserzeugenden Substrats eine Schein-Druckerzeugungskammer verwendet, die zusammen mit der obigen Druckerzeugungskammer gebildet wird.
Bei einer solchen neunten Ausführungsform lässt sich das Gasaustauschloch dank der Schein-Druckerzeugungskammer mühelos herstellen.
Eine zehnte Ausführungsform der Erfindung betrifft einen Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf auf der Grundlage einer der ersten sechs Ausführungsformen und ist dadurch gekennzeichnet, dass das obige Kappenelement eine Öffnung zum Aufnehmen eines flexiblen Kabels aufweist, das dem piezoelektrischen Schwingungserzeuger ein Ansteuersignal zuführt, und die Öffnung abgedichtet wird, nachdem das obige Fluid über die Öffnung in den obigen Raum eingeleitet wurde.
Bei einer solchen zehnten Ausführungsform kann mit Hilfe der Aufnahmeöffnung für das flexible Kabel mühelos ein abgedichteter Raum erzeugt werden.
Eine elfte Ausführungsform der Erfindung betrifft einen Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf auf der Grundlage von einer der siebenten bis zehnten Ausführungsform und ist dadurch gekennzeichnet, dass das Mittel zum Abdichten des obigen Raums des obigen Kappenelements ein Klebstoff oder ein Formmittel ist.
Bei einer solchen elften Ausführungsform kann der abgedichtete Raum ohne weiteres mit dem Klebstoff oder dem Formmittel hergestellt werden.
Eine zwölfte Ausführungsform der Erfindung betrifft einen Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf auf der Grundlage von einer der siebenten bis elften Ausführungsform und ist dadurch gekennzeichnet, dass die Einrichtung zum Abdichten des Kappenelementraums ein Kappenelement einschließt.
Bei einer solchen zwölften Ausführungsform kann der abgedichtete Raum mühelos von dem Kappenelement gebildet werden.
Eine dreizehnte erfindungsgemäße Ausführungsform betrifft einen Tintenstrahl- Aufzeichnungskopf auf der Grundlage einer der ersten bis zwölften Ausführungsform und ist dadurch gekennzeichnet, dass das obige Kappenelement mit einer Struktur zum Verstärken des durchlasserzeugenden Substrats versehen ist, die an dem durchlasserzeugenden Substrat befestigt wird.
Bei einer solchen dreizehnten Ausführungsform wird das durchlasserzeugende Substrat mit dem Kappenelement verstärkt, wodurch eine Verwerfung des Kopfes verhindert wird.
Eine vierzehnte Ausführungsform der Erfindung betrifft einen Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf auf der Grundlage der ersten bis dreizehnten Ausführungsform und ist dadurch gekennzeichnet, dass das obige Kappenelement und das obige durchlasserzeugende Substrat über eine Klebschicht aneinander befestigt sind und die Klebschicht durchgehend von dem befestigten Teil bis zur Innenfläche des Kappenelements vorhanden ist.
Bei einer solchen vierzehnten Ausführungsform wird das Eindringen von Feuchtigkeit von einer Grenzfläche zwischen dem Kappenelement und der Klebschicht verhindert. Eine fünfzehnte Ausführungsform der Erfindung betrifft einen Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf auf der Grundlage von einer der ersten bis vierzehnten Ausführungsform und ist dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei dem Kappenelement um einen Harz-Formkörper handelt und das Kappenelement und das durchlasserzeugende Substrat über eine Klebschicht aneinander befestigt sind, die eine Zusammensetzung aufweist, die dem Material des Harz-Formkörpers gleicht.
Bei einer derartigen fünfzehnten Ausführungsform wird das Eindringen von Feuchtigkeit durch die Grenzfläche zwischen dem Kappenelement und der Klebschicht verhindert.
Eine sechszehnte Ausführungsform der Erfindung betrifft einen Tintenstrahl- Aufzeichnungskopf auf der Grundlage von einer der ersten bis vierzehnten Ausführungsform und ist dadurch gekennzeichnet, dass das obige Kappenelement aus einem transparenten Material besteht.
Bei einer derartigen sechszehnten Ausführungsform kann die Verdrängung des aktiven piezoelektrischen Teils von der Außenseite des Kappenelementes beispielsweise mit Hilfe eines Laserstrahls erfasst werden, und ein Ansteuertest kann durchgeführt werden, ohne Tinte einzufüllen.
