DE69426087T2 - Halbleiterspeichervorrichtung mit Testschaltung - Google Patents

Halbleiterspeichervorrichtung mit Testschaltung

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  • For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
  • Dram (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Static Random-Access Memory (AREA)

Description

    Hintergrund der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Halbleiterspeichervorrichtung und insbesondere eine Verbesserung in einer Datenausgangsschaltung einer Direktzugriffsspeichervorrichtung, in welcher eine Testschaltung eingebaut ist.
  • Wie allgemein als Stand der Technik bekannt ist, muß eine Halbleiterspeichervorrichtung eine Speicherzelle haben, die korrekt logisch "1" oder "0" speichert, was für Daten indikativ ist, und eine Daten-Lese-/Schreib-Schaltung haben, die für das Lesen und Schreiben von Daten aus der gewählten Speicherzelle oder in diese, korrekt arbeitet. Es ist daher erforderlich, die Speichervorrichtung zu überprüfen, um den korrekten Betrieb jeder Speicherzelle und der Daten-Lese- /Schreib-Schaltung sicherzustellen. Um die Testoperation zu erleichtern, ist im allgemeinen in die Speichervorrichtung eine Testschaltung eingebaut.
  • In Fig. 1 hat eine Speichervorrichtung 100 gemäß dem Stand der Technik erste und zweite Speicherzellenarrays 6 bis 1 und 6 bis 2. Jedes der Zellenarrays 6 bis 1 und 6 bis 2 hat einen solchen Schaltungsaufbau, wie er in der Fig. 2 gezeigt ist. Das Speicherzellenarray 6 hat insbesondere zwei Paare Daten-Eingangs-/Ausgangs-Leitungen Ioi, und Ioj, , eine Vielzahl von Spaltenschaltern YSW, eine Vielzahl von Leseverstärkern SA und einen Speicherzellenteil MC. Der Speicherzellenteil MC hat eine Vielzahl von Wortleitungen WL, eine Vielzahl von Bitleitungspaaren TL und DL und eine Vielzahl von Speicherzellen, die jeweils an einem anderen Schnittpunkt von Wort und Bitleitungen angeordnet sind. Da diese Speicherschaltung allgemein bekannt ist, wird deren weitere Beschreibung weggelassen.
  • Wiederum bezugnehmend auf Fig. 1 sind die Daten-Eingangs- Ausgangs-Leitungspaare (Io0, ) bis (Io3, ) aus dem Speicherzellenarray 6 jeweils an die Datenverstärker DR0 bis DR3 angeschlossen. Datenverstärker DR0 bis DR3 sind ihrerseits jeweils an die Datenbusleitungen RWB0-RW3 angeschlossen. Zwischen die Datenbusleitungen RWB und einen Ausgangsanschluß DOUT ist eine Ausgangsschaltung 9 geschaltet. Obwohl nicht dargestellt, hat die Speichervorrichtung 100 ferner eine Adressen-Puffer-/Dekodier-Schaltung sowie eine Daten-Schreibschaltung, wie allgemein bekannt.
  • Die so aufgebaute Speichervorrichtung 100 führt in einem Normalbetrieb Datenlese- und Schreib-Operationen an einer Speicherzelle in einem ausgewählten Array 6 durch. Wie vorstehend erwähnt ist es erforderlich, eine Schaltungsoperation zu überprüfen. Zu diesem Zweck wird ein Testdatum in eine gewählte Speicherzelle eingeschrieben und dann wird das in dieser Speicherzelle gespeicherte Datum aus dieser ausgelesen. Wenn die Testdaten-Schreiboperation Zelle für Zelle durchgeführt würde, würde es hierbei eine relativ lange Zeitspanne benötigen. Daher ist die Speichervorrichtung 100 so aufgebaut, daß eine Vielzahl von Speicherzellen gleichzeitig mit den gleichen Daten in einem Testoperationsmodus gewählt und beschrieben werden. Ferner ist ein Ausgangsanschluß DOUT vorgesehen und daher ist es unmöglich, Daten aus den gewählten zwei oder mehr Speicherzellen simultan herauszulesen. Demgemäß ist die Ausgangsschaltung 9 mit einer Komparatorschaltung versehen, um die aus den zwei oder mehr gewählten Speicherzellen herausgelesenen Daten zu vergleichen, und die Vergleichsergebnisdaten werden an dem Anschluß DOUT ausgegeben. Bei dieser Speichervorrichtung 100 werden in einem Testmodus zwei Speicherzellen in jedem Zellenarray 6, d. h. vier Speicherzellen insgesamt, simultan gewählt. Darüberhinaus unterstützt diese Speichervorrichtung 100 ferner einen solchen weiteren Testmodus, bei dem eine Speicherzelle in jedem der Zellenarrayblöcke 6, d. h. zwei Speicherzellen insgesamt, simultan gewählt werden. In der folgenden Beschreibung wird der zuerst genannte Testmodus als erster Testmodus und der zuletzt genannte Testmodus als zweiter Testmodus bezeichnet.
