JP2009208243A - 圧電装置およびその製造方法、液体噴射ヘッド、並びに、プリンタ - Google Patents
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Abstract
【課題】高い信頼性を有し、安価かつ簡易なプロセスで形成された圧電装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電装置１００は、（１１０）単結晶シリコンからなる基板１０と、基板１０に形成された駆動ＩＣ５０と、基板１０の上方に形成され、駆動ＩＣ５０によって駆動される圧電素子４０と、を有し、駆動ＩＣ５０は、トランジスタ７０を含むアナログスイッチ５２を有し、トランジスタ７０は、チャネル方向が実質的に基板１０の＜００１＞方向である。
【選択図】図１
【解決手段】本発明に係る圧電装置１００は、（１１０）単結晶シリコンからなる基板１０と、基板１０に形成された駆動ＩＣ５０と、基板１０の上方に形成され、駆動ＩＣ５０によって駆動される圧電素子４０と、を有し、駆動ＩＣ５０は、トランジスタ７０を含むアナログスイッチ５２を有し、トランジスタ７０は、チャネル方向が実質的に基板１０の＜００１＞方向である。
【選択図】図１
Description
本発明は、圧電装置およびその製造方法、液体噴射ヘッド、並びに、プリンタに関する。
圧電装置を利用したものとしては、例えば、液体噴射ヘッドが知られている。
液体噴射ヘッドは、ノズル孔と連通する圧力室を圧電素子により加圧して、ノズル孔からインク滴を吐出させる。このような液体噴射ヘッドでは、一般的に、圧電素子は駆動ＩＣ（半導体集積回路）によって駆動が制御されている。そして、駆動ＩＣは、別体に形成され、圧電素子とボンディングワイヤ等によって電気的に接続される構造が知られている。
特開２００４−１７６００号公報
本発明の目的は、高い信頼性を有し、安価かつ簡易なプロセスで形成された圧電装置およびその製造方法を提供することにある。また、本発明の目的は、上記圧電装置を有する液体噴射ヘッドおよびプリンタを提供することにある。
本発明に係る圧電装置は、
（１１０）単結晶シリコンからなる基板と、
前記基板に形成された駆動ＩＣと、
前記基板の上方に形成され、前記駆動ＩＣによって駆動される圧電素子と、を含み、
前記駆動ＩＣは、トランジスタを含むアナログスイッチを有し、
前記トランジスタは、チャネル方向が実質的に前記基板の＜００１＞方向であることができる。
（１１０）単結晶シリコンからなる基板と、
前記基板に形成された駆動ＩＣと、
前記基板の上方に形成され、前記駆動ＩＣによって駆動される圧電素子と、を含み、
前記駆動ＩＣは、トランジスタを含むアナログスイッチを有し、
前記トランジスタは、チャネル方向が実質的に前記基板の＜００１＞方向であることができる。
本発明に係る圧電装置は、圧力室が形成される基板に駆動ＩＣが形成され、駆動ＩＣに設けられたトランジスタのチャネル方向が、（１１０）単結晶シリコン基板の＜００１＞方向であるため、高い信頼性を有し、安価かつ簡易なプロセスで形成されることができる。
なお、本発明に係る記載では、「上方」という文言を、例えば、「特定のもの（以下「Ａ」という）の「上方」に他の特定のもの（以下「Ｂ」という）を形成する」などと用いている。本発明に係る記載では、この例のような場合に、Ａ上に直接Ｂを形成するような場合と、Ａ上に他のものを介してＢを形成するような場合とが含まれるものとして、「上方」という文言を用いている。同様に、「下方」という文言は、Ａ下に直接Ｂを形成するような場合と、Ａ下に他のものを介してＢを形成するような場合とが含まれるものとする。
本発明に係る圧電装置において、
前記トランジスタは、チャネル方向が前記基板の＜００１＞方向に対して±５°の範囲であることができる。
前記トランジスタは、チャネル方向が前記基板の＜００１＞方向に対して±５°の範囲であることができる。
本発明に係る圧電装置において、
前記駆動ＩＣは、平面視において、長辺と短辺とを有し、
前記駆動ＩＣの長辺は、前記トランジスタのチャネル方向と直交する。
前記駆動ＩＣは、平面視において、長辺と短辺とを有し、
前記駆動ＩＣの長辺は、前記トランジスタのチャネル方向と直交する。
本発明に係る圧電装置の製造方法は、
（１１０）単結晶シリコンからなる基板に駆動ＩＣを形成する工程と、
