CN102115908A - 去除抗蚀剂的方法及装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种去除抗蚀剂的方法及装置，涉及半导体印制电路板脱胶技术领域，该方法包括将硫酸和水混合制成硫酸和水的混合液的步骤；将待处理的器件放入电解槽中，将所述硫酸和水的混合液加入到电解槽中，以直流稳压电源作为电解电源，电解所述硫酸和水的混合液的步骤。本发明的装置包括直流稳压电源、阴极、托盘、阳极、电解槽和磁力搅拌器；所述直流稳压电源的阴阳极分别与所述阴极和阳极连接，所述磁力搅拌器位于所述电解槽的底部，所述托盘固定在所述磁力搅拌器的上方。本发明的去除抗蚀剂的方法硫酸使用量减少，完全排除了过氧化氢的使用。
Description
技术领域
本发明涉及半导体印制电路板脱胶技术领域，特别是涉及一种去除抗蚀剂的方法及装置。
背景技术
抗蚀剂是一种屏蔽材料，使用在平版印刷过程中，在芯片底层形成半导体电路。一旦电路被侵蚀，抗蚀剂必须被除去，一般通过将硫酸与过氧化氢混合产生的过氧硫酸来完成。但是，一旦该过程完成，很难再循环使用硫酸，因为硫酸被混合液中的过氧化氢分解产生的副产物水稀释了(H2SO4+H2O2→H2SO5+H2O)。大量使用硫酸，污染环境，增加了污水处理的成本。
发明内容
本发明的主要目的在于，克服现有的去除抗蚀剂的方法存在的缺陷，而提供一种新的去除抗蚀剂的方法，所要解决的技术问题是缓解环境污染，降低了废水处理成本，从而更加适于实用，且具有产业上的利用价值。
本发明的另一目的在于，提供一种去除抗蚀剂的方法，该方法包括将硫酸和水混合制成硫酸和水的混合液的步骤；将待处理的器件放入电解槽中，将所述硫酸和水的混合液加入到电解槽中，以直流稳压电源作为电解电源，电解所述硫酸和水的混合液的步骤。
其中，所述硫酸和水的混合液中，硫酸和水的体积比为2∶1。
本发明的再一目的在于，提供一种去除抗蚀剂的装置，该装置包括直流稳压电源(1)、阴极(2)、托盘(6)、阳极(3)、电解槽(4)和磁力搅拌器(5)；所述直流稳压电源(1)的阴阳极分别与阴极(2)和阳极(3)连接，磁力搅拌器(5)位于电解槽(4)的底部，托盘(6)固定在磁力搅拌器(5)的上方。
其中，阴极(2)和阳极(3)均由石墨制成。
本发明的去除抗蚀剂的方法硫酸使用量减少，完全排除了过氧化氢的使用，减少了半导体湿法处理引起的环境污染，增加了废水处理的效率。同时，去除抗蚀剂效率更高，提高了生产力。
附图说明
图1为本发明实施例去除抗蚀剂的装置的结构示意图。
具体实施方式
为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本发明提出的去除抗蚀剂的方法及装置其具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如下。
本发明实施例去除抗蚀剂的方法，包括如下的步骤：
1、将硫酸和水按照2∶1的体积比混合制成硫酸和水的混合液；
2、将上述硫酸和水的混合液加入到电解槽中，将待处理的器件放入电解槽中，以直流稳压电源作为电解电源，电解上述硫酸和水的混合液。
此时硫酸和水在电解槽中发生反应为H2SO4+H2O→H2SO5+2H++2e-，反应产物中没有水。因此不会稀释硫酸，提高了硫酸的循环使用率。过氧化硫是一种强氧化剂，可以促进抗蚀剂的去除，其效果和硫酸与双氧水混合液(SPM)脱胶工艺具有相同的效果。
通过电解硫酸来去除抗蚀剂，使硫酸可以循环使用，大大降低了硫酸的使用量，不再使用过氧化氢溶剂，缓解了环境污染，降低了废水处理成本。同时，电解槽中硫酸浓度基本上不变，反应速率基本维持恒定，使得抗蚀剂去除时间缩短，提高了效率。该方法可以较容易的整合到现有脱胶流程中，为下一代脱胶技术的开发提供良好的基础。
为了有效的实施该方法，还设计了去除抗蚀剂的装置。该装置如附图1所示，包括直流稳压电源1、阴极2、托盘6、阳极3、电解槽4和磁力搅拌器5。
直流稳压电源1的阴阳极分别与阴极2和阳极3连接，阴极2和阳极3均为石墨。磁力搅拌器5位于电解槽4的底部，托盘6固定在磁力搅拌器5的上方。
在实际应用中，将待处理的器件板放入托盘6上，向电解槽4中装入上述硫酸和水的混合液，打开直流稳压电源1的开关，打开磁力搅拌器5进行搅拌，即可去除抗蚀剂。
以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。
Claims (4)
1.去除抗蚀剂的方法，其特征在于：包括将硫酸和水混合制成硫酸和水的混合液的步骤；将待处理的器件放入电解槽中，将所述硫酸和水的混合液加入到电解槽中，以直流稳压电源作为电解电源，电解所述硫酸和水的混合液的步骤。
2.根据权利要求1所述的去除抗蚀剂的方法，其特征在于：所述硫酸和水的混合液中，硫酸和水的体积比为2∶1。
3.去除抗蚀剂的装置，其特征在于：包括直流稳压电源(1)、阴极(2)、托盘(6)、阳极(3)、电解槽(4)和磁力搅拌器(5)；所述直流稳压电源(1)的阴阳极分别与所述阴极(2)和阳极(3)连接，所述磁力搅拌器(5)位于所述电解槽(4)的底部，所述托盘(6)固定在所述磁力搅拌器(5)的上方。
4.根据权利要求3所述的去除抗蚀剂的装置，其特征在于：所述阴极(2)和阳极(3)均由石墨制成。
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2009
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