DE69223135T2 - Kupferfolie mit niedrigem Profil sowie Verfahren zur Herstellung kaschierbarer Metallfolien - Google Patents

Kupferfolie mit niedrigem Profil sowie Verfahren zur Herstellung kaschierbarer Metallfolien

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DE69223135T2
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Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf ein elektrolytisches Verfahren zum Herstellen einer Metallfolie gemäß Anspruch 1, und auf eine Kupferfolie, die entsprechend hergestellt ist, und insbesondere auf ein Verfahren zum Herstellen einer Kupferfolie zur Herstellung von gedruckten Schaltkreisleiterplatten für elektronische Anwendungen.
  • Aus dem Dokument GB-A-1 373577 sind bereits ein Gerät und ein Verfahren zum Herstellen einer Metallfolie bekannt, bei denen die Stromdichte in verschiedenen Stufen variiert wird, wobei die erste Stufe eine niedrigere Stromdichte und eine Elektrolytbewegung durch Einlaß von Luft in den Elektrolyten einsetzt, und die abschließende Stufe eine höhere Stromdichte in einem nicht bewegten Elektrolyten einsetzt. Die abschließende Anodenplatte ist von dem Rest des Elektrolytbads durch eine Trennwand separiert, wobei kein Kornverfeinerungsmittel verwendet wird.
  • Ein herkömmliches Verfahren zum Herstellen elektrolytischer Kupferfolie besteht im wesentlichen aus zwei Stufen: zuerst galvanischer Niederschlag, oder Plattieren, einer "Basis" -Folie auf einer rotierenden Kathoden-Trommel, und zweitens Hindurchführen der Folie durch eine "Behandlungseinrichtungs"-Maschine, um die matte Seite der Folie mit einer verbindbaren Oberfläche zu versehen, die zum Verbinden an einem polymeren Substrat geeignet ist. Der letztere Schritt wird manchmal als die Verbindungs- bzw. Bondingbehandlung bezeichnet.
  • Traditionell werden diese zwei Vorgänge durch die Folienhersteller getrennt, da sie zueinander exklusiv zu sein scheinen: eine Bildung einer Basis-Folie verlangt nach einem konzentrierten, heißen Kupfersulfat/Schwefelsäure-Elektrolyt, um zu einem festen, duktilen und kompakten Niederschlag zu führen, der den Körper der Folie bildet, während die Verbindungsbehandlung gewöhnlich einen mehr verdünnten oder kälteren Elektrolyten erfordert, der zerbrechliche, pulvrige Niederschläge ergibt, deren Funktion diejenige ist, den wahren Oberflächenbereich der matten Seite der Folie und demzufolge die Verbindungsfähigkeit der Folie zu erhöhen.
  • In einem typischen Verfahren ist der erste Schritt, eine Herstellung der Basis-Folie, oder "des Kerns", primär für das Aufbringen der Masse der Folie aus der Kombination physikalischer, metallurgischer und elektrischer Eigenschaften verantwortlich, die in der Industrie auf dem Gebiet gedruckter Schaltkreise erwünscht sind, und offensichtlich werden solche Eigenschaften durch die Mikrostruktur der Masse der Folie bestimmt, die wiederum durch die Reinheit und Bedingungen des Plattierprozesses bestimmt wird. Typische Eigenschaften des Kerns der Folie, die durch Hersteller von gedruckten Schaltkreisleiterplatten verlangt werden, sind geeignete Zugfestigkeit, Streckspannung, Ausdehnung, Duktilität und Widerstandsfähigkeit gegen Ermüdung. Viele der Eigenschaften beziehen sich auf die maximale Belastung, der das Material gegenüber einem Effekt standhalten kann, und sie werden gewöhnlich von den Spannungs-Dehnungs-Kurven abgeleitet. Ähnlich wird die Leitfähigkeit als eine wichtige Eigenschaft einer Kupferfolie angesehen. Alle diese Eigenschaften einer Kupferfolie hängen von der Mikrostruktur der Folie ab, allerdings insbesondere von der Mikrostruktur der Kerns der Folie.
  • Diese Mikrostruktur, die für die Eigenschaften der Folie verantwortlich ist, wird wiederum durch die galvanischen Niederschlagsbedingungen bestimmt.
  • Ähnlich zu anderen Materialien, die in Hochtechnologie-Anwendungen verwendet werden, ist eine Kupferfolie ein Komposit; d.h. sie besitzt einen oberflächennahen Bereich mit Eigenschaften, die sich von solchen des Grundmaterials unterscheiden. Demzufolge dient die Masse der Kupferfolie (Kern) in gedruckten Schaltkreisleiterplatten als der Leiter für Elektrizität. Die matte Seite der Folie ist für die Unterstützung einer permanenten Verbindung an dem polymeren, dielektrischen (isolierenden) Substrat oder Prepreg, z.B. Glassgewebe bzw. -Gewirke, das mit Epoxidharz imprägniert ist, verantwortlich.
  • Ein metallographischer Querschnitt einer Kupferfolie zeigt, daß die zwei Oberseitenoberflächen der Folie nicht dieselben sind. Während die Oberfläche, die am nächsten zu der Trommel liegt, die glänzende Seite der Folie, gerade wenn sie unter einer großen Vergrößerung betrachtet wird, relativ flach und glatt ist, wird die Oberfläche, die am nächsten zu dem Elektrolyten liegt, die matte Seite der Folie, wobei sie nach der Anwendung der Verbindungsbehandlung aus einer extrem lichten und gleichförmigen Beschichtung von sphärischen Mikro-Vorsprüngen zusammengesetzt ist, die stark den Obeflächenbereich vergrößern, der zum Verbinden mit den polymeren Substraten verfügbar ist.
  • Es sollte verständlich sein, daß sich die "matte" Seite der fertiggestellten Folie, d.h. die Basis-Folie plus Behandlung, auf dem kombinierten Effekt der Mikro-Topographie der Oberfläche der matten Seiten der Basis-Folie (galvanisches Niedergeschlagen an der Trommelmaschine) und der Verbindungsbehandlung, die auf dieser Oberfläche an der Behandlungseinrichtungs-Maschine plattiert ist, bezieht. Beide sind gleich wichtig.
  • Die Querschnitte der Folien, die in den Figuren 4(a)-(e) dargestellt sind, stellen Querschnitte einer Basis-Folie mit einer Unze (0,3 kg/m²) für herkömmliche, reguläre Folien und mit niedrigem Profil und eine Folie, die gemäß der vorliegenden Erfindung hergestellt ist, dar. Eine Kupferfolie besitzt einen "Kern" (ein massiver Körper aus dichtem Metall) und einen "Zahn", eine kettensägen-ähnlich dichte Beschichtung aus Mikro-Vorsprüngen, die aus Mikro-Erhebungen bzw. -Peaks der Basis-Folie und der Verbindungsbehandlung zusammengesetzt sind. Die Figuren 4(a) und 4(b) stellen jeweils Querschnitte einer regulären Basis-Folie 10 und einer regulären Basis-Folie 10 plus Behandlung 11 dar, wobei der Kern 10 der Basis-Folie eine matte Oberfläche besitzt, die aus dicht gepackten, konischen Mikro-Vorsprüngen 10' zusammengesetzt ist, wobei Rz (durchschnittliche Höhe von den Spitzen bzw. Peaks zu den Tälern) davon typischerweise ungefähr 400 Mikro-Inch (µ") beträgt, und die Basis-Folie plus Behandlung typischerweise ein Rz von ungefähr 600 µ" besitzt. Wie in den Figuren 4(c) und 4(d) dargestellt ist, besitzt die Basis-Folie mit niedrigem Profil einen Kern 12 und die Mikro-Vorsprünge 12' besitzen ein Rz typischersweise von ungefähr 200 µ", während das Rz der Basis-Folie plus Behandlung 13 typischerweise ungefähr 300 µ" beträgt. Figur 4(e) stellt eine Folie dar, die gemäß der vorliegenden Erfindung hergestellt ist, die auch eine Folie mit niedrigem Profil ist, allerdings sind die Mikro-Vorsprünge 15 mehr sphärisch als in dem Fall einer herkömmlichen Folie mit niedrigem Profil.
  • Dabei ist die Frage diejenige, wie das Normmaß einer Kupferfolie zu bestimmen ist, die für eine elektronische Anwendung bestimmt ist - das Gewicht pro Einheit eines Oberflächenbereichs gegenüber der tatsächlichen Dicke. Ersteres wird oftmals verwendet, und eine Folie, die von 0,3 kg (eine Unze) pro 9,3 10&supmin;²m² (ein Quadratfuß) wiegt, wird als eine 1-Unzen-Folie (0,3 kg/m²) (1 oz.) bezeichnet.
  • Eine solche Benennung wird nun als nicht adäquat durch die Designer elektronischer Schaltkreise und Ausrüstungen angesehen, da die Masse oder die Dicke des "Kerns" beim Bewerten des Normmaßes (von dem elektrischen Gesichtspunkt aus) der Folie angemessen ist, während der "Zahn" dies nicht ist.
  • Demzufolge wird nun angenommen, daß die Folie besser durch deren Dicke, gemessen in Mikrometern, charakterisiert ist, da sie das Profil (Querschnitt) der Folie und das Verhältnis zwischen der Dicke des Kerns und der matten Höhe, oder des "Zahns" (kombinierte matte Höhe der Folie und die Behandlung) berücksichtigt.
  • Da eine Mikrometermessung Peaks der Basis-Folie und Peaks von der Behandlung auf dieser umfaßt, wird eine Folie mit einer ausgesprochen matten Seite der Basis-Folie und mit einem großen Umfang einer Behandlung dicker sein als eine Folie mit einer weniger ausgeprägten matten Struktur einer Basis-Folie und einem geringeren Umfang einer Behandlung, gerade wenn die Gewichtsbereiche beider Folien dieselben sind. Die Dicke einer Folie mit 0,3 kg/m² (1 oz.) kann so unterschiedlich sein, wie 0,05 mm (1,8 mil.) und 0,04 mm (1,4 mil.), wie dies in den Figuren 4(b) und 4(d) dargestellt ist. Der industrielle Trend geht zu "dünneren" Folien in diesem Hinblick hin. Solche Folien werden als "Niedrigprofil" bezeichnet. Eine Folie mit einem rechtwinkligen Querschnitt würde als ideal betrachtet werden, und zwar theoretisch, falls die Verbindungsfähigkeit der Folie nicht ein wichtiger Gesichtspunkt wäre. Allerdings ist man sich allgemein einig, daß die matte Höhe der Folie nicht 15% der Gesamtdicke der Folie überschreiten sollte. Nur solche Folien werden bei der Herstellung von Vielfachschicht-Leiterplatten verwendet, das am weitesten fortgeschrittene und am schnellsten anwachsende Segment der Industrie für gedruckte Schaltkreise.
