DE69515247T2

DE69515247T2 - Mehrschichtiger Tintenstrahlaufzeichnungskopf und Verfahren zur Herstellung desselben

Info

Publication number: DE69515247T2
Application number: DE69515247T
Authority: DE
Inventors: Minoru Usui
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 1994-10-17
Filing date: 1995-10-17
Publication date: 2000-11-23
Anticipated expiration: 2015-10-18
Also published as: DE69515247D1; US6134761A; EP0707961A3; JP3196811B2; EP0707961A2; EP0707961B1; JPH08169111A; US5956059A

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Mehrschicht- Tintenstrahlaufzeichnungskopf und ein Verfahren zur Herstellung desselben.
Ein herkömmlicher Tintenstrahlaufzeichnungskopf umfaßt piezoelektrische Vibrationsplatten, die an Bereichen einer elastischen Platte befestigt sind, wo Druckerzeugungskammern ausgebildet sind, wobei die piezoelektrischen Vibrationsplatten gebogen werden, um die Volumen der Druckerzeugungskammern zur Bildung von Tintentröpfchen zu ändern. Dieser Tintenstrahlaufzeichnungskopf ist vorteilhaft insoweit als die Tintentröpfchen stabil gebildet werden, da das Volumen der Druckerzeugungskammern beträchtlich geändert wird.
Ein herkömmlicher Tintenstrahlaufzeichnungskopf dieser Art ist in der japanischen Patentanmeldung (OPI) Nr. 40030/1994 offenbart (der Begriff "OPI", wie er hierin Verwendung findet, bedeutet "nicht geprüfte Anmeldungsveröffentlichung"). Diese Art von Aufzeichnungskopf wird durch das Sintern von Grünschichten gebildet. Genauer gesagt, sind eine elastische Platte aus Keramik, die als ein Vibrationselement ausgebildet wird, ein Druckerzeugungskammerbildungselement, welches Druckerzeugungskammern bildet, sowie ein Abdeckelement aus Keramik, welches eine Oberfläche des Druckerzeugungskammerbildungselements abdichtet und Verbindungslöcher aufweist, durch welche die Druckerzeugungskammern mit einem Tintenzuführloch in Verbindung stehen, und Verbindungslöcher, durch welche die Druckerzeugungskammern mit Düsenlöcher in Verbindung stehen, miteinander verbunden. Elektroden sind auf der elastischen Platte ausgebildet, und darüber hinaus sind piezoelektrische Vibrationsplatten auf der elastischen Platte durch Sintern des piezoelektrischen Materials ausgebildet zur Erzeugung eines Tintenpumpelements.
Das derart gebildete Tintenpumpelement ist haftend auf dem Laminat befestigt, das aus einer Tintenkammerbildungsplatte aus Metall, welche eine gemeinsame Tintenkammer aufweist, sowie einem Düsenelement, das Düsenöffnungen aufweist, besteht.
Werden die piezoelektrischen Vibrationsplatten als Betätigungselement zum Ausdehnen und Zusammenziehen der Druckerzeugungskammern verwendet, wird zur Vereinfachung der haftenden Befestigung oder zur Verbesserung der Verläßlichkeit der Haftwirkung ein Verfahren eingesetzt, bei dem eine Grünschicht aus piezoelektrischen Material auf die Vibrationsplatten aufgebracht und gesintert wird.
Jedoch ist das oben beschriebene Verfahren zur Bildung eines herkömmlichen Tintenstrahlaufzeichnungskopfs mit den folgenden Schwierigkeiten verbunden: Das piezoelektrische Material zieht sich während des Sinterns zusammen, so daß das Tintenpumpelement sich biegt oder anschwillt. Daher ist es insbesondere bei der Herstellung eines Aufzeichnungskopfes für eine hohe Auflösung, bei dem beispielsweise neunzig (90) Düsenöffnungen in einer Reihe von 2,54 mm angeordnet sind, recht schwierig, das Tintenpumpelement mit dem Laminat aus der die gemeinsame Tintenkammer bildenden Platte und der Düsenplatte zu verbinden. Selbst wenn das Tintenpumpelement mit dem Laminat verbunden ist, sind die Düsenöffnungen hinsichtlich ihrer Ausrichtung beeinträchtigt, was zu einer geringen Druckqualität führt.
Andererseits zieht sich das Keramikmaterial beim Sintern zusammen. Selbst wenn es unter Berücksichtigung seiner Kontratktionsrate gesintert wird, so daß es präzise in Bezug auf die die gemeinsame Tintenkammer bildende Platte und die Düsenplatte, die sich nicht zusammenziehen, positioniert wird, treten daher Fehler auf abhängig von den Sinterbedingungen und den feinen Abweichungen in der Zusammensetzung des Keramikmaterials. Daher ist die Ausbeute bei der Herstellung des oben beschriebenen Hochauflösungs-Aufzeichnungskopfs nicht sehr ergiebig.
Das Dokument US-A- 4 680 595 offenbart einen Impuls- Tintenstrahlkopf, mit einer Mehrzahl von aufeinander angeordneten, aneinanderstoßenden Platten. Die Platten sind aus rostfreiem Stahl oder einer anderen Legierung oder aus Glas oder einem anderen geeigneten steifen, jedoch bearbeitbarem Material hergestellt. Sie können durch Haftmittel, Löten, Diffusionsbindung, Elektronenstrahlschweißung oder Widerstandspreßschweißung zusammengehalten werden.
Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht daher darin, die oben beschriebenen Nachteile zu überwinden und ein Mehrschicht-Tintenstrahlaufzeichnungskopf zur Verfügung zu stellen, bei dessen Herstellung sein Körper während des Sinterns kaum gebogen wird oder anschwillt und Durchgangslöcher, die die Tintenfließbahn bilden, mit hoher Präzision positioniert werden.
Diese Aufgabe wird durch den Mehrschicht- Tintenstrahlaufzeichnungskopf gemäß Anspruch 1 und dem Verfahren zur Herstellung eines Mehrschicht- Tintenstrahlaufzeichnungskopfs gemäß den unabhängigen Ansprüchen 13 und 16 gelöst.
Weitere vorteilhafte Merkmale, Aspekte und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen, der Beschreibung und den Zeichnungen.
Allgemein gesprochen, stellt die Erfindung einen Aufzeichnungskopf zur Verfügung mit Druckkammern, die mit Düsenöffnungen in Verbindung stehen, und dünnen piezoelektrischen Vibrationsplatten, die an Teilen der Druckkammern befestigt sind, wobei die Druckkammern durch die piezoelektrischen Vibrationsplatten zur Bildung von Tintentröpfchen komprimiert werden. Insbesondere stellt die Erfindung einen Tintenstrahlaufzeichnungskopf zur Verfügung, bei dem eine piezoelektrische Platte, eine Druckerzeugungskammerbildungsplatte und eine elastische Platte in Form einer Mehrschichtanordnung bereitgestellt werden.
