JP3600198B2 - 液滴吐出装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は液滴吐出装置に関し、さらに詳しくは、例えばDNAチップなどの製造、微小体積の液滴を高密度に整列した状態で滴下、固定するために用いられる液滴吐出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、遺伝子構造の解析方法の進歩はめざましいものがあり、ヒトの遺伝子をはじめとして、多数の遺伝子構造が明らかにされてきている。このような遺伝子構造の解析には、顕微鏡スライドガラスなどの上に、数千から一万種以上の異なる種類のDNA断片を微小スポットとして整列、固定させたDNAチップが用いられている。
【0003】
このようなDNAチップの製造における微小スポットの形成方法としては、QUILL方式、ピン&リング方式、あるいはスプリングピン方式のものが広く用いられている。いずれの方式を採用した場合であっても、DNAチップ製造の生産性の向上、すなわちDNAチップ製造の高速化と、DNAチップによる判定精度の向上が望まれている。判定精度の向上を図るには、DNAを含む液滴の濃度や量の一定化が不可欠となる。
【0004】
従来、DNAチップの製造に用いられる液滴吐出装置としては、液体を注入する注入口と、この注入口に連通して形成された液溜め流路と、この液溜め流路に連通する加圧室と、加圧室から導出された液体を吐出する吐出ノズルとを備えてなる、複数のマイクロピペット部が基体内に形成されている。これら複数のマイクロピペット部は、互いに並行になるように配置、形成されている。この結果、注入口および吐出ノズルは、それぞれ基体に一列をなすように配置されている。このような液滴吐出装置では、加圧室の外側に、加圧室内の液体を加圧するアクチュエータが設けられている。このアクチュエータとしては、例えば圧電/電歪素子が用いられている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
このような液滴吐出装置を用いてDNAチップ製造の高速化、高効率化を図るには、基体に設けられるマイクロピペット部の高密度化や小型化を図って吐出ノズルの高集積化を達成させる必要がある。すなわち、DNAチップを構成するスライドガラスの上に多くの吐出ノズルから液滴を近接して配置させることが、DNAチップ製造を高速化するための方策となる。
【0006】
本発明の目的は、微小体積の液滴を高密度に整列した状態で滴下、固定させることができる液滴吐出装置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
そこで、請求項1記載の発明は、液体が注入される注入口と、該注入口に連通して前記液体が導入される液溜め流路と、該液溜め流路と連通し、且つアクチュエータを備える加圧室と、該加圧室で加圧された液体が微小な液滴として吐出する吐出ノズルと、を備えてなる、複数のマイクロピペット部が互いに隣接するように並行に配置されてなる液滴吐出装置であって、前記複数の注入口は、互い違いに配列され、複数の前記マイクロピペット部は、前記注入口から前記吐出ノズルまでの全容積が互いに実質的に等しいことを特徴とする。
【0008】
このような構成の請求項1記載の発明では、複数の注入口が互い違いに配列されているため、注入口同士が隣接する注入口に対して干渉することがなく、注入口の開口面積を確保することができる。このため、マイクロピペット部同士を近接させて、基体に対してマイクロピペット部の配置密度を高くしても、注入口の開口面積を確保できるため、注入口へ液体を注入する作業を容易にすると共に、注入する液体量(体積)を確保することができる。また、複数のマイクロピペット部の注入口から前記吐出ノズルまでの全容積が互いに実質的に等しいため、複数のマイクロピペット部のそれぞれに同量の液体を溜めることができる。このため、アクチュエータの性能と吐出ノズルの径寸法などの条件を同一にすることにより、複数のマイクロピペット部間での液体の補給タイミングをほぼ同一にすることができ、例えばDNAチップの製造に際して液滴吐出工程と、液体補給工程とを効率よく行うことが可能となる。
【0009】
また、請求項2記載の発明は、請求項1記載の液滴吐出装置であって、前記複数のマイクロピペット部は、同一の基体に形成されていることを特徴とする。
【0010】
