DE4327250A1 - Verfahren zur Koordinatenmessung an Werkstücken - Google Patents
Verfahren zur Koordinatenmessung an WerkstückenInfo
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Description
Für die Koordinatenmessung an Werkstücken werden in der Regel
Koordinatenmeßgeräte mit sogenannten messenden oder schaltenden
Tastköpfen eingesetzt. Derartige Geräte vermessen die
Werkstückoberfläche direkt durch berührenden mechanischen
Kontakt mit dem am auslenkbaren Teil des Tastkopfs befestigten
Tastelement. Das Tastelement ist meist eine Kugel.
Daneben sind auch Koordinatenmeßgeräte bekannt, die einen
sogenannten optischen Tastkopf tragen, der das Meßobjekt
berührungslos "antastet".
Als optische Tastköpfe finden neben
mit Lichtpunkten arbeitenden z. B. Triangulationstaster meist
sogenannte Videotastköpfe Verwendung, d. h. Videokameras, die
einen größeren Teil der Werkstückoberfläche gleichzeitig
erfassen. Die Koordinaten interessierender Geometrieelemente des
Werkstücks werden dann beispielsweise über eine
Bildverarbeitungssoftware ermittelt.
In letzter Zeit sind auch kombinierte, optisch und mechanisch
antastende Koordinatenmeßgeräte bekannt geworden. Ein solches
Gerät ist beispielsweise in der US-PS 4908951 beschrieben. Das
bekannte Gerät besitzt zwei Pinolen, von denen die eine den
mechanischen Tastkopf trägt, während die andere eine Videokamera
hält, in deren Strahlengang gleichzeitig noch ein Lasertaster
für Messungen in der z-Koordinate, d. h. entlang der optischen
Achse der Videokamera eingespiegelt ist.
Solche kombinierten optisch und mechanisch antastenden
Koordinatenmeßgeräte erlauben nicht nur die Vermessung
unterschiedlicher Werkstücke wie z. B. Leiterplatten oder
Motorengehäuse mit der jeweils auf sie am besten angepaßten
Meßmethode berührungslos optisch bzw. berührend mechanisch, es
ist auch möglich, Stellen am gleichen Werkstück einmal mit der
Videokamera und zum anderen mit dem mechanischen Taster zu
vermessen, da der gegenseitige Bezug der beiden Tastsysteme über
einen Kalibriervorgang hergestellt werden kann.
Der eigentliche Meßvorgang läuft dann folgendermaßen ab:
- a) handgesteuerter Betrieb
hier wird die mit dem mechanischen Tastkopf anzutastende Stelle am Werkstück unter direkter Sichtkontrolle angefahren nach der meist akustisch angezeigten Berührung des Werkstücks durch das Tastelement übernimmt der Rechner die Koordinaten des Antastpunktes und der Benutzer fährt mit dem Tastelement die nächste Meßstelle an der Werkstückoberfläche an. Beim Messen mit der Videokamera wird diese über die entsprechende Stelle am Werkstück gefahren, mit Hilfe des Monitors wird die Scharfstellung des Bildes der Werkstückoberfläche überwacht und anschließend die Datenübernahme ausgelöst; - b) CNC-Betrieb
hier werden die vom mechanischen Tastkopf bzw. von der Videokamera anzufahrenden Positionen entweder teilefern programmiert oder es wird im Rahmen einer sogenannten Lernprogrammierung an einem Musterstück der Bewegungsablauf einschließlich des Anfahrens der Tastpositionen für das spezielle Meßprogramm einmal durchgeführt, dann abgespeichert und dann im Serienmeßbetrieb an einer Reihe gleichartiger zu vermessender Teile dann beliebig oft wiederholt.