前記基板の上方に前記駆動ＩＣによって駆動される圧電素子を形成する工程と、を含み、
前記駆動ＩＣは、トランジスタを含むアナログスイッチを有し、
前記トランジスタは、チャネル方向が実質的に前記基板の＜００１＞方向に形成される。
（１１０）単結晶シリコンからなる基板に駆動ＩＣを形成する工程と、
前記基板の上方に前記駆動ＩＣによって駆動される圧電素子を形成する工程と、を含み、
前記駆動ＩＣは、トランジスタを含むアナログスイッチを有し、
前記トランジスタは、チャネル方向が実質的に前記基板の＜００１＞方向に形成される。
本発明に係る圧電装置の製造方法は、圧力室が形成される基板に駆動ＩＣが形成され、駆動ＩＣに設けられたトランジスタのチャネル方向が、（１１０）単結晶シリコン基板の＜００１＞方向に形成されるため、圧電装置は、高い信頼性を有し、安価かつ簡易なプロセスで形成されることができる。
本発明に係る液体噴射ヘッドは、
本発明に係る圧電装置を有し、
さらに、前記基板に形成された圧力室と、
前記基板の上方に形成され、前記圧電素子によって上下方向に振動可能な振動板と、
前記基板の下方に形成され、前記圧力室と連通するノズル孔を有するノズル板と、を有することができる。
本発明に係る圧電装置を有し、
さらに、前記基板に形成された圧力室と、
前記基板の上方に形成され、前記圧電素子によって上下方向に振動可能な振動板と、
前記基板の下方に形成され、前記圧力室と連通するノズル孔を有するノズル板と、を有することができる。
本発明に係る液体噴射ヘッドにおいて、
前記圧力室および前記駆動ＩＣは、平面視において、長辺と短辺とを有し、
前記圧力室の前記長辺の延長線と、前記駆動ＩＣの前記長辺の延長線のなす角が、５５°から±５°の範囲である。
前記圧力室および前記駆動ＩＣは、平面視において、長辺と短辺とを有し、
前記圧力室の前記長辺の延長線と、前記駆動ＩＣの前記長辺の延長線のなす角が、５５°から±５°の範囲である。
本発明に係るプリンタは、
本発明に係る液体噴射ヘッドを有することができる。
本発明に係る液体噴射ヘッドを有することができる。
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照しながら説明する。
１．圧電装置および液体噴射ヘッド
本実施形態では、本発明に係る圧電装置を、インクジェット式記録ヘッド用の液体噴射ヘッドに適用した例について説明する。
本実施形態では、本発明に係る圧電装置を、インクジェット式記録ヘッド用の液体噴射ヘッドに適用した例について説明する。
図１は、本実施形態に係る液体噴射ヘッド２００を模式的に示す断面図である。図２は、本実施形態に係る液体噴射ヘッド２００を模式的に示す平面図である。図３は、本実施形態に係る液体噴射ヘッド２００を模式的に示す断面図である。なお、図１および図３は、図２で示したＡ−Ａ線、Ｂ−Ｂ線における断面を示す。図４は、本実施形態に係る液体噴射ヘッド２００の駆動ＩＣ５０を構成するトランジスタ７０を模式的に示す平面図である。
液体噴射ヘッド２００は、図１に示すように、ノズル板２０と、振動板３０と、圧電装置１００と、を有する。圧電装置１００は、基板１０と、圧電素子４０と、駆動ＩＣ５０と、を含む。なお、図２では、圧力室１２および圧電素子４０を４つ示したが、その数は特に限定されない。
基板１０は、（１１０）単結晶シリコン基板からなることができる。（１１０）単結晶シリコン基板は、基板表面の結晶面が（１１０）面である単結晶シリコン基板である。基板１０は、圧力室１２を有することができる。基板１０は、例えば、水酸化カリウム（ＫＯＨ）水溶液による異方性エッチングによって、精度良く加工されることができる。
圧力室１２は、側面が基板１０の表面に対して垂直な（１１１）面からなることができる。圧力室１２は、図２に示すように、平面視において、長辺と短辺とがなす角が約７０°である平行四辺形状に形成されることができる。圧力室１２は、異方性エッチングにより精度よく加工されるため、高密度に配列することができる。
ノズル板２０は、例えば、（１００）単結晶シリコン基板であることができる。ノズル板２０は、ノズル孔２２を有する。ノズル孔２２は、圧力室１２と連通して形成される。