したがって、請求項2記載の発明では、請求項1記載の発明の作用に加えて、複数のマイクロピペット部が同一の基体に形成されているため、マイクロピペットが別々に作製され、且つこれらのマイクロピペットを集合させたものに比べて、マイクロピペット部の位置精度を高めると共に、液滴吐出装置のコンパクト化を図ることができる。
【0013】
また、請求項3記載の発明は、請求項1記載の液滴吐出装置であって、複数の前記マイクロピペット部は、前記加圧室の液体導入口から前記吐出ノズルまでの容積が互いに等しいことを特徴とする。
【0014】
したがって、請求項3記載の発明では、請求項1記載の発明の作用に加えて、加圧室の液体導入口から吐出ノズルまでの容積が互いに等しいため、同一特性のアクチュエータを用いて、複数のマイクロピペット部の吐出ノズルから同一条件で液滴を吐出させることが可能となる。
【0015】
さらに、請求項4記載の発明は、請求項3記載の液滴吐出装置であって、隣接する前記マイクロピペット部同士は、液溜め流路の幅が互いに異なることを特徴とする。
【0016】
この発明では、請求項3記載の発明の作用に加えて、隣接するマイクロピペット部同士は、液溜め流路の幅が互いに異なるため、注入口から吐出ノズルまでの全容積が互いに実質的に等しい隣接するマイクロピペット部同士は、液溜め流路の長さを異なるように設定することが可能となる。このため、隣接するマイクロピペット部の注入口同士が互い違いの位置になるため、隣接する注入口同士が干渉することがなく、注入口の開口面積を確保することが可能となる。
【0017】
また、請求項5記載の発明は、請求項3記載の液滴吐出装置であって、隣接する前記マイクロピペット部同士は、液溜め流路の深さが互いに異なることを特徴とする。
【0018】
したがって、請求項5記載の発明では、請求項3記載の発明の作用に加えて、注入口から吐出ノズルまでの全容積が互いに実質的に等しい隣接するマイクロピペット部同士は、液溜め流路の深さが互いに異なるため、隣接するマイクロピペット部の注入口同士が互い違いの位置に配置され、隣接する注入口同士が干渉することがなく、注入口の開口面積を確保することが可能となる。
【0019】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る液滴吐出装置の詳細を図面に示す実施の形態に基づいて説明する。
【0020】
(第1の実施の形態)
図1〜図5は、本発明に係る液滴吐出装置の第1の実施の形態を示している。なお、図1は本実施の形態に係る液滴吐出装置1を一部破断した状態を示す斜視図、図2は液滴吐出装置1の平面図、図3は液滴吐出装置1の裏面側を示す底面図、図4は図2のA−A断面図、図5は図2のB−B断面図である。
【0021】
なお、本実施の形態は、液滴吐出装置1において液体を注入する注入口が互い違いに配列されていることを特徴とするものであり、これに伴って液体の流路の幅や長さを適宜設定したものである。
【0022】
図1に示すように、液滴吐出装置1は、流路が形成された流路基体2と、この流路基体2に組み付けられて加圧室としてキャビティ内の容積を変化させる機能を有するアクチュエータ部3と、流路基体2の下面に貼着され、且つ吐出ノズル4Aが形成されたノズル基体4と、流路基体2の後部(図1中矢印Xr側の部分)の上面に設けられた液体注入部5と、を備えて大略構成されている。また、液滴吐出装置1は、図1および図2に示すように、Y方向に沿って複数のマイクロピペット部6が所定間隔を隔てて並行に配置されている。流路基体2は、下面にノズル基体4が貼着された下面板7と、下面板7の上に積層された中間板8と、中間板8の上に積層された上面板9と、を備えている。これら下面板7、中間板8および上面板9は、例えばジルコニアなどのセラミックスのグリーンシートを積層した後、一体焼成して形成されている。
【0023】
下面板7には、図1、図4および図5に示すように、X方向の前方(Xf方向)の端部近傍に流路の下流側端部としての複数の流路終端連通孔7Aが、図1に示すY方向に沿って、所定間隔を隔てて形成されている。
【0024】
中間板8における流路終端連通孔7Aの上方位置には、流路終端連通孔7Aより開口径寸法の大きい連通孔8Aが形成されている。この連通孔8Aは、流路の一部を構成している。また、連通孔8Aと流路終端連通孔7Aとは、同軸的に配置されて連通している。さらに、中間板8におけるそれぞれの連通孔8Aの後方(図1中、Xr方向)の端部側には、液溜め流路10を構成する長孔8Bが形成されている。なお、液溜め流路10は、この長孔8Bと下面板7と上面板9とで形成される。
