DE4407421C2 - Verfahren zum Verbessern des Oxidationswiderstandes von kohlenstoffhaltigen Materialien - Google Patents
Verfahren zum Verbessern des Oxidationswiderstandes von kohlenstoffhaltigen MaterialienInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Verbessern
des Oxidationswiderstandes von kohlenstoffhaltigen
Materialien. Dieses Verfahren ist dadurch gekenn
zeichnet, daß eine SiC/C-Schicht, in welcher das für
den Oxidationswiderstand verantwortliche SiC einen
Dichtegradienten in dem Bereich von der Oberfläche
des kohlenstoffhaltigen Materials nach innen aufweist
und bei dem ein Absplittern bei Einwirkung von ther
mischen Zyklen, thermischem Schock und dergleichen
weniger wahrscheinlich ist, durch Kombination der
chemischen Reaktion zwischen gasförmigem Siliziummon
oxid (SiO) und dem kohlenstoffhaltigen Material mit
einer SiC-Oberflächenbeschichtung durch ein übliches
Filmniederschlagungsverfahren gebildet wird.
Wegen ihrer ausgezeichneten Kern- und Hochtemperatur
eigenschaften werden kohlenstoffhaltige Materialien
in einem weiten Anwendungsbereich einschließlich der
Nuklearindustrie genutzt. Jedoch wurde die Verwendung
von kohlenstoffhaltigen Materialien bei erhöhten Tem
peraturen in einer oxidierenden Atmosphäre beschränkt
aufgrund ihrer geringen Oxidationswiderstandfähigkeit
unter solchen Bedinungen. Um den Oxidationswiderstand
von kohlenstoffhaltigen Materialien zu verbessern,
kann man allgemein daran denken, ihre Oberflächen mit
Siliziumkarbid und anderen oxidationsresistenten Ma
terialien zu bedecken; wenn jedoch thermische Zyklen
oder thermischer Schock einwirken, treten Spannungen
in der Grenzfläche zwischen der Deckschicht und dem
Substrat auf, die schließlich zu einem Absplittern
der Deckschicht führen können.
Auch wurden verschiedene Arten von keramischen Be
schichtungen durch PVD- oder CVD-Verfahren aufge
bracht, um einen verbesserten Oxidationswiderstand zu
erhalten. Wenn diese keramischen Beschichtungen auf
kohlenstoffhaltigen Materialien gebildet werden, müs
sen die thermischen Ausdehnungskoeffizienten der
Deckschicht und der kohlenstoffhaltigen Substratmate
rialien berücksichtigt werden, um das Absplittern der
Deckschicht beim Auftreten von thermischen Zyklen
oder thermischem Schock zu vermeiden. Um als Beispiel
ein kommerzielles, mit SiC beschichtetes Graphitmate
rial zu nehmen, wird das Substratgraphit so ausge
wählt, daß es einen thermischen Expansionskoeffizien
ten hat, der dem des SiC nahe ist.
Wenn ein kohlenstoffhaltiges Material nach dem be
kannten Verfahren beschichtet wird, entwickelt sich
eine scharfe Grenzfläche zwischen der Deckschicht und
dem Substrat; wenn die zwei Bestandteile unterschied
liche thermische Ausdehnungskoeffizienten haben,
schaffen thermische Zyklen, insbesondere abrupte, die
während eines wiederholten Ansteigens und Fallens der
Temperatur auftreten, thermische Spannungen an der
Grenzfläche, die die Möglichkeit der Trennung der
Deckschicht vom Substrat erhöhen.
Die DE 27 39 258 A1 offenbart ein Verfahren zum Auf
bringen einer Schutzschicht auf Kohlenstofformkörper
das sich dadurch auszeichnet, daß der Kohlenstofform
körper aufgeheizt und auf seiner Oberfläche mit einem
CVD-Verfahren ein Reaktionsprodukt aus Silizium und
Kohlenstoff abgeschieden wird. Anschließend wird auf
diese Schicht wiederum mit einem CVD-Verfahren ein
Reaktionsprodukt aus einer gasförmigen organischen
Siliziumverbindung und Ammoniak aufgebracht.
Die DE 26 48 053 A1 offenbart ein Verfahren zum
gleichmäßigen Beschichten von keramischem Material
mit Silizium, bei dem ein Keramiksubstrat mit einem
thermischen Ausdehnungskoeffizienten verwendet wird,
das demjenigen von Silizium entspricht. Die Oberflä
che des keramischen Substates wird carbonisiert und
anschließend diese carbonisierte Oberflächenschicht
mit geschmolzenem Silizium kontaktiert, um eine Sili
ziumschicht auf der carbonisierten Oberfläche abzu
scheiden.
Die vorliegende Erfindung wurde gemacht, um die oben
genannten Probleme des Standes der Technik zu lösen.