Gemäß einem Aspekt der Erfindung, stellt die Erfindung einen Mehrschicht-Tintenstrahlaufzeichnungskopf zur Verfügung mit einer elastischen Platte aus Keramik, auf deren Oberfläche piezoelektrische Vibrationsplatten vorgesehen sind, um so als Vibrationselement zu dienen; einem Druckerzeugungskammerbildungselement aus Keramik, welches Druckerzeugungskammern bildet; einer Fließbahnregulierungsplatte mit Fließbahnregulierungslöchern zum Anlegen eines Fließbahnwiderstandes an mit den Druckerzeugungskammern verbundenen Tintenzuführbahnen; und einer eine gemeinsame Tintenkammer bildenden Platte, welche wenigstens eine gemeinsame Tintenkammer aufweist, die über die Fließbahnregulierungslöcher mit den Druckerzeugungskammern kommuniziert; wobei die elastische Platte, das Druckerzeugungskammerbildungselement, die Fließbahnregulierungsplatte und die eine gemeinsame Tintenkammer bildende Platte fest aufeinandergestapelt sind, indem sie derart zusammengesintert sind, daß die piezoelektrischen Vibrationsplatten mit den Druckerzeugungskammern ausgerichtet sind.
Gemäß einem weiteren Aspekt, stellt die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung eines Mehrschicht- Tintenstrahlaufzeichnungskopfs zur Verfügung, umfassend einen ersten Schritt, bei dem eine erste Grünschicht mit einer zur Bildung einer elastischen Platte ausreichenden Dicke, eine zweite Grünschicht mit Durchgangslöchern, die zu Druckerzeugungskammern ausgebildet werden, eine dritte Grünschicht mit Durchgangslöchern, die zu Fließbahnregulierungslöchern ausgebildet werden, und eine vierte Grünschicht mit einem Fenster, welches zu einer gemeinsamen Tintenkammer ausgebildet wird, zur Bildung eines Grünschichtstapels aufeinander gelegt werden; einen zweiten Schritt, bei dem der Grünschichtstapel zur Bildung einer elastischen Platte, eines Druckerzeugungskammerbildungselements, einer Fließbahnregulierungsplatte und einer eine gemeinsame Tintenkammer bildenden Platte gesintert wird; einen dritten Schritt, bei dem ein Muster aus Antriebselektroden auf der Oberfläche der in dem zweiten Schritt gebildeten elastischen Platte erzeugt wird.
Gemäß einem noch weiteren Aspekt, stellt die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung eines Mehrschicht- Tintenstrahlaufzeichnungskopfs zur Verfügung, umfassend einen ersten Schritt, bei dem eine erste Grünschicht mit Durchgangslöchern, die zu Druckerzeugungskammern ausgebildet werden, eine zweite Grünschicht mit Durchgangslöchern, die zu Fließbahnregulierungslöchern ausgebildet werden, und eine dritte Grünschicht mit einem Fenster, welches zu einer gemeinsamen Tintenkammer ausgebildet wird, zur Bildung eines ersten Grünschichtstapels aufeinandergestapelt werden; einen zweiten Schritt, bei dem die Positionen oder Konfigurationen der Durchgangslöcher in diesem Grünschichtstapel korrigiert werden; einen dritten Schritt, bei dem auf diesen Grünschichtstapel eine vierte Grünschicht mit einer zur Bildung einer elastischen Platte ausreichenden Dicke gelegt wird zur Bildung eines zweiten Grünschichtstapels; einen vierten Schritt, bei dem der zweite Grünschichtstapel gesintert wird; einen fünften Schritt, bei dem ein Muster aus Antriebselektroden auf der Oberfläche der in dem vierten Schritt gebildeten elastischen Platte erzeugt wird.
Gemäß einem noch weiteren Aspekt, ist die oben genannte Aufgabe durch die Bildung eines Mehrschicht- Tintenstrahlaufzeichnungskopfs in der nachfolgend aufgeführten Weise gelöst worden:
Die folgenden vier Elemente werden in der angegebenen Reihenfolge aufeinandergestapelt und miteinander durch Sintern verbunden: Das heißt (a) eine elastischen Platte aus Keramik, auf deren Oberfläche piezoelektrische Vibrationsplatten vorgesehen sind, um so als ein Vibrationselement zu dienen; (b) ein Druckerzeugungskammerbildungselement aus Keramik, welches Druckerzeugungskammern bildet, wobei eine Oberfläche davon mit der elastischen Platte versiegelt ist; (c) eine Fließbahnregulierungsplatte mit Fließbahnregulierungslöchern, die einen Fließbahnwiderstand an mit den Druckerzeugungskammern verbundenen Tintenzuführbahnen anlegen, sowie Verbindungslöchern, die mit den Druckerzeugungskammern kommunizieren; und (d) eine eine gemeinsame Tintenkammer bildende Platte, welche eine gemeinsame Tintenkammer aufweist, die über die Fließbahnregulierungslöcher mit den Druckerzeugungskammern kommuniziert, sowie Verbindungslöcher, die mit den Druckerzeugungskammern in Verbindung stehen, .werden in der angegebenen Reihenfolge aufeinandergestapelt und durch Sintern miteinander verbunden. Die piezoelektrischen Vibrationsplatten sind vorzugsweise an den Teilen der elastischen Platte befestigt, die mit den Druckerzeugungskammern ausgerichtet sind, und die andere Oberfläche der eine gemeinsame Tintenkammer bildenden Platte ist vorzugsweise mit einer Düsenplatte aus Metall versiegelt, die Düsenöffnungen aufweist, die mit den Druckerzeugungskammern kommunizieren.
Die Grünschichten, die zu der elastischen Platte, dem Abstandselement, der Fließbahnregulierungsplatte und der eine gemeinsame Tintenkammer bildenden Platte ausgebildet werden, werden gestapelt und dann einem Sinterverfahren unterzogen. Das so erhaltene Produkt weist daher eine hohe mechanische Festigkeit auf. Werden die piezoelektrischen Vibrationsplatten durch Sintern hergestellt kommt es daher bei den piezoelektrischen Vibrationsplatten zu keiner Biegung aufgrund der Kontraktion des piezoelektrischen Materials. Vorzugsweise werden bei der Bildung all der Elemente, mit Ausnahme der Düsenplatte, die Grünschichten gestapelt und dann gesintert. Die Positionsgenauigkeiten dieser Elemente bleiben daher genauso exakt aufrechterhalten, wie die der gestapelten Grünschichten unabhängig von ihren unterschiedlichen Kontraktionsraten.
Fig. 1 ist eine perspektivische Explosionsansicht eines Beispiels eines Mehrschicht- Tintenstrahlaufzeichnungskopfs, der eine erste Ausführungsform der Erfindung darstellt.
Fig. 2 ist eine Querschnittsansicht des Tintenstrahlaufzeichnungskopfs von Fig. 1.
Fig. 3(a)-3(c) sind Querschnittsansichten, die die Herstellungsschritte des in Fig. 1 gezeigten Aufzeichnungskopfs zeigen.
Fig. 4 ist eine Querschnittsansicht eines weiteren Beispiels des Mehrschicht-Tintenstrahlaufzeichnungskopfs, der eine zweite Ausführungsform der Erfindung darstellt.
Fig. 5(a)-5(c) sind Querschnittsansichten, die die Herstellungsschritte des in Fig. 4 gezeigten Aufzeichnungskopfs zeigen.
Fig. 6 ist eine Querschnittsansicht, die einen Schritt darstellt, bei dem die Konfiguration oder Position von Durchgangslöchern korrigiert wird, was bei der Herstellung des Aufzeichnungskopfs der vorliegenden Erfindung durchgeführt werden kann.

DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN

Die Erfindung wird unter Bezugnahme ihrer in den beigefügten Zeichnungen dargestellten bevorzugten Ausführungsformen beschrieben.
Fig. 1 ist eine perspektivische Explosionsansicht eines Mehrschicht-Tintenstrahlaufzeichnungskopfs, welcher eine erste Ausführungsform der Erfindung darstellt, und Fig. 2 ist eine Querschnittsansicht, die eine der Druckerzeugungskammern verbunden mit einer gemeinsamen Tintenkammer und diese umgebende Komponenten zeigt. In Fig. 1 und 2 bezeichnet die Bezugsziffer 1 einen piezoelektrischen Vibrationsantriebsabschnitt. Der Abschnitt 1 umfaßt: eine elastische Platte 2 mit einer Dicke von etwa 7 bis 9 um, die aus einer dünnen Keramikplatte hergestellt ist, vorzugsweise aus Zirconiumoxid (ZrO&sub2;) (nachfolgend soweit zutreffend als Zirconiumdioxid bezeichnet); auf der elastischen Platte 2 ausgebildete Antriebselektroden 5 aus Platin; und piezoelektrische Vibrationsplatten 3 aus PZT (Blei-Zirkonat- Titanat) mit einer Dicke von etwa 12 bis etwa 14 um, die durch Sintern auf den Antriebselektroden 5 gebildet sind. Die Antriebselektroden 5 weisen ein Elastizitätsmodul auf, das im wesentlichen dem Elastizitätsmodul der elastischen Platte 2 entspricht, und sind mit den Druckerzeugungskammern 4 ausgerichtet (weiter unten beschrieben).
Die Bezugsziffer 7 bezeichnet ein Abstandselement, das aus einer Keramikplatte aus Zirconiumdioxid oder ähnlichem hergestellt ist. Das Abstandselement 7 weist beispielsweise eine Dicke von 150 um auf, so daß es zur Ausbildung der Druckerzeugungskammern 4 geeignet ist, und weist langgestreckte Druchgangslöcher 6 auf, die in vorgegebenen Intervallen angeordnet sind, welche der Konfiguration der Druckerzeugungskammern 4 entsprechen. Die Druckerzeugungskammern 4 weisen jeweils beispielsweise eine Breite von 190 bis 210 um und eine Länge von etwa 2 mm auf, so daß Düsenöffnungen 28 mit einer Dichte von 90 dpi angeordnet werden können. Die Antriebselektroden 5 weisen jeweils eine Breite von etwa 140 um auf (etwa 70% der Breite der Druckerzeugungskammern 4) und sind symmetrisch in Bezug auf die gemeinsame Mittellinie der Druckerzeugungskammern 4 angeordnet.
Die Bezugsziffer 8 bezeichnet ein Abdeckelement aus Zirconiumdioxid, das die Druckerzeugungskammern 4 auf der gegenüberliegenden Seite abdichtet. Das Abdeckelement 8 weist erste Verbindungslöcher 9 auf, die mit ersten Enden der Druckerzeugungskammern verbunden sind, sowie zweite Verbindungslöcher 10, die mit den verbleibenden zweiten Enden der Druckerzeugungskammern 4 verbunden sind.
Die Bezugsziffer 11 bezeichnet eine Fließbahnregulierungsplatte, die fest über ihre eine Oberfläche mit dem Abdeckelement 8 befestigt ist. Die Fließbahnregulierungsplatte 11 weist Fließbahnregulierungslöcher 12 auf, deren Durchmesser sich in Richtung der ersten Verbindungslöcher 9 etwas vergrößert, sowie dritte Verbindungslöcher 13, die mit den zweiten Verbindungslöchern 10 derart ausgerichtet sind, daß sie mit den Düsenöffnungen 28 kommunizieren.
Die elastische Platte 2, das Abstandselement 7, das Abdeckelement 8 und die Fließbahnregulierungsplatte 11 weisen jeweils in ihren Endbereichen Tintenzuführlöcher 21, 22, 23 und 24 auf, die miteinander kommunizieren und mit einem Tintenbehälter (nicht gezeigt) verbunden sind.
Die Bezugsziffer 18 bezeichnet die oben genannte eine gemeinsame Tintenkammer bildende Platte, die aus einer beispielsweise 150 um dicken Zirconiumdioxidplatte hergestellt ist, die zur Ausbildung der Platte 18 geeignet ist. Die eine gemeinsame Tintenkammer bildende Platte 18 weist ein im wesentlichen V-förmiges Fenster 25 auf, dessen Konfiguration der gemeinsamen Tintenkammer 19 (siehe Fig. 2-5) entspricht, sowie vierte Verbindungslöcher 26, durch die die Druckerzeugungskammern 4 mit den jeweiligen Düsenöffnungen 28 kommunizieren.
Die elastische Platte 2, das Abstandselement 7, das Abdeckelement 8, die Fließbahnregulierungsplatte 11 und die eine gemeinsame Tintenkammer bildende Platte 18 werden im Grünschichtzustand aufeinandergelegt und dann miteinander durch Sintern verbunden, wodurch ein Fließbahnbildungselement erzeugt wird.
Die Bezugsziffer 27 bezeichnet eine Düsenplatte, die aus einer Metallplatte hergestellt ist, beispielsweise einer Platte aus rostfreiem Stahl, die eine hohe Korrosionsfestigkeit gegenüber Tinte aufweist. Die Düsenplatte 27 weist die vorerwähnten Düsenöffnungen 28 entsprechend den Druckerzeugungskammern 4 auf. Die Düsenplatte 27 ist an der eine gemeinsame Tintenkammer bildenden Platte 18 durch eine Haftmittelschicht 30 aus einem Wärmhaftmittelfilm derart befestigt, daß die Düsenöffnungen 28 mit den Druckerzeugungskammern 4 durch die Verbindungslöcher 10, 13 und 26 kommunizieren.
Die Haftmittelschicht 30 weist fünfte Verbindungslöcher 31 und ein zweites im wesentlichen V-förmiges Fenster 32 auf, die mit den Verbindungslöchern 26 bzw. dem Fenster 25 der Tintenkammerbildungsplatte 18 ausgerichtet sind. Das heißt, daß die Haftmittelschicht 30 dazu dient, die Düsenplatte 27 thermisch an dem Fließbahnbildungselement derart zu befestigen, daß die Fließbahn dadurch nicht behindert wird.
In Fig. 1 bezeichnet die Bezugsziffer 34 eine gemeinsame Elektrode, die über den piezoelektrischen Vibrationsplatten ausgebildet ist; und die Bezugsziffer 35 bezeichnet ein flexibles Kabel, durch das die Elektroden mit einer externen Einrichtung verbunden sind.