【0025】
なお、これら長孔8Bは、互いに隣接するマイクロピペット部6同士で異なる長さと幅寸法に設定されていが、詳細は後述する。
【0026】
上面板9における、中間板8の連通孔8Aの上方の位置には、この連通孔8Aと連通する連通孔9Aが形成されている。この連通孔9Aは、中間板8の連通孔8Aより径寸法が大きく設定されると共に、この連通孔8Aと同軸的に配置、形成されている。また、中間板8の長孔8Bにおける前端部の上方に位置する上面板9には、連通孔9Bが形成されている。さらに、長孔8Bの後端部(図1に示すXr方向の端部)側の上方に位置する上面板9には、液体を液溜め流路10に導入する注入口9Cが形成されている。
【0027】
なお、これら下面板7、中間板8および上面板9は、上記したようにセラミックスで形成されており、例えば、安定化ジルコニアや部分安定化ジルコニア、アルミナ、マグネシア、窒化珪素などを用いることができる。このうち、安定化ジルコニアや部分安定化ジルコニアは、薄板においても機械的強度が大きいこと、靭性が高いことから最も好適に採用される。
【0028】
アクチュエータ部3は、上面板9における、図1に示すX方向の前側半分を覆うように、上面板9に積層されたキャビティ底板11と、このキャビティ底板11の上に積層されたキャビティ形成板12と、このキャビティ形成板12を覆う薄板状の振動板13と、この振動板13の上に固定されたアクチュエータとしての圧電/電歪素子14と、で構成されている。そして、キャビティ底板11と、キャビティ形成板12と、振動板13とで形成された空間が、キャビティ15を形成している。
【0029】
キャビティ底板11における図1に示すXf方向の前部には、上面板9の連通孔9Aに連通する連通孔11Aが形成されている。この連通孔11Aは、上面板9の連通孔9Aより径寸法が大きく設定されている。これら連通孔11A、9Aは、同軸的に配置されている。また、キャビティ底板11における図1に示すXr方向の端部近傍には、上面板9の連通孔9Bに連通する連通孔11Bが形成されている。この連通孔11Bは、連通孔9Bの径寸法より小さく設定されている。また、これら連通孔11B、9Bは、同軸的に配置されている。
【0030】
キャビティ形成板12は、キャビティ底板11の連通孔11A、11Bを連通させる長孔12Aが形成されている。また、振動板13は、キャビティ形成板12の上面全部を覆うように、長方形状に形成されている。
【0031】
なお、これらキャビティ底板11、キャビティ形成板12および振動板13は、セラミックスのグリーンシートを焼成することにより形成されている。ここで、セラミックスとしては、上記した流路基体2と同様の材料で形成されている。すなわち、セラミックスとしては、例えば、安定化ジルコニアや部分安定化ジルコニア、アルミナ、マグネシア、窒化珪素などを用いることができる。このうち、安定化ジルコニアや部分安定化ジルコニアは、振動板13のような薄板においても機械的強度を大きくでき、靭性が高い。また、圧電膜や電極材との反応性が小さいことから最も好適に採用される。また、振動板13の材料として安定化/部分安定化ジルコニアを用いる場合、少なくとも、圧電/電歪素子14が形成される部分には、アルミナあるいはチタニアなどの添加物が含有されることが好ましい。
【0032】
また、図示しない圧電/電歪層は、圧電セラミックスとして、例えば、ジルコン酸鉛、チタン酸鉛、マグネシウムニオブ酸鉛、マグネシウムタンタル酸鉛、ニッケルニオブ酸鉛、亜鉛ニオブ酸鉛、マンガンニオブ酸鉛、アンチモンスズ酸鉛、マンガンタングステン酸鉛、コバルトニオブ酸鉛、チタン酸バリウムなどや、これらのいずれかを組み合わせた成分を含有する複合セラミックスを用いることができる。このような材料は、高い電気機械結合係数と圧電定数を有することに加え、圧電膜の焼結時における反応性が小さく、所定の組成のものを安定に形成することができる。なお、本実施の形態では、圧電/電歪素子14の電極パッド部などの詳細な構造の説明は省略する。
【0033】
