DE69030049T2 - Verfahren zur Herstellung einer Einrichtung mit einem supraleitenden Film - Google Patents

Verfahren zur Herstellung einer Einrichtung mit einem supraleitenden Film

Info

Publication number
DE69030049T2
DE69030049T2 DE69030049T DE69030049T DE69030049T2 DE 69030049 T2 DE69030049 T2 DE 69030049T2 DE 69030049 T DE69030049 T DE 69030049T DE 69030049 T DE69030049 T DE 69030049T DE 69030049 T2 DE69030049 T2 DE 69030049T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
manufacturing
superconducting film
superconducting
film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE69030049T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69030049D1 (de
Inventor
Hideo Nojima
Masayoshi Koba
Masaya Nagata
Hidetaka Shintaku
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP1280349A external-priority patent/JPH03142887A/ja
Priority claimed from JP2003191A external-priority patent/JP2529746B2/ja
Priority claimed from JP2140655A external-priority patent/JPH0433382A/ja
Priority claimed from JP2145085A external-priority patent/JP2524421B2/ja
Application filed by Sharp Corp filed Critical Sharp Corp
Publication of DE69030049D1 publication Critical patent/DE69030049D1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE69030049T2 publication Critical patent/DE69030049T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N60/00Superconducting devices
    • H10N60/01Manufacture or treatment
    • H10N60/0268Manufacture or treatment of devices comprising copper oxide
    • H10N60/0296Processes for depositing or forming superconductor layers
    • H10N60/0352Processes for depositing or forming superconductor layers from a suspension or slurry, e.g. screen printing; doctor blade casting
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N60/00Superconducting devices
    • H10N60/20Permanent superconducting devices
    • H10N60/203Permanent superconducting devices comprising high-Tc ceramic materials
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S505/00Superconductor technology: apparatus, material, process
    • Y10S505/725Process of making or treating high tc, above 30 k, superconducting shaped material, article, or device
    • Y10S505/739Molding, coating, shaping, or casting of superconducting material
    • Y10S505/741Coating or casting onto a substrate, e.g. screen printing, tape casting
DE69030049T 1989-10-27 1990-10-26 Verfahren zur Herstellung einer Einrichtung mit einem supraleitenden Film Expired - Fee Related DE69030049T2 (de)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1280349A JPH03142887A (ja) 1989-10-27 1989-10-27 パターン化超電導膜の製造方法
JP2003191A JP2529746B2 (ja) 1990-01-09 1990-01-09 超電導膜の製造方法
JP2140655A JPH0433382A (ja) 1990-05-29 1990-05-29 セミラック超電導膜の製造方法
JP2145085A JP2524421B2 (ja) 1990-05-31 1990-05-31 パタ―ン化超電導膜の製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69030049D1 DE69030049D1 (de) 1997-04-10
DE69030049T2 true DE69030049T2 (de) 1997-10-16

Family

ID=27453811

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69030049T Expired - Fee Related DE69030049T2 (de) 1989-10-27 1990-10-26 Verfahren zur Herstellung einer Einrichtung mit einem supraleitenden Film

Country Status (3)

Country Link
US (1) US5262026A (de)
EP (1) EP0425308B1 (de)
DE (1) DE69030049T2 (de)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0482777B1 (de) * 1990-10-01 1996-12-11 Sharp Kabushiki Kaisha Verfahren zur Herstellung von Überzügen aus supraleitendem Oxyd
DE4402117C2 (de) * 1994-01-25 1995-11-23 Siemens Matsushita Components Hochtemperatur-Gassensor und Verfahren zu seiner Herstellung
DE19962170A1 (de) * 1999-12-22 2001-07-12 Steag Micro Tech Gmbh Substrahthalter
CN102115908A (zh) * 2009-12-31 2011-07-06 中国科学院微电子研究所 去除抗蚀剂的方法及装置
WO2014109722A1 (en) 2013-01-14 2014-07-17 Kaya Cengiz A method for production and coating of antibacterial copper (ii) oxide (cuo) nano-tube