振動板３０は、基板１０の上に形成される。振動板３０は、例えば、酸化シリコン（ＳｉＯ２）と酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）とをこの順に積層させた積層体からなる。振動板３０の厚さは、例えば、１μｍ〜２μｍである。振動板３０は、圧電素子４０によって上下方向に振動することにより、圧力室１２の容積を変化させることができる。
圧電素子４０は、振動板３０の上に形成される。圧電素子４０は、各圧力室１２に対して１つずつ形成される。圧電素子４０は、下部電極４２と、圧電体層４４と、上部電極４６と、を有する。
下部電極４２は、振動板３０の上に形成される。下部電極４２は、圧電体層４４に電圧を印加するための一方で電極である。下部電極４２は、例えば、白金、イリジウム、およびそれらの導電性酸化物からなる。下部電極４２は、前記例示した材料の単層でもよいし、複数の材料を積層した構造であってもよい。下部電極４２の厚さは、例えば、５０ｎｍ〜３００ｎｍである。
圧電体層４４は、下部電極４２の上に形成される。圧電体層４４は、ペロブスカイト型酸化物の圧電材料からなる。圧電体層４４は、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３：ＰＺＴ）からなる。圧電体層４４として用いられるＰＺＴは、例えば、チタンとジルコニウムの比が約５０％（Ｐｂ（Ｚｒ０．５，Ｔｉ０．５）Ｏ３）である。圧電体層４４の厚さは、例えば、３００ｎｍ〜３０００ｎｍである。圧電体層４４は、例えば、優先的に（１００）に配向している。なお、「優先的に（１００）に配向している」とは、（１００）にすべての結晶が配向している場合のみならず、例えば、７０％以上の結晶が（１００）に配向している場合も含むことを意味する。圧電体層４４の結晶構造は、例えば、モノクリニック構造である。圧電体層４４の分極方向は、例えば、膜面垂直方向（圧電体層４４の厚さ方向）に対して、一定の角度だけ傾いているエンジニアード・ドメイン配置である。
上部電極４６は、圧電体層４４の上に形成される。上部電極４６は、圧電体層４４に電圧を印加するための他方の電極である。上部電極４６の材質としては、下部電極４２の材質として例示した材料を用いることができる。上部電極４６の厚さは、例えば、５０ｎｍ〜３００ｎｍである。
駆動ＩＣ５０は、基板１０の上面側に形成される。駆動ＩＣ５０は、基板１０に直接形成される。すなわち、別チップで形成された駆動ＩＣを基板１０に接合するのではなく、基板１０に直接駆動ＩＣ５０を形成することができる。
図２に示すように、駆動ＩＣ５０は、トランジスタ７０を有するアナログスイッチ５２と、レベルシフター５４と、ロジック制御ＩＣ５６と、パッド５８を有することができる。駆動ＩＣ５０は、圧電素子４０を駆動させる。具体的には、圧電素子４０は、駆動ＩＣ５０からの駆動信号に従い、下部電極４２と上部電極４６との間に駆動電圧を印加する。この駆動電圧により、圧電素子４０が駆動して振動板３０が変位し、圧力室１２の容積が変化することによりノズル孔２２から液体が吐出される。駆動ＩＣ５０は、基板１０に形成されるため、別体に形成された駆動ＩＣを、例えば、シリコン封し基板に形成し、実装する場合と比較して、液体噴射ヘッド２００の小型化が容易となる。
駆動ＩＣ５０は、平面視において、長辺と短辺とを有する長方形状とすることができる。駆動ＩＣ５０は、平面視において、長辺が、基板１０の〔１−１０〕方向と平行に形成される。圧力室１２は、平面視において、長辺が、基板１０の〔１−１２〕方向と平行に形成される。〔１−１０〕方向と〔１−１２〕方向のなす角は、約５５°である。すなわち、駆動ＩＣ５０は、駆動ＩＣ５０の長辺の延長線と圧力室１２の長辺の延長線のなす角（図２に示す角度α）が約５５°になるように形成される。これにより、後述するように、アナログスイッチ５２を構成するトランジスタ７０（図４参照）は、チャネル方向が基板１０上で電子の移動度が最大となる方向に形成することができる。なお、駆動ＩＣ５０の長辺と圧力室１２の長辺のなす角は、厳密に約５５°でなければならないわけでなく、±５°の範囲であれば、同様あるいは類似した効果を得ることができる。