  • Eine matte Höhe wird routinemäßig durch Hersteller von Kupferfolien und Benutzer gemessen, und zwar mit einem Instrument vom Schreibstift-Typ, das eine Amplitude von Peak zu Tal mißt.
  • Traditionell wird beim Elektroplattieren bzw. galvanischen Niederschlagen der Typ eines Niederschlags, der am besten für die Eigenschaften des Kerns der Folie ist, aus heißem, konzentrierten Elektrolyten mit moderaten Stromdichten erhalten. Der Typ eines Niederschlags, der am besten für diese Eigenschaften der matten Oberfläche oder der Verbindungsoberfläche ist, wird aus kälteren und verdünnteren Elektrolyten erhalten, und zwar mit hohen Stromdichten. Demzufolge werden die Herstellung der Basis-Folie und die Verbindungsbehandlung typischerweise separiert.
  • Dies ist allerdings eine traditionelle Ansicht, da man sehr unterschiedliche, kristalline Strukturen in dem galvanisch niedergeschlagenen Kupfer erhalten kann, und zwar unter Verwendung desselben Elektrolyten, durch Variieren der anderen Faktoren, die sich auf die Massenübertragung beziehen.
  • In neuerer Zeit sind beträchtliche Fortschritte bei der Anwendung der Massenübertragungsprinzipien auf die Praxis des Elektroplattierens gemacht worden. Zum Beispiel ist es bekannt, daß eine turbulente im Gegensatz zu einer laminaren Strömung der Elektrolyten in dem Anoden-Kathoden-Spalt die begrenzende Stromdichten erhöhen kann, da erstere eine Diffusionsschichtdicke erniedrigen kann.
  • Das United States Patent Nr.3,674,656 offenbart eine Technik, die eine Sekundäranode verwendet, die eine relativ hohe Stromdichte liefert, um eine Hochprofil-, hohe Verbindungs-, matte Höhe zu fördern. Während eine gute Verbindungsfähigkeit erreicht wird, wird die matte Seite der Folie, nach der eigenen Beschreibung des Patents, "hoch aufgerauht", in der Form eines "baumähnlichen Wachstums", und würde nicht das Erfordernis eines Niedrigprofil-Querschnitts zufriedenstellen.
  • Das Internationale Patent Nr. W08703915 lehrt eine Technik, die ein Bewegen des Elektrolyten, während ein sekundärer, gepulster Strom verwendet wird, der eine Stromdichte größer als die begrenzende Stromdichte besitzt, um eine Kupferfolie zu produzieren, die eine knöllchenförmige äußere Oberfläche besitzt, kombiniert. Diese Technik erreicht offensichtlich nicht eine Herstellung einer Niedrigprofil-Folie.
  • Andererseits wird, während die Niedrigprofil-Kupferfolie derzeit zum kommerziellen Verkauf hergestellt wird, sie auf Kosten sehr niedriger Produktionsraten und/oder unter sehr niedrigen Erträgen erreicht. Es wird angenommen, daß diese Folienproduktion durch sehr sorgfältige Kontrolle des mehr traditionellen Prozesses und der Ausrüstung erreicht wird.
  • Ein solcher Prozeß nach dem Stand der Technik, der in Figur 6 dargestellt ist, setzt nicht nur den separaten Schritt einer Behandlung der matten Oberfläche für die Verbindungsfähigkeit ein, sondern auch einen darauffolgenden Vergoldungs- oder Gilding- Schritt, einen darauffolgenden Niederschlag einer Barriereschicht, typischerweise eine Zinkschicht, gefolgt durch einen Fleckenschutz-Schritt (Passivierung), gefolgt durch Wässern, Trocknen und Schneiden. Solche Prozesse nach dem Stand der Technik sind kompliziert und kostspielig.
  • Es ist eine Aufgabe dieser Erfindung, die vorstehend beschriebenen Probleme zu lösen und eine verbesserte Kupferfolie und ein verbessertes Verfahren zum Herstellen einer solchen Folie zu schaffen. Diese Aufgabe wird durch die Merkmale des Anspruchs 1 gelöst.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung wird auch eine einzigartige Kupferfolie geschaffen, die durch das vorstehend erwähnte Verfahren hergestellt wird.
  • Die beigefügten Zeichnungen, die in die Spezifikation eingeschlossen werden und einen Teil davon bilden, stellen das derzeit bevorzugte Gerät und Verfahren der Erfindung dar und dienen, zusammen mit der allgemeinen Beschreibung, die vorstehend angegeben ist, und der detaillierten Beschreibung der bevorzugten Ausführungsform, die nachfolgend angegeben wird, zur Erläuterung der Prinzipien der Erfindung. In den Zeichnungen:
  • Figur 1 zeigt eine teilweise bildhafte und teilweise schematische Darstellung eines kombinierten Folienniederschlags- und Verbindungsoberflächenbehandlungs-Geräts;
  • Figur 2 zeigt eine teilweise bildhafte und teilweise schematische Darstellung eines Niederschlags-, Behandlungs- und Folienendbearbeitungs-Systems, das die Anordnung der Figur 1 einsetzt;
  • Figur 3 zeigt eine teilweise bildhafte und teilweise schematische Darstellung weiterer Ausführungsdetails des Sekundär-Anodenbereichs des Geräts der Figur 1;
  • Figuren 4(a)-(e) stellen typische Folienquerschnitte für eine reguläre Folie, eine Niedrigprofil-Folie und eine Folie gemäß der vorliegenden Erfindung dar;
  • Figur 5 stellt die Wirkung der Inhibitor-Teilchen in der Diffusionszone in der bevorzugten Ausführung dar;
  • Figur 6 stellt ein System nach dem Stand der Technik zum Produzieren einer Kupferfolie zum Anwenden auf dem Gebiet gedruckter Schaltkreisplatten und dazu in Bezug stehende Verwendungen dar;
  • Figur 7 zeigt eine photomikroskopische Aufnahme der matten Oberfläche der Kupferfolie mit 1 oz., die gemäß der vorliegenden Erfindung unter Verwendung der bevorzugtesten Prozeß-Parameter, die nachfolgend beschrieben sind, hergestellt ist; und
  • Figur 8 zeigt eine photomikroskopische Aufnahme der matten Oberfläche des Kupferfolie, die ähnlich der Folie der Figur 7 hergestellt ist, allerdings mit der Sekundär-Anode abgeschaltet.
  • Figur 9 zeigt eine photomikroskopische Aufnahme der matten Oberfläche der Kupferfolie, die einer herkömmlichen Behandlung unterworfen worden ist.
  • Es wird nun Bezug im Detail auf das derzeit bevorzugte Gerät und das Verfahren genommen, die die Prinzipien der vorliegenden Erfindung umsetzen, wie dies in den beigefügten Zeichnungen dargestellt ist, in denen entsprechende Bezugszeichen ähnliche oder entsprechende Teile durch die verschiedenen Zeichnungen hinweg bezeichnen. Wie in Figur 1 dargestellt ist, setzt die Herstellung einer galvanisch niedergeschlagenen Kupferfolie gemäß der Erfindung die Verwendung einer großen (z.B. 2,2 Meter im Durchmesser) zylindrischen Kathoden-Trommel 21 ein. Typischerweise ist die Trommel 21 für eine Drehung im Uhrzeigersinn um deren Achse 22 aufgebaut und montiert und ihre äußere Oberfläche 23 ist z.B. aus rostfreiem Stahl oder Titan hergestellt. Die Trommel befindet sich angrenzend an ein Paar von schweren, gekrümmten Primär-Anoden 24 und 25 aus Blei (oder einer Blei-Antimon-Legierung) (unlösliche Anoden aus platiniertem Titan oder lridium oder Ruthenoxid können auch verwendet werden) und ist zu dieser hin gerichtet. Die Oberfläche 23 der Trommel 21 besitzt einen leitenden Bereich 23a gegenüber den Anoden 24 und 25. Die Beabstandung zwischen den sich nahe gegenüberliegenden Kanten dieser Anoden schaffen einen Eintritt für die Injektion des Elektrolyten, der in dem Spalt 26a zwischen der Trommel 21 und den inneren Oberflächen der Anoden 24 und 25 zirkuliert.
  • Zusätzlich zu diesen zwei primären Anoden 24 und 25 ist eine sekundäre Anode 27, oder "Super-Anode", an der Auslaßseite der Maschine (die Trommel dreht sich im Uhrzeigersinn) positioniert. Ein nachlaufender Bereich 23b der Oberfläche 23 ist gegenüberliegend der sekundären Anode 27 angeordnet und ein Spalt 26b ist zwischen der Anode 27 und dem nachlaufenden Bereich 23b vorgesehen. Sowohl die Trommel als auch jede der Anoden sind elektrisch durch schwere Bus-Stäbe 30 mit einer der zwei separaten (eine für die Hauptanoden 24 und 25, eine andere für die sekundäre Anode 27) DC-Energieversorgungsquellen 28 und 29 verbunden, die, zur Erläuterung, Gleichrichter sind. Die Bus-Stäbe verbinden die Kathoden-Trommel 21 über einen Kontaktblock 31 und einen Kontaktring 32. Wenn sich die Trommel in dem Elektrolyt 33 dreht und der elektrische Strom durch den Elektrolyt 33 in dem Spalt 26 hindurchgeführt wird, bildet sich ein galvanischer Niederschlag aus Metall, z.B. Kupfer, auf der Trommeloberfläche 23, und wenn letztere den Elektrolyten verläßt, wird das galvanisch niedergeschlagene Kupfer kontinuierlich von der äußeren Oberfläche 23 der sich drehenden Trommel (da die Adhäsion zwischen dem galvanischen Kupferniederschlag und der Trommeloberfläche niedrig ist) in Form einer dünnen Folie 34 abgestreift. Ein Metall-Ionen enthaltender Elektrolyt 33 wird in den Spalt 26 über eine oder mehrere Zuführleitungen 33a von einem Lösungsmitteltank 58 gepumpt und die Trommel 21 wird mindestens teilweise in den Elektrolyten eingetaucht. Die Folie 34 besitzt an dieser Stufe eine matte Seite (die Seite, die zu dem Elektrolyten hinweist) und eine glänzende Seite (die Seite, die zu der Trommel hinweist). Die matte Seite besitzt eine verbesserte Verbindungsfähigkeit (die später erläutert werden wird). Wenn die Folie 34 von der Trommeloberfläche abgestreift wird, wird sie mittels der Antriebswalzen 35 und 36 (ähnlich zu der Art und Weise, in der eine Papierbahn in einer Druckmaschine gehandhabt wird (in zwei aufeinanderfolgende Plattierbehälter (nicht hier dargestellt, allerdings in Figur 2 zu sehen) zugeführt und darauffolgend in Streifen aufgeschlitzt und auf einer Haspel aufgewickelt.
