DE69514966T2

DE69514966T2 - Tintenstrahlaufzeichnungskopf

Info

Publication number: DE69514966T2
Application number: DE69514966T
Authority: DE
Inventors: Tomoaki Abe; Fujio Akahane; Kazuhiko Hara; Takahiro Katakura; Yasushi Kishida; Yoshio Miyazawa; Shinri Sakai; Takeo Seino; Yuji Tanaka; Minoru Usui; Toshiki Usui; Yoshikatsu Yamamoto
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 1994-08-04
Filing date: 1995-08-04
Publication date: 2000-10-05
Anticipated expiration: 2015-08-05
Also published as: EP0695638A3; EP0695638A2; US5748214A; EP0695638B1; DE69514966D1

Description

Ein Tintenstrahlaufzeichnungskopf vom Abruf-Typ, der Zeichen und Muster durch Ausstoßen von Tintentröpfchen aus einer Mehrzahl von Düsen in Übereinstimmung mit Daten ausgibt, die von einer externen Vorrichtung ausgegeben werden, ist zur Verringerung von Geräusch und laufenden Unkosten vorteilhaft und kann eine Aufzeichnung hoher Qualität auf herkömmlichem Papier und Altpapier ausführen.
Im allgemeinen gibt es zwei Arten dieses Tintenstrahlaufzeichnungskopfes. Eine ist eine sogenannte Bubblejet-Art, wobei von einer Heizvorrichtung erzeugte Wärmeenergie verwendet wird, und die andere ist eine piezoelektrische Vibrationselement-Antriebsart, bei welcher die Verschiebung eines piezoelektrischen Vibrationselementes genutzt wird. Die letztere wird weiter in zwei Arten unterteilt: eine, die eine vertikale Vibration eines piezoelektrischen Vibrationselementes verwendet, und die andere, die eine Vibration durch Biegen eines plattenähnlichen piezoelektrischen Vibrationselementes verwendet.
Ein Aufzeichnungskopf, der eine vertikale Vibration verwendet, ist zur Verringerung eines Abstandes zwischen Düsenanordnungen vorteilhaft, da die Auflagefläche zwischen piezoelektrischen Vibrationselementen und der nachgiebigen Platte klein sein kann, weist aber auch Nachteile auf, da das Montageverfahren kompliziert wird.
Im Gegensatz dazu ist ein Aufzeichnungskopf, der die Vibration durch Biegung verwendet, vorteilhaft, da er das Montageverfahren vereinfacht, da Plattenelemente zur Bildung der piezoelektrischen Vibrationselemente und anderer Fließbahnen laminiert werden können, ist aber auch hinsichtlich des Problems nachteilig, daß die Querschnittsfläche einer Fließbahn groß ist und ein Tintenpool an der Fließbahn entsteht und eine Stauung von Luftblasen und dergleichen ermöglicht, da das piezoelektrische Vibrationselement größer als jenes im Aufzeichnungskopf mit vertikaler Vibration ist.
Wie z. B. in EP-A1-0 572 231 offenbart ist, das einen Tintenaufzeichnungskopf gemäß dem einleitenden Teil von Anspruch 1 offenbart, wird ein solcher Tintenstrahlaufzeichnungskopf durch Laminieren einer Mehrzahl von übereinanderliegenden Platten verschiedener Funktionen gebildet. Eine Betätigungseinheit mit Druckerzeugungskammern zur Erzeugung von Druck, der zum Ausstoßen von Tintentröpfchen notwendig ist, wird aus einer Druckerzeugungskammerbildungsplatte, einer nachgiebigen Platte und einer Abdichtungsplatte gebildet, wobei die nachgiebige Platte eine Oberfläche der Druckerzeugungskammerbildungsplatte abdichtet, und die Abdichtungsplatte die andere Oberfläche der Druckerzeugungskammerbildungsplatte abdichtet. Die Druckerzeugungskammerbildungsplatte definiert schlanke Druckerzeugungskammern, die auf einer flachen Oberfläche angeordnet sind. Die nachgiebige Platte hat piezoelektrische Vibrationselemente, die den Druckerzeugungskammern entsprechen. Die Abdichtungsplatte hat Verbindungsfließbahnen.
Eine Fließbahneinheit ist aus einer eingeschnürte Tintenzuführöffnungen bildenden Platte mit eingeschnürten Tintenzuführöffnungen sowie einer Tintenreservoirkammerbildungsplatte mit einer Tintenreservoirkammer und einer Düsenplatte mit Düsen gebildet. Diese beiden Einheiten sind zur Bildung eines Aufzeichnungskopfes laminiert, so daß die Tinte in der Reservoirkammer durch die eingeschnürten Tintenzuführöffnungen zu den Druckerzeugungskammern geleitet wird und die Tinte in den Druckerzeugungskammern aus den Düsen ausgestoßen wird.
Der Tintenstrahlaufzeichnungskopf dieser Konstruktion ist nicht nur leicht herzustellen, da der Kopf durch Laminieren der Mehrzahl von Platten gebildet wird, sondern weist auch eine hohe Abdichtbarkeit und Zuverlässigkeit der Tintenfließbahnen zwischen den verbundenen Elementen auf, da insbesondere der Betätigungsbereich durch integrales Sintern eines keramischen Materials hergestellt wird. Somit kann ein Tintenstrahlaufzeichnungskopf hergestellt werden, der bestens zur Massenproduktion geeignet und äußerst zuverlässig ist.
Da die Querschnittsfläche jeder Fließbahn in der keramischen Betätigungseinheit im Vergleich zu einer kleinen Tintenmenge, die durch das Ausstoßen eines Tintentröpfchens verbraucht wird, groß ist, neigt der Aufzeichnungskopf dieser Konstruktion eher zu einem Tintenstau oder zur Bildung eines Tintenpools in den Fließbahnen als der Aufzeichnungskopf, der piezoelektrische Vibrationselemente im Vertikalmodus verwendet. Dadurch entsteht das Problem, daß sich darin Luftblasen stauen.
Das Vorhandensein von Luftblasen entlang den Fließbahnen, wie zuvor beschrieben, blockiert die Tintenzufuhr zu der Druckerzeugungskammer, verringert die Tintenausstoßleistung durch Saugdruck, der zum Ausstoßen der Tinte erzeugt wird, oder verursacht ähnliche Unannehmlichkeiten.
Diese Luftblasen entstehen aus den folgenden Gründen. Luftblasen bleiben in den Fließbahnen, wenn die Tinte das erste Mal von einem Tintentank dem Aufzeichnungskopf zugeführt wird, dringen von einem Verbindungsbereich zu dem Tintentank ein, wenn der Tintentank durch einen neuen ersetzt wird, um Tinte nachzufüllen, oder werden aufgrund des Meniskus von Tinte in der Düse erzeugt, der aufgrund einer Vibration oder dergleichen während des Drucks gebrochen wird.
Ein Verfahren zum Ableiten der Luftblasen aus dem Aufzeichnungskopf ist das Einbauen einer Pumpe in einem kastenartigen Gehäuse einer Tintenstrahlaufzeichnungsvorrichtung. Das heißt, wenn der Tintentank durch einen neuen ersetzt wird, oder wenn eine Tintenausstoßanomalität auftritt, wird die Pumpe angetrieben, um einen Unterdruck auf die Düse auszuüben, so daß die Tinte ausgepreßt wird. Mit diesem Verfahren können die Luftblasen aus der Düse abgeleitet werden, indem die Luftblasen mit einem größeren Strom als einem Tintentröpfchenstrahl zum Drucken mitgeführt werden.
Selbst bei einer solchen erzwungenen Ableitung der Tinte ist es dennoch äußerst schwierig, Luftblasen aus einer Region zu entfernen, in welcher die Tinte aus der schmalen Öffnung einer eingeschnürten Tintenzuführöffnung in die Druckerzeugungskammer ausgestoßen wird, da aufgrund eines starken Tintenstromes während der erzwungenen Ableitung von Tinte ein Wirbel entsteht, und dieser Wirbel die Luftblasen in dieser Region aufnimmt, oder da ein Tintenpool in dieser Region entsteht. Zusätzlich steigt die Menge an verbrauchter Tinte, was auch die laufenden Unkosten der Vorrichtung erhöht.
Die vorliegende Erfindung versucht, diese Probleme zu beheben. Die Aufgabe wird durch einen Tintenstrahlaufzeichnungskopf gemäß dem unabhängigen Anspruch 1 gelöst.
Weitere Vorteile, Merkmale, Aspekte und Einzelheiten der Erfindung gehen aus den abhängigen Ansprüchen, der Beschreibung und den beiliegenden Zeichnungen hervor.
Die vorliegende Erfindung betrifft einen Tintenstrahlaufzeichnungskopf vom Abruf-Typ, der ein Tintentröpfchen bei Empfang eines Einganges von Druckdaten ausstößt, und mit diesem Tintentröpfchen einen Punkt auf Aufzeichnungspapier bildet. Insbesondere betrifft die Erfindung einen Tintenstrahlaufzeichnungskopf, der durch Verbindung eines dünnen Streifens eines piezoelektrischen Vibrationselementes, das im Biegemodus vibriert, mit einem Teil einer Druckerzeugungskammer, die mit einer Düse in Verbindung steht, gebil det wird, und der ein Tintentröpfchen erzeugt, indem das piezoelektrische Vibrationselement veranlaßt wird, die Druckerzeugungskammer zusammenzuziehen, wobei der Tintenstrahlaufzeichnungskopf durch integrales Laminieren einer Abdichtungsplatte, einer Druckerzeugungskammerbildungsplatte und einer nachgiebigen Platte gebildet wird.
Eine Aufgabe der Erfindung ist daher die Bereitstellung eines Tintenstrahlaufzeichnungskopfes, der die Stauung von Luftblasen in den Fließbahnen soweit wie möglich verringern kann.
Eine weitere Aufgabe der Erfindung ist die Bereitstellung eines Tintenstrahlaufzeichnungskopfes, der zuverlässig Luftblasen in den Fließbahnen entfernen, das Herstellungsverfahren vereinfachen und die Produktionsrate unabhängig von den abgestuften Abschnitten erhöhen kann, die aufgrund einer ungenauen Positionierung beim Laminieren der Platten während des Herstellungsverfahrens entstehen.
Eine weitere Aufgabe der Erfindung ist die Bereitstellung eines Tintenstrahlaufzeichnungskopfes, der eine Verbindungsstruktur zur zuverlässigen Zufuhr der Tinte von einer externen Quelle zu dem Tintenstrahlaufzeichnungskopf aufweist.
Ein Tintenstrahlaufzeichnungskopf gemäß einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der Erfindung wird integral gebildet durch sequentielle Laminierung:
