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TECHNISCHES
FELD
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Diese
Erfindung bezieht sich auf die Beschichtung von lichtempfindlichen
Substraten unter Verwendung von Tauchbehältern und insbesondere auf
die Beschichtung von lichtempfindlichen Substraten unter Verwendung
eines Tauchbehälters,
der mit einer Vielzahl von Schichten von rundlichen Objekten oder
Kugeln ausgestattet ist.
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HINTERGRUND
DER ERFINDUNG
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Es
ist bekannt, Reservoirs für
Beschichtungsfluid oder "Tauchbehälter" zu verwenden, um eine
lichtempfindliche Beschichtungslösung
anzuwenden, um lichtempfindliche Einrichtungen, wie etwa lichtempfindliche
flexible Bänder
und zylindrisch geformte Trommeln, zu beschichten. In dem früheren US-Patent
5,681,392 für
Eugene A. Swain, wird das Fluidreservoir (äquivalent zu einem Tauchtank) 10 verwendet,
um ein organisches, lichtempfindliches Beschichtungsfluid 80 bereitzuhalten,
um ein flexibles, bandförmiges,
lichtempfindliches Substrat 60 zu beschichten.
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Bei
diesem Beschichtungsprozess wird ein lichtempfindliches Substrat
(Band oder Trommel) untergetaucht oder "eingetaucht" in die Öffnung eines Behälters, der
die aufzuschichtende Lösung
enthält und
nachfolgendes Herausziehen bei einer Rate, die die Beschichtungsdicke
steuert. Der übliche
Mechanismus, um das Substrat zu beschichten, besteht darin, eine
Beschichtungslösung,
die die aktiven Materialien entweder gelöst oder in Suspension (wie
etwa Pigmente) enthält
von einem Einlass, der im Boden des Tauchbehälters angeordnet ist, in den
Behälter zu
pumpen und den Behälter
kontinuierlich an der Öffnung,
die an der Deckseite des Behälters
angeordnet ist, überlaufen
zu lassen. Auf diese Weise wird das Substrat einer gleichförmigen Strömung der
Lösung
relativ zu der Beschichtungsgeschwindigkeit ausgesetzt.
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Es
gibt verschiedene Nachteile für
den Tauchbeschichtungsprozess, die in Defekten auf der beschichteten
Substratoberfläche
resultieren können.
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Typischerweise
besteht beispielsweise eine sehr kleine radiale Oberflächengeschwindigkeit
der Beschichtungslösung
an der Oberseite des Behälters.
Tatsächlich
befindet sich üblicherweise
ein konisches Volumen in dem Behälter,
in dem eine relativ kleine Strömung
der Beschichtungslösung
vorhanden ist. Als ein Ergebnis der Nichtgleichför migkeiten in der Beschichtungslösung können Beschichtungsstreifen
entlang von Teilen oder der gesamten eingetauchten Länge des
lichtempfindlichen Substrats auftreten. Derartige Ungleichförmigkeiten
können
insbesondere bei Dispersionen auftreten, die eine geringe Stabilität aufweisen
und eine Eigenschaft von ungleichförmiger Dispersionsverteilung
aufweisen, bezeichnet als Flockenbildung.
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Wie
bekannt, findet Flockenbildung statt, wenn wenig oder keine Bewegung
oder Scherung der Lösung
stattfindet, wie etwa das konische Volumen des vorstehend besprochenen
Behälters.
Die Flockenbildung resultiert in lösungsreichen und pigmentreichen
Zonen in dem Tauchtank. Unglücklicherweise
befinden sich derartige Zonen genau dort, wo das lichtempfindliche
Substrat untergetaucht wird. Letztendlich können diese Phänomene in
Beschichtungsstreifen oder anderen Defekten in der resultierenden,
fertigen, lichtempfindlichen Einrichtung resultieren.
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Im
Ergebnis besteht ein Bedarf für
eine verbesserte Vorrichtung und Verfahren zur Beschichtung von
lichtempfindlichen Substraten.
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ZUSAMMENFASSUNG
DER ERFINDUNG
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Gemäß einem
Aspekt der Erfindung wird eine Vorrichtung zur Beschichtung von
mindestens einem Substrat mit einem Fluid gemäß Anspruch 1 bereitgestellt.
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Gemäß einem
weiteren Aspekt der Erfindung wird ein Verfahren zur Beschichtung
von mindestens einem Substrat mit einem Fluid gemäß Anspruch
9 bereitgestellt.
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KURZE BESCHREIBUNG
DER ZEICHNUNGEN
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1 stellt
eine Vorrichtung 100 zur Beschichtung von lichtempfindlichen
Substraten gemäß der vorliegenden
Erfindung dar.
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2A zeigt
ein lichtempfindliches Bandsubstrat 20A, das mit der Vorrichtung
der 1 beschichtet werden kann.
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2B zeigt
ein lichtempfindliches Trommelsubstrat 20B, das mit der
Vorrichtung der 1 beschichtet werden kann.
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3A zeigt
ein erstes poröses
Element 31 der Vorrichtung 100.
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3B zeigt
ein zweites poröses
Element 32 der Vorrichtung 100.
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4 zeigt
verschiedene Ausführungen
von gerundeten Objekten oder Kügelchen 400,
die in der Vorrichtung 100 verwendet werden können. Wie
gezeigt, schließen
die gerundeten Objekte 400 eine kugelförmige Ausführung 401 und eine
ellipsenförmige Ausführung 402 ein.
Wie dargestellt, schließt
die letztere elliptische Ausführung 402 ebenso
andere Ausführungen 402', 402'' und 402''' ein.
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5A zeigt
die Vorrichtung 100 mit zwei Schichten der kugelförmigen Objekte 401.
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5B zeigt
die Vorrichtung 100 mit drei Schichten der kugelförmigen Objekte 401.
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5C zeigt
die Vorrichtung 100 mit zwei oder mehr Schichten der kugelförmigen Objekte 401.
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6A zeigt
die Vorrichtung 100 mit zwei Schichten der elliptischen
Objekte 402.
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6B zeigt
die Vorrichtung 100 mit drei Schichten der elliptischen
Objekte 402.
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6C zeigt
die Vorrichtung 100 mit zwei oder mehr Schichten der elliptischen
Objekte 402.
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7A zeigt
die Vorrichtung 100 mit zwei Schichten gerundeter Objekte 400,
die ein oder mehrere kugelförmige
Objekte 401 und ein oder mehrere elliptische Objekte 402 umfassen.
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7B zeigt
die Vorrichtung 100 mit drei Schichten gerundeter Objekte 400,
die ein oder mehrere kugelförmige
Objekte 401 und ein oder mehrere elliptische Objekte 402 umfassen.
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7C zeigt
die Vorrichtung 100 mit zwei oder mehr Schichten gerundeter
Objekte 400, die ein oder mehrere kugelförmige Objekte 401 und
ein oder mehrere elliptische Objekte 402 umfassen.
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BESCHREIBUNG
DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGEN
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Kurz
gesagt, wird hier eine Vorrichtung zur Beschichtung eines lichtempfindlichen
Substrats, wie etwa ein lichtempfindliches Band oder eine lichtempfindliche
Trommel offenbart. Die Vorrichtung umfasst mindestens ein Reservoir
oder Tauchbehälter
für lichtempfindliches
Beschichtungsfluid. Der Tauchbehälter
legt einen Einlass an einem Ende und einen Kanal mit einer Öffnung an
dem anderen Ende fest. Der Kanal schließt mindestens ein poröses Element wie
etwa ein Gitter, einen Schirm oder ein Netz ein, das angeordnet
ist, eine Vielzahl von Schichten von nicht kontaminierenden, gerundeten
Objekten in dem Boden des Kanals zu tragen, wie etwa Kügelchen aus
rostfreiem Stahl oder Glas. Hierdurch wird die lichtempfindliche
Beschichtungslösung,
die dem Einlass zugeführt
wird, gezwungen, durch die Vielzahl der Schichten der Kugeln vor
der Beschichtung eines lichtempfindlichen Substrats zu fließen, das
durch die Öffnung
eingeführt
wird. Im Ergebnis wird die Gleichförmigkeit der Beschichtungslösung verbessert,
während
diese das lichtempfindliche Substrat beschichtet, wodurch Beschichtungsdefekte
in dem fertiggestellten lichtempfindlichen Band oder Trommel verringert
werden.