  • Wie in Fig. 2 dargestellt ist, wird die Folie 34 mittels Kontaktwalzen 37 und 38 kathodisch geschaltet und führt in einer Serpentinenart durch die Behälter 39 und 40 hindurch, wobei sie zu den rechtwinkligen Anoden 41, 42, 43 und 44 hinweist, wie dies dargestellt ist. Jeder Tank besitzt jeweils seine eigene Versorgung aus einem geeigneten Barriereschicht-Elektrolyten und einem fleckenschützenden Elektrolyten und seine Gleichstromenergieversorgungsquelle(n) 45, 46 und 47. Zwischen den Behältern wird die Folie auf beiden Seiten in Bädem 48 und 49 gründlich gespült.
  • Der Zweck dieser letzteren Betriebsstufe ist derjenige, galvanisch auf der matten Seite der Folie eine Barriereschicht aus Zink niederzuschlagen, wie dies in dem US-Patent Nr.3,857,681 beschrieben ist. Alternativ kann eine Zink-Antimon-Nickel-Barriere niedergeschlagen werden, wie dies in dem US-Patent Nr.4,572,768 beschreiben ist. Ein Zink- Plattieren oder ein Zink-Antimon-Nickel-Plattieren wird in dem ersten Plattierbehälter 39 durchgeführt, während in dem zweiten Behälter 40 die Folie dem elektrolytischen Flekkenschutz unterworfen wird, der in einer wässrigen Lösung aus Chrom-Salzen durchgeführt wird, z.B. gemäß dem US-Patent Nr.3,853,716 oder dem US-Patent Nr.3,625,844.
  • Nach der abschließenden Spülung, allerdings vor einem Trocknen, kann optional die matte Seite der Folie mit einer verdünnten Lösung (z.B. ungefähr 0,3% oder 0,5%) eines Primers oder eines Verbindungsmittels (nicht dargestellt) besprüht werden. Verbindungsmittel" stellt den besten Namen und die Beschreibung einer Vielfalt von chemisch reaktiven Körpern dar, die in der Industrie der glasverstärkten Kunststoffe verwendet werden (siehe Seite 194, Adhesion And The Formulation of Adhesives, William C. Wake, Elsevier Publishers).
  • Glasverstärktes Epoxidharz-"Prepreg" ist das populärste polymere Substrat, das bei der Herstellung von gedruckten Schaltkreisen verwendet wird, und das wasserlösliche Glycidoxysilan ist der populärste Primer, der bei der Herstellung von Epoxidglas-Komposits verwendet wird. Deshalb ist es bevorzugt, daß die Verbindungsseite der Folie mit einem trockenen Riickstand eines solchen Primers versehen wird, um die Funktion des Kupfermantellaminats zu verbessern, wie dies ausreichend nach dem Stand der Technik bekannt ist.
  • Nachdem die Folie in der Trockene inrichtung 50 getrocknet ist, kann sie auf eine erwünschte Breite geschlitzt und in die Rolle 53 aufgewickelt werden. Auch kann an dieser Stufe die Folie inspiziert und Qualitätskontrolltests, in Vorbereitung zu einem Versand, unterworfen werden. Der vorliegende Folienherstellprozeß kann demzufolge in einem einstufigen Betrieb durchgeführt werden, der keine separaten, dentritischen und Vergoldungsniederschlagsbehandlungen unterworfen werden muß.
  • Weiterhin wird die Behandlung der Fig. 6 nach dem Stand der Technik dahingehend vermieden, daß die Zurückwicklung des Films von der Rolle 53 nicht benötigt wird; noch wird die relativ höhere Geschwindigkeit dieses Prozesses benötigt. Der Barriereschichtniederschlag, der Fleckenschutz oder, optional, die Primer-Aufbringung, werden unter Verwendung gewöhnlicher Verfahren durchgeführt, wie diese in den US-Patenten Nr.'n 3,857,681, 4,572,768, 3,853,716 und 3,625,844 beschrieben ist.
  • Wie die Fig. 1 zeigt, wird an dem voranführenden Bereich 23a der Kathoden-Trommel 21 ein galvanischer Niederschlag durch den Durchgang elektrischen Stroms über den Elektrolyt, der in dem Anoden-Kathoden-Spalt 26a enthalten ist, einem ringförmigen Kompartment, das zwischen der Kathoden-Trommel 21 und der gekrümmten Eingangs- und Ausgangs-Anode 24 und 25 jeweils gebildet ist, bewirkt. Dieser Teil der elektrolytischen Zelle 54 wird hier als die "erste galvanische Niederschlagszone" oder "erste Zone" bezeichnet. Wenn, als ein Beispiel, die Kathoden-Trommel 21 einen Durchmesser von 2,2 m besitzt, 1,5 m breit ist und der Trommel-Anoden-Abstand 1 cm ist, werden nur etwa 45 Liter einer Lösung zu irgendeinem gegebenen Zeitpunkt der Elektrolyse unterworfen. Andererseits enthalten die elektrolytische Zelle 54, die ein rechtwinkliger Tank ist, der die Masse des Elektrolyten enthält, die Anoden und der eingetauchte Bereich der Trommel ungefähr 3.000 Liter an Elektrolyt 33. Eine oder mehrere rezirkulierende Pumpen 55 injizieren die Elektrolytlösung unter Druck durch einen Kanal in dem Spalt 26a, was demzufolge eine nach oben gerichtete Strömung einer hohen Geschwindigkeit erzeugt, die groß genug ist, um turbulente Strömungsbedingungen in dem Spalt 26a in der ersten galvanischen Niederschlagszone zu erzeugen. Falls es erwünscht ist, können andere Einrichtungen verwendet werden, um eine solche Turbulenz zu erzeugen.
  • In einem industriellen Maßstab einer Kupferfolienherstellung müssen Konzentrationen sowohl des Kupfersulfats als auch der Schwefelsäure in dem Elektrolyten auf einem konstanten Niveau beibehalten werden. Dies wird sehr einfach ausgeführt. Eine Folie produzierende galvanische Niederschlagsmaschinen sind, im Hinblick auf eine Elektrolytversorgung, ein Teil einer kontinuierlichen Schleife, die auch einen Lösungsmitteltank 58 einsetzt, in dem frischer, reiner Drahtkuperabfall auf einer kontinuierlichen Basis hinzugefügt wird und eine Luftrührung verwendet wird, um eine Auflösung des Abfalls in dem Elektrolyten zu unterstützen. Der Elektrolyt strömt konstant von dem Lösungsmitteltank zu den Plattiermaschinen, wo er zirkuliert wird, zurück zu dem Lösungsmitteltank, usw.. In den Plattiermaschinen tendiert die Kupferkonzentration dahin, sich zu erniedrigen (da Kupferfolie daraus plattiert wird), und die Säurekonzentration tendiert dahin, sich zu erhöhen, während in dem Lösungsmitteltank die Kupferkonzentration dahingehend tendiert, sich zurück zu normal aufgrund der Auflösung des Abfallmaterials zu erhöhen, und die Säurekonzentration tendiert dahin, sich zu erniedrigen, da eine Auflösung des Abfalls überschüssige Säure verbraucht. Demzufolge ist der gesamte Prozeß ausbalanciert.
  • Das System ist mit einer Versorgung einer wässrigen Lösung eines Kornverfeinerungsmittels 59 (Inhibitor) ausgerüstet. Diese Lösung aus z.B. 5 Gramm Inhibitor pro Liter (g/l) wird in einem separaten Behälter 60 präpariert und dann durch eine Dosierpumpe 43, unter einer geeigneten Rate, in eine Leitung injiziert, z.B. von einer Pumpe 55, die die Maschine mit frischem Elektrolyt versorgt. Inhibitoren, manchmal als Kornverfeinerungsmittel bezeichnet, werden in dem Plattierprozeß verbraucht. Die Zugaberate wird gewöhnlich in Einheiten eines Trockengewichts, das zu der Plattiermaschine pro Zeiteinheit hinzugefügt wird, z.B. in Milligramm pro Minute (mg/min), ausgedrückt. Eine andere Art und Weise zum Ausdrücken des Verbrauchs davon ist eine Messung der Menge (Gewicht) eines Trockenverfeinerungsmittels, das zur Produktion einer gegebenen Menge an Folie notwendig ist, die mit notwendigen physikalischen und Verbindungseigenschaften ausgestattet ist. Gemäß der vorliegenden Erfindung wird typischerweise ein Kilogramm des lnhibitors für die Produktion einer metrischen Tonne guter Kupferfolie verwendet.
  • Verfeinerungsmittel, die beim galvanischen Plattieren verwendet werden, sind gewöhnlich makro-molekulare, wasserlösliche Kolbide und Polymere. Am populärsten sind organische Inhibitoren, wie beispielsweise Gelatine, Glutinleim, Zellulose-Ether, Polyacrylamid und dergleichen. Sie können separat verwendet werden, allerdings sind Mischungen bevorzugt, da Mischungen die galvanischen Niederschlagseigenschaften so beeinflussen können, daß es unmöglich ist, einen einzelnen Inhibitor zu verwenden. Eine Mischung aus Gelatine, die ein niedriges Molekulargewicht besitzt (weniger als 10.000), eine Gelatine mit einem höheren Molekulargewicht und eine Hydroxyalkylzellulose, wie beispielsweise eine Hydroxyethylzellulose, sind dahingehend befunden worden, daß sie höchst effektiv beim Erhalten einer matten Struktur sind, die duch eine hohe Bindung und eine niedrige Profilhöhe charakterisiert ist.