einer nachgiebigen Platte zur Bildung eines Vibrationselementes mit auf einer Oberfläche davon ausgebildeten piezoelektrischen Vibrationselementen;
einer Druckerzeugungskammerbildungsplatte zur Bildung von Druckerzeugungskammern, wobei eine Oberfläche davon von der nachgiebigen Platte abgedichtet ist;
einer Abdichtungsplatte, die die andere Oberfläche der Druckerzeugungskammerbildungsplatte abdichtet und Verbindungsbahnen und Tintenzuführverbindungsbahnen aufweist, wobei eine Verbindungsbahn und eine Tintenzuführverbindungsbahn mit der entsprechenden Druckerzeugungskammer an beiden Endbereichen der Druckerzeugungskammer kommunizieren;
einer eingeschnürte Tintenzuführöffnungen bildenden Platte, die erste eingeschnürte Tintenzuführöffnungen aufweist, um einen Fluidwiderstand an den zu den Druckerzeugungskammern führenden Tintenzuführbahnen anzulegen, sowie Verbindungsbahnen, die mit den Druckerzeugungskammern kommunizieren;
einer Reservoirkammerbildungsplatte die eine mit den Druckerzeugungskammern über die eingeschnürten Tintenzuführöffnungen kommunizierende Reservoirkammer sowie mit den Druckerzeugungskammern kommunizierende Verbindungsbahnen aufweist; und
einer Düsenplatte, die die andere Oberfläche der Reservoirkammerbildungsplatte abdichtet und Düsen aufweist, die mit den Druckerzeugungskammern über die Verbindungsbahnen verbunden sind.
Bei einem solchen Aufzeichnungskopf ist jede Tintenzuführverbindungsbahn derart ausgebildet, daß ein Ende davon außerhalb einer Region angeordnet ist, die der Druckerzeugungskammer in einer Region zugewandt ist, die der Reservoirkammer zugewandt ist; und jede erste eingeschnürte Tintenzuführöffnung ist an einem Bereich der Tintenzuführverbindungsbahn angeordnet, der am weitesten von der Druckerzeugungskammer entfernt ist.
Da die Druckerzeugungskammer und die eingeschnürte Tintenzuführöffnung miteinander durch die schmale Tintenzuführ verbindungsbahn verbunden sind, wächst ein Tintenstrahlfluß von der eingeschnürten Tintenzuführöffnung zu einem starken Strom an, so daß Luftblasen, die dazu neigen, sich in der Nähe der eingeschnürten Tintenzuführöffnung zu stauen, abgeleitet werden können. Zusätzlich kann ein solcher starker Strom die Luftblasen auch dann entfernen, wenn abgestufte Bereiche in der Tintenzuführverbindungsbahn vorhanden sind. Das heißt, die Luftblasen können abgeleitet werden, selbst wenn abgestufte Bereiche aufgrund von Herstellungsfehlern entstehen.
Fig. 1 ist eine perspektivische Ansicht, die das Aussehen einer Kopfeinheit zeigt, die ein Hauptteil eines Tintenstrahlaufzeichnungskopfes der vorliegenden Erfindung ist, wobei die Darstellung von der Seite der Düsen betrachtet wird;
Fig. 2 ist eine perspektivische Ansicht, die das Aussehen der in Fig. 1 dargestellten Kopfeinheit zeigt, wobei die Darstellung von der Rückseite der Kopfeinheit betrachtet wird;
Fig. 3 ist eine perspektivische Ansicht, welche die in Fig. 1 dargestellte Kopfeinheit in einer nicht zusammengebauten Form zeigt;
Fig. 4(A) bis (C) sind Diagramme, die ein Herstellungsverfahren einer Betätigungseinheit zeigen;
Fig. 5 ist eine Schnittansicht, die eine Kopfeinheit zeigt, die ein Ausführungsbeispiel der Erfindung darstellt;
Fig. 6 ist eine Draufsicht, die zeigt, wie eine Reservoirkammer und Druckerzeugungskammern verbunden sind;
Fig. 7 ist ein Diagramm, das eine optimale Größe einer Tintenzuführverbindungsbahn veranschaulicht;
Fig. 8 ist eine perspektivische Ansicht einer Kopfeinheit, die ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung darstellt, in ihrer nicht zusammengebauten Form;
Fig. 9 ist eine Schnittansicht der in Fig. 8 dargestellten Kopfeinheit;
Fig. 10 ist eine Draufsicht, die ein Verhältnis zwischen einer Reservoirkammer und Druckerzeugungskammern in der in Fig. 8 dargestellten Kopfeinheit zeigt;
Fig. 11 ist eine Draufsicht, die ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung mittels eines Verhältnisses zwischen einer Reservoirkammer und Druckerzeugungskammern zeigt;
Fig. 12(A) und (B) sind Schnittansichten, die ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung in Form von Querschnittstrukturen in der Nähe einer Druckerzeugungskammer bzw. einer blinden Druckerzeugungskammer zeigen;
Fig. 13 ist eine Draufsicht, die ein Verhältnis zwischen einer Reservoirkammer und Druckerzeugungskammern in der in Fig. 12 dargestellten Kopfeinheit zeigt;
Fig. 14 ist eine Schnittansicht, die eine Struktur zur Befestigung einer Kopfeinheit an einem Kopfhalter zeigt;
Fig. 15(A) und (B) sind eine Schnittansicht bzw. Draufsicht, die eine Struktur zur Verbindung von Tintenzuführöffnungen der Kopfeinheit mit einer Verbindungsöffnung des Kopfhalters zeigen;
Fig. 16 ist eine vergrößerte Ansicht, die ein Verhältnis zwischen einem Ende der Verbindungsöffnung des Kopfhalters und den Tintenzuführöffnungen der Kopfeinheit zeigt;
Fig. 17 ist eine Schnittansicht, die eine Struktur zur Befestigung einer Kopfeinheit an einem Kopfhalter zeigt, die ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung darstellt; und
Fig. 18 ist eine perspektivische Ansicht, die eine Kopfeinheit zeigt, die ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung darstellt.
Fig. 1 und 2 zeigen einen Tintenstrahlaufzeichnungskopf, der ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist. Eine Kopfeinheit 1 wird durch Laminieren einer plattenähnlichen Betätigungseinheit 2 und einer ebenso plattenähnlichen Fließbahneinheit 3, mit ausreichender Fläche zur Befestigung der Betätigungseinheit 2 an ihrer Oberfläche, gebildet. Auf einer Oberfläche der Betätigungseinheit 2 befindet sich ein biegsames Kabel 5 zum Anlegen eines Antriebssignals an ein piezoelektrisches Vibrationselement.
Die Betätigungseinheit 2 wird durch sequentielles Laminieren einer Abdichtungsplatte 11, einer Druckerzeugungskammerbildungsplatte 12 und einer nachgiebigen Platte 13 gebildet. Untere Elektroden 16, die jeweils den Druckerzeugungskammern 15 entsprechen, sind auf der nachgiebigen Platte 13 ausgebildet, und piezoelektrische Vibrationselemente 17 sind auf den unteren Elektroden 16 ausgebildet, so daß sie jeweils den Druckerzeugungskammern 15 entsprechen. An der oberen Oberfläche der piezoelektrischen Vibrationselemente 17 befindet sich eine obere Elektrode 18. Daher wird ein individuelles Antriebssignal zum selektiven Antreiben eines piezoelektrischen Vibrationselementes 17 an eine der Elektroden, z. B. an die untere Elektrode 16, angelegt und die andere Elektrode, die obere Elektrode 18 in diesem Ausführungsbeispiel, dient als gemeinsame Elektrode, so daß das piezoelektrische Vibrationselement 17 an einer vorbestimmten Position zur Vibration durch Biegung angetrieben werden kann.
Die unteren Elektroden 16 sind mit einer flexiblen Leiterplatte (FPC) 5 durch Verbindungsanschlüsse 19 verbunden, die an einem Ende ausgebildet sind, so daß die unteren Elektroden mit einer nicht dargestellten, externen Antriebsschaltung verbunden sind. Die Druckerzeugungskammern 15 zur Erzeugung des Tintendrucks, der zum Ausstoßen von Tintentröpfchen notwendig ist, sind durch die Bereitstellung von Anordnungen schlanker Durchgangslöcher in der Oberfläche der Druckerzeugungskammerbildungsplatte 12 ausgebildet. Die Abdichtungsplatte 11 dient als Bodenplatte zum Abdichten einer Oberfläche der Druckerzeugungskammern 15.
In dieser Abdichtungsplatte 11 sind Düsenverbindungsbahnen 20 und schlanke Tintenzuführverbindungsbahnen 22 ausgebil det. Jede Düsenverbindungsbahn 20 ist mit einer entsprechenden Düse 21 zum Ausstoßen eines Tintentröpfchens verbunden, und jede Tintenzuführverbindungsbahn 22 leitet die Tinte, die von einer externen Quelle zugeführt wird, zu einer entsprechenden Druckerzeugungskammer 15. Jede Druckerzeugungskammer 15 ist mit der Tintenzuführverbindungsbahn 22 nahe einem ihrer Enden, und mit der Düsenverbindungsbahn 20 an ihrem anderen Ende verbunden.
Andererseits wird die Fließbahneinheit 3 durch sequentielles Laminieren einer Düsenplatte 30, einer Reservoirkammerbildungsplatte 23 und einer eingeschnürte Tintenzuführöffnungen bildenden Platte 24 gebildet. Die Reservoirkammerbildungsplatte 23 hat ein Durchgangsloch zur Begrenzung einer Reservoirkammer 25. Die Reservoirkammerbildungsplatte 23 definiert die Reservoirkammer 25, indem eine ihrer Oberflächen von der Düsenplatte 30 abgedichtet wird und die andere Oberfläche von der eingeschnürte Tintenzuführöffnungen bildenden Platte 24 abgedichtet wird. Die Reservoirkammer 25 dient als Verteiler zum Verteilen der Tinte, die von der externen Quelle durch eine Tintenzuführöffnung 27 zugeführt wird, in die entsprechenden Druckerzeugungskammern 15.
Eingeschnürte Tintenzuführöffnungen 26 sind in der eingeschnürte Tintenzuführöffnungen bildenden Platte 24 ausgebildet. Jede eingeschnürte Tintenzuführöffnung 26 verbindet die Reservoirkammer 25 mit einem Ende jeder Tintenzuführverbindungsbahn 22. Die Tintenzuführöffnung 27, die Tinte von einem nicht dargestellten Tintentank in die Reservoirkammer 25 leitet, ist an einem Oberflächenbereich der eingeschnürte Tintenzuführöffnungen bildenden Platte 24 angeordnet, dessen Oberfläche nicht von der Betätigungseinheit 2 überdeckt ist.