Wie in Fig. 2 gezeigt ist, ist ein derart aufgebauter Tintenstrahlaufzeichnungskopf fest auf einer Basis 38 angebracht; das heißt, er ist über die Basis 38 auf dem Schlitten des Druckers angebracht. Die Basis 38 weist eine Ausnehmung 36 auf, die eine Vibration der piezoelektrischen Vibrationsplatten 3 ermöglicht, sowie ein Durchgangsloch 37, das eine Tintenfließbahn darstellt, durch welches das Tintenzuführloch 21 mit dem Tintenbehälter kommuniziert.
Ein Verfahren zur Herstellung des oben beschriebenen Mehrschicht-Tintenstrahlaufzeichnungskopf wird unter Bezugnahme auf Fig. 3 beschrieben.
Wie in Fig. 3(a) gezeigt, werden Grünschichten 41, 44, 48, 52 und 55 aus Zirconiumdioxid in der angegebenen Reihenfolge aufeinandergelegt und bei einer Temperatur gesintert, die für das Sintern von Zirconiumdioxid geeignet ist. Die Grünschicht 41 umfaßt ein Durchgangsloch 40, das das Tintenzuführloch 21 wird; das heißt, sie wird zu der elastischen Platte 2 ausgebildet. Die Grünschicht 44 umfaßt ein Durchgangsloch 43, das das Tintenzuführloch 22 wird, sowie Durchgangslöcher 42, die die Druckerzeugungskammern 4 bilden; das heißt, das Tintenzuführloch 22 und die Druckerzeugungskammern 4 werden in dem Abstandselement 7 ausgebildet. Die Grünschicht 48 weist ein Durchgangsloch 45 auf, das das Tintenzuführloch 23 wird, Druchgangslöcher 46, die die ersten Verbindungslöcher 9 werden, die mit den ersten Enden der Druckerzeugungskammern 4 verbunden sind, sowie Durchgangslöcher 47, die die zweiten Verbindungslöcher 10 werden, die mit den verbleibenden zweiten Enden der Druckerzeugungskammern 4 verbunden sind; das heißt, das Tintenzufuhrloch 23, die ersten Verbindungslöcher 9 und die zweiten Verbindungslöcher 10 werden in dem Abdeckelement 8 ausgebildet. Die Grünschicht 52 umfaßt ein Durchgangsloch 49, das das Tintenzuführloch 24 wird, Durchgangslöcher 50, die die Fließbahnregulierungslöcher 12 werden, sowie Druchgangslöcher 51, die die dritten Verbindungslöcher 13 werden, die mit den Düsenöffnungen 28 kommunizieren; das heißt, das Tintenzuführloch 24, die Fließbahnregulierungslöcher 12 und die dritten Verbindungslöcher 13 werden in der Fließbahnregulierungsplatte 11 ausgebildet. Die Grünschicht 55 umfaßt ein Fenster 53, das die gemeinsame Tintenkammer 19 wird, sowie Durchgangslöcher 54, die die vierten Verbindungslöcher 26 werden; das heißt, die gemeinsame Tintenkammer 19 und die vierten Verbindungslöcher 26 werden in der eine gemeinsame Tintenkammer bildenden Platte 18 ausgebildet.
Die Grünschichten 41, 44, 48, 52 und 55 werden jeweils zu der elastischen Platte 2, dem Abstandselement 7, dem Abdeckelement 8, der Fließbahnregulierungsplatte 11 und der eine gemeinsame Tintenkammer bildenden Platte 18 durch Sintern gebildet. Das heißt, sie werden als eine keramische Einheit ohne Haftmittelschicht bereitgestellt.
Auf der Oberfläche der derart gebildeten elastischen Platte 2 wird ein Antriebselektrodenmuster 56 (siehe Fig. 3(b)) durch Dampfabscheidung, Sputtern oder Beschichtung erzeugt. In Übereinstimmung mit dem Antriebselektrodenmuster 56 wird ein pastenartiges piezoelektrisches Material auf die elastische Platte 2 aufgebracht, oder eine Grünschicht 57 aus piezoelektrischem Material wird an der letzteren 2 befestigt und dann zur Bildung der piezoelektrischen Vibratoren 3 gesintert.
Infolgedessen werden die piezoelektrischen Vibrationsplatten 3 durch die Antriebselektroden 5 an der elastischen Platte 2 derart befestigt, daß sie mit den Druckerzeugungskammern 4 ausgerichtet sind.
Nachdem die elastische Platte 2, das Abstandselement 7, das Abdeckelement 8, die Fließbahnregulierungsplatte 11, die eine gemeinsame Tintenkammer bildende Platte 18 durch Sintern zu einer Einheit ausgebildet worden sind, wird bei dem erfindungsgemäßen Aufzeichnungskopf das piezoelektrische Material gesintert. Daher weist der Aufzeichnungskopf eine hohe mechanische Festigkeit im Vergleich zu einem herkömmlichen Aufzeichnungskopf auf, bei dem die piezoelektrischen Vibrationsplatten durch Sintern gebildet werden, bevor die elastische Platte, das Abstandselement und das Abdeckelement durch Sintern gebildet werden. Daher kommt es bei dem Aufzeichnungskopf der Erfindung im wesentlichen nicht zu der Schwierigkeit, daß er sich biegt aufgrund der Kontraktion des pastenartigen oder grünschichtgeformten piezoelektrischen Materials während des Sinterns.
Sind die Düsenöffnungen mit hoher Dichte von etwa 90 dpi angeordnet, sind die ersten Verbindungslöcher 9 und die zweiten Verbindungslöcher 10 ebenfalls notwendigerweise in hoher Dichte angeordnet. Werden in diesem Fall die Elemente 2, 7, 11 und 18 auch nur in geringem Maße gebogen, ist es wahrscheinlich, daß es zu einem Lecken von Tinte an der Haftmittelschicht 30 kommt, was die Tintenausstoßleistung negativ beeinflußt. Wie oben beschrieben, wird bei dem Aufzeichnungskopf der Erfindung ein Biegen während des Sinterns im wesentlichen verhindert. Durch dieses Merkmal werden die Ausstoßcharakteristiken aller Düsenöffnungen unverändert aufrechterhalten.
Schließlich wird die Düsenplatte 27 durch Ausbildung der Düsenöffnungen 28 in einer Metallplatte, wie einer rostfreien Stahlplatte, die gegenüber Tinte korrosionsbeständig ist, hergestellt. Die Düsenplatte 27 wird durch die Haftmittelschicht 30 an der Tintenkammerbildungsplatte 18 befestigt. Die erste Ausführungsform des Tintenstrahlaufzeichnungskopf ist auf diese Weise hergestellt worden.
Der derart hergestellte Tintenstrahlaufzeichnungskopf funktioniert wie folgt:
Wenn Antriebssignale an die piezoelektrischen Vibrationsplatten 3 angelegt werden, biegt sich die elastische Platte 2 in Richtung der Druckerzeugungskammern 4, um letztere zusammenzuziehen. Infolgedessen wird die Tinte in den Druckerzeugungkammern 4 durch die Verbindungslöcher 10, 13, 26 und 31 zu den Düsenöffnungen 28 geleitet, die dann als Tintentröpfchen ausgestoßen wird.