図４に示すように、トランジスタ７０は、基板１０の上面側である（１１０）結晶面に形成される。トランジスタ７０は、駆動ＩＣ５０に設けられたアナログスイッチ５２を構成する。アナログスイッチ５２は、駆動信号に基づいて、圧電素子４０に駆動電圧を印加するか否かを制御するスイッチとしての機能を有する。トランジスタ７０は、電界効果型トランジスタであることができる。トランジスタ７０は、ゲート電極７２と、ソース７４と、ドレイン７６とを有する。図２に示すように、トランジスタ７０は、駆動ＩＣ５０の長辺と直交する方向にチャネル方向が配置される。トランジスタ７０のゲート長は、例えば、約５μｍ、ゲート幅は約３００μｍであることができる。
トランジスタ７０は、チャネル方向が実質的に基板１０の＜００１＞方向に形成されることができる。トランジスタ７０は、例えば、チャネル方向が基板１０の上面である（１１０）結晶面の〔００１〕方向に平行に形成されることができる。（１１０）結晶面では、＜００１＞方向の電子の移動度が最大となる。すなわち、（１１０）結晶面では、＜００１＞方向の移動度は、０．０９５ｍ２／Ｖｓであり、移動度が最小となる＜１１０＞方向と比較して、移動度は約１．５倍程度高くなる。トランジスタ７０は、チャネル方向が基板１０上で電子の移動度が最大となる＜００１＞方向に形成されるため、チャネル方向が他の方向に形成された場合と比較して、抵抗値が低くなり、発熱が抑えられる。これにより、トランジスタ７０を有する駆動ＩＣ５０は、高効率で高い信頼性を有することができる。なお、チャネル方向は、基板１０の＜００１＞方向に対して±５°の範囲であれば、同様あるいは類似した効果を得ることができる。
配線６０は、駆動ＩＣ５０と圧電素子４０とを電気的に接続する。具体的には、配線６０は、駆動ＩＣ５０と圧電素子４０の上部電極４６とを電気的に接続する。駆動ＩＣ５０は、基板１０に形成されるため、配線６０は、スパッタ法、めっき法等の公知の半導体製造プロセスで形成することができる。したがって、液体噴射ヘッド２００は、ボンディングワイヤが不要となるため、小型化が容易となる。
液体噴射ヘッド２００は、例えば、以下のような特徴を有する。
圧電装置１００は、駆動ＩＣ５０が基板１０に形成されることができる。これにより、駆動ＩＣ５０と圧電素子４０とを電気的に接続する配線６０を、公知の半導体製造プロセスで形成することができる。したがって、圧電装置１００は、ボンディングワイヤの形成工程が不要となるため、安価かつ簡易なプロセスで形成され、かつ小型化が容易となる。
圧電装置１００は、アナログスイッチ５２を構成するトランジスタ７０のチャネル方向が、実質的に基板１０の＜００１＞方向に形成される。すなわち、トランジスタ７０のチャネル方向は、基板１０上で電子の移動度が最大となる方向に形成される。チャネル方向が他の方向に形成された場合と比較して、トランジスタ７０は、抵抗値が低くなるため、発熱が抑えられる。これにより、トランジスタ７０を有する駆動ＩＣ５０は、高効率で高い信頼性を有することができる。
圧電装置１００は、駆動ＩＣ５０の長辺の延長線と圧力室１２の長辺の延長線のなす角が約５５°から±５°の範囲になるように形成される。これにより、駆動ＩＣ５０のアナログスイッチ５２を構成するトランジスタ７０は、チャネル方向が電子の移動度が最大となる方向に形成されることができる。したがって、トランジスタ７０を有する駆動ＩＣ５０は、高効率で高い信頼性を有することができる。
２．圧電装置および液体噴射ヘッドの製造方法
次に、本発明に係る圧電装置１００を適用した本実施形態に係る液体噴射ヘッド２００の製造方法について、図面を参照しながら説明する。図５および図６は、本実施形態に係る液体噴射ヘッド２００の製造工程を概略的に示す断面図である。
次に、本発明に係る圧電装置１００を適用した本実施形態に係る液体噴射ヘッド２００の製造方法について、図面を参照しながら説明する。図５および図６は、本実施形態に係る液体噴射ヘッド２００の製造工程を概略的に示す断面図である。
図５に示すように、基板１０の上面側に、駆動ＩＣ５０および振動板３０を形成する。駆動ＩＣ５０は、例えば、公知の方法により形成される。駆動ＩＣ５０は、半導体製造技術を利用したＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍ）として製造されることができる。すなわち、例えば、別チップで形成された駆動ＩＣを基板１０に接合するのではなく、基板１０に直接駆動ＩＣ５０を形成することができる。駆動ＩＣ５０に設けられたアナログスイッチ５２を構成するトランジスタ７０は、公知の方法によって形成される。