Die Düsen 21, 21 zum Ausstoßen von Tintentröpfchen sind in der Düsenplatte 30 so ausgebildet, daß sie den Druckerzeu gungskammern 15 entsprechen. Düsenverbindungsbahnen 28, 29 sind in der eingeschnürte Tintenzuführöffnungen bildenden Platte 24 bzw. in der Reservoirkammerbildungsplatte 23 den Düsen 21 entsprechend ausgebildet, so daß jede Düse 21 und die entsprechende Druckerzeugungskammer 15 miteinander verbunden werden können.
In diesem Ausführungsbeispiel hat eine Betätigungseinheit 2 zwei gegenüberliegende Anordnungen von Druckerzeugungskammern 15. Die Druckerzeugungskammern in einer Anordnung sind um die Hälfte des Anordnungsabstandes in bezug auf die Druckerzeugungskammern in der anderen Anordnung entlang der Länge der Anordnungen versetzt. Gleichzeitig sind die Düsenanordnungen 21, die den Anordnungen der Druckerzeugungskammern 15 entsprechen, um den halben Düsenanordnungsabstand zueinander versetzt. Dadurch ist der Düsenabstand, aus der Blattvorschubrichtung betrachtet, gleich dem halben Druckerzeugungskammerabstand, wodurch die Druckpunktdichte das Zweifache der Düsenanordnungsdichte beträgt.
Sowohl die eingeschnürten Tintenzuführöffnungen 26 als auch die Düsenverbindungsbahnen 28, die sich zu einer Oberfläche der Fließbahneinheit 3 öffnen, sind so geformt, daß sie jeweils in Deckung mit den Tintenzuführverbindungsbahnen 22 und den Düsenverbindungsbahnen 20 der Betätigungseinheit 2 angeordnet sind, so daß eine Fließbahn zwischen beiden Einheiten 2, 3 durch Verbinden der Betätigungseinheit 2 mit der Fließbahneinheit 3 gebildet werden kann, wobei die erstgenannte die letztgenannte überdeckt.
Ein besonderes Beispiel 40 der obengenannten Fließbahneinheit wird anschließend beschrieben.
In der Düsenplatte 30, die aus einer rostfreiem Stahltafel besteht, deren Dicke im Bereich von 50 bis 150 um liegt, sind zwei Anordnungen von Düsen 21 derart ausgebildet, daß die Düsen 21 in jeder Anordnung in einem Abstand von 256 um beabstandet sind. Jede Düse 21 ist eine konisch zulaufende Öffnung, deren Durchmesser im Bereich von 30 bis 50 um liegt. In der Reservoirkammerbildungsplatte 23 werden das Durchgangsloch zur Begrenzung der Reservoirkammer 25 und die Düsenverbindungslöcher 29 durch Pressen einer rostfreien Stahltafel gebildet, deren Dicke im Bereich von 100 bis 150 um liegt. Es kann festgehalten werden, daß der Durchmesser des Düsenverbindungslochs 29 vorzugsweise auf die Dicke der Stahltafel, oder etwa 150 um, eingestellt ist.
In der eingeschnürte Tintenzuführöffnungen bildenden Platte 24 werden die eingeschnürten Tintenzuführöffnungen 26 und die Düsenverbindungsdurchgangslöcher 28 durch Pressen einer rostfreien Stahltafel gebildet, deren Dicke im Bereich von 50 bis 150 um liegt. Die Fluidimpedanz jeder eingeschnürten Tintenzuführöffnung 26 ist auf einen Wert gleich oder größer der Fluidimpedanz der Düse 21 eingestellt, so daß ein Tintenstrom, der durch den Druck der Druckerzeugungskammer 15 erzeugt wird, zu der Düse 21 gelenkt wird, wobei kontrolliert wird, daß der Tintenstrom nicht zu der Reservoirkammer 25 läuft.
In diesem Ausführungsbeispiel ist die Größe der eingeschnürten Tintenzuführöffnung 26 auf denselben Wert wie jene der Düse 21 eingestellt und läuft, im Querschnitt betrachtet, in die Dickenrichtung konisch zusammen. Die konisch zulaufende Öffnung bietet den Vorteil, daß nicht nur der kleinste Bereich des Durchmessers kleiner als die Dicke wird, sondern auch die Öffnung mit zufriedenstellender Genauigkeit gebildet wird. Der Durchmesser des Düsenverbindungsdurchgangslochs 28, der größer als jener des Düsenverbindungslochs 29 der Reservoirkammerbildungsplatte 23 und kleiner als die Breite der Druckerzeugungskammer 15 ist, liegt im Bereich von 200 bis 300 um. Aufgrund dieser Einstellungen kann die Fließbahn von der Druckerzeugungskammer 15 zu der Düse 21 eingeschnürt werden, so daß die Düsenseite der Fließbahn schmäler ist, wodurch eine Stauung von Blasen in der Fließbahn verhindert wird.
Diese drei Platten 24, 23, 30, welche die Fließbahneinheit 3 bilden, sind in laminierter Form miteinander verbunden, so daß die zusammengehörigen Durchgangslöcher in diesem Ausführungsbeispiel miteinander kommunizieren können. In diesem Ausführungsbeispiel wird ein Haftmittel, das aus Epoxidharz besteht, das durch die Tinte nicht korrodiert wird, für die Verbindung verwendet. Hart- und Weichlöten, Diffusionsschweißen, Kleben mit Haftmittel, Kleben mit einer ausgestanzten Klebefolie oder dergleichen können ebenso verwendet werden.
Obwohl diese Platten aus rastfreiem Stahl bestehen, kann jedes Material ausgewählt werden, so daß die Materialien den Funktionen der Platten in Kombination richtig angepaßt sind, solange ein solches Material nicht durch die Tinte korrodiert wird. Zum Beispiel können anorganische Materialien wie Keramik, Glas, Silizium, Metalle wie Nickel, und Kunststoffmaterialien, wie Polyimide, Polykarbonate oder Polysulfone verwendet werden.
Die Löcher können gebildet werden, indem Kunststoffplatten einem Laserstrahl-Bearbeitungsverfahren unter Verwendung eines Excimerlasers oder einem Elektro-Galvanoformungsverfahren unter Verwendung von Nickel unterzogen werden, da die Düsenplatte 30 und die eingeschnürte Tintenzuführöffnungen bildende Platte 24 relativ dünn sind und exakt geformte Löcher mit kleinem Durchmesser aufweisen müssen.
In diesem Ausführungsbeispiel muß die Fließbahneinheit 3, die auch als die Befestigungsplatte für die Betätigungseinheit 2 dient, äußerst steif sein. Daher kann vorzugsweise ein Metall verwendet werden, das sowohl Zähigkeit als auch Steifigkeit aufweist. Insbesondere für die Reservoirkammerbildungsplatte 23, die das Durchgangsloch aufweist, dessen Durchmesser größer als jene der anderen Platten ist, wird vorzugsweise eine dickere Platte als bei den anderen Platten verwendet, um für eine Steifigkeit zu sorgen.
Ein besonderes Beispiel der Betätigungseinheit 2 wird in der Folge beschrieben. Die Druckerzeugungskammerbildungsplatte 12 ist ein gesinterter Zirkondioxid- (ZrO&sub2;-) Körper, dessen Dicke 150 um beträgt. Eine Mehrzahl von Druckerzeugungskammern 15 ist mit einem Abstand von 564 um in zwei Anordnungen auf dieselbe Weise wie die Düsen 21 beabstandet. Die Breite jeder Druckerzeugungskammer 15 liegt im Bereich von 350 bis 450 um und die Länge liegt im Bereich von 1 bis 3 mm. Diese Dimensionen sind passend so gewählt, daß sie hinsichtlich der erforderlichen Tintentröpfchenmenge zur Bildung eines Punktes und einer Düsenanordnungsdichte und dergleichen optimal sind.
Die Abdichtungsplatte 11 ist ein gesinterter Zirkondioxidkörper, dessen Dicke 150 um beträgt, und ist mit einer Oberfläche der Druckerzeugungskammerbildungsplatte 12 verbunden, so daß die Oberfläche der Druckerzeugungskammern 15 abgedichtet ist. Der Durchmesser der Verbindungsbahn 20, die mit der entsprechenden Düse kommuniziert, ist mit etwa 300 um eingestellt.
Die nachgiebige Platte 13 ist ein gesinterter Zirkondioxidkörper, dessen Dicke im Bereich von 10 bis 20 um liegt, und ist mit der anderen Oberfläche zur Abdichtung der Druckerzeugungskammern 15 verbunden. Die unteren Elektroden 16 sind an der nachgiebigen Platte 13 so ausgebildet, daß sie den Druckerzeugungskammern 15 entsprechen. Auf den Oberflächen der unteren Elektroden 16 befinden sich die piezoelektrischen Vibrationselemente 17. Die piezoelektrischen Vibrationselemente 17 werden durch Laminieren von Streifen gebildet, wobei jeder Streifen aus einem piezoelektrischen Keramikmaterial wie Bleititanatzirkonat besteht und eine Breite, die 80 bis 90% der Breite der Druckerzeugungskam mer 15 beträgt, und eine Dicke, die im Bereich von 20 bis 40 um liegt, aufweist. Es kann festgehalten werden, daß andere Keramikmaterialien, wie Aluminiumoxid, Aluminiumnitrid, Bleititanatzirkonat anstelle von Zirkondioxid verwendet werden können.
Anschließend wird ein Verfahren zur Herstellung der obengenannten Betätigungseinheit beschrieben.
Wie in Fig. 4(A) dargestellt, werden eine Grünschicht 31, die zur nachgiebigen Platte 13 wird, eine Grünschicht 33, die zur Druckerzeugungskammerbildungsplatte 12 mit Durchgangslöchern 32 wird, welche die Druckerzeugungskammern 15 bilden, die im voraus von einer Presse ausgestanzt werden, und eine Grünschicht 34, die zur Abdichtungsplatte 11 mit den Verbindungslöchern 20, 22 (Fig. 3) wird, die im voraus von der Presse ausgestanzt werden, durch Druck verbunden und gemeinsam bei einer Temperatur im Bereich von 800 bis 1000ºC gesintert. Durch dieses Verfahren werden die nachgiebige Platte 13, die Druckerzeugungskammerbildungsplatte 12 und die Abdichtungsplatte 11 ohne Haftmittel miteinander verbunden.
Wie in Fig. 4(B) dargestellt, wird ein unteres Elektrodenmuster 35 durch Drucken eines Materials auf einen Bereich gebildet, der den Druckerzeugungskammern 15 entspricht, wobei das Material zumindest eine Art, die ausgewählt ist aus der Gruppe bestehend aus Platin, Palladium, und Legierungen wie Silberpalladium, Silberplatin und Platin-Palladium, als die Hauptzusammensetzung aufweist. Der derart bearbeitete Körper wird gesintert.