ここで、上記した中間板8の長孔8Bについて説明する。図2に示すように、長孔8Bは、長さ(L1)が長く幅(W1)の狭い長孔8B1と、長さ(L2)が短く幅(W2)の広い長孔8B2との2種類がある。互いに隣接するマイクロピペット部6では、一方のマイクロピペット部6が長孔8B1を備え、他方のマイクロピペット部6が長孔8B2を備えている。なお、これら長孔8B1、8B2の深さは、互いに同じであり中間板8の厚さ寸法が深さとなっている。そして、長孔8B1で形成される液溜め流路10の容積と、長孔8B2で形成される液溜め流路10の容積とは、略同一となるように設定されている。なお、上面板9の注入口9Cは、これら長孔8B1、8B2の後端部の上に位置するように形成されている。このため、これら注入口9Cは、図1に示すY方向に互い違いに配列されている。
【0034】
次に、液体注入部5の構成について説明する。液体注入部5は、流路基体2における、図1に示すXr方向の半分の部分の上に固設されている。この液体注入部5は、略直方体形状であり、アクチュエータ部3の後方の上面板9の上に一体的に形成されている。そして、液体注入部5には、下地の上面板9に形成された複数の注入口9Cにそれぞれ連通する液体注入口5Aが互い違いに形成されている。これら液体注入口5Aは、全て同一の径寸法で同一の深さに設定されている。また、これら液体注入口5Aは、液体がマイクロピペット部6の内部に導入される導入路の一部を構成している。なお、液体注入部5は、例えばポリプロピレン、アクリル、ステンレス鋼、流路基体2アクチュエータ部3と同様のセラミックス材料で形成することが出来る。
【0035】
ノズル基体4は、例えばポリエステル(PET)フィルム、ステンレス鋼(SUS304)、アルミナ、部分安定化ジルコニア(PSZ)などを用いて形成することができる。そして、ノズル基体4は、例えばエポキシ系接着フィルム(熱硬化性)やポリエチレン系接着フィルム(熱可塑性)などを用いて形成することができる。このノズル基体4に形成された吐出ノズル4Aは、流路終端連通孔7Aと対応する位置に配置されている。
【0036】
次に、本実施の形態に係る液滴吐出装置1を用いてDNAチップを製造する工程について説明する。
【0037】
図6は、本実施の形態に係る液滴吐出装置1を2つを組み付けて二列の吐出ノズル4Aを有するように基板16に取り付けて1ヘッド2モジュール化したものを示す。このような装置をスライドガラス17の上に、セットする。次に、圧電/電歪素子14を駆動して同時に液滴を吐出ノズル4Aから吐出させる。この結果、図7に示すように、スライドガラス17の上に所定の配列で液滴の微小スポット18が形成される。
【0038】
このような構成の第1の実施の形態に係る液滴吐出装置1では、複数の注入口5Aが互い違いに配列されているため、注入口5A同士が隣接する注入口5Aに対して干渉することがなく、注入口5Aの開口面積を確保することができる。このため、マイクロピペット部6同士を近接させて、流路基体2に対してマイクロピペット部6の配置密度を高くしても、注入口5Aの開口面積を確保できるため、注入口5Aへ液体を注入する作業を容易にすると共に、注入する液体量(体積)を確保することができる。
【0039】
また、本実施の形態に係る液滴吐出装置1では、複数のマイクロピペット部6が同一の流路基体2に形成されているため、マイクロピペットが別々に作製され、且つこれらのマイクロピペット部を集合させたものに比べて、マイクロピペット部の位置精度を高めると共に、液滴吐出装置1のコンパクト化を図ることができる。
【0040】
さらに、本実施の形態に係る液滴吐出装置1では、複数のマイクロピペット部6の注入口5Aから吐出ノズル4Aまでの全容積が互いに略等しいため、複数のマイクロピペット部6のそれぞれに同量の液体を溜めることができる。このため、アクチュエータとしての圧電/電歪素子14の性能と吐出ノズル4Aの径寸法などの条件を同一にすることにより、複数のマイクロピペット部6間での液体の補給タイミングをほぼ同一にすることができ、例えばDNAチップの製造に際して液滴吐出工程と、液体補給工程とを効率よく行うことが可能となる。
【0041】
また、加圧室としてのキャビティ15の容積が複数のマイクロピペット部6同士で互いに等しいため、同一特性のアクチュエータを用いて、複数のマイクロピペット部6の吐出ノズル4Aから同一条件で液滴を吐出させることが可能となる。
【0042】
さらに、隣接するマイクロピペット部6同士は、液溜め流路10の幅が互いに異なる注入口5Aから吐出ノズル4Aまでの全容積が互いに略等しいため、液溜め流路10の長さを異なるように設定することが可能となる。このため、隣接するマイクロピペット部6の注入口5A同士が互い違いの位置に配置でき、隣接する注入口5A同士が互いに干渉することがなく、注入口5Aの開口面積を確保することが可能となる。
【0043】
(第2の実施の形態)
