WO2011068006A1 - インクジェットヘッド - Google Patents

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pressure chamber
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裕一 町田
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コニカミノルタホールディングス株式会社
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    • B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
    • B41J2202/18—Electrical connection established using vias

Definitions

  • the present invention relates to an inkjet head.
  • an ink jet head that is provided in an ink jet recording apparatus and forms an image on a recording medium by discharging ink from a plurality of fine nozzles is known.
  • a high density arrangement of nozzles in an ink jet head has been demanded.
  • the ink jet head is provided with a common ink flow path for each nozzle row, and also includes a pressure chamber for applying discharge pressure to the ink, and an individual flow path for supplying ink from the common flow path to each pressure chamber. These are provided individually for a plurality of nozzles. Therefore, if these common flow paths, pressure chambers, and individual flow paths are arranged in parallel in the nozzle arrangement direction (horizontal direction), it is difficult to arrange a plurality of nozzles at high density.
  • an ink jet head in which a pressure chamber is provided above the nozzle and a common ink chamber replacing the common flow path is provided above the pressure chamber, thereby enabling high-density arrangement of the nozzles (for example, Patent Documents). 1).
  • individual flow paths are formed through multilayer members laminated in multiple layers, and among these, a diaphragm for constituting an upper wall of the pressure chamber and applying discharge pressure to ink in the chamber And a diaphragm portion having a minimum cross-sectional area among the individual channels is formed across the lower electrode of the piezoelectric element laminated on the upper surface of the diaphragm and the partition layer laminated on the upper surface of the lower electrode.
  • the narrowed portion in the individual flow path needs to be formed in a predetermined shape with high accuracy because the cross-sectional area affects the refilling property of the ink and the length affects the ejection efficiency.
  • the present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide an ink jet head capable of arranging a plurality of nozzles at high density while reducing variations in ejection characteristics of each nozzle.
  • An inkjet head comprising: a multilayer laminated member provided with a plurality of nozzles that eject ink; and a common ink chamber that is disposed on one side of the laminated member in the stacking direction and supplies ink to the plurality of nozzles.
  • the laminated member is A first layer member in which the plurality of nozzles are formed; A second layer member laminated on the one side of the first layer member and having a plurality of pressure chambers individually communicated with the plurality of nozzles; A third layer member laminated on the one side of the second layer member; A plurality of individual flow paths that individually communicate the common ink chamber and the plurality of pressure chambers; Have Each of the plurality of individual channels has a narrowed portion that has a minimum cross-sectional area in the individual channel and penetrates only one of the second layer member and the third layer member in the stacking direction. It is characterized by being.
  • the invention according to claim 2 is the ink jet head according to claim 1,
  • the throttle part is formed in a circular cross section and has a length that is at least twice the diameter.
  • the invention according to claim 3 is the inkjet head according to claim 1 or 2,
  • the throttle portion is formed in the third layer member and communicates with the pressure chamber via a communication portion formed in the second layer member so as to extend in a direction orthogonal to the stacking direction. It is characterized by that.
  • the invention according to claim 4 is the inkjet head according to claim 3,
  • the third layer member is a silicon substrate.
  • the invention according to claim 5 is the inkjet head according to claim 1 or 2,
  • the laminated member has a fourth layer member laminated between the first layer member and the second layer member,
  • the throttle portion is formed in the second layer member and communicates with the pressure chamber via a communication portion formed in the fourth layer member so as to extend in a direction orthogonal to the stacking direction. It is characterized by that.
  • the invention according to claim 6 is the ink jet head according to claim 5,
  • the second layer member is a silicon substrate.
  • the throttle portion having the smallest cross-sectional area among the individual flow paths is formed so as to penetrate only one of the second layer member and the third layer member in the stacking direction. Therefore, the length of the narrowed portion is surely defined by the thickness of the second layer member or the third layer member, and processing errors and the like can be reduced as compared with the conventional narrowed portion formed over a plurality of layer members. There is little room for assembly errors. Therefore, the shape of the narrowed portion can be formed with high accuracy as compared with the conventional case, and the shape of each narrowed portion can be made uniform with high accuracy to reduce the variation in ejection characteristics for each nozzle.
  • a plurality of nozzles are formed in the first layer member, and a plurality of pressure chambers are provided in the second layer member laminated on one side of the first layer member, so that A common ink chamber is disposed on one side. That is, since the nozzle, the pressure chamber, and the common ink chamber are provided along the stacking direction orthogonal to the nozzle arrangement direction, a plurality of nozzles can be arranged with high density.
  • a throttle portion is formed in the stacking direction orthogonal to the surface of the first layer member on which a plurality of nozzles are formed. That is, since the throttle portions are formed in a direction orthogonal to the nozzle arrangement direction, a plurality of nozzles can be arranged at high density without being affected by the length of the throttle portions.
  • the ink ejection speed defined by the relationship between the length and the diameter of the throttle portion. can be greater than or equal to a predetermined value.
  • the throttle portion is formed in the third layer member, and pressure is applied via the communication portion formed in the second layer member so as to extend in the direction orthogonal to the stacking direction. Since it is connected to the chamber, that is, the throttle part and the communication part formed in different directions are formed in different layer members. Therefore, compared with the case where the throttle part and the communication part formed in different directions are formed in the same layer member, the throttle part and the communication part can be etched to a highly accurate depth.
  • the third layer member is a silicon substrate, it is possible to perform the etching process with high precision on the throttle portion formed on the third layer member.
  • the silicon substrate can maintain a stable and strong shape against deformation due to heat, it is possible to reduce variations in ejection characteristics for each nozzle due to thermal deformation of the throttle portion.
  • the laminated member has the fourth layer member laminated between the first layer member and the second layer member, and the narrowed portion is formed in the second layer member. And communicated with the pressure chamber via a communication portion formed in the fourth layer member so as to extend in a direction orthogonal to the stacking direction, that is, a throttle portion and a communication portion formed in different directions.
  • a communication portion formed in the fourth layer member so as to extend in a direction orthogonal to the stacking direction, that is, a throttle portion and a communication portion formed in different directions.
  • the second layer member is a silicon substrate, it is possible to etch the throttle portion formed on the second layer member with high accuracy.