Nach der Bildung der Tintentröpfchen wird das Anlegen von Antriebssignalen aufgehoben, so daß sich die piezoelektrischen Vibrationsplatten 3 wieder in ihre ursprüngliche Position zurückziehen, um die Druckerzeugungskammern 4 auszudehnen. Infolgedessen wird eine für die Bildung von Tintentröpfchen verwendete Tintenmenge von der gemeinsamen Tintenkammer 19 (siehe Fig. 2-5) durch die Fließbahnregulierungslöcher 12 in die Druckerzeugungskammern 4 zugeführt.
Der oben beschriebene Vorgang wird wiederholt durchgeführt, um den gegebenen Druckvorgang auszuführen.
Bei der oben beschriebenen Ausführungsform sind das Abdeckelement 8 und die Fließbahnregulierungsplatte 11 als einzelne Komponenten vorgesehen, so daß der Aufzeichnungskopf eine große Dicke aufweist und eine entsprechende ausreichend hohe mechanische Festigkeit. Jedoch können die Fließbahnregulierungsplatte 11 und das Abdeckelement 8 als eine Einheit ausgebildet sein, wie in Fig. 4 gezeigt ist. Das heißt, daß Fig. 4 ein anderes Beispiel des Tintenstrahlaufzeichnungskopfs zeigt, der eine zweite Ausführungsform der Erfindung darstellt. Bei der zweiten Ausführungsform ist, wie in Fig. 4 gezeigt, eine Fließbahnregulierungsplatte 61 mit Fließbahnregulierungslöchern 60 dickenmäßig größer ausgebildet als in der ersten Ausführungsform, so daß es auch als Abdeckelement dient. Dieses Merkmal reduziert die Anzahl der bei der Herstellung des Druckkopfs notwendigen Grünschichten, was zu einer Vereinfachung des Arbeitsaufwands bei der Herstellung des Aufzeichnungskopfs beiträgt.
In Fig. 4 bezeichnet die Bezugsziffer 62 Verbindungslöcher, durch welche die Druckerzeugungskammern 4 mit den Düsenöffnungen 28 kommunizieren; und die Bezugsziffer 63 bezeichnet ein Tintenzuführloch.
In der zweiten Ausführungsform werden die Grünschichten 41 und 44 aus Zirconiumdioxid, eine Grünschicht 74 aus Zirconiumdioxid und eine Grünschicht 55 aus Zirconiumdioxid in der angegebenen Reihenfolge aufeinandergelegt und bei einer für das Sintern von Zirconiumdioxid geeigneten Temperatur gesintert, wie in Fig. 5(a) gezeigt. Wie oben beschrieben, weist die Grünschicht 41 das Durchgangsloch 40 auf, das das Tintenzuführloch 21 wird; das heißt, sie wird zu der elastischen Platte 2 ausgebildet. Die Grünschicht 44 weist das Durchgangsloch 43 auf, das das Tintenzuführloch 22 wird, und die Durchgangslöcher 42, die die Druckerzeugungskammern 4 ergeben; das heißt, das Tintenzuführloch 22 und die Druckerzeugungskammern 4 werden in dem Abstandselement 7 ausgebildet. Die Grünschicht 74 weist ein Durchgangsloch 71 auf, das das Tintenzuführloch 63 wird, Druchgangslöcher 72, welche mit den ersten Enden der Druckerzeugungskammern 4 verbunden sind, und Durchgangslöcher 73, die die Fließbahnregulierungslöcher 60 werden; das heißt, das Tintenzuführloch 63 und das Fließbahnregulierungsloch 60 werden in der Fließahnregulierungsplatte 61 ausgebildet. Wie in Bezug auf die erste Ausführungsform oben beschrieben ist, weist die Grünschicht 55 ein Fenster 53 auf, das die gemeinsame Tintenkammer 19 wird, sowie Druchgangslöcher 54; das heißt, die gemeinsame Tintenkammer 19 und die Druchgangslöcher 54 werden in der eine gemeinsame Tintenkammer bildenden Platte 18 ausgebildet.
Die Grünschichten 41, 44, 74 und 55 werden zur elastischen Platte 2, dem Abstandselement 7, der Fließbahnregulierungsplatte 61 bzw. der eine gemeinsame Tintenkammer bildenden Platte 18 durch Sintern ausgebildet. Das heißt, sie werden als eine keramische Einheit ohne Haftmittelschicht bereitgestellt.
Danach wird das Antriebselektrodenmuster 56 in ähnlicher Weise auf der Oberfläche der elastischen Platte 2 gebildet. Und in Übereinstimmung mit dem derart gebildeten Antriebselektrodenmuster wird ein pastenartiges piezoelektrisches Material auf der elastischen Platte 2 aufgebracht oder eine Grünschicht 57 aus piezoelektrischem Material wird auf letzterer befestigt und dann gesintert (siehe Fig. 5(b)) zur Bildung der piezoelektrischen Vibratoren 3.
Schließlich wird die Düsenplatte 27 durch Ausbildung der Düsenöffnungen 28 in einer Metallplatte hergestellt, beispielsweise einer rostfreien Stahlplatte, die eine hohe Korrosionsbeständigkeit gegenüber Tinte aufweist. Die Düsenplatte 27 wird durch die Haftmittelschicht 30 aus einer Wärmehaftfolie oder ähnlichem an der Tintenkammerbildungsplatte 18 befestigt. Auf diese Weise wird die zweite Ausführungsform des Tintenstrahlaufzeichnungskopf hergestellt.
Beispielsweise ist es in der zweiten, in Fig. 5 gezeigten Ausführungsform vorteilhaft, daß erst die Grünschichten 44, 74 und 55, die zum Abstandselement 7, zur Fließbahnregulierungsplatte 61 bzw. der eine gemeinsame Tintenkammer bildenden Platte 18 ausgebildet werden, aufeinandergestapelt werden und anschließend die Grünschicht 41, die zur elastischen Platte 2 ausgebildet wird, auf den Stapel Grünschichten 44, 74 und 55 gelegt wird und danach diese vier Grünschichten 41, 74, 47 und 55 zu einer Einheit gesintert werden.
