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HINTERGRUND DER ERFINDUNG
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Bereich der Erfindung
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Die
vorliegende Erfindung betrifft eine Wärmebehandlungsvorrichtung nach
dem Oberbegriff von Anspruch 1. Eine Vorrichtung dieses Typs wird
in
US-A-5,676,869 beschrieben.
Noch spezieller betrifft die Erfindung eine Technik, die die Genauigkeit
der Temperaturmessung des zu verarbeitenden Gegenstandes, wie zum
Beispiel eines Halbleiterwafers, verbessert.
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Beschreibung des zugehörigen Stands der Technik
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Das
Herstellungsverfahren einer Halbleitervorrichtung verwendet verschiedene
Arten von Wärmebehandlungsvorrichtungen,
die Wärmebehandlungen
durchführen,
wie zum Beispiel Oxidation, Diffusion und Filmbildung. Eine Wärmebehandlungsvorrichtung
vom Batch-Typ in vertikaler Bauart, die eine Wärmebehandlung an einer Mehrzahl
von Gegenständen
zu einer bestimmten Zeit durchführt,
ist als eine der vorher erwähnten
Wärmebehandlungsvorrichtungen
bekannt.
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Mit
der Wärmebehandlungsvorrichtung
des Batch-Typs in vertikaler Bauart wird eine Mehrzahl von Halbleiterwafern
in einem Waferschiffchen in vertikal beabstandeten Intervallen gehalten,
und danach wird das Waferschiffchen in das Verarbeitungsgefäß geladen.
Die Halbleiterwafer werden auf eine vorbestimmte Temperatur mit
Hilfe einer röhrenförmigen Heizeinrichtung,
die das Verarbeitungsgefäß umgibt, erwärmt, und
dannach werden die Halbleiterwafer einer vorbestimmten Behandlung
unterworfen. Eine Temperatursteuereinrichtung steuert die Ausgangsleistung
der Heizeinrichtung, basierend auf den Temperaturdaten, die von
einer Temperatursensoreinheit, die in dem Verarbeitungsgefäß angeordnet
ist, gemessen werden, wodurch das Innere des Verarbeitungsgefäßes und
damit die Halbleiterwafer bei einer vorher festgesetzten Temperatur
bleiben.
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Um
Filme zu erhalten, die eine ausgezeichnete Eigenschaft und eine
gleichmäßige Qualität aufweisen,
ist eine gleichmäßige Temperaturverteilung auf
jedem Halbleiterwafer und unter den Halbleiterwafern, die jeweils
bei verschiedenen Höhen
platziert wurden, notwendig. Daher ist das Innere des Verarbeitungsgefäßes in eine
Mehrzahl von Heizzonen eingeteilt, und die Ausgangsleistung von
jeder Heizeinrichtung, die der jeweiligen Heizzone entspricht, wird
unabhängig
gesteuert.
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Die
Temperatursensoreinheit, die in solch einer Wärmebehandlungsvorrichtung verwendet
wird, ist zusammengesetzt aus: einem geraden Schutzrohr, das aus
Quarz hergestellt ist und sich vertikal in dem Verarbeitungsgefäß erstreckt;
und Thermoelementen, die in dem Schutzrohr bei Positionen angeordnet
sind, die jeweils den Heizzonen entsprechen. Die Thermoelemente
messen die Temperaturen in dem Verarbeitungsgefäß bei Positionen, die jeweils den
Heizzonen entsprechen, und die Wärmeleistung der
Heizeinrichtungen wird basierend auf den gemessenen Temperaturen
gesteuert.
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6 zeigt
eine typische Struktur einer üblichen
Temperatursensoreinheit. Ein Thermoelement 60 wird durch
die Verbindung eines metallischen Drahts 61A aus Platin
mit einem metallischen Draht 61B aus einer Platin-Rhodiumlegierung
hergestellt. Die metallischen Drähte 61A und 61B werden
in röhrenförmige, elektrisch
isolierende Elemente 62A und 62B, die aus Aluminiumoxidkeramiken
hergestellt sind, eingeführt.
Die metallischen Drähte 61A und 61B erstrecken
sich innerhalb eines Schutzrohres 65, das aus Quarz hergestellt
ist, werden zu der Außenseite
des Endstücks
des Schutzrohres 65 geführt und
werden mit einer Steuereinrichtung verbunden.
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Die
vorübergehende
(transiente) Reaktion der oben erwähnten Temperatursensoreinheit
ist allerdings langsam in Anbetracht der Temperaturanstiegsrate
des Halbleiterwafers, wenn er schnell aufgeheizt wird. Wenn der
Anstieg der Temperatur, die von dem Thermoelement gemessen wird,
langsamer ist als der Anstieg der tatsächlichen Temperatur des Halbleiterwafers,
sobald der Halbleiterwafer erwärmt wird,
ist eine exakte Temperatursteuerung schwierig, und daher ist eine
lange Zeitdauer nötig,
bis die Halbleiterwafer einen stabilen Zustand erreichen, in dem sie
sich bei der vorher festgelegten Verarbeitungstemperatur befinden.
Dies verlängert
die gesamte Bearbeitungszeit und resultiert in einer Abnahme der Durchsatzrate.