  • the silicon substrate can maintain a stable and strong shape against deformation due to heat, it is possible to reduce variations in ejection characteristics for each nozzle due to thermal deformation of the throttle portion.
  • FIG. 1 is a perspective view of an ink jet head 1 according to the present invention.
  • a laminated member 2 in which a plurality of nozzles 11 for ejecting ink are arranged in the X direction and the Y direction is attached to the lower end of the inkjet head 1.
  • the laminated member 2 is formed by being laminated in a multilayered manner in the direction of the arrow Z (hereinafter referred to as the laminated direction Z) which is the vertical direction, and a common ink chamber forming member 6 is joined to the upper side thereof,
  • a common ink chamber 3 that supplies ink to the plurality of nozzles 11 is disposed by a space formed by the laminated member 2 and the common ink chamber forming member 6.
  • a flexible substrate 4 and a driver 5 for driving a piezoelectric element 42 to be described later are disposed on both ends in the X direction on the upper side of the laminated member 2.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view of the laminated member 2
  • FIG. 4 is an array diagram of the nozzles 11
  • FIG. 5 is an enlarged view of part A in FIG. 4.
  • FIG. 3 illustrates only the components related to one nozzle 11, but each component other than the layer member itself constituting the laminated member 2 corresponds to each of the plurality of nozzles 11. Is provided.
  • a pressure chamber 311 and an inlet 512 which will be described later, are indicated by solid lines in order to make the illustration easy to understand.
  • the laminated member 2 is composed of six layer members including a nozzle plate layer 10, an intermediate plate layer 20, a body plate layer 30, a first adhesive layer 40, a wiring layer 50, and a second adhesive layer 60. They are stacked in this order in the direction Z.
  • the nozzle plate layer 10 is a silicon substrate and is located in the lowermost layer of the laminated member 2.
  • a plurality of nozzles 11 are formed on the nozzle plate layer 10.
  • nozzles 11 are arranged side by side in the X direction to form a nozzle row 11a, and these nozzle rows 11a are arranged in parallel in the Y direction to form a nozzle group 11b.
  • the X-direction positions of the nozzles 11 in all the nozzle rows 11a slightly overlap every other row, and the X-direction positions of all the nozzles 11 overlap slightly as a whole.
  • the position of each nozzle 11 in the X direction is shifted.
  • Two sets of the nozzle groups 11b are arranged in the Y direction.
  • the intermediate plate layer 20 is a glass substrate, and is laminated and bonded to the upper surface of the nozzle plate layer 10 as shown in FIG.
  • a through hole 201 communicating with the nozzle 11 of the nozzle plate layer 10 is formed in the stacking direction Z.
  • the body plate layer 30 is composed of a pressure chamber layer 31 and a diaphragm 32.
  • the pressure chamber layer 31 is a silicon substrate and is laminated and bonded to the upper surface of the intermediate plate layer 20.
  • a pressure chamber 311 that applies ejection pressure to the ink ejected from the nozzle 11 is formed so as to penetrate the pressure chamber layer 31 in the stacking direction Z.
  • the pressure chamber 311 is provided above the through hole 201 and the nozzle 11 and communicates with the through hole 201 and the nozzle 11. Further, a communication hole 312 communicating with the pressure chamber 311 is formed in the pressure chamber layer 31 so as to extend in the horizontal direction while penetrating the pressure chamber layer 31 (see FIG. 5).
  • the diaphragm 32 is laminated and bonded to the upper surface of the pressure chamber layer 31 so as to cover the opening of the pressure chamber 311. That is, the diaphragm 32 constitutes the upper wall portion of the pressure chamber 311. An oxide film is formed on the surface of the diaphragm 32. Further, a through hole 321 that communicates with the communication hole 312 is formed in the laminating direction Z in the diaphragm 32.
  • the first adhesive layer 40 is laminated on the upper surface of the diaphragm 32.
  • the first adhesive layer 40 is a photosensitive resin layer that bonds the diaphragm 32 and the wiring layer 50, and is a partition layer that forms a space 41 therein.
  • the space 41 is formed above the pressure chamber 311 so as to penetrate the first adhesive layer 40 in the stacking direction Z, and accommodates the piezoelectric element 42 therein.
  • the piezoelectric element 42 is formed in substantially the same plan view shape as the pressure chamber 311 and is provided at a position facing the pressure chamber 311 with the diaphragm 32 interposed therebetween (see FIG. 5).
  • the piezoelectric element 42 is an actuator made of PZT (lead zirconium titanate) for deforming the diaphragm 32.
  • the piezoelectric element 42 is provided with two electrodes 421 and 422 on the upper surface and the lower surface, and the electrode 422 on the lower surface side is connected to the diaphragm 32.
  • a through hole 401 communicating with the through hole 321 of the diaphragm 32 is formed in the stacking direction Z independently of the space 41.
  • the wiring layer 50 includes an interposer 51 that is a silicon substrate.
  • the lower surface of the interposer 51 is covered with two layers of insulating layers 52 and 53 of silicon oxide, and the upper surface is also covered with an insulating layer 54 of silicon oxide.
  • the insulating layer 53 located below among the insulating layers 52 and 53 is laminated
  • a through hole 511 is formed in the stacking direction Z, and the through electrode 55 is inserted into the through hole 511.
  • One end of an aluminum substrate 56 extending in the horizontal direction is connected to the lower end of the through electrode 55, and a stud bump 423 provided on the electrode 421 on the upper surface of the piezoelectric element 42 is connected to the other end of the aluminum substrate 56.
  • a stud bump 423 provided on the electrode 421 on the upper surface of the piezoelectric element 42 is connected to the other end of the aluminum substrate 56.
  • the aluminum substrate 56 is protected by being sandwiched between two insulating layers 52 and 53 on the lower surface of the interposer 51.
  • an inlet 512 communicating with the through hole 401 of the first adhesive layer 40 is formed in the interposer 51 so as to penetrate the interposer 51 in the stacking direction Z.
  • the inlet 512 is formed to have a smaller cross-sectional area than any of the communication hole 312 that communicates with the inlet 512, the through holes 321 and 401, and the through hole 601 of the second adhesive layer 60 described later.
  • each portion of the insulating layers 52 to 54 covering the vicinity of the inlet 512 is formed to have an opening diameter larger than that of the inlet 512.
