DE60016703T2 - Verfahren zur Herstellung von Kühlkörper - Google Patents

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Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Kühlkörpern nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
  • Kühlkörper werden im allgemeinen seit einigen Jahren als Vorrichtungen eingesetzt, um die Wärme, die von Wärme erzeugenden elektronischen Komponenten wie Halbleitern, welche in elektronischen Vorrichtungen eingebaut sind, freigesetzt wird, in die Umgebung außerhalb der Vorrichtung abzugeben.
  • Solche bereits bekannten Kühlkörper umfassen eine Grundplatte und eine Vielzahl von Rippen, die an mindestens einer Oberfläche der Grundplatte ausgebildet werden, indem sie in eine aufgerichtete Form geschnitten werden (siehe JP-A-62203630). Um den Kühlkörper aus einem Rohling herzustellen, welcher einen Grundplattenbereich und einen Rippen-Ausbildungsbereich umfaßt, um an mindestens einer Seite des Grundplattenbereichs geschnitten und ausgebildet zu werden, wird der Rippen-Ausbildungsbereich des Rohlings in eine aufgerichtete Form geschnitten, um Rippen auszubilden. Bolzenbohrungen oder Gewindebohrungen werden ebenfalls in dem Grundplattenbereich ausgebildet, um sie zur Befestigung des Kühlkörpers an einer elektronischen Vorrichtung oder ähnlichem zu nutzen.
  • Das mit diesem vorhergehenden Verfahren verbundene Problem besteht darin, daß es schwierig ist, den Schneidvorgang derart durchzuführen, daß die Rippen eine einheitliche Höhe aufweisen.
  • Entsprechend ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren zur Herstellung eines Kühlkörpers der oben genannten Art bereitzustellen, in welchem die Wahrscheinlichkeit, daß Unterschiede bezüglich der Höhe der sich ergebenden Rippen auftreten, vermindert ist.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung wird dieser Aufgabe durch die charakterisierenden Merkmale des Anspruchs 1 gelöst.
  • Die 4 zeigt das Verhältnis der Härte (Vickershärte) des Kühlkörperrohlings zu der Bearbeitbarkeit des Rohlings (Leichtigkeit des Schneidens des Rippen-Ausbildungsbereichs) und zu den Eigenschaften der erzeugten Grate. Die 4 zeigt die Bearbeitbarkeit durch eine Strichlinie (A), die Eigenschaften der Grate durch die Strichpunktlinie (B) und die Summe der zwei Positionen durch eine durchgezogene Linie (A) + (B) an. Die 4 offenbart, daß beides, die Bearbeitbarkeit und die Eigenschaften der erzeugten Grate, sich in einem geeigneten Bereich befinden, wenn die Härte Hv des Kühlkörperrohlings im Bereich von 40 bis 65 liegt. Bei dem Kühlkörper der vorliegenden Erfindung kann der Rohling einfach geschnitten werden, um die aufgerichteten Rippen auszubilden, und gebohrt werden, ohne Grate mit solchen Eigenschaften herzustellen, daß sie Nacharbeiten benötigen oder schwierig zu entfernen sind, wobei eine Erhöhung der Herstellungskosten verhindert werden kann.
  • Das zur Herstellung des erfindungsgemäßen Kühlkörpers eingesetzte Extrudat weist vorzugsweise eine Aluminiumlegierungszusammensetzung mit 0,2 bis 0,6 Gew.-% Si, 0,45 bis 0,9 Gew.-% Mg und als Rest Al und unvermeidbare Verunreinigungen auf.
  • Wenn der Si-Gehalt weniger als 0,2 Gew.-% und der Mg-Gehalt weniger als 0,45 Gew.-% beträgt, weist das Extrudat als Material eine unzureichende Festigkeit auf, wobei ein Si-Gehalt über 0,6 Gew.-% bei einem Mg-Gehalt oberhalb von 0,9 Gew.-% zu einer verringerten Produktivität aufgrund einer gesteigerten Last, die bei der Extrusion damit einhergeht, führt. Bei einer Menge von mehr als 0,9 Gew.-% bildet Mg ferner eine feste Lösung in Aluminium, was zu einer Verzerrung der Gitterstruktur des Aluminium führt und den freien Elektronenfluß hemmt, was zu einer geringeren thermischen Leitfähigkeit führt.
  • GENAUE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • 1 ist eine perspektivische Darstellung eines erfindungsgemäßen Kühlkörpers;
  • 2 zeigt einen Schritt, welcher in dem Verfahren zur Herstellung des erfindungsgemäßen Kühlkörpers enthalten ist, und ist eine perspektivische Darstellung, welche den einzusetzenden Kühlkörperrohling zeigt;
  • 3 ist eine Seitenansicht, die einen anderen Schritt zeigt, der in dem Verfahren zur Herstellung enthalten ist, d.h. den Schritt des Schneidens eines Rippen-Ausbildungsbereichs des Kühlkörperrohrlings in eine aufgerichtete Form; und
  • 4 ist ein Diagramm, welches das Verhältnis der Härte des Kühlkörperrohlings zu der Bearbeitbarkeit des Rohlings und zu den Eigenschaften der erzeugten Grate zeigt.
  • BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • Die 1 bis 3 zeigen ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.
  • Mit Bezugnahme auf die 1, welche einen erfindungsgemäßen Kühlkörper zeigt, umfaßt der Kühlkörper 1 eine Grundplatte 2 und eine Vielzahl von parallelen Rippen 3, welche auf der Oberfläche der Grundplatte 2 außer in dessen Randbereich ausgebildet sind. Jede Rippe 3 ist in der Form einer Kreisbogenplatte, welche seitlich der Grund platte 2 verlängert ist und sich im Querschnitt leicht nach hinten ausbaucht. Die Rippe 3 hat zwei Schlitze 31, die sich vertikal von ihrem oberen Rand erstrecken, als wenn sie die Rippe in drei seitlich von der Grundplatte 2 angeordneten Bereiche aufteilen würde. Eine Bolzenbohrung 4 ist in jedem der vier Eckbereiche der Grundplatte 2 ausgebildet, um einen Bolzen dadurch einzusetzen, um den Kühlkörper 1 an einer elektronischen Komponente anzubringen.
  • Als nächstes wird ein Verfahren zur Herstellung des Kühlkörpers 1 mit Bezugnahme auf die 2 und 3 beschrieben.
  • Zunächst wird ein Kühlkörperrohling 11 wie in der 2 gezeigt vorbereitet. Der Rohling 11 umfaßt einen Grundplattenbereich 12 und einen Rippen-Ausbildungsbereich 13, welcher geschnitten werden soll und an der Oberseite des Grundplattenbereichs 12 vorgesehen ist. Der Rippen-Ausbildungsbereich 13 hat eine leicht kleinere Breite als der Grundplattenbereich 12 und zwei Nuten 131, die mit einer vorher festgelegten Distanz voneinander beabstandet sind und sich in Längsrichtung des Grundplattenbereichs 12 erstrecken. Diese Nuten 131 dienen dazu, die Schlitze 31 in den zu erhaltenden Rippen 3 auszubilden. Die Nuten 131 dienen ferner dazu, darin das Schneidöl zu halten, welches zugeführt wird, wenn der Rippen-Ausbildungsbereich 13 in eine aufgerichtete Form geschnitten wird, wie unten beschrieben werden wird, wobei der Bereich 13 sanft geschnitten werden kann. Der Kühlkörperrohling 11 ist aus einem Aluminiumlegierungsextrudat mit einer Vickershärte von 50 hergestellt und umfaßt 0,6 Gew.-% Si, 0,5 Gew.-% Mg und als Rest Al und unvermeidbare Verunreinigungen. Die Härte wurde eingestellt, indem das Extrudat (bei 230°C für fünf Stunden) nach der Extrusion gealtert wurde. Der in der 2 gezeigte Pfeil A zeigt die Richtung der Extrusion an.
  • Der Rippen-Ausbildungsbereich 13 des Rohlings 11 wird dann in eine aufgerichtete Form geschnitten, indem ein Schneidwerkzeug 5 oder ähnliches wie in der 3 gezeigt eingesetzt wird, wobei die Rippen 3 ausgebildet werden. Der Bereich 13 wird in die gleiche Richtung B wie die Extrusionsrichtung A geschnitten. Die Rippen 3 können durch diesen Schritt sehr sanft mit hoher Genauigkeit ausgebildet werden, weil der Kühlkörperrohling 11 aus einem Aluminiumlegierungsextrudat mit der vorher benannten Härte und Zusammensetzung hergestellt ist und auch weil der Rippen-Ausbildungsbereich 13 in Richtung der gleichen Richtung B wie die Extrusionsrichtung A geschnitten wird.
  • Schließlich wird der Grundplattenbereich 12 des Rohlings 11 an seinen vier Eckbereichen durch eine Bohr- oder Preßmaschine gebohrt, um die Bolzenlöcher 4 (siehe 1) auszubilden. Die Innenumfänge des Grundplattenbereichs 12, welche die so ausgebildeten Bolzenlöcher 4 definieren, sind frei von Graten, die solche Eigenschaften aufweisen, daß sie Entgratungsarbeiten benötigen oder schwierig zu entfernen sind, da das Aluminiumlegierungs extrudat welches den Rohling 11 ausstattet, an die vorher genannte Härte angepaßt wurde.

Claims (2)

  1. Ein Verfahren zur Herstellung eines Kühlkörpers (1) mit einer Grundplatte (2) und einer Vielzahl von parallelen Rippen (3) aus einem Kühlkörperrohling (11), welcher einen Grundplattenbereich (12) und einen Rippen-Ausbildungsbereich (13), der an mindestens einer Seite des Grundlattenbereichs (12) vorgesehen ist, umfaßt, wobei der Kühlkörperrohling (11) aus einem Aluminiummaterial hergestellt ist und der Rippen-Ausbildungsbereich (13) in eine aufgerichtete Form geschnitten wird, um die Rippen (3) auszubilden, dadurch gekennzeichnet, daß der Kühlkörperrohling (11) aus einem Aluminium- oder einem Aluminiumlegierungsextrudat mit einer Vickershärte (HV) zwischen 40 und 65 hergestellt ist, und der Rippen-Ausbildungsbereich (13) des Extrudats in gleicher Richtung geschnitten ist wie die Extrusionsrichtung (A) des Extrudats, um die Rippen (3) auszubilden.
  2. Das Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Extrudat eine Aluminiumlegierungszusammensetzung aufweist, die 0,2 bis 0,6 Gew.% Si, 0,45 bis 0,9 Gew.% Mg und als Rest Al und unvermeidbare Verunreinigungen umfaßt.
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Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
MY126022A (en) * 2001-06-15 2006-09-29 Wong Chee Tieng Heat sink
JP2003163315A (ja) * 2001-11-29 2003-06-06 Denki Kagaku Kogyo Kk モジュール
US6650215B1 (en) * 2002-06-17 2003-11-18 The Bergquist Company Finned heat sinks
CN100425110C (zh) * 2003-02-10 2008-10-08 聚亨企业股份有限公司 刨削式鳍片散热器的加工方法及其刀具
US20040200608A1 (en) * 2003-04-11 2004-10-14 Baldassarre Gregg J. Plate fins with vanes for redirecting airflow
JP4793838B2 (ja) * 2004-01-28 2011-10-12 中村製作所株式会社 放熱器の製造方法
TW200536463A (en) * 2004-04-20 2005-11-01 Via Tech Inc A dissipating device and manufacturing method thereof
JP4857017B2 (ja) * 2006-04-27 2012-01-18 日立オートモティブシステムズ株式会社 電力変換装置
JP5118389B2 (ja) * 2007-05-26 2013-01-16 中村製作所株式会社 ワークへの凹所形成方法
JP4888721B2 (ja) 2007-07-24 2012-02-29 中村製作所株式会社 板状のフィンを有する放熱器の製造方法
KR101424136B1 (ko) * 2007-09-06 2014-08-04 삼성전자주식회사 발열핀을 갖는 전자부품용 열교환장치
CN102357786B (zh) * 2011-09-15 2013-03-27 天津锐新昌轻合金股份有限公司 模块散热器制造工艺的补偿方法
US9238284B2 (en) 2011-12-20 2016-01-19 Unison Industries, Llc Methods for forming a heat exchanger and portions thereof
US8938880B2 (en) * 2012-02-20 2015-01-27 Wolverine Tube, Inc. Method of manufacturing an integrated cold plate for electronics
CN102861950A (zh) * 2012-09-21 2013-01-09 惠州智科实业有限公司 一种散热器剖切加工设备
TWI566865B (zh) * 2014-01-10 2017-01-21 技嘉科技股份有限公司 散熱器及其製造方法
CN103781336B (zh) * 2014-01-10 2017-04-12 技嘉科技股份有限公司 散热器及其制造方法
KR101576959B1 (ko) * 2014-04-29 2015-12-11 송수동 Led 조명드용 히트싱크의 제조방법
JP6649889B2 (ja) 2014-07-30 2020-02-19 株式会社Uacj アルミニウム合金ブレージングシート
CN107923607B (zh) 2015-08-04 2020-05-15 飞利浦照明控股有限公司 散热器、照明设备和用于制造散热器的方法
JP6186455B2 (ja) * 2016-01-14 2017-08-23 株式会社Uacj 熱交換器及びその製造方法
JP6758647B2 (ja) * 2017-01-17 2020-09-23 中村製作所株式会社 放熱フィン形成装置
JP6916715B2 (ja) 2017-11-08 2021-08-11 株式会社Uacj ブレージングシート及びその製造方法
CN108705128A (zh) * 2018-06-20 2018-10-26 江苏英杰电子器件有限公司 用于机箱散热器加工设备的切断机构
JP7291714B2 (ja) 2018-09-11 2023-06-15 株式会社Uacj ブレージングシートの製造方法
KR102228431B1 (ko) * 2019-04-16 2021-03-16 부경대학교 산학협력단 알루미늄계 클래드 방열판의 제조방법 및 이에 의해 제조된 알루미늄계 클래드 방열판
JP7343166B2 (ja) * 2019-11-13 2023-09-12 ナカムラマジック株式会社 ヒートシンクの製造方法及びヒートシンク

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US385283A (en) * 1888-06-26 Convertible drain-cleaner
US3722073A (en) * 1971-10-01 1973-03-27 Int Nickel Co Production of products directly from nickel cathodes
FR2185946A5 (de) * 1972-05-23 1974-01-04 Chausson Usines Sa
JPS5461015A (en) * 1977-10-25 1979-05-17 Kobe Steel Ltd Manufacture of aluminum-soldered fin heat exchanger
US4369838A (en) * 1980-05-27 1983-01-25 Aluminum Kabushiki Kaisha Showa Device for releasing heat
DE3518310A1 (de) * 1985-05-22 1986-11-27 Aluminium-Walzwerke Singen Gmbh, 7700 Singen Kuehlkoerper fuer halbleiterbauelemente und verfahren zu seiner herstellung
JPS62203630A (ja) * 1986-02-28 1987-09-08 Showa Alum Corp 放熱器の製造方法
EP0491088A1 (de) * 1990-12-17 1992-06-24 Hirose Manufacturing Company Limited Umlaufender Greifer für Nähmaschine
US5260142A (en) * 1990-12-28 1993-11-09 Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha Corrosion-resistant clad material made of aluminum alloys
DE4200489C2 (de) * 1991-01-19 1995-09-28 Hitachi Metals Ltd Zweiteiliger Ölring und Verfahren zu dessen Herstellung
JPH06232300A (ja) * 1993-02-03 1994-08-19 Showa Alum Corp 放熱器
WO1996003748A1 (en) * 1994-07-27 1996-02-08 Minnesota Mining And Manufacturing Company Tape cartridge base plate comprising a novel aluminum alloy
DE29602367U1 (de) * 1995-03-24 1996-05-15 Alusuisse-Lonza Services AG, Neuhausen am Rheinfall Kühlkörper für Halbleiterbauelemente o.dgl.

Also Published As

Publication number Publication date
CN1181539C (zh) 2004-12-22
CA2325799A1 (en) 2001-05-26
CN1298205A (zh) 2001-06-06
EP1104015A3 (de) 2002-06-12
US6341651B1 (en) 2002-01-29
KR100729584B1 (ko) 2007-06-19
EP1104015B1 (de) 2004-12-15
DE60016703D1 (de) 2005-01-20
JP2001156224A (ja) 2001-06-08
JP4355412B2 (ja) 2009-11-04
TW473963B (en) 2002-01-21
ATE285120T1 (de) 2005-01-15
EP1104015A2 (de) 2001-05-30
CA2325799C (en) 2011-09-20
KR20010070226A (ko) 2001-07-25

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