DE69703375T2

DE69703375T2 - Polymaleinimidharzzusammensetzung und diese verwendende Schichtstoffplatte für ein Halbleitersubstrat

Info

Publication number: DE69703375T2
Application number: DE69703375T
Authority: DE
Inventors: Atsuo Otsuji; Yoshiyuki Shindo; Koutaro Suzuki; Takuo Tajima; Keisuke Takuma; Kouzou Tanaka; Tatsuhiro Urakami
Original assignee: Mitsui Chemicals Inc
Current assignee: Mitsui Chemicals Inc
Priority date: 1996-11-13
Filing date: 1997-11-13
Publication date: 2001-05-03
Anticipated expiration: 2017-11-14
Also published as: US5945503A; KR100255789B1; KR19980042324A; EP0842966A3; DE69703375D1; EP0842966B1; EP0842966A2; TW473493B; JPH1121351A

Description

Vorliegende Erfindung betrifft eine wärmehärtbare Harzzusammensetzung, die hinsichtlich ihrer Wärmebeständigkeit, mechanischen Festigkeiten, elektrischen Isolationseigenschaften, Verarbeitbarkeit und Produktivität hervorragend ist und sie betrifft auch eine Laminatplatte für ein Halbleitersubstrat, bei der die zuvor genannte wärmehärtbare Harzzusammensetzung verwendet wird.
Bislang sind wärmehärtbare Harze mit einer Imidstruktur hinsichtlich ihrer elektrischen Isolationseigenschaften Wärmebeständigkeit, Dimensionsstabilität von Formkörpern und dergl. hervorragend, weshalb sie weit verbreitet benutzt wurden.
Ein durch thermische Polymerisation eines aromatischen Bismaleimids allein erhaltenes wärmehärtbares Harz, welches typischerweise benutzt wurde, ist ein Material, welches die hervorragende Wärmebeständigkeit aufweist, jedoch ist es unzweckmäßigerweise sehr brüchig und besitzt eine schlechte Flexibilität. Als eine Technik zur Überwindung derartiger Nachteile wurde versucht, eine ein aromatisches Bismaleimid und ein aromatisches Diamin umfassende wärmehärtbare Harzzusammensetzung einzusetzen. Beispielsweise wurde ein Polyaminobismaleimidharz, umfassend N,N'-4,4'-Diphenylmethanbismaleimid und 4,4-Diaminodiphenylmethan (Handelsname Kelimid, hergestellt von Rhone- Poulenc) in praktischen Gebrauch genommen, und es wurde verbreitet in Lacken für die Imprägnierung, Laminatplatten, Formkörper und dergl. benutzt. Bei dieser Art von wärmehärtbarem Harz sind jedoch die Schlagzähigkeit und Flexibilität niemals zufriedenstellend.
Andererseits wurden als Halbleitersubstrate ausschließlich keramische Materialien verwendet; da jedoch keramische Materialien eine hohe Dielektrizitätskonstante besitzen, ist ihre elektrische Ansprechgeschwindigkeit (response velocity) beschränkt, so dass die Verdrahtungsdichte (wiring density) elektronischer Vorrichtungen stört. Infolgedessen bestand ein starkes Bedürfnis für die Entwicklung von Halbleitersubstraten aus Kunstharzen. Jedoch ist in dem Fall, dass die zuvor genannte wärmehärtbare Harzzusammensetzung zur Herstellung der Halbleitersubstrate verwendet wird, die Lagerungsstabilität der Lacke schlecht, und die Wärmestabilität der thermisch gehärteten Harzzubstrate und ihre elektrischen Eigenschaften wie der induktive Tangens sind unzureichend. Infolgedessen war die weitere Verbesserung der wärmehärtbaren Harzzusammensetzung stark erwünscht.
Um die zuvor genannten Probleme zu lösen, offenbarte vorliegende Anmelderin schon eine wärmehärtbare Harzzusammensetzung, umfassend ein neues Polymaleimidharz und ein spezielles aromatisches Aminharz sowie ein thermisch härtbares Kunstharz, erhalten unter Verwendung desselben, und zwar in der offen gefegten Japanischen Patentanmeldung Nr. 172324/1991. Als Ergebnis einer weiteren eingehenden Untersuchung wurde es jedoch offensichtlich, dass Prepregs und Rohfolien bzw. Rohplattenmaterialien [green sheets] (welche die Folien sind, welche durch Beschichten von Folien mit einem einen Füllstoff enthaltenden Lack, Unterziehen desselben einer Wärmebehandlung, um das Lösungsmittel zu verdampfen und zu entfernen, und anschließendes Abschälen erhalten wurden), welche aus dieser Materialkombination allein hergestellt sind, eine schlechte Flexibilität aufweisen, weshalb die Betriebsfähigkeit einer kontinuierlichen Verformung und des Aufwickelns der Folie sowie die Produktivität gering sind. Deshalb war ihre Verbesserung stark erwünscht. Insbesondere im Fall der Rohfolien muss für eine hohe Produktivität eine Aufwickelleistung gut sein, jedoch war der Arbeitsgang des Aufwickelns unmöglich, weil die Formkörper, für die diese wärmehärtbare Harzzusammensetzung verwendet wurde, keine Flexiblität zeigen.
Bevorzugte Ausführungsformen vorliegender Erfindung können wärmehärtbare Kunstharze zur Verfügung stellen, welche hervorragende Wärmebständigkeit, mechanische Festigkeit und elektrische Isolationseigenschaften bieten können, und hieraus erhaltenen Prepregs und Rohfolien eine gute Flexibilität verleihen können.
Eine bevorzugte Ausführungsform kann eine Kunstharzzusammensetzung zur Verwendung bei der Herstellung von Laminatplatten für Halbleitersubstrate zur Verfügung stellen.
Vorliegende Erfinder führten mit der Absicht intensive Untersuchungen durch, eine wärmehärtbare Harzzusammensetzung zu entwickeln, welche eine hervorragende Wärmebeständigkeit, mechanische Festigkeit und elektrische Isolationseigenschaften beibehalten kann, und die gebildeten Prepregs und Rohfolien zur Herstellung von Laminatplatten für IC-Substrate eine gute Flexibilität verleihen kann.
Vorliegende Erfindung richtet sich auf eine Polymaleimid- Harzzusammensetzung, welche eine aromatische Aminokomponente der Formel (1), eine Polymaleimidharzkomponente der Formel (2) und ein bifunktionelles Vernetzungsmittel umfasst:
Formel. S. 4
worin R&sub1; und R&sub2; jeweils ein Wasserstoffatom, Halogenatom, eine Alkylgruppe, Alkoxygruppe oder eine Arylgruppe; und n und m jeweils eine ganze Zahl von 0 bis 50 sind.
Hinsichtlich des bifunktionellen Vernetzungsmittels, das bei vorliegender Erfindung verwendet werden kann, können bevorzugte Mittel als bifunktionelles Vernetzungsmittel eine solche Funktion ausüben, das die Flexibilität der gebildeten Prepregs und Rohfolien wirksam verbessert wird. Ein erstes typisches Beispiel für das bifunktionelle Vernetzungsmittel ist eine aliphatische Diaminverbindung, und ein zweites typisches Beispiel hierfür ist eine durch die Formel (3) wiedergegebene 2,4-Diamino-Striazinverbindung
Formel 3
worin R&sub1; und R&sub2; jeweils, unabhängig voneinander, ein Wasserstoffatom, Halogenatom, eine Alkylgruppe, Alkoxygruppe oder eine Arylgruppe; n und m jeweils, unabhängig voneinander, eine ganze Zahl von 0 bis 50; und R&sub3; ein Wasserstoffatom, eine Alkylgruppe oder eine Phenylgruppe, welche einen Substituenten aufweisen kann, bedeuten.
Es ist möglich, die aliphatische Diaminverbindung und die 2,4-Diamino-S- triazinverbindung gleichzeitig zu verwenden, wodurch ein synergististischer Effekt ausgeübt werden kann.
Ein drittes typisches Beispiel ist die Verwendung einer Diisocyanatverbindung. Ein viertes typisches Beispiel ist die gleichzeitige Verwendung einer Bismaleimidverbindung und der aliphatischen Diaminverbindung.
Bei vorliegender Erfindung können, eine Polymaleimidharz-Zusammensetzung, umfassend die durch die Formel (1) wiedergegebene aromatische Aminkomponente, die durch die Formel (2) wiedergegebene Polymaleimidkomponente und das bifunktionelle Vernetzungsmittel in einem Gewichtsverhältnis von 5 bis 100 zu 100 zu 1 bis 30 verwendet werden.
Ferner werden die zuvor genannten Komponenten in dem Fall des vierten typischen Beispiels, bei dem das Bismaleimid zugegeben wird, in einem Gewichtsverhältnis von 5 bis 100 zu 100 zu 1 bis 30 zu 5 bis 50 benutzt.
Gemäß vorliegender Erfindung wird auch eine Lacklösung zur Verfügung gestellt, in der die zuvor genannte Polymaleimidharzzusammensetzung in einem Lösungsmittel gelöst ist, und ferner wird eine einen Füllstoff dispergierende Lacklösung bereitgestellt, bei der in der Lacklösung ein Füllstoff dispergiert ist.
Die zuvor genannte Lacklösung kann in ein Fasergewebe unter Bildung von Prepregs einimprägniert werden, und die den Füllstoff dispergierende Lacklösung kann auf Kunstharzfolien aufgebracht und sodann getrocknet werden, um Rohfolien bereitzustellen.
Durch Laminieren und Formen einer Vielzahl der zuvor genannten Preprex erhaltene Formkörper sind als Laminatplatten für Halbleitersubstrate brauchbar, und in ähnlicher Weise sind auch durch Laminieren einer Vielzahl der zuvor genannten Rohfolien erhaltene Formkörper als Laminatplatten für Halbleitersubstrate brauchbar. Diese Laminatplatten können die Flexibilität besitzen, welche in einer Laminatplatte, die aus einer herkömmlichen Polymaleimidharzzusammensetzung erhalten wurde, nicht gehalten werden kann, und in diesem Punkt sind sie außerordentlich charakteristisch.

DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG

Zunächst wird vorliegende Erfindung in größeren Einzelheiten beschrieben.
Eine Polymaleimidharzzusammensetzung vorliegender Erfindung umfasst eine aromatische Aminkomponente der Formel (1), eine Polymaleimidkomponente der Formel (2) und ein bifunktionelles Vernetzungsmittel als Komponenten. Bei vorliegender Erfindung bedeutet das bifunktionelle Vernetzungsmittel allgemein ein Mittel, das eine Vernetzung mit dem aromatischen Aminharz oder dem Polymaleimidharz bei 100ºC oder weniger bewirken kann.
Bei den durch die allgemeine Formeln (1) und (2) wiedergegebenen Verbindungen sind R&sub1; und R&sub2; jeweils, unabhängig voneinander, ein Wasserstoffatom, ein Halogenatom, eine Alkylgruppe, Alkoxygruppe oder Arylgruppe. Beispiele umfassen vorzugsweise ein Wasserstoffatom, Halogenatom (wie z. B. ein Fluor-, Chlor- oder Bromatom), Alkylgruppen mit 1 bis 8 Kohlenstoffatomen (wie z. B. die Methyl-, Ethyl-, n-Propyl-, Isopropyl-, n-Butyl-, Isobutyl-, tert.-Butyl-, n-Pentyl-, Isopentyl-, Neopentyl-, tert.-Pentyl-, n-Hexyl-, Cyclohexyl-, n-Heptyl-, Cyclohexylmethyl-, n-Octyl-, tert.-Octyl- und 2- Ethylhexylgruppe), Alkoxygruppen mit 1 bis 8 Kohlenstoffatomen (wie z. B. die Methoxy-, Ethoxy-, n-Propoxy-, Isopropoxy-, n-Butoxy-, Isobutoxy-, sek.-Butoxy-, n- Pentyloxy-, Neopentyloxy-, n-Hexyloxy-, Cyclohexyloxy-, n-Heptyloxy-, n-Octyloxy- und 2-Ethylhexyloxygruppe), Arylgruppen mit 6 bis 10 Kohlenstoffatomen (wie z. B. die Phenyl-, 2-Methylphenyl-, 3-Methylphenyl-, 4-Methylphenyl-, 4-Ethylphenyl-, 4- n-Propylphenyl, 4-tert.-Butylphenyl-, 2-Methoxyphenyl-, 4-Methoxyphenyl-, 3- Ethoxyphenyl-, 3-Fluorphenyi-, 1-Naphthylgruppe und 2-Naphthylgruppe). Bevorzugter umfassen Beispiele für diese Verbindungen ein Wasserstoffatom, Chloratom, Alkylgruppen mit 1 bis 6 Kohlenstoffatomen, Alkoxygruppen mit 1 bis 6 Kohlenstoffatomen und Arylgruppen mit 6 bis 10 Kohlenstoffatomen, und am bevorzugtesten umfassen Beispiele für diese Verbindungen ein Wasserstoffatom, Alkylgruppen mit 1 bis 4 Kohlenstoffatomen, Alkoxygruppen mit 1 bis 4 Kohlenstoffatomen und Arylgruppen mit 6 bis 10 Kohlenstoffatomen.
In der Polymaleimidharzzusammensetzung gemäß vorliegender Erfindung kann die aromatische, durch die Formel (1) wiedergegebene Aminkomponente und die Polymaleimidkomponente der Formel (2) allein oder in Form eines Gemischs von zwei oder mehreren Verbindungen verwendet werden. Ferner bedeuten in den Formeln (1) und (2) n und m jeweils, unabhängig voneinander, eine ganze Zahl von 0 bis 50.
Typische Beispiele für das aliphatische Diamin, welches bei dem ersten typischen Beispiel für vorliegende Erfindung benutzt werden kann, umfassen Ethylendiamin, 1,3-Diaminopropan, 1,4-Diaminobutan, 1,4-Diaminohexan, 1,6- Diaminohexan, 1,2-Diaminocyclohexan, 1,3-Diaminocyclohexan, 1,4-Diaminocyclohexan, 2,5-(2,6)-Bis(aminomethyl)bicyclo-[2.2.1]heptan (im folgenden "NBDA" bezeichnet), α,α'-Diamino-o-xylol und α,α'-Diamino-p-xylol, jedoch besonders bevorzugt sind alicyclische aliphatische Diamine.
In der erfindungsgemäßen Polymaleimidharzzusammensetzung kann die aliphatische Diaminverbindung allein oder in Form eines Gemischs von zwei oder mehreren Verbindungen benutzt werden.
Ferner umfassen typische Beispiele für den Substituenten R&sub3; des 2,4- Diamino-S-triazins (im folgenden als "DAT" abgekürzt), das bei dem zweiten typischen Beispiel für vorliegende Erfindung verwendet werden kann, ein Wasserstoffatom, Alkylgruppen wie eine Methyl-, Ethyl-, n-Propyl-, Isopropyl-, n- Butyl-, Isobutyl-, n-Pentyl-, Isopentyl-, tert.-Pentyl-, n-Hexyl-, Cycloalkyl-, n-Heptyl-, n-Octyl-, n-Decyl-, n-Dodecyl und 3,5,5-Trimethyloctylgruppe, die Phenylgrupe und Phenylgruppen wie o-, m- und p-Methylphenylgruppen, o-, m- und - Methoxyphenylgruppen, die p-Ethylphenyl- und m-Chlorphenylgruppe, welche einen Substituenten, eine Alkylgruppe oder einen Substituenten [sic!] aufweisen können. Besonders bevorzugt wird die Phenylgruppe. In der Polymaleimidharzzusammensetzung gemäß vorliegender Erfindung können die DAT-Verbindungen allein oder in Form eines Gemischs von zwei oder mehreren Verbindungen benutzt werden.
Ferner umfassen typische Beispiele für eine Diisocyanatverbindung, die beim dritten typischen Beispiel für vorliegende Erfindung verwendet werden kann, Alkylendiisocyanatverbindungen wie z. B. Ethylendiisocyanat, Trimethylendiisocyanat, Tetramethylen-, Hexamethylen- und Octamethylendiisocyanat, Nonmethylendiisocyanat, 2,2'-dimethylpentandiisocyanat, 2,2,4Trimethylhexandiisocyanat, Isophorondiisocyanat, Bis(isocyanatomethyl)cyclohexan, Dicyclohexylmethandiisocyanat, Cyclohexandiisocyanat, Methylcyclohexandiisocyanat, Bis(4- isocyanato-n-butyliden)pentaerythrit, das Diisocyanat einer dimeren Säure)(Dimeraciddiisocyanat, 2,5-Bis(isocyanatomethyl)bicyclo-[2.2.1]heptan, Alkenylendiisocyanatverbindungen wie Butendiisocyanat und 1,3-Butadien-1,4- diisocyanat, Aralkylendiisocyanatverbindungen wie o-Xyloldiisocyanat, m- Xyloldiisocyanat und p-Xyloldiisocyanat sowie aromatische Diisocyanatverbindungen wie Phenylendiisocyanat, Tolylendiisocyanat, Ethylphenylendiisocyanat, Isopropylphenylendiisocyanat, Dimethylphenylendiisocyanat, Diethylphenylendiisocyanat, Diisopropylphenylendiisocyanat, Napthalindiisocyanat, Methylnaphthalindiisocyanat, Biphenyldiisocyanat, 4,4'- Diphenylmethandiisocyanat, 3,3'-Dimethylmethan-4,4'-diisocyanat, Diphenyletherdiisocyanat und Benzophenondiisocyanat.
Diese Diisocyanatverbindungen können allein oder in Form eines Gemischs von zwei oder mehreren Verbindungen verwendet werden. Diese Diisocyanatverbindungen sind auf dem Markt, weshalb sie leicht erhältlich sind.
Typische Beispiele für eine Bismaleimidverbindung, die bei dem vierten typischen Beispiel für vorliegende Erfindung verwendet werden kann, umfassen verschiedene Verbindungen folgender Formel:
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Die aromatische Aminkomponente der Formel (1), welche bei vorliegender Erfindung brauchbar ist, kann beispielsweise aus Anilin und und α,α'-Dichlor-p-xylol leicht hergestellt werden, wie in den offen gelegten Japanischen Patentanmeldungen Nrn. 95125/1989 und 123828/1989, welche zuvor von der vorliegenden Anmelderin eingereicht wurden, offenbart ist, und das durchschnittliche Molekulargewicht (Mw) des aromatischen Aminharzes liegt im Bereich von etwa 300 bis 10.000. Ferner kann die Polymaleimidkomponente der Formel (2) hergestellt werden, indem man das aromatische Aminharz der Formel (1) und Maleinsäureanhydrid einer dehydratisierenden Kondensation unterwirft, wie in der offen gelegten Japanischen Patentanmeldung Nr. 172324/1991 offenbart, welche zuvor von vorliegender Anmelderin eingereicht wurde, und das durchschnittliche Molekulargewicht (Mw) des Polymaleimidharzes liegt im Bereich von etwa 300 bis 10.000.
Hinsichtlich des Mischungsverhältnisses in der Polymaleimidharzzusammensetzung bei dem ersten typischen Beispiel für vorliegende Erfindung kann die aromatische Aminkomponente der Formel (1) in einem Verhältnis von 5 bis 100 Gewichtsteilen, vorzugsweise 10 bis 80 Gewichtsteilen verwendet werden, während die aliphatische Diaminverbindung in einem Verhältnis von 1 bis 30 Gewichtsteilen, vorzugsweise 2 bis 15 Gewichtsteilen, bezüglich 100 Gewichtsteile der Polymaleimidkomponente der Formel (2) benutzt werden kann.
Wenn das aromatische Aminharz der Formel (1) weniger als 5 Gewichtsteile ausmacht, neigt ein gehärteter Gegenstand dazu, sehr brüchig zu sein, so dass eine befriedigende Biegefestigkeit nicht erreicht werden kann. Andererseits neigt die Wärmebeständigkeit des gehärteten Gegenstands dazu, gering zu sein, wenn sein Anteil mehr als 100 Gewichtsteile beträgt. Ferner neigen erhaltene Preprex und Rohfolien dazu, eine schlechte Flexibilität aufzuweisen, wenn die aliphatische Diaminverbindung weniger als 1 Gew.-% ausmacht, und wenn ihr Anteil mehr als 30 Gewichtsteile beträgt, neigt die Lagerungsstabilität eines erhaltenen Lackes dazu, gering zu sein.
Hinsichtlich eines Mischungsverhältnisses in der Polymaleimidharzzusammensetzung bei dem zweiten typischen Beispiel für vorliegende Erfindung kann die aromatische Aminkomponente der Formel (1) in einem Verhältnis von 5 bis 100 Gewichtsteilen, vorzugsweise 10 bis 80 Gewichtsteilen, verwendet werden, während die DAT-Verbindung in einem Verhältnis von 1 bis 30 Gewichtsteilen, vorzugsweise 2 bis 15 Gewichtsteilen, bezogen auf 100 Gewichtsteile der Polymaleimidkomponente der Formel (2), verwendet werden kann.
Wenn die aromatische Aminkomponente der Formel (1) weniger als 5 Gewichtsteile ausmacht, neigt ein gehärteter Gegenstand dazu, sehr brüchig zu sein, so dass eine befriedigende Biegefestigkeit nicht erhalten werden kann. Andererseits neigt die Wärmebeständigkeit des gehärteten Gegenstands dazu, gering zu sein, wenn ihr Anteil mehr als 100 Gewichtsteile beträgt. Überdies neigen erhaltene Prepregs und Rohfolien, wenn die DAT-Verbindung weniger als 1 Gewichtsteil ausmacht, dazu, eine schlechte Flexibilität aufzuweisen, und wenn der Anteil mehr als 30 Gewichtsteile ist, neigt die Lagerungsstabilität eines erhaltenen Lacks dazu, gering zu sein.
Hinsichtlich eines Mischungsverhältnisses in der Polymaleimidharzzusammensetzung bei dem dritten typischen Beispiel für vorliegende Erfindung kann die aromatische Aminkomponente der Formel (1) in einem Verhältnis von 5- 100 Gewichtsteilen, vorzugsweise 10 bis 80 Gewichtsteilen verwendet werden, während die Diisocyanatverbindung in einem Verhältnis von 1 bis 30 Gewichtsteilen, vorzugsweise 2 bis 15 Gewichtsteilen, bezogen auf 100 Gewichtsteile der Polymaleimidkomponente der Formel (2), benutzt werden kann.
Wenn die aromatische Aminkomponente der Formel (1) weniger als 5 Gewichtsteile ausmacht, neigt ein gehärteter Gegenstand dazu, sehr brüchig zu sein, so dass eine befriedigende Biegefestigkeit nicht erhalten werden kann. Andererseits neigt die Wärmebeständigkeit des gehärteten Gegenstandes dazu, gering zu sein, wenn dieser Anteil mehr als 100 Gewichtsteile beträgt. Ferner neigen erhaltene Prepregs und Rohfolien dazu, eine schlechte Flexibilität aufzuweisen, wenn die Diisocyanatverbindung weniger als 1 Gewichtsteil ausmacht, und wenn ihr Anteil mehr als 30 Gewichtsteile ist, neigt die Lagerungsstabilität des erhaltenen Lacks dazu, gering zu sein.
Hinsichtlich des Mischungsverhältnisses in der Polymaleimidharzzusammensetzung bei dem vierten typischen Beispiel für vorliegende Erfindung kann die aromatische Aminkomponente der Formel (1) in einem Verhältnis von 5 bis 100 Gewichtsteilen, vorzugsweise 10 bis 80 Gewichtsteilen, verwendet werden, während die Bismaleimidverbindung in einem Verhältnis von 5 bis 50 Gewichtsteilen vorzugsweise 10 bis 30 Gewichtsteilen, und die aliphatische Diaminverbindung in einem Verhältnis von 1 bis 30 Gewichtsteilen, vorzugsweise 2 bis 15 Gewichtsteilen, bezogen auf 100 Gewichtsteile der Polymaleimidverbindung der Formel (2), verwendet werden können.
Wenn die aromatische Aminkomponente der Formel (1) weniger als 5 Gewichtsteile ausmacht, neigt ein gehärteter Gegenstand dazu, sehr brüchig zu sein, so dass eine befriedigende Biegefestigkeit nicht erhalten werden kann. Andererseits neigt die Wärmebeständigkeit des gehärteten Gegenstands dazu, gering zu sein, wenn dieser Anteil mehr als 100 Gewichtsteile beträgt. Überdies kann die Wärmebeständigkeit des gehärteten Gegenstands, wenn die Bismaleimidverbindung weniger als 5 Gewichtsteile ausmacht, um 10ºC oder mehr geringer sein, und wenn sie mehr als 30 Gewichsteile ausmacht, neigt die Lagerungsstabilität eines erhaltenen Lacks dazu, gering zu sein. Wenn die aliphatische Diaminverbindung weniger als 1 Gewichtsteil ausmacht, neigen erhaltene Prepregs und Rohfolien dazu, eine schlechte Flexibilität aufzuweisen, und wenn ihr Anteil mehr als 30 Gew.-% beträgt, neigt die Lagerungsstabilität des erhaltenen Lacks dazu, gering zu sein.
Nötigenfalls können zur Polymaleimidharzzusammensetzung gemäß vorliegender Erfindung ein mehrere folgender Härtungspromotoren, pulver- und faserförmige Füllstoffe und Verstärkungsmaterialien zugegeben werden, solange die Ziele vorliegender Erfindung nicht beeinträchtigt werden:
(a) Beispiele für den Härtungspromotor umfassen Azoverbindungen, Initiatoren für eine radikalische Polymerisation, wie z. B. organische Peroxide, tertiäre Amine, quartäre Ammoniumsalze, Imidazole und Bortrifluorid-Amine.
(b) Beispiele für die pulver- oder faserförmigen Füllstoffe und Verstärkungsmaterialien umfassen Metalloxide wie Aluminiumoxid, Magnesiumoxid und Zirkonoxid, Metallhydroxide wie Aluminiumhydroxid, Metallcarbonate wie Calciumcarbonat und Magnesiumcarbonat, Aluminiumtitanat, Siliciumnitrid, Bornitrid, Siliciumcarbid, Wolframcarbid, Titancarbid, Cordierit (2MgO.2Al&sub2;O&sub3;.5SiO&sub2;), Mullit (3Al&sub2;O&sub3;.2SiO&sub2;) pulverförmige Diatomeenerde, basisches Magnesiumsilicat, kalzinierter Ton, feinpulveriges Siliciumdioxid, geschmolzenes Siliciumdioxid, kristallines Siliciumdioxid, Ruß, Kaolin, feinpulveriger Glimmer, Quarzpulver, Graphit, Asbest, Molybdändisulfid, Antimontrioxid, Glasfaser, Steinwolle, keramische Fasern, Aluminiumoxidfasern, Kaliumtitanatfasern, Kohlenstofffasern und aromatische Polyamidfasern.
Der zuvor genannte Füllstoff kann im Bereich von 100 bis 600 Gewichtsteilen, bezogen auf 100 Gewichtsteile des Gehalts an festem Kunstharz, verwendet werden.
Im folgenden wird zunächst ein Verfahren zur Herstellung von Laminaten für Halbleitersubstrate beschrieben.
Zunächst können die Polymaleimidkomponente der Formel (2), die aromatische Aminkomponente der Formel (1) und das bifunktionelle Vernetzungsmittel in einem der folgenden Lösungsmittel unter Erhalt einer Lacklösung gelöst werden. Beispiele für brauchbare Lösungsmittel umfassen Aceton, Methylethylketon, Methylisobutylketon, Diisopropylketon, Dioxan, Diglyme, Methylcellosolve, N,N-Dimethylformamid, 1,3-Dimethyl-2-imidazolidinon, Cyclohexanon und N,N-Dimethylacetamid. Die Lacklösung kann durch Auflösen der zuvor genannten Materialien in einem einzigen Lösungsmittel oder in einem gemischten Lösungsmittel aus diesen unter Rühren erhalten werden. Der Feststoffgehalt (Kunstharzgehalt) in der Lacklösung liegt üblicherweise im Bereich von 30 bis 70 Gew.-%. Dieser Arbeitsgang wird im Bereich von -10 bis 100ºC, vorzugsweise 10 bis 50ºC, durchgeführt. Ferner kann zur Zeit dieses Arbeitsgangs erforderlichenfalls ein Härtungspromotor zugesetzt werden.
Mit der derart erhaltenen Lacklösung können Glasfasergewebe, Kohlenstofffasergewebe oder dergl. imprägniert werden, so dass der Harzgehalt im Bereich von 20 bis 100 Gewichtsteilen, bezogen auf 100 Gewichtsteile der Gewebe, liegen kann, und die Gewebe werden sodann erwärmt und durch Heißluft bei 80 bis 100ºC unter Erhalt von Prepregs mit einer zuvor festgelegten Dicke getrocknet.
Andererseits kann eine einen Feststoff dispergierende Lacklösung mit einem Gehalt an einem Füllstoff wie Aluminiumoxidpulver oder feinpulvriges Siliciumdioxid mit einem Teilchendurchmesser von 0,5 bis 50 um im zuvor genannten Verhältnis auf Trägerfilme (Trägerfolien) aus einem Polyethylenterephthalat oder dergl. aufgebracht werden, um eine zuvor festgelegte Dicke zu erhalten, wonach die Trägerfilme sodann erwärmt und durch Heißluft bei 80 bis 180ºC erwärmt werden, gefolgt von einem Abschälen, um Rohfolien zu erhalten. Zu dieser Zeit werden die Temperatur- und Trocknungszeit, um eine ausreichende Flexibilität aufrechtzuerhalten, vorzugsweise so reguliert, dass 3 bis 15% des Lösungsmittels hierin verbleiben können.
Beispielsweise können 2 bis 100 der derart erhaltenen Prepregs oder Rohfolien mit einer Dicke von 0,05 bis 2 mm übereinander gelegt und sodann einem Pressen bei 180 bis 270ºC unter einem Druck von 10 bis 100 kg/cm² während 1 bis 3 Stunden zu ihrer Formgebung unterzogen werden, woran sich ein Härten bei 180 bis 270ºC anschließt, wodurch ein Laminat für ein Halbleitersubstrat hergestellt wird.
Im folgenden wird vorliegende Erfindung in größeren Einzelheiten gemäß den Beispielen beschrieben. Übrigens bedeuten "Teil(e)" in den Beispielen "Gewichtsteil(e)".