振動板３０は、例えば、酸化シリコンと酸化ジルコニウムとを、この順に積層することにより形成される。酸化シリコンは、例えば、スパッタ法あるいは熱酸化法により形成される。酸化ジルコニウムは、例えば、スパッタ法により形成される。
図６に示すように、振動板３０上に圧電素子４０を形成する。圧電素子４０は、下部電極４２、圧電体層４４および上部電極４６を、この順に積層することにより形成される。
下部電極４２および上部電極４６は、例えば、スパッタ法、めっき法、真空蒸着法により形成される。
圧電体層４４は、例えば、ゾルゲル法、スパッタ法により形成される。圧電体層４４を形成するための焼成温度は、例えば、７００℃程度である。
次に、上部電極４６と駆動ＩＣ５０とを電気的に接続する配線６０を形成する。配線６０は、例えば、上部電極４６の上面および側面、圧電体層４４の側面、振動板３０の上面ならびに基板１０の上面に形成されることができる。配線６０は、スパッタ法、めっき法などの公知の半導体製造プロセスにより形成される。
図１に示すように、基板１０に圧力室１２を形成する。圧力室１２は、例えば、水酸化カリウム（ＫＯＨ）水溶液による異方性エッチングにより形成されることができる。異方性エッチングは、（１１１）面のエッチングレートが（１１０）面のエッチングレートと比較して非常に小さいため、（１１１）面がほとんどエッチングされないという性質を利用して行われる。具体的には、圧力室１２は、基板１０を異方性エッチングすることにより、基板１０の厚み方向に（１１０）面のエッチングが進み、基板１０の表面に対して垂直な（１１１）面が出現することで形成される。基板１０の厚さ方向のエッチングは、振動板３０がエッチングストッパ層となることにより制御される。基板１０の表面に対して垂直な（１１１）面は、圧力室１２の側面を形成する。圧力室１２は、図２に示すように、平面視において、（１１１）面からなる長辺と他の（１１１）面からなる短辺とがなす角が約７０°である平行四辺形状に精度よく形成されることができる。圧力室１２は、異方性エッチングにより、精度よく加工されるため、高密度に配列することができる。
次に、基板１０と、ノズル孔２２を有するノズル板２０とを接合させる。ノズル孔２２は、ノズル板２０をパターニングして形成される。パターニングは、例えば、公知のフォトリソグラフィ技術およびエッチング技術により行われる。接合は、例えば、公知の接着材または溶着などにより行われる。
以上の工程により、圧電装置１００を有する液体噴射ヘッド２００を製造することができる。
圧電装置１００の製造方法では、駆動ＩＣ５０が基板１０に形成される。したがって、配線６０を公知の半導体プロセスで形成することができるため、ワイヤボンディングの工程が不要となり、圧電装置１００は、安価かつ簡易なプロセスで形成され、かつ小型化が容易となる。
圧電装置１００の製造方法では、基板１０が（１１０）単結晶シリコン基板であることができる。このため、基板１０は、水酸化カリウムによる異方性エッチングにより、精度良く加工されることができる。よって、圧電装置１００は、圧力室１２を高密度に形成することができる。
３．プリンタ
次に、本発明に係る圧電装置を有する液体噴射ヘッドを適用したプリンタについて説明する。ここでは、本実施形態に係るプリンタ３００がインクジェットプリンタである場合について説明する。
次に、本発明に係る圧電装置を有する液体噴射ヘッドを適用したプリンタについて説明する。ここでは、本実施形態に係るプリンタ３００がインクジェットプリンタである場合について説明する。
図７は本実施形態に係るプリンタ３００を概略的に示す斜視図である。
プリンタ３００は、ヘッドユニット３３０と、駆動部３１０と、制御部３６０と、を含む。また、プリンタ３００は、装置本体３２０と、給紙部３５０と、記録用紙Ｐを設置するトレイ３２１と、記録用紙Ｐを排出する排出口３２２と、装置本体３２０の上面に配置された操作パネル３７０と、を含むことができる。
ヘッドユニット３３０は、例えば、上述した液体噴射ヘッド２００から構成されるインクジェット式記録ヘッド（以下単に「ヘッド」ともいう）を有する。ヘッドユニット３３０は、さらに、ヘッドにインクを供給するインクカートリッジ３３１と、ヘッドおよびインクカートリッジ３３１を搭載した運搬部（キャリッジ）３３２と、を備える。