  • Wenn ein Normalmodus als eine Leseoperation durch den hohen Pegel des Testsignals und (Fig. 3) bezeichnet ist, nimmt eines der Spaltenwählsignale YiTiN, YiTjN, YiNjT und YiTjT durch eine Adressdekodierschaltung ASG, die NAND- Gates G14 bis G12 und Inverter I15-I21 aufweist, einen aktiven hohen Pegel ein, und die übrigen Spaltenwählsignale nehmen den niedrigen Pegel ein. Daraus folgt, daß einer der Datenverstärker DA0 - DA3 durch den entsprechenden hohen Pegel des Spaltenwählsignals aktiviert wird, um auf Daten zu antworten, die an dem entsprechenden Datenleitungspaar Io1, erscheinen. Der aktivierte Datenverstärker DA gibt dann auf den entsprechenden Datenbus RWB logisch "1" oder "0" aus, was die Daten anzeigt, die diesem zugeführt sind. In dem normalen Datenlesemodus werden die Daten, die durch den aktivierten Datenverstärker DA ausgegeben werden, auf einen Eingangsknoten RD über einen entsprechenden Inverter der Inverter I0 bis I3 transferiert und eines der Transfer-Gates TG0 bis TG3 wird aktiviert oder geschaltet, das durch die Schaltsteuersignale SW0-SW3 gesteuert wird, die durch einen Schaltsignalgenerator SSG1 (Fig. 5) erzeugt werden, welcher NAND-Gates G24 - G27, Inverter I23-I29 und NOR-Gates G28 und G29 aufweist. Die Daten auf dem gewählten Datenbus RWBS werden ferner über das entsprechende eine Transfergate der Transfergates TG4, TG7, die durch die Schaltsignale SW0, SW3 gesteuert werden, auf einen Eingangsknoten transferiert. Die Eingangsknoten RD und sind mit einem Eingangsende der NOR-Gates G8 bzw. G9 verbunden, von denen jedes Gate das andere Eingangsende gemeinsam an das Ausgangsende eines NAND-Gates G7 gekoppelt hat. Dieses Gate G7 gibt den niedrigen Pegel zu einem Zeitpunkt des Treibens des Datenanschlusses DOUT aus. Wenn angenommen wird, daß die Daten, die durch den aktivierten Datenverstärker DA ausgegeben werden, den hohen Pegel einnehmen, werden die Eingangsknoten RD und auf den niedrigen bzw. hohen Pegel geändert, um einen p-Kanal-MOS-Transistor PO1 einzuschalten und einen n-Kanal-MOS-Transistor TO2 abzuschalten. Der Ausgangsanschluß DOUT ist somit auf den hohen Pegel getrieben.
  • In einem normalen Daten-Schreibmodus werden die beiden Transistoren TO1 und TO2 auf dem nichtleitenden Zustand gehalten, um den Ausgangsanschluß DOUT in eine hohe Impedanz zu bringen. Andererseits wird die Daten-Schreibschaltung (nicht dargestellt) aktiviert, um ein Datum in eine ausgewählte eine Zelle der Speicherzellen einzuschreiben.