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Mit
allgemeinem Bezug auf die 2A bis 2B werden
typische lichtempfindliche Substrate gezeigt, die in Bezug auf die
vorliegende Erfindung verwendet werden können. In 2A wird
beispielsweise ein flexibles, lichtempfindliches Bandsubstrat 20A und
in 2B ein lichtempfindliches, zylinderförmiges Trommelsubstrat 20B gezeigt.
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Mit
nachfolgendem Bezug auf die 1 wird eine
Vorrichtung zur Beschichtung von mindestens einem der vorstehenden
Substrate 20A und 20B mit einem Fluid 200 gezeigt.
In einer Ausführung
umfasst das Fluid 200 eine lichtempfindliche Beschichtungslösung.
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Gemäß 1 umfasst
die Vorrichtung 100 mindestens einen Tauchbehälter 10.
Der Tauchbehälter 10 legt
einen Einlass 1 an einem Ende und einen Kanal 9 mit
einer Öffnung 11 an
dem anderen Ende fest. Der Kanal 9 bildet wiederum einen
inneren Kanaldurchmesser 12 aus. Wie nachfolgend eingehender
erörtert,
schließt
der Kanal 9 Einrichtungen 31 bis 32 ein
zum Halten einer Vielzahl von Schichten von gerundeten Objekten
oder Kugeln 400, im Wesentlichen über den inneren Durchmesser 12 des
Kanals, wodurch dieser abgedeckt wird. Wie gezeigt, werden die Schichten
der gerundeten Objekte 400 nahe dem Boden 15 des
Kanals 9 gehalten. Derartig angeordnet ist die Vielzahl
der Schichten von gerundeten Objekten 400 zwischen dem
Einlass 1 und der Öffnung 11 angeordnet.
Als Ergebnis einer derartigen Anordnung wird im Wesentlichen das
gesamte Fluid 200, das dem Einlass 1 zugeführt 2A wird,
weiterhin gezwungen, durch die Vielzahl der Schichten von gerundeten
Objekten 400 zu fließen 2B,
bevor diese später
zu der Öffnung 11 fließt 2C,
wodurch ein Substrat 20A oder 20b beschichtet
wird, das vorher durch die Öffnung 11 eingesetzt
oder eingetaucht wurde 80.
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Mit
weiterem Bezug auf die 1 umfasst in einer Ausführung die
Vorrichtung zum Halten der gerundeten Objekte 400 nur ein
erstes, unteres, poröses
Element 31, wobei die gerundeten Objekte 400 auf
der Oberseite des porösen
Elements 31 angeordnet sind. In einer weiteren Ausführung umfasst
die Einrichtung zum Halten der gerundeten Objekte 400 sowohl
das vorstehende, erste, untere, poröse Element 31 als
ebenso ein zweites, oberes, poröses
Element 32, wobei die gerundeten Objekte 400 zwischen
dem ersten porösen
Element 31 und dem zweiten porösen Element 32 angeordnet
sind.
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Mit
nachfolgendem Bezug auf die 3A ist ersichtlich,
dass das erste poröse
Element 31 eine Vielzahl von Öffnungen 301 aufweist,
die darüber verteilt
sind. Mit Bezug auf die 3B ist
ebenso ersichtlich, dass das zweite poröse Element 32 ebenso eine
Vielzahl von Öffnungen 302 aufweist,
die darüber
verteilt sind.
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In
einer Ausführung
umfasst eines oder beide der porösen
Elemente 31 und 32 ein Gitter, einen Schirm oder
ein Netz.
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In
einer weiteren Ausführung
ist entweder eines oder beide der porösen Elemente 31 und 32 ähnlich zu
der porösen
Membrane 30 des US-Patentes 5,681,392.
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In
noch einer weiteren Ausführung
ist entweder eines oder beide der porösen Elemente 31 und 32 ähnlich zu
der perforierten Platte 40 von US-Patent 5,681,392.
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Mit
nachfolgendem Bezug auf die 4 werden
mehrere Ausführungen
der gerundeten Objekte der 1 gezeigt.
Wie gezeigt umfassen die gerundeten Objekte 400 kugelförmige Objekte,
wie etwa die gezeigten kugelförmigen
Objekte 401; elliptisch geformte Objekte, wie etwa die
gezeigten elliptischen Objekte 402; und eine Mischung aus
kugelförmigen Objekten 401 und
elliptischen Objekten 402.
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Mit
weiterem Bezug auf die 4 ist anzumerken, dass die gezeigten
elliptisch geformten Objekte 402 Abwandlungen derselben
einschließen, einschließlich der
gezeigten elliptischen Objekte der Ausführungen 402', 402'' und 402'''. Wenngleich
nur die elliptischen Ausführungen 402', 402'' und 402''' gezeigt sind,
ist anzumerken, dass noch andere Ausführungen von elliptisch geformten
Objekten 402 möglich
sind.
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Mit
weiterem Bezug auf die 2 weisen die gerundeten
Objekte der vorliegenden Erfindung, einschließlich der vorstehenden kugelförmigen Objekte 401 und
der elliptischen Objekte 402 (einschließlich der elliptischen Ausführungen 402', 402'' und 402''') eine glatte
Oberfläche
auf, sind nicht kontaminierend mit Durchmessern, die von 10 bis
30 Millimeter variieren. Es ist anzumerken, dass die gerundeten
Objekte 400 allgemein als "Kugeln" bekannt sind.
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In
einer Ausführung
sind die gerundeten Objekte 400 allgemein aus Glas.
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In
einer weiteren Ausführung
bestehen die gerundeten Objekte 400 allgemein aus einem
keramischen Material wie etwa beispielsweise Porzellan, Aluminiumoxid,
Titandioxid oder Äquivalente
derselben.
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In
noch einer weiteren Ausführung
bestehen die gerundeten Objekte 400 allgemein aus Metall, wie
etwa beispielsweise Aluminium, rostfreier Stahl oder Titan.
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Mit
erneutem Bezug auf die 1 umfasst die Vorrichtung 100 in
einer Ausführung
eine Vielzahl von Schichten gerundeter Objekte 400, wobei
im Wesentlichen alle gerundeten Objekte 400 aus einem einzigen
(1) Material bestehen wie etwa Glas, Keramik oder Metall. Im Gegensatz
dazu umfasst die Vorrichtung 100 in einer anderen Ausführung eine
Vielzahl von Schichten gerundeter Objekte 400, die aus mehr
als einem (1) Material bestehen. Als ein Beispiel dieser letzteren,
entgegen gesetzten Ausführung
kann beispielsweise eine hypothetische Vorrichtung 100 eine
Vielzahl von Schichten gerundeter Objekte umfassen, wobei 50% der
gerundeten Objekte aus Glas bestehen und die restlichen 50% der
gerundeten Objekte aus Metall bestehen.
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Mit
weiterem Bezug auf die 1 umfasst die Vorrichtung 100 in
einer Ausführung
eine Vielzahl von Schichten gerundeter Objekte 400, wobei
im Wesentlichen alle gerundeten Objekte 400 ähnliche
Abmessungen oder Durchmesser umfassen. Im Gegensatz dazu umfasst
die Vorrichtung 100 in einer weiteren Ausführung eine
Vielzahl von Schichten gerundeter Objekte, die unterschiedliche
oder variierende Abmessungen umfassen. Als ein Beispiel dieser letzteren,
entgegen gesetzten Ausführung
kann eine hypothetische Vorrichtung 100 beispielsweise
eine Vielzahl von Schichten gerundeter Objekte umfassen, wobei 35%
der gerundeten Objekte 400 Durchmesser von 10 Millimeter
aufweisen und die übrigen
65% der gerundeten Objekte 400 Durchmesser von 20 Millimeter
aufweisen.
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Mit
nachfolgendem allgemeinen Bezug auf die 5 bis 7 werden verschiedene Ausführungen der
Vorrichtung 100 gezeigt, die eine Vielzahl von Schichten
gerundeter Objekte umfassen, die in dem Kanal 9 durch Halteeinrichtungen 31 bis 32,
wie in 1 gezeigt, getragen werden.
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Die 5 bis 7 werden
wie folgt kurz zusammengefasst:
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5 zeigt verschiedene Ausführungen
der Vorrichtung 100, wobei die Vielzahl der Schichten gerundeter
Objekte 400 allgemein die kugelförmigen Objekte 401 umfasst.
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6 zeigt verschiedene Ausführungen
der Vorrichtung 100, wobei die Vielzahl der Schichten gerundeter
Objekte 400 allgemein elliptische Objekte 402 umfassen.
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7 zeigt verschiedene Ausführungen
der Vorrichtung 100, wobei die Vielzahl der Schichten gerundeter
Objekte 400 ein oder mehrere kugelförmige Objekte 401 und
ein oder mehrere elliptische Objekte 402 umfassen.
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Nachfolgend
wird auf die 5 Bezug genommen, die
drei verschiedene Ansichten, jeweils bezeichnet als 5A, 5B und 5C,
umfasst. In 5A wird eine Ausführung der
Vorrichtung 100 zeigt, wobei die Vielzahl der Schichten
gerundeter Objekte 400 zwei (2) Schichten von kugelförmigen Objekten 401 umfasst.
In 5B ist eine weitere Ausführung der Vorrichtung 100 gezeigt,
wobei die Vielzahl der Schichten gerundeter Objekte drei (3) Schichten
von kugelförmigen
Objekten 401 umfasst. In 5C wird
noch eine weitere Ausführung
der Vorrichtung 100 gezeigt, wobei die Vielzahl der Schichten
gerundeter Objekte zwei oder mehr (d. h. 2, 3, 4, 5 oder noch eine
größere Zahl,
etc.) Schichten kugelförmiger
Objekte 401 umfasst.
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Nachfolgend
wird jetzt auf die 6 Bezug genommen,
die drei unterschiedliche Ansichten, jeweils bezeichnet als 6A, 6B und 6C, umfasst.
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In
der 6A wird eine Ausführung der Vorrichtung 100 gezeigt,
wobei die Vielzahl der Schichten gerundeter Objekte 400 zwei
(2) Schichten von elliptischen Objekten 402 umfasst. In
einer Ausführung
der 6A weisen im Wesentlichen alle derartigen elliptischen
Objekte 402 eine identische elliptische Form auf, wie etwa
beispielsweise nur eine der Ausführungen
elliptischer Objekte 402', 402'' und 402''', gemäß 4.
In einer weiteren anderen Ausführung
der 6A weisen die elliptischen Objekte 402 unterschiedliche
elliptische Formen auf, wie etwa beispielsweise mindestens zwei
Ausführungen der
elliptischen Objekte 402', 402'' und 402''', gemäß 4.
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In
der 6B wird eine weitere Ausführung der Vorrichtung 100 gezeigt,
wobei die Vielzahl der Schichten gerundeter Objekte 400 drei
(3) Schichten elliptischer Objekte 402 umfaßt. In einer
Ausführung der 6B weisen
im Wesentlichen alle derartigen elliptischen Objekte 402 eine
identische elliptische Form auf, wie etwa beispielsweise nur eine der
Ausführungen
der elliptischen Objekte 402', 402'' und 402''' gemäß 4.