駆動部３１０は、ヘッドユニット３３０を往復動させることができる。駆動部３１０は、ヘッドユニット３３０の駆動源となるキャリッジモータ３４１と、キャリッジモータ３４１の回転を受けて、ヘッドユニット３３０を往復動させる往復動機構３４２と、を有する。
往復動機構３４２は、その両端がフレーム（図示せず）に支持されたキャリッジガイド軸３４４と、キャリッジガイド軸３４４と平行に延在するタイミングベルト３４３と、を備える。キャリッジガイド軸３４４は、キャリッジ３３２が自在に往復動できるようにしながら、キャリッジ３３２を支持している。さらに、キャリッジ３３２は、タイミングベルト３４３の一部に固定されている。キャリッジモータ３４１の作動により、タイミングベルト３４３を走行させると、キャリッジガイド軸３４４に導かれて、ヘッドユニット３３０が往復動する。この往復動の際に、ヘッドから適宜インクが吐出され、記録用紙Ｐへの印刷が行われる。
制御部３６０は、ヘッドユニット３３０、駆動部３１０および給紙部３５０を制御することができる。
給紙部３５０は、記録用紙Ｐをトレイ３２１からヘッドユニット３３０側へ送り込むことができる。給紙部３５０は、その駆動源となる給紙モータ３５１と、給紙モータ３５１の作動により回転する給紙ローラ３５２と、を備える。給紙ローラ３５２は、記録用紙Ｐの送り経路を挟んで上下に対向する従動ローラ３５２ａおよび駆動ローラ３５２ｂを備える。駆動ローラ３５２ｂは、給紙モータ３５１に連結されている。制御部３６０によって供紙部３５０が駆動されると、記録用紙Ｐは、ヘッドユニット３３０の下方を通過するように送られる。
ヘッドユニット３３０、駆動部３１０、制御部３６０および給紙部３５０は、装置本体３２０の内部に設けられている。
プリンタ３００は、例えば、以下のような特徴を有する。
プリンタ３００は、本発明に係る圧電装置１００を有することができる。本発明に係る圧電装置１００は、上述のように、高い信頼性を有し、安価かつ簡易なプロセスで形成されることができる。そのため、信頼性の高く、安価かつ簡易なプロセスで形成されるプリンタ３００を得ることができる。
なお、上述した例では、プリンタ３００がインクジェットプリンタである場合について説明したが、本発明のプリンタは、工業的な液体吐出装置として用いられることもできる。この場合に吐出される液体（液状材料）としては、各種の機能性材料を溶媒や分散媒によって適当な粘度に調整したものなどを用いることができる。
また、本発明の圧電装置は、例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオチップ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッドなどとして用いられることもできる。
上記のように、本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明の新規事項および効果から実体的に逸脱しない多くの変形が可能であることは当業者には容易に理解できよう。従って、このような変形例はすべて本発明の範囲に含まれるものとする。
１０ 基板、１２ 圧力室、２０ ノズル板、２２ ノズル孔、３０ 振動板、４０ 圧電素子、４２ 下部電極、４４ 圧電体層、４６ 上部電極、５０ 駆動ＩＣ、５２ アナログスイッチ、５４ レベルシフター、５６ ロジック制御ＩＣ、５８ パッド、６０ 配線、７０ トランジスタ、７２ ゲート電極、７４ ソース、７６ ドレイン、１００ 圧電装置、２００ 液体噴射ヘッド、３００ プリンタ、３１０ 駆動部、３２０ 装置本体、３２１ トレイ、３２２ 排出口、３３０ ヘッドユニット、３３１ インクカートリッジ、３３２ キャリッジ、３４１ キャリッジモータ、３４２ 往復動機構、３４３ タイミングベルト、３４４ キャリッジガイド軸、３５０ 給紙部、３５１ 給紙モータ、３５２ 給紙ローラ、３６０ 制御部、３７０ 操作パネル
Claims (7)
- （１１０）単結晶シリコンからなる基板と、
前記基板に形成された駆動ＩＣと、
前記基板の上方に形成され、前記駆動ＩＣによって駆動される圧電素子と、を含み、
前記駆動ＩＣは、トランジスタを含むアナログスイッチを有し、
前記トランジスタは、チャネル方向が実質的に前記基板の＜００１＞方向である、圧電装置。 - 請求項１において、
