DE688644C

DE688644C - r koaxialen Teillinsen besteht

Info

Publication number: DE688644C
Application number: DE1937A0083125
Authority: DE
Inventors: Dr Richard Gans
Original assignee: AEG AG
Current assignee: AEG AG
Priority date: 1937-05-29
Filing date: 1937-05-29
Publication date: 1940-02-27
Also published as: DE705829C; FR845262A

Description

Magnetische Elektronenlinse, die aus zwei oder mehr koaxialen Teillinsen besteht Die Erfindung betrifft magnetische Elektronenlinsen, wie sie durch stromdurchflossene Spulen oder permanente Magnete verwirklicht werden können.
Es ist bereits bekannt, zur Vermeidung von Linsenfehlern bzw. zur Aufhebung oder Regelung der durch eine Magnetlinse bewirkten Drehung zwei unter Umständen gepanzerte Linsen, deren Panzerungen eine Wand gemeinsam haben können, in Achsenrichtung hintereinanderzuschalten, wobei die von ihnen erzeugten Felder entgegengesetzte Richtung haben, was für den Fall stromdurchflossener Spulen dadurch realisiert wird, daß der Strom in beiden Spulen im entgegengesetzten Sinne um die Achse fließt. Man hat ferner als anamorphotisches System eine Anordnung von einem oder zwei um 9o° gegeneinander versetzten, am gleichen Achsenort befindlichen Paaren von sich gegenüberstehenden Stabmagneten benutzt. Schließlich ist diä Verwendung eines magnetisierten Ringes als Dauermagnetlinse beschrieben worden.
Die Erfindung schafft dagegen eine Anordnung magnetischer Linsen, bei der die Möglichkeit zur gegenseitigen Beeinflussung der magnetischen Felder wie im erstgenannten Fall gegeben ist, ohne daß wie dort eine übermäßig lange Linse entsteht. Nach der Erfindung sind bei einer magnetischen Linse, die aus zwei oder mehr koaxialen Teillinsen von wenigstens teilweise verschiedenen Durchmessern besteht, diese wenigstens teilweise :am gleichen Ort der Achse, und zwar ineinander, angebracht.
Die Erfindung sei näher erläutert an Hand der Abbildungen, in denen einige Ausführungsbeispiele der Linse nach der Erfindung beispielsweise dargestellt sind. In Abb. i ist die einfachste Form einer derartigen Linse dargestellt. Es bedeutet i eine magnetische Linse, die hier als stromdurchflossener Drahtring .ausgebildet ist, 2 eine stromdurchflossene-Spule von größerem Durchmesser als i, die ebenfalls in dem durch den Pfeil ,angegebenen Sinne vom Strom durchflossen ist. Die Linse i ist im Innern. der Linse 2 angeordnet. Bei dieser Ausführungsform heben sich die von den Linsen erzeugten Felder teilweise auf.
In Abb. 2 ist eine andere Ausführungsform der Linse nach der Erfindung' dargestellt. Hier sind beide Linsen i und 2 ,als stromdurchflossene Spulen ausgebildet, aber die Linse i ist von größerer Länge als die Linse 2 und ragt zu beiden Seiten über diese Linse hinaus.
Ein .ähnlicher Fall ist in Abb. 3 dargestellt, nur mit dem Unterschied, daß hier di:e Linse i mit dem kleineren Durchmesser nur auf der einen Seite über die Linse 2 hinausragt, während umgekehrt die Linse 2 auf der anderen Seite über die Linse i hinausragt.
In Abb. q. sind zwei innere Linsen i und i i gezeichnet. Diese sind als ringförmige Permanentmagnete ausgebildet, deren :einer Pol, z. B. der Nordpol, sich auf der inneren Fläche des Ringes, deren anderer Pol, also der Südpol, sich ,auf der äußeren Seite des Ringes befindet. Bei diesen Linsen kehrt das Magnetfeld auf der Achse sein Vorzeichen in der Mitte der Linse um. Die beiden Linsen i und i i sind von einer weiteren Linse 2 umgeben, die hier wieder als stromdurchflossene Spule .ausgebildet ist.
In Abb.5 schließlich ist der Fall dargestellt, daß drei Linsen mit verschiedenen Innendurchmessern vorhanden sind, die einander zum Teil umgeben. Wie :ersichtlich, befindet sich die Linse i zum Teil in der Linse, ragt ,aber zu beiden Seiten über diese hinaus. Die Linse 2 wird zum Teil von der Linse 3 umgeben, über die sie auf der einen Seite hinausragt. In dem hier angenommenen Fall ragt die Linse i auch noch über die äußere Linse 3 zu beiden Seiten hinaus. Der Vorteil der Linse nach der Erfindung ist der, daß sie bei geringer Platzbeanspruchung (in Richtung der Achse gemessen) beliebig korrigierte Systeme herzustellen gestattet. So kann z. B. eine Linse nach Abb. i als Linse ohne Drehung ausgebildet und außerdem durch geeignete Wahl von Form und Größe .der Teillinsen i und 2 sowie der Größe der -durch sie erzeugten Magnetfelder im elektronenoptischen Sinne korrigiert sein. Die Linse nach der Erfindung eignet sich auch besonders zur Herstellung theoretisch vorausberechneter Linsen mit bestimmten Eigenschaften, z. B. mit möglichst geringer sphärischer Aberration, da der berechnenden Elektronenoptik die kurzen Linsen leichter zugänglich sind als die langen und eine kurze Linse gerade durch die Linse nach der Erfindung leichter ,als durch die bisher bekannten Linsen realisiert werden kann.

Claims

PATENTANSPRÜCHE: i. Magnetische Elektronenlinse, die aus zwei oder mehr koaxialen Teillinsen von wenigstens teilweise verschiedenen Durchmessern besteht, dadurch gekennzeichnet, daß die Teillinsen wenigstens teilweise am gleichen Ort der Achse ineinander angebracht sind.
2. Magnetische Linse nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens zwei der von den Teillinsen erzeugten Magnetfelder entgegengesetzte Richtung haben.
3. Magnetische Linse nach Anspruch i oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß sie durch geeignete Wahl der Form und der Größe der Teillinsen sowie der Größe der durch sie erzeugten Magnetfelder im elektronenoptischen Sinne korrigiert ist. q.. Magnetische Linse nach einem der Ansprüche i bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Felder der Teillinsen so bemessen sind, daß durch die Gesamtlinse keine Drehung des Elektronenbildes hervorgerufen wird.