DE889660C - Anordnung zur Beeinflussung des Verlaufs von Elektronenstrahlen durch elektrisch geladene Feldblenden - Google Patents

Anordnung zur Beeinflussung des Verlaufs von Elektronenstrahlen durch elektrisch geladene Feldblenden

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DE889660C
DE889660C DES22477D DES0022477D DE889660C DE 889660 C DE889660 C DE 889660C DE S22477 D DES22477 D DE S22477D DE S0022477 D DES0022477 D DE S0022477D DE 889660 C DE889660 C DE 889660C
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DE
Germany
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diaphragms
partial
diaphragm
arrangement
field
Prior art date
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Expired
Application number
DES22477D
Other languages
English (en)
Inventor
Reinhold Dr-Ing Ruedenberg
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J29/00Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
    • H01J29/46Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the ray or beam, e.g. electron-optical arrangement
    • H01J29/58Arrangements for focusing or reflecting ray or beam
    • H01J29/62Electrostatic lenses
    • H01J29/622Electrostatic lenses producing fields exhibiting symmetry of revolution
    • H01J29/624Electrostatic lenses producing fields exhibiting symmetry of revolution co-operating with or closely associated to an electron gun
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J29/00Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
    • H01J29/84Traps for removing or diverting unwanted particles, e.g. negative ions, fringing electrons; Arrangements for velocity or mass selection

Landscapes

  • Electron Beam Exposure (AREA)

Description

  • Anordnung zur Beeinflussung des Verlaufs von Elektronenstrahlen durch elektrisch geladene Feldblenden Es ist bekanntlich möglich, .die Bahn von Elektronenstrahlen, wie sie beispielsweise in Kathodenstrahlröhren nach Fig.,i der Zeichnung an der Kathode h erzeugt und verwendet werden, in ihrem räumlichen Verlauf durch elektrische oder magnetische Felder zu steuern. Als Beispiel sind in F ig. i Ablenlkplatten a1 und a2 dargestellt, die den Strahl in zwei verschiedene Richtungen ablenken können und durch deren Steuerung daher wil'lkürlic'h Figuren auf dem Schirm s geschrieben werden können.
  • Es ist weiter bekannt, außer diesen Ablenkplatten elektrostatisch gesteuerte Blenden vorzusehen, die im wesentlichen symmetrisch um die Strahlrichtung verlaufen und den Elektronenstrahl konvergent oder divergent machen oder ihn parallel richten. In Fig. i sind derartige Blenden mit bi und b2 bezeichnet.
  • In Fig.2 ist das elektrostatische Feld einer solchen bekannten geladenen Blende durch seine Kraftlinien dargestellt. Die Aufladung ist al,s Beispiel negativ angenommen. Wenn die Elektronen eines Kathodenstrahles durch die Blende strömen, so werden sie von ihr abgestoßen und suchen auf die Achse zuzusteuern. Sie werden daher aus ihrer ursprünglichen Bahn, die parallel verlaufend angenommen wurde, nach innen zu abgelenkt und in einem konvergenten Bündel in einem Brennpunkt o vereinigt, den sie divergent wieder verlassen.
  • Durch Zusammenstellung derartiger Blenden kann man alle in der Optik bekannten Vorrichtungen, die auf konvergenten Strahlenbüscheln :beruhen, für Elektronenstrahlen nachbilden und damirt eine Reihe interessanter und nützlicher Ergebnisse erzielen. Insbesondere ist es damit möglich, ein Mikroskop aufzubauen, das direkte oder reflektierte Elektronenstrahlen aufnimmt und das sehr viel stärkere Vergrößerungen zuläßt als, unsere optischen Mikroskope mit ihrer Einschränkung durch die Lichtwellenlänge.
  • Die Erfindung betrifft nun eine besonders zweckmäßige Ausbildung solcher elektrisch geladenen Feld#blernden zur Beeinflussung des Verlaufs von Elektronenstrahlen, d!ie den Strahl symmetrisch umgeben und die zur Erzielung einer elektronenoptischen Abbildung auf der Bildfläche eines aus diesen Feldblenden als Linsen aufgebauten Mikroskops ein radiales elektrisches Feld erzeugen, dessen Stärke proportional dem Achsabstand ist. Erfindungsgemäß befindet sich an einer eine Elektronenlinse darstellenden Feldblendernanordnung in der Achsrichtung der Elektronenstrahlen eine Teilblende zwischen zwei Teilblenden, die untereinander dasselbe Potential, jedoch gegenüber der ersten Teilblende ein verschiedenes Potential aufweisen. Die durch die Innenränder der Blendenöffnungen begrenzten Durchtrittsräume der drei '17e-il,blenden sind dabei in der nebeneinander angeordnet.
  • Derartige IVIehrfachiblenden haben erstens den Vorteil, daß man einen wesentlich schärferen Brennpunkt erzielen kann, da das Vorhandensein mehrerer Potentiale eine bessere Möglichkeit gibt, das das Strahlenbündel beeinflussende elektrostatische Feld derart räumlich auszubilden, daß es zu einer scharfen Vereinigung aller Strahlen in einem Brennpunkt kommt. Ein weiterer wesentlicher Vorteil besteht darin, daß man :durch die gegeneinander verschiedenen Potentiale der einzelnen Teilblenden den Wirkungsbereich der Elektronenlinse auf das (Gebiet der Linse. selbst beschränken kann, so daß in einiger Entfernung von der Linse auf den Elektronenstrahl ein Einfluß, der störend sein könnte, nicht. mehr ausgeübt, wird. Durch den räumlich symmetrischen oder annähernd symmetrischen Aufbau der beiden dasselbe Potential aufweisenden Teilblenden zu beiiden Seiten der genannten einen Teilblende wird ferner der Vorteil erzielt, daß die Geschwindigkeit des freien Elektronenstrahles vor und nach dem Durchtritt durch die Elektronenlinse mindestens annähernd dieselbe geblieben ist. Die Elektronenlinse beeinflußt,de.n Strahl also nur im Sinne der gewünschten elektronenoptischen Abbildung.
  • Es ist bereits eine Braunsche Röhre für Ferusehempfänger bekannt, bei der ebenfalls mehrere elektrisch geladene Feldblenden vorgesehen sind, die zur Beeinflussung des Verlaufs des Kathodenstrahles der Röhre dienen und den Strahl auf elektrostatischem Wege konzentrieren sollen. Die Feldblenden dieser Anordnung sind jedoch so ausgebi ddet und in solchen Entfernungen voneinander angeordnet und haben solche Ladungen, daß jede für sich arbeitet und ein Zusammenwirken derart, daß mehrere von ihnen zusammen wie eine Elektronenlinse wirken, nicht möglich isst.
  • Die Fig. 3 zeigt ein Ausführungsbeispiel der Erfindung. Die Mehrfachblende besteht hier aus der Kombination eines Kreisringes mit einer umgebenden, unterschiedlich geladenen, schachtelartigen Blende. Auf das Strahlenbündel wirkt eine radiale Feldstärke ein, die von der Differenz der Potentiale - der beiden Teilblenden abhängt. In einigem Abstand- links und rechts von der Doppelblende heben sich die Wmrltungen beider Teilblenden ganz oder teilweise auf. Das StrahlenbÜndel wird also lediglich in unmittelbarer Nähe der Doppelblende linsenähnlich beeinfiußt. In einigem Abstand -aber hört die Beeinflussung auf, so daß unerwünschte Verzerrungen vermieden sinn. Wenn man den Durchmesser beider Blenden verschieden macht, wie es in der Fig. 3 dargestellt ist, kann man beide Blenden auf das gleiche entgegengesetzte Potential bringen. Man erreicht dta.-durch, daß sich in einiger Entfernung links und rechts von Ader Blende das Feld vollständig anfheibt, während in der Blendenöffnung ein Radi:alfeld bestehenbleibt.
  • Um eine scharfe Linsen- oder Brenupunktwirkunig zu erzielen, wird man Elektroden- oder Blendenformen mit solchem Randkurven anwenden, daß ihre VArkung auf den durchtretenden Elektronenstrahl nur auf einer eng begrenzten Zone stattfindet und daß innerhalb dieses Bereiches die radiale Feldstärke möglichst proportional dern Abstand von der Achse ist, während die axiale Feldstärke rechts und links der Blende symmetrisch verläuft, damit die zusätzliche axiale Beschleunigung und Verzögerung der Elektronen sich im ihrer Wirkung aufhebt.
  • Mit Hilfe der beschriebenen Einrichtung isst es möglich, klare und scharfe Bildwirkunbrnen auf dem Leuchtschirm einer Brauneschen Röhre zu erzielen, die bei geeigneter Einstellung und Steuerung der Blendenfelder und der Ablenlcfelder den Eindruck ruhig stehender lebender Bilder ergeben.