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Die
US-A-6,077,777 beschreibt
ein Verfahren zur Ausbildung von Leitern eines Halbleiterwafers,
welches die Schritte umfaßt,
nacheinander eine Barriereschicht, eine Leiterschicht und eine Antireflexbeschichtungsschicht
auf einem Halbleitersubstrat auszubilden; die Schichten zu strukturieren
und die Rückstände, die
während
der Musterung entstanden sind, zu entfernen.
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ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
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Es
ist das Ziel der vorliegende Erfindung, die vorübergehende (transiente) Reaktion
des Temperatursensors einer Wärmebehandlungsvorrichtung
zu verbessern, und dadurch eine Wärmebehandlungsvorrichtung bereit
zu stellen, die in der Lage ist, die Temperatur des Gegenstandes
schnell einzustellen.
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Die
Erfinder der vorliegenden Erfindung haben die Ursache der langsamen,
vorübergehenden Reaktion
des Temperatursensors untersucht. Sie fanden heraus, daß die langsame
vorübergehende Reaktion
dadurch verursacht wird, daß die
Reflektivität
der metallischen Drähte
(Draht aus Platin und Draht aus Rhodium) des Thermoelementes auf
das abstrahlende Licht, das von dem Gegenstand, der verarbeitet
werden soll, emittiert wird, hoch ist und daher das Emissionsvermögen der
metallischen Drähte
auf Grund des metallischen Glanzes der metallischen Drähte gering
ist. Die Erfinder fanden weiterhin heraus, daß die Wärmekapazität der Thermoelementeinheit
auf Grund der Bereitstellung des röhrenförmigen, elektrisch isolierenden
Elementes erhöht
ist, was auch in der langsamen vorübergehenden Reaktion resultiert.
Die Erfinder zogen die Schlußfolgerung,
daß die
Reaktion des Thermoelementes auf das abstrahlende Licht, das von
dem Gegenstand emittiert wird, durch Verbesserung der Emissionsfähigkeit
des Thermoelementes verbessert werden kann, und sie brachten die
vorliegende Erfindung zum Abschluss.
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Die
vorliegende Erfindung stellt eine Wärmebehandlungsvorrichtung mit
folgenden Merkmalen bereit: ein Verarbeitungsgefäß; eine Heizeinrichtung, die
dazu eingerichtet ist, einen zu verarbeitenden Gegenstand, der sich
in dem Verarbeitungsgefäß befindet,
zu erwärmen;
eine Temperatursensoreinheit, die in dem Verarbeitungsgefäß angeordnet
ist; und eine Steuereinrichtung, die dazu eingerichtet ist, die
Ausgangsleistung der Heizeinrichtung basierend auf Temperaturdaten,
die von dem Temperatursensor gemessen werden, zu steuern, wobei
die Temperatursensoreinheit ein Schutzrohr und ein Thermoelement
mit einem Paar metallischer Drähte
aufweist, die in dem Schutzrohr enthalten und an einem Verbindungspunkt
miteinander verbunden sind, und wobei ein Film mit einer Antireflexfunktion
auf wenigstens einer Oberfläche
der Verbindung der metallischen Drähte ausgebildet ist.
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Die
Reflektivität
eines Abschnitts des Thermoelementes, auf dem der Film ausgebildet
ist, für ein
Licht einer beliebigen Wellenlänge
innerhalb des Bereiches von 0,5 bis 5 μm beträgt vorzugsweise 80% oder weniger,
mehr bevorzugt 50% oder weniger.
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Der
Film, der die Antireflexfunktion hat, ist vorzugsweise elektrisch
isolierend.
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Der
Film, der die Antireflexfunktion hat, ist vorzugsweise aus mehreren
Schichten aufgebaut. In diesem Fall ist bezogen auf die Dicke des
Filmes die oberste Schicht vorzugsweise elektrisch isolierend, und
eine Schicht, die mit den Metalldrähten in direktem Kontakt steht,
ist vorzugsweise aus einem Material hergestellt, das gegenüber den
metallischen Drähten
inert ist.
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In
einer typischen Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung können
die metallischen Drähte des
Thermoelementes jeweils aus Platin und einer Platin-Rhodiumlegierung
hergestellt sein und der Film, der die Antireflexfunktion hat, kann
aus einer Schicht aus Siliziumnitrid, einer Schicht aus Silizium und
einer Schicht aus Siliziumnitrid hergestellt sein, die auf den metallischen
Drähten
in dieser Reihenfolge gebildet werden. Die Schicht aus Silizium
kann mit Phosphat dotiert sein.
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Entsprechend
der vorliegenden Erfindung kann die Reflektivität des temperaturmessenden Abschnitts
des Thermoelementes vermindert werden und seine Emissionsfähigkeit
kann erhöht
werden.
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Für den Fall,
daß der
Film eine elektrisch isolierende Schicht enthält, es ist nicht nötig, die
metallischen Drähte
jedes Thermoelementes mit einer elektrisch isolierenden Röhre zu beschichten,
was zu einer Abnahme der Wärmekapazität der Temperatursensoreinheit
führt.
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Gemäß der vorliegenden
Erfindung wird die transiente Reaktion des Thermoelementes verbessert,
und daher kann die Temperatur des Gegenstandes mit hoher Genauigkeit
gemessen werden. Somit kann die Heizeinrichtung exakt gesteuert
werden.
