DE60213070T2 - Zerstörungsfreies auslesen - Google Patents

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Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Bestimmung eines logischen Zustands ausgewählter Speicherzellen, welche in einem passiven, über eine Matrix adressierbaren Datenspeicher-Bauelement vorgesehen sind, das Wort- und Bitleitungen enthält, bei welchem nach einem vorgegebenen Protokoll einem spezifischen logischen Zustand ein einmal vorkommender logischer Wert zugeordnet wird, bei welchem die Zellen Daten in Form eines elektrischen Polarisierungszustands in kondensatorähnlichen Strukturen abspeichern, die ein polarisierbares Material enthalten, insbesondere ein ferroelektrisches oder Elektret-Material, das zur Entwicklung einer Hysterese in der Lage ist, bei welchem das polarisierbare Material in der Lage ist, bei Fehlen einer von außen aufgeprägten Spannung über die kondensatorähnlichen Strukturen eine nicht auf Null zurückgehende elektrische Polarisierung aufrecht zu erhalten, bei welchem eine Auswahl von Speicherzellen dadurch erfolgt, dass die Wortleitung oder die Bitleitung oder beide Leitungen, die sich an einer in Frage kommenden Speicherzelle kreuzen, aktiviert wird bzw. werden, bei welchem die Aktivierung einer Wortleitung oder einer Bitleitung dadurch erfolgt, dass zwischen diesen Potentialdifferenzen von außen angelegt und somit die ausgewählten Zellen mit einer Abtastspannung mit Kleinsignal beaufschlagt werden, welche sich aus der angelegten Potentialdifferenz ergeben, wodurch ein Antwortstrom aus den Zellen erzeugt wird, bei welchem die Kleinsignal-Abtastspannung in einer willkürlich wählbaren Weise zeitabhängig ist und Spannungsamplituden und/oder Impulsdauern aufweist, die kleiner sind als jene, die erforderlich sind, um in den Polarisierungszuständen der Zellen eine erhebliche dauerhafte Veränderung herbeizuführen, bei welchem der logische Zustand dadurch ermittelt wird, dass Komponenten in dem Antwortstrom aus der ausgewählten Zelle erfasst werden, bei welchem die Komponenten des Antwortstroms in zeitliche Korrelation zu der Kleinsignal-Abtastspannung oder daraus abgeleiteten Referenzsignalen gebracht werden, und bei welchem eine Entscheidung über einen logischen Zustand einer ausgewählten Zelle auf der Grundlage eines Vergleichs des Antwortstroms mit einem Satz zuvor definierter Kriterien getroffen wird.
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich außerdem auf Vorrichtungen zur Durchführung des Verfahrens.
  • In den vergangenen Jahren wurde eine Datenspeicherung in elektrisch polarisierbaren Medien nachgewiesen, die aus Dünnfilmschichten bestehen. Im vorliegenden Zusammenhang sind Elektretmaterialien sowie ferroelektrische Werkstoffe aus Keramik- oder Polymermaterial von besonderem Interesse, bei denen der logische Zustand einer einzelnen Speicherzelle durch die Polarisierungsrichtung der Dünnfilmschicht in dieser Zelle repräsentiert wird. Im Falle von ferroelektrischen Materialien werden Daten dadurch in die Speicherzellen geschrieben, dass die Filmschicht durch Anlegen eines entsprechend gerichteten elektrischen Feldes in der gewünschten Richtung polarisiert wird, wobei das elektrische Feld das Koerzitivfeld des ferroelektrischen Werkstoffs übersteigt. Ein größerer Vorteil solcher Werkstoffe besteht darin, dass sie auch ohne laufende Zuleitung elektrischer Energie ihre Polarisierung beibehalten, was bedeutet, dass die Datenspeicherung nicht flüchtig ist.
  • Es wurden zwei Hauptgruppen von Speicherbausteinen nachgewiesen, welche grundlegend unterschiedliche Bauelement-Architekturen besitzen.
  • Bei der ersten Gruppe von Bauelementen umfasst jede Speicherzelle mindestens einen Transistor. Bei dieser Speicherarchitektur handelt es sich insgesamt um einen Typus mit aktiver Matrix, wobei der wichtigste Vorteil gegenüber herkömmlichen SRAM- und DRAM-Bauelementen darin besteht, dass der ferroelektrisch gespeicherte logische Zustand nicht flüchtiger Art ist. Bei Bauelementen dieser Art stellt die Notwendigkeit, einen oder mehrere Transistoren in jeder Zelle vorzusehen, einen größeren Nachteil hinsichtlich der Komplexität und der verminderten Datenspeicherung im Hinblick auf die Bauelementefläche dar.
  • Bei der zweiten Gruppe von Bauelementen, die hier besonders relevant sind, sind die Speicherzellen in einer Architektur mit passiver Matrix ausgelegt, wobei zwei Sätze zueinander jeweils senkrechter Elektroden Matrizenanordnungen mit kondensatorähnlicher Struktur an den Kreuzungspunkten zwischen den Elektroden bilden. Dabei bildet jeder Kondensator eine Speicherzelle, wobei zwischen den Elektroden eine ferroelektrische Filmschicht eingeschlossen ist.
  • Entsprechend dem Stand der Technik werden Daten dadurch in eine Speicherzellen geschrieben oder daraus ausgelesen, dass an das Material jeder in Frage kommenden Zelle ein elektrisches Feld ausreichender Größe angelegt wird, um so den Hysterese-Effekt zu überwinden und die elektrische Polarisierung in der Zelle in Richtung des angelegten Feldes zu orientieren. Wenn das Material bereits vor dem Anlegen des Feldes in dieser Richtung polarisiert war, findet keine Umkehr der Polarisierung statt und fließt durch die Zelle nur ein geringer momentaner Strom. Wenn dagegen das Material in der entgegen gesetzten Richtung polarisiert war, findet eine Umkehr der Polarisierung statt, was den Durchfluss eines viel stärkeren momentanen Stromes durch die Zelle veranlasst. Auf diese Weise erreicht man ein Auslesen des logischen Zustands in einer einzelnen Speicherzelle, d.h. die Bestimmung der Richtung der elektrischen Polarisierung in der Zelle, durch Anlegen einer Spannung mit einer Größe, die ausreicht, um das Koerzitiv-Feld in dem ferroelektrischen Material zu übersteigen, sowie durch Erfassen des sich dabei ergebenden Stromes.
  • Im Vergleich zu den Bauelementen, die auf einer aktiven Matrix aufbauen, können die auf einer passiven Matrix aufbauenden Bauelemente mit einer viel höheren Dichte der Speicherzellen hergestellt werden und ist die Speichermatrix an sich viel weniger kompliziert. Der Auslesevorgang nach dem Stand der Technik ist jedoch destruktiv bzw. zerstörend, wozu gehört, dass der Dateninhalt in der gerade ausgelesenen Zelle verloren geht. Somit müssen gerade ausgelesene Daten in das Speicherbauelement zurück geschrieben werden, wenn eine weitere Speicherung dieser Daten gewünscht wird. Eine ernstere Konsequenz der Polaritäts-Umschaltung besteht in der Ermüdung, d.h. in einem allmählichen Verlust der umschaltbaren Polarisierung, der im typischen Fall mit einer Notwendigkeit einhergeht, dass an die Zelle eine höhere Spannung angelegt werden muss, um die Polarisierungs-Umkehr herbeizuführen. Die Ermüdung schränkt die Anzahl an Lesezyklen ein, die eine bestimmte Speicherzelle aushalten kann, und somit den Bereich der Einsatzgebiete. Außerdem führt dies zu einem langsameren Antwort-Verhalten und erhöhter Spannungserfordernisse für das Speicher-Bauelement. Die begleitende allmähliche Veränderung in den Betriebsparametern für einzelne Speicherzellen in einem bestimmten Bauelement lässt sich a priori nur selten vorhersagen und führt zu der Notwendigkeit einer Auslegung für den „schlimmsten Fall" und zu einem suboptimalen Betrieb.
  • Man bemühte sich bisher, Techniken zu entwickeln, die ein zerstörungsfreies Auslesen aus Speichern ermöglichen, die auf ferroelektrischem Material aufbauen, während eine einfache elementare Architektur der Speicherzellen beibehalten wird.
  • C.J. Brennan beschreibt ferroelektrische Kondensator-Zellen und zugehörige Module mit elementarer Schaltung für die Datenspeicherung in den US-Patentschriften Nr. 5,343,421; 5,309,390; 5,262,983; 5,245,568; 5,151,877 und 5,140,548. Durch Abgreifen der Kleinsignal-Kapazitätswerte bei gleichzeitigem Beaufschlagen des ferroelektrischen Materials mit mäßig starken Vorspannfeldern, d.h. Vorspannfeldern, die während des Auslesens mit Überschreiten des Koerzitivfeldes in dem ferroelektrischen Material nicht zur Spitzenspannung durch die Zelle führen, wird die Richtung der spontanen Polarisierung in dem Kondensator und damit der logische Zustand der Speicherzelle ermittelt. Es bestehen dabei jedoch bestimmte sehr spezifische Voraussetzungen für den Einsatz der von Brennan beschriebenen Verfahren und Vorrichtung, da diese Erscheinungen hervorrufen, denen die Raumladungsspeicherung an den Elektroden zugrunde liegt, die ausdrücklich von den Werkstoffen abhängig ist, die bei den Elektroden verwendet werden, sowie von dem angrenzenden ferroelektrischen Material. Das Auslesen der Daten umfasst das Abtasten der Raumladung, was auf Zeitskalen erfolgen muss, die mit einer derartigen Ladungsspeicherung kompatibel sind. Außerdem enthalten die Patentschriften von Brennan keinerlei Lehre darüber, wie die Kleinsignal-Spannung und die Vorspannung zeitlich zu steuern und bezüglich zu einander in Korrelation zu bringen sind, was für die Realisierung bei praktischen Bauelementen von überragend hoher Bedeutung ist. Es findet sich dort auch keinerlei Lehre darüber, wie die in Frage stehenden Speicherzellen angeordnet und in großen Anordnungen adressiert werden können, welche leistungsfähige und zuverlässige Lese- und Schreib-Operationen ermöglichen.
  • In der internationalen Patentanmeldung Nr. PCT/NO01/00472, welche auf den Anmelder der vorliegenden Anmeldung übertragen wurde, werden ein Satz Techniken zum zerstörungsfreien Auslesen und die zugehörige Vorrichtung offenbart und in Verbindung mit Speicher-Bauelementen mit ferroelektrischem Dünnfilm-Kondensator offenbart und beschrieben. Ausgelesen wird dadurch, dass die Speicherzellen mit einer Kombination aus zeitabhängigen Spannungen beaufschlagt werden, wodurch ein Kleinsignal-Antwortstrom mit linearen und nichtlinearen Komponenten ausgelöst wird, die zur Bestimmung des logischen Zustands jeder Zelle verarbeitet werden. Während die in Frage kommenden Speicherzell-Strukturen in hohem Maße an Adressier-Schemata mit passiven Matrizen anpassbar sind, wird auf die Frage nicht eingegangen, wie dies in der Praxis realisiert werden soll. Dieser Punkt ist von großer Bedeutung und die Lösung dieses Problems soll festlegen, ob die vorstehend angesprochenen Möglichkeiten zum zerstörungsfreien Auslesen letztendlich gangbare Wege darstellen oder nicht.