BEISPIEL 1

30 Teile eines aromatischen Aminharzes (mittleres Molekulargewicht Mw = 1.500) der Formel (A) und 100 Teile eines Polymaleimidharzes (mittleres Molekulargewicht Mw = 2.300) der Formel (B)
Formel. S. 19
wurden in einem gemischten Lösungsmittel von 30 Teilen Methylisobutylketon (im folgenden als "MIBK" bezeichnet) und 90 Teilen 1,3-Dimethyl-2-imidazolidinon (im folgenden als "DMI" bezeichnet) bei 90ºC unter Rühren gelöst, erforderlichenfalls gefolgt von einem Nachhärten bei 180 bis 270ºC während mehrerer Stunden und Abkühlen der Lösung auf Raumtemperatur. Sodann wurden zu dieser Lösung unter heftigem Rühren 25 Teile einer MIBK-Lösung mit einem Gehalt an 5 Teilen NBDA tropfenweise zugegeben, woran sich ein Vermischen anschloss, um einen Lack zu erhalten (im folgenden als "1-V" bezeichnet). Nach Stehenlassen des Lacks bei Raumtemperatur während eines Tags war die Viskosität von 1-V 8.000 cps; danach veränderte sich die Viskosität während eines Monats nicht. Infolgedessen war die Lagerungsstabilität des Lacks außerordentlich hervorragend.
Der Lack 1-V wurde unter Verwendung eines Baker Applikators vom Typ (Yoshimitsu Seiki Co., Ltd.) auf einen Polyethylenterephthalatfilm (PET-Film) aufgebracht und sodann 40 Minuten bei 100ºC unter Erhalt einer Folie der Abmessung 150 mm · 150 mm und einer Dicke von 300 um getrocknet. Diese Folie ließ sich hervorragend von der Trägerfolie abschälen und war so flexibel, dass sie um einen Aluminiumstab mit einem Durchmesser von 5 mm gewickelt werden konnte. Ferner konnten auch ein Stanzen und Perforieren leicht und erfolgreich durchgeführt werden.
Fünf der derart erhaltenen Folien wurden aufeinander gelegt und 10 Minuten bei 150ºC und danach bei 180ºC während 10 Minuten in einer Trocknungsvorrichtung getrocknet und sodann einem Pressen bei 200ºC unter einem Druck von 50 kg/cm² während einer Stunde sowie ferner einer Nachhärtung während vier Stunden in einem Trockenschrank bei 250ºC unterzogen.
Die physikalischen Eigenschaften der derart erhaltenen Laminatplatte waren wie folgt sehr hervorragend:
Glasübergangstemperatur (Tg-Wert): 290ºC
dielektrische Konstante: 3,2
dielektrischer Verlustfaktor: 0,003
Biegefestigkeit: 13 kg/cm²
Wasserabsorption: 0,34% (in Wasser, 25ºC, 24 Stunden).
Der Tg-Wert wurde durch ein Penetrationsverfahren unter Verwendung einer TMA (thermomechanischen Analysevorrichtung), die dielektrische Konstante und der dieleketrische Verlustfaktor gemäß JIS K-6911 (Frequenz: 1 MHz), die Biegefestigkeit gemäß JIS K-6911, und die Wasserabsorption nach einem gravimetrischen Verfahren (in destilliertem Wasser, 25ºC, 24 Stunden) gemessen.