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KURZE ERLÄUTERUNG DER ABBILDUNGEN
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1 ist
eine Querschnittsansicht einer Wärmebehandlungsvorrichtung
in vertikaler Bauart in einer Ausführungsform der vorliegenden
Erfindung, die schematisch deren Struktur zeigt;
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2 ist
eine Querschnittsansicht einer Temperatursensoreinheit, die in 1 gezeigt
ist, die deren Struktur zeigt;
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3 ist
eine Querschnittsansicht eines Thermoelementes der Temperatursensoreinheit,
die in 2 gezeigt ist, die dessen Struktur zeigt;
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4 ist
eine Querschnittsansicht der metallischen Drähte des Thermoelementes und
eines Filmes, der auf dem Verbindungspunkt der metallischen Drähte gebildet
ist, die schematisch deren Struktur zeigt;
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5 ist
ein Graph, der eine vorübergehende
Reaktion während
des Wärmevorganges
zeigt, die für
das Thermoelement charakteristisch ist; und
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6 ist
eine Querschnittsansicht eines konventionellen Thermoelementes,
die dessen Struktur zeigt.
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BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN
AUSFÜHRUNGSFORMEN
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Eine
Wärmebehandlungsvorrichtung
in vertikaler Bauart, die eine Ausführungsform der vorliegenden
Erfindung ist und ein filmbildendes Verfahren auf Halbleiterwafern
durch ein CVD-Verfahren durchführt,
wird im folgenden unter Bezugnahme auf die Abbildungen beschrieben. 1 ist
eine Querschnittsansicht einer Wärmebehandlungsvorrichtung in
vertikaler Bauart gemäß der vorliegenden
Erfindung, die schematisch deren Struktur zeigt.
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Die
Wärmebehandlungsvorrichtung
in vertikaler Bauart umfaßt
ein Verarbeitungsgefäß (Verarbeitungsröhre) 11 mit
einer Doppelröhrenstruktur,
die eine gerade innere Röhre 11A umfaßt, die
sich vertikal erstreckt, und eine äußere Röhre 11B, die die innere
Röhre 11A mit
einem gewissen Spalt dazwischen konzentrisch umgibt. Ein oberes Ende
der inneren Röhre 11A ist
geöffnet
und ein oberes Ende der äußeren Röhre 11B ist
geschlossen. Ein Raum unterhalb des Verarbeitungsgefäßes 11 dient
als ein Beladungsbereich L, wo Halbleiterwafer von einem Waferschiffchen 17,
d. h. einer Haltevorrichtung für Gegenstände, auf-
und abgeladen werden. Die innere Röhre 11A und die äußere Röhre 11B sind
aus einem Material hergestellt, das exzellente Wärmebeständigkeit und Korrosionsbeständigkeit
aufweist, wie zum Beispiel Quarzglas mit einem hohen Reinheitsgrad.
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Das
Verarbeitungsgefäß 11 umfaßt ein kurzes
zylindrisches Verteilerrohr 12, das mit einem unteren Endteil
der äußeren Röhre 11B verbunden
ist. Das Verteilerrohr 12 hat einen Flansch 12A an
seinem oberen Ende. Ein Flansch 111 ist an einem unteren
Abschnitt des Endes der äußeren Röhre 11B angeordnet.
Die Flansche 12A und 111 sind miteinander durch
einen Flanschpresser 13 mit einem Abdichtmittel (nicht
gezeigt), wie zum Beispiel einem O-Ring, der zwischen die Flansche 12A und 111 eingeschoben
ist, verbunden.
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Die
innere Röhre 11A erstreckt
sich abwärts über ein
unteres Ende der äußeren Röhre 11B hinaus,
um in das Verteilerrohr 12 eingeführt zu werden, und sie wird
durch eine ringförmige
Stütze 14 der
inneren Röhre,
die auf einer inneren Oberfläche
des Verteilerrohrs 12 angeordnet ist, gestützt.
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Ein
Gaszuführungsrohr 15 zur
Einführung
eines Prozeßgases
und eines inerten Gases in die Verarbeitungskammer 11 führt durch
eine Stelle der Seitenwand des Verteilerrohrs 12, um sich
aufwärts
in die innere Röhre 11A zu
erstrecken. Ein Raum zwischen der Seitenwand des Verteilerrohrs 12 und
dem Gaszuführungsrohr 15 ist
in einer luftundurchlässigen
Art und Weise verschlossen. Das Gaszuführungsrohr 15 ist
an eine Gaszuführungsquelle
angeschlossen, die nicht gezeigt ist.
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Eine
Austrittsöffnung 16 zum
Abführen
von Luft aus dem Verarbeitungsgefäß 11 ist auf der anderen
Seite der Seitenwand des Verteilerrohrs 12 angeordnet.
Die Austrittsöffnung 16 ist
mit einem Austrittsmechanismus (nicht gezeigt) verbunden, der zum Beispiel
eine Vakuumspumpe und einen Drucksteuermechanismus hat, bei dem
ein Druck in dem Verarbeitungsgefäß 11 gesteuert wird.