Wie in Fig. 4(C) dargestellt, wird danach ein piezoelektrisches Material 36, das zu dem piezoelektrischen Vibrationselement 17 wird, durch Drucken darauf laminiert und zur Vollendung der Herstellung der Betätigungseinheit 2 gesintert. In einem letzten Schritt wird die gemeinsame Elektrode 18, die aus Chrom, Gold, Nickel, Kupfer oder dergleichen besteht, durch Sputtern gebildet, so daß sie sich über die Mehrzahl von piezoelektrischen Vibrationselementen 17 erstreckt.
In der derart durch integrales Sintern gebildeten Betätigungseinheit sind die Druckerzeugungskammerbildungsplatte 12 mit der sehr subtilen Struktur und die nachgiebige Platte 13 und die Abdichtungsplatte 11, die dünn ist, durch Sintern fest miteinander verbunden. Daher weist die Betätigungseinheit eine ausgezeichnete Luftundurchlässigkeit und Korrosionsbeständigkeit gegenüber Tinte auf. Zusätzlich ist das Herstellungsverfahren extrem einfach und bietet eine zufriedenstellende Genauigkeit, da nur das Laminieren der Tonplatten, das Auftragen der pastenartigen Materialien zur Bildung der Elektroden und der piezoelektrischen Vibrationselemente durch Drucken und das Sintern des derart bearbeiteten Körpers notwendig ist.
Obwohl das obengenannte Verfahren zur Bildung der Betätigungseinheit durch integrales Sintern ausgezeichnet ist, versteht sich, daß die Betätigungseinheit durch Kombinieren herkömmlicher Verfahren, wie einem Verfahren zum Verbinden von Platten aus Metall oder Harz durch Kleben, Schweißen oder Schmelzen, einem Verfahren zum Ätzen von Platten aus Glas oder Silizium, einem Verfahren des Kunststofformens, und einem Verfahren zum Befestigen geschnittener piezoelektrischer Vibrationselemente auf einer Vibrationsplatte, gebildet werden kann.
Die Fließbahnkonstruktion in der Fließbahneinheit 3 und der Betätigungseinheit 2 wird als nächstes mit Bezugnahme auf die Fig. 5-7 beschrieben.
Die Tinte in dem externen Tintentank fließt über die Tintenzuführöffnung 27, die Reservoirkammer 25, die entsprechende eingeschnürte Tintenzuführöffnung 26 und die entsprechende Tintenzuführverbindungsbahn 22 in eine Druckerzeugungskammer 15. Ein solcher Tintenstrom in Richtung der Druckerzeugungskammer 15 wird durch Ausüben eines Unterdrucks, z. B. mit einer Pumpe, erzeugt, indem ein Kappenelement mit der Düsenplatte 30 in elastischen Kontakt gebracht wird, um die Tinte das erste Mal zu laden und nicht nur Luftblasen und Blasen, die sich in den Fließbahnen gestaut haben, sondern auch schlecht gewordene Tinte, deren Viskosität nach dem Laden zugenommen hat, abzuleiten.
Wenn andererseits die Tinte durch das Drucken verbraucht wurde, wird der Tintenstrom als Reaktion auf das Anlegen einer Spannung an ein entsprechendes piezoelektrisches Vibrationselement 17 erzeugt. Das heißt, das piezoelektrische Vibrationselement 17 zieht sich nach innen zusammen und die nachgiebige Platte 13 wird durch Biegen in einer derartige Richtung verformt, daß die entsprechende Druckerzeugungskammer 15 zusammengezogen wird. Der in diesem Moment erzeugte Fluiddruck bewirkt, daß ein Tintentröpfchen aus der entsprechenden Düse 21 über die Düsenverbindungsbahnen 20, 28 von der Druckerzeugungskammer 15 ausgestoßen wird, und wenn die Druckerzeugungskammer 15 sich aufgrund der Entfernung des Signals wieder ausdehnt, wird die Tinte über die entsprechende eingeschnürte Tintenzuführöffnung 26 von der Reservoirkammer 25 in die Druckerzeugungskammer 15 geleitet.
Außerdem ist die eingeschnürte Tintenzuführöffnung 26 außerhalb jeder entsprechenden Druckerzeugungskammer 15, in Längsrichtung der Druckerzeugungskammer gesehen, wie in den Fig. 5-7 dargestellt ist, derart angeordnet, daß sie sich an der unteren Wand eines Endes der schmalen Tintenzuführverbindungsbahn 22 öffnet. Wenn die Tinte durch das Ausüben von Unterdruck auf die Düse 21 erzwungen ausgestoßen wird, trifft aufgrund dieser Struktur ein Strahlfluß, der an der Tintenzuführverbindungsbahn 22 durch die eingeschnürte Tintenzuführöffnung 26 erzeugt wird, einmal auf die obere Wand der Tintenzuführverbindungsbahn 22, die der eingeschnürten Tintenzuführöffnung 26 zugewandt ist, d. h., auf die Druckerzeugungskammerbildungsplatte 12, fließt entlang der Länge der Tintenzuführverbindungsbahn 22 und strömt schließlich in die Druckerzeugungskammer 15, indem er seine Richtung nach oben an dem anderen Ende der Tintenzuführverbindungsbahn 22 ändert, d. h., an dem Verbindungsteil mit der Druckerzeugungskammer 15.
Somit strömt der Tintenstrahlfluß entlang der Tintenzuführverbindungsbahn 22, während er zu einem starken Strom umgewandelt wird, wodurch der Tintenstrom die Richtung sanft ändern kann, ohne einen Wirbel zu bilden, und somit Luftblasen abgeleitet werden können, die mit einem solchen starken Tintenstrom mitgeführt werden.
Luftblasen stauen mit Wahrscheinlichkeit an einem Endbereich F der Tintenzuführverbindungsbahn 22 an der Seite der Druckerzeugungskammer 15, abhängig von der Länge der Tintenzuführverbindungsbahn 22. Angesichts dieser Tatsache wird das Vorhandensein von Luftblasen an dem Endbereich F durch Andern der Längen L1, L2 der Tintenzuführverbindungsbahn 22 kontrolliert, wie in Fig. 7 dargestellt ist. Es kann festgehalten werden, daß die nachgiebige Platte 13 aus einer transparenten Platte, wie einer Glasplatte, gebildet ist, um das Vorhandensein von Luftblasen beobachten zu können.
Die Dimensionen der eingeschnürten Tintenzuführöffnung 26 sind wie folgt. Der Durchmesser des kleinsten Bereichs der eingeschnürten Tintenzuführöffnung 26 ist 30 um; die Länge des zylindrischen Bereichs ist 20 um; der konisch zulaufende Winkel des konisch zulaufenden Bereichs ist 35º Gesamtwinkel; und die Gesamtlänge der eingeschnürten Tintenzuführöffnung 26 (die Dicke der Platte) ist 60 um. Des weiteren sind die Dimensionen der Tintenzuführverbindungsbahn 22 wie folgt. Die Länge ist 200 um; und die Höhe (die Dicke der Platte + die Dicke des Haftmittels) ist 180 um.
Ob die Luftblasen abgeleitet werden können, wurde unter Ausübung eines Unterdrucks auf die Düse 21 beobachtet, wobei Luftblasen in die Tintenzuführverbindungsbahn 22 geleitet wurden. Tabelle 1
Es kann festgehalten werden, daß das Symbol "x" anzeigt, daß die Luftblasen nicht abgeleitet wurden; das Symbol "Δ" anzeigt, daß ein Teil der Luftblasen abgeleitet wurde; und das Symbol "o" anzeigt, daß die Luftblasen vollständig abgeleitet wurden.
Aus den obengenannten Ergebnissen wurde verifiziert, daß die Längs L1 zwischen der eingeschnürten Tintenzuführöffnung 26 und der Wandoberfläche der Druckerzeugungskammer 15 wichtig ist, und daß, wenn die Länge L1 gleich oder größer als die Querschnittsdimension (180 um) der Tintenzuführverbindungsbahn 22 ist, der Tintenstrom in der Tintenzuführverbindungsbahn 22 nicht zu der Druckerzeugungskammerbildungsplatte 12 und dergleichen abweicht und daher gleichförmig entlang dem gesamten Teil der Verbindungsbahn. 22 strömt, um dadurch die Luftblasen abzuleiten.
Fig. 8, 9 und 10 zeigen ein zweites Ausführungsbeispiel der Erfindung. In diesem Ausführungsbeispiel hat die eingeschnürte Tintenzuführöffnungen bildende Platte 24 zweite eingeschnürte Tintenzuführöffnungen 40 nahe den Druckerzeugungskammern 15 zusätzlich zu den obengenannten eingeschnürten Tintenzuführöffnungen 26, so daß die Tintenzuführverbindungsbahnen 22 mit einer Reservoirkammer 42 an zwei Positionen kommunizieren.
Jede eingeschnürte Tintenzuführöffnung 26 ist, ähnlich wie bei dem obengenannten Ausführungsbeispiel, außerhalb der entsprechenden Druckerzeugungskammer 15 in die Längsrichtung der Druckerzeugungskammer 15 angeordnet und öffnet sich an der unteren Wand eines Endbereichs der entsprechenden schlanken Tintenzuführverbindungsbahn 22. Jede zweite eingeschnürte Tintenzuführöffnung 40 ist so angeordnet, daß sie sich zu einem Bereich öffnet, an dem die Öffnung der entsprechenden Druckerzeugungskammer 15 jene der entsprechenden Tintenzuführverbindungsbahn 22 überlappt, und an welcher beide Elemente 15 und 22 miteinander verbunden sind. Die zweite eingeschnürte Tintenzuführöffnung 22 ist daher dem Endbereich der Druckerzeugungskammer 15 zugewandt, während die Tintenzuführverbindungsbahn. 22 dazwischen liegt. Durch die Anordnung der zweiten eingeschnürten Tintenzuführöffnung 40 können Luftblasen, die sich in Bereichen F und G stauen, die in Fig. 9 dargestellt sind, leichter abgeleitet werden. Zusätzlich wird der Tintenstrom in der Reservoirkammer 42 in die zwei eingeschnürten Tintenzuführöffnungen 26, 40 gegabelt, und dadurch wird der Tintenstrom in der Reservoirkammer 42 gleichmäßig, was zu einer Verbesserung der Luftblasen-Ableitungsleistung in der Tintenreservoirkammer 42 und somit zu einer Erholung des Tintenstroms durch die Ableitung einer kleinen Menge an Luftblasen beiträgt.
Außerdem dient die eingeschnürte Tintenzuführöffnung 26 zum effizienten Einleiten der Tinte in die Düse 21, indem das Entweichen des Drucks, der durch das Zusammenziehen der Druckerzeugungskammer 15 erzeugt wird, zu der Reservoirkammer 42 eingeschränkt wird, wie zuvor beschrieben wurde. Wenn zwei eingeschnürte Tintenzuführöffnungen vorgesehen sind, ist das Problem, daß die Antriebsspannung des piezoelektrischen Vibrationselementes 17 erhöht werden muß, oder ein ähnliches Problem zu behandeln, weil der Druck, der an der Druckerzeugungskammer 15 entsteht, zu der Reservoirkammer 42 entweicht, wodurch der Tintenstrom in die Düse 21 verringert wird.