BEISPIEL 2

Zur Herstellung einer einen Füllstoff dispergierenden Lacklösung (Viskosität: 20.000 cps) wurden 150 Teile Aluminiumoxid mit einem mittleren Teilchendurchmesser von 2 um zu 100 Teilen eines Lacks (1-V), erhalten in Beispiel 1, gegeben. Diese einen Füllstoff dispergierende Lacklösung wurde auf die gleiche Weise wie in Beispiel 1 in eine Folie geformt, wobei eine Rohfolie erhalten wurde. Diese Rohfolie war sehr flexibel und konnte um einen Aluminiumstab mit einem Durchmesser von 5 mm gewunden werden. Ferner konnte auch ein Stanzen und Lochen leicht und erfolgreich durchgeführt werden.
Sodann wurde aus dieser Rohfolie nach dem Verfahren des Beispiels 1 eine Laminatplatte gebildet. Die physikalischen Eigenschaften der so erhaltenen Laminatplatte waren äußerst hervorragend und wie folgt:
Glasübergangstemperatur (Tg-Wert): 290ºC
dielektrische Konstante: 3,5
dielektrischer Verlustfaktor: 0,001
Biegefestigkeit: 12 kg/cm²
Wasserabsorption: 0,12% (in Wasser, 25ºC, 24 Stunden)

BEISPIEL 3

Es wurde das gleiche Lackherstellungsverfahren wie in Beispiel 1 mit der Ausnahme durchgeführt, dass zwei Teile NBDA zugesetzt wurden, wodurch ein Lack mit einer Viskosität von 500 cps erhalten wurde. Diese Lacklösung wurde in einen Imprägnierungsbehälter gegossen, und ein Glasgewebe (hergestellt von Nitto Boseki Co., Ltd.), das einer Aminosilanbehandlung unterzogen worden war, wurde 10 Sekunden in die Lacklösung getaucht. Nach Entnahme des Gewebes hieraus wurde überschüssiger Lack durch Druckwalzen entfernt. Das ausgewählte Glasgewebe war übrigens "WF230-100BS6" (Handelsname) mit einer Dicke von 0,25 mm und einem Standardgewicht von 203 g/m². Dieses Glasgewebe wurde bei Raumtemperatur 30 Minuten an der Luft getrocknet und ferner 40 Minuten bei 100ºC getrocknet und danach 10 Minuten bei 130ºC, um ein flexibles Prepregs mit einer Dicke von 500 um zu erhalten. Ferner konnten ein Stanzen und Lochen leicht und erfolgreich durchgeführt werden. Aus diesem Prepregs wurde nach dem gleichen Verfahren wie in Beispiel 1 eine Laminatplatte geformt. Die physikalischen Eigenschaften der so erhaltenen Laminatplatte waren äußerst hervorragend und wie folgt:
Glasübergangstemperatur (Tg-Wert): 292ºC
dielektrische Konstante: 4,2
dielektrischer Verlustfaktor: 0,001
Biegefestigkeit: 15 kg/cm²
Wasserabsorption: 0,15% (in Wasser, 25ºC, 24 Stunden).

BEISPIEL 4

Das gleiche Verfahren wie in Beispiel 2 wurde mit der Ausnahme durchgeführt, dass 60 Teile eines aromatischen Aminharzes (A) verwendet wurden, wobei ein Lack, eine flexible Rohfolie und eine Laminatplatte erhalten wurden. Die physikalischen Eigenschaften der so erhaltenen Laminatplatte waren äußerst hervorragend und wie folgt:
Glasübergangstemperatur (Tg-Wert): 278ºC
dielektrische Konstante: 3,8
dielektrischer Verlustfaktor: 0,002
Biegefestigkeit: 12 kg/cm²
Wasserabsorption: 0,12% (in Wasser, 25ºC, 24 Stunden).

BEISPIEL 5

Das gleiche Verfahren wie in Beispiel 2 wurde mit der Ausnahme durchgeführt, dass 10 Teile NBDA benutzt wurden, wobei ein Lack, eine flexible Rohfolie und eine Laminatplatte erhalten wurden. Die physikalischen Eigenschaften der so erhaltenen Laminatplatte waren äußerst hervorragend und wie folgt:
Glasübergangstemperatur (Tg-Wert): 282ºC
dielektrische Konstante: 3,6
dielektrischer Verlustfaktor: 0,002
Biegefestigkeit: 13 kg/cm²
Wasserabsorption: 0,11% (in Wasser, 25ºC, 24 Stunden).

BEISPIEL 6

Es wurde das gleiche Verfahren wie in Beispiel 2 mit der Ausnahme durchgeführt, dass ein aromatisches Aminharz (A) mit einem mittleren Molekulargewicht von 6200 und ein Polymaleimidharz (B) mit einem mittleren Molekulargewicht von 8400 verwendet wurden, wobei ein Lack, eine flexible Rohfolie und eine Laminatplatte erhalten wurden. Die physikalischen Eigenschaften der so erhaltenen Laminatplatte waren äußerst hervorragend und wie folgt:
Glasübergangstemperatur (Tg-Wert): 298ºC
dielektrische Konstante: 3,2
dielektrischer Verlustfaktor: 0,001
Biegefestigkeit: 13 kg/cm²
Wasserabsorption: 0,11% (in Wasser, 25ºC, 24 Stunden).

BEISPIEL 7

Das gleiche Verfahren wie in Beispiel 3 wurde mit der Ausnahme durchgeführt, dass NBDA durch 1,4-Diaminocyclohexan ersetzt wurde, wobei ein Lack, ein flexibles Prepreg und eine Laminatplatte erhalten wurden. Die physikalischen Eigenschaften der so erhaltenen Laminatplatte waren äußerst hervorragend und wie folgt:
Glasübergangstemperatur (Tg-Wert): 275ºC
dielektrische Konstante: 4,3
dielektrischer Verlustfaktor: 0,001
Biegefestigkeit: 11 kg/cm²
Wasserabsorption: 0,16% (in Wasser, 25ºC, 24 Stunden).

BEISPIEL 8

Es wurde das gleiche Verfahren wie im Beispiel 2 mit der Ausnahme durchgeführt, dass das aromatische Aminharz (A) durch ein aromatisches Aminharz (mit dem mittleren Molekulargewicht Mw = 380) der Formel (C)
Formel S. 25
ersetzt wurde, wobei ein Lack, eine flexible Rohfolie und eine Laminatplatte erhalten wurden. Die physikalischen Eigenschaften der so erhaltenen Laminatplatte waren äußerst hervorragend und wie folgt:
Glasübergangstemperatur (Tg-Wert): 288ºC
dielektrische Konstante: 3,6
dielektrischer Verlustfaktor: 0,001
Biegefestigkeit: 11 kg/cm²
Wasserabsorption: 0,11% (in Wasser, 25ºC, 24 Stunden).

BEISPIEL 9

Es wurde das gleiche Verfahren wie in Beispiel 2 mit der Ausnahme durchgeführt, dass Polymaleimidharz (B) durch ein Polymaleimidharz (mittleres Molekulargewicht Mw = 1050) der Formel (D)
Formel S. 26
ersetzt wurde, wobei ein Lack, eine flexible Rohfolie und eine Laminatplatte erhalten wurden. Die physikalischen Eigenschaften der derart erhaltenen Laminatplatte waren äußerst hervorragend und wie folgt:
Glasübergangstemperatur (Tg-Wert): 286ºC
dielektrische Konstante: 3,8
dielektrischer Verlustfaktor: 0,001
Biegefestigkeit: 13 kg/cm²
Wasserabsorption: 0,10% (in Wasser, 25ºC, 24 Stunden).

BEISPIEL 10

Es wurde das gleiche Verfahren wie in Beispiel 2 durchgeführt, jedoch mit der Ausnahme, dass das aromatische Aminharz (A) durch ein aromatisches Aminharz (mittleres Molekulargewicht Mw = 850) der Formel (E)
Formel. S. 27 oben
ersetzt wurde, wobei ein Lack, eine flexible Rohfolie und eine Laminatplatte erhalten wurden. Die physikalischen Eigenschaften der so erhaltenen Laminatplatte waren äußerst hervorragend und wie folgt:
Glasübergangstemperatur (Tg-Wert): 292ºC
dielektrische Konstante: 3,7
dielektrischer Verlustfaktor: 0,001
Biegefestigkeit: 12 kg/cm²
Wasserabsorption: 0,13% (in Wasser, 25ºC, 24 Stunden).

BEISPIEL 11

Es wurde das gleiche Verfahren wie in Beispiel 2 mit der Ausnahme durchgeführt, dass das Polymaleimidharz (B) durch ein Polymaleimidharz (mittleres Molekulargewicht Mw = 1.100) der Formel (F)
Formel. S. 27
ersetzt wurde, wobei man einen Lack, eine flexible Rohfolie und eine Laminatplatte erhielt. Die physikalischen Eigenschaften der derart erhaltene Laminatplatte waren äußerst hervorragend und wie folgt:
Glasübergangstemperatur (Tg-Wert): 291ºC
dielektrische Konstante: 3,6
dielektrischer Verlustfaktor: 0,002
Biegefestigkeit: 11 kg/cm²
Wasserabsorption: 0,12% (in Wasser, 25ºC, 24 Stunden).

BEISPIEL 12

Es wurde das gleiche Verfahren wie in Beispiel 2 mit der Ausnahme durchgeführt, dass das Polymaleimidharz (B) durch ein Polymaleimidharz (mittleres Molekulargewicht Mw = 4.200) der Formel (G)
Formel S. 28
ersetzt wurde, wobei man einen Lack, eine flexible Rohfolie und eine Laminatplatte erhielt. Die physikalischen Eigenschaften der so erhaltenen Laminatplatte waren äußerst hervorragend und wie folgt:
Glasübergangstemperatur (Tg-Wert): 288ºC
dielektrische Konstante: 3,6
dielektrischer Verlustfaktor: 0,001
Biegefestigkeit: 12 kg/cm²
Wasserabsorption: 0,11% (in Wasser, 25ºC, 24 Stunden).

