JP6503484B2 - インクジェット式記録ヘッド - Google Patents
インクジェット式記録ヘッド Download PDFInfo
- Publication number
- JP6503484B2 JP6503484B2 JP2018018475A JP2018018475A JP6503484B2 JP 6503484 B2 JP6503484 B2 JP 6503484B2 JP 2018018475 A JP2018018475 A JP 2018018475A JP 2018018475 A JP2018018475 A JP 2018018475A JP 6503484 B2 JP6503484 B2 JP 6503484B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ink
- individual
- pressure chamber
- substrate
- ink pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000000976 ink Substances 0.000 claims description 628
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 134
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 14
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 10
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 6
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 claims 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 15
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 description 10
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 9
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 9
- 230000008569 process Effects 0.000 description 7
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 6
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 6
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 5
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 5
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 4
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 4
- 241000219122 Cucurbita Species 0.000 description 3
- 235000009852 Cucurbita pepo Nutrition 0.000 description 3
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 description 2
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004121 SrRuO Inorganic materials 0.000 description 1
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 231100000989 no adverse effect Toxicity 0.000 description 1
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
図1は、第1の実施形態に係るインクジェット式記録ヘッド100(以下、単に、ヘッド100と称する)の要部を示す部分拡大断面図である。図2は、図1の構成を複数備えたヘッド100の一部を示す概略斜視図である。図2では、圧電素子50およびその配線構造を見易くするため、絶縁膜60の図示を省略してある。ヘッド100は、図2に示すように、その表面に複数の圧電素子50を行列状に並べて有する。圧電素子50の行の数や列の数は、任意に変更可能である。
まず、図示しない外部のインク供給ポンプからヘッド100にインクが供給される。インクは、共通インク供給路31を介して各列の複数の個別インク供給路21へ流入し、対応するインク圧力室11へ流れ込む。各インク圧力室11へ流れ込んだインクは、図示しない外部のインク排出ポンプにより排出される。このとき、複数のインク圧力室11内のインクが、個別インク排出路22を介して共通インク排出路32へ流出される。これにより、複数のインク圧力室11内をインクが循環する。このとき、各インク圧力室11内に発生した気泡等も速やかにインク圧力室11外に排出される。