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Unter
dem Verarbeitungsgefäß 11 ist
eine Hebevorrichtung 21 vorgesehen, die das Waferschiffchen 17 zum
Ein- und Ausladen in und aus dem Verarbeitungsgefäß 11 vertikal
bewegt. Die Hebevorrichtung 21 umfaßt einen scheibenförmigen Deckel 20, der
eingerichtet ist, eine Öffnung 11C am
unteren Ende des Verarbeitungsgefäßes 11 zu schließen. Das
Waferschiffchen 17 ist aus Quarzglas mit einem hohen Reinheitsgrad
hergestellt. Eine Mehrzahl an Stücken,
zum Beispiel ungefähr
100 bis 500 Stück Halbleiterwafer
werden auf dem Waferschiffchen 17 gehalten, während sie
in vertikalen Abstanden in vorbestimmten Intervallen, zum Beispiel
von 5,2 bis 20,8 mm, angeordnet sind.
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Ein
säulenförmiges Stützelement 22 ist
an dem Deckel 20 befestigt und erstreckt sich aufwärts parallel
zu einer Achse des Verarbeitungsgefäßes 11. Das Stützelement 22 tritt
durch den Deckel 20 hierdurch. Eine scheibenförmige Schiffchenstütze 22A,
die angepasst ist, das Waferschiffchen 12 darauf zu stützen, ist
integral mit dem Stützelement 22 an
dessen oberen Ende vorgesehen. Ein unteres Ende des Stützelementes 22 ist
mit einem Rotationsantriebsmittel 23 verbunden, das unterhalb
des Deckels 20 vorgesehen ist. Eine wärmeisolierende Röhre 24 ist
auf dem Deckel 20 angeordnet, wobei das Stützelement 22 durch
die wärmisolierende
Röhre 24 hindurchführt.
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Eine
röhrenförmige Heizeinrichtung 30 ist außerhalb
des Verarbeitungsgefäßes 11 angebracht, um
die Halbleiterwafer, die in dem Verarbeitungsgefäß 11 aufgenommen sind,
auf eine vorbestimmte Verarbeitungstemperatur zu erwärmen. Die
röhrenförmige Heizeinrichtung 30 hat
ein zylindrisches, wärmeisolierendes
Element, das nicht gezeigt ist. Drahtförmige Widerstandsheizeinrichtungen
sind auf der inneren Oberfläche
des wärmeisolierenden
Elementes in einem helikalen, schraubenförmigen oder schlangenförmigen Muster
angeordnet. Die Widerstandsheizeinrichtungen sind mit einer Steuereinrichtung 31 verbunden,
die eine elektrische Leistung steuert, welche den Drähten zugeführt wird,
um basierend auf Temperaturdaten, die von der Temperatursensoreinheit 40 gemessen
werden, eine vorbestimmte Temperatur für die Halbleiterwafer zu erreichen,
was im folgenden beschrieben wird.
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Das
Innere des Verarbeitungsgefäßes 11 ist in
der vertikalen Richtung in eine Mehrzahl von Heizzonen aufgeteilt.
Vier Heizzonen Z1 bis Z4 sind dargestellt. Die röhrenförmige Heizeinrichtung 30 ist
in der Lage, eine sogenannte Zonensteuerung durchzuführen. Das
bedeutet, daß die
röhrenförmige Heizeinrichtung 30 in
der Lage ist, die Temperaturen in den jeweiligen Heizzonen unabhängig zu
steuern.
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Jede
der Widerstandsheizeinrichtungen ist ausschließlich in einer der Heizzonen
angeordnet, und die Steuereinrichtung 31 kann die elektrische Leistung,
die zu den Widerstandsheizeinrichtungen zugeführt werden soll, unabhängig steuern.
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Eine
flache Heizeinrichtung 32 ist oberhalb des Verarbeitungsgefäßes 11 parallel
zu einer Oberfläche
des oberen Endes des röhrenförmigen Heizelementes 30 so
angeordnet, daß sie
dem Waferschiffchen 17 in dem Verarbeitungsgefäß 11 gegenüber steht.
Die flache Heizeinrichtung 32 verhindert, daß Wärme von
einem oberen Teil des Verarbeitungsgefäßes 11 freigesetzt
wird, und daher können
die Halbleiterwafer mit einer erhöhten Gleichmäßigkeit
innerhalb der Ebene erwärmt
werden. Die flache Heizeinrichtung 32 hat drahtförmige Widerstandsheizeinrichtungen,
die auf einem plattenförmigen
Basiselement angeordnet sind. Die Widerstandsheizeinrichtungen sind
auch mit der Steuereinrichtung 31 verbunden.
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In
dem Verarbeitungsgefäß 11 befindet
sich die Temperatursensorseinheit 40. Die wärmeerzeugenden
Leistungen der röhrenförmigen Heizeinrichtung 30 und
der flachen Heizeinrichtung 32 werden basierend auf Temperaturdaten
gesteuert, die von der Temperatursensoreinheit 40 gemessen
werden.
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Die
Temperatursensoreinheit 40 führt durch die Seitenwand des
Verteilerrohres 12 unterhalb der Austrittsöffnung 16.
Die Seitenwand des Verteilerrohres 12 und die Temperatursensoreinheit 40 sind
in einer luftundurchlässigen
Art und Weise verschlossen. Die Temperatursensoreinheit 40 erstreckt
sich aufwärts
in einem ringförmigen
Raum, der zwischen dem Waferschiffchen 17 und der inneren
Röhre 11A ausgebildet
ist, parallel zu einer inneren Wand der inneren Röhre 11A.
Der Abschnitt an der Spitze der Temperatursensoreinheit 40 ist
oberhalb eines oberen Endes der inneren Röhre 11A gebogen und
erstreckt sich zu dem Zentrum des Verarbeitungsgefäßes 11 in
paralleler Richtung mit den Oberflächen der Halbleiterwafer, die
in dem Waferschiffchen 17 gehalten werden.
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Wie
in 2 gezeigt ist, umfaßt die Temperatursensoreinheit 40 ein
Schutzrohr 41, das aus durchsichtigem Quarzglas hergestellt
ist, und eine Mehrzahl von Thermoelementen 42 (fünf Thermoelemente
sind gezeigt), die in dem Schutzrohr 41 enthalten sind.
Die Thermoelemente 42 sind in Positionen angeordnet, die
einer Heizzone entsprechen, die von der flachen Heizeinrichtung 32 erwärmt wird
(zum Beispiel an einer Position direkt unterhalb eines Zentrums
der flachen Heizeinrichtung 32), und in Positionen, die
den jeweiligen Heizzonen Z1 bis Z4 entsprechen, die von der röhrenförmigen Heizeinrichtung 30 erwärmt werden.
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Das
Schutzrohr 41 hat einen ersten Abschnitt 41A,
der sich gerade und vertikal erstreckt, einen zweiten Abschnitt 41B,
der einem oberen Ende des ersten Abschnittes 41A nachfolgt,
um sich horizontal zu erstrecken (nach rechts in der Darstellung von 2)
und zwar senkrecht zu einer Achse des ersten Abschnittes 41A,
und einen Basis-Endabschnitt, der einem unteren Ende des ersten
Abschnittes nachfolgt, um sich horizontal zu erstrecken (in die
entgegengesetzte Richtung wie der zweite Abschnitt 41B).
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Ein
distales Ende des Schutzrohrs 41, d. h. ein distales Ende
des zweiten Abschnittes 41B, ist geschlossen. Ein proximales
Ende des Schutzrohrs 41, d. h. ein proximales Ende des
Basis-Endabschnittes 41C, ist durch eine Abdichtung 45,
wie z.B. einen Haftstoff, verschlossen. Metallische Drähte 43 der
jeweiligen Thermoelemente 42 werden durch die Abdichtung 45 aus
dem Schutzrohr 41 herausgeführt. Die metallischen Drähte 43 der
jeweiligen Thermoelemente 42 sind mit Eingangsanschlüssen der
Steuereinrichtung 31 mit Hilfe von ausgleichenden Leitungsdrähten verbunden.
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Der
Abschnitt des Basis-Endabschnittes Basis 41C des Schutzrohrs 41 kann
durch die Abdichtung 45 in einer luftundurchlässigen Art
und Weise verschlossen werden. In diesem Fall kann das Schutzrohr 41 mit
einem inerten Gas gefüllt
werden, wie zum Beispiel Stickstoffgas (N2 Gas),
um eine Oxidation der Thermoelemente 42 zu verhindern.
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Alternativ
kann eine Atmosphäre
mit einem reduzierten Druck in dem Innenraum des Schutzrohrs 41 aufgebaut
werden. Selbst wenn das Schutzrohr 41 gebrochen ist, während der
Innenraum des Verarbeitungsgefäßes 11 einen
reduzierten Druck hat, wird so verhindert, daß die gebrochenen Stücke des
Schutzrohrs 41 in dem Verarbeitungsgefäß 11 verstreut werden.
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Vorzugsweise
kann eine ringförmige
Rille (nicht gezeigt) entlang des gesamten Umfanges des Basis-Endteils
des Schutzrohrs 41 gebildet werden, und die Seitenwand
des Verteilerrohrs 12 kann in die ringförmige Rille gepaßt werden.
Wenn das Verarbeitungsgefäß 11 einen
reduzierten Druck hat, wird somit die Temperatursensoreinheit 40 daran
gehindert, in das Verarbeitungsgefäß 11 hineingezogen
zu werden.
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Die
Durchmesser der metallischen Drähte 43 der
Thermoelemente 42 betragen zum Beispiel ungefähr 0,5 mm.
Paare von metallischen Drähten 43 eines
jeden Thermoelements sind aus einem Draht aus Platin (Pt) 43A und
aus einem Draht aus einer Platin-Rhodiumlegierung
(Pt/Rh) 43B gebildet. Wie in 3 und 4 gezeigt,
wird ein Film 50 auf den Oberflächen der jeweiligen Metalldrähte 43A und 43B und
auf einer Oberfläche
einer Verbindung 44 gebildet, wo die metallischen Drähte 43A und 43B miteinander
verbunden sind, d.h. auf einem ein Abschnitt, der eine Temperatur
mißt.
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Der
Film 50 hat eine Antireflexfunktion für Licht einer Wellenlänge innerhalb
eines vorbestimmten Wellenlängenbereiches.