  • Fig. 3 stellt in größerem Detail den Anschlußbereich 25a einer primären Ausgangsanode 25 dar, die von der sekundären Anode 27 beabstandet und elektrisch isoliert ist. Der turbulente Elektrolyt strömt nach oben in dem Spalt 26a, verläßt die erste Zone durch einen Hauptlösungsausgang 61 und wird zu dem Hauptkörper des Elektrolyten in dem Behälter 54 zurückgeführt. Die Lösung, die den Spalt 26a an dem Ausgang 61 verläßt, nimmt mit sich die Sauerstoffblasen, die in der primären Anode im Fall des galvanischen Niederschlags der Kernfolie erzeugt sind. Der Hauptlösungsausgang 61 ist ein Schlitz, der in einem Isolatorblock gebildet ist, der aus einem Dielektrikum, z.B. einem isolierenden Harz, wie beispielsweise Polypropylen, gebildet ist, das die Anoden 25 und 27 separiert und elektrisch isoliert. Frischer Elektrolyt von dem Hauptbehälter 54 wird in den Spalt 26b unter Verwendung eines Verteilers 62 eingeführt, der oberhalb des Ausgangs 61 angrenzend an die sekundäre Anode 27 positioniert ist, die sich gegenüberliegend zu dem nachlaufenden Bereich 23b der Trommeloberfläche 23 befindet. Der Verteiler 62 ist z.B. aus einem perforierten Rohr gebildet, das in einem ausgehöhlten Block 63 aus einem geeigneten Kunststoff, wie beispielsweise Polypropylen, angeordnet ist. In der zweiten galvanischen Niederschlagszone ist die volumetrische Zuführrate von frischem Elektrolyt niedrig genug, um laminare Strömungsbedingungen in dem Spalt 26b aufrechtzuhalten. Unter solchen Bedingungen, wenn ein Gleichstrom von ungefähr 400 A (amps) von der sekundären Anode 27 durch den Elektrolyt in dem Spalt 26b hindurchgeführt wird, wird eine Super-Anoden-, matte Oberfläche gebildet (auf der Kernfolie), die eine Mikrostruktur besitzt, die ähnlich zu derjenigen ist, die in Fig. 4(e) dargestellt ist. Vorzugsweise ist ein Ablenkteil 64, das z.B. aus einem isolierenden Kunststoff, wie beispielsweise Polypropylen, gebildet ist, oberhalb des Hauptlösungsausgangs 61 positioniert und erstreckt sich über den Spalt 26 zu der Trommel 21 hin, um den nach oben strömenden Elektrolyt von der ersten galvanischen Niederschlagszone zu dem Ausgangsspalt 26a über den Ausgang 61 zwangszuführen.
  • Um es zusammenzufassen, setzt die vorliegende Erfindung die Verwendung einer turbulenten Rezirkulation mit hoher Geschwindigkeit eines Elektrolyten in der ersten galvanischen Niederschlagszone und eine laminare Strömung des Elektrolyten und eine höhere Stromdichte in der zweiten galvanischen Niederschlagszone ein. Demzufolge wird die Masse der Folie (der Kern) galvanisch unter der Bedingung einer turbulenten Strömung niedergeschlagen, die für die Produktion einer Folie mit exzellenten mechanischen Eigenschaften (hohe Zugfestigkeit und Dehnbarkeit, bei Raumtemperatur und 180ºC) förderlich ist. Die matte Oberfläche, die in der zweiten galvanischen Niederschlagszone erzeugt ist, ähnelt derjenigen, die durch herkömmliche Behandlungsprozesse gebildet ist und liefert eine viel höhere Abziehfestigkeit als eine gewöhnliche Basis-Folie. Die Abziehfestigkeit der Folie, die gemäß der vorliegenden Erfindung erzeugt ist, wird weiter dann erhöht, wenn die matte Seite der Folie mit einer Zink- oder Zink-Nickel-Barriereschicht, fleckengeschützt und behandelt mit einem Silan-Primer, überplattiert wird. Eine typische Folie gemäß der vorliegenden Erfindung besitzt eine Abziehfestigkeit von ungefähr 19,3 10² N/m (11 lbs./m) und die Rauhigkeit der matten Seite (Rz) überschreitet nicht ungefähr 7,5 pm (300 Mikro-Inch. Gemäß der vorliegenden Erfindung kann eine niedrigere als eine normale Kupferkonzentration in dem Elektrolyt verwendet werden, da eine turbulente Strömung beim Produzieren einer guten, porositätsfreien Folie unter Konzentrationen bis zu 50 g/l niedrig helfen kann, und eine niedrige Kupferkonzentration unterstützt die Bildung einer mehr erwünschten matten Oberfläche.
  • Die vorstehend beschriebene Technik produziert eine Kupferfolie, die, wenn sie mit einem Prepreg verwendet wird, eine verbesserte Abziehfestigkeit besitzt, und zwar durch Kombinieren einer Zwischenverankerung zwischen der Folie und dem Prepreg, mit einer chemischen Erhöhung der Adhäsion zwischen dem Metall und dem Polymer des Prepreg. Dies ist gegenüber der herkömmlichen Situation unterschiedlich, wenn die gesamte Abziehfestigkeit durch eine mechanische Verankerung erreicht wird.
  • Das Verfahren und Gerät gemäß der vorliegenden Erfindung kombiniert die Bildung der Basis-Folie, oder des Kerns, und die Verbindungsbehandlung in einem einstufigen Prozeß, wobei, während des galvanischen Niederschlagsprozesses, irgendein besonderer Bereich der Trommeloberfläche 23 zuerst zu den primären Anoden 24 und 25 in einer ersten, galvanischen Niederschlagszone hinweist und dann die sekundäre Anode 27 in eine zweite katalytische Niederschlagszone weist. In der ersten Zone werden die Seite mit der relativ glatten Fläche, der Kern und die matte Oberfläche der Folie erzeugt, und zwar unter Verwendung einer Stromdichte, die einen Wert viel niedriger als die begrenzende Stromdichte besitzt, die durch Massenübertragungs-Betrachtungen bestimmt wird. Unter diesen Umständen ist der "Kern" der Folie aus kleinen, dicht gepackten Körnern aufgebaut, was eine Exzellenz der physikalischen Eigenschaften der Folie sicherstellt, die einige lnhibitor-Teilchen besitzt, die darin umfaßt sind. Die matte Oberfläche des Kerns der Folie ist aus sehr dicht gepackten, konischen Mikroprofilen (Peaks und Täler) aufgebaut, wobei die Peaks typischerweise ungefähr 3,8 pm (150 Mikro-Inch) hoch und ungefähr 3,8 pm (150 Mikro-Inch) voneinander beabstandet sind. In der zweiten Zone tritt die sich drehende Trommel 21, die mit der "Haut" der Kupferfolie auf ihrer Oberseitenoberfläche abgedeckt ist, in einen radial unterschiedlichen Satz Bedingungen entgegengesetzt der sekundären Anode 27 ein. Die Stromdichte hier ist drei oder mehr Male höher als diejenige in der ersten Zone, wobei deshalb deren Wert sehr viel näher zu der begrenzenden Stromdichte gelangt. Deshalb sind in der zweiten Zone die Massentransporteigenschaften drastisch schlechter als in der ersten Zone gegenüberliegend der primären Anoden 24 und 25. Unter solchen Bedingungen wird das Kupferkristallwachstum feldorientiert, was zu dem galvanischen Niederschlag von etwas sphärischeren Mikro-Vorsprüngen führt, wie dies in Figur 4(e) dargestellt ist, was stark den Oberflächenbereich der matten Seite erhöht und demzufolge die Folie mit einer verbesserten Verbindungsfähigkeit (höhere Abziehfestigkeit) ausstattet. Diese Mikro-Vorsprünge wirken als eine traditionelle Behandlung (dentritische Schicht gefolgt durch eine Vergoldungsschicht, wie dies in den US-Patenten Nr.'n 3,857,681 und 4,572,768 beschrieben ist), sind allerdings tatsächlich besser, da die Mikro-Vorsprünge aus viel härterem Kupfer als die Teilchen der traditionellen Behandlung zusammengesetzt sind, und sie sind fest mit dem Kern verbunden und deshalb weniger der "Behandlungsübertragung" überlassen. An der Oberfläche des Elektrolyten 33 endet die zweite Zone und die Verbindungsbehandlung ist abgeschlossen, wobei die kombinierte Höhe der matten Seite und der Behandlung ungefähr 7,6 µm (300 Mikro-Inch) in der Ausführungsform, die hier beschrieben ist, beträgt. Dieses Produkt wird als eine Kupferfolie mit niedrigem Profil bezeichnet.
  • Das Verhalten der Kornverfeinerungsmittel (Inhibitoren) ist bei der erfolgreichen Ausführung des vorliegenden Trommelbehandlungsprozesses wichtig. Es ist allgemein in der Domäne des galvanischen Plattierens bekannt, daß solche Inhibitoren glattere, kleinkörnigere Niederschläge unterstützen. Allerdings unterstützen, wenn sich die Stromdichte des Prozesses ihrem Grenzwert nähert, Verfeinerungsmittel feldorientierte oder dentritische oder baumähnliche Niederschläge. Demzufolge unterstützen, wenn ein galvanischer Niederschlag in der ersten galvanischen Niederschlagszone mit den primären Anoden 24 und 25 bei einer Stromdichte viel niedriger als die begrenzende Stromdichte durchgeführt wird, Verfeinerungsmittel bei dem Niederschlag einer feinkörnigen und festen Folie. Wenn sich allerdings einmal die Trommel in der zweiten Zone, die sekundäre Anoden-Zone, dreht, wobei sich die Stromdichte ihrem Grenzwert nähert, helfen Verfeinerungsmittel beim Unterstützen der Bildung mehr sphärischer Mikro-Vorsprünge, was eine ausgezeichnete Verbindungsfähigkeit schafft.
  • Die verbesserten Ergebnisse, die beim Ausführen der vorliegenden Erfindung erhalten werden, können wie folgt erklärt werden. Es ist nicht nur die Diffusionsschicht dicker in der zweiten Zone als in der ersten Zone; sondern es besitzt, wenn die Trommel in die zweite Zone eintritt, die äußere Oberfläche der Folie eine gut entwickelte matte Seite eines Mikroprofils.