まず、図6に示すように、熱酸化により駆動基板10を酸化してSi酸化膜からなるノズルプレート40を形成する。本実施形態では、Si基板の熱酸化によりノズルプレート40を形成したが、熱酸化法以外のプラズマCVD法やTEOSを原材料とするCVD法なども使用することができる。
上述した第1の実施形態によると、駆動基板10に形成する複数のインク圧力室11は、駆動基板10の第2面10b側から裏面フォトリソグラフィーおよび深掘りエッチング(D−RIE)により形成する。このとき、駆動基板10のエッチングおよびパッシベーションを数回繰り返して所望の深さの複数のインク圧力室11を形成する。このため、各インク圧力室11のノズルプレート40側(駆動基板10の第1面10a側)の開口形状と、各インク圧力室11の流路基板20側(駆動基板10の第2面10b側)の開口形状がわずかに異なる。
図16は、第2の実施形態に係るインクジェット式記録ヘッド200(以下、単にヘッド200と称する)の要部を示す部分拡大断面図である。本実施形態のヘッド200は、供給基板30の代りに支持基板210を有する以外、上述した第1の実施形態のヘッド100と略同じ構造を有する。よって、ここでは、第1の実施形態と異なる構成について説明し、第1の実施形態と同様に機能する構成については同一符号を付してその詳細な説明を省略する。
図17は、第3の実施形態に係るインクジェット式記録ヘッド300(以下、単にヘッド300と称する)の要部を示す部分拡大断面図である。ヘッド300は、ノズルプレート40のインク圧力室11側に、枠状のテンプレート側壁310を有するとともに、ノズル41をインク圧力室11側に延長した筒状のノズル延長部320を有する。それ以外は、上述した第2の実施形態のヘッド200と同様である。したがって、第2の実施形態と重複する内容については、同一符号を付してその詳細な説明を省略する。
図18は、第4の実施形態に係るインクジェット式記録ヘッド400(以下、単にヘッド400と称する)の要部を示す部分拡大断面図である。本実施形態のヘッド400は、駆動基板10を厚くし、個別インク供給路21を供給基板30まで延出させ、個別インク排出路22を供給基板30まで延出させ、且つ共通インク供給路31および共通インク排出路32を面方向にずらした構造を有する。それ以外は、上述した第1の実施形態のヘッド100と略同じ構造を有する。よって、ここでは、第1の実施形態と異なる構成について説明し、第1の実施形態と同様に機能する構成については同一符号を付してその詳細な説明を省略する。
[1]
第1の方向に配列された複数のインク圧力室と、
前記各インク圧力室に連通したノズルと、
前記各インク圧力室の前記第1の方向の一端に連通して前記第1の方向と交差する第2の方向に配列され、前記各インク圧力室へインクを個別に供給する複数の個別インク供給路と、
前記各インク圧力室の前記第1の方向の他端に連通して前記第2の方向に配列され、前記各インク圧力室からインクを個別に排出させる複数の個別インク排出路と、
前記各インク圧力室内のインクを加圧可能な複数のアクチュエータと、
前記複数の個別インク供給路の前記各インク圧力室と反対側の端部に連通した共通インク供給路と、
前記複数の個別インク排出路の前記各インク圧力室と反対側の端部に連通した共通インク排出路と、
を有するインクジェット式記録ヘッド。
[2]
前記インク圧力室の両端に前記個別インク供給路および前記個別インク排出路を接続した個別インク流路の断面積は、その全長にわたって5000μm2〜30000μm2である、
[1]のインクジェット式記録ヘッド。
[3]
前記ノズルから前記インク圧力室および前記個別インク供給路を介して前記共通インク供給路に至る流路長、および前記ノズルから前記インク圧力室および前記個別インク排出路を介して前記共通インク排出路に至る流路長は、500μm〜1250μmである、
[2]のインクジェット式記録ヘッド。
[4]
第1の方向に配列された複数のインク圧力室を有する第1基板と、
この第1基板の第1面に積層され、前記各インク圧力室に連通したノズルを前記各インク圧力室毎に有するノズルプレートと、
前記第1基板の前記第1面と反対の第2面に積層され、前記各インク圧力室の前記第1の方向の一端に連通して対応するインク圧力室へインクを供給する複数の個別インク供給路、および、前記各インク圧力室の前記第1の方向の他端に連通して対応するインク圧力室からインクを排出させる複数の個別インク排出路が、その厚さ方向に配列された第2基板と、
前記ノズルプレートの前記第1基板と反対側の面で前記各ノズルの周りに設けられ、前記各インク圧力室内のインクをそれぞれ加圧可能な複数のアクチュエータと、
を有するインクジェット式記録ヘッド。
[5]
前記第2基板の前記第1基板と反対側に積層され、前記複数の個別インク供給路の前記各インク圧力室と反対側の端部に連通した共通インク供給路、および、前記複数の個別インク排出路の前記各インク圧力室と反対側の端部に連通した共通インク排出路を有する第3基板をさらに有する、
[4]のインクジェット式記録ヘッド。
[6]
前記インク圧力室の両端に前記個別インク供給路および前記個別インク排出路を接続した個別インク流路の断面積は、その全長にわたって5000μm2〜30000μm2である、