Zur Lösung dieses Problems, d. h., zum effizienten Ableiten von Luftblasen ohne Verringerung der Tintenausstoßleistung, muß die Tintenmenge, die in und aus der zweiten eingeschnürten Tintenzuführöffnung 40 strömt, kleiner als jene der Tinte werden, die in von der ersten eingeschnürten Tintenzuführöffnung 26 in die Druckerzeugungskammer 15 strömt. Mit anderen Worten, der starke Tintenstrom an der zweiten eingeschnürten Tintenzuführöffnung 40 erzeugt in nachteiliger Weise einen Wirbel an dem Verbindungsbereich zwischen der Tintenzuführverbindungsbahn 22 und der Druckerzeugungskammer 15, und daher muß der Fluidwiderstand der zweiten eingeschnürten Tintenzuführöffnung 40 größer als jener der ersten eingeschnürten Tintenzuführöffnung 26 werden, so daß die Strömungsrate der Tinte an der zweiten eingeschnürten Tintenzuführöffnung 40 kleiner als jene der ersten eingeschnürten Tintenzuführöffnung 26 wird, vorzugsweise halb so groß wie jene an der ersten eingeschnürten Tintenzuführöffnung 26.
Der Fluidwiderstand ist im wesentlichen zu der vierten Potenz des Durchmessers des kleinsten Bereichs jeder der eingeschnürten Tintenzuführöffnungen 26, 40 umgekehrt proportional. Insbesondere wenn der Durchmesser des kleinsten Bereichs der ersten eingeschnürten Tintenzuführöffnung 26 35 um beträgt und der Durchmesser des kleinsten Bereichs der zweiten eingeschnürten Tintenzuführöffnung 40 30 um, dann ist das Strömungsratenverhältnis der erstgenannten zu der letztgenannten 2 zu 1. Da es wichtig ist, daß die Entstehung eines Wirbels kontrolliert ist, um Luftblasen effizient bei einer kleineren Tintenströmungsrate abzuleiten, hat sich des weiteren gezeigt, daß es wirksam ist, die zweite eingeschnürte Tintenzuführöffnung 40 zu der Reservoirkammer 42 konisch zulaufend auszubilden.
Fig. 11 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel einer Form der Anordnung der Tintenzuführverbindungsbahnen. Eine Mehrzahl von Tintenzuführverbindungsbahnen 45, 46, 47, die an den Endbereichen H der Reservoirkammer 25 angeordnet sind, erstrecken sich in die Breitenrichtung der Reservoirkammer 25, so daß eingeschnürte Tintenzuführöffnungen 48, 49, 50, die mit der Reservoirkammer 25 kommunizieren, über der Reservoirkammer 25 versetzt angeordnet werden können.
Gemäß diesem Ausführungsbeispiel kann der obengenannte Vorteil geboten werden. Das heißt, es kann nicht nur die Stauung von Luftblasen in den Verbindungsbahnen 45, 46, 47 verhindert werden, sondern es können auch Luftblasen in der Reservoirkammer 25 zuverlässig abgeleitet werden, da die Tinte von den Endregionen H, in welchen die Tinte zu einer Stauung neigt, gleichmäßig in die Druckerzeugungskammern 15 strömt.
Fig. 12(A) und (B) zeigen eine drittes Ausführungsbeispiel der Erfindung. Dieses Ausführungsbeispiel ist dadurch gekennzeichnet, daß es Druckerzeugungskammern 71 (siehe Fig. 13) verwendet, die an beiden Enden einer Reservoirkammer 55 als blinde Druckerzeugungskammern angeordnet sind, die nichts mit dem Drucken zu tun haben, sondern nur zum erzwungenen Ableiten der Tinte aus den entsprechenden Düsen verwendet werden. Fig. 12(A) zeigt eine Struktur in der Nähe einer üblichen Druckerzeugungskammer 51 zum Ausstoßen eines Tintentröpfchens zum Drucken, und Fig. 12(B) zeigt eine Struktur in der Nähe der obengenannten blinden Druckerzeugungskammer 71.
In Fig. 12(A) und (B) bezeichnet das Bezugszeichen 50 eine nachgiebige Platte, die auf ähnliche Weise wie jene in den vorangehenden Ausführungsbeispielen konstruiert ist. Antriebselektroden 52 sind an einer Oberfläche einer Zirkondioxidplatte ausgebildet, deren Dicke etwa 10 um beträgt, so daß sie den Druckerzeugungskammern 51 (die später beschrieben werden) gegenüberliegen, und piezoelektrische Vibrationselemente 53..., die jeweils aus PZT bestehen, sind darauf befestigt.
Das Bezugszeichen 54 bezeichnet eine Druckerzeugungskammerbildungsplatte, in welcher Durchgangslöcher in vorbestimmten Abständen auf einer Keramikplatte, wie einer Zirkondioxidplatte, ausgebildet sind, die eine Dicke zur Bildung der Druckerzeugungskammern 51 aufweist, z. B. eine Dicke von 150 um. Jedes Durchgangsloch entspricht der Form der Druckerzeugungskammer 51. Die Druckerzeugungskammern, die an den am äußersten Ende gelegenen Regionen E der Reservoirkammer 55 liegen, sind die blinden Druckerzeugungskammern 71.
Das Bezugszeichen 56 bezeichnet eine Abdichtungsplatte zum Abdichten der anderen Oberfläche der Druckerzeugungskammern 51 und der blinden Druckerzeugungskammern 71. Verbindungsbahnen 57, 77, welche die Druckerzeugungskammer 51 und die blinden Druckerzeugungskammer 71 mit der/den Düse(n) an der Oberfläche der Druckerzeugungskammern 51 und 71, die der/den Düse(n) gegenüberliegt, verbinden, sind ausgebildet, und schlanke Tintenzuführverbindungsbahnen 58, 78, die mit der Druckerzeugungskammer 51 und der blinden Druckerzeugungskammer 71 an dem anderen Ende der Druckerzeugungskammern 51 und 71 kommunizieren, sind ausgebildet.
Jede der Tintenzuführverbindungsbahnen 58, 78 ist derart, daß: eines ihrer Enden mit der Druckerzeugungskammer 51 oder der blinden Druckerzeugungskammer 71 in der Nähe der Wandoberfläche der Druckerzeugungskammer 51 oder der blinden Druckerzeugungskammer 71 wie zuvor beschrieben kommuniziert; das andere ihrer Enden von der Druckerzeugungskammer 51 oder der blinden Druckerzeugungskammer 71 absteht; und ihre Breite im wesentlichen gleich jener der Druckerzeugungskammer 51 oder der blinden Druckerzeugungskammer 71 ist, und ihre Länge etwa 1/10 jener der Druckerzeugungskammer 51 oder der blinden Druckerzeugungskammer 71 beträgt, so daß die in Form eines Strahlflusses eintretende Tinte an dem anderen Ende in die Druckerzeugungskammer 51 oder die blinde Druckerzeugungskammer 71 in Form eines Laminarstromes eingeleitet wird.
Das Bezugszeichen 59 bezeichnet eine eingeschnürte Tintenzuführöffnungen bildende Platte, die auch als die Einheitsbefestigungsplatte dient, an welcher die obengenannte Betätigungseinheit an einer vorbestimmten Position mit einem Haftmittel befestigt ist. Die eingeschnürte Tintenzuführöffnungen bildende Platte 59 hat eingeschnürte Tintenzuführöffnungen 61 und Verbindungsbahnen 62. Jede eingeschnürte Tintenzuführöffnung 61 ist unter der Tintenzuführverbindungsbahn 58 angeordnet, so daß sie von der Druckerzeugungskammer 51 entfernt und in der Nähe einer äußeren Wandoberfläche 60 der Reservoirkammer 55 liegt. Die eingeschnürte Tintenzuführöffnung 61 hat einen Fluidwiderstand, der im wesentlichen derselbe wie jener der Düse ist. Die eingeschnürte Tintenzuführöffnung 61 erweitert sich zu der Tintenzuführverbindungsbahn 58. Jede Verbindungsbahn 62 kommuniziert mit der Düse an einem Bereich, welcher der Verbindungsbahn 57 gegenüberliegt.
Andererseits befinden sich an einem Bereich der Platte 59, der jeder Tintenzuführverbindungsbahn 78 zugewandt ist, die mit der blinden Druckerzeugungskammer 71 kommuniziert, eine Mehrzahl von eingeschnürten Tintenzuführöffnungen 73, 73, 73. Diese Öffnungen 73, 73, 73 sind so angeordnet, daß sie in die Breitenrichtung der Reservoirkammer 55 verteilt sind, so daß der gesamte Fluidwiderstand kleiner als jener der eingeschnürten Tintenzuführöffnung 61 der Druckerzeugungskammer 51 wird, und daß ein Strom gleichmäßig in die Breitenrichtung der am äußersten Ende gelegenen Region E der Reservoirkammer 55 erzeugt wird. Des weiteren ist eine Verbindungsbahn 72, die mit Düsen 79 kommuniziert, an einem Bereich vorgesehen, der jeder Verbindungsbahn 77 zugewandt ist.
Das Bezugszeichen 63 bezeichnet eine Reservoirkammerbildungsplatte. Die Reservoirkammerbildungsplatte 63 wird hergestellt, indem ein Fenster und Verbindungslöcher 64, 74 in einer korrosionsbeständigen Platte, wie einer rostfreien Stahlplatte, ausgebildet werden, die eine Dicke zur Bildung der Reservoirkammer 55 aufweist, z. B. eine Dicke von 150 um. Das Fenster dient als Reservoirkammer 55 und die Verbindungslöcher 64, 74 kommunizieren mit der/den Düse(n).
Das Bezugszeichen 65 bezeichnet eine Düsenplatte. Die Düsenplatte 65 hat eine einzige Düse 66, die mit der entsprechenden Druckerzeugungskammer 51 an einer Seite nahe der Druckerzeugungskammer 51 kommuniziert, und eine Mehrzahl von Düsen 79, 79, 79, die mit einer einzigen blinden Druckerzeugungskammer 71 kommunizieren. Die eingeschnürte Tintenzuführöffnungen bildende Platte 59, die Reservoirkammerbildungsplatte 63 und die Düsenplatte 65 werden zu einer Fließbahneinheit zusammengefügt, wobei sie durch gebundene Schichten 67, 68, wie thermisch abgeschiedene Folien, einstückig befestigt werden.
Wenn in diesem Ausführungsbeispiel ein Antriebssignal an ein piezoelektrisches Vibrationselement 53 angelegt wird, biegt sich sie nachgiebige Platte 50, so daß sie zu der Druckerzeugungskammer 51 vorsteht, wodurch sich die Druck erzeugungskammer 51 zusammenzieht. Dadurch erreicht die Tinte in der Druckerzeugungskammer 51 die Düse 66 über die Durchgangslöcher 57, 64 und wird aus der Düse 66 in Form eines Tintentröpfchens ausgestoßen. Es kann festgehalten werden, daß die Tinte niemals aus den Düsen 79 ausgestoßen wird, da kein Antriebssignal an die blinden Druckerzeugungskammern 71 angelegt wird.
Wenn das Antriebssignal nach der Bildung des Tintentröpfchens entfernt wird, kehrt das piezoelektrische Vibrationselement 53 in die ursprüngliche Position zurück, wodurch die Druckerzeugungskammer 51 veranlaßt wird, sich auszudehnen. Dadurch wird soviel Tinte, wie durch die Bildung des Tintentröpfchens verbraucht wurde, über die eingeschnürte Tintenzuführöffnung 61 von der Reservoirkammer 55 in die Druckerzeugungskammer 51 geleitet. Der Druck wird danach durch Wiederholung dieses Prozesses ausgeführt.
Wenn andererseits die Tintenausstoßleistung beeinträchtigt ist oder wenn der Tintentank durch einen neuen ersetzt wird, werden Luftblasen, die aufgrund einer Verstopfung oder während des Austausches des Tintentanks in die Reservoirkammer 55 und in die Druckerzeugungskammer 51 eingedrungen sind, durch eine erzwungene Ableitung der Tinte aus den Düsen 66, 79 entfernt, während das Kappenelement auf die Düsenplatte 65 gespannt wird und ein Unterdruck auf die Düsenplatte 65 ausgeübt wird.
Wenn die Tinte durch Ausüben eines Unterdrucks auf diese Weise erzwungen abgeleitet wird, ermöglicht die eingeschnürte Tintenzuführöffnung 61, die mit jeder Druckerzeugungskammer 51 kommuniziert, die neben der Wandfläche 60 der Druckerzeugungskammer 55 angeordnet ist, daß die Tinte nahe der Wandoberfläche 60 durch adhäsiven, viskosen Widerstand in eine Richtung eingeleitet wird, die der Wandoberfläche 60 entgegengesetzt ist.
Da einseitige Ströme J, J, J (siehe Fig. 13) in der Druckerzeugungskammer 55 infolge der obengenannten Tintenbewegung erzeugt werden, werden Luftblasen, die in die Reservoirkammer 55 eingeleitet und darin gestaut werden, von den eingeschnürten Tintenzuführöffnungen 61 zu den Druckerzeugungskammern 51 geleitet, wobei sie mit diesen Strömen mitgeführt werden, und von den Düsen 66 an die Außenseite abgeleitet.
Da die Mehrzahl von eingeschnürten Tintenzuführöffnungen 73, die mit den blinden Druckerzeugungskammern 71 kommunizieren, an den am äußersten Ende gelegenen Regionen E der Reservoirkammer 55 über die Breite dieser Region gebildet sind, gelangen des weiteren Luftblasen ohne Stauung in die blinden Druckerzeugungskammern 71. Gleichzeitig werden auch starke Ströme K erzeugt, die entlang der Länge der Reservoirkammer 55 fließen. Dadurch werden Luftblasen, die dazu neigen, an den am äußersten Ende gelegenen Regionen E der Reservoirkammer 55 zu stauen, in die blinden Druckerzeugungskammern 71 gesaugt und rasch von der Mehrzahl von Düsen abgeleitet.
Ein Strom, der den Strom, der sich zu der am äußersten Ende gelegenen Region E bewegt, und die Ströme, die sich zu der Wandoberfläche 60 bewegen, zusammenfaßt, wird in der Reservoirkammer 55 erzeugt. Daher werden alle Luftblasen, die in die Reservoirkammer 55 eingedrungen sind und an einem der Bereiche der Reservoirkammer 55 vorhanden sind, durch diesen zusammengefaßten Strom von den eingeschnürten Tintenzuführöffnungen 61, 73 in die Druckerzeugungskammern 51 und die blinden Druckerzeugungskammern 71 geleitet und von den Düsen 66, 79 an die Außenseite abgeleitet.
Daher ist es nicht notwendig, die am äußersten Ende gelegenen Regionen E der Reservoirkammer 55 hinsichtlich der Ableitung von Luftblasen einzuschnüren, selbst wenn die Breite der Reservoirkammer 55 vergrößert ist, wodurch die Reservoirkammer 55 eine für das Ausstoßen eines Tintentröpfchens erforderliche Nachgiebigkeit erhält.
Fig. 14 zeigt eine beispielhafte Verbindungsstruktur zur Befestigung der obengenannten Kopfeinheit 1 an einem Kopfhalter 90, der als Befestigungselement dient, so daß die Kopfeinheit an einem Schlitten befestigt werden kann. Als Beispiel, wie in Fig. 18 dargestellt, dient eine Kopfeinheit 104, in welcher eine Mehrzahl von Betätigungseinheiten, z. B. drei Betätigungseinheiten 101, 102, 103, an einer einzigen Fließbahneinheit 100 befestigt ist und Tinte von insgesamt sechs Tintenzuführöffnungen 27, 27, ... zuführt wird, d. h., zwei Tintenzuführöffnungen pro Betätigungseinheit.
Das Bezugszeichen 90 bezeichnet den Kopfhalter. An einem unteren Bereich des Kopfhalters 90 befindet sich ein vertiefter Bereich 91, der im wesentlichen mit dem äußeren Umfang der Kopfeinheit 104 übereinstimmt. An Positionen, die den Tintenzuführöffnungen 27, 27, ... der Kopfeinheit 104 zugewandt sind, befindet sich eine Verbindungsöffnung 94, die mit einer Tintenfließbahn 93 an deren Boden kommuniziert. Um den Umfang der Verbindungsöffnung 94 sind Kantenbereiche 94a, 94b angeordnet. Jeder der Kantenbereiche 94a, 94b steht etwas, z. B. um 40 um, von dem Boden 91a des vertieften Bereichs 91 vor und hat eine Breite von etwa 150 um.
Fig. 15 zeigt eine beispielhafte Verbindungsöffnung 94. Die Verbindungsöffnung 94 ist als ein schlanker vertiefter Bereich ausgebildet, der leicht nach unten zu seinen beiden Enden derart abgeschrägt ist, daß er zu der Tintenfließbahn 93 als Symmetrielinie L symmetrisch ist, die auch eine Symmetrielinie der Kopfeinheit 104 ist. Die Länge der Verbindungsöffnung 94 ist auf einen Wert eingestellt, der etwas kleiner als die Region ist, welche die Tintenzuführöffnungen 27, 27, ... enthält, so daß die am äußersten Ende gelegenen Bereiche 94c der Verbindungsöffnung 94 etwas über die entsprechenden Tintenzuführöffnungen 27, 27 reichen, wie in Fig. 16 dargestellt ist.
Des weiteren hat die Verbindungsöffnung 94 eine derartige Breite, daß sie jede Tintenzuführöffnung 27 an einer ihrer Seiten überlappt, und läuft zu ihren beiden Enden konisch zu. An den Bodenenden der Verbindungsöffnung 94 befinden sich die Kantenbereiche 94a, 94b, die etwas von den umgebenden Oberflächen, wie zuvor beschrieben, abstehen.
Wenn die Kopfeinheit 104 in den vertieften Bereich 91 des Kopfhalters 90 eingesetzt wird, nachdem ein Haftmittel 95 auf die Bodenfläche 91a des vertieften Bereichs 91 des Kopfhalters 90 aufgetragen wurde, wobei die Oberfläche 91a außerhalb der Verbindungsöffnung 94 angeordnet ist, werden bei dieser Konstruktion Positionierfortsätze 90d, 90d des Kopfhalters 90 in Positionierlöcher (nicht dargestellt) eingesetzt, die in der Kopfeinheit 104 ausgebildet sind, so daß die Kopfeinheit 104 an einer vorbestimmten Position eingerichtet werden kann.
Da die Kantenbereiche 94a, 94b, die etwas zu der Bodenfläche 91a vorstehen, entlang der Umfangskante der Verbindungsöffnung 94 ausgebildet sind, verhindern nicht nur diese Kantenbereiche 94a, 94b ein Ausfließen des Haftmittels 95 in die Verbindungsöffnung 94, sondern es nimmt auch ein Spalt 97 zwischen dem vertieften Bereich 91 und der Kopfeinheit 104 das Haftmittel 95 auf, selbst wenn das Haftmittel 95 während der Befestigung des Halters 90 an der Kopfeinheit 104 ausfließt. Dadurch kann die Fläche zum Verbinden der Tintenzuführöffnungen 27, 27, ... mit der Verbindungsöffnung 94 durch die Kantenbereiche 94a, 94b reguliert werden.
Wenn die Tinte durch das Drucken in dem derart konstruierten Aufzeichnungskopf verbraucht wird, fließt Tinte in einer nicht dargestellten Tintenpatrone über die Tintenzuführöffnungen 27, 27, ... der Kopfeinheit 104 in die Reservoirkammer 25.
Da die Verbindungsöffnung 94 so konstruiert ist, daß sie, in die Längsrichtung betrachtet, zu ihren am äußersten Ende gelegenen Bereichen 94c, 94c leicht konisch zuläuft, und so positioniert ist, daß sie in einem bestimmten Maß über die entsprechenden, am äußersten Ende gelegenen Tintenzuführbereiche 27, 27, ... reicht, besteht keine Wahrscheinlichkeit, daß der Tintenstrom stoppt, was bedeutet, daß es nicht wahrscheinlich ist, daß Luftblasen an den beiden am äußersten Ende gelegenen Bereichen 94c, 94c der Verbindungsöffnung 94 stauen. Da des weiteren einer der Kantenbereiche 94a, 94b, die über die Breite der Verbindungsöffnung 94 angeordnet sind, oder der Kantenbereich 94b in diesem Ausführungsbeispiel, so angeordnet ist, daß er fluchtend mit den Tintenzuführöffnungen 27, 27, ... ausgerichtet ist oder leicht über diese hinausragt, wird dafür gesorgt, daß die Tinte zumindest an der Seite der Tintenzuführöffnungen 27, 27, ... nicht staut, was dazu beiträgt, eine Stauung von Luftblasen zu verhindern, die den Druckvorgang beeinträchtigt.
Während die Kantenbereiche 94a, 94b der Verbindungsöffnung 94 etwas außerhalb des Tintenzuführbereichs 94 in dem obengenannten Ausführungsbeispiel angeordnet sind, kann das Ausfließen des Haftmittels zu der Verbindungsöffnung 94 kontrolliert werden, indem die Menge an aufgetragenem Haftmittel auf ein mögliches Maß verringert wird, selbst wenn eine Verbindungsöffnung 94 so gebildet wird, daß sie mit einer inneren Umfangsfläche 93a der Tintenfließbahn 93 übereinstimmt, wie in Fig. 17 dargestellt ist. Des weiteren ist es nicht notwendig, einen haftmittelaufnehmenden Spalt zwischen dem vertieften Bereich 91 des Halters 90 an einer Seite gegenüber der Tintenfließbahn 93 (an der linken Seite in der Darstellung von Fig. 17) und der Kopfeinheit 104 bereitzustellen, da diese Region von dem Tintenzuführweg entfernt liegt und somit das Ausfließen des Haftmittels in diese Region die Leistung des Aufzeichnungskopfs nicht beeinträchtigt.