Wenn der Film 50, der die Antireflexfunktion hat, auf den
Oberflächen
der jeweiligen Metalldrähte 43A und 43B und
ihres Verbindungspunktes bzw. ihrer Verbindungsstelle 44 ausgebildet
ist, ist eine Reflektivität
eines solchen Bereiches für
Licht einer beliebigen Wellenlänge
innerhalb des Bereiches von 0,5 bis 5 μm (Mikrometer) gering im Vergleich
zu der Reflektivität
von den Oberflächen der
jeweiligen Drähte 43A und 43B und
ihrer Verbindungsstelle 44, wo der Film 50 nicht
ausgebildet ist.
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Der
Film 50 kann aus einer Mehrzahl von Schichten aus anorganischen
Materialien zusammengesetzt sein, die in bezug auf die Richtung
der Dicke des Filmes aufgeschichtet sind. Eine oberste Schicht 50A des
Films 50 ist vorzugsweise elektrisch isolierend und eine
unterste Schicht 50C, die mit den metallischen Drähten 43A und 43B und
ihrem Verbindungspunkt 44 in direktem Kontakt steht, ist
vorzugsweise aus einem Material hergestellt, welches in Bezug auf
die Drähte
inert ist. Der Begriff „inert" bedeutet hier, daß die unterste
Schicht 50C im Wesentlichen nicht mit den metallischen
Drähten 43A und 43B und
ihrer Verbindungsstelle 44 reagiert, zumindestens nicht
innerhalb eines Bereiches einer Verarbeitungstemperatur der Halbleiterwafer.
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Der
Film 50, der eine erwünschte
Funktion hat, kann durch geeignete Auswahl von Substanzen mit unterschiedlichen
Brechungsindizes und durch Aufeinanderstapeln derselben erhalten
werden, wobei die Materialien, die Anzahl und die Dicke der jeweiligen
Schichten 50A bis 50C des Films 50 in
Betracht gezogen werden.
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Die
Reflektivität
eines Abschnittes der Thermoelemente 42, auf dem der Film 50 ausgebildet wird,
für Licht
einer beliebigen Wellenlänge
innerhalb des Bereiches von 0,5 bis 5 μm beträgt vorzugsweise 80% oder weniger,
mehr vorzugsweise 50% oder weniger. Dadurch kann das Ansprechverhalten
eines jeden Thermoelements 42 signifikant verbessert werden.
Eine Reflektivität über 80%
ist nicht bevorzugt, da der Anstieg der Temperatur der Thermoelemente langsamer
ist als derjenige der Halbleiterwafer. Es sollte angemerkt werden,
daß Licht
mit einer Wellenlänge
im Bereich von 0,5 bis 5 μm
die Halbleiterwafer in einem Temperaturbereich (100 bis 1200°C) für die Verarbeitung
von Halbleiterwafer höchst
effizient erwärmen
kann.
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Mehr
bevorzugt wird der Film 50 aus demselben oder im Wesentlichen
demselben Material gebildet, wie desjenigen des Gegenstandes, der
verarbeitet werden soll, das heißt des Halbleiterwafers. Daher werden
die Charakteristika des Temperaturanstiegs des Thermoelementes 42 ähnlich wie
diejenigen des Halbleiterwafers sein.
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Unter
diesem Gesichtspunkt wird der Film 50 vorzugsweise durch
wechselndes Aufeinanderstapeln von zum Beispiel einer Schicht aus
Siliziumnitrid und einer Schicht aus Silizium entlang der Richtung der
Dicke des Films 50 aufgebaut. In der Ausführungsform,
die in 4 gezeigt ist, wird der Film 50 durch
Aufeinanderstapeln von drei Schichten, d. h. einer Schicht aus Siliziumnitrid 50A,
einer Schicht aus Silizium 50B und einer Schicht aus Siliziumnitrid 50C zusammengesetzt.
Die Schichten aus Siliziumnitrid 50A und 50C sind
0,1 bis 0,3 μm
dick, die Schicht aus Silizium 50B ist 1 bis 3 μm dick und
die gesamte Dicke des Films 50 liegt in einem Bereich von
1,2 bis 3,6 μm.
Das bedeutet, daß die
Dicke der Schicht 50B aus Silizium, die aus dem gleichen
Material gebildet ist wie jene des Halbleiterwafers, ausreichend
dicker ist als jene der Schichten 50A und 50C aus
Siliziumnitrid, so daß die
Reflektivität
des gesamten Films nahe an die der Halbleiterwafer kommt. Das Siliziumnitrid,
das die Schichten 50A und 50C bildet, ist ausgewählt, weil
es, wie oben beschrieben, elektrisch isolierend und inert gegenüber den
metallischen Drähten
ist. Da die Reflektivität
von Siliziumnitrid sich von der des Halbleiterwafers unterscheidet,
werden die Dicken der Schichten 50A und 50C aus
Siliziumnitrid in minimal erforderlicher Weise hergestellt. Man
beachte, daß die
Schichten 50A und 50C nicht aus einem von der
Schicht 50B aus Silizium völlig verschiedenen Material
hergestellt werden, sondern daß sie
aus Siliziumnitrid hergestellt werden, welches Silizium enthält. Die
Schicht 50B aus Silizium ist vorzugsweise aus Silizium
hergestellt, das zum Beispiel mit Phosphat (P) dotiert ist. Verglichen
mit dem Film 50, der aus einer Schicht Silizium aufgebaut
ist, die nicht mit Phosphat dotiert ist, ist es in diesem Fall möglich, die
Reflektivität
gegenüber
einem Licht einer beliebigen Wellenlänge innerhalb des Bereiches
von 0,5 bis 5 μm
um ungefähr
20% zu reduzieren, so daß ein
ausgezeichneter Antireflexeffekt erreicht werden kann.