Claims (1)

  1. PATENTANSPRÜCHE: .r. Anordnung zur Beeinflussung des Verlaufs von Elektronenstrahlen durch elektrisch geladene Feldblenden, die den freien Strahl symmetrisch umgeben und die zur Erzielung einer elektronenoptischen Abbildung auf der Bildfläche eines aus diesen Feldblenden als Linsen aufgebauten Mikroskops ein radiales elektrisches Feld erzeugen, dessen Stärke proportional dem Achsabstand ist, dadurch gekennzeichnet, daß an einer eine Elektronenlinse durstellenden Feldiblendenanordnung sich in der Achsrichtung der Elektronenstrahlen eine Teilblende zwischen zwei Teilblenden befindet, die untereinander dasselbe Potential, jedoch gegenüber der ersten Teilblende ein -#ersc'hiedenes Potential aufweisen, und d,aß die durch die Innenränder der Blendenöffnungen begrenzten Durchtrittsräume der .drei Blenden auf der Strah:lachse nebeneinander liegen. z. Anordnung nach Anspruch @r, d'adurc'h gekennzeichnet, daß die beiden außenliegenden Teilblenden ein Gehäuse bilden, das die Zwischenblende aufnimmt. 3. Anordnung nach Anspruch z, dadurch gekennzeichnet, daß die eine Teilblende gegenüber den dasselbe Potential aufweisenden zwei Teilblenden eine größere Öffnung besitzt.
DES22477D 1931-05-30 1931-05-31 Anordnung zur Beeinflussung des Verlaufs von Elektronenstrahlen durch elektrisch geladene Feldblenden Expired DE889660C (de)

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DE (1) DE889660C (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE965522C (de) * 1931-07-04 1957-06-13 Leo Szilard Dr Mikroskop

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