Claims

1. Tintenstrahlaufzeichnungskopf mit:

einer Betätigungseinheit (2), die eine nachgiebige Platte (13) mit piezoelektrischen Vibrationselementen (17), eine Druckerzeugungskammerbildungsplatte (12), Druckerzeugungskammern (15) formend, sowie eine Abdichtungsplatte (11) aufweist, die eine Oberfläche der Druckerzeugungskammerbildungsplatte (12) abdichtet und Verbindungsbahnen (20) und Tintenzuführverbindungsbahnen (22) umfaßt; und

einer Fließbahneinheit (3), die eine eingeschnürte Tintenzuführöffnungen bildende Platte (24) mit eingeschnürten Tintenzuführöffnungen (26) sowie eine Tintenreservoirkammerbildungsplatte (23) mit einer Tintenreservoirkammer (25) und einer Düsenplatte (30) mit Düsen (21) aufweist,

wobei:

Tintenzuführverbindungsbahnen (22) ausgebildet sind, die die Druckerzeugungskammern (15) und die Tintenreservoirkammer (25) verbinden, und jede der eingeschnürten Tintenzuführöffnungen (26) jeweils in einer der Tintenzuführverbindungsbahnen (22) positioniert ist,

dadurch gekennzeichnet, daß

die Tintenzuführverbindungsbahnen (22) derart ausgebildet sind, daß ein Ende davon außerhalb einer Region angeordnet ist, die der Druckerzeugungskammer (15) in einer Region zugewandt ist, die der Reservoirkammer (25) zugewandt ist, und

jede eingeschnürte Tintenzuführöffnung (26) an einem Bereich der Tintenzuführverbindungsbahn (22) angeordnet ist, der am weitesten von der Druckerzeugungskammer (15) entfernt ist.

