DE60027494T2 - Anode mit Widerstand für einen flachen Bildschirm - Google Patents

Anode mit Widerstand für einen flachen Bildschirm Download PDF

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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J29/00Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
    • H01J29/02Electrodes; Screens; Mounting, supporting, spacing or insulating thereof
    • H01J29/08Electrodes intimately associated with a screen on or from which an image or pattern is formed, picked-up, converted or stored, e.g. backing-plates for storage tubes or collecting secondary electrons
    • H01J29/085Anode plates, e.g. for screens of flat panel displays

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  • Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Anode eines flach-ebenen Anzeige- bzw. Wiedergabe-Bildschirms mit durch Elektronen angeregten Leuchtstoffen, beispielsweise vom Typ mit Mikrospitzen. Sie betrifft näherhin insbesondere die Vorspannung von Leuchtstoffelementen einer Anode, die mit Leuchtstoffelementen unterschiedlicher Farben versehen ist, welche farbweise vorgespannt werden, beispielsweise Leuchtstoffelemente in Form von alternierenden, kammartig organisierten Leuchtstoffelementen.
  • 1 stellt sehr schematisch einen flach-ebenen Anzeige- bzw. Wiedergabe-Bildschirm des Typs dar, auf welchen sich die Erfindung bezieht. Dieser Bildschirm weist zwei Platten auf. Eine erste, herkömmlich als Kathodenplatte bezeichnete Platte 1 ist gegenüber einer herkömmlich als Anodenplatte bezeichneten zweiten Platte 2 angeordnet. Diese beiden Platten werden durch regelmäßig über die Bildschirmoberfläche verteilte Abstandshalter 3 in Abstand voneinander gehalten, wobei in der durch die beiden Platten und eine Umfangsdichtung 4 begrenzten Zone ein Vakuum vorgesehen ist.
  • Die Kathodenplatte 1 umfasst Elemente zur Erzeugung von Elektronen sowie Elemente zur Auswahl von (nicht dargestellten) Pixeln, die auf verschiedene Weisen organisiert sein können, wie dies beispielsweise in der Amerikanischen Patentschrift 4 940 916 des Commissariat à l'Énergie Atomique für den Fall von Bildschirmen mit Mikrospitzen beschrieben ist. Die Anoden platte 2 ist, im Falle eines Farb-Bildschirms, mit alternierenden Leuchtstoffelementstreifen versehen, wobei jeder Streifen einer Farbe (Rot, Grün, Blau) entspricht.
  • Die 2A und 2B zeigen sehr schematisch eine Draufsicht auf einen Teil einer Anodenplatte bzw. eine Schnittansicht dieses Teils. In 2B ist die der Innenseite des Bildschirms entsprechende Fläche nach oben gedreht. Die Anode weist beispielsweise alternierende Streifen 4R, 4G, 4B von roten, grünen bzw. blauen Leuchtstoffelementen auf. Wie 2B veranschaulicht, sind die Leuchtstoffelementstreifen auf entsprechenden, allgemein in Kämmen organisierten Leiterstreifen 5R, 5G, 5B angeordnet, wobei jeweils sämtliche Streifen 5R untereinander miteinander verbunden sind, ebenso wie alle Streifen 5G und alle Streifen 5B. In bestimmten Fällen sind die Leuchtstoffelemente in Elementarmotiven bzw. -mustern verteilt, deren jedes jeweils allgemein einem Pixel entspricht (tatsächlich einem Sub-Pixel jeder Farbe bei einem Trichrom- bzw. Dreifarben-Bildschirm). Diese ,pixelisierten' Leuchtstoffelemente können dann weiterhin durch Vorspannelektroden in Form von Leiterstreifen (5G, 5B und 5R) adressiert werden, wie sie in Verbindung mit den 2A und 2B beschrieben sind, wobei man jedoch für die Abscheidung der Leuchtstoffelemente eine spezielle Maske verwendet.
  • Man unterscheidet zwei große Kategorien von flach-ebenen Bildschirmen, je nachdem, ob der Betrachter den Bildschirm von der Anodenseite oder von der Kathodenseite betrachtet. Im ersten Fall breitet sich das durch die Leuchtstoffelemente emittierte Licht durch die Anodenplatte hindurch fort (in 2B abwärts). Das Material der Leiterstreifen 5R, 5G, 5B ist dann durchsichtig-transparent und ist herkömmlicherweise Indium- und Zinn-Oxid (ITO). Im zweiten Fall sind die transparenten Elektroden 5R, 5B, 5G durch opake, lichtundurchlässige und vorzugsweise reflektierende Elektroden ersetzt, derart dass ein möglichst großer Teil des durch die Leuchtstoffelemente 4R, 4G, 4B emittierten Lichts in Richtung zur Kathode geschickt wird, nachdem diese Leuchtstoffe durch einen Elektronenbeschuss angeregt wurden. Die die Elektronen erzeugende Platte 1 ist dann wenigstens teilweise transparent-durchlässig und die Betrachtung erfolgt durch diese Kathodenplatte hindurch.
  • In einem Farb-Bildschirm (oder in einem durch zwei Gruppen oder Sätze von alternierenden Leuchtstoffelementen derselben Farbe gebildeten monochromen Bildschirm) werden die Gruppen bzw. Sätze von Streifen (beispielsweise blauen, roten, grünen Streifen) häufig alternativ positiv bezüglich der Kathode 1 vorgespannt, damit die von den emittierenden Elementen (beispielsweise den Mikrospitzen) eines Kathodenpixels emittierten Elektronen alternativ zu den jeweils gegenüberstehenden Leuchtstoffelementen 4R, 4G, 4B jeder der Farben gelenkt werden.
  • Die Steuerung der Auswahl des Leuchtstoffs, der durch die Elektronen bombardiert werden soll, erfordert eine selektive Steuerung der Vorspannung der Leuchtstoffelemente der Anode, jeweils Farbe für Farbe. Im allgemeinen sind die Streifen 5R, 5G, 5B, welche anzuregende Leuchtstoffelemente tragen, mit einer Spannung von mehreren Hundert Volt gegenüber der Kathode vorgespannt, während sich die anderen Streifen auf einem Potential Null befinden. Die Wahl der jeweiligen Größe der Vorspannpotentiale ist mit den jeweiligen charakteristischen Eigenschaften der Leuchtstoffelemente und der Elektronenemissionsmittel verknüpft.
  • In bestimmten Fällen kann die Anode, obwohl sie aus mehreren Gruppen bzw. Sätzen von Leuchtstoffelementstreifen oder dergleichen gebildet wird, nicht nach Streifengruppen umgeschaltet werden. Dann sind sämtliche Streifen auf ein und dasselbe Potential vorgespannt, wenigstens während der Dauer eines Einzelbilds (,frame') der Anzeige. Man spricht dann von Anode ohne Umschaltung.
  • Die Potentialdifferenz zwischen der Anode und der Kathode ist im wesentlichen mit dem Inter-Elektrodenabstand, d. h. der Dicke des Innenraums, verknüpft. Aus Gründen der Bildschirmhelligkeit bzw. -brillanz wünscht man einen maximalen Potentialunterschied, was das Streben nach einem größtmöglichen Inter-Elektrodenabstand zur Folge hat. Die Struktur des Inter-Elektrodenabstands, welcher die Abstandshalter 3 aufweist, die zur Bildung von Schattenzonen im Bildschirm führen können, wenn sie eine zu große Abmessung aufweisen, steht jedoch einer Erhöhung dieses Inter-Elektrodenabstands entgegen.
  • Der erforderliche Kompromiss führt zur Wahl eines Betrags der Anoden-Kathoden-Spannung, der kritisch hinsichtlich elektrischer Bogenbildung ist. Es kann dann zur Ausbildung zerstörerischer elektrischer Bögen bei der geringsten Irregularität in der Abmessung des Abstands, welcher eine Emissionsvorrichtung der Kathode von den Leuchtstoffelementen der Anode trennt, kommen. Derartige Irregularitäten sind zudem unvermeidlich angesichts der geringen Abmessungen und der für die Herstellung der Anode und der Kathode angewandten Techniken.
  • Kathodenseitig ist eine Widerstandsschicht im Falle der Bildschirme mit Mikrospitzen vorgesehen, zur Aufnahme dieser Mikrospitzen und damit zur Begrenzung der Bildung destruktiver Kurzschlüsse zwischen den Mikrospitzen und einem der Kathode zugeordneten Steuergitter.
  • Demgegenüber kann es anodenseitig zur Bildung von Bögen kommen, nicht nur zwischen der Kathodenplatte und denjenigen Leuchtstoffelementen der Anode, die vorgespannt sind, um von den Mikrospitzen emittierte Elektronen anzuziehen, sondern auch zwischen zwei benachbarten Leuchtstoffelementstreifen infolge der Potentialdifferenz zwischen diesen beiden Streifen. Im Falle eines monochromen Bildschirms, bei dem die Anode aus einer Leuchtstoffelemente der selben Farbe tragenden Leiterebene besteht, oder im Falle einer (Farben- oder monochromen) Anode mit mehreren nicht-umgeschalteten Streifen, besteht die Gefahr von Bogenbildung nur zwischen Anode und Kathode.
  • Um das Auftreten derartiger seitlicher Bögen zu begrenzen, sieht man herkömmlicherweise zwischen den Anodenstreifen 5B, 5R, 5G interstitielle oder Zwischenstreifen 7 aus einem isolierenden Material (im allgemeinen Siliziumoxid) vor.