  • Wie in Fig. 5 dargestellt ist, ist die matte Seite der Folie 34 nicht glatt, sondern aus Peaks bzw. Erhöhungen 34a und Tälern 34b aufgebaut. Da die Amplitude (Rz) von einem Peak zu einem Tal eine Dimension ungefähr gleich zu der Diffusionsschichtdicke (t) besitzt, kann die Diffusionsschicht nicht dem Oberflächenprofil folgen und ist dünner an den Peaks als in den Tälern. Wenn die Diffusionsschicht nicht signifikant dicker als die durchschnittliche Tiefe Peak zu Tal der matten Oberfläche ist, wird die Konzentration der Inhibitor-Arten direkt zu dem Abstand von dem Kern in Bezug gesetzt sein. Der Niederschlag der sekundären Anode fördert demzufolge die Peaks und die Bildung von sphärischen Kappen (wie dies in Fig. 4(e)) dargestellt ist, die gut zum Anbonden an polymere Substrate sind.
  • Um zusammenzufassen: bei der Ausführung der vorliegenden Erfindung erzeugt die einzigartige Kombination der angelegten Stromdichten, der Elektrolytströmungsbedingungen und des Inhibitors, wie dies vorstehend beschrieben ist, die Bedingung für die Produktion einer Kernfolie, die eine ausgezeichnete Verbindungsbehandlung besitzt, und die sich ergebende matte Höhe mit niedrigem Profil nicht größer als ungefähr 300 µm. Separiert erreichen die vorstehenden Faktoren nicht solche Ergebnisse. Zum Beispiel: eine Strömung mit hoher Geschwindigkeit, die ausreichend beim galvanischen Plattieren und beim Kupferfolienherstellen bekannt ist, unterstützt nur durch sich selbst beim Erzeugen der glatten, matten Seite, mit einer geringen Verbindungsfähigkeit, während eine hohe Stromdichte in der Zone an dem Ende des Folienherstellprozesses eine Bildung einer vorspringenden, matten Höhe verursacht (mit oder ohne eine turbulente Strömung), wenn Verfeinerungsmittel einer ausreichenden Zahl besonders unterschiedlicher Arten und einer Konzentration nicht verwendet werden.
  • Neben den offensichtlichen, ökonomischen Vorteilen, die die Eliminierung der Schritte gegenüber dem traditionellen Folienherstell- und Behandlungsprozeß bietet, offeriert die vorliegende Erfindung auch einen Vorteil im Hinblick auf die Qualität. Die beschriebene Trommelbehandlung ist, aufgrund ihres Niedrig-Profils und des Nichtvorhandenseins eines Abbrechens, oder Übertragens, von Knöllchen, oder Mikro-Vorsprüngen, besser als die traditionelle Behandlung.
  • Da die tatsächliche Höhe der Mikro-Topographie der Verbindungsseite der Folie typischerweise niedriger als 300 µm ist, wird die tatsächliche Zeit, die zum Wegätzen unerwünschter Folie erforderlich ist, um eine erwünschte Schaltkreiskonfiguration auf einer gedruckten Schaltkreisleiterplatte zu bilden, beträchtlich verglichen mit der Standard-Folie verkürzt und die dielektrischen Eigenschaften der Leiterpiatte werden verbessert.
  • Eine Folie mit niedrigem Profil liefert einen erwünschten Querschnitt, der näher zu einem rechtwinklig geformten Querschnitt der feinen Schaltkreisleitungen kommt. Dies wiederum ergibt eine bessere Leitungs- bzw. Liniendefinition, eine verbesserte dielektrische Dicke von Schicht zu Schicht bei der Herstellung von vielschichtigen, gedruckten Schaltkreisleiterplatten und die bessere dimensionsmäßige Stabilität der Leiterplatten.
  • Anhand eines bestimmten Beispiels für den Betrieb des Geräts der Fig. 1 und 3 wird das Nachfolgende offeriert. In dem bevorzugten Plattiergerät wird der Raum zwischen den Anoden so beschränkt, daß man die erzwungene Strtmung des Elektrolyten verwenden kann. Die Pumpen (vorzugsweise getrennt für die Eingangs- und Ausgangsanoden) sind für eine Strömungsrate von über 0,76 m³/min (200 Gallonen pro Minute (g/min)) pro Anode geeignet. Falls man als ein Beispiel davon ausgeht, daß eine solche Strömung mit 800 Litern pro Minute (1/min) oder 800.000 Kubikzentimetern pro Minute (cm³/min) durch den Spalt mit einer Breite von 150 cm (60") mit der Beabstandung von 1 cm z.B, einem Querschnitt von 150 cm², hervorströmt&sub3; kann gesehen werden, daß die Strömung innerhalb des Spalts eine Elektrolytgeschwindigkeit von ungefähr 1 Meter pro Sekunde (m/sec) erzeugt.
  • Dies verbessert so dramatisch die Massenübertragungseigenschaften, und zwar verglichen mit einer Konvektionsmaßnahme in Bezug auf den Prozeß, daß eine viel niedrigere Konzentration eines Elektrolyt die Trommelbetriebsweisen stützen kann. Tatsächlich hat eine experimentelle Verwendung der Erfindung demonstriert, daß exzellente Folien mit 0,3 kg/m² und 0,15 kg/m² (1 oz. und 1/2 oz.), die durch exzellente mechanische Eigenschaften charakterisiert sind, und mit einer sehr gleichförmigen matten Seite, unter Einsatz eines Elektrolyten produziert werden können, der eine Kupferkonzentration von 35 Gramm/Liter besitzt. Eine solche Konzentration ist wiederum ausreichend niedrig, um den kombinierten Niederschlags- und Behandlungsprozeß, wie dies beschrieben ist, noch praktischer und vielseitiger durchzuführen. Die sekundäre Anode 27 sollte in allen Fällen in Bezug auf die Hauptanoden 24 und 25 vorgespannt sein, um eine höhere Stromdichte in der zweiten Zone als in der ersten Zone zu schaffen.
  • Eine weitere Diskussion, die beim Verständnis der Prinzipien der Erfindung hilfreich ist, folgt.
  • Ein galvanischer Niederschlag findet auf der ganzen Fläche zweier Phasen statt: fest (die Kathode) und flüssig (der Elektrolyt). In dem Fall, daß ein Niederschlag einer neuen, festen Phase auf der Oberfläche der Kathode produziert wird -- ist der katalytische Niederschlag aufgrund der kathodischen Reduktion:
  • Cu² + 2e T Cuº
  • Obwohl Metall kontinuierlich von der Lösung angrenzend an die Kathode während eines galvanischen Niederschlags entfernt wird, erniedrigt sich die Konzentration der Metall- Ionen an der Kathoden-Lösungs-Grenzfläche nicht kontinuierlich, da gewisse natürliche Vorgänge -- Diffusion, Konvektion und elektrische Migration von Ionen -- Metall-Ionen von der Masse des Elektrolyten zu der Kathode transportieren. Schließlich wird eine Balance, oder ein stationärer Zustand, eingestellt, bei dem Metall-Ionen an der Kathode durch diese Vorgänge unter exakt derselben Rate, unter der sie entfernt werden, erneuert werden.
  • Der Bereich einer verarmten Metallkonzentration erstreckt sich nicht sehr weit von der Kathode. Die stärksten Konzentrationsänderungen treten innerhalb einer dünnen Schicht einer Lösung angrenzend an die Kathode auf. Sie wird als der Kathodenfilm, oder noch akkurater, die Diffusions- oder Grenzschicht bezeichnet. Ein Verständnis der Art dieser Diffusionsschicht ist von primärer Wichtigkeit bei dem Anwenden einer Diffusionstheorie auf das galvanische Plattieren.
  • Die Beschränkung der Kathodendiffusionsschicht auf eine dünne, ziemlich definierte Schicht erfolgt aufgrund der Wirkung von zwei hydrodynamischen Einflüssen. Diese sind die Adhäsion der Flüssigkeit an der Kathodenoberfläche und die Viskosität der Flüssigkeit. Gemäß den Hydrodynamiken besitzt, in einer laminaren Strömung, die Flüssigkeit angrenzend an eine Oberfläche, aufgrund einer Adhäsion an der Oberfläche, im wesentlichen eine Null-Geschwindigkeit. Aufgrund der Viskosität der Flüssigkeit erhöht sich deren Geschwindigkeit schnell von Null auf diejenige der Hauptströmung, und zwar linear mit dem Abstand von der Oberfläche. Die Adhäsion der Flüssigkeit an der Kathode und deren viskoser Zug verhindern, daß die Konvektionsströmungen vollständig die verarmte Zone von der Nähe der Kathode wegspülen und stellt sicher, daß der verarmte Bereich dort verbleibt. Andererseits würde die Kathodendiffusionsschicht wahrscheinlich undefiniert in der Dicke anwachsen, falls sie nicht für die vertikale Komponente des Konvektionsstrom diente, der, unter einem kurzen Abstand von der Kathode, eine ausreichende Geschwindigkeit erhält, um von der verarmten Lösung wegzuwandern. Dies tritt unter einem kurzen Abstand von der Kathode auf, wo der Einfluß einer Adhäsion und Viskosität beim Einschränken einer Strömung stark abgefallen ist.
  • Falls die Fluidgeschwindigkeit an der Fest-Flüssig-Zwischenfläche dahingehend betrachtet wird, daß sie Null ist, sind die Geschwindigkeiten nahe der festen Oberfläche zwangsläufig klein; allerdings erhöhen sich die Geschwindigkeiten, wenn sich die Abstände von der Oberfläche erhöhen. Dies demonstriert die Wichtigkeit hydrodynamischer und fluid-mechanischer Aspekte des galvanischen Niederschlags.
  • Dieser Geschwindigkeitsgradient, als Grenzschicht bezeichnet, ist für die Existenz des Konzentrationsgradienten des Elektrolyten verantwortlich und in Folge für die Existenz der Diffusionsschicht, die begrenzende Stromdichte, den Mechanismus des Massentransports in dem galvanischen Niederschlag und den Einfluß des Massentransports auf die Struktur (und deshalb auf die Eigenschaften) des galvanischen Niederschlags.
  • Der Ausdruck "Transport" gibt eine Bewegung und Mobilität an, die notwendig ist, um Kupferionen zu der Kathode (matte Seite der Folie) so schnell und so ausreichend zu liefern, wie sie an der Kathode herausplattiert werden.