[5]のインクジェット式記録ヘッド。
[7]
前記ノズルから前記インク圧力室および前記個別インク供給路を介して前記共通インク供給路に至る流路長、および前記ノズルから前記インク圧力室および前記個別インク排出路を介して前記共通インク排出路に至る流路長は、500μm〜1250μmである、
[6]のインクジェット式記録ヘッド。
[8]
前記複数のインク圧力室は、前記第1基板の前記第1面と前記第2面を連絡して前記第1基板を貫通した孔であり、
前記複数の個別インク供給路および前記複数の個別インク排出路は、前記第2基板を厚さ方向に貫通した孔であり、
前記第1基板の厚さと前記第2基板の厚さを足した厚さは、500μm以上である、
[6]のインクジェット式記録ヘッド。
[9]
前記複数のインク圧力室は、前記第1基板の前記第1面と前記第2面を連絡して前記第1基板を貫通した前記第1の方向に延びた長孔であり、
前記各インク圧力室の前記第1面側の開口形状は、前記第1の方向に長い長円形であり、
前記各インク圧力室の前記第2面側の開口形状は、前記長円形と比較して前記第1の方向の長さが長く、且つ前記第1の方向の中央部の幅が両端の幅より短い、
[4]のインクジェット式記録ヘッド。
[10]
前記個別インク供給路および前記個別インク排出路は、前記インク圧力室の前記第2面側の開口部の幅広の両端に対向して各インク圧力室に連通している、
[9]のインクジェット式記録ヘッド。
[11]
前記第2の基板が、前記複数の個別インク供給路の前記各インク圧力室と反対側の端部に連通した共通インク供給路、および、前記複数の個別インク排出路の前記各インク圧力室と反対側の端部に連通した共通インク排出路を有する、
[4]のインクジェット式記録ヘッド。
[12]
前記複数の個別インク供給路の前記各インク圧力室と反対側の端部、および前記複数の個別インク排出路の前記各インク圧力室と反対側の端部が、前記第3基板まで延びている、
[5]のインクジェット式記録ヘッド。
[13]
第1面とこの第1面と反対の第2面を連絡して第1の方向に配列した複数のインク圧力室を有する第1基板と、
この第1基板の前記第1面に積層され、前記各インク圧力室に連通したノズルを有するノズルプレートと、
前記第1基板の前記第2面に積層され、前記各インク圧力室の前記第1の方向の一端にそれぞれ連通した複数の個別インク供給路、および前記各インク圧力室の前記第1の方向の他端にそれぞれ連通した複数の個別インク排出路を有する第2基板と、
前記ノズルプレートの前記第1基板と反対側の面で前記各ノズルの周りに設けられ、前記各インク圧力室内のインクをそれぞれ加圧可能な複数のアクチュエータと、を有し、
前記各インク圧力室の前記第1面側の開口形状は、前記第1の方向に長い長円形であり、
前記各インク圧力室の前記第2面側の開口形状は、前記長円形と比較して前記第1の方向の長さが長く、且つ前記第1の方向の中央部の幅が両端の幅より短い、
インクジェット式記録ヘッド。
[14]
前記個別インク供給路および前記個別インク排出路は、前記インク圧力室の前記第2面側の開口部の幅広の両端に対向して各インク圧力室に連通している、
[13]のインクジェット式記録ヘッド。
[15]
前記インク圧力室の両端に前記個別インク供給路および前記個別インク排出路を接続した個別インク流路の断面積は、その全長にわたって5000μm2〜30000μm2である、
[14]のインクジェット式記録ヘッド。
[16]
前記インク圧力室、前記個別インク供給路、および前記個別インク排出路をつなげた個別インク流路の長さは、1000μm〜2500μmである、
[14]のインクジェット式記録ヘッド。
[17]
前記複数の個別インク供給路および前記複数の個別インク排出路は、前記第2基板を厚さ方向に貫通した孔であり、
前記第1基板の厚さと前記第2基板の厚さを足した厚さは、500μm以上である、
[14]のインクジェット式記録ヘッド。
Claims (6)
- 第1の方向に配列された複数のインク圧力室と、
前記各インク圧力室の前記第1の方向の中央に連通したノズルと、
前記各インク圧力室の前記第1の方向の一端に連通して前記第1の方向と交差する第2の方向に配列され、前記各インク圧力室へインクを個別に供給する複数の個別インク供給路と、
前記各インク圧力室の前記第1の方向の他端に連通して前記第2の方向に配列され、前記各インク圧力室からインクを個別に排出させる複数の個別インク排出路と、
前記各インク圧力室内のインクを加圧して前記ノズルを介してインク滴を吐出させる複数のアクチュエータと、
前記複数の個別インク供給路の前記各インク圧力室と反対側の端部に連通した共通インク供給路と、
前記複数の個別インク排出路の前記各インク圧力室と反対側の端部に連通した共通インク排出路と、を有し、
前記複数の個別インク供給路が前記インク圧力室に連通した端部の前記第1の方向に沿った開口幅が、当該個別インク供給路が前記共通インク供給路に連通した端部の前記第1の方向に沿った開口幅と同じであり、
前記複数の個別インク排出路が前記インク圧力室に連通した端部の前記第1の方向に沿った開口幅が、当該個別インク排出路が前記共通インク排出路に連通した端部の前記第1の方向に沿った開口幅と同じであり、