Gemäß der dritten Ausführungsform werden, ähnlich wie in der zweiten Ausführungsform, die Grünschichten 44, 74 und 55 aus Zirconiumdioxid in der angegebene Reihenfolge aufeinandergestapelt, wie in Fig. 6 gezeigt. Wie oben beschrieben, weist die Grünschicht 44 das Durchgangsloch 43 auf, das das Tintenzuführloch 22 wird, und Durchgangslöcher 42, welche die Druckerzeugungskammern 4 ergeben; das heißt, daß das Tintenzuführloch 22 und die Druckerzeugungskammern 4 in dem Abstandselement 7 ausgebildet werden. Die Grünschicht 74 weist ein Durchgangsloch 71 auf, das das Tintenzuführloch 63 wird, die Durchgangslöcher 72, die mit den ersten Enden der Druckerzeugungskammern 4 verbunden sind, sowie die Durchgangslöcher 73, die die Fließbahnregulierungslöcher 60 werden. Wie oben beschrieben, weist die Grünschicht 55 das Fenster 53 auf, das die gemeinsame Tintenkammer 19 wird, sowie Druchgangslöcher 54. Bei diesem Schritt wird ermittelt, ob eine positionelle Verschiebung Δd1 zwischen den Löchern 43 und 71 besteht oder nicht und es wird ebenfalls ermittelt, ob eine positionelle Verschiebung Δd2 zwischen den Löchern 72 und 54 (siehe Fig. 6) besteht.
Wenn die Löcher gegeneinander verschoben oder deformiert sind, müssen ihre Bereiche 76 und 75 (gekreuzt schraffiert in Fig. 6), die relativ nach innen in die Löchern hervorragen, durch Hobeln oder Laserbearbeitung modifiziert oder entfernt werden. Wie in dem einschlägigen Gebiet der Technik hinreichend bekannt ist, ist Keramikmaterial vor dem Sintern leicht maschinell bearbeitbar. Daher können diese Löcher mit hoher Präzision korrigiert werden.
Nach der Korrektur der Löcher in oben beschriebener Weise wird die Grünschicht 41, die die elastische Platte 2 wird, auf den Stapel Grünschichten 44, 74 und 55 gelegt. Und in ähnlicher Weise wie im oben beschriebenen Fall werden diese Grünschichten 41, 44, 74 und 55 gesintert.
Beim Sintern können sich die Grünschichten 44, 74 und 55, welche die die Tintenfließbahn festlegenden Durchgangslöcher aufweisen, zusammenziehen, was die Positionen dieser Durchgangslöcher beeinflußt. Diese Schwierigkeit kann durch das nachfolgende Verfahren eliminiert werden, da die Grünschichten 44, 74 und 55 eine im wesentlichen miteinander identische Zusammensetzung und daher im wesentlichen gleiche Kontraktionsraten aufweisen. Beim Schritt des Stapelns der Grünschichten 44, 74 und 55 werden die Löcher 43, 71, 72, 73 und 54 positioniert und, falls nötig, in der oben beschriebenen Weise modifiziert (d. h. Hobeln oder Laserbearbeitung). Durch das Sintern der derart behandelten Grünschichten kann eine Aufzeichnungskopf erhalten werden, bei dem die Löcher 43, 71, 72, 73 und 54 mit hoher Positionspräzision verbunden sind. Dies erhöht die Ausbeute bei der Produktion des Aufzeichnungskopfs.
Wie oben beschrieben, umfaßt der Mehrschicht- Tintenstrahlaufzeichnungskopf der Erfindung: die elastische Platte 2 aus Keramik, auf deren Oberfläche piezoelektrische Vibrationsplatten 3 vorgesehen sind, um so als Vibrationselement zu dienen; das Druckerzeugungskammerbildungselement 7 aus Keramik, welches Druckerzeugungskammern 4 bildet, wobei eine Oberfläche davon mit der elastischen Platte 2 versiegelt ist; die Fließbahnregulierungsplatte 11 mit Fließbahnregulierungslöchern 12, die einen Fließbahnwiderstand für die mit den Druckerzeugungskammern 4 verbundenen Tintenzuführbahnen 9 bilden, und den Verbindungslöchern 10, die mit den Druckerzeugungskammern 4 kommunizieren; die Tintenkammerbildungsplatte 18, welche die gemeinsame Tintenkammer 19 aufweist, die über die Fließbahnregulierungslöcher 12 mit den Druckerzeugungskammern 4 kommuniziert, sowie die Verbindungslöcher 26, die mit den Druckerzeugungskammern 4 kommunizieren. Die elastische Platte 2, das Druckerzeugungskammerbildungselement 7, die Fließbahnregulierungsplatte 11 und die Tintenkammerbildungsplatte 18 sind in der angegebenen Reihenfolge ohne Haftmittelschicht fest aufeinandergestapelt derart, daß die piezoelektrischen Vibrationsplatten 3 mit den Druckerzeugungskammern 4 ausgerichtet sind. Und die andere Oberfläche der eine gemeinsame Tintenkammer bildenden Platte 18 ist mit der Düsenplatte 27 versiegelt, die die Düsenöffnungen 28 aufweist, die mit den Druckerzeugungskammern 4 kommunizieren.
Auf diese Weise können die Kommunizierungsbedingungen der Druchgangslöcher in den Elementen, wie dem Abstandselement 7, der Fließbahnregulierungsplatte 11 und der eine gemeinsame Tintenkammer bildenden Platte 18, leicht eingestellt werden. Nachdem die elastische Platte 2, das Abstandselement 7, die Fließbahnregulierungsplatte 11 und die eine gemeinsame Tintenkammer bildende Platte 18 zu einer Einheit ausgebildet worden sind, kann darüber hinaus das piezoelektrische Grünschichtmaterial, das zu Vibrationsplatten ausgebildet wird, einer Sinterbehandlung unterzogen werden. Dieses Merkmal erhöht die mechanische Festigkeit des Fließbahnbildungselements, das beim Sintern des piezoelektrischen Materials einen Basiskörper darstellt, und überwindet im wesentlichen die Schwierigkeit, daß das Fließbahnbildungselment deformiert, beispielsweise gebogen, wird, wenn das piezoelektrische Grünschichtmaterial gesintert wird. Darüber hinaus werden Grünschichten zur Bildung des Fließbahnbildungselements verwendet, die in ihrer Zusammensetzung im wesentlichen identisch sind, und sie werden gleichzeitig gesintert. Dieses Merkmal minimiert das Ausmaß an Positionsverschiebung zwischen den Durchgangslöchern aufgrund der beim Sintern auftretenden Kontraktion des Materials und erhöht die Ausbeute bei der Herstellung des Aufzeichnungskopfs.
Das verwendete Haftmittel wird nur dazu eingesetzt, um die Düsenplatte und das Fließbahnbildungselement miteinander zu verbinden. Daher ist mit dem Aufzeichnungskopf nicht die Schwierigkeit verbunden, daß Haftmittel in die Druchgangslöcher fließt und die Düsenplatte unzureichend an dem Fließbahnbildungselement befestigt ist. Daher können die Klebarbeiten leicht und sicher ausgeführt werden.