2. Tintenstrahlaufzeichnungskopf gemäß Anspruch 1, der integral durch sequentielle Laminierung einer nachgiebigen Platte (13) zur Bildung eines Vibrationselements mit auf einer Oberfläche davon ausgebildeten piezoelektrischen Vibrationselementen (17);

einer Druckerzeugungskammerbildungsplatte (12) zur Bildung von Druckerzeugungskammern (15), wobei eine Oberfläche davon von der nachgiebigen Platte (13) abgedichtet ist;

eine Abdichtungsplatte (11), die die andere Oberfläche der Druckerzeugungskammerbildungsplatte (12) abdichtet und Verbindungsbahnen (20) und Tintenzuführverbindungsbahnen (22) aufweist, wobei eine Verbindungsbahn (20) und eine Tintenzuführverbindungsbahn (22) mit der entsprechenden Druckerzeugungskammer (15) an beiden Endbereichen der Druckerzeugungskammer (15) kommunizieren;

einer eingeschnürte Tintenzuführöffnungen bildenden Platte (24), die erste eingeschnürte Tintenzuführöffnungen (26) aufweist, um einen Fluidwiderstand an den zu den Druckerzeugungskammern (15) führenden Tintenzuführbahnen (22) anzulegen, sowie Verbindungsbahnen, die mit den Druckerzeugungskammern kommunizieren;

einer Reservoirkammerbildungsplatte (23), die eine mit den Druckerzeugungskammern (15) über die eingeschnürten Tintenzuführöffnungen (26) kommunizierende Reservoirkammer (25) sowie mit den Druckerzeugungskammern (15) kommunizierende Verbindungsbahnen aufweist; und

einer Düsenplatte (30), die die andere Oberfläche der Reservoirkammerbildungsplatte (23) abdichtet und Düsen (21) aufweist, die mit den Druckerzeugungskammern (15) über die Verbindungsbahnen verbunden sind, gebildet ist, wobei

jede Tintenzuführverbindungsbahn (22) derart ausgebildet ist, daß ein Ende davon außerhalb einer Region angeordnet ist, die der Druckerzeugungskammer (15) in einer Region zugewandt ist, die der Reservoirkammer (25) zugewandt ist; und

jede erste eingeschnürte Tintenzuführöffnung (26) an einem Bereich der Tintenzuführverbindungsbahn (22) angeordnet ist, der am weitesten von der Druckerzeugungskammer (15) entfernt ist.

3. Tintenstrahlaufzeichnungskopf gemäß Anspruch 1 oder 2, bei dem sowohl die Tintenzuführverbindungsbahnen (22) als auch die ersten eingeschnürten Tintenzuführöffnungen (26) als in der Abdichtungsplatte (11) bzw. in der eingeschnürte Tintenzuführöffnungen bildenden Platte (24) ausgebildete leere Räume festgelegt sind; und diese Platten derart laminiert sind, daß die Druckerzeugungskammerbildungsplatte (12) dazwischen angeordnet ist.

4. Tintenstrahlaufzeichnungskopf gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem die nachgiebige Platte (13), die Druckerzeugungskammerbildungsplatte (12) mit Fenstern zur Festlegung der Druckerzeugungskammern (15), und die Abdichtungsplatte (11) als ein integral gesinterter keramischer Körper durch Laminierung von Grünschichten (31, 33, 34) gebildet sind; und

die piezeoelektrischen Vibrationselemente (17) auf einer Oberfläche der nachgiebigen Platte (13) derart ausgebildet sind, daß sie den Druckerzeugungskammern (15) entsprechen.

5. Tintenstrahlaufzeichnungskopf gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem eine Länge von der ersten eingeschnürten Tintenzuführöffnung (26) zu einer Position, an der die Tintenzuführverbindungsbahn (22) mit der Druckerzeugungskammer verbunden ist, auf einen Wert eingestellt ist, der der Querschnittsdimension der Tintenzuführverbindungsbahn entspricht oder größer ist.

6. Tintenstrahlaufzeichnungskopf gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem zweite eingeschnürte Tintenzuführöffnungen (48, 49, 50) an Positionen der Tintenzuführverbindungsbahnen (22) ausgebildet sind, die den Druckerzeugungskammern (15) in der eingeschnürte Tintenzuführöffnungen bildenden Platte (24) entsprechen.

7. Tintenstrahlaufzeichnungskopf gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem jede zweite eingeschnürte Tintenzuführöffnung (48, 49, 50) einen Fluidwiderstand aufweist, der größer als derjenige der ersten eingeschnürten Tintenzuführöffnung (26) ist.

8. Tintenstrahlaufzeichnungskopf gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem jeder der ersten und der zweiten eingeschnürten Tintenzuführöffnungen (26, 48, 49, 50) konisch zulaufend ausgebildet ist.

9. Tintenstrahlaufzeichnungskopf gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem eine Vielzahl von Tintenzuführverbindungsbahnen (22), die zu Regionen der Reservoirkammer (25) gehören, die an dessen äußersten Ende gelegen sind, Längen aufweisen, die derart konfiguriert sind, daß sie versetzt entlang der Breite der Reservoirkammer (25) angeordnet sind.

10. Tintenstrahlaufzeichnungskopf gemäß Anspruch 1, der integral durch sequentielle Laminierung einer nachgiebigen Platte (50) zur Bildung eines Vibrationselements mit auf einer Oberfläche davon ausgebildeten piezoelektrischen Vibrationselementen (53);

einer Druckerzeugungskammerbildungsplatte (54) zur Bildung von Druckerzeugungskammern (51), wobei eine Oberfläche davon von der nachgiebigen Platte (50) abgedichtet ist;

einer Abdichtungsplatte (56), die die andere Oberfläche der Druckerzeugungskammerbildungsplatte (54) abdichtet und Verbindungslöcher (57) und Tintenzuführbahnen (58) aufweist, wobei ein Verbindungsloch (57) und eine Tintenzuführbahn (58) mit der entsprechenden Druckerzeugungskammer (51) an beiden Endbereichen der Druckerzeugungskammer kommunizieren;

einer eingeschnürte Tintenzuführöffnungen bildenden Platte (59), die erste Tintenzuführöffnungen (61) aufweist, um einen Fluidwiderstand an den zu den Druckerzeugungskammern (51) führenden Tintenzuführbahnen (58) anzulegen, sowie Verbindungslöcher (62), die mit den Druckerzeugungskammern (51) kommunizieren;

einer Reservoirkammerbildungsplatte (63), die eine mit den Druckerzeugungskammern (51) über die eingeschnürten Tintenzuführöffnungen (58) kommunizierende Reservoirkammer (55) sowie mit den Druckerzeugungskammern (51) kommunizierende Verbindungslöcher (57) aufweist; und

einer Düsenplatte (65), die die andere Oberfläche der Reservoirkammerbildungsplatte (63) abdichtet und Düsen (66) aufweist, die mit den Druckerzeugungskammern (51) über die Verbindungslöcher (57, 62, 64) verbunden sind, gebildet ist, wobei

jede eingeschnürte Tintenzuführöffnung (61) einseitig in Richtung auf eine Wandoberfläche (60) der Reservoirkammer (55) ausgebildet ist, wobei die Wandoberfläche von der Seite der Düsen (66) entfernt angeordnet ist; und

blinde Druckerzeugungskammern (71) in am äußersten Ende der Reservoirkammer (55) gelegenen Regionen ausgebildet sind und eine Vielzahl von eingeschnürten Tintenzuführöffnungen (73) über die Breite der Reservoirkammer (51) derart ausgebildet sind, daß sie mit den blinden Druckerzeugungskammern (71) kommunizieren.

11. Tintenstrahlaufzeichnungskopf gemäß Anspruch 10, bei dem mehrere Düsen (79) derart ausgebildet sind, daß sie mit der blinden Druckerzeugungskammer (71) kommunizieren.

12. Tintenstrahlaufzeichnungskopf gemäß Anspruch 1 mit einer Kopfeinheit (1, 104), die durch die Befestigung einer Betätigungseinheit (2) an einer Fließbahneinheit (3) gebildet ist, wobei die Betätigungseinheit dadurch gebildet ist, daß eine Druckerzeugungskammerbildungsplatte (12, 54) zur Bildung von Druckerzeugungskammern (15, 51), eine nachgiebige Platte (13, 50), die eine Oberfläche der Druckerzeugungskammerbildungsplatte (12, 54) abdichtet und piezoelektrische Vibrationselemente (17, 53), die durch Biegung versetzte werden, aufweist, sowie eine Abdichtungsplatte (11, 56) zur Abdichtung der anderen Oberfläche der Druckerzeugungskammerbildungsplatte (18, 54) miteinander integriert werden, wobei die Fließbahneinheit (3) dadurch gebildet wird, daß eine Reservoirkammerbildungsplatte (23, 63) zur Bildung einer Reservoirkammer (25, 55) und eine eingeschnürte Tintenzuführöffnungen bildende Platte (24, 59), die eine Oberfläche der Reservoirkammerbildungsplatte (23, 63) abdichtet und Tintenzuführöffnungen (26, 61) zur Aufnahme von Tinte aus einem Tintenbehälter aufweist, integriert werden, und die Betätigungseinheit (2) daran befestigt wird, wobei eine Düsenplatte (30, 65), die die andere Oberfläche der Reservoirkammer (25, 65) abdichtet und Düsen (21, 66) aufweist, mit den Druckerzeugungskammern (15, 51) kommuniziert, wobei die Kopfeinheit (1, 104) an einem Halter (90) befestigt wird, indem ein Haftmittel (95) auf eine Region außerhalb der Kantenbereiche (94a, 94b) des Halters (90) aufgebracht wird, wobei der Halter eine Verbindungsöffnung (96), mit dem Tintentank durch eine Tintenflußbahn (93) kommuniziert, Zuführöffnungen, die von Randkanten davon umgeben sind, und Kantenbereiche, die von den die Verbindungsöffnung (94) umgebenden Oberflächen hervorsteht, aufweist.

13. Tintenstrahlaufzeichnungskopf gemäß Anspruch 12, bei dem mehrere Betätigungseinheiten (101, 102, 103) an der Fließbahneinheit (3) befestigt sind; und die Verbindungsöffnung (94) zur Abdeckung der Tintenzuführöffnungen schlank ausgebildet ist.

14. Tintenstrahlaufzeichnungskopf gemäß Anspruch 12 oder 13, bei dem die Verbindungsöffnung (94) derart gebildet ist, daß beide Enden davon über die entsprechenden Tintenzuführöffnungen führen.

15. Tintenstrahlaufzeichnungskopf gemäß einem der Ansprüche 12 bis 14, bei dem die Verbindungsöffnung (94) derart ausgebildet ist, daß ein Kantenbereich in der Breitenrichtung davon mit einem Ende jeder Tintenzuführöffnung fluchtet oder über ein solches Ende führt.