  • In der US-Patentschrift Nr. 5666305 (Mihara und andere) wird offenbart, wie eine ferroelektrische Speicherzelle zerstörungsfrei ausgelesen werden kann, wenn die Speicherzelle zum Abspeichern von Daten in einer bestimmten Weise polarisiert ist. Die Speicherzelle wird dabei in jede Richtung auf den Remanenz-Zustand polarisiert, umeinen ersten logischen Wert einzuschreiben, während zum Schreiben eines zweiten logischen Werts die Zelle mit einer Mischung aus ferroelektrischen Bereichen teilweise polarisiert wird, die sowohl in positiver als auch negativer Richtung polarisiert sind. Zum Auslesen wird an die Speicherzelle ein Spannungsimpuls oder eine Folge von Spannungsimpulsen mit einer Amplitude angelegt, dessen bzw. deren Amplitude nur einem Bruchteil einer Umschaltspannung entspricht; der aktuelle logische Zustand wird dadurch bestimmt, dass ein Kapazitäts- oder Stromwert erfasst wird. Mihara u.a. befassen sich tatsächlich mit zwei abweichenden Ausführungsbeispielen eines ferroelektrischen Speichers. Beim ersten handelt es sich um einen Hybrid-Speicher aus Transistor und ferroelektrischem Element, bei dem ein ferroelektrisches Speichermaterial als Dünnfilmschicht zwischen der Steuerelektrode und dem Kanalbereich eines Feldeffekttransistors vorgesehen ist und somit als Steuerisolierelement wirkt. Der Polarisierungszustand des ferroelektrischen Materials beeinflusst die Leitfähigkeit des Transistorkanals und ausgelesen wird durch Vorspannen des Gitters und durch Erfassen des Austrittsstroms. Bei dem anderen Ausführungsbeispiel nach Mihara u.a. handelt es sich um einen herkömmlichen ferroelektrischen Speicher, der über eine passiv e Matrix adressierbar ist und bei dem die Speicherzellen wieder in der vorstehend beschriebenen Weise polarisiert werden, um einen logischen Wert abzuspeichern und um auszulesen, was durch Anlegen eines Kleinsignal-Impulses oder noch besser einer Abfolge von Kleinsignal-Impulsen geschieht, um für zerstörungsfreies Auslesen eines Kapazitätswerts zu sorgen, welcher den logischen Zustand repräsentiert.
  • Fasst man die Darstellung des Standes der Technik zusammen, zeigt sich, dass im Zusammenhang mit Speicherzellen, die in Speicherstrukturen vorgesehen sind, die über passive Matrizen adressierbar sind, wobei die Zellen in Form von Kondensatoren vorgesehen sind, die mit einem elektrisch polarisierbaren Material mit Hysterese-Eigenschaften, z.B. einem ferroelektrischen Material, gefüllt sind, Bauelemente und Verfahren benötigt werden, mit denen Daten zerstörungsfrei ohne parasitäre Einflüsse aus nicht adressierten Zellen in der Matrix ausgelesen werden können, welche das Auslesen korrumpieren.
  • Der vorliegenden Erfindung liegt vornehmlich die Aufgabe zugrunde, Strategien und Verfahren zum zerstörungsfreien Auslegen des logischen Zustands ausgewählter Speicherzellen zu schaffen, die über eine Anordnung mit passiver Matrix adressiert werden, während gleichzeitig eine Verstümmelung der Messwerte durch parasitäre Signaleinflüsse vermieden werden, welche auf besonders kapazitive Kopplungen in der Matrix zurückzuführen sind, da sich derartige kapazitive Kopplungen beispielsweise in der kapazitiven Erfassung von Signalen (Ladungen) aus den nicht adressierten Zellen in der Matrix oder in der kapazitiven Abtastung aus dem Netzwerk aus Elektroden und Zellen manifestieren, welche die ausgewählten Zellen in der Matrix umgeben.
  • Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, allgemeine Verfahren zu beschreiben und spezielle Beispiele für Vorrichtungen zur Realisierung der vorstehend genannten Strategien und Verfahren zu entwickeln.
  • Eine noch andere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist die Erzielung eines im Wesentlichen ermüdungsfreien Vorgangs zum Auslesen aus Speicher-Bauelementen ohne die Notwendigkeit, nach jedem Auslesevorgang den Inhalt zurück zu schreiben.
  • Die vorgenannten Zielsetzungen sowie weitere Merkmale und Vorteile werden mit einem Verfahren zur Bestimmung eines logischen Zustands ausgewählter Speicherzellen erreicht, welche in einem passiven, über eine Matrix adressierbaren Datenspeicher-Bauelement vorgesehen sind, das Wort- und Bitleitungen enthält, bei welchem nach einem vorgegebenen Protokoll einem spezifischen logischen Zustand ein einmal vorkommender logischer Wert zugeordnet wird, bei welchem die Zellen Daten in Form eines elektrischen Polarisierungszustands in kondensatorähnlichen Strukturen abspeichern, die ein polarisierbares Material enthalten, insbesondere ein ferroelektrisches oder Elektret-Material, das zur Entwicklung einer Hysterese in der Lage ist, bei welchem das polarisierbare Material in der Lage ist, bei Fehlen einer von außen aufgeprägten Spannung über die kondensatorähnlichen Strukturen eine nicht auf Null zurückgehende elektrische Polarisierung aufrecht zu erhalten, bei welchem eine Auswahl von Speicherzellen dadurch erfolgt, dass die Wortleitung oder die Bitleitung oder beide Leitungen, die sich an einer in Frage kommenden Speicherzelle kreuzen, aktiviert wird bzw. werden, bei welchem die Aktivierung einer Wortleitung oder einer Bitleitung dadurch erfolgt, dass zwischen diesen Potentialdifferenzen von außen angelegt und somit die ausgewählten Zellen mit einer Abtastspannung mit Kleinsignal beaufschlagt werden, welche sich aus der angelegten Potentialdifferenz ergeben, wodurch ein Antwortstrom aus den Zellen erzeugt wird, bei welchem die Kleinsignal-Abtastspannung in einer willkürlich wählbaren Weise zeitabhängig ist und Spannungsamplituden und/oder Impulsdauern aufweist, die kleiner sind als jene, die erforderlich sind, um in den Polarisierungszuständen der Zellen eine erhebliche dauerhafte Veränderung herbeizuführen, bei welchem der logische Zustand dadurch ermittelt wird, dass Komponenten in dem Antwortstrom aus der ausgewählten Zelle erfasst werden, bei welchem die Komponenten des Antwortstroms in zeitliche Korrelation zu der Kleinsignal-Abtastspannung oder daraus abgeleiteten Referenzsignalen gebracht werden, bei welchem eine Entscheidung über einen logischen Zustand einer ausgewählten Zelle auf der Grundlage eines Vergleichs des Antwortstroms mit einem Satz zuvor definierter Kriterien getroffen wird, und bei welchem an ausgewählten Wort- und Bitleitungen oder Gruppen von Wort- und Bitleitungen zeitabhängige Potentiale angelegt werden, wobei die zeitabhängigen Potentiale nach Größe und Zeit in der Weise mit einander koordiniert werden, dass die sich dabei ergebenden Spannungen an allen oder einigen der nicht ausgewählten Zellen an den Kreuzungspunkten zwischen inaktiven Wortleitungen und einer aktiven Bitleitung oder aktiven Bitleitungen und/oder zwischen inaktiven Bitleitungen und mindestens einer aktiven Wortleitung dazu gebracht werden, dass sie nur vernachlässigbar kleine Spannungskomponenten enthalten, die in zeitliche Korrelation zu den Kleinsignal-Abtastspannung bzw. daraus abgeleiteten Referenzsignalen gebracht werden.
  • Für gewöhnlich wird vorteilhafterweise zu einem Zeitpunkt nur eine einzelne Wortleitung aktiviert.
  • Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren gilt es als Vorteil, dass inaktive Wort- und/oder Bitleitungen mit Potentialen beaufschlagt werden, welche dynamisch den an die jeweiligen aktiven Bitleitungen und/oder Wortleitungen angelegten Spannungen mit hoher Wiedergabetreue und in Echtzeit folgen, und/oder dass die Potentiale an inaktiven Wortleitungen von dedizierten Signalquellen gesteuert werden, welche aus einer aktiven Bitleitung bzw. aus aktiven Bitleitungen ein Signal ableiten, um dem Potential auf der aktiven Bitleitung bzw. den aktiven Bitleitungen dynamisch zu folgen; und/oder dass die Potentiale auf inaktiven Bitleitungen von dedizierten Signalquellen gesteuert werden, welche aus einer aktiven Wortleitung ein Signal ableiten, um dem Potential auf der aktiven Wortleitung dynamisch zu folgen; und/oder dass die Potentiale auf inaktiven Wortleitungen dadurch gesteuert werden, dass diese über Schalter und Verdrahtungsleitungen elektrisch auf dem Potential auf einer aktiven Bitleitung bzw. auf aktiven Bitleitungen (ABL) eingerastet werden; und/oder dass die Potentiale auf inaktiven Wortleitungen dadurch gesteuert werden, dass diese über Schalter und Verdrahtungsleitungen elektrisch auf dem Potential auf einer aktiven Wortleitung eingerastet werden.
  • Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird der Umstand als vorteilhaft angesehen, dass eine mit jeder aktiven Bitleitung verbundene aktive elektronische Schaltung eingesetzt wird, welche das Potential auf einer aktiven Bitleitung auf einem zuvor definierten Wert hält, und dass es dann vorzuziehen ist, dass der zuvor definierte Wert als Systemerdpotential gewählt wird. Dann ist es auch vorzuziehen, dass alle Bitleitungen aktive Bitleitungen sind. In diesem Zusammenhang ist es außerdem auch von Vorteil, wenn ein Multiplexer oder eine Durch schaltbank vorgesehen ist, um zu einem bestimmten Zeitpunkt jeweils eine aktive Bitleitung mit einer aktiven elektronischen Schaltung zu verbinden, welche das Potential auf der einen aktiven Bitleitung auf einem zuvor definierten Wert hält; oder alternativ ist es vorzuziehen, einen Multiplexer oder eine Durchschaltbank vorzusehen, um zu einem bestimmten Zeitpunkt jeweils einen ausgewählten Satz aktiver Bitleitungen mit einem Satz aktiver elektronischer Schaltungen zu verbinden, welche das Potential auf den aktiven Bitleitungen auf dem zuvor definierten Wert halten. In diesem Zusammenhang wird auch bevorzugt, dass die aktive elektronische Schaltung Informationen über die Ladung bzw. den Strom liefert, welcher) in die aktive Bitleitung fließt.
  • Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren gilt es als Vorteil, dass inaktive Wortleitungen über eine Bank aus Durchschaltelementen bzw. Schaltern auf dem Systemerdpotential eingerastet werden.
  • Bei dem Verfahren gemäß der Erfindung wird es als vorteilhaft angesehen, einen Multiplexer oder eine Durchschaltbank vorzusehen, um zu einem bestimmten Zeitpunkt jeweils eine aktive Wortleitung mit einer elektronischen Schaltung zu verbinden, welche das Potential auf der einen aktiven Wortleitung nach einem zuvor definierten Protokoll steuert, und dann wird bevorzugt, dass das Potential auf der einen aktiven Wortleitung eine Überlagerung einer Kleinsignal-Abtastspannung und einer Hintergrund-Vorspannung umfasst.
  • Bei dem ersten Ausführungsbeispiel des Verfahrens gemäß der vorliegenden Erfindung wird ein Antwortstrom aus ausgewählten Speicherzellen nach einem so genannten Güterwagen-Verfahren analysiert, wobei dieses Verfahren mit Taktsignalen arbeitet, die aus Schaltungen abgeleitet sind, welche die Potentiale auf einer aktiven Wortleitung und/oder einer aktiven Bitleitung bzw. auf aktiven Bitleitungen steuern.
  • Bei einem zweiten Ausführungsbeispiel des Verfahrens gemäß der vorliegenden Erfindung wird der Antwortstrom aus ausgewählten Speicherzellen mit einem so genannten Lock-in-Verfahren analysiert, wobei dieses Verfahren mit einem oder mehreren Referenzsignalen in dem Frequenzbereich arbeitet, der aus Schaltungen abgeleitet wird, welche die Potentiale auf der aktiven Wortleitung und/oder den aktiven Bitleitungen steuert. In diesem Zusammenhang wird bevorzugt, dass die Analyse mit einem Referenzsignal vorgenommen wird, das aus einer Abtastspannungskomponente der Spannung abgeleitet wird, welche an den ausgewählten Speicherzellen angelegt ist; oder alternativ wird die Analyse mit einem Referenzsignal vorgenommen, das aus einer Vorspannungskomponente der Spannung abgeleitet wird, welche an die ausgewählten Speicherzellen angelegt ist; oder auch mit doppelten Referenzsignalen, von denen eines von einer Abtastspannungskomponente und eines von einer Vorspannungskomponente der Spannung abgeleitet wird, welche an den ausgewählten Speicherzellen angelegt sind; oder die Analyse des Ansprechstroms wird unter Verwendung dominanter Frequenzkomponenten von mindestens einer der folgenden Spannungskomponenten vorgenommen, nämlich der Grundfrequenz oder höherer Harmonischer (2., 3., ... Harmonische) einer Abtastspannung in den Fällen, in denen die Abtastspannung eine einzige dominante Frequenz enthält, oder der Grundfrequenz oder höherer Harmonischer (2., 3., ... Harmonische) von einer oder mehreren Komponenten der Abtastspannung, wobei die Komponenten zwei oder mehr separate dominante Frequenzen enthalten, oder der Summen- bzw. Differenzfrequenzen, die durch Addieren und/oder Subtrahieren der zwei oder mehr dominanten Frequenzen erzeugt werden.
  • Die vorstehend genannten Zielsetzungen sowie weitere Merkmale und Vorteile werden auch mit einer Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens realisiert, wobei die Vorrichtung Signalgeber aufweist, wovon mindestens einer mit mindestens einem anderen Signalgeber zur koordinierten Anlegung von Spannungen auf allen inaktiven Wortleitungen und allen inaktiven Bit leitungen in der Weise koordiniert ist, dass alle inaktiven Wortleitungen mit dem gleichen augenblicklichen Potential wie eine aktive Bitleitung und alle inaktiven Bitleitungen mit dem gleichen augenblicklichen Potential wie eine aktive Wortleitung beaufschlagt werden, wodurch an alle nicht ausgewählten Speicherzellen eine vernachlässigbar kleine Spannungskomponente angelegt ist, welche in zeitliche Korrelation mit der Kleinsignal-Abtastspannung bzw. daraus abgeleiteten Referenzsignalen gebracht ist.
  • Diese Vorrichtung kann mit einem ferroelektrischen Speicherbaustein mit Speicherzellen (1) in einer passiven adressierbaren Matrixanordnung verbunden werden und einen Teil desselben bilden, wobei die Matrix eine erste Elektrodengruppe aufweist, welche die Wortleitungen des Speicherbausteins bildet, und eine zweite Elektrodengruppe, welche die Bitleitungen desselben bildet, und bei welcher die inaktiven Bitleitungen über einen Gemeinschaftssignalgeber für die koordinierte Anlegung von Spannung an die Leitungen an eine aktive Wortleitung direkt angeklemmt sind, wobei der Gemeinschaftssignalgeber eine niedrige Quellenimpedanz besitzt.
  • Bei der Vorrichtung können alle Wortleitungen – mit Ausnahme einer aktiven Wortleitung – und alle Bitleitungen über einen untergeordneten Signalgeber für die koordinierte Anlegung von Spannungen an die Leitungen an das Potential einer aktiven Bitleitung direkt angeklemmt sein.
  • Die Vorrichtung kann des Weiteren eine oder mehrere Leseverstärker-Schaltungen aufweisen, die zum Erfassen der Komponenten des Antwortstroms aus der ausgewählten Zelle und einem oder mehreren Lock-in-Verstärkern an die Vorrichtung anschließbar sind, von denen jeder mit einem Ausgang einer jeweiligen Schaltung der einen oder mehreren Leserverstärker-Schaltungen zur zeitlichen Korrelierung der Komponenten mit der Kleinsignal-Abtastspannung bzw. den daraus abgeleiteten Referenzsignalen verbunden ist.
  • Die vorliegende Erfindung wird in der nachstehenden ausführlichen Darstellung bevorzugter Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der beiliegenden Zeichnungen deutlicher beschrieben, in denen
  • 1 eine allgemeine Hysterese-Kurve für ein Speichermaterial vom ferroelektrischen Typus darstellt;
  • 2 die Elektroden-Anordnung in einem Speicher mit Adressierung über eine passive Matrix zeigt, wie zum Beispiel einen ferroelektrischen Speicher, wie er bei der vorliegenden Erfindung eingesetzt wird;
  • 3 ein typisches Verhalten eines Kleinsignal-Antwortstroms darstellt, beispielsweise bei einer ferroelektrischen Speicherzelle;
  • 4a ein Beispiel eines Spannungsmusters beim Auslesevorgang zeigt, wie man es bei dem Verfahren gemäß der vorliegenden Erfindung erhält;
  • 4b die Potentialmuster darstellt, welche dem Spannungsmuster beim Auslegevorgang entsprechen;
  • 5 das Prinzip darstellt, das einem ersten Ausführungsbeispiel des Verfahrens gemäß der Erfindung zugrunde liegt;
  • 6 eine Variante des in 5 dargestellten Ausführungsbeispiels zeigt;
  • 7 eine andere Variante des Ausführungsbeispiels gemäß 5 repräsentiert;
  • 8 ein Beispiel für eine Leserverstärker-Schaltung zeigt, wie sie bei der vorliegenden Erfindung Verwendung findet;
  • 9 das Prinzip darstellt, das einem zweiten Ausführungsbeispiel des Verfahrens gemäß der Erfindung zugrunde liegt;
  • 10 eine Darstellung der Struktur einer ersten erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Durchführung des zweiten Ausführungsbeispiels des erfindungsgemäßen Verfahrens ist, und
  • 11 die Struktur einer zweiten Vorrichtung zur Durchführung einer zweiten erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens darstellt.
  • Vor der ausführlicheren Beschreibung der Erfindung soll nachstehend der allgemeine Hintergrund der vorliegenden Erfindung kurz dargestellt werden.
  • 1 stellt eine typische Hysterese-Kurve für ein ferroelektrisches Material dar, bei welcher die zwei stabilen Polarisierungszustände in einem externen Null-Feld durch die jeweiligen zugewiesenen logischen Zustände „0" bzw. „1" angegeben sind.
  • Die Hysterese-Kurve gibt die elektrische Polarisierung in Mikrofarad/cm2 gegenüber dem elektrischen Potential in Volt an. In 1 wird die positive Polarität mit logischer „0" dargestellt, während die negative Polarität mit logischer „1" repräsentiert wird. Außerdem bezeichnet Vc die Koerzitiv-Spannung und PR die remanente Polarisierung bezeichnet, während P die Differenz zwischen der elektrischen Polarität bei Sättigungsspannung und remanenter Polarisierung PR angibt. Schließlich bezeichnet P* die gesamte Veränderung der Polarisierung, wenn die Polarität umgekehrt wird, wie dies der Fall ist, wenn die Speicherzelle von logisch „0" auf logisch „1" umgeschaltet wird, was bei zerstörendem Auslesen aus einer Speicherzelle geschehen kann.
  • 2 zeigt die Elektrodenanordnung, wie sie allgemein bei einem passiven, über eine Matrix adressierbaren ferroelektrischen Speicher verwendet wird. Das Speichermedium als solches, d.h. das ferroelektrische Material, ist jeweils zwischen einer ersten Reihe paralleler Elektroden WL1 – WLm als Zwischenschicht eingesetzt, die als horizontale Elektroden bezeichnet werden, und einer zweiten Reihe paralleler Elektroden BL1 – BLn, die senkrecht zur ersten Gruppe Elektroden angeordnet sind und als vertikale Elektroden bezeichnet werden, wobei auf diese Weise eine rechtwinklige Elektrodenmatrix gebildet wird. Nach Anlegen einer Spannung an die jeweiligen horizontalen und vertikalen Elektroden werden Speicherzellen an den Kreuzungspunkten der Elektroden in der Matrix betroffen. Nach Anlegen einer Spannung an eine spezielle horizontale Elektrode und an eine spezielle vertikale Elektrode bildet sich ein Potential durch die in Frage stehende Speicherzelle aus, so dass man eine elektrische Polarisierung in positiver oder negativer Form erhält, die jeweils einem logischen Zustand „0" bzw. einem logischen Zustand „1" entspricht, was je nach Bedarf oder entsprechend einem vorgegebenen Protokoll geschieht.
  • Bei der vorliegenden Erfindung konzentriert sich die Aufmerksamkeit insbesondere auf bestimmte spezielle Schemata zum zerstörungsfreien Auslesen in der jeweiligen Art, wie sie in dem vorstehend besprochenen Stand der Technik dargestellt wurde und im Zusammenhang mit der vorliegenden Erfindung als relevant betrachtet wird. Im typischen Fall erfolgt das Auslesen durch Messen der Kleinsignal-Reaktion der in Frage stehenden Speicherzelle durch Anlegen einer zeitlich sich verändernden Kleinsignal-Prüfspannung an die in Frage kommende ausgewählte Zelle, während gleichzeitig eine überlagerte Vorspannung mit langsamerer zeitlicher Veränderung als die Veränderung der Kleinsignal-Prüfspannung zugeführt wird. Der logische Zustand wird im Allgemeinen daran erkennbar, dass die Abhängigkeit der aufgezeichneten Kleinsignal-Reaktion auf die Vorspannung aufgezeichnet wird. Letztere kann so gewählt werden, dass sie sich entsprechend einem zuvor definierten Plan verändert, beispielsweise indem sie zwischen zwei Werten gleicher oder entgegen gesetzter Polarität umgeschaltet oder periodisch zwischen zwei Extremwerten moduliert wird. Die Kleinsignal-Reaktion kann beispielsweise die Kapazität der Speicherzelle bei der Frequenz der Kleinsignal-Prüfspannung sein oder es kann sich dabei um die Amplitude oder Phase einer höheren Harmonischen des Antwortsignals handeln.
  • Unter Beibehaltung des üblichen Sprachgebrauchs und unter Bezugnahme auf 2 soll im Folgenden die nachstehende Terminologie gelten, nach welcher horizontale Elektroden WL als Wortleitungen und vertikale Elektroden BL als Bitleitungen bezeichnet werden. Die Speicherzellen, die zum Schreiben, Auslesen, Löschen oder Auffrischen ausgewählt werden, werden als ausgewählte Zellen bezeichnet, während alle übrigen Zellen als nicht ausgewählte Zellen gelten. Eine Wortleitung WL, die mit einer oder mehreren ausgewählten Zellen verbunden ist, wird als aktive Wortleitung (abgekürzt: AWL) bezeichnet, während eine Bitleitung BL, die mit einer oder mehreren ausgewählten Zellen verbunden ist, als aktive Bitleitung (ABL) bezeichnet wird. Dementsprechend werden eine Wortleitung WL und eine Bitleitung BL, die nicht mit irgendwelchen ausgewählten Zellen verbunden sind, als inaktive Wortleitung (IWL) bzw. inaktive Bitleitung (IBL) bezeichnet.
  • Ein grundlegendes Problem, das immer wieder beim Speicher, Auslesen und Löschen von Daten in passiven, über eine Matrix adressierbaren Speicheranordnungen auftritt, ist die große Anzahl elektrischer Verknüpfungen innerhalb des Netzwerks aus Elektroden und Speicherzellen in der Matrix. Somit kann das Anlegen einer Spannung an eine Gruppe sich gegenseitig überkreuzender Wort- und Bitleitungen zum Adressieren einer bestimmten Zelle oder Gruppe von Zellen in der Matrix gleichzeitig dazu führen, dass nicht adressierte Zellen in der Matrix mit Spannungen beaufschlagt werden, die unter Umständen deren logische Zustände stören, oder dass derartige nicht adressierte Zellen gegebenenfalls elektrische Ladungen beitragen, welche die Reaktion stören, die aus dem adressierten Zellen gemessen wird. Dies lässt sich anhand von 2 darstellen. Es wird beispielsweise angenommen, dass der logische Zustand der Speicherzelle 1 an der Überschneidung zwischen der aktiven Wortleitung AWL und der aktiven Bitleitung ABL in der Matrix in der dargestellten Weise ausgelesen werden soll. Weiterhin wird angenommen, dass der Auslesevorgang durch Anlegen einer zeitabhängigen Spannung an die Zelle 1 und durch Messen des sich dabei ergebenden Antwortstroms vorgenommen werden soll. Da die Messungen über Verbindungen mit den aktiven Wort- und Bitleitungen AWL; ABL an den Rändern der Matrix vorgenommen werden, werden Potentiale, die auf diese Leitungen gegeben werden, auch an den nicht adressierten Zellen spürbar, welche mit diesen Leitungen verbunden sind. Somit können je nach der Gesamtverteilung der Potentiale und Impedanzen in der gesamten Matrix Störsignale aus einer großen Zahl nicht adressierter Zellen zu der gemessenen Reaktion aus der adressierten Zelle 1 hinzukommen. Dieses Problem kann leicht von Fachleuten auf dem Gebiet der Elektronik bestätigt werden, wenn man berücksichtigt, dass praktische Bauelemente Matrizen mit mehreren hundert oder tausend Wort- und Bitleitungen umfassen.
  • Die passive Matrixadressierung ist insofern einzigartig, als hier eine hohe Speicherzellendichte mit Einfachheit und Flexibilität in der Architektur kombiniert wird. Soweit den Erfindern bekannt ist, ist jedoch keinerlei einschlägiger Stand der Technik vorhanden, mit dem sich das Problem der Störsignale in passiven, über eine Matrix adressierbaren Speicherbauelementen lösen lässt, bei denen mit Schemata zum zerstörungsfreien Auslesen in der Weise gearbeitet wird, wie Brennan dies in den vorstehend angesprochenen Patentschriften lehrt, oder in der Weise, wie sie in der vorgenannten internationalen Patentanmeldung Nr. PCT/NO01/00472 gelehrt wird, auf die vorstehend ebenfalls verwiesen wurde, oder auch nach ähnlichen Schemata. Derartige Schemata zum zerstörungsfreien Auslesen bleiben nur von rein akademischem Interesse, sofern sie nicht mit realistischen und wirksamen Mitteln zur Adressierung kombiniert werden können.
  • Auch wenn sich gemäß den Ausführungen in der Einleitung die vorliegende Erfindung insbesondere damit befasst, Störsignaleinträge wie jene zu beseitigen, die durch kapazitive Kopplungen verursacht werden, versteht sich doch von selbst, dass bei einem passiven, über eine Matrix adressierbaren Speicherbauelement, bei welchem das erfindungsgemäße Verfahren angewendet werden soll, auch induktive oder Strahlungs-Kopplungen vorhanden sein können, wodurch ein induktiver oder Strahlungs-Abgriff aus dem aus Elektroden und Zellen bestehenden Netzwerk herbeigeführt wird, welche die ausgewählten Zellen in der Matrix umgeben. Dies lässt sich noch leichter erkennen, wenn man berücksichtigt, dass die Speichermatrix als Netzwerk aus kapazitiven, induktiven und Widerstandselementen betrachtet werden kann, in welchem zusätzlich sich zeitlich verändernde Spannungen oder Ströme mit Frequenzkomponenten in der Matrix fließen können. Es wurden jedoch Simulationsstudien mit großen passiven adressierbaren Speichermatrizen vorgenommen, die auf der Verwendung eines vereinfachten Modells der Matrix aufbauten – d.h. auf einem Ersatzschaltungsmodell, in dem die Kopplung zwischen den unterschiedlichen Leitungen in der Matrix unter Verwendung konzentrierter kapazitiver, induktiver und Widerstands-Elementen beschrieben werden kann. Bei der Durchführung einer Simulation der Felder anhand eines zweidimensionalen Modells, welches das Verhalten des tatsächlichen Bauelements mit angemessener Genauigkeit nachahmt, zeigt sich nicht unerwartet, dass kapazitive Kopplungen die Ursache für Störsignaleinträge waren, wohingegen induktive Kopplungen in der Praxis vernachlässigt werden konnten. Auch Strahlungseffekte erschienen vernachlässigbar. Auch wenn Signale, die in der Matrix fließen, unter Umständen Frequenzkomponenten aufweisen, können die Signale als sich langsam mit der Zeit verändernd und Frequenzen entsprechend niedrig betrachtet werden. Jedwede kapazitiven und induktiven Kopplungen können als Nahfeldeffekte angesehen werden und die tatsächlichen Abmessungen der Matrix stellen außerdem sicher, dass Verzögerungseffekte nicht vorhanden sind. Bei 1 GHz beträgt die Wellenlänge einer elektromagnetischen Welle 33 cm, wohingegen das Bauelemente, bei dem das erfindungsgemäße Verfahren angewendet wird, den Abmessungen in der herkömmlichen Technologie der Mikroschaltungen entspricht, d.h. bei den linearen Abmessungen in der Größenordnung von einigen Millimetern liegen und bis zu etwa 1 cm betragen können. Eine Erhöhung der Speicherdichte, d.h. der Zelldichte in dem Speicherbauelement könnte das Bauteil leichter gegenüber Störeffekten reagieren lassen, doch soll jede Verkleinerung von Leitungsbreiten, Abständen und Zellengrößen ohne Veränderung der Ladungsdichtewerte und der Feldstärken auch mit einer entsprechenden Verringerung in den Betriebsspannungen einhergehen. In jedem Fall kann schlussendlich das in Frage stehende Speicherbauelement zu allen praktischen Zwecken primär so gesehen werden, dass es aus konzentrierten kapazitiven Strukturen oder konzentrierten Ladungen in einem Netzwerk besteht, wobei die Ladungen statisch sind oder im Verlauf einer Adressier-Operation nur geringfügig betroffen werden, wobei höchstens Nahfeld-Kopplungseffekte mit Frequenzen herbeigeführt werden, die weit unter den Frequenzen liegen, von denen erwartet wird, dass sie das Auftreten irgendwelcher Strahlungskopplungen fördern. Unter Berücksichtigung der vorstehenden Überlegungen sind die nachfolgenden Darstellungen spezieller Ausführungsbeispiele des erfindungsgemäßen Verfahrens und der erfindungsgemäßen Vorrichtungen in dem Sinne zu verstehen, dass sie sich m Wesentlichen auf die Verringerung von Störsignaleinträgen beziehen, die sich nur aus kapazitiven Kopplungen ergeben, ohne sich übermäßig mit induktiven oder Strahlungskopplungen befassen zu müssen.
  • Nachstehend wird die vorliegende Erfindung nun ausführlich und konkreter beschrieben, wobei ausdrücklich Bezug auf ihre verschiedenen Ausführungsbeispiele genommen wird.
  • Der Grundgedanke der vorliegenden Erfindung leitet sich aus der Beobachtung ab, dass Störimpulse aus Strömen stammen, die durch Zellen und Elektroden in der Matrix fließen, angetrieben durch Potentialunterschiede. In einfachen Worten hörten diese Ströme zu fließen auf, wenn man alle Teile der Matrix jederzeit auf gleichem Potential hielte. Die Auslesevorgänge, die hier relevant sind, setzen jedoch voraus, dass die ausgewählten Zellen mit einer sich zeitlich verändernden Spannung beaufschlagt werden.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung wird die gestellte Aufgabe dadurch gelöst, dass man von der Zeit abhängige Potentiale an die Elektroden in der Matrix in der Weise anlegt, dass an den ausgewählten Zellen die geeigneten Vor- und Abgreifspannungen vorliegen, wohingegen an allen nicht ausgewählten Zellen eine Nullspannung im dynamischen Sinne vorhanden ist. Dies wird durch ein korreliertes Ansteuern der Potentiale auf Word- und Bitleitungen nach Zeit und Größe erreicht, so dass die Wort- und Bitleitungen, die sich an nicht ausgewählten Zellen kreuzen, auf mit einander verriegelten Potentialen liegen. Wenn somit das Potential auf einer Wortleitung an einer bestimmten, nicht ausgewählten Zelle dazu veranlasst wird, Veränderungen auszuführen, um so das von der Zeit abhängige Potential präzise und in Echtzeit zu emulieren, wobei das Potential auf die Bitleitung aufgeprägt wird, welche mit dergleichen Zelle verbunden ist, dann ergibt sich an der Zelle ein dynamisches Äquipotential. Wie nachstehend in Verbindung mit bevorzugten Ausführungsbeispielen noch beschrieben wird, können die Wort- und Bitleitungen, die sich an den nicht adressierten Zellen kreuzen, entweder zeitlich abhängige Potentiale aufweisen, die sich schrittweise mit einander verriegelt verändern, oder sie sind beide an das gleiche quasi-statische Potential angeklemmt.
  • Unter Zuhilfenahme der 3 und 4 wird nun das Grundprinzip dargestellt. 3 gibt das Kleinsignal-Antwortstrom-Verhalten einer Speicherzelle wider, die in einer der beiden Richtungen polarisiert ist, welche einem logischen Zustand „0" bzw. "1" entsprechen. 4a zeigt das Spannungs-Auslesemuster, wie es eine ausgewählte Speicherzelle mit einer sinusförmigen Kleinsignal-Abgreifspannung wahrnimmt, die auf eine Rechteckwellen-Vorspannung überlagert ist. Es gilt nun die Annahme, dass die Speicherzellen das in 3 dargestellte Verhalten bezüglich der Kleinsignal-Kapazität gegenüber der Spannung zeigen. Dort ist zu erkennen, dass sich die logischen Zustände „0" und „1" dadurch bestimmen lassen, dass eine Vorspannung angelegt und die auftretende Veränderung in der Kapazität aufgezeichnet wird. Die Vorspannung kann von der Zeit abhängig sein und beispielsweise als Sinuswelle oder Rechteckwelle mit einer charakteristischen Periode angelegt werden, die viel kleiner als die Periode der Kleinsignal-Spannung ist, die zur Messung der Kapazität eingesetzt wird. Im letzteren Fall verändert sich die an der ausgewählten Zelle wahrgenommene Spannung im Verlauf der Zeit, wie dies in 4a angezeigt ist. Diese Spannung wird durch den Unterschied bei augenblicklichen Potentialen zwischen der aktiven Wortleitung und aktiven Bitleitung erzeugt, welche sich an der ausgewählten Zelle kreuzen – vgl. die mit IWL und ABL in 4b markierten Kurven, bei denen das jeweilige Potential auf der aktiven Wortleitung und auf der aktiven Bitleitung als Sinuswellen mit gegenläufiger Phase gewählt wird. Wenn das Potential auf der inaktiven Wortleitung so gesteuert wird, dass es das Potential auf der aktiven Bitleitung nachahmt, wie dies durch die mit IWL in 4b markierte Kurve angegeben ist, dann wird erkennbar, dass der Potentialunterschied zwischen IWL und ABL jederzeit netto Null beträgt (was der Spannung entspricht, die von allen nicht ausgewählten Zellen auf der aktiven Bitleitung wahrgenommen wird). Wenn somit der Antwortstrom durch eine Detektionsschaltung aufgezeichnet wird, die mit der aktiven Bitleitung verbunden ist, dann liegt an allen Zellen – mit Ausnahme der ausgewählten Zelle – eine Spannung von netto Null an.
  • In vielen Praxissituationen muss dieses einfache Verfahren zum genauen Abgleich des Potentials auf jeder Seite der nicht adressierten Zellen erweitert und modifiziert werden. Je nach dem Modus der Diskriminierung zwischen logischen Zuständen (Kapazität gegenüber Vorspannung, zweiter oder höherer Harmonischer, Summen- oder Differenz-Frequenz) treten die am stärksten schadenden Signalbeiträge aus Störströmen ganz allgemein bei Frequenzen auf, die aus jenen gut entfernt wurden, welche in der typischerweise auf niedrigerer Frequenz liegenden Vorspannkomponente der Spannung enthalten sind, welche an die ausgewählten Speicherzellen angelegt ist. Somit muss der dynamische Potential-Abgleich der Wort- und Bitz6ilen in vielen Fällen nur bei bestimmten speziellen Frequenzen herangezogen werden, die aus der Gesamtspannung abgeleitet sind, die an den ausgewählten Speicherzellen anliegt. Ein einfaches Beispiel hierfür liefert der Fall, in dem eine Messung der Kapazität gegenüber der Vorspannung mit einer hochfrequenten Sondierspannung vorgenommen wird, die mit einer Frequenz ω angelegt wird, die auf eine niederfrequente Vorspannung mit einer Frequenz Ω überlagert ist. Unter der Annahme eines linearen Antwort-Verhaltens genügt es in diesem Fall, einen Gleichgewichtszustand zwischen den Potentialen auf den Wort- und Bitleitungen an ausgewählten Zellen bei einer Frequenz ω herbeizuführen.
  • Wie in der Einleitung schon erwähnt, konzentriert sich die vorliegende Erfindung in erster Linie darauf, kapazitive Kopplungen zu beseitigen oder zu verringern. Somit liegt ein äußerst wichtiger Aspekt der Erfindung darin, einen kapazitiven Abgriff bei dem Auslesevorgang zu eliminieren.
  • Bei hohen Frequenzen kann der Auslesevorgang zusätzlich durch einen parasitären Abgriff gestört werden, der durch induktive und Strahlungsankopplungen an Wort- und Bitleitungen an anderer Stelle in der Matrix verursacht wird. Auch wenn, wie im vorstehenden Abschnitt dargelegt, diese beiden Kopplungen eine geringere Rolle spielen, besteht ein weiterer und nicht ganz unwichtiger Aspekt der vorliegenden Erfindung darin, einen Störsignalabgriff auf ein Mindestmaß zu verringern, der sich auch aus solchen Kopplungen ergibt. Gemäß einer Gruppe von Ausführungsbeispielen der vorliegenden Erfindung wird dies dadurch erreicht, dass vorgeschrieben ist, dass während des Auslese-Zyklus alle nicht adressierten Wort- und Bitleitungen dazu veranlasst werden, zusammen Potentialänderungen auszuführen, um relevante Signalkomponenten zu emulieren, die auf die aktive Bitleitung bzw. auf eine Gruppe von Bitleitungen aufgeprägt werden. Dabei werden natürlich Verzögerungseffekte ignoriert, doch bei den meisten praktischen Speicherbauelementen muss jede Adressiermatrix klein genug sein und müssen die Frequenzen niedrig genug sein, damit diese Approximation zulässig bzw. gültig ist.
  • Das in 4a und 4b dargestellte Beispiel für die Erregung einer einzelnen Zelle zeigt, wie man durch koordiniertes Anlegen von Spannungen an allen inaktiven Wortleitungen, die sich mit der aktiven Bitleitung kreuzen, einen kapazitiven Abgriff von nicht adressierten Zellen vermeidet, und zwar in der Weise, dass die ein zigen nicht vernachlässigbaren Kleinsignal-Erregungsspannungen an der adressierten Zelle auftreten. Nachstehend soll das Problem der Einbeziehung der Prinzipien, die in der vorliegenden Erfindung gelehrt werden, in Matrizen, welche eine Vielzahl von Wort- und Bitleitungen enthalten, angesprochen werden, während einige bevorzugte Ausführungsbeispiele beschrieben werden. Dabei versteht sich, dass diese Ausführungsbeispiele in keiner Weise den vollständigen Umfang der vorliegenden Erfindung repräsentieren.
  • Ein erstes Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Verfahrens wird nun unter Bezugnahme auf 5 bis 8 beschrieben, bei dem eine einzelne Speicherzelle zufällig adressiert wird.
  • In 5 ist ein passives Matrix-Auslesen aus einer einzelnen Speicherzelle dargestellt, das mit einer aktiven Wortleitung AWL und einer aktiven Bitleitung ABL vorgenommen wird, wobei beide Leitungen galvanisch von den inaktiven Wort- und Bitleitungen isoliert sind.
  • Insbesondere zeigt 5, wie man einen kapazitiven Abgriff aus nicht adressierten Zellen auf der aktiven Wortleitung AWL bzw. Bitleitung BWL durch koordiniertes Anlegen von Spannungen an allen inaktiven Wort- und Bitleitungen IWL; IBL vermeidet, so dass nur die nicht vernachlässigbaren Spannungen über die adressierte Zelle 1 und an dieser auftreten. Wie dies aus der Figur ersichtlich ist, wird dies durch alle inaktiven Wortleitungen IWL erreicht, welche das augenblickliche Potential auf der aktiven Bitleitung ABL widerspiegeln, wobei gleichzeitig alle inaktiven Bitleitungen IBL das augenblickliche Potential auf der aktiven Wortleitung AWL widerspiegeln. Auf diese Weise tritt an einer der nicht adressierten Zellen auf der aktiven Wortleitung AWL keine Spannung auf und gleichzeitig liegt an keiner der nicht adressierten Zellen auf der aktiven Bitleitung ABL eine Spannung an.
  • Bei dem in 5 dargestellten Schema werden die aktiven und inaktiven Wort- und Bitleitungen aus zwei galvanisch getrennten, aber mit einander koordinierten Signalgebern 2, 2' gespeist, weshalb die Kapazitätsmessung an der adressierten Zelle 1 direkt über die Anschlüsse an die aktive Wortleitung und Bitleitung über einen großen Bereich von Techniken und Hardware vorgenommen werden kann.
  • 6 zeigt, wie mit Hilfe einer Leseverstärker-Schaltung 3 auf der aktiven Bitleitung ABL ein Antwortstrom erfasst wird, während die aktive Wortleitung AWL von dem Signalgeber 2 mit einer niedrigen Quellimpedanz versorgt wird. Die inaktiven Bitleitungen IBL können optional an die aktive Wortleitung AWL angeschlossen werden, wie dies hier dargestellt ist. 6 zeigt somit etwas, was als Untergruppe des in 5 dargestellten Schemas angesehen werden kann, wobei die inaktiven Bitleitungen IBL direkt spannungsmäßig an die aktive Wortleitung AWL angeklemmt sind. Nun wird angenommen, dass der Signalgeber 2 auf der Wortleitung Nun wird angenommen, dass der Signalgeber „steif" sei, d.h. eine sehr geringe Quellimpedanz besitzt, und dass der Antwortstrom von einer Leseverstärker-Schaltung 3 erfasst wird, welche den Strom erfasst, der in die aktive Bitleitung ABL fließt, wenn das Spannungsprotokoll des Lesezyklus abgearbeitet wird. Die Potentiale auf den inaktiven Wortleitungen IWL werden dazu gebracht, dass sie das Potential auf der aktiven Bitleitung ABL mit Hilfe des nachgeführten Signalgebers 2' widerspiegeln, der in 5 dargestellt ist. Auch wenn die inaktiven Bitleitungen IBL keinen kapazitiven Strombeitrag zur aktiven Bitleitung ABL über nicht ausgewählte Zellen zuliefern, besitzt das in 6 dargestellte Schema gewisse nützliche Attribute, z.B. dadurch, dass es für die Steuerung der Potentiale auf inaktiven Bitleitungen IBL sorgt. Eine einfachere Alternative besteht natürlich darin, dass man inaktive Bitleitungen floaten lässt.
  • 7 stellt ein Schema dar, das ähnlich dem in 6 dargestellten ist, und zwar wiederum mit einer ausgewählten Zelle 1, wobei hier allerdings alle Leitungen WL; BL in der Elektrodenmatrix an das Potential auf der aktiven Bitleitung über einen nachgeführten Signalgeber 2' angeklemmt sind. Somit stellt 7 eine an dere Untergruppe des in 5 dargestellten Schemas dar. Hier sind allerdings alle Leitungen in der Matrix – mit Ausnahme der aktiven Wortleitung AWL – an das Potential auf der aktiven Bitleitung angeklemmt. Ein Vorteil dieses Schemas besteht darin, das nicht nur alle inaktiven Wortleitungen IWL, welche sich mit der aktiven Bitleitung ABL kreuzen, als Störsignalquellen entfernt werden, aber der Abgriff von den anderen Teilen der Matrix, insbesondere ein kapazitiver Abgriff von nah benachbarten Bitleitungen aufgehoben wird.
  • Die Varianten des ersten erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiels, die in 5, 6 und 7 dargestellt sind, stellen sicher, dass überall dort, wo die aktive Bitleitung ABL sich mit einer inaktiven Wortleitung IWL kreuzt, die Zelle an diesem Punkt eine an ihr anliegende Spannung nahe Null erfährt und der einzige nicht vernachlässigbare Beitrag zum Strom auf einer Bitleitung, der durch den Leseverstärker 3 fließt, aus der adressierten Zelle 1 stammt. Eine Leseverstärker-Schaltung 3 kann in der Weise konfiguriert werden, wie dies in 8 dargestellt ist, die zeigt, wie aktive Bitleitungen ABL als virtuelle Masse definiert werden können. Dies ist zwar eine standardmäßige Auslegung für die Messung der Kapazität, doch kann sie auch für jeden der Detektionsmodi eingesetzt werden, die im vorliegenden Zusammenhang eine Rolle spielen. Bei Verwendung eines Operationsverstärkers mit hohem Verstärkungsfaktor kann die Eingangsklemme und somit die Bitleitung an ein gewünschtes Potential angeklemmt werden, das frei wählbar ist, allerdings in vielen praktischen Fällen identisch mit der System-Masse sein sollte. In diesem Fall wird der Verbindungspunkt mit der aktiven Bitleitung ABL im Folgenden als virtuelle Masse definiert. Wenn eine Detektionsschaltung mit virtueller Masse herangezogen, so ist aus 7 zu entnehmen, dass die gesamte Matrix – mit Ausnahme der aktiven Wortleitung AWL – auf Massepotential bleibt. Dies erbringt hinsichtlich der einfachen Struktur und der Abschirmung gegenüber einem Störsignalabgriff ganz offensichtliche günstige Konsequenzen. In diesem Fall kommt die Spannungsschaltung (Vorspannung und Abgriffspannung) an der ausgewählten Zelle 1 vollständig aus der aktiven Wortlei tung AWL, während das Grundprinzip des Gleichgewichts der Potentiale an nicht ausgewählten Zellen beibehalten wird.
  • Ein zweites Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Verfahrens, bei dem Wortleitungen WL parallel adressiert werden, wird nachstehend nun unter Bezugnahme auf 9 beschrieben. Auch hier wird mit passiver Matrixadressierung gearbeitet, allerdings nun mit gleichzeitiger Adressierung einer ganzen Reihe von Speicherzellen auf einer Wortleitung, während Störsignale gleichzeitig unterdrückt werden.
  • Bei diesem zweiten Ausführungsbeispiel wird jede Bitleitung parallel mit einer oder mehreren – potentiell allen anderen – Bitleitungen mit Hilfe von dedizierten Leseverstärker-Schaltungen 3 ausgelesen, die mit jeder Bitleitung BL verbunden sind; vgl. 9. Damit kann die gesamte Matrix – mit Ausnahme der einzelnen adressierten Wortleitung AWL – während des gesamten Auslesezyklus auf gemeinsamem Potential gehalten werden, wobei alle inaktiven Wortleitungen IWL an ein gewähltes Potential, z.B. Masse, angeklemmt sind, während die aktive Wortleitung AWL mit einem Signalgeber 2 verbunden ist, der eine Vorspannung sowie eine Kleinsignal-Abgriffspannung liefert. Dieser Signalgeber 2 besitzt eine niedrige Quellimpedanz, was bedeutet, dass er die programmierten Vorspann- und Prüfsignalspannungen auf der angeschlossenen aktiven Wortleitung AWL aufrecht erhalten kann, ohne von Ausgangsströmen zu den kreuzenden Bitleitungen beeinträchtigt zu werden. Dabei ist jeder einzelnen Bitleitung BL eine Leseverstärker-Schaltung 3 zugeordnet, zum Beispiel eine Schaltung ähnlich der in 7 dargestellten Schaltung, wodurch der Stromfluss in jede Bitleitung bestimmt werden kann. Das Potential an den Leseverstärker-Eingängen und somit der Bitleitungen BL wird auf der virtuellen Masse gehalten, womit sichergestellt ist, dass an den Zellen, welche Bitleitungen BL mit inaktiven (nicht adressierten) Wortleitungen IWL verbinden, keine kapazitive Ladung übertragen wird.
  • Bei diesem Ausführungsbeispiel können zwei wichtige Vorteile erzielt werden:
    • 1) Zusätzlich zur Entfernung eines kapazitiven Abgriffs einer Ladung von nicht adressierten Zellen auf den aktiven Bitleitungen ABL ist es auch wünschenswert, dass ein Übersprechen durch kapazitive und gegebenenfalls auch induktive oder Strahlungskopplungen auf Wort- und Bitleitungen an anderer Stelle in der Adressiermatrix auf ein Mindestmaß reduziert wird. Derartige Probleme verschärfen sich umso mehr, je stärker die Signalfrequenzen ansteigen und/oder der physische Abstand zwischen den Wort- und Bitleitungen sich verringert, also je stärker die Auslegung des Bauelements zu höherer Leistung hin getrimmt wird. Bei diesem bevorzugten Ausführungsbeispiel kann ein hohes Maß an Abgriff von Störeinstrahlungen auf die Auslegesignale erzielt werden, da die gesamte Matrix (mit Ausnahme der aktiven Wortleitung) auf dem gleichen Potential, z.B. Masse, gehalten werden kann. Dies bietet Möglichkeiten für einen erheblich reduzierten Abgriff von Störsignalen auf die Auslesesignale.
    • 2) Da jede Bitleitung BL sich mit der aktiven (adressierten) Wortleitung AWL kreuzt und mit eigenen Leseverstärkern 3 versehen ist, ist einparalleles Auslesen aus allen Zellen auf der adressierten Wortleitung AWL mit entsprechender Erhöhung der Ausgangsdatenrate aus der Matrix möglich.
  • Wie für den Fachmann auf dem Gebiet der Elektronik offensichtlich ist, bietet das zweite Ausführungsbeispiel Möglichkeiten, eine Vereinfachung der Potentialsteuerung durch direkte Verdrahtung zu erzielen.
  • Dies wird in Verbindung mit 10 und 11 erläutert, welche die Auslegung einer ersten bzw. zweiten Vorrichtung darstellen, die beide zur Ausführung des Verfahrens nach dem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung eingesetzt werden.
  • Bei dem vorstehend beschriebenen Schema für den Zugriff auf eine ganze Wortleitung wurde davon ausgegangen, dass jeder Bitleitung eine dedizierte Leseverstärker-Schaltung 3 zugeordnet ist. Ganz allgemein ist es wünschenswert, Zellen in der Matrix so eng wie möglich zu packen, was impliziert, dass die Schrittgröße der Bitleitungen minimiert werden sollte. Dies führt jedoch entlang der Anordnung der Leseverstärker-Schaltungen am Rande der Matrix zu einer Anhäufung, wobei sich das Problem noch umso mehr verschärft, je stärker die Schaltungen der Leseverstärker an Komplexität zunehmen.
  • Eine Möglichkeit, das Anhäufungsproblem zu umgehen, besteht darin, die Anzahl der Treiberschaltungen für die Wortleitungen und der Leseverstärker-Schaltungen für die Bitleitungen dadurch zu verringern, dass sie mit Hilfe von weniger Platz beanspruchenden Weichen oder Routern n der Matrix mit den Wort- und Bitleitungen WL; BL verbunden werden. Zu diesem Zweck zeigt 10 insbesondere eine erste erfindungsgemäße Anordnung zur Realisierung eines Schemas zum Auslesen ganzer Wörter, bei dem eine Zeit-Multiplex-gemäße, aktive Wortleitungs-Verbindung verwendet wird, die mit dem geschalteten Anklemmen inaktiver Wortleitungen WL an das Masse-Potential synchronisiert wird, in Verbindung mit Bitleitungen BL mit Detektionsschaltungen, welche die Bitleitungen mit der virtuellen Masse verbinden. An einem Ende jeder Bitleitung BL ist eine Leseverstärker-Schaltung 3 ähnlich der in 8 dargestellten Schaltung angeschlossen und an die virtuelle Masse angeklemmt. Mit jeder Leseverstärker-Schaltung 3 ist ein Lock-in-Verstärker 4 mit einem Ausgang für das Auslesesignal und einem Eingang für das Referenzsignal verbunden. Das Referenzsignal wird von einer kombinierten Quelle 5 für die Vorspannung und die Signale erzeugt, wobei ein Referenz-Ausgangssignal an die Lock-in-Verstärkern 4 angelegt ist. Die Vorspannungs- und Signalquelle 5 besitzt auch einen Ausgang zu einem Treiber 6 für die aktiven Wortleitungen, dessen einer Ausgang mit einem Multiplexer 7 verbunden ist, welcher eine Wortleitung WL zum Auslesen auswählt, d.h. die aktive Wortleitung AWL, während die inaktiven Wortleitungen IWL in entsprechender Weise gleichzeitig vorgespannt werden. Die gegenüber liegenden Enden der Wortleitungen sind mit einer Durchschaltbank 8 verbunden, was ein Anklemmen der inaktiven Wortleitungen IWL an die Masse unter Verwendung geeigneter Schaltmittel 8' ermöglicht. Somit kann eine ganze Wortleitung ausgelesen werden, d.h. alle Speicherzellen 1, in denen die Bitleitungen BL die aktiven Wortleitungen AWL kreuzen, können parallel ausgelesen werden.
  • 11 zeigt eine zweite erfindungsgemäße Vorrichtung, die der in 10 dargestellten Anordnung recht ähnlich ist; allerdings ist hier eine Zeit-Multiplex-gemäße Verbindungen der Bitleitungen BL an die Detektionsschaltungen vorgesehen. Die Vorrichtung nach 11 verbindet eine Signal-Leseverstärkerschaltung 3 mit der ausgewählten aktiven Bitleitung ABL über einen Multiplexer 9 für eine aktive Bitleitung, der an einem Ende der Bitleitungen BL anschließbar ist. Wie zuvor wird die Leseverstärker-Schaltung 3 an die virtuelle Masse angeklemmt, wobei ihr Ausgang mit dem Eingang eines einzigen Lock-in-Verstärkers 4 verbunden ist, der einen ersten Ausgang für das Auslesesignal und einen Eingang für ein Bezugssignal aus einer kombinierten Vorspannungs- und Lesesignal-Quelle 5 aufweist. Die Anordnung der kombinierten Vorspannungs- und Signalquelle 5, eines Treibers 6 für die aktiven Wortleitungen und eines Multiplexers 7 für die aktiven Wortleitungen ist genauso wie bei der Vorrichtung nach 10 und erfüllt natürlich die gleichen Funktionen wie in der letztgenannten Vorrichtung. Bei der Vorrichtung in 11 ist auch das andere Ende der Wortleitungen WL mit einer Durchschaltbank 8 verbunden, was es möglich macht, die inaktiven Wortleitungen WL mit Hilfe von Schaltmitteln 8' an Masse anzuklemmen. Bei der Vorrichtung gemäß 11 ist jedoch am anderen Ende der Bitleitungen BL zusätzlich eine Durchschaltbank 10 für die inaktiven Bitleitungen vorgesehen, welche in ähnlicher Weise mit Schaltmitteln 10' arbeitet, welche ein Anklemmen der inaktiven Bitleitungen BL an die gleiche Masse wie die inaktiven Wortleitungen ermöglichen.
  • Wie aus 11 ersichtlich ist, führt diese Vorrichtung einen Auslesevorgang mit einer ganzen Reihe aus, der in einem gewissen Maß den Auslesevorgängen bei einer ganzen Reihe für ein zerstörungsfreies Auslesen ähnlich ist, wie sie in Patentanmeldungen beschrieben werden, die der gleichen Anmelderin gehören. Es muss jedoch unbedingt beachtet werden, dass im Gegensatz zu dem, was für die zerstörungsfreien Auslesevorgänge gilt, das Auslesen einer ganzen Reihe in Verbindung mit einem Multiplex erfolgen kann, ohne Datenverlust. Da das Auslesen im vorliegenden Fall nicht zerstörend ist, behalten die Zellen auf den Bitleitungen, die nicht von den Schaltern oder Routern in einem bestimmten Lesezyklus adressiert werden, ihren logischen Zustand bei. Somit lässt sich eine ganze Reihe von Zellen durch wiederholten Einsatz der Erregung einer ganzen Wortleitung auslesen, in Verbindung mit sequentiellem Auslesen in der bzw. den Leseverstärker-Schaltung(en).
  • Für Fachleute auf diesem Gebiet müsste es auf der Hand liegen, dass das Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Verfahrens und der Vorrichtung nur exemplarisch beschrieben wurde und keinesfalls als einschränkend zu betrachten ist. Zum Beispiel sollte es offensichtlich sein, dass verschiedene Abläufe zur Realisierung der notwendigen Schaltvorgänge, Treiberfunktionen und Multiplex-Funktionen zumindest zur Ausführung des erfindungsgemäßen Verfahrens von einem Fachmann auf diesem Gebiet ausgelegt werden können, ohne dass irgendwelche Einschränkungen für das erfindungsgemäße Verfahren gelten, und zwar in der Weise, dass die primäre Zielsetzung der Erfindung, nämlich die Beseitigung kapazitiver Kopplungen in einer passiven, über eine Matrix adressierbaren Speicheranordnung bei kondensatorähnlichen Strukturen mit einem polarisierbaren Speichermaterial, in jedem Fall erreicht wird, wenn die Potentialdifferenz an den nicht adressierten Zellen auf Null gebracht wird.

Claims (27)

  1. Verfahren zur Bestimmung eines logischen Zustands ausgewählter Speicherzellen (1), welche in einem passiven, über eine Matrix adressierbaren Datenspeicher-Bauelement vorgesehen sind, das Wort- und Bitleitungen (WL; BL) enthält, bei welchem nach einem vorgegebenen Protokoll einem spezifischen logischen Zustand ein eindeutiger logischer Wert zugeordnet wird, bei welchem die Zellen (1) Daten in Form eines elektrischen Polarisierungszustands in kondensatorähnlichen Strukturen abspeichern, die ein polarisierbares Material umfassen, insbesondere ein ferroelektrisches oder Elektret-Material, das in der Lage ist eine Hysterese aufzuweisen, bei welchem das polarisierbare Material in der Lage ist, bei Fehlen einer von außen aufgeprägten Spannung über die kondensatorähnlichen Strukturen eine nicht auf Null zurückgehende elektrische Polarisierung aufrecht zu erhalten, bei welchem eine Auswahl von Speicherzellen dadurch erfolgt, dass die Wortleitung (WL) oder die Bitleitung (BL) oder beide Leitungen, die sich an einer in Frage kommenden Speicherzelle (1) kreuzen, aktiviert wird, bei welchem die Aktivierung einer Wortleitung (WL) oder einer Bitleitung (BL) dadurch erfolgt, dass Potentialdifferenzen zwischen diesen von außen angelegt werden und dass somit die ausgewählten Zellen (1) mit einer Kleinsignal-Messspannung beaufschlagt werden, welche sich aus der angelegten Potentialdifferenz ergeben, wodurch ein Antwortstrom aus den Zellen erzeugt wird, bei welchem die Kleinsignal-Messspannung in einer beliebig wählbaren Weise zeitabhängig ist und welcher Spannungsamplituden und/oder Impulsdauern aufweist, die kleiner sind als jene, die erforderlich sind, um in den Polarisierungszuständen der Zellen eine erhebliche dauerhafte Veränderung herbeizuführen, bei welchem der logische Zustand dadurch ermittelt wird, dass Komponenten in dem Antwortstrom aus der ausgewählten Zelle (1) detektiert werden, bei welchem die Komponenten des Antwortstroms zu der Kleinsignal-Messspannung oder zu davon abgeleiteten Referenzsignalen zeitlich korreliert sind, bei welchem eine Entscheidung über einen logischen Zustand einer ausgewählten Zelle auf der Grundlage eines Vergleichs des Antwortstroms mit einem Satz zuvor definierter Kriterien getroffen wird, und bei welchem an ausgewählten Wort- und Bitleitungen (WL; BL) oder Gruppen von Wort- und Bitleitungen zeitabhängige Potentiale angelegt werden, wobei die zeitabhängigen Potentiale nach Größe und Zeit in der Weise mit einander koordiniert werden, dass die sich dabei ergebenden Spannungen über allen oder einigen der nicht ausgewählten Zellen an den Kreuzungspunkten zwischen inaktiven Wortleitungen (IWL) und einer aktiven Bitleitung oder aktiven Bitleitungen (ABL) und/oder zwischen inaktiven Bitleitungen (IBL) und mindestens einer aktiven Wortleitung (AWL) dazu gebracht werden, dass sie nur vernachlässigbare Spannungskomponenten enthalten, die zu der Kleinsignal-Messspannung bzw. daraus abgeleiteten Referenzsignalen zeitlich korreliert sind.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, bei welchem zu einem Zeitpunkt eine einzelne Wortleitung (WL) aktiviert wird.
  3. Verfahren nach Anspruch 1, bei welchem inaktive Wort- und/oder Bitleitungen (IWL; IBL) mit Potentialen beaufschlagt werden, welche dynamisch den an die jeweiligen aktiven Bit- und/oder Wortleitungen angelegten Spannungen mit hoher Wiedergabetreue und in Echtzeit folgen.
  4. Verfahren nach Anspruch 3, bei welchem die Potentiale an inaktiven Wortleitungen (IWL) von festgeschalteten Signalquellen gesteuert werden, welche aus einer aktiven Bitleitung bzw. aus aktiven Bitleitungen (ABL) ein Signal ableiten, um dem Potential auf der aktiven Bitleitung oder den aktiven Bitleitungen dynamisch zu folgen.
  5. Verfahren nach Anspruch 3, bei welchem die Potentiale auf inaktiven Bitleitungen (IBL) von festgeschalteten Signalquellen gesteuert werden, welche aus einer aktiven Wortleitung (AWL) ein Signal ableiten, um dem Potential auf der aktiven Wortleitung dynamisch zu folgen.
  6. Verfahren nach Anspruch 3, bei welchem die Potentiale auf inaktiven Wortleitungen (IWL) dadurch gesteuert werden, dass diese über Schalter und Leitungsnetz elektrisch mit dem Potential auf einer aktiven Bitleitung oder auf aktiven Bitleitungen (ABL) verriegelt werden.
  7. Verfahren nach Anspruch 3, bei welchem die Potentiale auf inaktiven Bitleistungen (IBL) dadurch gesteuert werden, dass diese über Schalter und Leistungsnetz elektrisch mit dem Potential auf einer aktiven Wortleitung (AWL) verriegelt werden.
  8. Verfahren nach Anspruch 1, bei welchem eine mit jeder aktiven Bitleitung (ABL) verbundene aktive elektronische Schaltung eingesetzt wird, welche das Potential auf einer aktiven Bitleitung auf einem zuvor definierten Wert hält.
  9. Verfahren nach Anspruch 8, bei welchem der zuvor definierte Wert als Systemerdpotential gewählt wird.
  10. Verfahren nach Anspruch 8, bei welchem alle Bitleitungen (BL) aktive Bitleitungen (ABL) sind.
  11. Verfahren nach Anspruch 8, bei welchem ein Multiplexer (7) oder eine Durchschaltungsbank bzw. Verknüpfungsbank (8) vorgesehen ist, um zu einem Zeitpunkt eine aktive Bitleitung (ABL) mit einer aktiven elektronischen Schaltung zu verbinden, welche das Potential auf der einen aktiven Bitleitung auf einem zuvor definierten Wert hält.
  12. Verfahren nach Anspruch 8, bei welchem ein Multiplexer (7) oder eine Durchschaltungsbank (8) vorgesehen ist, um zu einem Zeitpunkt einen ausgewählten Satz aktiver Bitleitungen (ABL) mit einem Satz aktiver elektronischer Schaltungen zu verbinden, welche das Potential auf den aktiven Bitleitungen auf dem zuvor definierten Wert halten.
  13. Verfahren nach Anspruch 8, bei welchem eine aktive elektronische Schaltung Informationen über die Ladung oder den Strom liefert, welcher) in die aktive Bitleitung (ABL) fließt.
  14. Verfahren nach Anspruch 1, bei welchem inaktive Wortleitungen (IWL) über eine Bank aus Durchschaltelementen bzw. Verknüpfungselementen (8) oder Schaltern mit dem Systemerdpotential verriegelt werden.
  15. Verfahren nach Anspruch 1, bei welchem inaktive Bitleitungen (IBL) über eine Bank aus Durchschaltelementen bzw. Verknüpfungselementen (8) oder Schaltern mit dem Systemerdpotential verriegelt werden.
  16. Verfahren nach Anspruch 1, bei welchem ein Multiplexer (7) oder eine Durchschaltungsbank (8) vorgesehen ist, um zu einem Zeitpunkt eine aktive Wortleitung (AWL) mit einer elektronischen Schaltung zu verbinden, welche das Potential auf der einen aktiven Wortleitung nach einem zuvor definierten Protokoll steuert.
  17. Verfahren nach Anspruch 16, bei welchem das Potential auf der einen aktiven Wortleitung (AWL) eine Überlagerung einer Kleinsignal-Messspannung und einer Hintergrund-Vorspannung umfasst.
  18. Verfahren nach Anspruch 1, bei welchem ein Antwortstrom aus ausgewählten Speicherzellen nach einem so genannten Boxcar-Verfahren analysiert wird, wobei dieses Boxcar-Verfahren mit Taktsignalen arbeitet, die aus Schaltungen abgeleitet sind, welche die Potentiale auf einer aktiven Wortleitung (AWL) und/oder einer aktiven Bitleitung bzw. auf aktiven Bitleitungen (ABL) steuern.
  19. Verfahren nach Anspruch 1, bei welchem der Antwortstrom aus ausgewählten Speicherzellen (1) mit einem so genannten Lock-in-Verfahren analysiert wird, wobei dieses Verfahren mit einem oder mehreren Referenzsignalen in dem Frequenzbereich arbeitet, der aus Schaltungen abgeleitet wird, welche die Potentiale auf der aktiven Wortleitung (AWL) und/oder den aktiven Bitleitungen (ABL) steuert.
  20. Verfahren nach Anspruch 19, bei welchem die Analyse mit einem Referenzsignal vorgenommen wird, das aus einer Messspannungskomponente der Spannung abgeleitet wird, welche an den ausgewählten Speicherzellen (1) angelegt ist.
  21. Verfahren nach Anspruch 19, bei welchem die Analyse mit einem Referenzsignal vorgenommen wird, das aus einer Vorspannungskomponente der Spannung abgeleitet wird, welche an die ausgewählten Speicherzellen (1) angelegt ist.
  22. Verfahren nach Anspruch 19, bei welchem die Analyse mit dualen Referenzsignalen vorgenommen wird, von denen eines von einer Messspannungskomponente und eines von einer Vorspannungskomponente der Spannung abgeleitet wird, welche an den ausgewählten Speicherzellen (1) angelegt sind.
  23. Verfahren nach Anspruch 10, bei welchem die Analyse des Antwortstroms unter Verwendung maßgeblicher Frequenzkomponenten von mindestens einer der folgenden Spannungskomponenten vorgenommen wird, nämlich der Grundfrequenz oder höheren Harmonischen (2., 3., ... Harmonische) einer Messspannung im Falle, dass die Messspannung eine einzige maßgebliche Frequenz enthält, oder der Grundfrequenz oder höheren Harmonischen (2., 3., ... Harmonische) von einer Komponente oder mehreren Komponenten der Messspannung, wobei die Komponenten zwei oder mehr separate maßgebliche Frequenzen enthalten, oder der Summe- bzw. Differenzfrequenzen, die durch Addieren und/oder Subtrahieren der zwei oder mehr maßgebliche Frequenzen erzeugt werden.