In einer weiteren, anderen Ausführung
der 6B weisen derartige elliptische Objekte 402 unterschiedliche
elliptische Formen auf wie etwa beispielsweise mindestens zwei Ausführungen der
elliptischen Objekte 402', 402'' und 402''' gemäß 4.
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In
der 6C wird noch eine weitere Ausführung der Vorrichtung 100 gezeigt,
wobei die Vielzahl der Schichten gerundeter Objekte 400 zwei
oder mehr (d. h. 2, 3, 4, 5 oder noch eine größere Zahl, etc.) Schichten
elliptischer Objekte 402 umfaßt. In einer Ausführung der 6C weisen
im Wesentlichen alle derartigen elliptischen Objekte 402 eine
identische elliptische Form auf, wie etwa beispielsweise nur eine
Ausführung
der elliptischen Objekte 402', 402'' und 402''' gemäß 4.
In einer weiteren, anderen Ausführung
der 6C weisen derartige elliptische Objekte 402 unterschiedliche
elliptische Formen auf, wie etwa beispielsweise mindestens zwei der
Ausführungen
elliptischer Objekte 402', 402'' und 402''' gemäß 4.
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Nachfolgend
wird auf die 7 Bezug genommen, die
drei unterschiedliche Ansichten umfasst, die jeweils als 7A, 7B und 7C bezeichnet
sind.
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In
der 7A wird eine Ausführung der Vorrichtung 100 gezeigt,
wobei die Vielzahl der Schichten gerundeter Objekte 400 zwei
(2) Schichten gerundeter Objekte umfaßt, die ein oder mehrere kugelförmige Objekte 401 und
ein oder mehrere elliptische Objekte 402 umfaßt. In einer
Ausführung
der 7A umfassen die zwei (2) Schichten gerundeter
Objekte eine feste oder vorbestimmte Kombination oder Anordnung
von einem oder mehreren kugelförmigen Objekten 401 und
einem oder mehreren elliptischen Objekten 402. In einer
weiteren Ausführung
der 7A umfassen die zwei (2) Schichten gerundeter Objekte 400 eine
beliebige oder statistische Kombination oder Anordnung von einem
oder mehreren kugelförmigen
Objekten 401 und einem oder mehreren elliptischen Objekten 402.
In einer weiteren Ausführung
der 7A umfassen die zwei (2) Schichten gerundeter
Objekte 400 nur ein (1) kugelförmiges Objekt 401.
In noch einer weiteren Ausführung
der 7A umfassen die zwei (2) Schichten gerundeter Objekte 400 nur
ein (1) elliptisches Objekt 402.
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In
der 7B wird eine weitere Ausführung der Vorrichtung 100 gezeigt,
wobei die Vielzahl der Schichten gerundeter Objekte 400 drei
(3) Schichten gerundeter Objekte 400 umfasst, die ein oder
mehrere kugelförmige
Objekte 401 und ein oder mehrere elliptische Objekte 402 umfassen.
In einer Ausführung der 7B umfassen
drei (2) Schichten gerundeter Objekte 400 eine feste oder
vorbestimmte Kombination oder Anordnung von einem oder mehreren
kugelförmigen
Objekten 401 und einem oder mehreren elliptischen Objekten 402.
In einer weiteren Ausführung
der 7B umfassen die drei (2) Schichten gerundeter
Objekte 400 eine beliebige oder zufällige Kombination oder Anordnung
von einem oder mehreren kugelförmigen
Objekten 401 und einem oder mehreren elliptischen Objekten 402.
In einer weiteren Ausführung
der 7B umfassen die drei (3) Schichten gerundeter
Objekte 400 nur ein (1) kugelförmiges Objekt 401.
In noch einer weiteren Ausführung
der 7B umfassen die drei (3) Schichten gerundeter
Objekte 400 nur (1) elliptisches Objekt 402.