  • Von den drei Methoden eines ionischen Transports ist nur einer -- Konvektion (natürliches oder insbesondere künstliches Rühren oder Bewegen des Elektrolyten) sehr effektiv dabei, eine frische Ionenversorgung zu der Kathode hin zu bringen. Allerdings arbeitet an der Oberfläche der Kathode selbst und bei einem sehr kurzen Abstand von der Oberfläche (Dicke der Grenzschicht) eine Konvektion nicht, da der Elektrolyt fast immobil ist. Ein schneller Transport stoppt hier, und der letzte, sehr kurze, allerdings extrem wichtige, Abstand (von der äußeren Extremität der Grenzschicht zu der Oberfläche der Kathode) muß durch die Kräfte einer Ionen-Migration, den am wenigsten effektiven Transportmodus, eine Diffusion, vernachlässigt werden. Eine Diffusion ist die Bewegung chemischer Spezien, entweder ionisch oder ungeladen, durch die Lösung als Folge eines Konzentrationsgradienten. Es ist eine Folge einer zufälligen Bewegung der Ionen oder Moleküle, die dazu führt, eine gleichmäßigere Verteilung der verschiedenen Spezies durch die Lösung hindurch zu produzieren. Demzufolge führt die Verarmung einer Spezie am nächsten zu der Kathode zu einer Bewegung dieser Spezie von der Masse der Lösung zu der Kathode hin.
  • Dieser Bereich am nächsten zu der Elektrode, wo sich die Konzentration irgendeiner chemischen Spezies von ihrer Konzentration in der Masse der Lösung unterscheidet, wird als die Diffusionsschicht bezeichnet. Die Grenze zwischen der Diffusionsschicht und der Masse der Lösung ist keine scharfe Linie; sie ist wahlweise als der Bereich definiert worden, wo sich die Konzentration irgendeiner Spezies von ihrer Konzentration in der Masse der Lösung um 1 Prozent oder mehr unterscheidet. In diesem Bereich ist, wie ausgeführt worden ist, eine Konvektion vernachlässigbar.
  • Die Diffusionsrate, R, ist proportional zu dem Konzentrationsgradienten an der Elektrode. Die Proportionalitätskontante D wird als die Diffusionskonstante bezeichnet. Die Rate kann ausgedrückt werden als: R=D(Co-Ce)/δN
  • Hierbei ist Co die Konzentration der Hauptmasse, Ce die Konzentration an der Elektrodenoberfläche und δN ist die effektive Dicke der Diffusionsschicht (manchmal als die Nernst-Dicke bezeichnet). Die Differenz zwischen Ce und Co bewirkt eine Konzentrations-Polarisation. Wenn sich δN erniedrigt, erhöht sich die Diffusionsrate. Eine Bewegung erniedrigt δN, wodurch sich demzufolge die Diffusionsrate erhöht.
  • Eine Diffusion ist, weitgehendst, ein langsamerer und weniger effektiver Transportmodus als eine Konvektion und sie stellt eine Engstelle im Hinblick auf eine maximale Rate dar, unter der ein galvanischer Niederschlag ausgeführt werden kann.
  • Wenn der elektrische Strom des galvanischen Niederschlagsprozsses bewirkt, daß die "Herausplattier" -Rate schneller als die Fähigkeit des Massentransports ist, um neue Ionen zu liefern, und zwar durch die "stagnierende" Diffusionsschicht und zu der Kathode, wird die schnittstellenmäßige Konzentration der Ionen Null werden und die entsprechende Stromdichte wird als eine begrenzende Stromdichte bezeichnet.
  • Galvanische Niederschläge sind "kristallin", d.h. sind aus "Bauemheiten", aufgebaut, wobei jede eine Anordnung aus Atomen, wiederholt in drei zueinander senkrechten Richtungen, ist. Kristalle, die sich gegenseitig in einer fortlaufenden Weise berühren, um einen metallischen Körper aufzubauen, werden als Körner bezeichnet. Eine Korngröße und -orientierung galvanischer Niederschläge variieren stark, was eine Variation der "Textur" oder "Morphologie" des Niederschlags verursacht, z.B. eine Variation der makroskopischen und mikroskopischen, kristal lographischen Charakteristika des Niederschlags.
  • Wie zuvor erwähnt ist, besteht ein Kristallwachstum zuerst aus der Bildung von Kernen oder winzigsten neuen Kristallen, gefolgt durch das Wachstum existierender Kristalle. Irgendein "Plattierzustand", der die Rate einer Bildung von Kernen erhöht, tendiert zu einer Erhöhung der Zahl der Kristalle, während die entgegengesetzten Zustände die Erhöhung verhindern.
  • Der Ausdruck "Plattierbedingungen" ist dazu vorgesehen, sich auf Bedingungen einer Regenerierung von Metallionen an der Kathoden-Elektrolyt-Grenzfläche zu beziehen, mit anderen Worten auf die Massenübertragung. Solche Plattierbedingungen, die den Massentransport erhöhen, werden auch das Wachstum existierender Kristalle fördern, während solche Bedingungen, die den Massentransport erniedrigen, die Bildung neuer Kerne fördern werden. Da das Verhältnis dieser zwei Prozesse -- Bildung von neuen Kernen gegenüber dem Wachstum eines existierenden Kristalls -- die Struktur des galvanischen Niederschlags bestimmt, folgt, daß die Massenübertragung die Struktur der galvanischen Niederschläge bestimmt.
  • Hieraus wiederum ist aus der Massenübertragungsgleichung zu sehen, daß das Verhältnis J/JDl, stark von der Dicke der Diffusionsschicht abhängt, die wiederum von den hydrodynamischen Bedingungen des Elektrolyten, in diesem Fall von den hydrodynamischen Bedingungen in dem Anoden-Kathoden-Spalt, abhängt.
  • Die Massenübertragungsrate ist proportional zu der Differenz zwischen den Ionenkonzentrationen in der Menge eines Elektrolyten und an der Grenzfläche und umgekehrt proportional zu der Diffusionsschichtdicke. Die vorliegende Erfindung verwendet vorteilhaft diese Beziehung.
  • Demzufolge ist in der ersten galvanischen Niederschlagszone, die für den galvanischen Niederschlag des "Kerns" der Folie verantwortlich ist, und zwar unter den Bedingungen einer exzellenten Massenübertragung aufgrund der hohen Geschwindigkeit des Elektrolyten und einer moderaten Stromdichte, die Diffusionsschicht sehr dünn und die Differenz zwischen einer Kupferkonzentration in der Menge des Elektrolyten und der Flüssigkeits-Feststoff-Grenzfläche ist sehr niedrig. Kupfer, das unter solchen Bedingungen plattiert ist und zusätzlich bei dem Vorhandensein von Verfeinerungsmittel besitzt eine Mikrostruktur, die aus fein gekörnten und dicht gepackten, basis-orientierten Kristalliten besteht. Als Folge einer solchen Mikrostruktur wird der Kern der Folie mit exzellenten mechanischen und metallurgischen Eigenschaften ausgestattet, die in der Industrie der gedruckten Schaltungen unentbehrlich sind. Die äußere Oberfläche des "Kerns" ist aus dichten, konischen, Mikro-Peaks und Mikro-Tälern aufgebaut.
  • In der darauffolgenden zweiten galvanischen Niederschlagszone sind, obwohl der Elektrolyt derselbe wie in der ersten Zone ist, die anderen Bedingungen, die eine Massenübertragung bestimmen, bewußt angeordnet und so beibehalten, um eine schlechte Massenübertragung zu haben. Demgemäß unterstützen solche Bedingungen einen galvanischen Niederschlag von feldorientierten Mikro-Strukturen, die dicht über die Mikro- Peaks der Oberfläche des "Kern"-Niederschlags niedergeschlagen sind, der in der vorhergehenden (ersten) galvanischen Niederschlagszone gebildet ist.
  • Ein feld-orientiertes Wachstumsverhalten ist eine Folge einer schlechten Massenübertragung und einer damit zusammenhängenden hohen Konzentrations-Polarisation. Diese Bedindungen sind wiederum eine Folge einer hohen Stromdichte und einer laminaren Strömung des Elektrolyten (d.h. eine Bedingung einer natürlichen Konvektion, im Gegensatz zu einer erzwungenen Konvektion in der ersten galvanischen Niederschlagszone). Demzufolge ist die Diffusionsschicht dick und die Differenz zwischen einer Kupferkonzentration in der Menge des Elektrolyten und der Flüssigkeits-Feststoff-Grenzfläche ist hoch, während das Verhältnis J/JDl niedrig ist. Unter solchen Bedingungen, und zusätzlich bei dem Vorhandensein von Verfeinerungsmitteln besteht der galvanische Kupferniederschlag aus dichten, spärischen Mikro-Vorsprüngen, die dicht über die Mikro-Peaks der Oberfläche des "Kern"-Niederschlags, der in der vorhergenden (ersten) galvanischen Niederschlagszone gebildet ist, verteilt sind. Diese Beschichtung aus spärischen Mikro-Vorsprüngen bildet eine "Verbindungs-Behandlung" auf der matten Seite der Folie, da sie stark einen Oberflächenbereich erhöht, der zum Anbinden der polymeren Materialien verfügbar ist. Anders ausgedrückt produziert die zweite galvanischen Niederschlagszone auf der matten Seite der Folie einen Niederschlag, der durch einen Rauhigkeitsfaktor (ein Verhältnis des wahren Flächenbereichs zu dem scheinbaren Flächenbereich) charakterisiert ist, der am besten zum Anbinden einer Kupferfolie an polymere Substrate geeignet ist. Als Zusammenfassung kann gesagt werden, daß in den zwei galvanischen Niederschlagszonen das Wachstum von zwei unterschiedlichen galvanischen Niederschlägen (im Hinblick auf deren Mikro-Struktur), die zwei unterschiedliche Funktionen besitzen, durch Einrichten und Beibehalten in jeder Zone von unterschiedlichen Massenübertragungsbedingungen, insbesondere der hydrodynamischen Bedingungen und der Stromdichten, erreicht wird. Aufgrund der vorstehenden Differenzen bei dem und als Folge von dem Vorhandensein bestimmter Verfeinerungsmittel werden sehr unterschiedliche Mikro-Strukturen des Niederschlags in jeder Zone erhalten, gerade obwohl der Elektrolyt in beiden Zonen derselbe ist.
  • Die vorliegende Erfindung macht auch von einem Vorteil eines anormalen Verhaltens von Verfeinerungsmitteln in Bezug auf den Einfluß, den diese Mittel auf die Mikro-Struktur haben und deshalb auf die Eigenschaften und die funktionalen Applikationen galvanischer Niederschläge, Gebrauch.