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Die
Anzahl der Schichten des Films 50 kann auch 2 bzw. weniger,
oder 4 bzw. mehr betragen. Die Dicken der jeweiligen Schichten sind
nicht auf die oben vorgestellte Ausführungsform begrenzt.
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Der
Film 50 kann auch aus einem Material hergestellt sein,
das eine ausgezeichnete thermische Leitfähigkeit aufweist, z. B. Siliziumcarbid
(SiC), Aluminiumnitrid (AlN) und so weiter. Ein schwarzes Material
ist besonders bevorzugt, um so die Reflektivität effektiv zu reduzieren.
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Im
folgenden wird eine Wärmebehandlung für den zu
verarbeitenden Gegenstand (Halbleiterwafer) beschrieben, die in
einer Wärmebehandlungsvorrichtung
mit vertikaler Bauart erfolgt. Das Beladen der Halbleiterwafer erfolgt
in dem Beladungsbereich L. Das Waferschiffchen 17, das
die Halbleiterwafer darauf trägt,
wird auf der Schiffchenstütze 22A.
montiert, wenn der Deckel 20 in einer tiefsten Position
ist. Dann wird der Deckel 20 durch die Hebevorrichtung 21 hochgehoben,
so daß das
Waferschiffchen 17 in das Verarbeitungsgefäß 11 durch
die Öffnung
am unteren Ende 11C geladen wird, die dann luftundurchlässig durch
den Deckel 20 geschlossen wird. Testwafer werden auf den
obersten und untersten Plattformen des Waferschiffchens 17 gehalten.
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Der
Auslaßmechanismus
reduziert einen Druck in dem Verarbeitungsgefäß 11 auf einen vorbestimmten
Druck, z. B. auf etwa 13 Pa. Die röhrenförmige Heizeinrichtung 30 und
die flache Heizeinrichtung 32 erwärmen das Verarbeitungsgefäß 11 auf eine
vorbestimmte Temperatur. Wenn das Drehantriebsmittel 23 das
Waferschiffchen 17 dreht, wird Prozeßgas in das Verarbeitungsgefäß 11 durch
das Gaszuführungsrohr 15 eingeführt. Dann
werden die Halbleiterwafer einer filmbildenden Verarbeitung unterworfen.
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Gemäß dieser
Ausführungsform
wird der Film 50 auf dem Thermoelement 43 gebildet,
das heißt,
auf den Oberflächen
der metallischen Drähte 43A und 43B und
ihrer Verbindungsstelle 44. So wird die Reflektivität des temperaturmessenden
Teils (Verbindungsstelle 44) für das abstrahlende Licht, das
von den Halbleiterwafern emittiert wird, reduziert (ihre Emissionsfähigkeit
wird erhöht).
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Die
Temperatur jedes Thermoelementes wird schnell erhöht, sobald
sie das abstrahlende Licht, das von den Halbleiterwafern emittiert
wurde, erhalten haben. Das bedeutet, daß jedes Thermoelement im Stande
ist, die transiente Veränderung
in der Temperatur der Halbleiterwafer genauer zu messen. Eine Temperatursteuerung
durch die röhrenförmige Heizeinrichtung 30 und
die flache Heizeinrichtung 32 kann genauer ausgeführt werden,
insbesondere, wenn die Temperatur ansteigt, so daß das Verarbeitungsgefäß 11 und
die Halbleiterwafer schneller auf eine vorher festgesetzte Temperatur
erwärmt
werden können.
Es ist dementsprechend möglich,
eine Durchsatzrate durch Verkürzen
der gesamten Zeit, die für
die Verarbeitung gebraucht wird, zu verbessern.
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Wegen
der Bereitstellung der elektrisch isolierenden Schicht 50A aus
Siliziumnitrid wird keines der isolierenden Elemente 62A und 62B,
die aus Aluminiumoxidkeramik oder ähnlichem hergestellt sind (siehe 6),
für die
Isolierung der benachbarten metallischen Drähte benötigt. Daher wird die Wärmekapazität der Thermoelementeinheit 42 reduziert, und
so kann jedes Thermoelement 42 die kurzfristige Veränderung
in der Temperatur der Halbleiterwafer genauer messen.
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Da
alle Thermoelemente 42 die Temperatur der Halbleiterwafer
mit großer
Genauigkeit messen können,
kann die Steuerung der Zonentemperatur geeignet erfolgen. So können die
Halbleiterwafer bei gleichförmiger
Temperatur innerhalb der Ebene sowie bei gleichförmiger Temperatur innerhalb
der Halbleiterwafer, die auf unterschiedlichen Ebenen platziert
sind, wärmebehandelt
werden.
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Da
die Schicht 50C, die in Kontakt mit den Metalldrähten 43A und 43B und
ihrer Verbindungsstelle 44 ist, aus einem dazu inerten
Material hergestellt ist, ist es möglich, die Bildung einer Legierung zwischen
den metallischen Drähten 43A und 43B und
ihrer Verbindungsstelle 44 einerseits und dem Material,
das den Film 50 bildet, andererseits zu verhindern, und
es ist möglich,
resultierende unerwünschte
Probleme zu verhindern, wie zum Beispiel das Brechen des Films 50 oder
der metallischen Drähte 43A und 43B und
ihrer Verbindungsstelle 44 eines jeden Thermoelementes 42.