  • the second adhesive layer 60 is laminated and bonded to the upper surface of the insulating layer 54 of the interposer 51 while covering the copper substrate 61 disposed on the upper surface of the wiring layer 50.
  • the second adhesive layer 60 is a photosensitive resin layer that adheres the upper common ink chamber forming member 6 to the laminated member 2 and is a protective layer that protects the copper substrate 61.
  • the copper substrate 61 extends in the horizontal direction, and one end is connected to the upper end of the through electrode 55 and the other end is connected to the flexible substrate 4 (see FIG. 2).
  • a through hole 601 communicating with the inlet 512 is formed in the stacking direction Z in the second adhesive layer 60.
  • the communication hole 312, the through holes 321, 401, and 601 and the inlet 512 constitute an individual flow path 70 that communicates the common ink chamber 3 and the pressure chamber 311.
  • the inlet 512 is a throttle portion having a minimum cross-sectional area in the individual flow path 70 as described above.
  • the inlet 512 needs to be formed in a highly accurate shape because the cross-sectional area affects the refilling property of the ink and the length affects the ejection efficiency.
  • the length and diameter (cross-sectional area) of the inlet 512 are related to the ink ejection speed. Therefore, it is preferable to define the relationship between the length and the diameter of the inlet 512 so that the ink ejection speed is equal to or higher than a predetermined value. In the present embodiment, it is preferable that the inlet 512 is formed in a circular cross section so that the ink ejection speed is about 8 m / s or more, and the length thereof is twice or more the diameter.
  • the ink in the common ink chamber 3 is supplied to the pressure chamber 311 through the individual flow path 70.
  • a voltage is applied between the electrodes 421 and 422 through the flexible substrate 4, the copper substrate 61, the through electrode 55, and the aluminum substrate 56 in accordance with a drive signal from the driver 5, the piezoelectric material sandwiched between the electrodes 421 and 422.
  • the element 42 is deformed together with the diaphragm 32, and the ink in the pressure chamber 311 is pushed out and ejected from the nozzle 11.
  • the inlet 512 having the smallest cross-sectional area in the individual flow path 70 is formed so as to penetrate the interposer 51 in the stacking direction Z.
  • the length of the sheet is reliably defined, and there is less room for processing errors and assembly errors compared to a conventional inlet (drawing portion) formed over a plurality of layer members. Therefore, the shape of the inlet 512 can be formed with high accuracy as compared with the conventional case, and the shape of each inlet 512 can be made uniform with high accuracy to reduce the variation in the discharge characteristics of each nozzle 11.
  • the nozzle 11 is formed in the lowermost nozzle plate layer 10 of the laminated member 2, the pressure chamber 311 is provided in the pressure chamber layer 31 laminated on the upper side of the nozzle plate layer 10, and the upper side of the laminated member 2.
  • a common ink chamber 3 is provided. That is, since the nozzle 11, the pressure chamber 311 and the common ink chamber 3 are provided along the stacking direction Z orthogonal to the arrangement direction (X, Y direction) of the nozzles 11, a plurality of nozzles 11 are arranged at high density. can do.
  • an inlet 512 is formed in the stacking direction Z orthogonal to the lower surface of the nozzle plate layer 10 on which the plurality of nozzles 11 are formed. That is, since the inlet 512 is formed in a direction orthogonal to the arrangement direction of the nozzles 11, the plurality of nozzles 11 can be arranged with high density without being affected by the length of the inlet 512.
  • the inlet 512 is formed in the stacking direction Z, unlike the case where the inlet 512 is formed in the longitudinal direction of the stacked member 2, a channel layer or cover layer dedicated to the inlet is formed to form a highly accurate shape. There is no need to provide it. Therefore, compared with the case where the inlet 512 is formed in the longitudinal direction of the laminated member 2, the layer members can be reduced to reduce the size and cost, and the structure of the individual flow path 70 can be simplified to reduce processing errors. As a result, it is possible to reduce the cause of assembly errors and reduce the variation in the ejection characteristics of each nozzle 11.
  • the inlet 512 is formed in a circular cross section and has a length that is at least twice the diameter, the ink ejection speed defined by the relationship between the length of the inlet 512 and the diameter can be made a predetermined value or more. In this embodiment, it can be about 8 m / s or more.
  • the inlet 512 is formed in the interposer 51 and communicates with the pressure chamber 311 through the communication hole 312 formed in the pressure chamber layer 31 so as to extend in the horizontal direction, that is, in a different direction.
  • the formed inlet 512 and the communication hole 312 are formed in different layer members. Since the inlet 512 and the communication hole 312 are formed to a depth over the entire thickness of the interposer 51 and the pressure chamber layer 31, the inlet 512 and the pressure chamber layer 31 have different thicknesses. In addition, the depths of the communication holes 312 can be defined with high accuracy independently of each other.
  • the inlet 512 and the communication hole 312 formed in different directions are formed in the same layer member.
  • the inlet 512 and the communication hole 312 can be etched to a highly accurate depth.
  • the interposer 51 is a silicon substrate, the inlet 512 formed in the interposer 51 can be etched with high accuracy.
  • the silicon substrate can maintain a stable and strong shape against deformation due to heat, variation in ejection characteristics for each nozzle 11 due to thermal deformation of the inlet 512 can be reduced.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view of the main part of the inkjet head 1A.
  • the inkjet head 1A includes a laminated member 2A instead of the laminated member 2 in the above embodiment.
  • FIG. 8 is a cross-sectional view of the laminated member 2A.
  • the laminated member 2A includes an intermediate plate layer 20A, a body plate layer 30A, and a wiring layer 50A instead of the intermediate plate layer 20, the body plate layer 30 and the wiring layer 50 in the above embodiment. .
  • a communication hole 202A extending in the horizontal direction is formed in addition to the same configuration as the above embodiment.
  • One end of the communication hole 202 ⁇ / b> A communicates with the pressure chamber 311.
  • the body plate layer 30A includes a pressure chamber layer 31A in place of the pressure chamber layer 31 in the above embodiment, and the pressure chamber layer 31A has the pressure chamber layer 31A in place of the communication hole 312 in the above embodiment.