  • Wenn das Testsignal auf den aktiven niedrigen Pegel geändert wird, während das Testsignal auf dem hohen Pegel gehalten wird, ist der erste Testmodus bezeichnet. In diesem Modus werden vier Speicherzellen wie vorstehend angegeben gewählt und die Testdaten werden als erstes in diesen gespeichert. Danach wird die Vorrichtung in einen Lesemodus gebracht, wodurch alle Datenverstärker DA0-DA3 aktiviert sind, weil alle Wählsignale YiTiN, YiTjN, YiNjT und YiTjT den hohen Pegel erlangen. Zu diesem Zeitpunkt sind die Transfergates TG0-TG7 und TG10-TG13 geschlossen, während die Transfergates TG8 und TG9 geöffnet werden. Demgemäß werden die entsprechenden Daten, die aus den gewählten Speicherzellen herausgelesen worden sind, und die über die Datenverstärker DA auf den Datenbus RWB transferiert worden sind, einem NOR-Gate G1 und weiter einem NAND-Gate G2 zugeführt, deren Ausgänge ihrerseits an die Knoten RD und transferiert werden. Wenn die gewählten vier Speicherzellen die Testdaten "1" korrekt gespeichert haben und die Datenleseschaltung dieselben aus diesen korrekt herausgelesen hat, wird nur der Transistor TO1 eingeschaltet, um den Ausgangsanschluß DOUT auf den hohen Pegel zu treiben. Für den Fall, daß die Testdaten "0" sind, wird der Transistor TO2 eingeschaltet, um den Anschluß DOUT auf den niedrigen Pegel zu treiben. Wenn in der Schaltung ein defekter Teil vorhanden ist, existiert die Operation, daß auf wenigstens einen Datenbus RWB ein solches Datum tranferiert wird, das sich von den übrigen Daten unterscheidet, das Gate G1 gibt jedoch den niedrigen Pegel aus, während das Gate G2 den hohen Pegel ausgibt. Aus diesem Grund werden beide Transistoren TO1 und TO2 auf dem nichtleitfähigen Zustand gehalten, um den Ausgangsanschluß DOUT in einen hohen Impedanzzustand zu bringen. Somit werden vier Testbitdaten miteinander in der Vorrichtung 100 verglichen und das Vergleichsresultatdatum wird an dem Anschluß DOUT als logisch "1" oder "0" oder als ein hoher Impedanzzustand ausgegeben.
  • Der zweite Testmodus ist durch den niederen Pegel des Testsignals und den hohen Pegel des Signals bezeichnet. Dabei werden durch ein Adressignal YPiT wie in der Fig. 3 gezeigt, zwei Datenverstärker DA0 und DA2 oder DA1 und DA3 aktiviert. Wenn ein Adressignal YPiT auf einem hohen Pegel ist, werden die Datenverstärker DA0 und DA2 durch die Spaltenadressignale YiNjN und YiNjT aktiviert. Für den Fall, daß das Adressignal YPiT auf dem niedrigen Pegel ist, werden andererseits die Datenverstärker DA1 und DA3 aktiviert. Auf die gleiche Art und Weise wie unter Bezugnahme auf den ersten Testmodus beschrieben, werden zwei Bitdaten, die aus den gewählten zwei Speicherzellen herausgelesen worden sind, in der Ausgangsschaltung 9 unter Verwendung der Gates G3-G6 und G8 und G9 verglichen, um das Vergleichsergebnisdatum auszugeben.
  • Wie aus der vorstehenden Beschreibung hervorgeht unterscheidet sich der Zugriffspfad im Testmodus von demjenigen im Normalmodus. Aus diesem Grund kann eine Zugriffsüberprüfung für eine Lesezugriffszeit in diesem Testmodus nicht gleichzeitig mit einem Daten-Lese-/Schreib-Operationstest durchgeführt werden. Darüberhinaus werden, wenn ein anderer Daten-Lese-Schreib-Operationstest als mit zwei oder vier Bit-Daten weiter erforderlich ist, andere Schaltungen hierfür benötigt, um dadurch die Gesamtschaltungskonfiguration kompliziert zu machen.
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Es ist daher eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Halbleiterspeichervorrichtung zu schaffen, die eine verbesserte Datenausgangsschaltung hat.
  • Es ist eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Halbleiterspeicher zu schaffen, der mit einer solchen Testschaltung ausgerüstet ist, die so aufgebaut ist, daß sie gleichzeitig mit einer Daten-Lese-Schreib- Operationsprüfung eine Zugriffsprüfung durchführen kann.