Eine siebzehnte Ausführungsform der Erfindung betrifft einen Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf auf der Grundlage von einer der ersten bis sechszehnten Ausführungsform und ist dadurch gekennzeichnet, dass eine Grenze zwischen einem Teil des obigen Raums, der mit dem Kappenelement abgedichtet wird, und der obigen Druckerzeugungskammer über die obige Membran geteilt ist, von der ein Teil in Dickenrichtung der Membran entfernt ist, wobei die Dicke der Membran bzw. des Membranteils, von dem ein Teil in Dickenrichtung entfernt ist, an der Grenze 2 · 10&supmin;&sup6; oder weniger beträgt und die Druckerzeugungskammer mit Flüssigkeit gefüllt ist, die Farbstoff oder Pigment enthält.
Bei einer solchen siebzehnten Ausführungsform werden der abgedichtete Raum und ein mit Tinte gefüllter Bereich über einen dünnen Film voneinander getrennt.
Eine achtzehnte Ausführungsform der Erfindung betrifft einen Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf auf der Grundlage von einer der ersten bis siebzehnten Ausführungsform und ist dadurch gekennzeichnet, dass die Druckerzeugungskammer durch Ausführen von anisotropem Ätzen an einem Silizium-Einkristallsubstrat ausgebildet wird und jede Schicht des piezoelektrischen Schwingungserzeugers durch ein Filmherstellungsverfahren und Lithographie ausgebildet wird.
Bei einer solchen achtzehnten Ausführungsform lässt sich der Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf mit Düsenöffnungen in hoher Dichte in großer Anzahl und relativ einfach herstellen.
Eine neunzehnte Ausführungsform der Erfindung betrifft einen Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf auf der Grundlage von einer der ersten bis achtzehnten Ausführungsform und ist dadurch gekennzeichnet, dass in dem obigen durchlasserzeugenden Substrat ein Behälter enthalten ist, der mit der Druckerzeugungskammer in Verbindung steht, und eine Düsenplatte, die mit den Düsenöffnungen versehen ist, an dem durchlasserzeugenden Substrat befestigt ist.
Mit einer solchen neunzehnten Ausführungsform kann der Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf zum Emittieren von Tinte aus einer Düsenöffnung problemlos hergestellt werden.
Eine zwanzigste Ausführungsform der Erfindung betrifft einen Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf auf der Grundlage von einer der ersten bis achtzehnten Ausführungsform und ist dadurch gekennzeichnet, dass eine Durchlasseinheit, in der eine gemeinsame Tintenkammer zum Zuführen von Tinte zu der Druckerzeugungskammer und ein Durchlass, der die Druckerzeugungskammer und die Düsenöffnung verbindet, ausgebildet sind, an dem obigen durchlasserzeugenden Substrat befestigt ist.
Bei einer solchen zwanzigsten Ausführungsform wird über die Durchlasseinheit Tinte aus der Düsenöffnung ausgegeben.
Bei den obigen Ausführungsformen werden das Kappenelement und das durchlasserzeugende Substrat über eine Klebschicht miteinander befestigt, allerdings könnte hierbei auch wie in Fig. 11 eine Klebschicht 46 an der Innenfläche eines Kappenelementes 50 vorgesehen werden. Somit kann das Eindringen u. a. von Feuchtigkeit in den Raum durch eine Grenzfläche zwischen dem Kappenelement 50 und der Klebschicht 46 hindurch verhindert werden. Dabei ist es am besten, wenn die Klebschicht an der gesamten Innenfläche des Kappenelementes 50 vorhanden ist, doch selbst dann, wenn die Klebschicht nicht auf der gesamten Innenfläche ausgebildet ist, kann noch immer der vorteilhafte Effekt erzielt werden.
Im Hinblick auf das Material eines Kappenelementes gibt es keine besonderen Einschränkungen, z. B. kann ein Kappenelement aus einem Harz hergestellt werden. In diesem Fall ist es wünschenswert, wenn das Kappenelement und ein durchlasserzeugendes Substrat über einen Klebstoff miteinander befestigt werden, der eine Zusammensetzung aufweist, die dem Material des Kappenelements gleicht. Wenn der Klebstoff gehärtet ist, verbinden sich der Klebstoff und das Kappenelement und durch die Grenzfläche zwischen dem Klebstoff und dem Kappenelement kann keine Feuchtigkeit mehr dringen.
Darüber hinaus lässt sich ein Kappenelement auch mit einem transparenten Material herstellen, z. B. mit Glas und einem transparenten Harz. Mit Hilfe eines Laserstrahls o. ä. kann die Verdrängung der Druckerzeugungseinrichtung von außen gemessen werden. Folglich kann die ausgegebene Menge mühelos überprüft werden, ohne dass eine Druckerzeugungskammer mit Tinte gefüllt und Tinte ausgegeben werden muss.