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Obgleich
die Ausführungsformen
der vorliegenden Erfindung oben beschrieben worden sind, ist die
vorliegende Erfindung nicht darauf beschränkt, und verschiedene Modifikationen
und Änderungen sind
möglich.
Zum Beispiel ist die Wärmebehandlungsvorrichtung
gemäß der vorliegenden
Erfindung nicht darauf beschränkt,
eine filmbildende Verarbeitung durchzuführen und kann konfiguriert
werden, Behandlungen, wie zum Beispiel Oxidation, Diffusion und
Tempern, durchzuführen.
Die Wärmebehandlungsvorrichtung
ist weiterhin nicht auf eine sogenannte Vorrichtung in vertikaler
Bauart begrenzt, sondern sie kann von einem anderen Typ sein.
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Experimente
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Die
Versuchsergebnisse, die durch Anwendung der Wärmebehandlungsvorrichtung,
die in 1 gezeigt ist, durchgeführt wurden, werden im folgenden
beschrieben. Die Thermoelemente A bis D, die die folgenden Spezifikationen
haben, wurden wie folgt hergestellt:
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[Thermoelement A]
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Ein
Thermoelement wurde durch Verwendung eines Drahts aus Platin (43A)
und eines Drahts aus einer Platin-Rhodiumlegierung (43B),
die beide einen Durchmesser von 0,3 mm haben, hergestellt. Ein Film
(50), der aus einer Schicht aus Siliziumnitrid (50A),
einer Schicht aus Silizium (50B) und einer Schicht aus
Siliziumnitrid (50C) aufgebaut war, wurde auf den Oberflächen der
metallischen Drähte (43A, 43B)
und ihrer Verbindungsstelle (44) in einer Weise hergestellt,
die in 4 gezeigt ist. Eine Schicht aus Siliziumnitrid
(50C) als eine erste Schicht (unterste Schicht) war 0,3 μm dick, die
Schicht aus Silizium (50B) als eine zweite Schicht war
2 μm dick und
die Schicht aus Siliziumnitrid (50A) als eine dritte Schicht
(oberste Schicht) war 0,2 μm
dick. Eine Reflektivität
des Thermoelementes (42) in einem Bereich, in dem der Film
(50) gebildet war, für
ein Licht einer beliebigen Wellenlänge innerhalb des Bereiches
von 0,5 bis 5 μm,
betrug 80% oder weniger. Dieses Thermoelement wird „Thermoelement
A" genannt.
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[Thermoelement B]
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Wie
in 6 gezeigt ist, wurde eine Thermoelementeinheit
durch Einführung
der metallischen Drähte
(43A, 43B) des Thermoelementes (A) in röhrenförmige, elektrisch
isolierende Elemente (62A, 62B), die aus Aluminiumoxidkeramik
hergestellt waren, hergestellt. Die Spezifikationen des Films (50) waren
die gleichen wie diejenigen des Thermoelementes A. Dieses Thermoelement
wird „Thermoelement
B" genannt.
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[Thermoelement C]
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Ein
Thermoelement wurde als Vergleichsbeispiel hergestellt, das die
gleiche Struktur hatte wie diejenige des Thermoelementes A, aber
ein Film auf den Oberflächen
der jeweiligen Metalldrähte
und ihrer Verbindungsstelle wurde nicht hergestellt. Dieses Thermoelement
wird „Thermoelement
C" genannt.
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[Thermoelement D]
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Ein
zweites Thermoelementes wurde als Vergleichsbeispiel hergestellt,
das die gleiche Struktur hat wie diejenige des Thermoelementes B,
aber ein Film auf den Oberflächen
der jeweiligen Metalldrähte
und ihrer Verbindungsstelle wurde nicht hergestellt. Dieses Thermoelement
wird „Thermoelement
D" genannt.
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Jedes
der vier Thermoelemente A bis D wurde in einem zentralen Abschnitt
einer Höhenrichtung des
leeren Waferschiffchens (17), das keinen Gegenstand zum
Verarbeitung hielt, montiert. Das Waferschiffchen (17)
wurde in das Verarbeitungsgefäß (11) geladen.
Dann wurden die röhrenförmige Heizeinrichtung
(30) und die flache Heizeinrichtung (32) für einige
Minuten mit einer konstanten Ausgangsleistung in Betrieb genommen. 5 zeigt
die Ergebnisse des Anstiegs der Temperaturen der jeweiligen Thermoelemente
nach ihrem Erwärmen.
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Wie
in 5 gezeigt ist, war der Anstieg der Temperaturen
der Thermoelemente A und B gemäß der vorliegenden
Erfindung schneller als derjenige der Vergleichs-Thermoelemente C und D. Dadurch wurde
bestätigt,
daß ein
Ansprechvermögen
eines Thermoelementes durch Bilden eines Filmes mit einer Antireflexfunktion
auf den Oberflächen
von metallischen Drähten
und ihrer Verbindungsstelle verbessert werden kann.