前記インク圧力室、前記個別インク供給路、および前記個別インク排出路をつなげた個別インク流路の長さが、前記インク滴の吐出時に前記インク圧力室で発生するインクの圧力変化に基づく振動波が前記共通インク供給路および前記共通インク排出路に伝わらない長さである、
インクジェット式記録ヘッド。 - 第1の方向に配列された複数のインク圧力室を有する第1基板と、
この第1基板の第1面に積層され、前記各インク圧力室の前記第1の方向の中央に連通したノズルを前記各インク圧力室毎に有するノズルプレートと、
前記第1基板の前記第1面と反対の第2面に積層され、前記各インク圧力室の前記第1の方向の一端に連通して対応するインク圧力室へインクを供給する複数の個別インク供給路、および、前記各インク圧力室の前記第1の方向の他端に連通して対応するインク圧力室からインクを排出させる複数の個別インク排出路が、その厚さ方向に配列された第2基板と、
前記ノズルプレートの前記第1基板と反対側の面で前記各ノズルの周りに設けられ、前記各インク圧力室内のインクをそれぞれ加圧して前記ノズルを介してインク滴を吐出させる複数のアクチュエータと、
前記第2基板の前記第1基板と反対側に積層され、前記複数の個別インク供給路の前記各インク圧力室と反対側の端部に連通した共通インク供給路、および、前記複数の個別インク排出路の前記各インク圧力室と反対側の端部に連通した共通インク排出路を有する第3基板と、を有し、
前記複数の個別インク供給路が前記インク圧力室に連通した端部の前記第1の方向に沿った開口幅が、当該個別インク供給路が前記共通インク供給路に連通した端部の前記第1の方向に沿った開口幅と同じであり、
前記複数の個別インク排出路が前記インク圧力室に連通した端部の前記第1の方向に沿った開口幅が、当該個別インク排出路が前記共通インク排出路に連通した端部の前記第1の方向に沿った開口幅と同じであり、
前記インク圧力室、前記個別インク供給路、および前記個別インク排出路をつなげた個別インク流路の長さが、前記インク滴の吐出時に前記インク圧力室で発生するインクの圧力変化に基づく振動波が前記共通インク供給路および前記共通インク排出路に伝わらない長さである、
インクジェット式記録ヘッド。 - 前記個別インク流路の長さは、1mmより長い、
請求項1または2のインクジェット式記録ヘッド。 - 前記インク圧力室の両端に前記個別インク供給路および前記個別インク排出路を接続した前記個別インク流路の断面積は、その全長にわたって5000μm2〜30000μm2である、
請求項3のインクジェット式記録ヘッド。 - 前記複数のインク圧力室は、前記第1基板の前記第1面と前記第2面を連絡して前記第1基板を貫通した孔であり、
前記複数の個別インク供給路および前記複数の個別インク排出路は、前記第2基板を厚さ方向に貫通した孔であり、
前記第1基板の厚さと前記第2基板の厚さを足した厚さは、500μm以上である、
請求項2に従属した請求項3のインクジェット式記録ヘッド。 - 前記複数の個別インク供給路の前記各インク圧力室と反対側の端部、および前記複数の個別インク排出路の前記各インク圧力室と反対側の端部が、前記第3基板まで延びている、
請求項2に従属した請求項3のインクジェット式記録ヘッド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018018475A JP6503484B2 (ja) | 2018-02-05 | 2018-02-05 | インクジェット式記録ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018018475A JP6503484B2 (ja) | 2018-02-05 | 2018-02-05 | インクジェット式記録ヘッド |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017001217A Division JP6322731B1 (ja) | 2017-01-06 | 2017-01-06 | インクジェット式記録ヘッド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018111313A JP2018111313A (ja) | 2018-07-19 |
JP6503484B2 true JP6503484B2 (ja) | 2019-04-17 |
Family
ID=62910723
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018018475A Expired - Fee Related JP6503484B2 (ja) | 2018-02-05 | 2018-02-05 | インクジェット式記録ヘッド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6503484B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6540337B1 (en) * | 2002-07-26 | 2003-04-01 | Hewlett-Packard Company | Slotted substrates and methods and systems for forming same |