Weiterhin werden bei den obigen Ausführungsformen die Behälter 6 und 7 zusammen mit den Druckerzeugungskammern 4 und 5 in dem durchlasserzeugenden Substrat 1 gebildet, wohingegen in dem durchlasserzeugenden Substrat 1 auch ein Element zum Bilden einer gemeinsamen Tintenkammer vorhanden sein kann.
Fig. 12 zeigt eine teilweise Schnittdarstellung des oben beschriebenen Tintenstrahl- Aufzeichnungskopfes. Bei dieser Ausführungsform werden eine Abdichtplatte 160, eine gemeinsame Tintenkammer-Ausbildungsplatte 170, eine dünne Platte 180 und eine Tintenkammer-Seitenplatte 190 zwischen einem Düsensubstrat 12A und einem durchlasserzeugenden Substrat 1A gehalten. Eine Anschlussöffnung 31 stellt eine Verbindung zwischen der Druckerzeugungskammer 4A und einer Düsenöffnung 11A her, die so angeordnet ist, dass sie durch die obigen Platten verläuft. Eine gemeinsame Tintenkammer 32 wird von der Abdichtplatte 160, der gemeinsamen Tintenkammer-Ausbildungsplatte 170 und der dünnen Platte 180 unterteilt, und jede Druckerzeugungskammer 4A und die gemeinsame Tintenkammer 32 sind über ein Loch 33 verbunden, welches mit der Tinte in der Abdichtplatte 160 kommuniziert. In der Abdichtplatte 160 ist weiterhin ein Tinteneinlassloch 34 zum Einleiten von Tinte von außen in die gemeinsame Tintenkammer 32 vorhanden. Ein Durchlassteil 35 ist an einer Stelle gegenüber jeder gemeinsamen Tintenkammer 32 in der Tintenkammer- Seitenplatte 190 zwischen der dünnen Platte 180 und dem Düsensubstrat 12A ausgebildet, sodass der beim Ausgeben eines Tintentröpfchens erzeugte und an die der Düsenöffnung 11A abgewandten Seite angelegte Druck von der dünnen Wand 180 absorbiert wird und so verhindert wird, dass unnötiger Über- oder Unterdruck über den Behälter 32 zu den anderen Druckerzeugungskammern gelangt. Die dünne Platte 180 und die Seitenplatte 190 am Behälter können auch integriert sein.
Bei diesen Ausführungsformen kann der aktive piezoelektrische Teil ohne weiteres von außen isoliert werden, indem das obige Kappenelement an der Oberfläche des durchlasserzeugenden Substrats 1A auf der Rückseite der Öffnungsfläche befestigt wird und somit Betriebsausfälle infolge von Schwankungen der Außenumgebungsbedingungen vermieden werden.
Bei den obigen Ausführungsformen wird als ein Beispiel der dünne Tintenstrahl- Aufzeichnungskopf beschrieben, der durch Anwendung von Filmherstellungs- und lithografischen Prozessen hergestellt wird, allerdings ist die vorliegende Erfindung nicht darauf begrenzt und kann auf Tintenstrahl-Aufzeichnungsköpfe verschiedener Bauart angewandt werden, u. a. auf einen Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf, bei dem eine Druckerzeugungskammer durch das Laminieren von Substraten gebildet wird, auf einen, bei dem ein piezoelektrischer Film durch Aufkleben einer ungebrannten Schicht oder durch Siebdruck und andere Verfahren ausgebildet wird, und auf einen, bei dem ein piezoelektrischer Film durch Kristallwachstum gebildet wird.
Wie oben beschrieben, wird erfindungsgemäß ein Kappenelement zum Sichern eines Raumes, soweit die Bewegung eines aktiven piezoelektrischen Teils nicht verhindert wird, auf der Seite des aktiven piezoelektrischen Teils an einem durchlasserzeugenden Substrat befestigt, und zwar in einem Bereich, der nicht mit der Schwingung des aktiven piezoelektrischen Teils im Zusammenhang steht, und der Raum durch Abdichten des trockenen Fluids verschlossen. Somit verhindert die Erfindung eine ungleichmäßige Beanspruchung zwischen dem durchlasserzeugenden Substrat und einer Düsenplatte infolge unterschiedlicher Wärmeausdehnungseigenschaften, und das durchlasserzeugende Substrat sowie die Düsenplatte können so flach wie möglich gehalten werden. Dank des trockenen Fluids im Raum des Kappenelements und eines Formmittels, das unabhängig von Veränderungen der relativen Feuchtigkeit in der Außenumgebung ist, wird ein Anstieg des Kriechstroms zwischen den Elektroden vermieden, ein hoher Isolierwiderstand aufrechterhalten, und es wird verhindert, dass das Element aufgrund von Verformungen bricht.

Claims

1. Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf, der umfasst:

ein durchlasserzeugendes Substrat (1), das eine Druckerzeugungskammer (4, 5) bildet;

eine Düsenöffnung (10, 11), die mit der Druckerzeugungskammer (4, 5) in Verbindung steht;

eine Druckerzeugungsvorrichtung, die einen Druck in der Druckerzeugungskammer (4, 5) erzeugt, wobei die Druckerzeugungsvorrichtung so angeordnet ist, dass sie der jeweiligen Druckerzeugungskammer (4, 5) entspricht;

gekennzeichnet durch:

ein Kappenelement (20, 30, 40), das an einer Oberseite der Druckerzeugungsvorrichtung befestigt ist, um einen Raum, der zwischen dem Kappenelement (20) und dem durchlasserzeugenden Substrat (1) ausgebildet ist, abzudichten, und ein trockenes Fluid, das in dem Raum des Kappenelementes (20) abgedichtet ist, wobei die Druckerzeugungsvorrichtung ein piezoelektrisches Material (14) umfasst.

2. Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf nach Anspruch 1, wobei es sich bei dem Fluid um ein inertes Gas handelt.

3. Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf nach Anspruch 1, wobei das Fluid oxidierendes Gas enthält.

4. Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf nach Anspruch 1, wobei es sich bei dem Fluid um ein Fluid handelt, das verringerten Dampfdruck von darin enthaltenem Wasser aufweist.

5. Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf nach Anspruch 1, wobei es sich bei dem Fluid um eine isolierende Flüssigkeit handelt.

6. Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf nach Anspruch 5, wobei es sich bei der isolierenden Flüssigkeit um Silikonöl oder inaktive Fluor-Flüssigkeit handelt.

7. Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei das Kappenelement (20, 30, 40) mit einem Gasaustauschloch (43) zum Einleiten des Fluids in den Raum versehen ist und das Gasaustauschloch abgedichtet wird, nachdem das Fluid eingeleitet wurde.

8. Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei das durchlasserzeugende Substrat (1) mit einem Gasaustauschloch (43) zum Einleiten des Fluids in den Raum versehen ist, und das Gasaustauschloch abgedichtet wird, nachdem das Fluid eingeleitet wurde.

9. Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf nach Anspruch 8, wobei bei dem Gasaustauschloch (43, 45) des durchlasserzeugenden Substrats eine Schein-Druckerzeugungskammer (4A) zum Einsatz kommt, die zusammen mit der Druckerzeugungskammer ausgebildet wird.

10. Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei das Kappenelement (20, 30, 40) mit einer Öffnung zum Aufnehmen eines flexiblen Kabels (17, 18) versehen ist, das dem piezoelektrischen Schwingungserzeuger ein Ansteuersignal zuführt, und die Öffnung abgedichtet wird, nachdem das Fluid über die Öffnung in den Raum eingeleitet wurde.

11. Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf nach Anspruch 7, wobei das Mittel zum Abdichten des Raums des Kappenelementes ein Klebstoff oder ein Formmittel (23) ist.

12. Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf nach Anspruch 7, wobei das Mittei zum Abdichten des Raums des Kappenelementes ein Kappenelement einschließt.

13. Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf nach Anspruch 1, wobei das Kappenelement (20, 30, 40) mit einer Struktur zum Verstärken des durchlasserzeugenden Substrats durch Befestigen an dem durchlasserzeugenden Substrat versehen ist.

14. Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf nach Anspruch 1, wobei das Kappenelement (20, 30, 40) und das durchlasserzeugende Substrat (1) über eine Klebschicht (46) aneinander befestigt sind und die Klebschicht (46) durchgehend an der Innenfläche des Kappenelementes (20, 30, 40) vorhanden ist.

15. Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf nach Anspruch 1, wobei es sich bei dem Kappenelement (20, 30, 40) um einen Harz-Formkörper handelt und das Kappenelement und das durchlasserzeugende Substrat (1) über eine Klebschicht aneinander befestigt sind, die mit einer Verbindung versehen ist, die dem Material des Harz- Formkörpers gleicht.

16. Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf nach Anspruch 1, wobei das Kappenelement (20, 30, 40) aus transparentem Material besteht.

17. Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf nach Anspruch 1, wobei eine Grenze zwischen einem Teil des Raums, der mit dem Kappenelement (20, 30, 40) abgedichtet wird, und einer Druckerzeugungskammer (4, 5) über das durchlasserzeugende Substrat (1) geteilt ist, von dem ein Teil in der Dickenrichtung des durchlasserzeugenden Substrats entfernt ist;

wobei die Dicke des durchlasserzeugenden Substrats bzw. des durchlasserzeugenden Substrats, von dem ein Teil in der Dickenrichtung des durchlasserzeugenden Substrats entfernt ist, an der Grenze 2 · 10&supmin;&sup6; oder weniger beträgt; und

die Druckerzeugungskammer (4, 5) mit Flüssigkeit gefüllt ist, die Farbstoff oder Pigment enthält.

18. Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf nach Anspruch 17, wobei die Druckerzeugungskammer (4, 5) durch Ausführen von anisotropem Ätzen an einem Silizium- Einkristallsubstrat ausgebildet wird und jede Schicht des piezoelektrischen Schwingungserzeugers durch ein Filmherstellungsverfahren und Lithografie ausgebildet wird.

19. Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf nach Anspruch 1, wobei das durchlasserzeugende Substrat (1) einen Behälter (6, 7) enthält, der mit der Druckerzeugungskammer in Verbindung steht, und die Düsenplatte (12), die mit den Düsenöffnungen versehen ist, an dem durchlasserzeugenden Substrat (1) befestigt ist.

20. Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf nach Anspruch 1, wobei eine Durchlasseinheit, die eine gemeinsame Tintenkammer zum Zuführen von Tinte zu der Druckerzeugungskammer und einen Durchlass, der die Druckerzeugungskammer (4, 5) und die Düsenöffnung (10, 11) verbindet, an dem durchlasserzeugenden Substrat (1) befestigt ist.

21. Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf nach Anspruch 1, wobei eine Oberseite des durchlasserzeugenden Substrats (1) als eine untere Elektrode (13) wirkt und die Druckerzeugungsvorrichtung einen piezoelektrischen Film (14), der an der Oberseite der unteren Elektrode (13) des durchlasserzeugenden Substrats (1) ausgebildet ist, und eine obere Elektrode (15, 16) umfasst, die an der Oberseite des piezoelektrischen Films (14) ausgebildet und in einem Bereich gegenüber der Druckerzeugungskammer (4, 5) ausgebildet ist.