  24. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens zur Bestimmung eines logischen Zustands ausgewählter Speicherzellen (1), welche in einem passiven, über eine Matrix adressierbaren Datenspeicher-Bauelement vorgesehen sind, das Wort- und Bitleitungen (WL; BL) enthält, bei welcher nach einem vorgegebenen Protokoll einem spezifischen logischen Zustand ein eindeutiger logischer Wert zugeordnet wird, bei welcher die Zellen (1) Daten in Form eines elektrischen Polarisierungszustands in kondensatorähnlichen Strukturen abspeichern, die ein polarisierbares Material umfassen, insbesondere ein ferroelektrisches oder Elektret-Material, das in der Lage ist eine Hysterese aufzuweisen, bei welcher das polarisierbare Material in der Lage ist, bei Fehlen einer von außen aufgeprägten Spannung über die kondensatorähnlichen Strukturen eine nicht auf Null zurückgehende elektrische Polarisierung aufrecht zu erhalten, bei welcher eine Auswahl von Speicherzellen dadurch erfolgt, dass die Wortleitung (WL) oder die Bitleitung (BL) oder beide Leitungen, die sich an einer in Frage kommenden Speicherzelle (1) kreuzen, aktiviert wird, bei welcher die Aktivierung einer Wortleitung (WL) oder einer Bitleitung (BL) dadurch erfolgt, dass Potentialdifferenzen zwischen diesen von außen angelegt werden und dass somit die ausgewählten Zellen (1) mit einer Kleinsignal-Messspannung beaufschlagt werden, welche sich aus der angelegten Potentialdifferenz ergeben, wodurch ein Antwortstrom aus den Zellen erzeugt wird, bei welcher die Kleinsignal-Messspannung in einer beliebig wählbaren Weise zeitabhängig ist und welcher Spannungsamplituden und/oder Impulsdauern aufweist, die kleiner sind als jene, die erforderlich sind, um in den Polarisierungszuständen der Zellen eine erhebliche dauerhafte Veränderung herbeizuführen, bei welcher der logische Zustand dadurch ermittelt wird, dass Komponenten in dem Antwortstrom aus der ausgewählten Zelle (1) detektiert werden, bei welcher die Komponenten des Antwortstroms zu der Kleinsignal-Messspannung oder zu davon abgeleiteten Referenzsignalen zeitlich korreliert sind, bei welcher eine Entscheidung über einen logischen Zustand einer ausgewählten Zelle auf der Grundlage eines Vergleichs des Antwortstroms mit einem Satz zuvor definierter Kriterien getroffen wird, und bei welcher die Vorrichtung Signalgeneratoren (2, 2') aufweist, wovon mindestens ein Signalgenerator (2') mit mindestens einem anderen Signalgenerator (2') zur koordinierten Anlegung von Spannungen an allen inaktiven Wortleitungen (IWL) und allen inaktiven Bitleitungen (IBL) in der Weise koordiniert ist, dass alle inaktiven Wortleitungen (IWL) mit dem gleichen verzögerungsfreien Potential wie eine aktive Bitleitung (ABL) beaufschlagt werden und alle inaktiven Bitleitungen (IBL) mit dem gleichen verzögerungsfreien Potential wie eine aktive Wortleitung (IWL) beaufschlagt werden, wodurch an alle nicht ausgewählten Speicherzellen eine vernachlässigbare Spannungskomponente angelegt ist, welche mit der Kleinsignal-Messspannung oder daraus abgeleiteten Referenzsignalen zeitlich korreliert ist.
  25. Vorrichtung nach Anspruch 24, bei welcher die Vorrichtung mit einem ferroelektrischen Speicherbaustein mit Speicherzellen (1) in einer passiven adressierbaren Matrixanordnung verbunden ist und einen Teil desselben bildet, wobei die Matrix mit einem ersten Elektrodensatz die Wortleitungen (WL) des Speicherbausteins bildet und mit einem zweiten Elektrodensatz, die Bitleitungen (BL) desselben bildet, und bei welcher die inaktiven Bitleitungen (IBL) über einen Gemeinschaftssignalgenerator (2) für die koordinierte Anlegung von Spannung an die Leitungen an eine aktive Wortleitung (AWL) direkt angeklemmt sind, wobei der Gemeinschaftssignalgenerator (2) eine niedrige Quellenimpedanz besitzt.
  26. Vorrichtung nach Anspruch 24, bei welcher alle Wortleitungen (WL) mit Ausnahme einer aktiven Wortleitung (AWL) und alle Bitleitungen (BL) über einen untergeordneten Signalgenerator (2') für die koordinierte Anlegung von Spannungen an die Leitungen an das Potential einer aktiven Bitleitung (ABL) direkt angeklemmt sind.
  27. Vorrichtung nach Anspruch 24, welche des Weiteren eine Leseverstärkerschaltung oder mehrere Leseverstärkerschaltungen (3) aufweist, die zum Detektieren der Komponenten des Antwortstroms aus der ausgewählten Zelle (1) anschließbar an die Vorrichtung ist bzw. sind, und einen oder mehrere Lock-in-Verstärker (4) aufweist, der bzw. die jeweils mit einem Ausgang einer jeweiligen Leseverstärkerschaltung oder mehrerer Leseverstärkerschaltungen (3) verbunden ist bzw. sind, um die Komponenten mit der Kleinsignal-Messspannung oder den daraus abgeleiteten Referenzsignalen zeitlich zu korrelieren.
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Families Citing this family (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6756620B2 (en) * 2001-06-29 2004-06-29 Intel Corporation Low-voltage and interface damage-free polymer memory device
JP3772774B2 (ja) * 2002-03-22 2006-05-10 セイコーエプソン株式会社 強誘電体記憶装置
US7196931B2 (en) 2002-09-24 2007-03-27 Sandisk Corporation Non-volatile memory and method with reduced source line bias errors
US6987693B2 (en) 2002-09-24 2006-01-17 Sandisk Corporation Non-volatile memory and method with reduced neighboring field errors
US7046568B2 (en) 2002-09-24 2006-05-16 Sandisk Corporation Memory sensing circuit and method for low voltage operation
US7324393B2 (en) 2002-09-24 2008-01-29 Sandisk Corporation Method for compensated sensing in non-volatile memory
US7327619B2 (en) 2002-09-24 2008-02-05 Sandisk Corporation Reference sense amplifier for non-volatile memory
WO2004029984A2 (en) 2002-09-24 2004-04-08 Sandisk Corporation Non-volatile memory and its sensing method
US7443757B2 (en) 2002-09-24 2008-10-28 Sandisk Corporation Non-volatile memory and method with reduced bit line crosstalk errors
US6957158B1 (en) * 2002-12-23 2005-10-18 Power Measurement Ltd. High density random access memory in an intelligent electric device
US7082046B2 (en) * 2003-02-27 2006-07-25 Fujitsu Limited Semiconductor memory device and method of reading data
US7349448B2 (en) * 2003-08-01 2008-03-25 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Distributed multiplexing circuit with built-in repeater
US7064980B2 (en) 2003-09-17 2006-06-20 Sandisk Corporation Non-volatile memory and method with bit line coupled compensation
US6956770B2 (en) 2003-09-17 2005-10-18 Sandisk Corporation Non-volatile memory and method with bit line compensation dependent on neighboring operating modes
NO324607B1 (no) * 2003-11-24 2007-11-26 Thin Film Electronics Asa Fremgangsmate for a betjene et datalagringsapparat som benytter passiv matriseadressering
NO324029B1 (no) 2004-09-23 2007-07-30 Thin Film Electronics Asa Lesemetode og deteksjonsanordning
US7158421B2 (en) 2005-04-01 2007-01-02 Sandisk Corporation Use of data latches in multi-phase programming of non-volatile memories
US7215565B2 (en) * 2005-01-04 2007-05-08 Thin Film Electronics Asa Method for operating a passive matrix-addressable ferroelectric or electret memory device
KR100682366B1 (ko) 2005-02-03 2007-02-15 후지쯔 가부시끼가이샤 반도체 기억 장치 및 데이터 판독 방법
US7206230B2 (en) 2005-04-01 2007-04-17 Sandisk Corporation Use of data latches in cache operations of non-volatile memories
KR100630537B1 (ko) * 2005-08-09 2006-10-02 주식회사 하이닉스반도체 듀얼 페이지 프로그램 기능을 가지는 플래시 메모리 장치의페이지 버퍼 회로 및 그 프로그램 동작 방법
ITTO20070017A1 (it) * 2007-01-12 2008-07-13 St Microelectronics Srl Metodo e dispositivo di lettura non-distruttiva per un supporto di memorizzazione di materiale ferroelettrico
US7876661B2 (en) * 2007-10-02 2011-01-25 Seagate Technology Llc Non-destructive readback for ferroelectric material
KR100934159B1 (ko) * 2008-09-18 2009-12-31 한국과학기술원 강유전체 또는 일렉트렛 메모리 장치
US9286975B2 (en) * 2014-03-11 2016-03-15 Intel Corporation Mitigating read disturb in a cross-point memory
US9786346B2 (en) 2015-05-20 2017-10-10 Micron Technology, Inc. Virtual ground sensing circuitry and related devices, systems, and methods for crosspoint ferroelectric memory
EP3174208B1 (de) * 2015-11-30 2019-09-18 Nokia Technologies Oy Abtastvorrichtung und entsprechende verfahren
GB2554861B (en) * 2016-10-04 2021-09-15 Univ Oxford Brookes Sensor

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4539661A (en) * 1982-06-30 1985-09-03 Fujitsu Limited Static-type semiconductor memory device
US5222047A (en) * 1987-05-15 1993-06-22 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Method and apparatus for driving word line in block access memory
US5530667A (en) 1991-03-01 1996-06-25 Olympus Optical Co., Ltd. Ferroelectric memory device
JPH05129622A (ja) 1991-10-31 1993-05-25 Olympus Optical Co Ltd 強誘電体メモリ装置
JPH0660635A (ja) 1992-08-06 1994-03-04 Olympus Optical Co Ltd 強誘電体メモリ装置
JPH06275062A (ja) 1993-03-19 1994-09-30 Olympus Optical Co Ltd 強誘電体メモリ装置
US5666305A (en) 1993-03-29 1997-09-09 Olympus Optical Co., Ltd. Method of driving ferroelectric gate transistor memory cell
JPH08102182A (ja) * 1994-09-29 1996-04-16 Mitsubishi Chem Corp 不揮発性半導体記憶装置
US5666306A (en) * 1996-09-06 1997-09-09 Micron Technology, Inc. Multiplication of storage capacitance in memory cells by using the Miller effect
NO972803D0 (no) * 1997-06-17 1997-06-17 Opticom As Elektrisk adresserbar logisk innretning, fremgangsmåte til elektrisk adressering av samme og anvendelse av innretning og fremgangsmåte

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Publication number Publication date
DK1364372T3 (da) 2006-10-30
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CN100367403C (zh) 2008-02-06
ES2267977T3 (es) 2007-03-16
ATE333137T1 (de) 2006-08-15

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