  • Verfeinerungsmittel in Kombination mit exzellenten Massenübertragungsbedingungen (wie sie durch das Verhältnis J/JDl dargestellt sind) in der ersten galvanischen Niederschlagszone verringern die Korngröße des Niederschlags und helfen demzufolge dabei, einen basis-orientierten, fein gekörnten und kompakten galvanischen Niederschlag zu produzieren -- kurz gesagt eine Struktur, die sicherstellt, daß die Eigenschaften und Funktionen des "Kerns" der Folie (der in der ersten galvanischen Niederschlagszone gebildet ist) sehr gut sind. Andererseits unterstützen Verfeinerungsmittel, kombiniert mit schlechten Massenübertragungsbedingungen, wie in der zweiten galvanischen Niederschlagszone, dabei, feld-orientierte, mikro-nodulare bzw. mikro-knöllchenförmige Niederschläge zu produzieren, deren individuelle Partikel nach außen von der Oberfläche der Folie vorstehen und mikro-spärisch in ihrer Form sind. Solche spärischen Mikro-Niederschläge funktionieren exzellent als eine "Verbindungs-Behandlung" zwischen einer Kupferfolie und polymeren Substraten
  • Da die Prozesse variabel sind, die eine Massenübertragung beeinflussen (Stromdichte, Kupferionenkonzentration, Elektrolyttemperatur, Grad einer Bewegung), nicht von derselben Größenordnung sind, können deren Effekte kumulativ und voneinander abhängig sein. Demzufolge kann man durch geeignete Auswahl und quantitative Kontrolle dieser Variablen eine erwünschte Struktur des galvanischen Niederschlags erreichen, der am besten dazu geeignet ist, die technische Funktion des galvanischen Niederschlags zu erfüllen.
  • Die Elektrokristallisation (Kristalihabitus) eines galvanisch niedergeschlagenen Metalls wird durch die Massenübertragung der Metallionen zu der Kathode beeinflußt. Hieraufhin kann diese Massenübertragung durch das Verhältnis der Stromdichte und der Mengenkonzentration der Metallionen (C) charakterisiert werden. Umgekehrt können das Verhältnis der Stromdichte und die begrenzende Stromdichte (auch als Diffusionsgrenzstromdichte, Jdl, bezeichnet) verwendet werden, um eine Massenübertragung zu quantifizieren. Ein solches Verhältnis kann beschrieben werden als:
  • J/Jdl=V x δ/n x F x D/xJ/C
  • V - stöchiometrischer Koeffizient von Cu++
  • δ - Diffusionsschichtdicke
  • n - Zahl der Elektronen, die bei der Kathodenreaktion (2 für Kupfer) involviert sind
  • F - Faraday'sche Konstante
  • D - Diffusionskoeffizient der Metallionen
  • Aus dem Vorstehenden kann gesehen werden, daß eine Verschiebung von einem Typ einer Struktur eines glavanischen Niederschlags zu einem anderen Typ einer Struktur durch Verschiebung des Verhältnisses J/JDl, oder das J/C-Verhältnis, erreicht werden kann.
  • Man hat empirisch einen Satz Bedingungen für einen galvanischen Niederschlag des Niederschlags in dem Behandlungsschritt, oder an der zweiten Zone, eingerichtet, der eine hohe Abziehfestigkeit mit dem niedrigen oder mittleren Rz der matten Seite, ein insgesamt gleichförmiges und gefälliges Erscheinungsbild, kombiniert.
  • Zum Beispiel besaß die Super-Anode, die verwendet ist, 0,11 m x 1,52 m (4,5" x 60"), was 17 Quadratdezimetern, DCM², entspricht. Der maximale Strom, der verwendet war, betrug 3.400 A, mit einer damit verbundenen Stromdichte von 200 A/DCM². Diese Bedingungen wurden mit dem Elektrolyten einer "normalen" Kupferkonzentration von 95g/l oder dergleichen verwendet. Eine Folie mit einer hohen Abziehfestigkeit wurde erhalten. Offensichtlich können mit den Elektrolyten niedrigerer Cu-Konzentrationen, niedrigerer Stromdichten, einen ähnlichen Typ eines Wachstums sicherstellen.
  • Als eine allgemeine Regel kann gesagt werden, daß unter einem konstanten Niveau einer Gelatine-Zugaberate eine Erhöhung der Stromdichte die Mikro-Struktur des Niederschlags von einem kontinuierlichen Wachstum zu einer diskontinuierlichen Vielschicht und dann zu einer feld-orientierten hin ändert.
  • Die Rolle von Inhibitoren, manchmal als Verfeinerungsmittel bezeichnet, ist vielleicht einer der wichtigsten Faktoren, der einen galvanischen Niederschlags- und Behandungs- Prozeß beeinflußt.
  • Allgemein kann gesagt werden, daß unter einer konstanten Stromdichte eine Erhöhung der Zugaberate von Gelatine bewirkt, daß sich die Mikro-Struktur der matten Seite graduell von basis-orientierten Formen zu feld-orientierten Formen hin ändert. Allerdings erscheint es, daß dabei einige Anomalien vorhanden sind. Bei sehr niedrigen Konzentrationen scheint Gelatine eine Kupferkorngröße zu erhöhen. Mit sich erhöhenden Konzentrationen vermindert sich die Korngröße (wie dies erwartet werden soltle). Bei oder nahe begrenzender Stromdichten bewirken hohe Konzentrationen einer Gelatine die Bildung von pulvrigen Niederschlägen.
  • Eine hohe Geschwindigkeit des Elektrolyten ermöglicht einen wesentlichen Spielraum beim Verringern einer Kupferkonzentration. Eine gute, nicht poröse Folie mit 0,1 Skg/m² (1/2 oz.) wurde bei einer Cu-Konzentration bis zu 35 gil hergestellt; allerdings ist die Auswahl einer Kupferkonzentration eng mit der Auswahl einer Stromdichte, einer Elektrolytlösungsgeschwindigkeit und der Zugaberate von Verfeinerungsmitteln verknüpft. Als eine allgemeine Regel kann gesagt werden, daß bei niedrigeren Cu-Konzentrationen die niedrigeren Stromdichten ausreichend sind, um die Bildung von stark angehafteten Mikro-Nodulen zu unterstützen.
  • Die Temperatur ist extrem wichtig bei der Massenübertragung, da sie eine Diffusion äußerst stark beeinflußt. Allerdings beeinflußt die Temperatur die Massenübertragung in einer Art und Weise ähnlich zu derjenigen der Kupferkonzentration. Eine erhöhte Temperatur ändert die Mikro-Struktur des Niederschlags in gewisser Weise ähnlich zu dem Erhöhen in der Cu-Konzentration; das Umgekehrte ist auch der Fall. Es ist vorteilhaft, die Temperatur konstant zu halten, am bevorzugtesten bei ungefähr 65º C, obwohl sich die Temperatur, die ausgewählt ist, gemäß anderen Prozeßparametern variieren kann.
  • Am bevorzugtesten wird ungefähr 100 g/l Säurekonzentration verwendet, allerdings können größere oder geringere Konzentrationen in dem Elektrolyten eingesetzt werden.
  • Die Elektrolytgeschwindigkeit ist ein Instrument beim Erreichen gleichförmiger und mit niedrigem Profil versehener, stark verbundener Mikro-Strukturen. Eine turbulente Strömung verdünnt die Diffusionsschicht nach unten und bewegt demzufolge die begrenzende Stromdichte zu viel höheren Werten hin.
  • Das Trommelbehandlungs-Einrichtungsgerät der vorliegenden Erfindung sollte mit Pumpen ausgestattet werden, die zum Erzeugen einer Elektrolytgeschwindigkeit in der ersten Zone bis zu 3 m/sec. geeignet sind. Ein Bewegen zu höheren Geschwindigkeitswerten hin verbessert die Chancen einer Anpassung und zur gleichen Zeit Kriterien einer hohen Abziehfestigkeit und der Gleichförmigkeit von Rz und das Erscheinungsbild der Kupferfolie.
  • Eine extrem niedrige Konzentration von Gelatine beeinflußt stark die Struktur und demzufolge die Eigenschaften der Folie. Es erscheint, daß ein Molekül aus Gelatine eine sehr große Zahl Kupferionen beeinflussen kann und dies auch tut. Es ist dabei ein geringer Zweifel vorhanden, daß eine Adsorption der Gelatine wesentlich für ihren Modus eines Moderierens des Kupferniederschlagsprozesses und der Bildung der Verbindungsoberfläche ist. Da die Gelatine-Moleküle in dem hier vorliegenden Elektrolyten positiv aufgeladen werden, ist es wahrscheinlich, daß die Gelatine einem galvanischen Niederschlag an der Kathode unterworfen wird. Eine Adsorption von Gelatine tendiert dazu, die Größe der Kristalle in dem Niederschlag zu reduzieren. Es kann sein, daß sich Gelatine als ein Inhibitor eines Niederschlags (in einem lokalen Maßstab) verhält, was die lokale Niederschlagsrate erniedrigt und eine Polarisation erhöht. Solche Effekte verstärken eine Bildung neuer Kristall-Kerne auf der Metalloberfläche und unterdrücken ein Wachstum existierender Kristallite, was demzufolge zu einer feineren Kristallstruktur führt. Es folgt dann, daß in einem Mikro-Maßstab Gelatine einen nivellierenden Effekt auf Kupferniederschläge hat.
  • Wie vorstehend diskutiert ist, folgt die Grenze der Difusionsschicht nicht der Profilkontur der Kathode (matte Seite der anwachsenden Folie), sondern liegt weiter von der Tiefe der Täler als von den Peaks weg. Die effektive Dicke einer Diffusionsschicht zeigt deshalb Variatonen, die zu Variationen einer lokalen Konzentrations-Polarisation führen. Da das Potential der Kathode gleichförmig ist, werden Differenzen in der lokalen Rate eines Metallniederschlags von der Diffusionsrate der Kupferionen und der Moleküle von Gelatine abhängen.
  • Der schematische Querschnitt der Figur 5 stellt das aktive Niederschlagsphänomen an einer Betriebskathode (matte Seite der Folie 34 in dem Elektrolytbad 33) mit Gelatine 71, das an Peaks 34a angesammelt ist, dar, da die Diffusionsrate relativ schnell über den kurzen Abstand von der Diffusionsschichtgrenze ist, während an Tälern 34b eine Diffusion zu langsam ist, um sich mit dem Verbrauch von Gelatine aufrechtzuerhalten. Ein Kupferniederschlag wird relativ an den Peaks, allerdings nicht in den Tälern, verhindert, und demzufolge ergibt sich eine glattere Oberfläche.