  • An inlet 313A penetrating in the stacking direction Z is formed. The inlet 313A communicates with the through hole 321 of the diaphragm 32 at the upper end, and communicates with the other end of the communication hole 202A of the intermediate plate layer 20A at the lower end.
  • the inlet 313A has a smaller cross-sectional area than any of the communication hole 202A communicating with the inlet 313A, the through holes 321, 401, 601 and the through hole 513A of the interposer 51A in the wiring layer 50A described later.
  • the wiring layer 50A includes an interposer 51A in place of the interposer 51 in the above embodiment, and the interposer 51A has a through hole 513A that penetrates the interposer 51A in the stacking direction Z instead of the inlet 512 in the above embodiment. Is formed.
  • the communication hole 202A, the inlet 313A, and the through holes 321, 401, 513A, and 601 constitute an individual flow path 70A that replaces the individual flow path 70 in the above embodiment.
  • the inlet 313A is a throttle portion having a minimum cross-sectional area in the individual flow path 70A as described above.
  • the inlet 313A has the same characteristics as the inlet 512 in the above embodiment, and can be formed in the same shape.
  • the inlet 313A is formed in the pressure chamber layer 31A, and the inlet 313A and the pressure chamber 311 are orthogonal to the stacking direction.
  • the intermediate plate layer 20A communicates with the communication hole 202A so as to extend in the direction in which the intermediate plate layer 20A extends.

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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

　ノズル毎の吐出特性のばらつきを低減しつつ、複数のノズルを高密度に配置することを目的とし、インクジェットヘッド１は、積層部材２と、積層部材２の上側に配設されて複数のノズル１１にインクを供給する共通インク室３とを備える。積層部材２は、複数のノズル１１が形成されたノズルプレート層１０と、ノズルプレート層１０の上側に積層されるとともに、ノズル１１に連通された圧力室３１１を有する圧力室層３１と、圧力室層３１の上側に積層されたインターポーザ５１と、共通インク室３と圧力室３１１とを連通する個別流路７０とを有している。個別流路７０には、当該個別流路７０における最小の断面積を有するとともに、インターポーザ５１を積層方向Ｚへ貫通するインレット５１２が形成されている。

Description

インクジェットヘッド
　本発明は、インクジェットヘッドに関する。
　従来、インクジェット記録装置に設けられ、複数の微細なノズルからインクを吐出して記録媒体に画像を形成するインクジェットヘッドが知られている。近年、インクジェット記録装置による高精度・高精細な画像形成を実現するために、インクジェットヘッドにおけるノズルの高密度配置が求められている。
　インクジェットヘッドには、インクの共通流路がノズル列毎に設けられる他、インクに吐出圧力を付与するための圧力室や、共通流路から各圧力室へインクを供給するための個別流路が、複数のノズルに対して個別に設けられている。そのため、これら共通流路、圧力室及び個別流路をノズルの配列方向（水平方向）に並設してしまうと、複数のノズルを高密度に配置することが困難であった。
　そこで、ノズルの上方に圧力室を設け、共通流路に代わる共通インク室を圧力室の上方に設けることで、ノズルの高密度配置を可能としたインクジェットヘッドが提案されている（例えば、特許文献１参照）。このインクジェットヘッドでは、多層に積層された積層部材を貫通して個別流路が形成されており、このうち、圧力室の上壁を構成して室内のインクに吐出圧力を付与するための振動板と、振動板の上面に積層された圧電素子の下部電極と、下部電極の上面に積層された隔壁層とに亘って、個別流路のうち断面積が最小となる絞り部が形成されている。
特開２００６－２６４３２２号公報
　ところで、個別流路における絞り部は、その断面積がインクのリフィル性、長さが吐出効率に影響するため、所定の形状に高精度に形成される必要がある。
　しかしながら、上記特許文献１に記載のインクジェットヘッドでは、絞り部が複数層に亘って形成されているため、絞り部の形状を高精度に形成することが困難となって絞り部毎に形状がばらつく結果、リフィル性や吐出効率といったインクの吐出特性がノズル毎にばらつく恐れがある。
　本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、ノズル毎の吐出特性のばらつきを低減しつつ、複数のノズルを高密度に配置することのできるインクジェットヘッドの提供を目的とする。
　上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、
　インクを吐出する複数のノズルが設けられた多層状の積層部材と、前記積層部材の積層方向の一方側に配設されて前記複数のノズルにインクを供給する共通インク室とを備えるインクジェットヘッドにおいて、
　前記積層部材は、
　前記複数のノズルが形成された第１層部材と、
　前記第１層部材の前記一方側に積層されるとともに、前記複数のノズルに個別に連通された複数の圧力室を有する第２層部材と、
　前記第２層部材の前記一方側に積層された第３層部材と、