  • Eine Halbleiterspeichervorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung ist gekennzeichnet durch eine solche Ausgangsschaltung, die aufweist erste und zweite Knoten, erste und zweite Transistoren, die zwischen dem ersten Knoten und einer Potentialleitung in Reihe geschaltet sind, dritte und vierte Transistoren, die zwischen den ersten Knoten und die Potentialleitung in Reihe geschaltet sind, fünfte und sechste Transistoren, die zwischen den zweiten Knoten und die Potentialleitung in Reihe geschaltet sind, siebte und achte Transistoren, die zwischen den zweiten Knoten und die Potentialleitung in Reihe geschaltet sind, und eine Ausgangslogikschaltung, die an die ersten und zweiten Knoten gekoppelt ist, um einen Ausgangsanschluß auf den ersten oder zweiten Logikpegel zu treiben, wenn die ersten und zweiten Knoten voneinander unterschiedliche Logikpegel einnehmen, und einen Hochimpedanzzustand zu treiben, wenn die ersten und zweiten Knoten einander gleiche Logikpegel einnehmen.
  • Die ersten und dritten Transistoren werden mit Datensignalen von den Datensignalen und die fünften und siebten Transistoren werden mit invertierten Signalen der Datensignale gespeist. In einem Normalmodus werden einer der zweiten und vierten Transistoren und einer der sechsten und achten Transistoren eingeschaltet. Andererseits werden in einem Testmodus die zweiten, vierten, sechsten und achten Transistoren alle eingeschaltet.
  • Kurze Beschreibung der Figuren
  • Die vorstehenden und andere Aufgaben, Vorteile und Merkmale der vorliegenden Erfindung gehen aus der folgenden Beschreibung anhand der begleitenden Figuren im einzelnen hervor, in welchen zeigt:
  • Fig. 1 ein Schaltbild zur Illustration einer Halbleiterspeichervorrichtung gemäß dem Stand der Technik;
  • Fig. 2 ein Schaltbild zur Illustration eines Speicherzellenarrays, das in der Fig. 1 gezeigt ist;
  • Fig. 3A bis 3C jeweils ein Schaltbild, das einen Teil des Steuersignalgenerators, angibt, welcher die Steuersignale erzeugt;
  • Fig. 4 ein Schaltbild, das einen weiteren Teil des Steuersignalgenerators angibt;
  • Fig. 5 ein Schaltbild, das einen weiteren Teil des Steuersignalgenerators angibt;
  • Fig. 6 ein Schaltbild, das eine Halbleiterspeichervorrichtung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung illustriert;
  • Fig. 7 ein Schaltbild, das einen Steuersignalgenerator, welcher bei der Vorrichtung gemäß Fig. 6 verwendet wird, angibt;
  • Fig. 8 einen Zeitplan, für eine Normalleseoperation der Speichervorrichtung gemäß Fig. 6; und
  • Fig. 9 einen Zeitplan einer Testoperation des in der Fig. 6 gezeigten Speichers.
  • Detaillierte Beschreibung der Figuren
  • Fig. 6 zeigt eine Halbleiterspeichervorrichtung 200 gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, bei der die gleichen Bauteile wie die in der Fig. 1 gezeigten, mit den gleichen Bezugsziffern bezeichnet sind, um deren weitere Beschreibung weglassen zu können. Diese Speichervorrichtung 200 unterscheidet sich von der Vorrichtung gemäß Fig. 1 bezüglich ihrer Ausgangsschaltung 50. Genauer gesagt, hat die Ausgangsschaltung 50 ein Paar Schaltungsknoten RD und . Parallel zwischen den Knoten RD und den Masseanschluß sind vier Reihenschaltungen geschaltet, die jeweils aus den N-Kanal-MOS-Transistoren TNSWi und TN1 (i = 0,1,2 und 3) zusammengesetzt sind. Die Transistoren TNSW0-TNSW3 werden jeweils mit den Schaltsignalen SWO-SW3 gespeist, und die Transistoren TN0-TN3 werden über die Inverter I11-I14 jeweils mit dem Datensignal gespeist, welches an den jeweiligen Datenbusleitungen RW0, RWB3 erscheint. Ähnlich sind vier Reihenschaltungen parallel zwischen den Knoten und den Masseanschluß geschaltet, die jeweils aus N-Kanal-MOS- Transistoren TTSWi und TTi(i = 0,1,2 und 3) zusammengesetzt sind. Die Transistoren TTSW0-TTSW3 werden jeweils mit den Schaltsignalen SW0-SW3 gespeist und die Transitoren TT0-TT3 werden jeweils mit den Datensignalen gespeist, die jeweils an den Datenbusleitungen RWB0-RWB3 erscheinen. Ferner sind mit den Knoten RD und Vorladetransistoren TP1 und TP2, die mit einem Vorladesignal øR gespeist werden und Spannungskompensationsschaltungen 7 und 8 mit einer Flip-Flop- Konstruktion verbunden. Die Ausgangsschaltung 50 hat ferner einen Ausgangspuffer 10, der mit den Knoten RD und verbunden ist und hat zwei NOR-Gates G10 und G11 und zwei NAND-Gates G12 und G13, die wie dargestellt geschaltet sind. Der Ausgangspuffer 10 wird über einen Inverter I30 durch ein Ausgangsfreigabesignal OE gesteuert.