  • Die "Wirkung" von Gelatine findet auf der Oberfläche der Kathode statt. Die Oberfläche der Kathode ist die Stelle einer physiochemischen Aktivität zwischen den Phasen und sie ist für solche Phänomene wie Adsorption, Chemisorption, eine Reaktivität oder Katalyse, verantwortlich. Offensichtlich hängen die Aktion und der Mechanismus eines Aufeinandertreffens zusätzlicher Mittel auf kathodische Prozesse zu der Domäne einer physikalischen Oberflächenchemie und dem eng damit in Bezug stehenden Zweig einer kolloiden Chemie zusammen.
  • Gelatine und Hydroxethylzellulose sind Beispiele von Substanzen, die umfangreich als Zugabemittel beim galvanischen Plattieren verwendet werden. Beide sind hydrophile Kolloide. Die besonders komplexe Struktur, die kolbidalen Eigenschaften von tierischem Gelatine, dessen elektrische Ladung, die einen Film bildende Eigenschaften, werden in einem weiten Bereich industrieller Anwendungen eingesetzt, z.B. als ein schützendes Kolloid, als ein dispergierendes und Klärmittel, einen Emulgator und ein Flockungsmittel. Diese Anwendungen demonstrieren tatsächlich, daß sich der Einfluß von Gelatine auf verschiedene Phänomene auswirken könnte, die an den Grenzflächen zwischen Phasen stattfinden. Falls Gelatine alleine in dem Prozeß verwendet wird, ist die Verbindung adäquat, allerdings ist die matte Höhe viel zu hoch. Hydroxyethylzellulose unterstützt dabei allein eine Folie mit einer sehr niedrigen matten Höhe zu produzieren, allerdings führt dies zu einer zu geringen Bindung. Die Mischung von Gelatine eines niedrigen Molekulargewichts (geringer als 10.000) und Gelatine eines höheren Molekulargewichts (größer als 10.000) und Hydroxyethylzellulose in einem Verhältnis 4:1:1 unterstützt dabei, eine Folie zu produzieren, die eine hohe Bindung mit einer niedrigen, matten Höhe kombiniert.
  • Basierend auf der hier vorgenommenen experimentellen Arbeit ist es bevorzugt, den Prozeß der vorliegenden Erfindung unter Verwendung des Elektrolyten, der Kornverfeinerungsmittel und der Plattierparameter, wie sie nachfolgend beschrieben sind, aufzuführen: ELEKTROLYT: Kupfersulfatlschwefelsäure
  • BEVORZUGTE VERFEINERUNGSMITTEL Vorratslösung:
  • Gelatine mit niedrigem Molekulargewicht -4 g/l
  • Gelatine mit hohem Molekulargewicht -1 g/l
  • Hydroxyethylzellulose -1 g/l
  • Zugaberage - am bevorzugtesten -600 mg/min (ausgedrückt als Trockengewicht)
  • bevozugter Bereich -200-1.000 mg/min
  • PLATTIERPARAMETER: Zuführrate von frischem Elektrolyt:
  • 1. in den Spalt zwischen der Trommel und den primären Anoden
  • - am bevorzugtesten - 120 l/min
  • - bevozugter Bereich - 50-200 l/min
  • 2. in den Spalt zwischen der Trommel und der sekundären Anode
  • - am bevorzugtesten - 40 l/min
  • - bevozugter Bereich - 20-100 l/min
  • 3. Stromdichte (Gleichstrom) an den primären Anoden
  • - am bevorzugtesten -50 A pro DCM²
  • - bevorzugter Bereich -20-100 A/DCM²
  • 4. Stromdichte (Gleichstrom) an der sekundären Anode
  • - am bevorzugtesten -200 A/DCM²
  • - bevorzugter Bereich - 100-300 A/DCM²
  • 5. Elektrolyt--Geschwindigkeit in dem Spalt zwischen der Trommel und den primären Anoden, um eine turbulente Strömung zu erzeugen
  • - am bevorzugtesten - 115 m/sec
  • - bevorzugter Bereich - 0,8-3m/sec oder mehr
  • 6. Elektrolyt--Geschwindigkeit in dem Spalt zwischen der Trommel und der sekundären Anode, um eine laminare Strömung zu erzeugen
  • - am bevorzugtesten - nur, daß erforderlich ist, Cu++ in dem Elektrolyten in dem Spalt zu erneuern
  • - bevorzugter Bereich, stillstehend - 0,1 m/sec
  • Eine Kupferfolie mit 0,3 kg/m² (1 oz.) wurde gemäß der vorliegenden Erfindung auf einer Plattiermaschine des Typs, der vorstehend beschrieben und in den Figuren 1 und 3 beschrieben ist, hergestellt, und zwar unter Einsatz der bevorzugtesten Plattierparameter, Verfeinerungsmittel und des Elektrolyten, wie dies vorstehend beschrieben ist. Die Folie wurde durch galvanischen Niederschlag einer Chromatschicht (fecken-geschützt), gefolgt durch eine Sprühaufbringung von Glycidoxysilan auf der matten Oberfläche der Folie. In Fig. 7 ist eine Photonmikrographie (1000-fach), die mit einem Eintrittswinkel von 45º aufgenommen wurde, wobei sie die matte Oberfläche der resultierenden Folie zeigt, dargestellt. Die sich ergebende Folie wurde dann auf ein Epoxidharz/Glasfaser-Prepreg laminiert und dann wurde die Abziehfestigkeit gemessen und dahingehend ermittelt, daß sie 19,3.10² N/m (11lbs./in.) beträgt.
  • Figur 8 stellt die matte Oberfläche einer Folie dar, die so hergestellt ist, wie dies vorstehend beschrieben ist, allerdings nur unter Verwendung der Hauptanode, wobei der Strom der sekundären Anode abgeschaltet ist. Nach einem Laminieren an einem Epoxi/Glasfaser-Prepreg wurde die Abziehfestigkeit gemessen, und dahingehend ermittelt, daß sie 700 N/m (4 lbs./in.) beträgt.
  • Aus einem Vergleich der Figuren 7 und 8 kann gesehen werden, daß die Folie der Figur 8 eine matte (Verbindungs-) Oberfläche besitzt, die aus Mikro-Peaks und Tälern zusammengesetzt ist, während die Folie der Figur 7 eine matte Oberfläche besitzt, die aus sphärischen Mikro-Vorsprüngen zusammengesetzt ist, die auf Mikro-Peaks und Tälern ähnlich zu solchen der Figur 8 niedergeschlagen wird. Weiterhin wird die gesamte Verbindungsoberfläche der Folie gemäß der vorliegenden Erfindung vergrößert, die, während eines Laminierens, ermöglicht, daß das geschmolzene Epoxidharz in die so gebildeten Mikro-Kavitäten fließt, so daß eine höhere Abziehfestigkeit erreicht wird.
  • Zusätzliche Vorteile und Modifikationen der Erfindung, wie sie vorstehend beschrieben ist, werden leicht Fachleuten auf dem betreffenden Fachgebiet ersichtlich werden. Deshalb ist die Erfindung in ihren breiteren Aspekten nicht auf die spezifischen Details, die repräsentativen Vorrichtungen und die erläuternden Beispiele, die dargestellt und beschrieben sind, beschränkt. Demgemäß können Abwandlungen von solchen Details vorgenommen werden, ohne den Schutzumfang der Erfindung, wie er in den beigefügten Ansprüchen definiert ist, zu verlassen.

Claims (5)

1. Elektrolytisches Verfahren zum Herstellen einer Metalifolle, die eine behandelte Oberfläche mit niedrigem Profil besitzt, wobei das Verfahren aufweist:
(a) Hindurchschicken eines elektrischen Stroms durch eine Elektrolyt-Lösung, wobei der Elektrolyt eine Konzentration von Metallionen und einem Kornverfeinerungsmittel enthält, das eine Mischung aus mindestens einer Gelatine und einem Zelluloseether umfaßt, von einer primären Anode zu einer Kathode, die von der Anode beabstandet ist, in einer ersten galvanischen Niederschlagszone bei einer ersten Stromdichte von ungefähr 20 bis 100 A/DCM², während der Elektrolyt zwischen der Kathode und der primären Anode unter turbulenten Strömungsbedingungen zirkuliert, die eine Geschwindigkeit von mindestens 0,8 m/sec umfassen, um galvanisch auf der Kathode eine primäre Metallfolie niederzuschlagen, die eine matte Oberfäche besitzt; und
(b) Hindurchführen eines elektrischen Stroms durch die Elektrolyt-Lösung von einer sekundären Anode, die elektrisch von der primären Anode isoliert ist und von der Kathode beabstandet ist, zu der Kathode in einer zweiten galvanischen Niederschlagszone bei einer zweiten Stromdichte, die größer ist als diejenige in der ersten galvanischen Zone und die mindestens ungefähr 100 A/DCM² beträgt, allerdings nicht größer als die begrenzende Stromdichte, während der Elektrolyt in der zweiten Zone zwischen der Kathode und der sekundären Anode unter laminaren Strömungsbedingungen zirkuliert, die eine Geschwindigkeit von ungefähr 0,1 m/sec oder weniger umfassen, um Mikro-Knöllchen dieses Metalls auf der matten Oberfläche niederzuschlagen.
2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei der Elektrolyt in der zweiten galvanischen Niederschlagszone eine Mischung aus Gelatinen, die unterschiedliche Molekulargewichte besitzen, und einer Hydroxyalkylzellulose enthält.
3. Verfahren nach Anspruch 1, wobei
(a) die Kathode eine sich drehende Kathoden-Trommel ist, die mindestens teilweise in den Elektrolyten eingetaucht ist; und
(b) der Elektrolyt, der in der ersten und der zweiten galvanischen Niederschlagszone zirkuliert, eine Kupfersulfat-Schwefelsäure-Lösung aufweist, die eine Kupferkonzentration von 30 bis 100 g/l, eine Schwefel säure-Konzentration von 40 bis 150 g/l, besitzt, ein Gelatine/Zelluloseether-Kornverfeinerungsmittel enthält und auf einer Temperatur von 38ºC - 82ºC (100ºF bis 180ºF) gehalten wird.
4. Kupferfolie, die nach dem Verfahren gemäß Anspruch 1 hergestellt ist.
5. Kupferfolie, die nach dem Verfahren gemäß Anspruch 3 hergestellt ist.
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