　前記共通インク室と前記複数の圧力室とを個別に連通する複数の個別流路と、
　を有し、
　前記複数の個別流路には、当該個別流路における最小の断面積を有するとともに、前記第２層部材及び前記第３層部材のいずれか一方のみを前記積層方向へ貫通する絞り部がそれぞれ形成されていることを特徴とする。
　請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のインクジェットヘッドにおいて、
　前記絞り部は、円形断面に形成されるとともに長さが直径の２倍以上であることを特徴とする。
　請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載のインクジェットヘッドにおいて、
　前記絞り部は、前記第３層部材に形成されるとともに、前記積層方向と直交する方向に延在するよう前記第２層部材に形成された連通部を介して前記圧力室に連通されていることを特徴とする。
　請求項４に記載の発明は、請求項３に記載のインクジェットヘッドにおいて、
　前記第３層部材は、シリコン製の基板であることを特徴とする。
　請求項５に記載の発明は、請求項１又は２に記載のインクジェットヘッドにおいて、
　前記積層部材は、前記第１層部材と前記第２層部材との間に積層された第４層部材を有し、
　前記絞り部は、前記第２層部材に形成されるとともに、前記積層方向と直交する方向に延在するよう前記第４層部材に形成された連通部を介して前記圧力室に連通されていることを特徴とする。
　請求項６に記載の発明は、請求項５に記載のインクジェットヘッドにおいて、
　前記第２層部材は、シリコン製の基板であることを特徴とする。
　請求項１に記載の発明によれば、個別流路のうち最小の断面積を有する絞り部が、第２層部材及び第３層部材のいずれか一方のみを積層方向へ貫通するように形成されているので、第２層部材又は第３層部材の厚さによって絞り部の長さが確実に規定されるとともに、複数の層部材に亘って形成された従来の絞り部に比べて加工誤差や組立誤差の生じる余地が少ない。したがって、従来に比べて、絞り部の形状を高精度に形成することができ、絞り部毎の形状を高精度に均一化してノズル毎の吐出特性のばらつきを低減することができる。
　また、積層部材のうち、第１層部材に複数のノズルが形成され、第１層部材の一方側に積層された第２層部材に複数の圧力室が設けられて、積層部材の積層方向の一方側に共通インク室が配設されている。つまり、ノズルと圧力室と共通インク室とがノズルの配列方向と直交する積層方向に沿って設けられているので、複数のノズルを高密度に配置することができる。
　更に、複数のノズルが形成された第１層部材の表面と直交する積層方向に絞り部が形成されている。つまり、ノズルの配列方向と直交する方向に絞り部が形成されているので、絞り部の長さに影響されることなく複数のノズルを高密度に配置することができる。
　以上より、ノズル毎の吐出特性のばらつきを低減しつつ、複数のノズルを高密度に配置することができる。
　請求項２に記載の発明によれば、絞り部は、円形断面に形成されるとともに長さが直径の２倍以上であるので、絞り部の長さと直径の関係によって規定されるインクの吐出速度を所定値以上とすることができる。
　請求項３に記載の発明によれば、絞り部は、第３層部材に形成されるとともに、積層方向と直交する方向に延在するよう第２層部材に形成された連通部を介して圧力室に連通されているので、つまり、異なる方向に形成された絞り部と連通部とが異なる層部材に形成される。したがって、異なる方向に形成された絞り部と連通部とを同じ層部材に形成した場合に比べ、これら絞り部及び連通部を高精度な深さにエッチング加工することができる。
　請求項４に記載の発明によれば、第３層部材はシリコン製の基板であるので、当該第３層部材に形成される絞り部を高精度にエッチング加工することができる。また、シリコン製の基板は熱による変形に強く安定した形状を維持することができるため、絞り部の熱変形に起因するノズル毎の吐出特性のばらつきを低減することができる。
　請求項５に記載の発明によれば、積層部材は、第１層部材と第２層部材との間に積層された第４層部材を有し、絞り部は、第２層部材に形成されるとともに、積層方向と直交する方向に延在するよう第４層部材に形成された連通部を介して圧力室に連通されているので、つまり、異なる方向に形成された絞り部と連通部とが異なる層部材に形成される。したがって、異なる方向に形成された絞り部と連通部とを同じ層部材に形成した場合に比べ、これら絞り部及び連通部を高精度な深さにエッチング加工することができる。
　請求項６に記載の発明によれば、第２層部材はシリコン製の基板であるので、当該第２層部材に形成される絞り部を高精度にエッチング加工することができる。また、シリコン製の基板は熱による変形に強く安定した形状を維持することができるため、絞り部の熱変形に起因するノズル毎の吐出特性のばらつきを低減することができる。
実施形態におけるインクジェットヘッドの斜視図である。 実施形態におけるインクジェットヘッドの要部断面図である。 実施形態における積層部材の断面図である。 実施形態におけるノズルの配列図である。 図４のＡ部を拡大した図である。 インレットの形状に対するインクの吐出速度の変化を示すグラフである。 実施形態の変形例におけるインクジェットヘッドの要部断面図である。 実施形態の変形例における積層部材の断面図である。
　以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。
　＜インクジェットヘッドの構成＞
　図１は、本発明に係るインクジェットヘッド１の斜視図であり、図２は、インクジェットヘッド１の要部断面図である。
　これらの図に示すように、インクジェットヘッド１の下端には、インクを吐出する複数のノズル１１がＸ方向及びＹ方向に配列された積層部材２が取り付けられている。積層部材２は、上下方向である矢印Ｚの方向（以下、積層方向Ｚという）に多層状に積層されて形成されており、その上側には、共通インク室形成部材６が接合されており、積層部材２と共通インク室形成部材６とで形成される空間によって、複数のノズル１１にインクを供給する共通インク室３が配設されている。
　また、積層部材２の上側であってＸ方向の両端部には、後述の圧電素子４２を駆動するためのフレキシブル基板４及びドライバ５が配設されている。
　＜積層部材の構成＞
　図３は、積層部材２の断面図であり、図４は、ノズル１１の配列図であり、図５は、図４のＡ部を拡大した図である。なお、図３は、１個のノズル１１に係る構成要素のみを図示しているが、積層部材２を構成する層部材自体を除く各構成要素は、複数のノズル１１に個別に対応して複数設けられている。また、図４及び図５では、図示を分かり易くするために、後述の圧力室３１１やインレット５１２等を実線で示している。
　図３に示すように、積層部材２は、ノズルプレート層１０，中間プレート層２０，ボディプレート層３０，第１接着層４０，配線層５０及び第２接着層６０の６つの層部材が、積層方向Ｚへこの順に積層されて構成されている。
　このうち、ノズルプレート層１０は、シリコン製の基板であり、積層部材２の最下層に位置している。このノズルプレート層１０には、複数のノズル１１が形成されている。
　ノズル１１は、図４に示すように、Ｘ方向に８個並設されてノズル列１１ａを構成しており、このノズル列１１ａがＹ方向に８列並設されてノズルグループ１１ｂを構成している。より詳しくは、ノズルグループ１１ｂは、全てのノズル列１１ａにおける各ノズル１１のＸ方向の位置が１列おきに僅かずつ重なるとともに、全体として全てのノズル１１のＸ方向の位置が僅かずつ重なるように、各ノズル１１のＸ方向の位置をずらして構成されている。そして、このノズルグループ１１ｂがＹ方向に２組並設されている。