  • In der Praxis ist jedoch die Wirksamkeit derartiger Isolierstreifen aus mehreren Gründen begrenzt.
  • Zunächst sind diese Streifen bezüglich der Bildung elektrischer Bögen zwischen der Anode und der Kathode unwirksam.
  • Des weiteren stehen die Leuchtstoffelemente 4R, 4G, 4B, obzwar dies nicht notwendigerweise aus den 2A und 2B hervorgeht, die nicht maßstabsgetreu sind, in erheblicher Weise über die interstitiellen oder Zwischenstreifen hinaus. Tatsächlich ist die Dicke der Leuchtstoffelementstreifen im allgemeinen in der Größenordnung von etwa zehn μm, und die Herstellung von Isolierstreifen aus Siliziumoxid mit einer derartigen Dicke ist in der Praxis mit den für die Herstellung der Anoden verwendeten Technologien nicht kompatibel, derart dass die Dicke der Streifen 7 im allgemeinen in der Größenordnung von 1 bis 2 μm liegt, während ihre Breite in der Größenordnung von 10 bis 20 μm liegt.
  • Außerdem kann es bei der Abscheidung der Leuchtstoffelemente durch eine Abscheidungsmaske hindurch zu einer leichten Fehlausrichtung dieser Maske kommen, derart dass ein Teil der Leiterstreifen 5R, 5G, 5B oder der isolierten Zonen nach der Fertigstellung des Bildschirms zugänglich verbleibt und so die Bildung von Bögen begünstigt wird.
  • Eine erste bekannte Lösungsmaßnahme beim Versuch, das Auftreten von Bögen zwischen der Anode und der Kathode zu verringern, ist, dass man an den Enden jedes Leiterstreifens 5R, 5G, 5B jeweils einen Widerstand zwischen der Speisezuleitung und dem Streifen vorsieht. Sobald in dem Streifen ein hoher Strom auftritt, bewirkt dieser Widerstand einen Spannungsabfall. Daraus folgt, dass der Potentialunterschied zwischen dem Leiterstreifen und der Kathode abnimmt und die zur Erzeugung des Bogens führende Überspannung zum Verschwinden bringt.
  • Ein Nachteil einer derartigen Lösung ist, dass sie nicht gegen die Bildung eines seitlichen elektrischen Bogens schützt, d. h. zwischen zwei benachbarten Streifen 5R, 5G, 5B. Es kann in der Tat zur Bildung einer örtlichen Stromzirkulation zwischen zwei Streifen kommen, die dann nicht durch die Widerstände an den Enden vermieden wird.
  • Ein anderer Nachteil der Zuhilfenahme derartiger Widerstände in Reihe mit den Streifen ist, dass diese Widerstände im allgemeinen aus Ruthenium hergestellt werden, dessen spezifischer Widerstand durch Ausglühen stabilisiert wird. Diese zur Stabilisierung des Widerstands erforderliche hohe Temperatur (in der Größenordnung von 600°C) schafft Probleme hinsichtlich der Kompatibilität mit dem Herstellungsverfahren des Bildschirms, das für den Fall, wo die Leiterstreifen aus Aluminium im Fall einer durchsichtigen Kathode bestehen, Temperaturen von unter 600°C erfordert. Außerdem ist ein derartiges Herstellungsverfahren mittels Ausheizen bzw. Glühen schwer beherrschbar.
  • Ein anderer Nachteil der zwischen den Anodenleiterstreifen vorgesehenen Reihenwiderstände ist, dass sie Zonen der Erwärmung bzw. Aufheizung der Anodenleiterpfade am Umfang des Bildschirms bilden.
  • Eine zweite bekannte Lösung ist in der Französischen Patentanmeldung Nr. 2 732 160 beschrieben. Diese Lösung besteht in der Abscheidung der Leuchtstoffelementstreifen auf Streifen hohen spezifischen Widerstands und in der Zufuhr der erforderlichen Vorspannung zu den Leuchtstoffen mittels seitlicher Vorspannstreifen zu beiden Seiten jedes Widerstandsstreifens.
  • Wenn diese Lösung insgesamt befriedigende Ergebnisse erbringen kann, so erfordert sie einen großen Abstand zwischen jedem Leuchtstoffelementstreifen, um darin zwei jeweils zwei benachbarten Streifen zugeordnete Vorspannleiter unterbringen zu können, bei gleichzeitiger Einhaltung eines ausreichenden Abstands zwischen diesen Vorspannleitern, um eine erforderliche seitliche Isolierung zwischen ihnen aufrechtzuerhalten. Somit ist diese Lösung in der Praxis insbesondere für Bildschirme geringer Auflösung bestimmt.
  • Demgegenüber und beispielshalber haben bei einer Anodenplatte, in welcher die Oberfläche jedes Pixels jeweils ein Viereck von etwa 300 μm Seitenlänge ist, die Anodenstreifen jeweils jeder eine Breite in der Nähe von, jedoch unterhalb 100 μm, und die Isolierstreifen 7 haben eine Breite in der Größenordnung von 10 μm. In einem derartigen Fall kann die Anwendung einer Lösung für den örtlichen Schutz durch eine seitlich von Vorspannstreifen eingerahmte Widerstandsschicht wegen des geringen Abstands zwischen den Anodenstreifen nicht ins Auge gefasst werden.
  • Die vorliegende Erfindung bezweckt die Vermeidung oder Verringerung der Nachteile der bekannten Verfahren durch den Vorschlag einer Anode eines flach-ebenen Anzeige- bzw. Wiedergabe-Bildschirms, bei dem die Gefahr des Auftretens elektrischer Bogenbildung zwischen der Anode und der Kathodenplatte oder zwischen zwei benachbarten Leuchtstoffelementen der Anode vermieden wird, ohne die Helligkeit und Brillanz des Bildschirms zu beeinträchtigen.
  • Die vorliegende Erfindung betrifft auch die Schaffung einer Lösung, die mit den herkömmlichen Abständen zwischen zwei Leuchtstoffelementstreifen kompatibel ist.
  • Die vorliegende Erfindung betrifft auch die Schaffung einer Lösung, die besonders geeignet bei einem Bildschirm mit ,transparent-durchsichtiger' Kathode ist, d. h. bei dem die Kathodenplatte die Betrachtungsoberfläche des Bildschirms darstellt.
  • Die Erfindung bezweckt des weiteren die Schaffung einer Lösung, welche mit den herkömmlichen Herstellungsverfahren der Anoden und im besonderen mit den bei dieser Herstellung verwendeten Masken vereinbar ist.
  • Zur Erreichung dieser Ziele sieht die vorliegende Erfindung vor die Schaffung einer Anode für einen flach-ebenen Anzeige- bzw. Wiedergabe-Bildschirm, welcher zur Anregung durch ein Elektronenbombardement bestimmte Leuchtstoffelemente aufweist, die auf wenigstens einer Vorspannelektrode abgeschieden sind, die wenigstens an den Stellen der Leuchtstoffelemente eine Schichtung aus einer Widerstandsschicht, auf welcher eine Leiterschicht zur Vorspannung der Leuchtstoffelemente abgeschieden ist, aufweist.
  • Gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist vorgesehen, dass die Leuchtstoffelemente direkt auf der Widerstandsschicht abgeschieden sind.
  • Gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist vorgesehen, dass die Leuchtstoffelemente auf einer reflektierenden Leiterschicht abgeschieden sind, die ihrerseits auf der Widerstandsschicht abgeschieden ist.
  • Gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist vorgesehen, dass die genannte reflektierende Schicht gemäß Elementarmotiven bzw. Mustern geringer Abmessung in der Oberfläche der Anode abgeschieden sind.
  • Gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist vorgesehen, dass die Leuchtstoffelemente gemäß dem Abscheidungs-Elementarmotiv bzw. -muster der reflektierenden Schicht abgeschieden sind.
  • Gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist vorgesehen, dass die Widerstandsschicht ganzflächig abgeschieden ist.
  • Gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist vorgesehen, dass die Widerstandsschicht dasselbe Motiv bzw. Muster wie die reflektierende Schicht besitzt.
  • Gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist vorgesehen, dass die Widerstandsschicht wenigstens in der aktiven Zone des Bildschirms dasselbe Motiv bzw. Muster wie die leitende Vorspannschicht besitzt.
  • Gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist vorgesehen, dass die genannte Leiterschicht ein Motiv bzw. eine Musterung abwechselnder Streifen, die miteinander in wenigstens zwei Gruppen bzw. Ensembles verbunden sind, aufweist.
  • Die vorliegende Erfindung betrifft auch einen flach-ebenen Anzeige- bzw. Wiedergabe-Bildschirm, der eine Kathode zum Elektronenbeschuss einer Kathodolumineszenz-Anode aufweist.
  • Diese und weitere Ziele, Gegenstände, Eigenschaften, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden in der folgenden nicht-einschränkenden Beschreibung spezieller Ausführungsbeispiele im einzelnen auseinandergesetzt, unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungsfiguren; in diesen zeigen:
  • die bereits beschriebenen 1, 2A und 2B sind zur Darstellung des Standes der Technik und der Problemstellung bestimmt,
  • 3 in schematischer partieller Schnittansicht eine erste Ausführungsform einer Anodenplatte eines flach-ebenen Bildschirms gemäß der vorliegenden Erfindung,
  • 4A und 4B in sehr schematischer und Teildraufsicht bzw. Teilschnittansicht eine zweite Ausführungsform einer flach-ebenen Bildschirm-Anode gemäß der vorliegenden Erfindung, die näherhin für einen Bildschirm bestimmt ist, dessen Oberfläche von der Kathode gebildet wird, sowie
  • 5A und 5B stark schematisch eine Teildraufsicht bzw. Teilschnittansicht einer Abwandlung der zweiten Ausführungsform der Erfindung.
  • Gleiche Elemente sind in den verschiedenen Zeichnungsfiguren mit denselben Bezugsziffern bezeichnet. Aus Gründen der Klarheit und Übersichtlichkeit wurden nur die Elemente, die für das Verständnis der Erfindung notwendig sind, in den Zeichnungsfiguren dargestellt und im folgenden beschrieben. Insbesondere wurde der Aufbau der Kathodenplatte eines Bildschirms, auf welchen sich die vorliegende Erfindung bezieht, nicht im einzelnen erläutert und bildet keinen Gegenstand der vorliegenden Erfindung.
  • 3 stellt in schematischer Schnittansicht eine Anode eines flach-ebenen Bildschirms gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dar. Diese Anode umfasst, wie zuvor, eine Trag- bzw. Auflageplatte 2, beispielsweise eine Glasplatte. Im Falle eines von der Anode her betrachtbaren Bildschirms ist diese Platte selbstverständlich durchsichtig.
  • Anoden-Leiterstreifen bzw. -bänder 5R, 5G, 5B sind beispielsweise in herkömmlicher Form, wie durch die 2A und 2B veranschaulicht, abgeschieden und durch Sätze bzw. Gruppen von jeweils ein und derselben Farbe zugewiesenen Streifen bzw. Bändern miteinander verbunden.
  • Ein charakteristisches Merkmal der vorliegenden Erfindung ist, dass die Bänder bzw. Streifen 5R, 5G, 5B sämtlich mit Streifen bzw. Bändern aus einem Widerstandsmaterial 8 überzogen sind. Gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung werden sodann Bänder bzw. Streifen von Leuchtstoffelementen 4R, 4G, 4B auf den Widerstands-Bandstreifen 8 abgeschieden, und nicht mehr, wie in den herkömmlichen Bildschirmen, direkt auf den Leiterbandstreifen 5. Somit werden die Vorspannelektroden der Leuchtstoffelemente hier durch eine Schichtung aus einer Leiterschicht (in welcher die Bandstreifen 5R, 5G und 5B definiert sind) und einer Widerstandsschicht 8 gebildet.
  • Ein bedeutsamer Vorteil der vorliegenden Erfindung ist, dass sie mit dem herkömmlichen Herstellungsverfahren einer Anode verträglich ist. Tatsächlich kann die Widerstandsschicht 8, in der ersten Ausführungsform der Erfindung, wenigstens in den aktiven Teilen des Bildschirms, d. h. außerhalb der Verbindungszonen der Bandstreifengruppen, gemäß demselben Motiv bzw. Muster wie die Anoden-Leiterstreifen 5R, 5G, 5B abgeschieden werden, und damit mittels derselben Maske.
  • Ein anderer bedeutsamer Vorteil der vorliegenden Erfindung ist, dass sie bei wirksamem Schutz des Bildschirms gegen schädliche elektrische Bögen keinerlei Vergrößerung des seitlichen Abstands zwischen den Leuchtstoff element-Streifen erfordert. Die vorliegende Erfindung ist daher besonders geeignet für Anoden mit hoher Auflösung.
  • In herkömmlicher Weise sind die Anodenstreifen 5R, 5G und 5B vorzugsweise seitlich durch isolierende Abstands- bzw. Zwischenstreifen 7 voneinander getrennt.
  • Man sieht, dass die Erfindung einen Schutz gegen zerstörende elektrische Bogenbildungen nicht nur zwischen der Anodenplatte und der Kathodenplatte gestattet, sondern auch zwischen auf unterschiedliche Potentiale vorgespannte benachbarte Leuchtstoffelement-Streifen. Dieser seitliche Schutz ist besonders wirksam, insofern er jeglicher, auch örtlichen, Stromzirkulation entgegenwirkt.
  • Des weiteren ist, im Falle zufälliger Fehlausrichtung zwischen den Ätzmasken für die Abscheidung der Leuchtstoffelemente 4R, 4G, 4B relativ bezüglich der Maske zur Bildung der Anoden-Leiterstreifen 5R, 5G, 5B, das nunmehr zugängliche Material der Werkstoff der Widerstandsschicht 8, der die Ausbildung zerstörender elektrischer Bögen verhindert.
  • Die Wahl des Materials für die Widerstandsstreifen 8 hängt von der jeweiligen Anwendung und im besonderen von der erforderlichen Transparenz (transparente Anode) oder eines reflektierenden Charakters (transparente Kathode) dieser Widerstandsstreifen ab.
  • Als Beispiel der Materialwahl für die Realisierung der Widerstandsstreifen 8 kann man auf Zinnoxid oder auf dünnes Silizium zurückgreifen, das mit einer Dicke vorzugsweise zwischen 1 und 2 μm abgeschieden ist. Die Anoden-Leiterstreifen 5R, 5G, 5B sind beispielsweise aus ITO (transparent) oder aus Aluminium (reflektierend) mit einer Dicke in der Größenordnung von einem Zehntel μm hergestellt.
  • Es sei darauf hingewiesen, dass die vorliegende Erfindung eine merkliche Verbesserung gegenüber Reihenwiderständen aus Ruthenium erbringt, die eine Dicke von mehreren zehn μm aufweisen müssen.
  • Des weiteren eignet sich die erste Ausführungsform der vorliegenden Erfindung auch im Falle eines monochromen Bildschirms, bei welchem die Anode aus einer Ebene von Leuchtstoffelementen derselben Farbe besteht, oder im Falle eines (Farb- oder monochromen) Bildschirms, bei welchem die Anode aus mehreren nicht-umgeschalteten bzw. -umgesteuerten Streifengruppen bzw. -sätzen besteht. In diesem Fall wird die Widerstandsschicht 8 vorzugsweise auf der gesamten Anoden-Leiterschicht abgeschieden.
  • Zwar wurde die Anode gemäß der vorliegenden Erfindung in Verbindung mit einer Trichrom- bzw. Dreifarben-Struktur mit zueinander parallelen länglichen Anodenstreifen bei der ersten Ausführungsform beschrieben, jedoch kann die Struktur der Leuchtstoffelemente der Anode sehr unterschiedlich sein. Beispielsweise kann es sich um eine Struktur von Elementarmotiven bzw. -mustern handeln, deren jedes jeweils einem Pixel entspricht. In einem derartigen Fall erbringt die vorliegende Erfindung den zusätzlichen Vorteil, dass sie angewandt werden kann, während eine Lösung mit seitlichem Schutz zu viel Platz einnähme.
  • Die 4A und 4B zeigen jeweils in Draufsicht bzw. im Schnitt eine zweite Ausführungsform einer Anode eines flach-ebenen Bildschirms gemäß der Erfindung. Diese Ausführungsform ist speziell bestimmt für eine Anode, welche das Licht zu der Kathodenplatte (1, 1) reflektieren soll, die dann die Bildschirmoberfläche bildet.
  • Ein charakteristisches Merkmal der zweiten Ausführungsform der Erfindung ist, dass die Vorspannelektroden der Leuchtstoffelemente hier von einer Schichtung von drei Schichten gebildet werden. Wie bei der ersten Ausführungsform ist eine Vorspann-Leiterschicht 5 und eine Widerstandsschicht 8 vorhanden. Jedoch ist bei dieser zweiten Ausführungsform auf der Widerstandsschicht eine zusätzliche Leiterschicht 10 abgeschieden. Ein Charakteristikum dieser zusätzlichen Schicht 10 ist, dass sie reflektierend ist, um das Licht zur Kathode zurückzuwerfen. Im Unterschied zur ersten Ausführungsform, die bei Verwendung in einem Bildschirm mit durchsichtiger Kathode eine reflektierende Widerstandsschicht vorsieht, gestattet die zweite Ausführungsform die Verwendung einer Widerstandsschicht mit beliebigen optischen Eigenschaften (durchsichtig, absorbierend oder reflektierend), da der optische Effekt der Reflexion zur Kathode hier durch die zusätzliche Leiterschicht 10 gewährleistet ist.
  • Es sei darauf hingewiesen, dass die zweite Ausführungsform der Erfindung sich im besonderen auf den Fall bezieht, wo die Leuchtstoffelemente gemäß Elementarmotiven bzw. -mustern mittels einer speziellen Maske abgeschieden werden, welche Öffnungen aufweist, die beispielsweise den jeweiligen Abmessungen der Pixel des Bildschirms oder der Sub-Pixel jeder Farbe des Bildschirms entsprechen. Dieses charakteristische Merkmal ist an das Vorhandensein der Leiterschicht 10 geknüpft, die ihrerseits gemäß diesen Elementarmotiven bzw. -mustern abgeschieden werden muss, um eine Ausbreitung von Ladungen längs der Elektrodenstreifen zu vermeiden.
  • Wie 4A veranschaulicht, sind somit die Leuchtstoffelemente 4'B, 4'R und 4'G gemäß kleinen Oberflächen von (in diesem Beispiel rechteckigen) Elementarmotiven bzw. -mustern abgeschieden. Man erkennt jedoch, dass in der durch die 4A und 4B veranschaulichten Ausführungsform die Verteilung der Farben der Leuchtstoffelemente weiterhin in Band- bzw. Streifenform vor den Vorspann-Leiterstreifen 5B, 5R und 5G erfolgt, die gemäß einem Muster alternierender Streifen ausgeführt sind.
  • Gemäß dieser Ausführungsform der Erfindung wird die zusätzliche reflektierende Leiterschicht mittels derselben Maske abgeschieden wie die Leuchtstoffelemente und besteht daher aus Zonen von Elementarmotiven bzw. -mustern 10 in Ausrichtung mit den Leuchtstoffelementen. Zwischen den Anodenstreifen ist wahlweise eine Isolierschicht 7 vorgesehen. Diese Schicht 7 ist, wie bei der ersten Ausführungsform, über der Widerstandsschicht 8' abgeschieden. Jedoch liegt die Isolierschicht 7, wenn sie vorgesehen ist, dann nicht nur zwischen den Anodenstreifen vor, sondern auch zwischen den verschiedenen Elementarmotiven bzw. -mustern, welche Zonen von reflektierenden Schichten 10 und Leuchtstoffelementen 4 definieren. Die Tatsache, dass die zusätzliche Leiterschicht gemäß den Elementarmotiven bzw. -mustern abgeschieden ist, gestattet die Einhaltung eines frei flottierenden Potentials jeweils bei jedem Pixel.
  • In der in den 4A und 4B veranschaulichten Ausführungsform ist die Widerstandsschicht 8' voll-flächig auf der Platte abgeschieden, d. h. dass sie sich wenigstens über die gesamte aktive Zone der Anode erstreckt.
  • Ein Vorteil der zweiten Ausführungsform der Erfindung ist, dass sie sich besonders gut zur Anwendung bei einem Bildschirm mit transparentdurchsichtiger Kathode eignet. Tatsächlich verfügt man, durch die Trennung der Funktionen der reflektierenden Schicht und der Widerstandsschicht, über eine größere Auswahl von Materialien zur Ausbildung dieser verschiedenen Schichten. Insbesondere kann man dann eine Widerstandsschicht 8' aus einem optisch absorbierenden Material (beispielsweise Silizium) vorsehen. In diesem Fall wird die Widerstandsschicht dann überall dort, wo weder ein Leuchtstoffelement, noch eine reflektierende Schicht 10 vorliegt, ein undurchlässiges Netzwerk (schwarze Matrix) bilden. Sie wird dann Licht absorbieren, was den Bildschirmkontrast verbessert.
  • Außerdem wird die Widerstandsschicht, wenn sie voll-flächig abgeschieden ist und wenn sie aus einem Material mit niedrigem Sekundäremissionskoeffizienten besteht (was im allgemeinen bei Widerstandsmaterialien der Fall ist), die darunter liegende Schicht zwischen den Leiterstreifen 5B, 5R und 5G, die im allgemeinen aus einem Material mit hohem Sekundäremissionskoeffizienten hergestellt ist, schützen und wird dann die Anode gegen Ladungseffekte schützen, was die Bildschirmentgasung verringert.
  • Wie bei der ersten Ausführungsform ist ein mit der Erübrigung der Widerstände an den Enden der Anoden-Leiterstreifen verbundener Vorteil, dass man einerseits Platz für die Anode gewinnt, aber auch die mit dem Vorliegen dieser Widerstände auf der gesamten Anodenplatte verbundenen Wärmeeffekte verteilt. Örtliche Heißstellen mit der Gefahr schädlicher Wirkungen werden so vermieden.
  • Die 5A und 5B zeigen in Draufsicht bzw. in Schnittansicht eine abgewandelte Ausführung einer Anode gemäß der zweiten Ausführungsform der Erfindung. Gemäß dieser Abwandlung ist die Widerstandsschicht 8'' ihrerseits selbst gemäß den Elementarmotiven bzw. -mustern der Abscheidung der Leuchtstoffelemente 4' abgeschieden. Aus Gründen der Klarheit und Übersichtlichkeit sind in den 5A und 5B die unterschiedlichen Ausrichtungen zwischen den Elementarmotiven bzw. -mustern der Leuchtstoffelemente 4', der zusätzlichen Leiterschicht 10 und der Widerstandsschicht 8'' übertrieben dargestellt. Man erkennt jedoch, dass diese verschiedenen Elementarmotive bzw. -muster mit Hilfe ein und derselben Maske erhalten werden. Somit bleibt die Erfindung vollkommen kompatibel mit den herkömmlichen Herstellungsverfahren für die Anoden und benötigt insbesondere keinerlei zusätzliche Maske, unabhängig von dem angewandten Herstellungsverfahren.
  • Bei der Abwandlung gemäß den 5A und 5B sind die Vorspann-Leiterstreifen 5B, 5R und 5G weiterhin als Streifen wiedergegeben, wie bei der ersten Ausführungsform.
  • Es sei jedoch darauf hingewiesen, dass in Abwandlung hiervon die bei der zweiten Ausführungsform der Erfindung vorgesehene Widerstandsschicht gleichfalls gemäß dem Motiv bzw. Muster der Vorspann-Leiterstreifen 5B, 5R und 5G abgeschieden werden kann. In diesem Fall bleibt der Vorteil, keine zusätzliche Maske für die Abscheidung dieser Widerstandsschicht zu benötigen, erhalten, wie in der ersten Ausführungsform.
  • In 5B ist eine Widerstandsschicht 8'' veranschaulicht, die relativ dicker als die in 4B gezeigte ist. Tatsächlich kann man gemäß der Erfindung und unabhängig von dem jeweiligen Herstellungsverfahren den Betrag des Widerstands für ein gegebenes Material in Abhängigkeit von der Dicke der abgeschiedenen Widerstandsschicht einstellen bzw. anpassen.
  • Selbstverständlich ist die vorliegende Erfindung verschiedenen Abwandlungen und Änderungen zugänglich, die sich für den Fachmann ergeben. Insbesondere erkennt man, dass man im Falle eines monochromen Bildschirms oder eines Bildschirms mit Anode ohne Umschaltung bei Anwendung der zweiten Ausführungsform der Erfindung vorsehen kann, dass die Vorspann-Leiterschicht 5 und die Widerstandsschicht 8 voll-flächig abgeschieden werden. Die reflektierende Leiterschicht 10 und die Leuchtstoffelemente werden dann gemäß den Elementarmotiven bzw. -mustern der Bildschirm-Pixel abgeschieden. Des weiteren liegt die Wahl der Materialien für die Herstellung einer Anode eines flach-ebenen Bildschirms gemäß der Erfindung im Rahmen des fachmännischen Könnens, auf der Grundlage der vorstehend hier gegebenen funktionellen Hinweise und Angaben und der jeweiligen Anwendungen. Man erkennt des weiteren, dass der Fachmann in der Lage ist, die jeweiligen Dicken der verschiedenen Schichten und insbe sondere der Widerstandsschicht in Abhängigkeit von den vorausgesetzten elektrischen Eigenschaften entsprechend anzupassen. Außerdem ist im Falle einer Anode ohne Umschaltung ersichtlich, dass nur die Streifen (oder Inseln) von Leuchtstoffelementen in der aktiven Oberfläche des Bildschirms individualisiert werden müssen. So kann die Vorspannschicht 5 eine Leiterebene sein ebenso wie die Widerstandsschicht voll-flächig ausgebildet sein kann. Es gibt dann nur eine einzige Vorspannelektrode der Anode.

Claims (10)

  1. Anode für einen flach-ebenen Anzeige- bzw. Wiedergabe-Bildschirm, welcher zur Anregung durch ein Elektronenbombardement bestimmte Leuchtstoffelemente (4R, 4G, 4B; 4'R, 4'G, 4'B) aufweist, die auf wenigstens einer Vorspannelektrode abgeschieden sind, dadurch gekennzeichnet daß die genannte Vorspannelektrode wenigstens an den Stellen der Leuchtstoffelemente eine Schichtung aus einer Widerstandsschicht (8, 8', 8''), auf welcher eine Leiterschicht (5B, 5R, 5G) zur Vorspannung der Leuchtstoffelemente abgeschieden ist, aufweist.
  2. Anode nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Leuchtstoffelemente (4B, 4R, 4G) direkt auf der Widerstandsschicht (8) abgeschieden sind.
  3. Anode nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Leuchtstoffelemente (4'B, 4'G, 4'R) auf einer reflektierenden Leiterschicht (10) abgeschieden sind, die ihrerseits auf der Widerstandsschicht (8', 8'') abgeschieden ist.
  4. Anode nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die genannte reflektierende Schicht (10) gemäß Elementarmotiven bzw. Mustern geringer Abmessung in der Oberfläche der Anode abgeschieden sind.
  5. Anode nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Leuchtstoffelemente (4'B, 4'R, 4'G) gemäß dem Abscheidungs-Elementarmotiv bzw. -muster der reflektierenden Schicht (10) abgeschieden sind.
  6. Anode nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Widerstandsschicht (8, 8' 8'') ganzflächig abgeschieden ist.
  7. Anode nach einem der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Widerstandsschicht (8'') dasselbe Motiv bzw. Muster wie die reflektierende Schicht (10) besitzt.
  8. Anode nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Widerstandsschicht (8) wenigstens in der aktiven Zone des Bildschirms dasselbe Motiv bzw. Muster wie die leitende Vorspannschicht (5) besitzt.
  9. Anode nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die genannte Leiterschicht ein Motiv bzw. eine Musterung abwechselnder Streifen (5R, 5G, 5B), die miteinander in wenigstens zwei Gruppen bzw: Ensembles verbunden sind, aufweist.
  10. Flach-ebener Anzeige- bzw. Wiedergabe-Bildschirm, der eine Kathode (1) zum Elektronenbombardement seitens einer Kathodolumineszenz-Anode (2) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 9 besitzt.
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