Zu diesem Zweck wurde ein Funktionsgradientenmaterial
(FGM) festgestellt, das keine scharfe Grenzfläche
aufweist oder das weniger zu einer Spannungsentwick
lung neigt, und es wurde als erforderlich angesehen,
ein Funktionsgradientenmaterial auf Siliziumkarbid
und Kohlenstoff (SiC/C)-Basis zu schaffen, nämlich
ein oxidationswiderstandsfähiges kohlenstoffhaltiges
Material mit hoher Wirkung.
Die vorliegende Erfindung, die unter diesen Umständen
gemacht wurde, schafft ein Verfahren, bei welchem die
Dichte von SiC in einem kohlenstoffhaltigen Material
von der Oberfläche nach innen reduziert wird, um ein
Gradientenprofil zu schaffen, das durch eine allmäh
liche Änderung des SiC/C-Verhältnisses gekennzeichnet
ist, so daß sich keine scharfe Grenzfläche zwischen
der SiC-Schicht und dem kohlenstoffhaltigen Material
des Substrats entwickelt, wodurch die Möglichkeit der
Spannungskonzentration im beschichteten kohlenstoff
haltigen Material verringert wird.
Der Teil des kohlenstoffhaltigen Materials, der ein
Gradientenprofil des Verhältnisses von SiC/C auf
weist, ist so porös wie der Substratteil und behält
noch einen großen reaktiven Oberflächenbereich bei,
wodurch sich ein begrenzender Faktor für den Grad, um
welchen der Oxidationswiderstand des kohlenstoffhaltigen
Materials verbessert werden kann, ergibt. Um
dieses Problem zu lösen, verwendet die vorliegende
Erfindung ein PVD- oder CVD-Verfahren, um eine SiC-
Schicht zu bilden, die auf die Oberfläche des kohlen
stoffhaltigen Materials aufgebracht ist, das bereits
das Gradientenprofil des Verhältnisses von SiC und C
aufweist.
Das so vorbereitete kohlenstoffhaltige Material nach
der vorliegenden Erfindung, bei dem das Gradienten
profil der SiC/C-Schicht mit einer SiC-Beschichtung
nach einem PVD- oder CVD-Verfahren kombiniert wird,
hat die Möglichkeit, einen zufriedenstellenden Oxida
tionswiderstand in einer gleichmäßigen Weise darzu
stellen, selbst wenn es thermischen Zyklen oder einem
thermischen Schock ausgesetzt ist; diese Wirkung ist
gewährleistet unabhängig von dem thermischen Ausdeh
nungskoeffizienten des kohlenstoffhaltigen Substrat
materials.
Fig. 1 vergleicht zwei Diagramme, von denen das eine
die Dichteverteilung von SiC in einem Graphitmaterial
mit einer Schicht, in der das Verhältnis von SiC/C
ein Gradientenprofil nach dem erfindungsgemäßen Ver
fahren erhalten hat, und das andere die Dichtevertei
lung von SiC in einem Graphitmaterial, das nur mit
einer SiC-Schicht nach einem üblichen Filmnieder
schlagungsverfahren beschichtet wurde, zeigen.
Fig. 2 gibt ein Diagramm wieder, das zwei Gewichts
verlustkurven zeigt, die durch isothermisches Erwär
men nach einem Wärmezyklustest erhalten wurden, wobei
sich die eine Kurve auf ein Graphitmaterial mit einer
Schicht, in der das Verhältnis von SiC/C ein Gradien
tenprofil nach dem erfindungsgemäßen Verfahren erhalten
hat, und die andere Kurve auf ein Graphitmateri
al. das nur mit einer SiC-Schicht nach einem üblichen
Filmniederschlagungsverfahren beschichtet wurde, be
ziehen.
Das bevorzugte Ausführungsbeispiel der vorliegenden
Erfindung wird nachfolgend mit Bezug auf die Zeich
nungen beschrieben. Fig. 1 zeigt, wie das SiC ver
teilt war und wie sich die Konzentration von SiC be
griffsmäßig in den Querschnitten von zwei Graphitma
terialproben verändert hat, von denen die eine ein
Graphit mit SiC-Gradientenprofil ist, das das Gra
dientenprofil des SiC/C-Verhältnisses gemäß der vor
liegenden Erfindung erhalten hat, und die andere ein
mit SiC beschichtetes Grafit darstellt, dem nur eine
SiC-Beschichtung durch ein übliches Filmniederschla
gungsverfahren gegeben wurde.