　中間プレート層２０は、ガラス製の基板であり、図３に示すように、ノズルプレート層１０の上面に積層され、接合されている。中間プレート層２０には、ノズルプレート層１０のノズル１１と連通する貫通孔２０１が積層方向Ｚに形成されている。
　ボディプレート層３０は、圧力室層３１と振動板３２とから構成されている。
　圧力室層３１は、シリコン製の基板であり、中間プレート層２０の上面に積層され、接合されている。圧力室層３１には、ノズル１１から吐出されるインクに吐出圧力を付与する圧力室３１１が、当該圧力室層３１を積層方向Ｚへ貫通するように形成されている。圧力室３１１は、貫通孔２０１及びノズル１１の上方に設けられ、これら貫通孔２０１及びノズル１１と連通している。また、圧力室層３１には、圧力室３１１と連通する連通孔３１２が、当該圧力室層３１を貫通しつつ水平方向に延在するように形成されている（図５参照）。
　振動板３２は、圧力室３１１の開口を覆うように圧力室層３１の上面に積層され、接合されている。すなわち、振動板３２は、圧力室３１１の上壁部を構成している。振動板３２の表面には、酸化膜が形成されている。また、振動板３２には、連通孔３１２と連通する貫通孔３２１が積層方向Ｚに形成されている。
　第１接着層４０は、振動板３２の上面に積層されている。この第１接着層４０は、振動板３２と配線層５０とを接着する感光性樹脂層であるとともに、その内部に空間４１を形成する隔壁層となっている。空間４１は、第１接着層４０を積層方向Ｚへ貫通するように圧力室３１１の上方に形成され、内部に圧電素子４２を収容している。
　圧電素子４２は、圧力室３１１と略同一の平面視形状に形成され、振動板３２を挟んで圧力室３１１と対向する位置に設けられている（図５参照）。この圧電素子４２は、振動板３２を変形させるためのＰＺＴ（lead zirconium titanate）からなるアクチュエータである。また、圧電素子４２には、上面及び下面に２つの電極４２１，４２２が設けられており、このうち下面側の電極４２２が振動板３２に接続されている。
　また、第１接着層４０には、振動板３２の貫通孔３２１と連通する貫通孔４０１が、空間４１とは独立して積層方向Ｚに形成されている。
　配線層５０は、シリコン製の基板であるインターポーザ５１を備えている。インターポーザ５１の下面には、２層の酸化ケイ素の絶縁層５２，５３が被覆され、上面には、同じく酸化ケイ素の絶縁層５４が被覆されている。そして、絶縁層５２，５３のうち下方に位置する絶縁層５３が、第１接着層４０の上面に積層され、接合されている。
　インターポーザ５１には、スルーホール５１１が積層方向Ｚに形成されており、このスルーホール５１１には、貫通電極５５が挿通されている。貫通電極５５の下端には、水平方向に延在するアルミ基板５６の一端が接続されており、このアルミ基板５６の他端には、圧電素子４２上面の電極４２１に設けられたスタッドバンプ４２３が、空間４１内に露出した半田５６１を介して接続されている。また、アルミ基板５６は、インターポーザ５１下面の２層の絶縁層５２，５３によって挟まれて保護されている。
　また、インターポーザ５１には、第１接着層４０の貫通孔４０１と連通するインレット５１２が、当該インターポーザ５１を積層方向Ｚへ貫通するように形成されている。このインレット５１２は、当該インレット５１２と連通する連通孔３１２、貫通孔３２１，４０１、及び後述する第２接着層６０の貫通孔６０１のいずれよりも小さい断面積に形成されている。なお、絶縁層５２～５４のうちインレット５１２近傍を被覆する各部分は、インレット５１２よりも大きい開口径に形成されている。
　第２接着層６０は、配線層５０の上面に配設された銅基板６１を覆いつつ、インターポーザ５１の絶縁層５４の上面に積層され、接合されている。この第２接着層６０は、上方の共通インク室形成部材６を積層部材２と接着する感光性樹脂層であるとともに、銅基板６１を保護する保護層となっている。銅基板６１は、水平方向に延在されて、一端が貫通電極５５の上端に接続されるとともに、他端が上述のフレキシブル基板４に接続されている（図２参照）。
　また、第２接着層６０には、インレット５１２と連通する貫通孔６０１が積層方向Ｚへ形成されている。
　ここで、連通孔３１２、貫通孔３２１，４０１，６０１及びインレット５１２は、共通インク室３と圧力室３１１とを連通する個別流路７０を構成している。このうち、インレット５１２は、上述のように、個別流路７０における最小の断面積を有する絞り部となっている。このインレット５１２は、断面積がインクのリフィル性、長さが吐出効率に影響するため、高精度な形状に形成される必要がある。
　また、図６に示すように、インレット５１２の長さと直径（断面積）とは、インクの吐出速度に相互に関連している。そのため、インクの吐出速度が所定値以上となるように、インレット５１２の長さと直径との関係を規定することが好ましい。本実施形態においては、インクの吐出速度がおよそ８ｍ／ｓ以上となるように、インレット５１２を円形断面に形成して、長さを直径の２倍以上とすることが好ましい。
　以上の構成を具備するインクジェットヘッド１では、共通インク室３内のインクが個別流路７０を通じて圧力室３１１に供給される。そして、ドライバ５からの駆動信号に応じて、フレキシブル基板４，銅基板６１，貫通電極５５及びアルミ基板５６を通じて電極４２１，４２２間に電圧が印加されると、電極４２１，４２２に挟まれた圧電素子４２が振動板３２とともに変形し、圧力室３１１内のインクが押し出されてノズル１１から吐出される。
　＜作用・効果＞
　以上のインクジェットヘッド１によれば、個別流路７０のうち最小の断面積を有するインレット５１２が、インターポーザ５１を積層方向Ｚへ貫通するように形成されているので、インターポーザ５１の厚さによってインレット５１２の長さが確実に規定されるとともに、複数の層部材に亘って形成された従来のインレット（絞り部）に比べて加工誤差や組立誤差の生じる余地が少ない。したがって、従来に比べて、インレット５１２の形状を高精度に形成することができ、インレット５１２毎の形状を高精度に均一化してノズル１１毎の吐出特性のばらつきを低減することができる。
　また、積層部材２のうち最下層のノズルプレート層１０にノズル１１が形成され、ノズルプレート層１０の上側に積層された圧力室層３１に圧力室３１１が設けられて、積層部材２の上側に共通インク室３が配設されている。つまり、ノズル１１と圧力室３１１と共通インク室３とがノズル１１の配列方向（Ｘ，Ｙ方向）と直交する積層方向Ｚに沿って設けられているので、複数のノズル１１を高密度に配置することができる。
　更に、複数のノズル１１が形成されたノズルプレート層１０の下面と直交する積層方向Ｚにインレット５１２が形成されている。つまり、ノズル１１の配列方向と直交する方向にインレット５１２が形成されているので、インレット５１２の長さに影響されることなく複数のノズル１１を高密度に配置することができる。
　以上より、ノズル１１毎の吐出特性のばらつきを低減しつつ、複数のノズル１１を高密度に配置することができる。