  • Bezugnehmend auf Fig. 7 werden die Schaltsignale SW0-SW3 durch einen Signalgenerator SSG2 erzeugt, der NAND-Gates G30-G33 und Inverter I31-I34 aufweist, die wie dargestellt geschaltet sind. Das Vorladesignal wird als ein Adressübergangs-Detektionssignal ø erzeugt, das bei Adressänderungen den hohen Pegel einnimmt. Die anderen Signale YiNjN-YiTjT werden durch die in den Fig. 3 bis 5 gezeigte Schaltung erzeugt.
  • Wiederum bezugnehmend auf Fig. 6 werden im folgenden die Operationen in einem Normalmodus und in Testmodi beschrieben. Die Beschreibung der Operation im Normalmodus wird als erstes unter zusätzlicher Bezugnahme auf die Fig. 8 durchgeführt. In diesem Modus werden zwei Speicherzellen in jedem der Zellenarrays 6-1 und 6-2 gewählt, und die jeweiligen Daten, die aus diesen herausgelesen worden sind, werden über die Dateneingangs/Ausgangsleitungen I00, I03 und I00 und I03 den Datenverstärkern DA0-DA3 zugeführt. Einer der Datenverstärker DA0-DA3 wird in diesem Modus durch die Spaltenwählsignale YiNjN, YiTjN, YiNjT und YiTjT aktiviert. Der aktivierte Datenverstärker verstärkt die Datensignale, welche diesen zugeführt worden sind und treibt den entsprechenden Datenbus RBB in Antwort hierauf. Bei dieser Beschreibung bewirkt die Änderung der Adresse, daß das Adressenänderungs-Detektionssignal von dem hohen Pegel auf den niederen Pegel geht, und das Spaltenwählsignal YiNjN vom hohen Pegel auf den niederen Pegel geht, und zwar durch die Änderung des Adressensignals YPiT vom niederen auf den hohen Pegel. Daher wird der Datenverstärker DA0 aktiviert und der Datenbus RWB1 durch das Datum von der gewählten Speicherzelle von dem hohen Pegel auf den niederen Pegel geändert.
  • Andererseits werden die Transistoren TP1 und TP2, die die Knoten RD und vorladen, durch das Adressenänderungs- Detektionssignal mit dem hohen Pegel nicht-leitend gemacht. Die Pegelkompensationsschaltungen 7 und 8 halten zeitweilig den Pegel an den Eingangsknoten RD und . Nachdem die Transistoren TP1 und TP2 abgeschaltet sind, nimmt eines der Schaltsignale SW0-SW3 durch das Adressenänderungs-Detektionssignal und die Spaltenadressignale Yi-TiN, YiTjN, YiNjT und YiTjT vom Schaltsignalgenerator SSG2 den aktiven Pegel ein. In der vorliegenden Beschreibung nimmt das Schaltsignal SW1 den aktiven hohen Pegel ein und die verbleibenden Schaltsignale SWO, SW2 und SW3 nehmen den niedrigen Pegel ein. Daraus folgt, daß die Transistoren TTSW1 und TNSW1 eingeschaltet werden. Der Transistor TT1 wird ebenfalls durch das Hochpegel-Datensignal, welches am Datenbus RWB1 erscheint, eingeschaltet. Andererseits ist der Transistor TN1 durch den Inverter 11 in dem nichtleitenden Zustand. Daher ist der Eingangsknoten RD durch den Transistor TN1 und den Schalttransistor TNSW1 auf den niederen Pegel entladen, während der Eingangsknoten auf dem hohen Pegel gehalten wird. Der Ausgangspuffer 10, der durch das Ausgangsaktivierungssignal OE aktiviert ist, treibt daher den Ausgangsanschluß DOUT auf den hohen Pegel, indem an die Gates der Transistoren T01 und T02 der hohe Pegel bzw. der niedere Pegel angelegt wird. Wenn das Datensignal an dem Bus RWW1 den niederen Pegel einnimmt, sind der Eingangsknoten RD und auf dem hohen Pegel bzw. niedrigen Pegel, so daß der Ausgangsanschluß DOUT auf den niederen Pegel getrieben wird.
  • Wenn das Signal auf den niederen Pegel geändert wird, werden die Transistoren TNSW0-TNSW3 und TTSW0-TTSW3 ausgeschaltet, und die Vorladetransistoren TP1 und TP2 werden eingeschaltet. Demgemäß werden die Knoten RD und auf den hohen Pegel geändert, um den Ausgangsanschluß DOUT in einen Hochimpedanzzustand zu bringen.
  • Als nächstes wird mit zusätzlicher Bezugnahme auf die Fig. 8 die Testmodusoperation im folgenden beschrieben. Wenn das Testsignal auf den niederen Pegel geändert wird, ist der erste Testmodus zum Testen von vier Speicherzellen bezeichnet. Daher werden alle Spaltenwählsignale YiNjN, YiTjN, YiNjT und YiNjN den hohen Pegel einnehmen. Daraus folgt, daß alle Datenverstärker DA0, DA3 aktiviert sind, um die Datenbusse RWB0-RWB3 in Antwort auf die Daten, die aus den gewählten Speicherzellen herausgelesen sind, zu aktivieren. Die Datensignale, welche somit an den Datenbusleitungen RWB erscheinen, werden jeweils den Transistoren TT0- TT3 und zudem zu den Transistoren TN0-TN3 über die Inverter I11-I14 zugeführt. Wenn das Adressenänderungs- Detektionssignal den hohen Pegel einnimmt, werden die Schalttransistoren TTSW0-TTSW3 und TNSW0-TNSW3 durch Signale vom Schaltsignalgenerator SSG2 eingeschaltet. Angenommen, daß alle Datensignale auf den Datenbussen RWB0-RWB3 auf dem hohen Pegel sind, wird der Eingangsknoten durch den Transistor TT0-TT3 auf den niederen Pegel entladen und der Eingangsknoten RD wird auf dem hohen Pegel gehalten, so daß der Ausgangsanschluß DOUT auf den hohen Pegel getrieben wird. Wenn alle Datensignale auf den Datenbussen auf dem niederen Pegel sind, wird andererseits der Eingangsknoten RD über den Transistor TN0-TN3 auf den niederen Pegel entladen, und der Eingangsknoten hält den hohen Pegel aufrecht. Der Ausgangsanschluß DOUT wird somit auf den niederen Pegel getrieben.
  • Wenn wenigstens eines der Datensignale an dem entsprechenden Datenbus RWB sich von den übrigen Datensignalen infolge des Defekts in der Speicherzelle und/oder der Lese- /Schreib-Schaltung unterscheidet, wird wenigstens einer der Transistoren TT0-TT3 eingeschaltet und wenigstens einer der Transistoren TN0-TN3 ebenfalls eingeschaltet. Daher werden die beiden Eingangsknoten RD und RD auf den niederen Pegel entladen. Beide NAND-Gates G12 und G13 geben den niederen Pegel aus. Als ein Ergebnis wird der Ausgangsanschluß DOUT in einen Hochimpedanzzustand gebracht.
  • Der zweite Testmodus ist durch den niederen Pegel des Testsignals bezeichnet, während das Testsignal auf dem hohen Pegel gehalten wird. In diesem Modus sind die Datenverstärker DA0 und DA2 oder die Datenverstärker DA1 und DA3 in Übereinstimmung mit dem Pegel des Adressignals YPiT aktiviert. Angenommen, daß die Datenverstärker DA0 und DA2 aktiviert sind, nehmen nur die Schaltsignale SW0 und SW2 den aktiven hohen Pegel ein. Somit wird der Ausgangsanschluß DOUT in Übereinstimmung mit den Pegeln der zwei Datensignale auf den hohen oder niederen Pegel oder in einen Hochimpedanzzustand gebracht.