Claims

1. Mehrschicht-Tintenstrahlaufzeichnungskopf, umfassend:

eine elastische Platte (2) aus Keramik, auf deren Oberfläche piezoelektrische Vibrationsplatten (3) vorgesehen sind, um so als Vibrationselement zu dienen;

ein Druckerzeugungskammerbildungselement (7) aus Keramik, welches Druckerzeugungskammern (4) bildet;

eine Fließbahnregulierungsplatte (11; 61) mit Fließbahnregulierungslöchern (12; 60) zum Anlegen eines Fließbahnwiderstandes an mit den Druckerzeugungskammern (4) verbundenen Tintenzuführbahnen; und

eine eine gemeinsame Tintenkammer bildende Platte (18), welche wenigstens eine gemeinsame Tintenkammer (19) aufweist, die über die Fließbahnregulierungslöcher (12; 60) mit den Druckerzeugungskammern (4) kommuniziert;

wobei die elastische Platte (2), das Druckerzeugungskammerbildungselement (7), die Fließbahnregulierungsplatte (11; 61) und die eine gemeinsame Tintenkammer bildende Platte (18) fest aufeinander gestapelt sind, indem sie derart zusammengesintert sind, daß die piezoelektrischen Vibrationsplatten (3) mit den Druckerzeugungskammern (4) ausgerichtet sind.

2. Mehrschicht-Tintenstrahlaufzeichnungskopf gemäß Anspruch 1, bei dem das Druckerzeugungskammerbildungselement (7) die Druckerzeugungskammern (4) bildet, wobei eine Oberfläche davon mit der elastischen Platte (2) abgedichtet ist.

3. Mehrschicht-Tintenstrahlaufzeichnungskopf gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem die Fließbahnregulierungsplatte (11; 61) benachbart zu dem Druckerzeugungskammerbildungselement (7) angeordnet ist und des weiteren Verbindungslöcher (13; 62) aufweist, welche mit den Druckerzeugungskammern (4) kommunizieren.

4. Mehrschicht-Tintenstrahlaufzeichnungskopf gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem die eine gemeinsame Tintenkammer bildende Platte (18) eine erste Oberfläche benachbart zu der Fließbahnregulierungsplatte (11; 61) sowie eine zweite Oberfläche aufweist, und des weiteren Verbindungslöcher (26) umfaßt, welche mit den Druckerzeugungskammern (4) kommunizieren.

5. Mehrschicht-Tintenstrahlaufzeichnungskopf gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem die elastische Platte (2), das Druckerzeugungskammerbildungselement (7), die Fließbahnregulierungsplatte (11; 61) und die eine gemeinsame Druckkammer bildende Platte (18) in der angegebenen Reihenfolge übereinander angeordnet sind.

6. Mehrschicht-Tintenstrahlaufzeichnungskopf gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, der des weiteren eine Düsenplatte (27) aus Metall mit Düsenöffnungen (28) aufweist, die mit den Druckerzeugungskammern (4) kommunizieren, wobei die Düsenplatte (27) die zweite Oberfläche der eine gemeinsame Tintenkammer bildenden Platte (18) abdichtet.

7. Mehrschicht-Tintenstrahlaufzeichnungskopf gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem die elastische Platte (2), das Druckerzeugungskammerbildungselement (7) und die Fließbahnregulierungsplatte (11; 61) jeweils Tintenzuführlöcher (21, 22, 24; 63) aufweisen, die mit der gemeinsamen Tintenkammer (19) kommunizieren.

8. Mehrschicht-Tintenstrahlaufzeichnungskopf gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, der weiterhin umfaßt:

ein Abdeckelement (8) aus Keramik, das zwischen dem Druckerzeugungskammerbildungselement (7) und der Fließbahnregulierungsplatte (11) angeordnet ist.

9. Mehrschicht-Tintenstrahlaufzeichnungskopf gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem die elastische Platte (2), die Druckerzeugungskammerbildungsplatte (7), die Fließbahnregulierungsplatte (11; 61) und die eine gemeinsame Druckkammer bildende Platte (18) aus demselben Keramikmaterial hergestellt sind.

10. Mehrschicht-Tintenstrahlaufzeichnungskopf gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem das Keramikmaterial Zirconiumoxid ist.

11. Mehrschicht-Tintenstrahlaufzeichnungskopf gemäß einem der Ansprüche 6 bis 10, bei dem die Düsenplatte (27) an der eine gemeinsame Tintenkammer bildenden Platte (18) mittels eines Thermohaftmittelfilms (30) befestigt ist.

12. Mehrschicht-Tintenstrahlaufzeichnungskopf gemäß einem der Ansprüche 8 bis 11, bei dem die Fließbahnregulierungsplatte (11) und das Abdeckelement (8) als eine Einheit gebildet sind.

13. Verfahren zur Herstellung eines Mehrschicht- Tintenstrahlaufzeichnungskopfs umfassend:

einen ersten Schritt, bei dem eine erste Grünschicht mit einer zur Bildung einer elastischen Platte ausreichenden Dicke,

eine zweite Grünschicht mit Durchgangslöchern, die zu Druckerzeugungskammern ausgebildet werden,

eine dritte Grünschicht mit Durchgangslöchern, die zu Fließbahnregulierungslöchern ausgebildet werden, und eine vierte Grünschicht mit einem Fenster, welches zu einer gemeinsamen Tintenkammer ausgebildet wird, zur Bildung eines Grünschichtstapels aufeinander gelegt werden;

einen zweiten Schritt, bei dem der Grünschichtstapel zur Bildung einer elastischen Platte, eines Druckerzeugungskammerbildungselements, einer Fließbahnregulierungsplatte und einer eine gemeinsame Tintenkammer bildenden Platte gesintert wird;

einen dritten Schritt, bei dem ein Muster aus Antriebselektroden auf der Oberfläche der in dem zweiten Schritt gebildeten elastischen Platte erzeugt wird.

14. Verfahren gemäß Anspruch 13, bei dem die dritte Grünschicht des weiteren Durchgangslöcher aufweist, die mit Düsenöffnungen kommunizieren sowie zumindest ein zweites Durchgangsloch, durch welches Tinte in die gemeinsame Tintenkammer zugeführt wird.

15. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 13 oder 14, bei dem die vierte Grünschicht des weiteren Durchgangslöcher aufweist, durch welche die Düsenöffnungen mit den Druckkammern kommunizieren.

16. Verfahren zur Herstellung eines Mehrschicht- Tintenstrahlaufzeichnungskopfs umfassend:

einen ersten Schritt, bei dem eine erste Grünschicht mit Durchgangslöchern, die zu Druckerzeugungskammern ausgebildet werden,

eine zweite Grünschicht mit Durchgangslöchern, die zu Fließbahnregulierungslöchern ausgebildet werden, und

eine dritte Grünschicht mit einem Fenster, welches zu einer gemeinsamen Tintenkammer ausgebildet wird, zur Bildung eines ersten Grünschichtstapels aufeinander gelegt werden;

einen zweiten Schritt, bei dem die Positionen oder Konfigurationen der Durchgangslöcher in diesem Grünschichtstapel korrigiert werden;

einen dritten Schritt, bei dem auf diesen Grünschichtstapel eine vierte Grünschicht mit einer zur Bildung einer elastischen Platte ausreichenden Dicke gelegt wird zur Bildung eines zweiten Grünschichtstapels;

einen vierten Schritt, bei dem der zweite Grünschichtstapel gesintert wird;

einen fünften Schritt, bei dem ein Muster aus Antriebselektroden auf der Oberfläche der in dem vierten Schritt gebildeten elastischen Platte erzeugt wird.

17. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 13 bis 16, bei dem die Grünschichten in der angegebenen Reihenfolge aufeinander gelegt werden zur Bildung des Grünschichtstapels.

18. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 13 bis 17, bei dem der Schritt zur Bildung des Antriebselektrodenmusters des weiteren einen Schritt umfaßt, bei dem piezeoelektrische Vibratoren durch Sintern gebildet werden.

19. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 13 bis 18, das des weiteren den Schritt umfaßt, bei dem nach dem Schritt, bei dem das Antriebselektrodenmuster gebildet wird, eine die Düsenöffnungen aufweisende Düsenplatte mittels einer Haftmittelschicht an der eine gemeinsame Tintenkammer bildenden Platte befestigt wird.

20. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 13 bis 19, bei dem wenigstens eine oder alle der Grünschichten aus Zirconiumoxid hergestellt werden.

21. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 16 bis 20, bei dem die zweite Grünschicht des weiteren Durchgangslöcher aufweist, welche mit Düsenöffnungen kommunizieren, sowie wenigstens ein zweites Durchgangsloch, durch welches Tinte in die gemeinsame Tintenkammer zugeführt wird.

22. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 16 bis 20, bei dem die dritte Grünschicht Durchgangslöcher aufweist, mittels derer die Düsenöffnungen mit den Druckkammern kommunizieren.