　また、インレット５１２が積層方向Ｚへ形成されているので、インレット５１２を積層部材２の長手方向へ形成した場合と異なり、高精度な形状に形成するためにインレット専用の流路層やカバー層を設ける必要がない。したがって、インレット５１２を積層部材２の長手方向へ形成した場合に比べ、層部材を少なくして小型化・低コスト化を図ることができるとともに、個別流路７０の構造を簡易化して加工誤差・組立誤差の要因を減らし、ノズル１１毎の吐出特性のばらつきを低減することができる。
　また、インレット５１２は、円形断面に形成されるとともに長さが直径の２倍以上であるので、インレット５１２の長さと直径の関係によって規定されるインクの吐出速度を所定値以上とすることができ、本実施形態においては、およそ８ｍ／ｓ以上とすることができる。
　また、インレット５１２は、インターポーザ５１に形成されるとともに、水平方向に延在するよう圧力室層３１に形成された連通孔３１２を介して圧力室３１１に連通されているので、つまり、異なる方向に形成されたインレット５１２と連通孔３１２とが異なる層部材に形成されている。そして、これらインレット５１２及び連通孔３１２は、それぞれインターポーザ５１及び圧力室層３１の全厚さに亘る深さに形成されているので、インターポーザ５１及び圧力室層３１の各厚さによって、当該インレット５１２及び連通孔３１２の各深さを互いに独立させて高精度に規定することができる。なお、連通孔３１２が圧力室層３１の全厚さに亘る深さに形成されていないときであっても、異なる方向に形成されたインレット５１２と連通孔３１２とを同じ層部材に形成した場合に比べ、これらインレット５１２及び連通孔３１２を高精度な深さにエッチング加工することができる。
　また、インターポーザ５１はシリコン製の基板であるので、当該インターポーザ５１に形成されるインレット５１２を高精度にエッチング加工することができる。また、シリコン製の基板は熱による変形に強く安定した形状を維持することができるため、インレット５１２の熱変形に起因するノズル１１毎の吐出特性のばらつきを低減することができる。
　［変形例］
　続いて、上記実施形態の変形例について説明する。なお、上記実施形態と同様の構成要素には同一の符号を付し、その説明を省略する。
　図７は、インクジェットヘッド１Ａの要部断面図である。
　この図に示すように、インクジェットヘッド１Ａは、上記実施形態における積層部材２に代えて、積層部材２Ａを備えている。
　図８は、積層部材２Ａの断面図である。
　この図に示すように、積層部材２Ａは、上記実施形態における中間プレート層２０，ボディプレート層３０及び配線層５０に代えて、中間プレート層２０Ａ，ボディプレート層３０Ａ及び配線層５０Ａを備えている。
　このうち、中間プレート層２０Ａには、上記実施形態と同様の構成に加え、水平方向に延在する連通孔２０２Ａが形成されている。この連通孔２０２Ａは、一端が圧力室３１１に連通されている。
　ボディプレート層３０Ａは、上記実施形態における圧力室層３１に代えて圧力室層３１Ａを備えており、この圧力室層３１Ａには、上記実施形態における連通孔３１２に代えて、当該圧力室層３１Ａを積層方向Ｚへ貫通するインレット３１３Ａが形成されている。このインレット３１３Ａは、上端で振動板３２の貫通孔３２１と連通するとともに、下端で中間プレート層２０Ａの連通孔２０２Ａの他端と連通している。また、インレット３１３Ａは、当該インレット３１３Ａと連通する連通孔２０２Ａ、貫通孔３２１，４０１，６０１、及び後述する配線層５０Ａにおけるインターポーザ５１Ａの貫通孔５１３Ａのいずれよりも小さい断面積に形成されている。
　配線層５０Ａは、上記実施形態におけるインターポーザ５１に代えてインターポーザ５１Ａを備えており、このインターポーザ５１Ａには、上記実施形態におけるインレット５１２に代えて、当該インターポーザ５１Ａを積層方向Ｚへ貫通する貫通孔５１３Ａが形成されている。
　ここで、連通孔２０２Ａ、インレット３１３Ａ及び貫通孔３２１，４０１，５１３Ａ，６０１は、上記実施形態における個別流路７０に代わる個別流路７０Ａを構成している。このうち、インレット３１３Ａは、上述のように、個別流路７０Ａにおける最小の断面積を有する絞り部となっている。このインレット３１３Ａは、上記実施形態におけるインレット５１２と同様の特性を有しており、同様の形状に形成することができる。
　以上のインクジェットヘッド１Ａでは、上記実施形態のようにインターポーザ５１に形成されたインレット５１２に代えて、インレット３１３Ａを圧力室層３１Ａに形成し、このインレット３１３Ａと圧力室３１１とを、積層方向と直交する方向に延在するよう中間プレート層２０Ａに形成した連通孔２０２Ａによって連通している。
　このようなインクジェットヘッド１Ａによっても、上記実施形態におけるインクジェットヘッド１と同様の効果を奏することができる。
　なお、本発明は上記実施形態及びその変形例に限定して解釈されるべきではなく、適宜変更・改良が可能であることはもちろんである。
　１，１Ａ　インクジェットヘッド
　２，２Ａ　積層部材
　３　共通インク室
　１０　ノズルプレート層（第１層部材）
　１１　ノズル
　２０，２０Ａ　中間プレート層（第４層部材）
　３０，３０Ａ　ボディプレート層
　３１，３１Ａ　圧力室層（第２層部材）
　４０　第１接着層
　５０，５０Ａ　配線層
　５１，５１Ａ　インターポーザ（第３層部材）
　６０　第２接着層
　７０，７０Ａ　個別流路
　３１１　圧力室
　３１２，２０２Ａ　連通孔（連通部）
　５１２，３１３Ａ　インレット（絞り部）
　Ｚ　積層方向

Claims (6)

  1. 　インクを吐出する複数のノズルが設けられた多層状の積層部材と、前記積層部材の積層方向の一方側に配設されて前記複数のノズルにインクを供給する共通インク室とを備えるインクジェットヘッドにおいて、
    　前記積層部材は、
    　前記複数のノズルが形成された第１層部材と、
    　前記第１層部材の前記一方側に積層されるとともに、前記複数のノズルに個別に連通された複数の圧力室を有する第２層部材と、
    　前記第２層部材の前記一方側に積層された第３層部材と、
    　前記共通インク室と前記複数の圧力室とを個別に連通する複数の個別流路と、
    　を有し、
    　前記複数の個別流路には、当該個別流路における最小の断面積を有するとともに、前記第２層部材及び前記第３層部材のいずれか一方のみを前記積層方向へ貫通する絞り部がそれぞれ形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
  2. 　前記絞り部は、円形断面に形成されるとともに長さが直径の２倍以上であることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
  3. 　前記絞り部は、前記第３層部材に形成されるとともに、前記積層方向と直交する方向に延在するよう前記第２層部材に形成された連通部を介して前記圧力室に連通されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のインクジェットヘッド。
  4. 　前記第３層部材は、シリコン製の基板であることを特徴とする請求項３に記載のインクジェットヘッド。
  5. 　前記積層部材は、前記第１層部材と前記第２層部材との間に積層された第４層部材を有し、
    　前記絞り部は、前記第２層部材に形成されるとともに、前記積層方向と直交する方向に延在するよう前記第４層部材に形成された連通部を介して前記圧力室に連通されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のインクジェットヘッド。
