DE60203032T2 - Integrierte Halbleiterschaltung - Google Patents
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Description
- HINTERGRUND DER ERFINDUNG
- Gebiet der Erfindung
- Die vorliegende Erfindung betrifft eine integrierte Halbleiterschaltung mit einem Abtastpfad.
- Zugehöriger Stand der Technik
- Wie in
8 gezeigt, ist gewöhnlich in einer integrierten Halbleiterschaltung30 , die eine Vielzahl derselben Logikschaltkreise3a ,3b ,3c und3d einschließt, wie zum Beispiel einem Graphikprozessor, ein Prüfpfad (Abtastpfad)35 vorgesehen, der (nicht gezeigte) Latch-Schaltungen der Logikschaltkreise3a ,3b ,3c und3d in Serie verbindet, so dass die Logikschaltkreise geprüft werden können. In dem Test wird ein erstes serielles Prüfmuster erstellt und an einen Prüfeingangsanschluss31 der integrierten Halbleiterschaltung30 eingegeben zum Einstellen eines Wertes in den Latch-Schaltkreisen. Dann wird der Takt um Eins fortschreiten lassen, um den Wert der Logikschaltkreise zu ändern. Daraufhin wird der Wert der Latch-Schaltkreise von dem Prüfausgangsanschluss37 der integrierten Halbleiterschaltung30 ausgegeben und mit einem erwarteten Wert verglichen. Wenn der ausgegebene Wert sich von dem erwarteten Wert unterscheidet, kann ein Fehler der integrierten Halbleiterschaltung30 erfasst werden. Auf diese Weise ist es möglich, einen Test mit einer geringen Anzahl von Prüfanschlüssen31 ,37 auszuführen und automatisch ein Eingangsmuster und einen erwarteten Wert zu erzeugen. - Jedoch, da die Größe von zu prüfenden Logikschaltkreisen zunimmt, führt dies dazu, dass es mehr Zeit erfordert, einen Test auszuführen, wenn alle Latch-Schaltkreise in Serie über einen einzelnen Prüfpfad verbunden sind. Ferner nimmt die Größe der Prüfmuster und der Umfang der erwarteten Werte zu, hierdurch den Speicher der Prüfeinrichtung erschöpfend, in dem die Prüfmuster gespeichert sind. Um dieses Problem zu lösen wird in einer in
9 gezeigten integrierten Halbleiterschaltung40 ein Auswähler bzw. Selektor44 vorgesehen zum Verzweigen des den Prüfeingangsanschluss41 und den Prüfausgangsanschluss47 verbindenden Prüfpfads in Prüfpfade45a und45b , die parallel durch die Logikschaltkreise3a ,3b ,3c und3d verlaufen. Wenn ein Test für die integrierte Halbleiterschaltung40 ausgeführt wird, wird der zu prüfende Pfad durch Eingeben eines Auswahlsignals an den Selektor44 umgeschaltet. Dann wird ein Prüfmuster eingegeben. - In der in
9 gezeigten integrierten Halbleiterschaltung40 ist es möglich, die Größe des Prüfmusters zu reduzieren, hierdurch die zu dem Speichern des Prüfmusters erforderliche Kapazität des Speichers reduzierend, da das Eingangsmuster und der erwartete Wert für jeden der Prüfpfade eingegeben werden (d.h. für jeden der Logikschaltkreise). - Jedoch sollten in der in
9 gezeigten integrierten Halbleiterschaltung alle Pfade sequenziell geprüft werden. Daher ist es nicht möglich, die für den Test erforderliche Zeit zu reduzieren. - EP-A-0 073 602 offenbart ein System, das eine Vielzahl von parallel replizierten Subsystemen umfasst, deren Ausgänge zwischen einer Vielzahl von Wählern zum Bereitstellen einer einzelnen konsolidierten Ausgangsgröße kombiniert werden, und eine Subsystemausgangsgrößenkoinzidenzprüfvorrichtung zum Sicherstellen der Integrität der konsolidierten Ausgangsgröße, wobei die Koinzidenzprüfvorrichtung ein Gerät in jedem Subsystemkanal umfasst, verbunden zum Empfangen der Ausgangsgrößen aller Kanäle und eingerichtet zum Ausführen einer Koinzidenzprüffunktion und zum Bereitstellen einer Ausgangsgröße zum Betreiben eines Fehlerindikators in dem Falle des Fehlens an Koinzidenz mit der Mehrheit, und ein Gerät zum Kombinieren der Fehleranzeigen, die sich auf jedes Subsystem beziehen zum Bereitstellen einer einzelnen konsolidierten Ausgangsgröße, die die Integrität jedes Subsystemkanals erklärt. Ferner wird ein Koinzidenzprüfblock vorgeschlagen, der eingerichtet ist zum Erzeugen von Ausgangsgrößen in Entsprechung zu jedem der Subsysteme, welche Ausgangsgrößen einen ersten Zustand annehmen, wenn das jeweilige Subsystem mit der Mehrheit übereinstimmt oder die Subsysteme einstimmig sind, und einen zweiten Zustand, wenn sie nicht mit der Mehrheit übereinstimmt. EP-A-0 073 602 betrifft keine integrierte Halbleiterschaltung.
- RESÜMEE DER ERFINDUNG
- Es ist ein Ziel der vorliegenden Erfindung, eine integrierte Halbleiterschaltung bereitzustellen, die zuverlässig innerhalb einer kurzen Prüfzeit geprüft werden kann. Die Chip-Größe eines Teils einer auf einer zu prüfenden integrierten Schaltung erforderlichen Einrichtung sollte klein gehalten werden.
- Um diese Ziele zu erreichen, stellt die Erfindung eine integrierte Halbleiterschaltung mit den Merkmalen bereit, wie sie im Patentanspruch 1 definiert sind. Bevorzugte Ausführungsformen sind Gegenstand von Unteransprüchen.
- KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
- Es zeigt:
-
1 ein Blockdiagramm des Aufbaus einer integrierten Halbleiterschaltung gemäß der ersten Ausführungsform, nicht alle erforderlichen Merkmale der vorliegenden Erfindung zeigend; -
2 ein Blockdiagramm des Aufbaus einer integrierten Halbleiterschaltung gemäß der zweiten Ausführungsform, nicht alle erforderlichen Merkmale der vorliegenden Erfindung zeigend; -
3 ein Blockdiagramm des Aufbaus einer integrierten Halbleiterschaltung gemäß der dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; -
4 ein Blockdiagramm des Aufbaus einer integrierten Halbleiterschaltung gemäß der vierten Ausführungsform, nicht alle erforderlichen Merkmale der vorliegenden Erfindung zeigend; -
5 ein Schaltungsdiagramm des Aufbaus eines Komparators der integrierten Halbleiterschaltung der vierten Ausführungsform; -
6 ein Blockdiagramm des Aufbaus einer integrierten Halbleiterschaltung gemäß der fünften Ausführungsform, die nicht alle erforderlichen Merkmale der vorliegenden Erfindung zeigt; -
7 ein Blockdiagramm des Aufbaus einer integrierten Halbleiterschaltung gemäß der sechsten Ausführungsform, nicht alle erforderlichen Merkmale der vorliegenden Erfindung zeigend; -
8 ein Blockdiagramm des Aufbaus einer konventionellen integrierten Halbleiterschaltung; und -
9 ein Blockdiagramm des Aufbaus einer anderen konventionellen integrierten Halbleiterschaltung. - BESCHREIBUNG DER AUSFÜHRUNGSFORMEN
- Nachstehend werden die Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen beschrieben.
- (Erste Ausführungsform)
-
1 zeigt den Aufbau einer integrierten Halbleiterschaltung gemäß der ersten Ausführungsform, nicht alle erforderlichen Merkmale der vorliegenden Erfindung zeigend. Eine integrierte Schaltung1 dieser Ausführungsform schließt einen Prüfeingangsanschluss2 ein, denselben Aufbau habende zu prüfende Schaltkreise, z.B. Logikschaltungen3a ,3b ,3c und3d , einen Komparator5 , einen Prüfausganganschluss7 und Prüfpfade4a und4b . Ein über den Prüfeingangsanschluss2 eingegebenes Prüfmuster wird zu jeder der Logikschaltungen3a ,3b ,3c und3d über den Prüfpfad4a gesendet. Ferner wird die Prüfausgangsgröße jeder der Logikschaltungen3a ,3b ,3c und3d an den Komparator5 über den Prüfpfad4b gesendet. Demnach ist der Prüfpfad verzweigt in durch die Logikschaltungen3a ,3b ,3c und3d verlaufende Pfade. - Der Komparator
5 wählt aus, ob das Prüfergebnis irgendeiner der Logikschaltungen3a ,3b ,3c und3d oder das Ergebnis des Vergleichs des Prüfergebnisses der Logikschaltungen3a ,3b ,3c und3d über die Prüfpfade4b ausgegeben werden sollte basierend auf einer Eingangsgröße des Vergleichsmodus. Die Ausgangsgröße des Komparators5 wird nach außen über den Prüfaeungangsanschluss7 der integrierten Halbleiterschaltung1 ausgegeben. - Als nächstes wird der Betrieb der integrierten Halbleiterschaltung
1 gemäß der ersten Ausführungsform zum Zeitpunkt des Ausführens einer Prüfung beschrieben. Zuerst wird der in den Komparator5 einzugebende Vergleichsmodus eingestellt auf den "Wähle irgendeinen der Prüfpfade und gib die Prüfausgangsgröße des ausgewählten Prüfpfades unverändert aus". Dann wird auf dieselbe Weise, wie in dem Fall der in9 gezeigten konventionellen integrierten Halbleiterschaltung eine Prüfung vorgenommen. Das heißt, die von dem Prüfausgangsanschluss gesendete Prüfausgangsgröße wird außerhalb mit einem erwarteten Ausgangswert verglichen. Es ist möglich, zu bestimmen, ob es einen Fehler in dem ausgewählten Prüfpfad (Logikschaltung) gibt oder nicht. Wenn der Prüfpfad als fehlerhaft bestimmt wird, wird die integrierte Schaltung1 als defekt bestimmt. Wenn in dem Prüfpfad keinerlei Fehler erfasst worden ist, wird die folgende Prüfung vorgenommen. - Der Vergleichsmodus wird eingestellt auf "Ausgabe des Vergleichsergebnisses", und dann wird ein Prüfmuster eingegeben. Da die Prüfpfade
4a und4b verzweigt sind, um durch die Logikschaltungen3a ,3b ,3c und3d zu verlaufen, sollten die Prüfausgangsgrößen der Logikschaltungen3a ,3b ,3c und3d dieselben sein für dasselbe Prüfmuster, das von dem Prüfeingabeanschluss2 der integrierten Halbleiterschaltung1 eingegeben wird, wenn alle Logikschaltungen3a ,3b ,3c und3d normal sind. Demgemäß ist es nicht erforderlich, alle Prüfpfade mit dem erwarteten Wert zu vergleichen, wenn die Ausgangsgrößen der Prüfpfade, die durch die Logikschaltungen3a ,3b ,3c und3d verlaufen, in dem Komparator miteinander verglichen werden. - Wenn es demnach eine Vielzahl von Schaltungen (beispielsweise Logikschaltungen) mit demselben Aufbau in einer integrierten Halbleiterschaltung gibt, ist es möglich, alle Schaltungen während derselben Zeitperiode zu prüfen, wie der, die erfordert wird, zum Prüfen zweier Schaltungen. Darüber hinaus, wenn der Vergleichsmodus ausgewählt ist, ist es nicht erforderlich, einen erwarteten Wert vorzubereiten. Demgemäß ist es möglich, die Kapazität des das Prüfmuster speichernden Speichers zu sparen.
- (Zweite Ausführungsform)
- Als nächstes wird der Aufbau einer integrierten Halbleiterschaltung gemäß der zweiten Ausführungsform, die nicht alle erforderlichen Merkmale der vorliegenden Erfindung zeigt, in
2 dargestellt. Eine integrierte Halbleiterschaltung1A dieser Ausführungsform wird erreicht durch Ersetzen des Komparators5 der integrierten Halbleiterschaltung1 der ersten Ausführungsform, die in1 gezeigt ist, durch einen Komparator5A . Der Komparator5A wird abgestimmt zum gleichzeitigen Vergleichen eines eingegebenen erwarteten Ausgangswertes und der von den Logikschaltungen3a ,3b ,3c und3d gesendeten Prüfausgangsgrößen zum Bestimmen, ob der eingegebene erwartete Ausgangswert und die Prüfausgangsgrößen dieselben sind oder nicht, und zum Ausgeben der Vergleichsergebnisse. Es ist möglich, das Prüfen aller Logikschaltungen3a ,3b ,3c und3d gleichzeitig vorzunehmen durch Eingeben des Prüfmusters in den Komparator5A zur gleichen Zeit wie die Prüfausgangsgrößen von den Logikschaltungen3a ,3b ,3c und3d in den Komparator5A eingegeben werden. Auf diese Weise ist es möglich, die für die Prüfung erforderliche Zeit ferner zu reduzieren, verglichen mit der ersten Ausführungsform. Zudem ist es auch möglich, die Kapazität des das Prüfmuster speichernden Speichers zu reduzieren. - (Dritte Ausführungsform)
- Als nächstes wird der Aufbau einer integrierten Halbleiterschaltung der dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung in
3 gezeigt. Eine integrierte Halbleiterschaltung1B dieser Ausführungsform wird erreicht durch Ersetzen des Komparators5 der integrierten Halbleiterschaltung1 der in1 gezeigten ersten Ausführungsform durch einen Komparator5B , und durch erneutes Hinzufügen eines Vergleichsausgangsanschlusses9 . Der Komparator5B ist derart aufgebaut, dass der Prüfpfadausgang einer ausgewählten der Logikschaltungen (der Logikschaltung3a in3 ) von dem Prüfausgangsanschluss7 unverändert ausgegeben wird und dass die Prüfausgangsgröße der Logikschaltungen3a ,3b ,3c und3d gleichzeitig verglichen werden und das Vergleichsergebnis nach außen über den Vergleichsausgangsanschluss9 ausgegeben wird. - In der integrierten Halbleiterschaltung
1B dieser Ausführungsform vergleicht eine externe Prüfeinrichtung die Prüfpfadausgangsgrößen und den erwarteten Wert und sie überwacht auch die Vergleichsausgänge. Demnach kann die Anzahl an Prüfungen von zwei in der ersten Ausführungsform auf eine reduziert werden, hierdurch die für die Prüfung erforderliche Zeit weiter verkürzend. Sicherlich ist es auch möglich, die Speicherkapazität, die zum Speichern des Prüfmusters erforderlich ist, zu reduzieren. - (Vierte Ausführungsform)
- Als nächstes wird der Aufbau einer integrierten Halbleiterschaltung gemäß der vierten Ausführungsform, die nicht alle erforderlichen Merkmale der vorliegenden Erfindung zeigt, in
4 beschrieben. Eine integrierte Halbleiterschaltung1C dieser Ausführungsform wird erhalten durch Ersetzen des Komparators5 der integrierten Halbleiterschaltung1 der in1 gezeigten ersten Ausführungsform durch einen Komparator5C , neu eine Speicherschaltung6 hinzufügend, und Schaltschaltungen8a ,8b ,8c und8d für die Logikschaltungen3a ,3b ,3c und3d vorsehend. Der Komparator5C vergleicht einen erwarteten Ausgangswert und die Prüfausgangsgrößen der Logikschaltungen3a ,3b ,3c und3d , bestimmt ob alle dieselben sind oder nicht und gibt das Vergleichsergebnis nach außen über den Prüfausgangsanschluss7 aus, wie in dem Fall des Komparators5A der zweiten Ausführungsform. Ferner speichert der Komparator5C das Vergleichsergebnis in der Speicherschaltung6 .5 zeigt ein Beispiel des spezifischen Aufbaus des Komparators5C in dieser Ausführungsform. Wie in5 gezeigt, schließt der Komparator5C dieser Ausführungsform Exklusiv-ODER-Gatter21a ,21b ,21c bzw.21d ein und ein ODER-Gatter23 . Die Exklusiv-ODER-Gatter21i (i = a, b, c, d) bestimmen, ob oder nicht der erwartete Ausgangswert und die Prüfausgangsgröße von der Logikschaltung3i sich jeweils entsprechen. Die Ausgangsgrößen der Exklusiv-ODER-Gatter21a ,21b ,21c und21d werden zu dem ODER-Gatter23 gesendet und auch zu der Speicherschaltung6 . Zusätzlich wird die Ausgangsgröße des ODER-Gatters23 zu dem Prüfausgangsanschluss7 gesendet. - In den ersten bis dritten Ausführungsformen wird ein Vergleich vorgenommen zum Bestimmen, ob oder nicht alle Prüfausgangsgrößen einander entsprechen. Demgemäß wird, selbst wenn nur eine Logikschaltung einen Fehler aufweist, der gesamte Chip als defekt bestimmt.
- Um dies zu vermeiden, sind die Speicherschaltung
6 und die Schaltschaltungen8a ,8b ,8c und8d in dieser Ausführungsform vorgesehen. Die Speicherschaltung6 ist ein nicht-flüchtiger Speicher, der die von dem Komparator5C gesendeten Signale überwacht und speichert, ob irgendein Übereinstimmungsfehler auftritt (d.h., das Vorhandensein oder Nichtvorhandensein eines Fehlers) für jede der Logikschaltungen3a ,3b ,3c und3d während der Prüfung. Nachdem die Prüfung beendet worden ist, wird das, was in der Speicherschaltung6 gespeichert ist, an die Schaltschaltungen8a ,8b ,8c und8d ausgegeben, die für die Schaltungen3a ,3b ,3c und3d vorgesehen sind. Die Schaltschaltungen8a ,8b ,8c und8d empfangen Information von der Speicherschaltung6 über das Vorhandensein oder Nichtvorhandensein eines Fehlers in den entsprechenden Logikschaltungen. Wenn es einen Fehler in irgendeiner der Logikschaltungen gibt, wird die Logikschaltung unwirksam geschaltet, beispielsweise durch Stoppen der der Logikschaltung zugeführten Taktsignale. - Wenn eine integrierte Halbleiterschaltung eine Logikschaltung mit einem defekten Abschnitt einschließt, wird der gesamte Chip in den ersten und dritten Ausführungsformen als defekt bestimmt. Jedoch kann eine solche integrierte Schaltung in dieser Ausführungsform als eine integrierte Halbleiterschaltung angesehen werden, die eine unwirksam gemachte bzw. gesperrte Logikschaltung mit einem defekten Abschnitt einschließt. Demgemäß ist die integrierte Halbleiterschaltung
1C dieser Ausführungsform wirksam, wenn die zu prüfenden Schaltungen (beispielsweise Logikschaltungen) ersetzbar sind. - Wie in dem Fall der ersten Ausführungsform kann mit der integrierten Halbleiterschaltung dieser Ausführungsform die für die Prüfung erforderliche Zeit reduziert werden und die Kapazität des das Prüfmuster speichernden Speichers kann reduziert werden.
- (Fünfte Ausführungsform)
- Der Aufbau einer integrierten Halbleiterschaltung gemäß der fünften Ausführungsform, die nicht alle erforderlichen Merkmale der vorliegenden Erfindung zeigt, ist in
6 gezeigt. Eine integrierte Halbleiterschaltung1D dieser Ausführungsform wird durch redundantes Hinzufügen einer zu prüfenden Logikschaltung3r zu der integrierten Halbleiterschaltung1C der in4 gezeigten vierten Ausführungsform erhalten. Die redundante Logikschaltung3r wird gesperrt bzw. unwirksam gemacht, wenn es keinen defekten Abschnitt in den anderen Logikschaltungen3a ,3b ,3c und3d gibt. Als ein Ergebnis einer auf dieselbe Weise durchgeführten Prüfung wie der für die in4 gezeigte vierte Ausführungsform, sperrt die Speicherschaltung6 , wenn eine der Logikschaltungen3a ,3b ,3c und3d , z.B.3a , defekt ist, die Logikschaltung3a , in welcher es einen Fehler gibt, und aktiviert die redundante Logikschaltung3r . Wenn die Prüfung abgeschlossen ist, und die integrierte Halbleiterschaltung betrieben wird, arbeitet die redundante Logikschaltung3r als Ersatz für die defekte Logikschaltung3a . - In der in
4 gezeigten vierten Ausführungsform wird die Performance der gesamten integrierten Halbleiterschaltung verschlechtert, wenn eine zu prüfende Schaltung es verfehlt, in geeigneter Weise zu arbeiten. Wenn jedoch in der in6 gezeigten fünften Ausführungsform die Anzahl der als fehlerhaft erkannten Logikschaltungen Eins ist, wird die Performance bzw. Leistungsfähigkeit der gesamten Halbleiterschaltung nicht verschlechtert, da die defekte Logikschaltung ersetzt wird durch die redundante Logikschaltung3r . - Auch in dieser Ausführungsform ist es möglich, die für die Prüfung erforderliche Zeit zu reduzieren und es ist möglich, die Kapazität des das Prüfmuster speichernden Speichers zu verringern.
- (Sechste Ausführungsform)
- Der Aufbau einer integrierten Halbleiterschaltung der sechsten Ausführungsform, die nicht alle erforderlichen Merkmale der vorliegenden Erfindung zeigt, ist in
7 gezeigt. Eine integrierte Halbleiterschaltung1E der sechsten Ausführungsform wird erreicht durch Hinzufügen einer Unterbrechungsschaltung11 , die logisch zwischen den zu prüfenden Schaltungen während des Prüfbetriebs hindurchgeführten Signale trennt, wenn es die zu prüfenden Logikschaltungen3a ,3b ,3c und3d verbindende Signalleitungen gibt. - Wenn die Logikschaltungen
3a ,3b ,3c und3d mit Signalleitungen verbunden sind, und die Verbindung von Signalleitungen zwischen einem Logikschaltungspaar sich unterscheidet von der Verbindung von Signalleitungen zwischen einem anderen Paar, gibt es einen Fall, in dem irgendeine zu prüfende Logikschaltung unterschiedlich im Ansprechen auf das eingegebene Prüfmuster arbeitet. Beispielsweise sei in dem Fall der7 angenommen, dass die Signalleitungen in derselben Weise zwischen den Logikschaltungen3a und3b verbunden sind, und zwischen den Logikschaltungen3c und3d , aber die Signalleitungen nicht in derselben Weise zwischen den Logikschaltungen3b und3c verbunden sind, wenn dasselbe Prüfmuster zu allen Logikschaltungen eingegeben wird, die sich ergebenden Ausgangsgrößen unterschiedlich sind, obwohl es keinen Fehler in den zu prüfenden Logikschaltungen gibt. In einem solchen Fall ist der Vergleich der Logikschaltungen nicht einfach und leicht, wie in dem Fall der ersten Ausführungsform. - Um dieses Problem zu lösen, ist eine logisch die Verbindungen zwischen den Logikschaltungen trennende Trennschaltung
10 vorgesehen, wie in7 gezeigt. Auf diese Weise werden die zu prüfenden Logikschaltungen3a ,3b ,3c und3d logisch unabhängig von einander während des Prüfens. Demnach ist es möglich, dieselbe Ausgangsgröße zu erhalten, die mit derselben Eingangsgröße des Prüfmusters zu vergleichen ist, wenn es keinen Fehler gibt. Es sollte bemerkt werden, dass eine Trennschaltung8 in derselben Weise wie in dieser Ausführungsform in die integrierte Halbleiterschaltungen der zweiten bis fünften Ausführungsformen ausgeführt werden kann. - In den ersten bis sechsten oben beschriebenen Ausführungsformen waren die zu prüfenden Schaltungen Logikschaltungen. Jedoch kann die vorliegende Erfindung auch angewendet werden auf andere Schaltungen als Logikschaltungen.