US6883903B2 (en) * | 2003-01-21 | 2005-04-26 | Martha A. Truninger | Flextensional transducer and method of forming flextensional transducer |
JP4986216B2 (ja) * | 2006-09-22 | 2012-07-25 | 富士フイルム株式会社 | 液体吐出ヘッドの製造方法及び画像形成装置 |
JP6047548B2 (ja) * | 2014-12-22 | 2016-12-21 | 株式会社東芝 | インクジェット式記録ヘッド |
-
2018
- 2018-02-05 JP JP2018018475A patent/JP6503484B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018111313A (ja) | 2018-07-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6322731B1 (ja) | インクジェット式記録ヘッド | |
JP5760475B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
JP4638750B2 (ja) | インクジェットプリントヘッドの圧電アクチュエータ、及びその形成方法 | |
JP5916676B2 (ja) | インクジェットヘッド、インクジェット記録装置及びインクジェットヘッドの製造方法 | |
JP6117403B1 (ja) | インクジェット式記録ヘッド | |
JP3931976B2 (ja) | アクチュエータ装置及びインクジェット式記録ヘッド並びにインクジェット式記録装置 | |
JP5849131B1 (ja) | インクジェットヘッドおよびその製造方法 | |
US7488057B2 (en) | Piezoelectric ink jet printer head and its manufacturing process | |
JP6527901B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド | |
JP6503484B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド | |
JP6373433B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド | |
JP2008044296A (ja) | 液体噴射ヘッド | |
JP2018153968A (ja) | インクジェット式記録ヘッド | |
JP6171051B1 (ja) | インクジェット式記録ヘッド | |
JP2004090637A (ja) | シリコンデバイスの製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法並びに液体噴射ヘッド | |
JP3311514B2 (ja) | インクジェットヘッド及びその製造方法 | |
JPH11300971A (ja) | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 | |
JP3433660B2 (ja) | アクチュエータ及びインクジェット式記録ヘッド | |
JP5569010B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
KR20090040157A (ko) | 압전 방식의 잉크젯 프린트헤드 및 그 제조방법 | |
JP6685736B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
JP2008207493A (ja) | 液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの製造方法及び液滴吐出装置 | |
JP2003182076A (ja) | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 | |
JPH11309867A (ja) | インクジェット式記録ヘッドの製造方法 | |
KR100561866B1 (ko) | 압전 방식 잉크젯 프린트헤드 및 그 제조방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20181025 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181030 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181221 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190226 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190325 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6503484 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |