DE907329C - Permanentmagnetisches Vierfach-Linsensystem - Google Patents

Description

• Um bei permanentmagnetischen elektronenoptischen Systemen die Vergrößerung kontinuierlich regeln zu können, benötigt man Regelanordnungen, welche entweder die magnetische Gesamtspannung des bzw. der Permanentmagneten in weiten Grenzen regeln oder aber diese Gesamtspannung in regelbarer Weise auf die verschiedenen Linsen des Systems verteilen. Es sind bereits verschiedeneAn-Ordnungen bekannt, bei welchen zu diesem Zweck verschiebbare Regelkörper aus permeablem Material vorgesehen sind, welche je nach ihrer jeweiligen Stellung den magnetischen Fluß im System in verschiedener Weise leiten. Bekannte Anordnungen dieser Art sehen beispielsweise vor, daß dieser Regelkörper axial verschiebbar ist oder daß der Regelkörper eine Brücke zwischen der Außenkapsel des Systems und den inneren Linsenteilen bildet. Das bekannte System, auf dessen Regelung sich die vorliegende Erfindung bezieht, besteht aus zwei magnetisch gleichen permanentmagnetischen Doppelsystemen, welche mit ihren äußeren Linsen aneinandergesetzt sind.
• Bei dem vorliegenden permanentmagnetischen Vierfach-Linsensystem sollen erfindungsgemäß zwei axial gegenläufig verschiebbare Regelkörper angeordnet sein, durch die sich je eine Brücke entweder zwischen dem äußeren Mantel und einem inneren Linsenteil oder zwischen verschiedenen inneren Linsenteilen bilden läßt.
• Der Gedankengang der vorliegenden Erfindung wird durch die Abbildung gekennzeichnet. Hier sind die Regelkörper 5 und 6 vorgesehen, die sich gegenläufig axial und symmetrisch zur Mittelebene verschieben. In der linken Hälfte des Bildes sind die Regelkörper 5 und 6 aneinandergelegt und bilden auf diese Weise eine Brücke zwischen dem Außenmantel und dem innersten Linsentubus. In diesem Fall sind alle vier Linsen auf die gleiche magnetische Spannung gebracht worden, so daß die Vergrößerung des Systems ein Maximum ist. In der rechten Hälfte der Abbildung sind die Regelkörper 5 und 6 von der Symmetrieebene nach außen verschoben, so daß sie den zweiten und dritten Linsenspalt vollständig kurzschließen.
• Bei dieser Lage der Regelkörper sind also Linse :2 und 3 nicht magnetisch beaufschlagt, und das System besteht elektronenoptisch nur aus den unveränderten Linsen i und q:. Es ist klar, daß bei Stellungen der Regelkörper, welche zwischen den beiden in der linken und der rechten Bildhälfte dargestellten Endlagen liegen, beliebige Mittelwerte der magnetischen Spannung zwischen o und der vollen Spannung an den beiden Linsenspalten 2 und 3 erreicht werden können.
• Diese für die Vergrößerungsregelung eines Elektronenmikroskops sehr gute Regelungsmöglichkeit tritt dann ein, wenn die beiden Regelkörper 5 und 6 jeweils genau durch einen gemeinsamen Antrieb gegenläufig bewegt werden. Bewegt man dagegen einen der beiden Regelkörper für sich allein, so kann man den Fluß, der durch einen oder beide der regelnden Magneten geht, wesentlich ändern und damit weitere Linsenregelungen durchführen. Es werden sich daher zusammengehörige Werte der Lagen der beiden Regelkörper 5 und 6 finden lassen, bei welchen jeweils das Bild für eine gegebene Objektlage scharf ist, welche sich aber durch verschiedene Gesamtvergrößerungen unterscheiden.
• Wenn die Anordnung nicht mit einer im Innern des Systems angeordneten Wicklung aufmagnetisiertwerden soll, muß sie so gebaut sein, daß sie in der Mittelebene auseinandernehmbar ist, da dann jede Hälfte für sich allein aufmagnetisiert werden muß:

Claims (2)

1. PATENTANSPRÜCHE: i. Permanentmagnetisches Vierfach-Linsensystem, gekennzeichnet durch eine Anordnung von zwei axial gegenläufig verschiebbaren Regelkörpern, durch die sich je eine Brücke entweder zwischen dem äußeren Mantel und einem inneren Linsenteil oder zwischen verschiedenen inneren Linsenteilen bilden läßt.
2. 2. Permanentmagnetisches Vierfach-Linsensystem nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet; daß die beiden Regelkörper durch einen gemeinsamen Antrieb zwangsläufig in gleicher Weise nach beiden Seiten gegenläufig verschiebbar sind.