Vergleichsbeispiel 1

Es wurde das gleiche Verfahren wie in Beispiel 2 durchgeführt, jedoch mit der Ausnahme, dass kein NBDA zugegeben wurde, wobei man einen Lack und danach eine Folie erhielt. Die erhaltene Folie war kaum flexibel und so brüchig, dass die Herstellung einer Laminatplatte außerordentlich schwierig war, und ihre Ausbeute war 10% oder weniger.
Ferner hatte die erhaltene Folie nur eine geringe Flexibilität, und wenn man versuchte, die Folie um einen Aluminiumstab mit dem beträchtlichen Durchmesser von 100 mm zu wickeln, traten Risse auf. Sodann wurde, während die Folie im Zustand einer Platte vorlag, die Bildung der Laminatplatte versucht, jedoch traten während der Laminierung häufig Risse auf, und ihre Ausbeute war 10% oder weniger. Ferner wurde die auf irgend eine Weise durch das Laminieren erhaltene Platte zur Bildung einer Laminatplatte nachgehärtet, und die physikalischen Eigenschaften der erhaltenen Laminatplatte waren etwa die gleichen wie in Beispiel 2, und zwar folgende:
Glasübergangstemperatur (Tg-Wert): 291ºC
dielektrische Konstante: 3,5
dielektrischer Verlustfaktor: 0,001
Biegefestigkeit: 11 kg/cm²
Wasserabsorption: 0,13% (in Wasser, 25ºC, 24 Stunden).
Tabelle 1 fasst die Laminierungsbedingungen der in Beispielen 1 bis 12 und im Vergleichsbeispiel 1 gebildeten Laminatplatten zur Bewertung der physikalischen Eigenschaften zusammen. Tabelle 1

BEISPIEL 13

30 Teile des aromatischen Aminharzes (A) (mittleres Molekulargewicht Mw = 1.500) der Formel (A) und 100 Teile des Polymaleimidharzes (B) (mittleres Molekulargewicht Mw = 2.300) der Formel (B) wurden in einem gemischten Lösungsmittel aus 30 Teilen MIBK und 90 Teilen DMI bei 90ºC unter Rühren gelöst, gefolgt von einem Abkühlen der Lösung auf Raumtemperatur. Sodann wurden 25 Teile einer MIBK-Lösung mit einem Gehalt an 5 Teilen eines Gemischs aus 2,5-Bis(isocyanatmethyl)bicyclo[2.2.1]heptan in einem Verhältnis von 1 : 1 tropfenweise unter heftigem Rühren zu dieser Lösung zugegeben, gefolgt von einem Vermischen, wobei ein Lack ("2-V") erhalten wurde.
Nachdem man den Lack einen Tag stehen ließ, war seine Viskosität 2.200 cps, wonach sich die Viskosität während eines Monats nicht veränderte. Somit war die Lagerungsstabilität des Lacks äußerst hervorragend. Der Lack 2-V wurde auf einen Polyethylenterephthalatfilm (PET-Film) unter Verwendung eines Stabbeschichters aufgebracht und sodann 40 Minuten bei 100ºC getrocknet, wobei eine Folie mit den Abmessungen 150 mm · 150 mm und einer Dicke von 300 um erhalten wurde. Diese Folie ließ sich von einer Trägerfolie hervorragend abschälen und war so flexibel, dass sie um einen Aluminiumstab mit einem Durchmesser von 5 mm gewickelt werden konnte. Ferner konnten ein Stanzen und Lochen auch leicht und hervorragend durchgeführt werden. 5 der derart erhaltenen Folien wurden übereinander gelegt und 10 Minuten bei 150ºC und sodann 10 Minuten bei 180ºC in einer Trocknungsvorrichtung getrocknet, wonach sie unter einem Druck von 50 kg/cm² eine Stunde gepresst und danach 4 Stunden in einem Trockenschrank bei 250ºC nachgehärtet wurden.
Die physikalischen Eigenschaften der so erhaltenen Laminatplatte waren äußerst hervorragend und wie folgt:
Glasübergangstemperatur (Tg-Wert): 288ºC
dielektrische Konstante: 3,4
dielektrischer Verlustfaktor: 0,003
Biegefestigkeit: 12 kg/cm²
Wasserabsorption: 0,44% (in Wasser, 25ºC, 24 Stunden).

BEISPIEL 14

150 Teile Aluminiumoxid mit einem mittleren Teilchendurchmesser von 2 um wurden zu 100 Teilen eines in Beispiel 13 erhaltenen Lacks (2-V) zugegeben, um eine, einen Füllstoff dispergierende Lacklösung (Viskosität: 20.000 cps) zu erhalten. Von dieser Füllstoff dispergierenden Lacklösung wurde auf die gleiche Weise wie in Beispiel 13 eine Folie gebildet, um eine Rohfolie zu erhalten. Diese Rohfolie war auch so flexibel, dass sie um einen Aluminiumstab mit einem Durchmesser von 5 mm gewickelt werden konnte. Ferner konnte auch ein Stanzen und Lochen leicht und erfolgreich durchgeführt werden.
Nach dem gleichen Verfahren wie in Beispiel 13 wurde unter Verwendung der zuvor beschriebenen Rohfolien eine Laminatplatte geformt. Die physikalischen Eigenschaften der derart erhaltenen Laminatplatte waren sehr hervorragend und wie folgt:
Glasübergangstemperatur (Tg-Wert): 288ºC
dielektrische Konstante: 3,6
dielektrischer Verlustfaktor: 0,002
Biegefestigkeit: 12 kg/cm²
Wasserabsorption: 0,13% (in Wasser, 25ºC, 24 Stunden).

BEISPIEL 15

Das gleiche Verfahren zur Lackherstellung wie in Beispiel 13 wurde mit der Ausnahme durchgeführt, dass zwei Teile eines Gemischs von 2,5- Bis(isocyanatomethyl)bicyclo[2.2.1]heptan und 2,6-Bis(isocyanatomehyl)bicyclo- [2.2.]heptan in einem Verhältnis von 1 : 1 zugegeben wurden, wobei ein Lack mit einer Viskosität von 500 cps erhalten wurde. Diese Lacklösung wurde in einen Imprägnierungsbehälter gefüllt, und ein Glasgewebe (hergestellt von Nitto Boseki Col., Ltd.), das einer Aminosilanbehandlung unterzogen worden war, wurde in die Lacklösung 10 Sekunden getaucht. Nach Entnahme des Gewebes aus dieser wurde überschüssiger Lack durch Druckrollen entfernt. Das ausgewählte Glasgewebe war übrigens WF230-100BS6 (Handelsname) mit einer Dicke von 0,25 mm und einem Standardgewicht von 203 g/m². Dieses Glasgewebe wurde bei Raumtemperatur 30 Minuten an der Luft und ferner bei 100ºC 40 Minuten und danach bei 130ºC 10 Minuten getrocknet, um ein flexibles Prepreg einer Dicke von 500 um zu erhalten. Ferner konnte auch das Stanzen und Lochen leicht und erfolgreich durchgeführt werden. Sodann wurde aus diesem Prepreg nach dem gleichen Verfahren wie im Beispiel 13 eine Laminatplatte gebildet. Die physikalischen Eigenschaften der so erhaltenen Laminatplatte waren sehr hervorragend und wie folgt:
Glasübergangstemperatur (Tg-Wert): 289ºC
dielektrische Konstante: 3,8
dielektrischer Verlustfaktor: 0,001
Biegefestigkeit: 14 kg/cm²
Wasserabsorption: 0,16% (in Wasser, 25ºC, 24 Stunden).

BEISPIEL 16

Das gleiche Verfahren wie im Beispiel 13 wurde mit der Ausnahme durchgeführt, dass 60 Teile des aromatischen Amidharzes (A) benutzt wurden, wobei ein Lack erhalten wurde. Unter Verwendung dieses Lacks wurden eine flexible Rohfolie und eine Laminatplatte auf die gleiche Weise wie in Beispiel 14 erhalten. Die physikalischen Eigenschaften der derart erhaltenen Laminatplatte waren sehr hervorragend und wie folgt:
Glasübergangstemperatur (Tg-Wert): 282ºC
dielektrische Konstante: 3,7
dielektrischer Verlustfaktor: 0,002
Biegefestigkeit: 14 kg/cm²
Wasserabsorption: 0,13% (in Wasser, 25ºC, 24 Stunden).

BEISPIEL 17

Es wurde das gleiche Verfahren wie in Beispiel 13 mit der Ausnahme durchgeführt, dass zehn Teile eines Gemischs aus 2,5- Bis(isocyanatmethyl)bicyclo[2.2.1]heptan und 2,6-Bis(isocyanatomethyl)bicyclo- [2.2.1]heptan in einem Verhältnis von 1 : 1 zugegeben wurde, wobei ein Lack erhalten wurde. Unter Verwendung dieses Lacks wurden eine flexible Rohfolie und eine Laminatplatte auf die gleiche Weise wie im Beispiel 14 erhalten. Die physikalischen Eigenschaften der derart erhaltenen Laminatplatte waren sehr hervorragend und wie folgt:
Glasübergangstemperatur (Tg-Wert): 282ºC
dielektrische Konstante: 3,5
dielektrischer Verlustfaktor: 0,002
Biegefestigkeit: 12 kg/cm²
Wasserabsorption: 0,13% (in Wasser 25ºC, 24 Stunden).

BEISPIEL 18

Es wurde das gleiche Verfahren wie im Beispiel 13 mit der Ausnahme durchgeführt, dass ein aromatisches Aminharz (A) mit einem mittleren Molekulargewicht von 6.200 und ein Polymaleimidharz (B) mit einem mittleren Molekulargewicht von 8.400 verwendet wurden, wobei man einen Lack erhielt. Unter Verwendung dieses Lacks wurden eine flexible Rohfolie und eine Laminatplatte auf die gleiche Weise wie im Beispiel 14 erhalten. Die physikalischen Eigenschaften der so erhaltenen Laminatplatte waren sehr hervorragend und wie folgt:
Glasübergangstemperatur (Tg-Wert): 292ºC
dielektrische Konstante: 3,4
dielektrischer Verlustfaktor: 0,002
Biegefestigkeit: 12 kg/cm²
Wasserabsorption: 0,15% (in Wasser, 25ºC, 24 Stunden).

BEISPIEL 19

Es wurde das gleiche Verfahren wie in Beispiel 15 mit der Ausnahme durchgeführt, dass ein Gemisch von 2,5-Bis(isocyanatomethyl)- bicyclo[2.2.1]heptan und 2,6-Bis(isocyanatomethyl)-bicyclo[2.2.1]heptan im Verhältnis von 1 : 1 durch Tolylendiisocyanat ersetzt wurde, wobei ein Lack erhalten wurde. Unter Verwendung dieses Lacks wurden auf ähnliche Weise ein flexibles Prepreg und eine Laminatplatte erhalten. Die physikalischen Eigenschaften der so hergestellten Laminatplatte waren sehr hervorragend und wie folgt:
Glasübergangstemperatur (Tg-Wert): 290ºC
dielektrische Konstante: 3,8
dielektrischer Verlustfaktor: 0,002
Biegefestigkeit: 14 kg/cm²
Wasserabsorption: 0,12% (in Wasser, 25ºC, 24 Stunden).

BEISPIEL 20

Das gleiche Verfahren wie im Beispiel 15 wurde durchgeführt, jedoch mit der Ausnahme, dass das aromatische Aminharz (A) durch ein aromatisches Aminharz (C) (mittleres Molekulargewicht Mw = 380) der Formel (C) ersetzt wurde, wobei ein Lack anfiel. Unter Verwendung dieses Lacks wurden eine flexible Rohfolie und eine Laminatplatte auf gleiche Weise wie im Beispiel 16 erhalten. Die physikalischen Eigenschaften der derart erhaltenen Laminatplatte waren sehr hervorragend und wie folgt:
Glasübergangstemperatur (Tg-Wert): 290ºC
dielektrische Konstante: 3,8
dielektrischer Verlustfaktor: 0,002
Biegefestigkeit: 14 kg/cm²
Wasserabsorption: 0,12% (in Wasser, 25ºC, 24 Stunden).

BEISPIEL 21

Das gleiche Verfahren wie im Beispiel 13 wurde mit der Ausnahme durchgeführt, dass Polymaleimidharz (B) durchein Polymaleimidharz (D) (mittleres Molekulargewicht Mw = 1.050) der Formel (D) ersetzt wurde, wodurch ein Lack erhalten wurde. Unter Verwendung dieses Lacks wurden eine flexible Rohfolie und eine Laminatplatte auf gleiche Weise wie im Beispiel 14 erhalten. Die physikalischen Eigenschaften der so erhaltenen Laminatplatte waren sehr hervorragend und wie folgt:
Glasübergangstemperatur (Tg-Wert): 289ºC
dielektrische Konstante: 3,7
dielektrischer Verlustfaktor: 0,002
Biegefestigkeit: 15 kg/cm²
Wasserabsorption: 0,11% (in Wasser, 25ºC, 24 Stunden).

BEISPIEL 22

Es wurde das gleiche Verfahren wie in Beispiel 13 mit der Ausnahme durchgeführt, dass das aromatische Aminharz (A) durch ein aromatisches Aminharz (E) (mittleres Molekulargewicht Mw = 850) der Formel (E) ersetzt wurde, wobei eine Lack erhalten wurde. Unter Verwendung dieses Lacks wurde eine flexible Rohfolie und eine Laminatplatte auf die gleiche Weise wie in Beispiel 14 erhalten. Die physikalischen Eigenschaften der so erhaltenen Laminatplatte waren sehr hervorragend und wie folgt:
Glasübergangstemperatur (Tg-Wert): 291ºC
dielektrische Konstante: 3,6
dielektrischer Verlustfaktor: 0,002
Biegefestigkeit: 15 kg/cm²
Wasserabsorption: 0,12% (in Wasser, 25ºC, 24 Stunden).

BEISPIEL 23

Es wurde das gleiche Verfahren wie im Beispiel 13 mit der Ausnahme durchgeführt, dass das Polymaleimidharz (B) durch ein Polymaleimidharz (F) (mittleres Molekulargewicht Mw = 1.100) der Formel (F) ersetzt wurde, wobei ein Lack erhalten wurde. Unter Verwendung dieses Lacks wurden eine flexible Rohfolie und eine Laminatplatte auf die gleiche Weise wie im Beispiel 14 erhalten. Die physikalischen Eigenschaften der derart erhaltenen Laminatplatte waren außerordentlich hervorragend und wie folgt:
Glasübergangstemperatur (Tg-Wert): 290ºC
dielektrische Konstante: 3, 4
dielektrischer Verlustfaktor: 0,002
Biegefestigkeit: 15 kg/cm²
Wasserabsorption: 0,16% (in Wasser, 25ºC, 24 Stunden).

BEISPIEL 24

Es wurde das gleiche Verfahren wie im Beispiel 13 mit der Ausnahme durchgeführt, dass das Polymaleimidharz (B) durch ein Polymaleimidharz (G) (mittleres Molekulargewicht Mw = 4.200) der Formel (G) ersetzt wurde, wobei ein Lack anfiel. Unter Verwendung dieses Lacks wurden eine flexible Rohfolie und eine Laminatplatte auf gleiche Weise wie im Beispiel 14 erhalten. Die physikalischen Eigenschaften der so erhaltenen Laminatplatte waren sehr hervorragend und wie folgt:
Glasübergangstemperatur (Tg-Wert): 288ºC
dielektrische Konstante: 3,5
dielektrischer Verlustfaktor: 0,002
Biegefestigkeit: 13 kg/cm²
Wasserabsorption: 0,13% (in Wasser, 25ºC, 24 Stunden).
Tabelle 2 fasst die Laminierungsbedingungen der in den Beispielen 13 bis 24 hergestellten Laminatplatten zur Bewertung ihrer physikalischen Eigenschaften zusammen. Tabelle 2

BEISPIEL 25

30 Teile des aromatischen Aminharzes (mittleres Molekulargewicht Mw = 1.500) der Formel (A) und 100 Teile des Polymaleimidharzes (mittleres Molekulargewicht Mw = 2.300) der Formel (B) wurden in einem gemischten Lösungsmittel aus 30 Teilen MIPK und 90 Teilen DMI bei 90ºC unter Rühren gelöst, wonach die Lösung auf Raumtemperatur abgekühlt wurde. Sodann wurden 25 Teile einer MIBK-Lösung mit einem Gehalt an 5 Teilen 2,4-Diamino-6-phenyl-S- triazin der Formel (H)
("3-V" H) tropfenweise zu dieser Lösung unter heftigem Rühren zugegeben, gefolgt von einem Vermischen, um einen Lack ("3-V") zu erhalten. Nachdem der Lack ein Tag stehen gelassen wurde, war seine Viskosität 8.000 cps, wonach die Viskosität sich während eines Monats nicht veränderte. Somit war die Lagerungsstabilität des Lacks außerordentlich hervorragend.
Der Lack wurde auf ein Polyethylenterephthalatfilm (PET-Film) unter Verwendung eines Stabbeschichters aufgebracht und sodann bei 100ºC 40 Minuten getrocknet, um eine Folie mit den Abmessungen 150 mm · 150 mm und einer Dicke von 300 um zu erhalten. Diese Folie war hinsichtlich ihres Abschälens von einer Trägerfolie hervorragend und so flexibel, dass sie um einen Aluminiumstab mit einem Durchmesser von 5 mm gewickelt werden konnte, ferner konnten auch das Stanzen und Lochen leicht und erfolgreich durchgeführt werden.
Fünf der derart erhaltenen Folien wurden übereinander gelegt und 10 Minuten bei 150ºC und sodann 10 Minuten bei 180ºC in einer Trocknungsvorrichtung getrocknet und danach einem Pressen bei 200ºC unter einem Druck von 50 kg/cm² eine Stunde und sodann vier Stunden in einem Trockenschrank bei 250ºC einer Nachhärtung unterworfen.
Die physikalischen Eigenschaften der derart erhaltenen Laminatplatte waren außergewöhnlich hervorragend und wie folgt:
Glasübergangstemperatur (Tg-Wert): 293ºC
dielektrische Konstante: 3,1
dielektrischer Verlustfaktor: 0,002
Biegefestigkeit: 14 kg/cm²
Wasserabsorption: 0,35% (in Wasser, 25ºC, 24 Stunden).

BEISPIEL 26

150 Teile Aluminiumoxid mit einem mittleren Teilchendurchmesser von 2 um wurden zu 100 Teilen des Lacks ("3-V"), erhalten im Beispiel 25, unter Erhalt einer einen Füllstoff dispergierenden Lacklösung (Viskosität: 20.000 cps) gegeben. Sodann wurde aus dieser Füllstoff dispergierenden Lacklösung auf die gleiche Weise wie in Beispiel 25 eine Folie gebildet, um eine Rohfolie hergestellt. Diese Rohfolie war ebenfalls so flexibel, dass sie um einen Aluminiumstab mit einem Durchmesser von 5 mm gewickelt werden konnte. Ferner konnten auch das Stanzen und Lochen leicht und erfolgreich durchgeführt werden.
Gemäß dem Verfahren des Beispiels 25 wurde unter Verwendung der zuvor beschriebenen Rohfolie eine Laminatplatte gebildet. Die physikalischen Eigenschaften der so erhaltenen Laminatplatte waren außergewöhnlich hervorragend und wie folgt:
Glasübergangstemperatur (Tg-Wert): 293ºC
dielektrische Konstante: 3,5
dielektrischer Verlustfaktor: 0,001
Biegefestigkeit: 16 kg/cm²
Wasserabsorption: 0,13% (in Wasser, 25ºC, 24 Stunden).

BEISPIEL 27

Das gleiche Lackherstellungsverfahren wie im Beispiel 25 wurde mit der Ausnahme durchgeführt, dass zwei Teile einer DAT-Verbindung der Formel (H) zugegeben wurden, wobei man einen Lack mit einer Viskosität von 500 cps erhielt. Diese Lacklösung wurde in einen Imprägnierbehälter gefüllt, und ein Glasgewebe (hergestellt von Nitto Boseki Co., Ltd.), das einer Aminosilanbehandlung unterzogen worden war, wurde 10 Sekunden in die Lacklösung getaucht. Nach Entnahme des Gewebes hieraus wurde überschüssiger Lack durch Druckwalzen entfernt. Das ausgewählte Glasgewebe war übrigens WF230-100BS6 (Handelsname) mit einer Dicke von 0,25 mm und einem Standardgewicht von 203 g/m². Dieses Glasgewebe wurde an der Luft bei Raumtemperatur 30 Minuten, ferner 40 Minuten bei 100ºC und danach 10 Minuten bei 130ºC getrocknet, um ein flexibles Prepreg mit einer Dicke von 500 um zu erhalten. Ferner konnten das Stanzen und Lochen dieses Prepregs auch leicht und erfolgreich durchgeführt werden. Danach wurde aus diesem Prepreg nach dem gleichen Verfahren wie in Beispiel 25 eine Laminatplatte gebildet. Die physikalischen Eigenschaften der so erhaltenen Laminatplatte waren sehr hervorragend und wie folgt:
Glasübergangstemperatur (Tg-Wert): 293ºC
dielektrische Konstante: 3,9
dielektrischer Verlustfaktor: 0,001
Biegefestigkeit: 17 kg/cm²
Wasserabsorption: 0,13% (in Wasser, 25ºC, 24 Stunden).

BEISPIEL 28

Das gleiche Verfahren wie in Beispiel 26 wurde mit der Ausnahme durchgeführt, dass 60 Teile des aromatischen Harzes (A) verwendet wurden, wobei man einen Lack, eine flexible Rohfolie und ein Laminat erhielt. Die physikalischen Eigenschaften der so erhaltenen Laminatplatte waren sehr hervorragend und wie folgt:
Glasübergangstemperatur (Tg-Wert): 286ºC
dielektrische Konstante: 3,7
dielektrischer Verlustfaktor: 0,002
Biegefestigkeit: 15 kg/cm²
Wasserabsorption: 0,11% (in Wasser, 25ºC, 24 Stunden).

BEISPIEL 29

Es wurde das gleiche Verfahren wie im Beispiel 26 mit der Ausnahme durchgeführt, dass zehn Teile einer DAT-Verbindung verwendet wurden, wobei man einen Lack, eine flexible Rohfolie und ein Laminat erhielt. Die physikalischen Eigenschaften der so erhaltenen Laminatplatte waren sehr hervorragend und wie folgt:
Glasübergangstemperatur (Tg-Wert): 284ºC
dielektrische Konstante: 3,4
dielektrischer Verlustfaktor: 0,001
Biegefestigkeit: 14 kg/cm²
Wasserabsorption: 0,10% (in Wasser, 25ºC, 24 Stunden).

BEISPIEL 30

Es wurde das gleiche Verfahren wie im Beispiel 26 mit der Ausnahme durchgeführt, dass ein aromatisches Aminharz (A) mit einem mittleren Molekulargewicht von 2.600 und ein Polymaleimidiminharz (B) mit einem mittleren Molekulargewicht von 8.400 verwendet wurden, wobei man einen Lack, eine flexible Rohfolie und ein Laminat erhielt. Die physikalischen Eigenschaften der so erhaltenen Laminatplatte waren sehr hervorragend und wie folgt:
Glasübergangstemperatur (Tg-Wert): 300ºC
dielektrische Konstante: 3,1
dielektrischer Verlustfaktor: 0,001
Biegefestigkeit: 16 kg/cm²
Wasserabsorption: 0,10% (in Wasser, 25ºC, 24 Stunden).

BEISPIEL 31

Es wurde das Verfahren des Beispiels 25 mit der Ausnahme durchgeführt, dass die DAT-Verbindung der Formel (H) durch ein 2,4-Diamino-6-methyl-S-triazin der Formel (I) ersetzt wurde,
S. 46 oben
wodurch ein Lack, ein flexibles Prepreg und ein Laminat erhalten wurden. Die physikalischen Eigenschaften der derart erhaltenen Laminatplatte waren sehr hervorragend und wie folgt:
Glasübergangstemperatur (Tg-Wert): 285ºC
dielektrische Konstante: 3,9
dielektrischer Verlustfaktor: 0,001
Biegefestigkeit: 12 kg/cm²
Wasserabsorption: 0,13% (in Wasser, 25ºC, 24 Stunden).

BEISPIEL 32

Es wurde das gleiche Verfahren wie in Beispiel 26 mit der Ausnahme durchgeführt, dass das aromatische Aminharz (A) durch ein aromatisches Aminharz (mittleres Molekulargewicht Mw = 380) der Formel (C) ersetzt wurde, wobei man einen Lack, eine flexible Rohfolie und ein Laminat erhielt. Die physikalischen Eigenschaften der so erhaltenen Laminatplatte waren sehr hervorragend und wie folgt:
Glasübergangstemperatur (Tg-Wert): 291ºC
dielektrische Konstante: 3,4
dielektrischer Verlustfaktor: 0,001
Biegefestigkeit: 13 kg/cm²
Wasserabsorption: 0,10% (in Wasser, 25ºC, 24 Stunden).

BEISPIEL 33

Es wurde das gleiche Verfahren wie in Beispiel 26 durchgeführt, jedoch mit der Ausnahme, dass das Polymaleimidharz (B) durch ein Polymaleimidharz (mittleres Molekulargewicht Mw = 1.050) der Formel (D) ersetzt wurde, wodurch ein Lack, eine flexible Rohfolie und ein Laminat erhalten wurden. Die physikalischen Eigenschaften der so erhaltenen Laminatplatte waren außergewöhnlich hervorragend und wie folgt:
Glasübergangstemperatur (Tg-Wert): 287ºC
dielektrische Konstante: 3,6
dielektrischer Verlustfaktor: 0,001
Biegefestigkeit: 14 kg/cm²
Wasserabsorption: 0,10% (in Wasser, 25ºC, 24 Stunden).

BEISPIEL 34

Es wurde das gleiche Verfahren wie in Beispiel 26 mit der Ausnahme durchgeführt, dass das aromatische Aminharz (A) durch ein aromatisches Aminharz (mittleres Molekulargeweicht Mw = 850) der Formel (E) ersetzt wurde, wobei ein Lack, eine flexible Rohfolie und eine Laminatplatte erhalten wurden. Die physikalischen Eigenschaften der derart erhaltenen Laminatplatte waren sehr hervorragend und wie folgt:
Glasübergangstemperatur (Tg-Wert): 292ºC
dielektrische Konstante: 3,6
dielektrischer Verlustfaktor: 0,001
Biegefestigkeit: 13 kg/cm²
Wasserabsorption: 0,13% (in Wasser 25ºC, 24 Stunden).

BEISPIEL 35

Es wurde das gleiche Verfahren wie in Beispiel 26 durchgeführt, jedoch mit der Ausnahme, dass das Polymaleimidharz (B) durch ein Polymaleimidharz (mittleres Molekulargewicht Mw = 1.100) der Formel (F) ersetzt wurde, wobei ein Lack, eine flexible Rohfolie und eine Laminatplatte erhalten wurden. Die physikalischen Eigenschaften der so erhaltenen Laminatplatte waren außergewöhnlich hervorragend und wie folgt:
Glasübergangstemperatur (Tg-Wert): 293ºC
dielektrische Konstante: 3,6
dielektrischer Verlustfaktor: 0,001
Biegefestigkeit: 12 kg/cm²
Wasserabsorption: 0,11% (in Wasser, 25ºC, 24 Stunden).

BEISPIEL 36

Es wurde das gleiche Verfahren wie im Beispiel 26 mit der Ausnahme durchgeführt, dass das Polymaleimidharz (B) durch ein Polymaleimidharz (mittleres Molekulargeweicht Mw = 4.200) der Formel (G) ersetzt wurde, wobei ein Lack, eine flexible Rohfolie und eine Laminatplatte erhalten wurden. Die physikalischen Eigenschaften der so erhaltenen Laminatplatte waren sehr hervorragend und wie folgt:
Glasübergangstemperatur (Tg-Wert): 288ºC
dielektrische Konstante: 3,5
dielektrischer Verlustfaktor: 0,002
Biegefestigkeit: 12 kg/cm²
Wasserabsorption: 0,10% (in Wasser, 25ºC, 24 Stunden).
Tabelle 3 fasst die Laminierungsbedingungen der in den Beispielen 25 bis 36 gebildeten Laminatplatten zur Bewertung der physikalischen Eigenschaften zusammen. Tabelle 3

BEISPIEL 37

30 Teile des aromatischen Aminharzes (A) mittleres Molekulargewicht Mw = 1.500) der Formel (A), 100 Teile des Polymaleimidharzes (B) (mittleres Molekulargewicht Mw = 2.300) der Formel (B) und 20 Teile einer Bismaleimidverbindung (BMI-1) wurden in einem gemischten Lösungsmittel aus 30 Teilen MIBK und 90 Teilen Dimethylformaldehyd (im folgenden als "DMF" bezeichnet) bei 90ºC unter Rühren gelöst, gefolgt von einem Abkühlen der Lösung auf Raumtemperatur.
Sodann wurden 25 Teile einer MIBK-Lösung mit einem Gehalt an fünf Teilen NBDA tropfenweise zu dieser Lösung unter heftigem Rühren zugegeben, wonach sich ein Vermischen anschloss, um einen Lack ("4-V") zu erhalten. Nachdem man den Lack einen Tag stehen ließ, betrug die Viskosität des Lacks 4-V 8.000 cps, wonach die Viskosität sich während eines Monats nicht veränderte. Somit war die Lagerungsfähigkeit des Lacks außerordentlich hervorragend.
Der Lack 4-V wurde unter Verwendung eines Stangenbeschichters auf einen Polyethylenterephthalatfilm (PET-Film) aufgebracht und sodann bei 100ºC 40 Minuten getrocknet, um eine Folie mit der Abmessung 150 mm · 150 mm und einer Dicke von 300 um zu erhalten. Diese Folie ließ sich hervorragend von einer Trägerfolie abschälen und war so flexibel, dass sie um einen Aluminiumstab mit einem Durchmesser von 5 mm gewickelt werden konnte. Ferner konnte auch ein Stanzen und Lochen bequem und erfolgreich durchgeführt werden.
Fünf der so erhaltenen Folien wurden übereinandergelegt und in einer Trocknungsvorrichtung 10 Minuten bei 150ºC und danach 10 Minuten bei 180ºC getrocknet und sodann einem Pressen bei 200ºC unter einen Druck von 50 kg/cm² eine Stunde und dann vier Stunden in einen Trockenschrank bei 250ºC einer Nachhärtung unterzogen.
Die physikalischen Eigenschaften der so erhaltenen Laminatplatte waren sehr hervorragend und wie folgt:
Glasübergangstemperatur (Tg-Wert): 301ºC
dielektrische Konstante: 3,0
dielektrischer Verlustfaktor: 0,003
Biegefestigkeit: 14 kg/cm²
Wasserabsorption: 0,24% (in Wasser, 25ºC, 24 Stunden).

BEISPIEL 38

150 Teile Aluminiumoxid mit einem mittleren Teilchendurchmesser von 2 um wurden zu 100 Teilen eines Lacks (4-V), erhalten im Beispiel 37, gegeben, um eine Füllstoff dispergierende Lacklösung (Viskosität: 20.000 cps) zu erhalten.
Sodann wurde aus dieser Füllstoff dispergierenden Lacklösung auf die gleiche Weise wie im Beispiel 37 eine Folie gebildet, um eine Rohfolie zu erhalten. Diese Rohfolie war auch so flexibel, dass sie um einen Aluminiumstab mit einem Durchmesser von 5 mm gewickelt werden konnte. Ferner war auch das Stanzen und Lochen leicht und erfolgreicht durchführbar.
Gemäß dem gleichen Verfahren wie im Beispiel 37 wurde unter Verwendung der obigen Rohfolie eine Laminatplatte gebildet. Die physikalischen Eigenschaften der so erhaltenen Laminatplatte waren sehr hervorragend und wie folgt:
Glasübergangstemperatur (Tg-Wert): 301ºC
dielektrische Konstante: 3,4
dielektrischer Verlustfaktor: 0,001
Biegefestigkeit: 15 kg/cm²
Wasserabsorption: 0,13% (in Wasser, 25ºC, 24 Stunden).

BEISPIEL 39

Es wurde das gleiche Lackherstellungsverfahren wie im Beispiel 37 mit der Ausnahme durchgeführt, dass 40 Teile BMI-1 zugegeben wurden, wobei ein Lack mit einer Viskosität von 500 cps erhalten wurde. Diese Lacklösung wurde in einen Imprägnierungsbehälter gefüllt, und ein Glasgewebe (hergestellt von Nitto Boseki Co., Ltd.), welches einer Aminosilanbehandlung unterzogen worden war, wurde in die Lacklösung 10 Sekunden getaucht. Nach Entnahme des Gewebes hieraus wurde überschüssiger Lack durch Druckwalzen entfernt. Das ausgewählte Glasgewebe war WF230-100BS6 (Handelsname) mit einer Dicke von 0,25 mm und einem Standardgewicht von 203 g/m². Dieses Glasgewebe wurde an der Luft 30 Minuten bei Raumtemperatur, 40 Minuten bei 100ºC und sodann 10 Minuten bei 130ºC getrocknet, wobei ein flexibles Prepreg mit einer Dicke von 500 um anfiel. Ferner konnte auch das Stanzen und Lochen dieses Prepregs leicht und erfolgreich durchgeführt werden.
Aus diesem Prepreg wurde nach dem gleichen Verfahren wie im Beispiel 37 eine Laminatplatte hergestellt. Die physikalischen Eigenschaften der so erhaltenen Laminatplatte waren sehr hervorragend und wie folgt:
Glasübergangstemperatur (Tg-Wert): 299ºC
dielektrische Konstante: 3,2
dielektrischer Verlustfaktor: 0,001
Biegefestigkeit: 16 kg/cm²
Wasserabsorption: 0,12% (in Wasser, 25ºC, 24 Stunden).

BEISPIEL 40

Es wurde das gleiche Verfahren wie in Beispiel 37 mit der Ausnahme durchgeführt, dass 60 Teile des aromatischen Harzes (A) verwendet wurden, wobei ein Lack erhalten wurde. Unter Verwendung dieses Lacks wurden eine flexible Rohfolie und eine Laminatplatte auf die gleiche Weise wie in Beispiel 38 erhalten. Die physikalischen Eigenschaften der so erhaltenen Laminatplatte waren sehr hervorragend und wie folgt:
Glasübergangstemperatur (Tg-Wert): 303ºC
dielektrische Konstante: 3,0
dielektrischer Verlustfaktor: 0,002
Biegefestigkeit: 13 kg/cm²
Wasserabsorption: 0,11% (in Wasser, 25ºC, 24 Stunden).

BEISPIEL 41

Es wurde das gleiche Verfahren wie in Beispiel 37 mit der Ausnahme durchgeführt, dass 10 Teile NBDA verwendet wurden, wobei ein Lack erhalten wurde. Unter Verwendung dieses Lacks wurde eine flexible Rohfolie und eine Laminatplatte auf die gleiche Weise wie im Beispiel 38 erhalten. Die physikalischen Eigenschaften der derart erhaltenen Laminatplatte waren sehr hervorragend und wie folgt:
Glasübergangstemperatur (Tg-Wert): 300ºC
dielektrische Konstante: 3,0
dielektrischer Verlustfaktor: 0,001
Biegefestigkeit: 14 kg/cm²
Wasserabsorption: 0,12% (in Wasser, 25ºC, 24 Stunden).