Die Bildung des Graphits mit SiC-Gradientenprofil
umfaßt zwei Stufen. In der ersten Stufe wird ein SiO-
Pulver durch Erhitzen in einer inerten Atmosphäre bei
etwa 1300°C verdampft und dann wird die folgende
Reaktion zwischen dem verdampften SiO und Kohlenstoff
bei 1300-1400°C nicht nur auf der Oberfläche der
SiO-Teilchen, sondern auch in den kleinen Poren in
den Teilchen durchgeführt, wodurch sich SiC auf der
Oberfläche und im Inneren des kohlenstoffhaltigen
Materials bildet:
SiO (gasförmig) + 2C (fest) =
SiC (fest) + CO (gasförmig) (1).
Die Reaktion (1) ergibt das kohlenstoffhaltige Mate
rial mit einem Gradientenprofil des Verhältnisses
von SiC/C, bei dem die Konzentration des SiC von der
Oberfläche nach innen abnimmt.
In der zweiten Stufe des Verfahrens nach der vorlie
genden Erfindung wird die Oberfläche des kohlenstoff
haltigen Materials weiterhin mit einem SiC-Film be
schichtet, der durch ein CVD- oder PVD-Verfahren ge
bildet wird. Als Ergebnis wird das vollständige koh
lenstoffhaltige Material erzeugt, das das gewünschte
Gradientenprofil des Verhältnisses von SiC/C auf
weist.
Fig. 1 zeigt, wie das SiC verteilt ist und wie sich
die Konzentration von SiC begriffsmäßig im Quer
schnitt des Graphits mit dem SiC-Gradientenprofil,
das nach der vorliegenden Erfindung vorbereitet wur
de, und des mit SiC beschichteten Graphits verändert.
Es ist offensichtlich, daß die scharfe Grenzfläche
zwischen der SiC-Schicht und dem Substratgraphit, die
bei dem mit SiC beschichteten Graphit zu finden ist,
bei dem Graphit mit dem SiC-Gradientenprofil nach der
vorliegenden Erfindung nicht vorhanden ist.
Um das Widerstandsvermögen des Graphits mit dem SiC-
Gradientenprofil und des mit SiC beschichteten Gra
phits bei einem thermischen Zyklustest zu prüfen (be
stehend aus einer Temperaturerhöhung bis zu 1000°C
in atmosphärischer Luft mit einer Geschwindigkeit von
20°C/s und dem Halten bei 1000°C für 5 Minuten,
gefolgt von einem Eintauchen in reines Wasser bei
etwa 20°C), wurden die Proben einer isothermischen
Erwärmung in atmosphärischer Luft bei 800°C für eine
Stunde folgend jedem thermischen Zyklus unterzogen.
Der sich ergebende Gewichtsverlust ist in Fig. 2 als
eine Funktion sowohl von der Anzahl der thermischen
Zyklen als auch der Gesamterwärmungszeit dargestellt.
Wenn die Deckschicht bei der Einwirkung von thermi
schen Zyklen springt oder absplittert, wird das Sub
stratgraphit oxidiert und erfährt hierdurch einen
scharfen Gewichtsverlust. Wie aus Fig. 2 ersichtlich
ist, war das Graphit mit dem SiC-Gradientenprofil
viel stabiler als das mit SiC beschichtete Graphit.
Das nach dem erfindungsgemäßen Verfahren vorbereitete
Graphit mit dem SiC-Gradientenprofil zeigt nicht nur
einen hohen Oxidationswiderstand in stark erwärmter
atmosphärischer Luft; die SiC-Schicht bleibt auch
wesentlich stabiler als das herkömmliche mit SiC be
schichtete Graphit unter aggressiven Wärmezyklusbe
dingungen (siehe Fig. 2).
Claims (1)
1. Verfahren zum Verbessern des Oxidationswider
standes von kohlenstoffhaltigen Materialien
wobei
in einem ersten Schritt SiO-Pulver verdampft wird,
das verdampfte SiO mit dem kohlenstoffhaltigen Material nicht nur an der Oberfläche des Materi als sondern auch in dessen Inneren durch Diffu sion in Poren zur Reaktion gebracht wird,
wodurch sich
ein Gradientenprofil des Verhältnisses von SiC/C ausbildet, bei dem die Konzentration von SiC von der Oberfläche des Materials in Richtung zu dessen Innerem abnimmt, und
in einem zweiten Schritt die Oberfläche des Materials durch ein CVD- oder PVD-Verfahren mit einer SiC-Schicht beschichtet wird.
in einem ersten Schritt SiO-Pulver verdampft wird,
das verdampfte SiO mit dem kohlenstoffhaltigen Material nicht nur an der Oberfläche des Materi als sondern auch in dessen Inneren durch Diffu sion in Poren zur Reaktion gebracht wird,
wodurch sich
ein Gradientenprofil des Verhältnisses von SiC/C ausbildet, bei dem die Konzentration von SiC von der Oberfläche des Materials in Richtung zu dessen Innerem abnimmt, und
in einem zweiten Schritt die Oberfläche des Materials durch ein CVD- oder PVD-Verfahren mit einer SiC-Schicht beschichtet wird.
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