Das handgesteuerte Antasten kann nun insbesondere bei
komplizierten Werkstücken mit schlecht zugänglichen Innenflächen
Probleme bereiten, da es schwierig ist, den Sichtkontakt zum
Tastelement zu halten. Geht dieser verloren, so besteht die
Gefahr, daß durch Kollision mit dem Werkstück Tastkopf oder
Taststift beschädigt werden oder die falsche Stelle am Werkstück
angetastet wird. Diese Gefahr besteht auch während der
Lernprogrammierung des CNC-Betriebs, da dort das Tastelement
ebenfalls handgesteuert verfahren wird.
Zwar ist es aus der DD-PS 12 609 bekannt, Bohrungen mit Hilfe
einer beleuchtenden Meßperle unter visueller Kontrolle zu
vermessen, wobei die Meßperle mechanisch mit der Bohrungswand in
Kontakt gebracht wird. Das in der genannten PS beschriebene
Verfahren findet jedoch nicht auf einem Koordinatenmeßgerät
Anwendung und die Meßperle ist auch kein mechanischer Taster
dergestalt, daß dieser selbständig die Koordinaten des
Antastpunktes registriert. Vielmehr dient die Meßperle lediglich
als Meßmarke, mit deren Hilfe der Bohrungsdurchmesser visuell
anhand einer Okular-Platte in einem Meßmikroskop bestimmt wird.
Das Verfahren kann außerdem nur bei Bohrungen eingesetzt werden,
die beidseitig zugänglich sind.
Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, die Sicherheit
beim mechanischen Antastvorgang mit einem Koordinatenmeßgerät im
handgesteuerten Betrieb zu erhöhen bzw. den Meßablauf für die
Bedienperson zu vereinfachen.
Diese Aufgabe wird gemäß der vorliegenden Erfindung mit den im
Anspruch 1 angegebenen Maßnahmen gelöst.
Hierbei wird das Anfahren bzw. Antasten der mechanisch zu
vermessenden Stelle durch das Tastelement visuell mit Hilfe der
Videokamera und seines Monitors überwacht. Das ist insbesondere
dann vorteilhaft, wenn mit sehr kleinen Taststiften in Bohrungen
eingetaucht wird, zu denen der direkte Sichtkontakt nicht oder
nur unter großen Schwierigkeiten gehalten werden kann. Größeren
Zusatzaufwand erfordert das Verfahren nicht, da Videokamera und
Monitor bei einem kombiniert optisch und mechanisch messenden
Koordinatenmeßgerät ohnehin vorhanden sind. Es ist lediglich
sicherzustellen, daß sich das Tastelement während des
Meßvorganges im Sehfeld der Videokamera befindet. Das kann durch
eine geeignete Ausrichtung von Videokamera und mechanischem
Taster sichergestellt werden, indem beispielsweise das
Tastelement über einen Ausleger bzw. Winkelstück am Tastkopf
befestigt ist, oder das Tastelement bzw. der gesamte mechanische
Tastkopf bzw. die Videokamera dreh- bzw. schwenkbar an der
verfahrbaren Pinole bzw. dem Querarm des Koordinatenmeßgerätes
befestigt ist. Es ist auch möglich, allein den Strahlengang der
Videokamera in Richtung auf das Tastelement umzulenken,
beispielsweise durch einen Spiegel oder ein Prisma oder
geeignete flexible bildleitende Elemente wie z. B.
Glasfaserkabel.
Damit die räumlich/geometrische Beziehung zwischen dem
mechanischen Tastkopf und der Videokamera langzeitstabil
gewährleistet ist, sind beide vorzugsweise an einem gemeinsamen
Träger befestigt. Zur Anpassung an unterschiedliche Meßaufgaben
kann das Tastelement des mechanischen Tastkopfes wie in solchen
Fällen üblich über eine Wechselhalterung austauschbar am
Tastkopf befestigt sein.
Besondere Vorteile bietet die Erfindung, wenn der mechanische
Tastkopf ein miniaturisierter Tastkopf in Form eines sogenannten
Schwingquarztasters ist, wie er beispielsweise im deutschen
Gebrauchsmuster 9115942 beschrieben ist und ohnehin nur einen
Taststift von wenigen mm Länge und ein Tastelement in Form einer
Kugel von einem Zehntel mm Durchmesser besitzt. Hier ist die
Gefahr, daß im Zuge des mechanischen Antastvorganges nicht nur
der Taststift abbricht sondern das gesamte Tastsystem beschädigt
wird, besonders groß.