前記トランジスタは、チャネル方向が前記基板の＜００１＞方向に対して±５°の範囲である、圧電装置。 - 請求項１または２において、
前記駆動ＩＣは、平面視において、長辺と短辺とを有し、
前記駆動ＩＣの長辺は、前記トランジスタのチャネル方向と直交する、圧電装置。 - （１１０）単結晶シリコンからなる基板に駆動ＩＣを形成する工程と、
前記基板の上方に前記駆動ＩＣによって駆動される圧電素子を形成する工程と、を含み、
前記駆動ＩＣは、トランジスタを含むアナログスイッチを有し、
前記トランジスタは、チャネル方向が実質的に前記基板の＜００１＞方向に形成される、圧電装置の製造方法。 - 請求項１乃至３のいずれかに記載の圧電装置を有し、
さらに、前記基板に形成された圧力室と、
前記基板の上方に形成され、前記圧電素子によって上下方向に振動可能な振動板と、
前記基板の下方に形成され、前記圧力室と連通するノズル孔を有するノズル板と、を有する、液体噴射ヘッド。 - 請求項５において、
前記圧力室および前記駆動ＩＣは、平面視において、長辺と短辺とを有し、
前記圧力室の前記長辺の延長線と、前記駆動ＩＣの前記長辺の延長線のなす角が、５５°から±５°の範囲である、液体噴射ヘッド。 - 請求項５または６に記載の液体噴射ヘッドを有する、プリンタ。
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Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1110881A (ja) * | 1997-06-20 | 1999-01-19 | Canon Inc | 記録ヘッドおよび記録装置 |
| JPH11227198A (ja) * | 1998-02-18 | 1999-08-24 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法 |
| JP2000289201A (ja) * | 1999-04-06 | 2000-10-17 | Fujitsu Ltd | インクジェットヘッド、インクジェットプリンタ、及び、インクジェットヘッドの製造方法 |
| JP2001270113A (ja) * | 2000-03-24 | 2001-10-02 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 |
| JP2002052705A (ja) * | 2000-08-04 | 2002-02-19 | Ricoh Co Ltd | インクジェットヘッド、インクジェットヘッドの製造方法および当該ヘッドを用いた画像形成装置 |
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|---|---|---|---|---|
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Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1110881A (ja) * | 1997-06-20 | 1999-01-19 | Canon Inc | 記録ヘッドおよび記録装置 |
| JPH11227198A (ja) * | 1998-02-18 | 1999-08-24 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法 |
| JP2000289201A (ja) * | 1999-04-06 | 2000-10-17 | Fujitsu Ltd | インクジェットヘッド、インクジェットプリンタ、及び、インクジェットヘッドの製造方法 |
| JP2001270113A (ja) * | 2000-03-24 | 2001-10-02 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 |
| JP2002052705A (ja) * | 2000-08-04 | 2002-02-19 | Ricoh Co Ltd | インクジェットヘッド、インクジェットヘッドの製造方法および当該ヘッドを用いた画像形成装置 |
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