  • Wie vorstehend beschrieben, führt die Speichervorrichtung 200 gemäß Fig. 6 die ersten und zweiten Testoperationen sowie auch die Normalmodusoperation durch. Darüberhinaus ist sowohl auch in der ersten als auch der zweiten Operation der Datenausbreitungspfad der gleiche wie in der Normaloperation. Daher wird die Lesezugriffs-Zeitüberprüfung gleichzeitig mit der ersten und/oder zweiten Testmodusoperation erhalten. Darüberhinaus wird, selbst wenn andere Testoperationen als zwei oder vier Bit-Tests erforderlich sind, nur eine solche Schaltkreismodifikation benötigt, bei der die Reihenschaltungen zwischen jedem der Knoten RD und und dem Masseanschluß geschaltet sind.

Claims (2)

1. Halbleiterspeichervorrichtung mit einem Speicherzellenarray (6-1, 6-2) mit einer Anzahl von Speicherzellen, die in Zeilen und Spalten angeordnet sind, ersten und zweiten Datenbusleitungen (RD0, RD1), Mitteln zum Koppeln einer der ersten und zweiten Datenbusleitungen in einem Normalmodus an das Speicherzellenarray und der ersten und zweiten Datenbusleitungen in einem Testmodus an das Speicherzellenarray, einem Ausgangsanschluß (DOUT), und einer Ausgangsschaltung (50), die an die ersten und zweiten Datenbusleitungen und den Ausgangsanschluß gekoppelt ist, wobei die Ausgangsschaltung erste und zweite Schaltkreisknoten (RD, ) aufweist, gekennzeichnet durch erste und zweite Transistoren (TN0, TNSW0), die zwischen dem ersten Knoten und einer ersten Potentialleitung in Reihe geschaltet sind, dritte und vierte Transistoren (TN1, TNSW1), die zwischen dem ersten Knoten und der ersten Potentialleitung in Reihe geschaltet sind, fünfte und sechste Transistoren (TT0, TTSW0), die zwischen dem zweiten Knoten und der ersten Potentialleitung in Reihe geschaltet sind, siebte und achte Transistoren (TT1, TTSW1), die zwischen dem zweiten Knoten und der ersten Potentialleitung in Reihe geschaltet sind, Mittel zum Treiben der ersten und dritten Transistoren in Antwort auf Signalpegel an den ersten bzw. zweiten Busleitungen, Mittel zum Treiben der fünften und siebten Transistoren jeweils in Antwort auf invertierte Signalpegel der Signalpegel, Mittel zum Einschalten eines der zweiten und vierten Transistoren und eines der sechsten und achten Transistoren im Normalmodus, und Einschalten aller zweiten, vierten, sechsten und achten Transistoren im Testmodus, und Ausgangsmittel (T01, T02, I10), die an die ersten und zweiten Knoten und den Ausgangsanschluß gekoppelt sind, um den Ausgangsanschluß auf den ersten oder zweiten Logikpegel zu treiben, wenn die ersten und zweiten Knoten voneinander unterschiedliche Logikpegel einnehmen, und auf einen Hochimpedanzzustand zu treiben, wenn die ersten und zweiten Knoten einander gleiche Logikpegel einnehmen.
2. Speichervorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Ausgangsmittel aufweisen einen neunten Transistor (T01), der zwischen den Ausgangsanschluß und die erste Potentialleitung geschaltet ist, einen zehnten Transistor (T02), der zwischen den Ausgangsanschluß und eine zweite Potentialleitung geschaltet ist, einen ersten Gate- Schaltkreis (G10, G11, G13), um den neunten Transistor einzuschalten, wenn die ersten und zweiten Knoten jeweils die ersten und zweiten Logikpegel einnehmen, und auszuschalten, wenn die ersten und zweiten Knoten die einander gleichen Logikpegel einnehmen, und einen zweiten Gate-Schaltkreis (G10, G11, G12), um den zehnten Transistor einzuschalten, wenn die ersten und zweiten Knoten jeweils den zweiten und ersten Logikpegel einnehmen, und auszuschalten, wenn die ersten und zweiten Knoten die einander gleichen Logikpegel einnehmen.
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