図8〜図10は、本発明に係る液滴吐出装置1の第2の実施の形態を示している。なお、本実施の形態の説明に当たり、上記した第1実施の形態と同一部分および類似部分には、同一符号および類似符号を付してその説明を省略する。
【0044】
図8は、本実施の形態に係る液滴吐出装置1の平面図である。本実施の形態では、図8に示すように液溜め流路10の幅寸法を複数のマイクロピペット部6間で同一に設定している。そして、図9および図10に示すように、隣接するマイクロピペット部6同士の液溜め流路10の高さが互いに異なるように設定されている。加えて、複数のマイクロピペット部6同士の液溜め流路10の容積が略同一となるように設定されている。このため、液体注入部5の液体注入口5Aの位置が隣接するマイクロピペット部6で前後する位置に配置され、複数のマイクロピペット部6全体では、液体注入口5Aが千鳥配置状に互い違いに配列されている。
【0045】
なお、本実施の形態では、液溜め流路10の高さ(深さ)を変えるために、流路基体2を上記第1の実施の形態に係る液滴吐出装置1の下面板7と中間板8との間に高さ調整板20が介在されている。この高さ調整板20には、下面板7の流路終端連通孔7Aと、中間板8の連通孔8Aとに同軸的に配置されて連通する連通孔20Aが形成されている。また、高さ調整板20における連通孔20Aより後方には、図10に示すように、短い液溜め流路10に対応して液溜め流路10の高さを付加する長孔20Bが形成されている。このように短い液溜め流路10は、長孔8Bと長孔20Bとで形成されている。なお、高さ調整板20における長い液溜め流路10に対応する部分には、図9に示すように、長孔が一切形成されていない。このため、長い液溜め流路10と短い液溜め流路10とで、容積が略同一となるように設定することができる。
【0046】
このような構成としたことにより、複数の液体注入口5Aは千鳥配置状に互い違いに並列することができ、隣接する注入口5A同士が互いに干渉することがなく、注入口5Aの開口面積を確保することが可能となる。特に、本実施の形態では、隣接するマイクロピペット部6同士の液溜め流路10の深さが互いに異なるように設定して液体注入口5Aの位置を互い違いにずらすことを可能にしている。
【0047】
(その他の実施の形態)
上記の本発明の第1および第2の実施の形態の開示の一部をなす論述および図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例および運用技術が明らかとなろう。
【0048】
例えば、第1および第2の実施の形態では、液体注入口5Aを平面円形の開口部としたが、図11に示す液体注入口5Bのように、幅の狭い楕円形状としてマイクロピペット部6同士の間隔を狭く設定する構成としてもよい。この場合、液溜め流路10同士の幅寸法および長さは、複数のマイクロピペット部6同士で同一にすることができる。
【0049】
また、上記した第1および第2の実施の形態では、流路基体2やアクチュエータ部3や液体注入部をセラミックスで形成したが、液体注入口5Aの配置が千鳥配置状に互い違いに配置されるものであれば、材料や構造はこれらに限定されるものではない。例えば、上記した第1および第2の実施の形態の液滴吐出装置1に設けられた液体注入部5に代えて、図12に示すように液体注入口25Aを有するゴムパッキン25を上面板9の上に、上面板9の注入口9Cと液体注入口25Aとが合致して連通するように接着し、この液体注入口25Aに抜き差し可能に配管26を装着するようにしてもよい。この配管26は、例えばステンレス、ポリプロピレンなどの材料で形成することができる。このような構成とすることにより、液滴吐出装置1に注入する溶液の量を大きくすることができ、溶液の補充メンテナンスの回数を少なくする効果がある。
【0050】
【発明の効果】
請求項1記載の発明によれば、マイクロピペット部同士を近接させて、基体に対してマイクロピペット部の配置密度を高くしても、注入口の開口面積を確保できるため、注入口へ液体を注入する作業を容易にすると共に、注入する液体量(体積)を確保することができる。また、複数のマイクロピペット部の注入口から吐出ノズルまでの全容積が互いに実質的に等しいため、複数のマイクロピペット部のそれぞれに同量の液体を溜めることができる。このため、アクチュエータの性能と吐出ノズルの径寸法などの条件を同一にすることにより、複数のマイクロピペット部間での液体の補給タイミングをほぼ同一にすることができ、例えばDNAチップの製造に際して液滴吐出工程と、液体補給工程とを効率よく行うことが可能となる。