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In
der 7C wird noch eine weitere Ausführung der Vorrichtung 100 gezeigt,
wobei die Vielzahl der Schichten gerundeter Objekte 400 zwei
(2) oder mehr (d. h. 2, 3, 4, 5 oder noch eine größere Zahl, etc.)
Schichten gerundeter Objekte 400 umfasst, die ein oder
mehrere kugelförmige
Objekte 401 und ein oder mehrere elliptische Objekte 402 umfassen.
In einer Ausführung
der 7C umfassen die zwei (2) Schichten gerundeter
Objekte 400 eine feste oder vorbestimmte Kombination oder
Anordnung von einem oder mehreren kugelförmigen Objekten 401 und einem
oder mehreren elliptischen Objekten 402. In einer weiteren
Ausführung
der 7C umfassen die zwei (2) oder mehr Schichten gerundeter
Objekte 400 eine beliebige oder zufällige Kombination oder Anordnung
von einem oder mehreren kugelförmigen Objekten 401 und
einem oder mehreren elliptischen Objekten 402. In einer
weiteren Ausführung
der 7C umfassen die zwei (2) oder mehr Schichten gerundeter
Objekte 400 nur ein (1) kugelförmiges Objekt 401.
In noch einer weiteren Ausführung
der 7C umfassen die zwei (2) oder mehr Schichten gerundeter
Objekte 400 nur (1) elliptisches Objekt 402.
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Zusätzlich zur
Offenbarung der in 1 gezeigten und vorstehend beschriebenen
Vorrichtung 100 ist anzumerken, dass ebenso ein Verfahren
offenbart wurde.
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Insbesondere
wurde ein Verfahren zur Beschichtung von mindestens einem Substrat
mit einem Fluid 200 der Vorrichtung 100 offenbart,
wobei die Vorrichtung 100 mindestens einen Tauchbehälter 10 umfasst,
der einen Einlass 1 und einen Kanal 9 mit einer Öffnung 11 festlegt,
wobei der Kanal 9 Einrichtungen 31 bis 32 zum
Tragen einer Vielzahl von Schichten gerundeter Objekte 400 einschließt, so dass
das Fluid 200, das dem Einlass 1 zugeführt wird 2A,
durch die Vielzahl der Schichten gerundeter Objekte 400 fließt 2B,
um ein Substrat zu beschichten 2C, das durch die Öffnung 11 eingesetzt
wird 80, wobei das Verfahren das Zuführen 2A des Fluids
zu dem Einlass 1 und das Einsetzen 80 von mindestens einem
Substrat durch die Öffnung 11 umfasst.
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In
einer Ausführung
des vorstehenden Verfahrens ist weiterhin anzumerken, dass das mindestens
eine Substrat ein lichtempfindliches Substrat 20A oder 20B und
das Fluid 200 eine lichtempfindliche Beschichtungslösung umfasst.
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Zusammenfassend
ordnet diese Erfindung mehrere Schichten von nicht kontaminierenden,
gerundeten Objekten, die allgemein als "Kugeln" bekannt sind, zwischen Trägereinrichtungen
wie etwa Netzschirmen an. Diese Schichten gerundeter Objekte werden
daraufhin in dem Boden des Tauchtanks angeordnet. Im Ergebnis wird
der Beschichtungsprozess für
das lichtempfindliche Substrat gleichmäßiger, was Beschichtungsdefekte
in resultierenden, fertig gestellten lichtempfindlichen Bändern oder
Trommeln verringert.
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Wenngleich
nicht wesentlich für
die Ausführung
der Erfindung, besteht eine mögliche
Theorie der Funktion darin, dass die Schichten gerundeter Objekte
eine zusätzliche
Scherung in der Lösung
erzeugen, wenn diese in den Behälter
gepumpt wird. Gemäß dieser
Theorie verringert die vergrößerte Scherung
in der Lösung
die Flockenbildung, verringert lösungsmittelreiche
und pigmentreiche Zonen in dem Behälter, verteilt die Strömung in
dem Behälter und
vermeidet stagnierende Zonen mit eingefangenen Verunreinigungen.