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA1326467C (en) * 1987-04-22 1994-01-25 Kouichi Iwata Process for producing a superconducting article
JPH01133904A (ja) * 1987-07-17 1989-05-26 Nisshin Steel Co Ltd 各種形状の超電導体の作製法
DE3884514T2 (de) * 1987-07-29 1994-02-10 Sharp Kk Verfahren und Anordnung zum Nachweisen eines Magnetfeldes mittels der Magneto-widerstandseigenschaften eines supraleitenden Materials.
JPS6469816A (en) * 1987-09-07 1989-03-15 Showa Denko Kk Method of manufacturing ball joint
DE3731275A1 (de) * 1987-09-17 1989-04-06 Interatom Verfahren zur herstellung supraleitender keramischer schichten
JPH01101694A (ja) * 1987-10-14 1989-04-19 Mitsubishi Electric Corp 無機質配線板の製造方法
US4952557A (en) * 1987-11-09 1990-08-28 Ametek, Inc. Formation of superconducting articles by electrodeposition
CN1035387A (zh) * 1987-11-09 1989-09-06 埃米特克有限公司 用电沉积的方法形成超导制品
US4870051A (en) * 1988-04-29 1989-09-26 Allied-Signal Inc. Method of forming superconducting ceramics by electrodeposition
JPH02130968A (ja) * 1988-11-11 1990-05-18 Fuji Photo Film Co Ltd 超電導物質のパターン形成方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP0425308A2 (de) 1991-05-02
DE69030049D1 (de) 1997-04-10
EP0425308B1 (de) 1997-03-05
EP0425308A3 (en) 1991-08-14
US5262026A (en) 1993-11-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE68929150D1 (de) Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung
DE69032773D1 (de) Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung
DE69131570D1 (de) Verfahren zur Herstellung einer Dünnfilm-Halbleiteranordnung
DE3855861D1 (de) Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelementes mit einer isolierten Gitterstruktur
DE69613723T2 (de) Verfahren zur Herstellung einer Halbleiteranordnung mit einem Kondensator
DE69226687D1 (de) Verfahren zur Herstellung einer SOI-Struktur mit einem DRAM
DE69232432T2 (de) Verfahren zur Herstellung einer Halbleiteranordnung
DE69231803T2 (de) Verfahren zur Herstellung einer Halbleiteranordnung
DE69132385T2 (de) Verfahren zur Herstellung einer flachen Anzeigevorrichtung
DE69127928T2 (de) Verfahren zur Herstellung einer integrierten Schaltung mit einem Hochpräzisionswiderstand
DE69128135D1 (de) Verfahren zur Herstellung einer mikroelektronischen Einrichtung mit einem ersten und einem zweiten Element
DE69030709T2 (de) Verfahren zur Herstellung einer Halbleiteranordnung
DE69031702T2 (de) Verfahren zur Herstellung einer Halbleiteranordnung
DE68929216D1 (de) Verfahren zur Herstellung einer Halbleiteranordnung mit Dünnfilm-Widerstand
DE68911453T2 (de) Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung mit Wellenleiterstruktur.
DE69015721D1 (de) Verfahren zur Herstellung einer supraleitenden Schaltung.
DE69316092D1 (de) Verfahren zur Herstellung einer supraleitenden Einrichtung mit einem supraleitenden Kanal aus oxidisch supraleitendem Material
DE69019200D1 (de) Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung mit einer Mesa-Struktur.
DE69133009D1 (de) Verfahren zur Herstellung einer Halbleiteranordnung mit elektrisch isolierten Komponenten
DE69030049T2 (de) Verfahren zur Herstellung einer Einrichtung mit einem supraleitenden Film
DE69031153T2 (de) Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung
DE3855230T2 (de) Verfahren zur Herstellung eines supraleitenden Gegenstandes
DE69024859T2 (de) Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung
DE69119705T2 (de) Verfahren zur Herstellung einer supraleitenden Oxyd-Dünnschicht
DE68926241T2 (de) Verfahren zur herstellung eines halbleiterelements mit supraleitendem material

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee