DE4338539A1 - Verfahren zum Herstellen von keramischen Heizelementen - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines elektrischen Heizelementes, bei dem metallische Heizleiter zwischen keramischen Isolierschichten eingebettet sind, wobei als Stromzuführungen und als Stromableitungen Kontaktierungsausnehmungen in den keramischen Isolierschichten mit elektrisch leitfähiger Masse gefüllt sind.

Otsuka et al. beschreiben in CERAMIC BULLETIN 60, S. 540 ff (1981), daß Bauteile aus keramischen Werkstoffen, die hauptsächlich Aluminiumoxid oder Aluminiumnitrid enthalten, mit hochschmelzenden Metallen wie Wolfram oder Molybdän metallisiert werden können, daß diese Metallisierung dann durch eine weitere Schicht aus grüner Keramik abgedeckt und der Verbund danach zur Werkstoffbildung gesintert werden kann. Besonders eignet sich hierzu die Folientechnik.

So hergestellte Bauteile können vor allem im Bereich der Elektronik und Elektrotechnik Anwendung finden. Dickwandige und große Heizelemente sind in verschiedenen Ausführungsformen bekannt. Bei der zunehmenden Miniaturisierung in der Elektronik und Elektrotechnik treten jedoch herstellungstechnische und anwendungstechnische Probleme auf.

Bei hohen Heizleistungen müssen die verwendeten Werkstoffe hochtemperaturbeständig sein, ohne daß die Heizelemente durch Überlastung zerstört werden (Durchbrennen).

So ist eine Anwendung als Heizelement möglich, bei der durch Einwirkung eines elektrischen Stromes große Wärmemengen bevorzugt an solchen Stellen im Metallisierungsmuster erzeugt werden, die einen hohen Widerstand aufweisen. Dabei können im Hochtemperatur-Heizbereich so hohe Temperaturen erzeugt werden, daß es bei Verwendung von glasphasenhaltigen Keramikwerkstoffen (Glasgehalt < 5 Gew.- %) zu einem Fließen der Glasphase in der Keramik kommt. Wenn dabei der Abstand einer metallischen Heiz-Leiterbahn zur Außenfläche der Keramik im Multilayer sehr klein ist, insbesondere weniger als 0,4 mm, kann Luft durch die an Glasphase verarmten Zonen, das sind die Zonen mit besonders hoher Temperatur, bis an den aus Wolfram oder Molybdän bestehenden metallischen Leiter vordringen und diesen Stromleiter oxidativ zerstören. Aus diesem Grund ist es vorteilhaft, eine Keramik mit geringem Anteil an Glasphase zu verwenden.

Ebenfalls von Otsuka et al. ist bekannt, daß Metallisierungspasten ohne Anteile an Glas oder Glasbildnern nur wenig Haftfestigkeit auf solchen glasphasearmen Keramikwerkstoffen besitzen. Durch Zumengung von Glas kann bekanntermaßen die Haftfestigkeit stark erhöht werden, jedoch besitzen solche Pasten einen hohen elektrischen Widerstand, was besonders bei sehr feinen Strukturen unvorteilhaft ist.

Der vorliegenden Erfindung lag die Aufgabe zugrunde, ein Herstellverfahren für dünnwandige keramische Heizelemente anzugeben, bei dem der Aufbau mit keramischen Folien und mit einer hochtemperaturbeständigen Metallisierung zunächst vorgebildet wird und bei dem dann durch Sintern des Mehrschichtenaufbaus ein miniaturisiertes Hochleistungsheizelement mit dauerhafter Langzeitbeständigkeit geschaffen werden kann.

Gelöst wird diese Aufgabe durch ein Verfahren der eingangs genannten Gattung, dessen Kennzeichenmerkmal darin zu sehen ist, daß die Heizleiter, die Stromzuführungen und die Stromableitungen als Metallisierungspaste enthaltend 60 bis 95 Gew.- % Metallpartikel und 5 bis 40 Gew.- % anorganisches Pulver, bezogen auf den gesamten Feststoffgehalt der Paste, auf die keramischen Schichten im Grünzustand aufgetragen werden, daß dann die keramischen Schichten mit den aufgetragenen Metallisierungspasten übereinandergestapelt werden und daß dann gesintert wird.

In bevorzugter Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird die hochtemperaturbeständige Metallisierungspaste in Dickschichttechnik aufgetragen. Dabei werden nach dem Siebdruckverfahren Schichten mit Schichtdicken von bis zu 100 µm erreicht. Die keramischen Isolierschichten mit den aufgetragenen Metallisierungspasten werden vorzugsweise dann zunächst getrocknet. Die Trocknungsbedingungen richten sich nach dem verwendeten Siebdrucköl, wobei allgemein über einen Zeitraum von 5 bis 30 min bei Temperaturen im Bereich von 40 bis 150°C getrocknet wird.

Vorzugsweise wird erfindungsgemäß eine Metallisierungspaste verwendet, die mindestens 70 Gew.- % Metallpulver, bestehend aus Wolfram oder Molybdän oder Mischungen daraus, und höchstens 35 Gew.- % eines nicht glasphasenbildenden Keramikpulvers oder Pulvergemisches enthaltend Aluminiumoxid, Aluminiumnitrid, Titannitrid, Titancarbid oder Wolframcarbid und zusätzlich 5 bis 35 Gew.- % eines organischen Anpastungsmediums enthält. Als organische Anpastungsmedien sind insbesondere Öle wie Mineralöl, pflanzliche Öle oder synthetische Öle wie Siebdrucköl oder Recyclingöl geeignet, es können aber auch Fette, Wachse, Stellmittel wie Thixotropierungsmittel, Kolophonium oder Lecithin zu Erzielung besserer Füllgrade, Bentonite zur Verbesserung der Festigkeit der ungebrannten Paste und/oder organische Lösemittel eingesetzt werden.

Zur Herstellung des Heizelements werden gemäß der Erfindung in ungebrannte keramische Folien zur Ermöglichung eines Stromtransportes senkrecht zur Folienoberfläche Kontaktierungsausnehmungen, im Rahmen der vorliegenden Erfindung auch "Vias" genannt, gestanzt oder gebohrt.

Die Metallisierungspaste wird mit Hilfe eines Druckverfahrens wie Siebdruck, Rollensiebdruck, Offset-Druck oder Tampondruck auf noch ungebrannte keramische Folien übertragen, wobei auf der Folienoberfläche das gewünschte Muster erzeugt wird. Die vollständig gefüllten Vias weisen einen Durchmesser von 0,1 bis 0,5 mm auf, vorzugsweise von 0,3 mm. Die Schichtdicke der Metallisierung für die Leiterbahnen kann zwischen 5 und 100 µm betragen, vorzugsweise zwischen 10 und 15 µm. Die Breite der Leiterbahn sollte mindestens 0,25 mm betragen, um ein Durchbrennen sicher zu vermeiden, vorzugsweise etwa 0,5 mm.

Für die Verarbeitung der Paste empfiehlt es sich, die Paste zum Füllen der Vias mit einer Viskosität von 150 bis 500 Pa·s anzuwenden, für den flächigen Metallisierungsdruck hingegen ist er vorteilhaft, die Paste durch entsprechende Addition weiterer geringer Mengen an Siebdrucköl auf eine Viskosität im Bereich von 50 bis 90 Pa·s einzustellen.

Es ist vorteilhaft, aber nicht erforderlich, die gleiche Metallisierungspaste zum Füllen der Vias und auch für die Leiterbahnen und Kontaktflächen zu verwenden, da dann das Auftreten von Fehlern an den Grenzflächen zwischen Vias und Metallisierungsebenen weitgehend vermieden wird.

Die Metallisierungspaste ist so auf die Schwindung der Folie abgestimmt, daß während des Sinterns weder aufgrund einer zu geringen Schwindung der Metallisierung im Vergleich zur Schwindung der Keramik Sternrisse in der Keramik, noch aufgrund einer zu hohen Schwindung der Metallisierungspaste Hohlräume oder Sternrisse im Via entstehen. Die Abstimmung auf die Schwindung erfolgt über die Zusammensetzung und die Korngrößen der Pulver. Das in der Metallisierungspaste enthaltene nicht glasphasenbildende Keramikpulver besitzt vorzugsweise eine mittlere Korngröße von 10 µm, besonders bevorzugt 2 µm. Die Korngrößen werden mit einem Lasergranulometer ®CILAS 850 der Firma ALCATEL gemessen.

Außerdem sollte ein möglichst konstanter Gesamtwiderstand eingestellt werden, der sich aus dem Flächenwiderstand der eingebrannten Leiterbahn und der Fläche der Leiterbahn in der Folienschichtebene durch Multiplikation ergibt. In der Praxis sind Gesamtwiderstände von etwa 1 bis 1000 Ohm bei derartigen Miniaturheizelementen erforderlich. Der Abstand zwischen benachbarten Leiterbahnen sollte möglichst 0,4 mm sein, um ein Durchbrennen zu vermeiden. Die Gesamtanordnung der Leiterbahnen soll so gewählt werden, daß die Schleife eine möglichst gleichmäßige Heiztemperatur über ihre Erstreckung aufweist. Danach können die außenliegenden Metallisierungspartien der Kontaktflächen stromlos vernickelt werden. Hierzu kann ein handelsübliches Metallisierungsbad zum Beispiel auf der Basis von Hypophosphit als Reduktionsmittel verwendet werden. Bei Bedarf kann zusätzlich eine kupfer- und/oder silberhaltige Lotschicht aufgetragen werden.

Mehrere mit Metallisierungspaste überzogene Folien werden dann übereinandergestapelt und unter Anwendung von Druck (meist 5·10⁴ hPa) ggf. in Kombination mit Wärme (RT bis ca. 150°C) miteinander verpreßt. Zur Erleichterung dieses Vorgangs kann auf die keramischen Folien eine Klebehilfe aus einem organischen Gemisch mit einem Binder vollflächig aufgebracht werden. Derartige Klebehilfen sind aus der US-PS 5,021,287 bekannt und enthalten organische Harze wie Polyvinylbutyral oder Acrylharze in einem organischen Lösemittel sowie eventuell noch Weichmacher wie Phthalsäureester oder Polyethylenglykole.

Nachdem ein Mehrschichtlaminat hergestellt wurde, das zumeist mehrere Heizelemente in der Ebene seitlich zueinander versetzt gleichzeitig enthält, muß nun die Vereinzelung erfolgen, wobei gleichzeitig die spätere Form des Heizelementes erzeugt wird. Die Vereinzelung kann beispielsweise durch Schneiden oder Stanzen erfolgen.

Die endgültige Größe des Heizelementes wird durch den Sintervorgang bei Temperaturen 1600°C in reduzierender, feuchter Atmosphäre erzeugt. Die Ofenatmosphäre hat vorzugsweise eine Zusammensetzung von etwa 75% Wasserstoff und 25% Stickstoff, wobei das Gemisch bei einer Temperatur von 55°C mit Wasserdampf gesättigt wird.

Bei besonderer Miniaturisierung des Heizelementes ist auf die Temperaturverteilung und Wärmeableitung besondere Sorgfalt zu legen. Im Heizbereich muß auf möglichst gleichmäßige Schichtdicke der Leiterbahnen geachtet werden, um örtliche Überhitzungen an Engstellen und Stellen mit geringerer Schichtdicke zu vermeiden. Darüber hinaus führt bereits eine schlechte Abstimmung zwischen der Geometrie und der Wärmeleitfähigkeit des Aluminiumoxid-Werkstoffs, der Zusammensetzung der Metallisierung und der Leiterbahnenausführung zum Durchbrennen aufgrund örtlicher Überhitzung.

Mit Heizelementen, die nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellt sind, ist eine Dauereinsatztemperatur zwischen 50 und, je nach Werkstoffzusammensetzung, 1100 h bei Temperaturen bis 1800°C realisierbar. Die obere Einsatztemperaturgrenze ist vor allem von der chemischen Zusammensetzung der keramischen Isolierschichten und ihrem Gehalt an erweichenden Phasen abhängig. Vorzugsweise werden für die keramischen Isolierschichten Materialien wie Aluminiumoxid, Aluminiumnitrid, Zirkonoxid, Siliziumdioxid oder Titannitrid eingesetzt.

Die Heizelemente können Verwendung finden als Heizelemente für Sauerstoffsensoren oder andere Meßsonden, insbesondere für die Automobiltechnik, in Labormeßgeräten und Infrarotmeßsendern oder in der Heiztechnik, zum Beispiel als Zündelement zum Zünden von ausströmenden brennbaren Gasen oder als Tauchsieder.

Die Erfindung wird nachfolgend durch Ausführungsbeispiele für den Fachmann noch ausführlicher dargestellt, ohne daraus aber Einschränkungen auf die konkreten Ausführungsformen ableiten zu wollen.

Beispiel 1

Eine 0,8 mm starke grüne Folie enthielt neben Binder, Weichmacher und Dispergiermittel Aluminiumoxid und 4% eines quarzhaltigen, glasbildenden Versatzes. Die Folie wurde mit Klingen zu Karten geschnitten, die Ausnehmungen für die Durchkontaktierungen (Vias) wurden mechanisch gestanzt. Die Vias wurden im Siebdruck mit einer Metallisierungspaste gefüllt, welche neben 84 Gew.- % Wolfram mit einer mittleren Korngröße von 2,5 µm noch 16 Gew.-% einer feinkörnigen Tonerde mit einer mittleren Korngröße von 1 µm und zusätzlich als organisches Anpastungsmedium noch 15 Gew.- % Siebdrucköl, bezogen auf das Gewicht des Feststoffanteils, enthielt. Für die Verarbeitung der Paste wurde eine Viskosität von 75 Pa·s für den Flächendruck und von 175 Pa·s für den Druck der Vias eingestellt.

Nach dem Trocknen der gefüllten Vias an Luft bei 70°C wurde auf die ungebrannten und viagefüllten Karten eine schleifenförmige Struktur unter Verwendung der beschriebenen Paste mit Hilfe einer Siebdruckmaschine in Dickschichttechnik aufgedruckt. Die bedruckten Karten wurden an Luft bei 70°C getrocknet. Auf andere ungebrannte Karten wurde, ebenfalls mit der beschriebenen Metallisierungspaste, ein flächiges Muster mit Hilfe einer Siebdruckmaschine aufgedruckt. Diese Metallisierungsflächen sollen am fertigen Heizelement außen liegen und als Kontaktflächen den elektrischen Anschluß ermöglichen. Alle bedruckten Karten wurden an Luft bei 70°C getrocknet.

Mehrere bedruckte Karten wurden dann so aufeinandergestapelt, daß jeweils zwei Karten mit Schleifenmuster mit ihrer nicht metallisierten Rückseite aufeinanderliegen und je eine weitere Karte mit dem Anschlußmuster darauf zu liegen kommt, wobei die Anschlußmuster jeweils nach außen weisen. Eine zeichnerische Darstellung dieser Anordnung ist in der Fig. 1 veranschaulicht. Mit Bezugszeichen sind die Keramikfolien 1 mit den Vias 2 zu erkennen. Die Vias 2 sind mit nicht dargestellten Viafüllungen gefüllt. Die Metallisierungen 4 sind so angeordnet, daß sich Leiterbahnzuleitungen 5 und Heizschleifen 6 ergeben, welch letztere den Heizbereich 7 bilden. Schließlich sind auch noch die außen liegenden Kontaktflächen 8 zu erkennen.

Dieser Kartenstapel wurde unter einem Druck von 90 000 hPa bei einer Temperatur von 90°C verpreßt. Aus dem Laminat wurden mehrere Einzelteile unter Verwendung eines Schneidewerkzeuges geschnitten. Dabei betrug der Abstand der schleifenförmigen Struktur im Inneren des Heizelementes von der seitlichen Außenkante des Heizelementes 0,5 mm. Die stabförmigen Heizelemente wurden unter Schutzgas (feuchte Mischung aus Stickstoff und Wasserstoff) bei einer Temperatur von 1630°C in einem Haubenofen gesintert. Hierbei wird einerseits der keramische Werkstoff Aluminiumoxid mit einem Gehalt von 96 Gew.- % Al₂O₃ erzeugt, andererseits werden die Leiterbahnen in einem Co-firing Prozeß mitgesintert. Die vollständig gefüllten Vias wiesen einen Durchmesser von 0,3 mm auf. Die Schichtdicke der Leiterbahn-Metallisierung betrug 12 µm und ihre Breite 0,5 mm. Der mit den Leiterbahnen nach Beispiel 1 erzielte Flächenwiderstand lag bei 5 mΩ/cm². Der fertige Heizstab wies eine Breite und Höhe von jeweils etwa 2,5 mm auf und eine Länge seines Heizbereiches von etwa 18 mm. Die an dem fertigen Heizelement vorgenommenen Messungen sind im Anschluß an die Beispiele beschrieben und tabellarisch gegenübergestellt.

Vergleichsbeispiel 1

Analog zu Beispiel 1 wurde aus dem gleichen keramischen Material bestehend aus 96 Gew.- % Aluminiumoxid und 4 Gew.- % quarzhaltigem, glasbildenem Versatz ein Heizelement mit den gleichen Dimensionen hergestellt. Der einzige Unterschied bestand darin, daß die Metallisierungspaste aufs 100 Gew.-% Wolfram mit einer mittleren Teilchengröße von 2,5 µm plus der für die Verarbeitung als Paste notwendigen Menge an Siebdrucköl bestand. Es wird auf die Meßergebnisse im Anschluß an die Beispiele verwiesen.

Beispiel 2

Das Herstellverfahren für ein stabförmiges Heizelement mit je einer Kontaktfläche an jedem der Stabenden und bestehend aus nur zwei Lagen keramischer Folie ist analog zu dem Herstellverfahren des Beispieles 1. Als keramischer Werkstoff wurde ein Aluminiumnitrid mit 3 Gew.- % Aluminiumoxid und 4% Yttriumoxid hergestellt. Dazu wurde eine Karte aus einer ungebrannten keramischen Folie mit Hilfe der nachfolgend beschriebenen Metallisierungspaste mit einer wellen- oder mäanderförmigen Struktur bedruckt. In eine zweite ungebrannte keramische Karte wurden Vias mechanisch mit einer Metallnadel gestanzt.

Die Metallisierungspaste bestand aus 84 Gew.- % Molybdän sowie 8 Gew.-% Aluminiumoxid und weiteren 8 Gew.-% Aluminiumnitrid. Die Pulver hatten feine Korngrößen wie in Beispiel 1 beschrieben. Die Metallisierungspaste wurde mit Siebdrucköl auf die in Beispiel 1 beschriebene Viskosität eingestellt.

Die Vias wurden mit der beschriebenen Paste gefüllt und getrocknet. Dann wurde auf eine Seite dieser Karte ein flächen- oder mäanderförmiger Druck mit Hilfe der beschriebenen Paste aufgebracht und wiederum getrocknet. Beide Karten wurden in einen wasserdichten Beutel eingeschweißt und mit Hilfe einer isostatisch arbeitenden Presse bei einer Temperatur von 70°C unter hohem Druck von über 100 000 hPa so laminiert, daß die wellen- oder mäanderförmige Struktur zwischen die beiden Karten zu liegen kommt, während die Kontaktfläche nach außen weist. Eine solche Anordnung ist in Fig. 2 veranschaulicht. Das weitere Herstellverfahren wurde wie im Beispiel 1 angegeben durchgeführt.

Beispiel 3

Das Herstellverfahren für ein im wesentlichen ringförmiges Heizelement war in allen Punkten identisch mit den Herstellungsverfahren der Beispiele 1 und 2. Als keramischer Werkstoff wurde Aluminiumnitrid mit 10 Gew.-% Aluminiumoxid und 3 Gew.- % Yttriumoxid eingesetzt. Dazu wurden Karten aus einer ungebrannten keramischen Folie mit Hilfe der Metallisierungspaste des Beispiels 2 mit einer im wesentlichen ringförmigen und bei Bedarf wellen- oder mäanderförmigen Struktur bedruckt.

Falls die übereinanderliegenden Leiterbahnen unterschiedliche Formen bzw. Längen aufweisen, lassen sich ihre elektrischen Widerstände und Heiztemperaturen über den Querschnitt der Leiterbahnen anpassen. Die heizbare Zone kann durch eine geringe Verlagerung der Kontaktflächen und der Vias an den äußeren Rand des Bauteils nahezu kreisförmig werden.

Um die Belastbarkeit der hergestellten Heizelemente zu testen, wurden zwei verschiedene Meßreihen durchgeführt. Bei der Meßreihe 1 wurde an die Kontakte der Heizelemente eine elektrische Spannung von 17 V angelegt während das Heizelement in einem Ofen auf eine Temperatur von konstant 1000°C aufgeheizt wurde. Die Stromstärke des Stromes, der dabei durch das Heizelement fließt, regelt sich von selbst ein und wird an einem Amperemeter angezeigt. Bei der Messung wird aber nur die Zeit gemessen, die vergeht bis auf dem Amperemeter die Stromstärke 1 A angezeigt wird, weil das Element dann defekt ist.

Bei der zweiten Messung wird ein sogenannter Überlastungstest durchgeführt. Dabei wird an die Heizelement eine elektrische Spannung von 30 V angelegt, wobei sich in diesem Fall Stromstärke und Temperatur frei einstellen. Gemessen wird auch in diesem Fall die Zeit, die vergeht bis das Heizelement durchgebrannt ist und infolgedessen 1 A angezeigt werden. Die Ergebnisse sind in der nachfolgenden Tabelle zusammengestellt:

Tabelle

Claims (10)

1. Verfahren zur Herstellung eines elektrischen Heizelementes, bei dem metallische Heizleiter zwischen keramischen Isolierschichten eingebettet sind, wobei als Stromzuführungen und als Stromableitungen Kontaktierungsausnehmungen in den keramischen Isolierschichten mit elektrisch leitfähiger Masse gefüllt sind, dadurch gekennzeichnet, daß die Heizleiter, die Stromzuführungen und die Stromableitungen als Metallisierungspaste enthaltend 60 bis 95 Gew.-% Metallpartikel und 5 bis 40 Gew.-% anorganisches Pulver, bezogen auf den gesamten Feststoffgehalt der Paste, auf die keramischen Schichten im Grünzustand aufgetragen werden und daß dann die keramischen Schichten mit den aufgetragenen Metallisierungspasten übereinandergestapelt und dann gesintert werden.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die hochtemperaturbeständige Metallisierungspaste in Dickschichttechnik aufgetragen wird und daß die keramischen Isolierschichten mit den aufgetragenen Metallisierungspasten zunächst bei Temperaturen von 40 bis 150°C getrocknet werden.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß eine Metallisierungspaste verwendet wird, die mindestens 70 Gew.-% Metallpulver, bestehend aus Wolfram oder Molybdän oder Mischungen daraus, und höchstens 30 Gew.-% eines nicht glasphasenbildenden Keramikpulvers oder Pulvergemisches enthaltend Aluminiumoxid, Aluminiumnitrid, Titannitrid, Titancarbid oder Wolframcarbid und zusätzlich 5 bis 35 Gew.-% eines organischen Anpastungsmediums enthält, bezogen auf den Gesamtfeststoffgehalt.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Metallisierungspaste mit Hilfe eines Druckverfahrens wie Siebdruck, Rollensiebdruck, Offset-Druck oder Tampondruck auf ungebrannte keramische Folien übertragen wird, wobei auf der Folienoberfläche das gewünschte Muster erzeugt wird, bei dem die vollständig gefüllten Kontaktierungsausnehmungen einen Durchmesser von 0,1 bis 0,5 mm aufweisen, vorzugsweise von 0,3 mm, bei dem die Schichtdicke der Metallisierung für die Leiterbahnen im Bereich von 5 bis 100 µm liegt, vorzugsweise zwischen 10 und 25 µm, und bei dem die Breite der Leiterbahn mindestens 0,25 mm beträgt, vorzugsweise wenigstens 0,5 mm.

5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Viskosität der Metallisierungspaste, die zum Füllen der Kontaktierungsausnehmungen verwendet wird, auf einen Wert im Bereich von von 150 bis 500 Pa·s eingestellt wird, und daß die Viskosität der Metallisierungspaste, die für den flächigen Metallisierungsdruck verwendet wird, auf einen Wert im Bereich von 50 bis 90 Pa·s eingestellt wird.

6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß das in der Metallisierungspaste enthaltene nicht glasphasenbildende Keramikpulver eine mittlere Korngröße von 10 µm, besonders bevorzugt 3 µm, besitzt.

7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Sintervorgang bei Temperaturen 1600°C in reduzierender, feuchter Atmosphäre durchgeführt wird.

8. Elektrisches Heizelement hergestellt nach einem Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet daß es einen konstanten Gesamtwiderstand besitzt, der sich aus dem Flächenwiderstand der eingebrannten Leiterbahn und der Fläche der Leiterbahn in der Folienschichtebene durch Multiplikation ergibt und der im Bereich von 1 bis 1000 Ω liegt.

9. Elektrisches Heizelement nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß seine außenliegenden Metallisierungspartien der Kontaktflächen stromlos vernickelt sind und daß gegebenenfalls zusätzlich eine kupfer­ und/oder silberhaltige Lotschicht aufgetragen ist.

10. Verwendung eines Heizelementes nach Anspruch 8 oder 9 für Sauerstoffsensoren oder andere Meßsonden, insbesondere in der Automobiltechnik im Motorenbau oder in Labormeßgeräten und Infrarotmeßsendern oder in der Heiztechnik als Zündelement zum Zünden von ausströmenden brennbaren Gasen oder als Tauchsieder.