BEISPIEL 42

Es wurde das gleiche Verfahren wie im Beispiel 37 mit der Ausnahme durchgeführt, dass ein aromatisches Aminharz (A) mit einem mittleren Molekulargewicht von 6.200 und ein Polymaleimidharz (B) mit einem mittleren Molekulargewicht von 8.400 verwendet wurden, wobei man einen Lack erhielt. Unter Verwendung dieses Lacks wurden eine flexible Rohfolie und eine Laminatplatte auf die gleiche Weise wie in Beispiel 38 erhalten. Die physikalischen Eigenschaften der derart erhaltenen Laminatplatte waren sehr hervorragend und wie folgt:
Glasübergangstemperatur (Tg-Wert): 308ºC
dielektrische Konstante: 3,2
dielektrischer Verlustfaktor: 0,001
Biegefestigkeit: 16 kg/cm²
Wasserabsorption: 0,11% (in Wasser, 25ºC, 24 Stunden).

BEISPIEL 43

Es wurde das gleiche Verfahren wie im Beispiel 37 durchgeführt, mit der Ausnahme, dass NBDA durch 1,4-Diaminocyclohexan ersetzt wurde, wobei ein Lack erhalten wurde. Unter Verwendung dieses Lacks wurden ein flexibles Prepreg und eine Laminatplatte auf die gleiche Weise wie in Beispiel 39 erhalten. Die physikalischen Eigenschaften der derart erhaltenen Laminatplatte waren außergewöhnlich hervorragend und wie folgt:
Glasübergangstemperatur (Tg-Wert): 295ºC
dielektrische Konstante: 3,3
dielektrischer Verlustfaktor: 0,001
Biegefestigkeit: 12 kg/cm²
Wasserabsorption: 0,15% (in Wasser, 25ºC, 24 Stunden).

BEISPIEL 44

Es wurde das gleiche Verfahren wie im Beispiel 37 mit der Ausnahme durchgeführt, dass das aromatische Aminharz (A) durch ein aromatisches Aminharz (C) (mittleres Molekulargewicht Mw = 380) der Formel (C) ersetzt wurde, wobei ein Lack erhalten wurde. Unter Verwendung dieses Lacks wurden eine flexible Rohfolie und eine Laminatplatte auf die gleiche Weise wie im Beispiel 38 erhalten. Die physikalischen Eigenschaften der so erhaltenen Laminatplatte waren außergewöhnlich hervorragend und wie folgt:
Glasübergangstemperatur (Tg-Wert): 308ºC
dielektrische Konstante: 3,2
dielektrischer Verlustfaktor: 0,001
Biegefestigkeit: 16 kg/cm²
Wasserabsorption: 0,12% (in Wasser, 25ºC, 24 Stunden).

BEISPIEL 45

Es wurde das gleiche Verfahren wie im Beispiel 37 mit der Ausnahme durchgeführt, dass das Polymaleimidharz (B) durch ein Polymaleimidharz (mittleres Molekulargewicht Mw = 1.050) der Formel (D) ersetzt wurde, wobei ein Lack erhalten wurde. Unter Verwendung dieses Lacks wurden eine flexible Rohfolie und eine Laminatplatte auf die gleiche Weise wie im Beispiel 38 erhalten. Die physikalischen Eigenschaften der so erhaltenen Laminatplatte waren sehr hervorragend und wie folgt:
Glasübergangstemperatur (Tg-Wert): 306ºC
dielektrische Konstante: 3,7
dielektrischer Verlustfaktor: 0,001
Biegefestigkeit: 15 kg/cm²
Wasserabsorption: 0,11% (in Wasser, 25ºC, 24 Stunden).

BEISPIEL 46

Es wurde das gleiche Verfahren wie in Beispiel 37 mit der Ausnahme durchgeführt, dass das aromatische Aminsalz (A) durch ein aromatisches Aminharz (E) (Molekulargewicht Mw = 850) der Formel (E) ersetzt wurde, wobei ein Lack erhalten wurde. Unter Verwendung dieses Lacks wurden eine flexible Rohfolie und eine Laminatplatte auf die gleiche Weise wie im Beispiel 38 erhalten. Die physikalischen Eigenschaften der so erhaltenen Laminatplatte waren sehr hervorragend und wie folgt:
Glasübergangstemperatur (Tg-Wert): 302ºC
dielektrische Konstante: 3,2
dielektrischer Verlustfaktor: 0,001
Biegefestigkeit: 14 kg/cm²
Wasserabsorption: 0,12% (in Wasser, 25ºC, 24 Stunden).

BEISPIEL 47

Es wurde das gleiche Verfahren wie im Beispiel 38 durchgeführt, jedoch mit der Ausnahme, dass das Polymaleimidharz (B) durch ein Polymaleimidharz (F) (mittleres Molekulargewicht Mw = 1.100) der Formel (F) ersetzt wurde, wobei ein Lack erhalten wurde. Unter Verwendung dieses Lacks wurden eine flexible Rohfolie und eine Laminatplatte auf die gleiche Weise wie im Beispiel 38 erhalten. Die physikalischen Eigenschaften der so erhaltenen Laminatplatte waren sehr hervorragend und wie folgt:
Glasübergangstemperatur (Tg-Wert): 302ºC
dielektrische Konstante: 3,5
dielektrischer Verlustfaktor: 0,001
Biegefestigkeit: 12 kg/cm²
Wasserabsorption: 0,11% (in Wasser 25ºC, 24 Stunden).

BEISPIEL 48

Es wurde das gleiche Verfahren wie im Beispiel 38 mit der Ausnahme durchgeführt, dass das Polymaleimidharz (B) durch ein Polymaleimidharz (G) (mittleres Molekulargewicht Mw = 4.200) der Formel (G) ersetzt wurde, wobei man einen Lack erhielt. Unter Verwendung dieses Lacks wurden eine flexible Rohfolie und eine Laminatplatte auf die gleiche Weise wie im Beispiel 38 erhalten. Die physikalischen Eigenschaften der so erhaltenen Laminatplatte waren sehr hervorragend und wie folgt:
Glasübergangstemperatur (Tg-Wert): 310ºC
dielektrische Konstante: 3,1
dielektrischer Verlustfaktor: 0,001
Biegefestigkeit: 13 kg/cm²
Wasserabsorption: 0,10% (in Wasser, 25ºC, 24 Stunden).
Tabelle 4 fasst die Laminierungsbedingungen für die zur Bewertung der physikalischen Eigenschaften in den Beispielen 37 bis 48 gebildeten Laminatplatten zusammen. Tabelle 4
Gemäß vorliegender Erfindung kann eine wärmehärtbare Harzzusammensetzung zur Verfügung gestellt werden, welche die Herstellung von Prepregs und Rohfolien mit hervorragender Flexibilität erlaubt, so dass die Verarbeitbarkeit und Produktivität von Laminatplatten beträchtlich verbessert werden können.

Claims

1. Polymaleinimid-Harzzusammensetzung, die eine durch Formel (1) wiedergegebene aromatische Aminoverbindung, eine durch Formel (2) wiedergegebene Polymaleinimid-Verbindung und eine bifunktionelles Vernetzungsagenz aufweist:

wobei R&sub1; und R&sub2; jeweils ein Wasserstoffatom, ein Halogenatom, eine Alkylgruppe, eine Alkoxygruppe oder eine Arylgruppe sind, und wobei n und m jeweils eine ganze Zahl zwischen 0 und 50 sind.

2. Polymaleinimid-Harzzusammensetzung gemäß Anspruch 1, die die durch Formel (1) wiedergegebene aromatische Aminoverbindung, die durch Formel (2) wiedergegebene Polymaleinimid-Verbindung und das bifunktionelle Vernetzungsagenz unabhängig voneinander in einem Gewichtsverhältnis von 5- 100/100/1-30 aufweist.

3. Polymaleinimid-Harzzusammensetzung gemäß Anspruch 1, wobei das bifunktionelle Vernetzungsagenz eine aliphatisches Diaminverbindung, eine 2,4- Diamino-S-triazin-Verbindung oder eine Diisocyanat-Verbindung ist.

4. Polymaleinimid-Harzzusammensetzung gemäß Anspruch 1, wobei das bifunktionelle Vernetzungsagenz eine aliphatisches Diaminverbindung, eine 2,4- Diamino-S-triazin-Verbindung oder eine Diisocyanat-Verbindung ist, und die das durch Formel (1) wiedergegebene aromatische Aminharz, das durch Formel (2) wiedergegebene Polymaleinimid-Harz und das bifunktionelle Vernetzungsagenz unabhängig voneinander in einem Gewichtsverhältnis von 5-100/100/1-30 aufweist.

5. Polymaleinimid-Harzzusammensetzung gemäß einem der vorangehenden Ansprüche, wobei das bifunktionelle Vernetzungsagenz eine aliphatische Diaminverbindung aufweist.

6. Polymaleinimid-Harzzusammensetzung gemäß Anspruch 3 oder 4, wobei die 2,4- Diamino-S-triazin-Verbindung durch die Formel (3) wiedergegeben wird:

wobei R&sub3; ein Wasserstoffatom, eine Alkylgruppe oder eine Phenylgruppe, die einen Substituenten haben kann, ist.

7. Polymaleinimid-Harzzusammensetzung gemäß einem der vorangehenden Ansprüche, wobei das bifunktionelle Vernetzungsagenz eine Diisocyanat- Verbindung aufweist.

8. Polymaleinimid-Harzzusammensetzung gemäß Anspruch 3, wobei das bifunktionelle Vernetzungsagenz eine aliphatische Diaminverbindung ist, zu welcher eine Bismaleinimid-Verbindung zugegeben wird, und die die durch Formel (1) wiedergegebene aromatische Aminverbindung (1), die durch Formel (2) wiedergegebene Polymaleinimid-Verbindung und die aliphatische Diaminverbindung und die Bismaleinimid-Verbindung in einem Gewichtsverhältnis von 5-100/100/1-30/5-50 aufweist.

9. Klarlack-Lösung, welche erhältlich ist durch lösen der Polymaleinimid- Harzzusammensetzung gemäß einem der vorangehenden Ansprüche in einem Lösungsmittel.

10. Füllstoff-Klarlack-Lösung, welche erhältlich ist durch Dispergieren der Polymaleinimid-Harzzusammensetzung gemäß einem der Ansprüche 1-8 und einen Füllstoff in einem Lösungsmittel.

11. Prepreg, welches erhältlich ist, indem man die Klarlack-Lösung von Anspruch 9 in faserförmiges Gewebe imprägniert.

12. Rohplattenmaterial (engl. green sheet), welches erhältlich ist, indem man die Füllstoff dispergierende Klarlack-Lösung von Anspruch 10 auf eine Harzplatte anwendet, trocknet und dann schält.

13. Laminatplatte für ein Halbleiter-Substrat, welches erhältlich ist, indem man eine Mehrzahl der Prepregs gemäß Anspruch 11 oder Rohplattenmaterialien (engl. green sheets) gemäß Anspruch 12 lamelliert, und dann das Laminat formt.