  6. 　前記第２層部材は、シリコン製の基板であることを特徴とする請求項５に記載のインクジェットヘッド。
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014083705A (ja) * 2012-10-19 2014-05-12 Konica Minolta Inc インクジェットヘッド
JP2014113796A (ja) * 2012-12-12 2014-06-26 Seiko Epson Corp 液体噴射ヘッド、液体噴射装置
JPWO2012176875A1 (ja) * 2011-06-22 2015-02-23 コニカミノルタ株式会社 インクジェットヘッド及びインクジェット描画装置
JP2015066820A (ja) * 2013-09-30 2015-04-13 ブラザー工業株式会社 液滴噴射装置及び液滴噴射装置の製造方法
JP2016049675A (ja) * 2014-08-29 2016-04-11 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッドとその製造方法
WO2016143355A1 (en) * 2015-03-10 2016-09-15 Seiko Epson Corporation Electronic device
JP2018001413A (ja) * 2016-06-27 2018-01-11 コニカミノルタ株式会社 インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置
EP3305528A4 (en) * 2015-05-29 2018-05-30 Konica Minolta, Inc. Inkjet head and inkjet recording device

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07156396A (ja) * 1993-12-08 1995-06-20 Seiko Epson Corp インクジェット記録ヘッド及びその製造方法
JP2001179973A (ja) * 1999-12-27 2001-07-03 Seiko Epson Corp インクジェット式記録ヘッド
JP2003075305A (ja) * 2001-08-31 2003-03-12 Ngk Insulators Ltd 液滴吐出装置
JP2004025815A (ja) * 2002-06-28 2004-01-29 Ricoh Co Ltd 液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置
JP2005262875A (ja) * 2004-02-19 2005-09-29 Fuji Photo Film Co Ltd 液体吐出ヘッド及び画像記録装置
JP2006102980A (ja) * 2004-09-30 2006-04-20 Fuji Photo Film Co Ltd 液体吐出ヘッド及び画像形成装置
JP2008201037A (ja) * 2007-02-21 2008-09-04 Seiko Epson Corp 液滴吐出ヘッド及びその製造方法並びに液滴吐出装置

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4992414B2 (ja) * 2006-12-22 2012-08-08 富士ゼロックス株式会社 液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07156396A (ja) * 1993-12-08 1995-06-20 Seiko Epson Corp インクジェット記録ヘッド及びその製造方法
JP2001179973A (ja) * 1999-12-27 2001-07-03 Seiko Epson Corp インクジェット式記録ヘッド
JP2003075305A (ja) * 2001-08-31 2003-03-12 Ngk Insulators Ltd 液滴吐出装置
JP2004025815A (ja) * 2002-06-28 2004-01-29 Ricoh Co Ltd 液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置
JP2005262875A (ja) * 2004-02-19 2005-09-29 Fuji Photo Film Co Ltd 液体吐出ヘッド及び画像記録装置
JP2006102980A (ja) * 2004-09-30 2006-04-20 Fuji Photo Film Co Ltd 液体吐出ヘッド及び画像形成装置
JP2008201037A (ja) * 2007-02-21 2008-09-04 Seiko Epson Corp 液滴吐出ヘッド及びその製造方法並びに液滴吐出装置

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2012176875A1 (ja) * 2011-06-22 2015-02-23 コニカミノルタ株式会社 インクジェットヘッド及びインクジェット描画装置
JP2014083705A (ja) * 2012-10-19 2014-05-12 Konica Minolta Inc インクジェットヘッド
JP2014113796A (ja) * 2012-12-12 2014-06-26 Seiko Epson Corp 液体噴射ヘッド、液体噴射装置
JP2015066820A (ja) * 2013-09-30 2015-04-13 ブラザー工業株式会社 液滴噴射装置及び液滴噴射装置の製造方法
JP2016049675A (ja) * 2014-08-29 2016-04-11 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッドとその製造方法
US10076906B2 (en) 2014-08-29 2018-09-18 Canon Kabushiki Kaisha Liquid discharge head and method for manufacturing same
WO2016143355A1 (en) * 2015-03-10 2016-09-15 Seiko Epson Corporation Electronic device
JP2016165846A (ja) * 2015-03-10 2016-09-15 セイコーエプソン株式会社 電子デバイス
US10328697B2 (en) 2015-03-10 2019-06-25 Seiko Epson Corporation Electronic device
EP3305528A4 (en) * 2015-05-29 2018-05-30 Konica Minolta, Inc. Inkjet head and inkjet recording device
JP2018001413A (ja) * 2016-06-27 2018-01-11 コニカミノルタ株式会社 インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置

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