【0051】
請求項2記載の発明によれば、請求項1記載の発明の効果に加えて、複数のマイクロピペット部が同一の基体に形成されているため、マイクロピペットが別々に作製され、且つこれらのマイクロピペットを集合させたものに比べて、マイクロピペット部の位置精度を高めると共に、液滴吐出装置のコンパクト化を達成することができる。
【0053】
請求項3記載の発明によれば、加圧室の液体導入口から吐出ノズルまでの容積が互いに等しいため、同一特性のアクチュエータを用いて、複数のマイクロピペット部の吐出ノズルから同一条件で液滴を吐出させることが可能となる。
【0054】
請求項4記載の発明によれば、隣接するマイクロピペット部同士が、液溜め流路の幅が互いに異なるため、注入口から吐出ノズルまでの全容積が互いに実質的に等しい隣接するマイクロピペット部同士は、液溜め流路の長さを異なるように設定することが可能となる。このため、隣接するマイクロピペット部の注入口同士が互い違いの位置になるため、隣接する注入口同士が干渉することがなく、注入口の開口面積を確保することが可能となる。
【0055】
請求項5記載の発明によれば、注入口から吐出ノズルまでの全容積が互いに実質的に等しい隣接するマイクロピペット部同士は、液溜め流路の深さが互いに異なるため、隣接するマイクロピペット部の注入口同士が互い違いの位置に配置され、隣接する注入口同士が干渉することがなく、注入口の開口面積を確保することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る液滴吐出装置の第1の実施の形態を示す部分断面斜視図である。
【図2】第1の実施の形態に係る液滴吐出装置の平面図である。
【図3】第1の実施の形態に係る液滴吐出装置の底面図である。
【図4】図2のA−A断面図である。
【図5】図2のB−B断面図である。
【図6】第1の実施の形態に係る液滴吐出装置を用いてDNAチップを作製する方法を示す斜視図である。
【図7】第1の実施の形態に係る液滴吐出装置を用いて作製したDNAチップを示す斜視図である。
【図8】本発明に係る液滴吐出装置の第2の実施の形態を示す平面図である。
【図9】図8のC−C断面図である。
【図10】図8のD−D断面図である。
【図11】本発明に係る他の実施の形態を示す平面図である。
【図12】本発明に係る他の実施の形態を示す断面図である。
【符号の説明】
1 液滴吐出装置
2 流路基体
3 アクチュエータ部
4 ノズル基体
4A 吐出ノズル
5 液体注入部
6 マイクロピペット部
7 下面板
7A 流路終端連通孔
8 中間板
8B 長孔
9 上面板
10 液溜め流路
14 圧電/電歪素子
15 キャビティ(加圧室)
Claims (5)
- 液体が注入される注入口と、該注入口に連通して前記液体が導入される液溜め流路と、該液溜め流路と連通し、且つアクチュエータを備える加圧室と、該加圧室で加圧された液体が微小な液滴として吐出される吐出ノズルと、を備えてなる、複数のマイクロピペット部が互いに隣接するように並行に配置されてなる液滴吐出装置であって、
前記複数の注入口は、互い違いに配列され、前記複数のマイクロピペット部は、前記注入口から前記吐出ノズルまでの全容積が互いに実質的に等しいことを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項1記載の液滴吐出装置であって、
前記複数のマイクロピペット部は、同一の基体に設けられていることを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項1記載の液滴吐出装置であって、
前記複数のマイクロピペット部は、前記加圧室の液体導入口から前記吐出ノズルまでの容積が互いに等しいことを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項3記載の液滴吐出装置であって、
隣接する前記マイクロピペット部同士は、液溜め流路の幅が互いに異なることを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項3記載の液滴吐出装置であって、
隣接する前記マイクロピペット部同士は、液溜め流路の深さが互いに異なることを特徴とする液滴吐出装置。
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