JP5569010B2 - インクジェットヘッド - Google Patents
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第1の圧力室がマトリックス状に多数配列形成され、該第1の圧力室の壁面の一部を形成する第1の振動板にそれぞれ配設された第1の圧力発生手段を有する第1の層と、
第2の圧力室がマトリックス状に多数配列形成され、該第2の圧力室の壁面の一部を形成する第2の振動板にそれぞれ配設された第2の圧力発生手段を有する第2の層と、
前記第1の層の前記第1の圧力発生手段及び前記第2の層の前記第2の圧力発生手段にそれぞれ電圧を印加する配線が形成された配線層とを有し、
前記配線層は、前記第1の層と前記第2の層との間に配置され、
前記第2の層は、前記第1の圧力室及び前記第2の圧力室にそれぞれ対応するノズルを形成したノズルプレートを有し、
前記第2の層と前記配線層とに亘り、前記第1の圧力室と該第1の圧力室に対応する前記ノズルとをそれぞれ連通させるインク吐出用の流路を有することを特徴とするインクジェットヘッドである。
前記第2の圧力発生手段は、前記第2の層の天面に形成されていることを特徴とする請求項1記載のインクジェットヘッドである。
前記第1の層と前記配線層とに亘り、前記共通インク室と前記第2の圧力室の各々とを個別に連通するインク供給用の流路を有することを特徴とする請求項1、2又は3記載のインクジェットヘッドである。
10:第1アクチュエータ層
11:第1圧力室
111:底壁
12:Si基板
13:第1振動板
14:圧電素子
15:接着剤層
16:天板
161、162:インレット
20:第2アクチュエータ層
21:第2圧力室
211:底壁
22:Si基板
23:第2振動板
24:圧電素子
25:接着剤層
26:ノズル板
261、262:ノズル
30:配線層
31:Si基板
32:金属膜
321、322:配線
33、331、332:絶縁膜
341、342:非絶縁部
351、352:接点部
361、362:接着剤層
41:インク吐出用流路
42:インク供給用流路
50:共通インク室
51:流入管
52:流出管
Claims (4)
- 圧力発生手段によってインクをノズルから吐出するインクジェットヘッドであって、
第1の圧力室がマトリックス状に多数配列形成され、該第1の圧力室の壁面の一部を形成する第1の振動板にそれぞれ配設された第1の圧力発生手段を有する第1の層と、
第2の圧力室がマトリックス状に多数配列形成され、該第2の圧力室の壁面の一部を形成する第2の振動板にそれぞれ配設された第2の圧力発生手段を有する第2の層と、
前記第1の層の前記第1の圧力発生手段及び前記第2の層の前記第2の圧力発生手段にそれぞれ電圧を印加する配線が形成された配線層とを有し、
前記配線層は、前記第1の層と前記第2の層との間に配置され、
前記第2の層は、前記第1の圧力室及び前記第2の圧力室にそれぞれ対応するノズルを形成したノズルプレートを有し、
前記第2の層と前記配線層とに亘り、前記第1の圧力室と該第1の圧力室に対応する前記ノズルとをそれぞれ連通させるインク吐出用の流路を有することを特徴とするインクジェットヘッド。 - 前記第1の圧力発生手段は、前記第1の層の底面に形成され、
前記第2の圧力発生手段は、前記第2の層の天面に形成されていることを特徴とする請求項1記載のインクジェットヘッド。 - 前記配線層は、一方の面に、前記第1の層の前記第1の圧力発生手段と該第1の圧力発生手段に電圧を印加するための前記配線とを電気的に接続する第1の電気的接続手段を有し、他方の面に、前記第2の層の前記第2の圧力発生手段と該第2の圧力発生手段に電圧を印加するための前記配線とを電気的に接続する第2の電気的接続手段を有することを特徴とする請求項1又は2記載のインクジェットヘッド。
- 前記第1の層の上層に、前記第1の圧力室及び前記第2の圧力室へ共通にインクを供給する共通インク室を有し、
前記第1の層と前記配線層とに亘り、前記共通インク室と前記第2の圧力室の各々とを個別に連通するインク供給用の流路を有することを特徴とする請求項1、2又は3記載のインクジェットヘッド。
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JP2010016485A JP5569010B2 (ja) | 2010-01-28 | 2010-01-28 | インクジェットヘッド |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010016485A JP5569010B2 (ja) | 2010-01-28 | 2010-01-28 | インクジェットヘッド |
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JP2011152740A JP2011152740A (ja) | 2011-08-11 |
JP5569010B2 true JP5569010B2 (ja) | 2014-08-13 |
Family
ID=44539028
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2010016485A Active JP5569010B2 (ja) | 2010-01-28 | 2010-01-28 | インクジェットヘッド |
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- 2010-01-28 JP JP2010016485A patent/JP5569010B2/ja active Active
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