- Wie oben beschrieben, ist es gemäß der vorliegenden Erfindung möglich, die für eine Prüfung erforderliche Zeit zu reduzieren, verglichen mit den konventionellen Fällen.
- Zusätzliche Vorteile und Modifikationen werden Fachleuten leicht ersichtlich. Demnach ist die Erfindung in ihrem breiteren Aspekt nicht auf die spezifischen Details beschränkt und repräsentative hier gezeigte und beschriebene Ausführungen. Entsprechend können verschiedenartige Modifikationen vorgenommen werden, ohne vom Schutzbereich der Erfindung, wie er in den beiliegenden Ansprüchen definiert ist, abzuweichen.
Claims (5)
- Integrierte Halbleiterschaltung (
1B ), umfassend: eine Vielzahl von zu prüfenden Schaltkreisen (3a ,3b ,3c ,3d ), von denen jeder dieselbe Struktur hat; jeweils für einen der zu prüfenden Schaltkreise (3a ,3b ,3c ,3d ) vorgesehene Prüfpfade (4a ,4b ); einen Komparator (5B ), der über die Prüfpfade (4a ,4b ) von den zu prüfenden Schaltkreisen (3a ,3b ,3c ,3d ) gesendete Prüfausgangsgrößen empfängt, die Prüfausgangsgrößen vergleicht, und bestimmt, ob die Prüfausgangsgrößen miteinander übereinstimmen oder nicht, wobei der Komparator (5B ) einen ersten Ausganganschluss (9 ) umfasst zum Ausgeben eines Ergebnisses der Prüfung und einen zweiten Ausgangsanschluss (7 ) zum direkten Ausgeben einer von einem vorbestimmten der zu prüfenden Schaltkreise (3a ,3b ,3c ,3d ) gesendeten Prüfausgangsgröße. - Integrierte Halbleiterschaltung (
1B ) nach Anspruch 1, wobei der Komparator (5B ) die von den zu prüfenden Schaltkreisen (3a ,3b ,3c ,3d ) gesendeten Prüfausgangsgrößen mit einem erwarteten Wert vergleicht, und bestimmt, ob die Prüfausgangsgrößen mit den erwarteten Wert übereinstimmen. - Integrierte Halbleiterschaltung (
1B ) nach Anspruch 2, außerdem umfassend: einen Speicherschaltkreis (6 ), der Vergleichsergebnisse des Komparators (5B ) in Bezug darauf, ob die von den zu prüfenden Schaltkreisen (3a ,3b ,3c ,3d ) gesendeten Prüfausgangsgrößen mit dem erwarteten Wert übereinstimmen, speichert; Schaltschaltkreise von denen jeder für einen zu prüfenden Schaltkreis (3a ,3b ,3c ,3d ) vorgesehen ist, bestimmend, ob mindestens einer der zu prüfenden Schaltkreise (3a ,3b ,3c ,3d ) defekt ist oder nicht basierend auf einer Ausgangsgröße des Speicherschaltkreises, und in dem Fall, in dem es einen defekten zu prüfenden Schaltkreis (3a ;3b ;3c ;3d ) gibt, den defekten zu prüfenden Schaltkreis (3a ;3b ;3c ;3d ) schaltend, damit er unwirksam ist. - Integrierte Halbleiterschaltung (
1B ) nach Anspruch 3, außerdem einen Resonanzschaltkreis (3r ) umfassend mit der selben Struktur wie die zu prüfenden Schaltkreise (3a ,3b ,3c ,3d ), wobei der Resonanzschaltkreis (3r ) den zu prüfenden Schaltkreis (3a ;3b ;3c ;3d ) ersetzt, der während der Prüfung als defekt bestimmt worden ist. - Integrierte Halbleiterschaltung (
1B ) nach Anspruch 1, ferner einen die Verbindung zwischen irgendwelchen zwei der zu prüfenden Schaltkreise (3a ,3b ,3c ,3d ) während der Prüfung logisch trennenden Trennschaltkreis umfassend.
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