Ein solcher mechanischer Miniaturtaster ist zweckmäßig gemeinsam
mit einer Videokamera auf dem gleichen Wechselhalter befestigt
und kann dann beispielsweise gegen einen "großen" Taststift an
den Tastkopf eines rein mechanisch arbeitenden
Koordinatenmeßgerätes eingewechselt werden, wobei dieses dann
zusätzlich mit Hilfe des Schwingquarztasters Meßaufgaben
erledigen kann, die weder mit einem herkömmlichen mechanischen
Tastkopf noch mit einem rein optischen z. B. Videotastkopf gelöst
werden können.
Zur besseren Sichtbarmachung des Tastelementes kann es weiterhin
vorteilhaft sein, eine Beleuchtungseinrichtung vorzusehen, die
das Tastelement zur Aussendung von Streustrahlung anregt.
Schließlich ist es insbesondere beim Arbeiten in Bohrungen und
sonstigen Hohlräumen des Werkstücks von Vorteil, den
Videotastkopf so auszulegen, daß er zwei zur Aufnahme von
Stereobildern geeignete Optiken enthält und das Tastelement in
dem für beide Optiken gemeinsamen Teil des Sehfelds anzuordnen.
Auf diese Weise kann die Tiefenauflösung dieses
photogrammetrisch-optischen Videotastkopf s für Messungen in z-
Richtung ausgenutzt werden. Gleichzeitig wird das Positionieren
des Tastelementes durch die Bedienperson bei Verwendung eines
geeigneten 3D-Monitors verbessert. Ein solcher Monitor ist
beispielsweise in dem deutschen Patent 41 34 033 beschrieben, auf
das hier ausdrücklich Bezug genommen wird.
Wenn die optische Achse der Videokamera gegen eine der
Maschinenachsen des Koordinatenmeßgerätes geneigt ist, dann ist
es aufgrund der Parallaxe zwischen der Fahrrichtung und der
Zielrichtung schwierig, den gewünschten Punkt am Werkstück
manuell anzufahren. Hier ist es vorteilhaft, die Steuerung des
Koordinatenmeßgerätes so einzurichten, daß der Tastkopf des
Gerätes gleichzeitig in mindestens zwei Maschinenachsen
verfahren wird entsprechend dem Neigungswinkel zwischen der
optischen Achse der Videokamera und der betreffenden
Maschinenachse.
Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren läßt sich nicht nur der
Meßablauf bei der eigentlichen Inspektion der zu prüfenden Teile
sicherer machen bzw. vereinfachen. Auch das Programmieren von
Meßabläufen an Musterwerkstücken läßt sich vereinfachen, indem
dort die mit dem mechanischen Taster anzutastenden Stellen des
Werkstücks vorher, d. h. im Zuge der Lernprogrammierung nicht mit
einem mechanischen Taster sondern mit dem Videotastkopf
angefahren werden. Da im Zuge dieses manuell gesteuerten
Vorganges gar kein mechanischer Taster zum Einsatz kommt, sind
Beschädigungen sicher vermieden. In diesem Zusammenhang ist es
zweckmäßig, wenn die später mechanisch anzutastenden Stellen des
Werkstücks mit dem Videotastkopf unter Monitorkontrolle
angefahren werden und dem Bild auf dem Monitor eine elektronisch
erzeugte Marke überlagert wird, die in Form und Größe dem
Tastelement des mechanischen Tastkopfs entspricht, mit dem
anschließend der eigentliche Meßablauf durchgeführt wird.
Weitere Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der
nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen anhand der
Fig. 1 bis 8 der beigefügten Zeichnungen. Hierbei sind
Fig. 1 eine vereinfachte perspektivische Skizze eines zur
Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens
geeigneten Koordinatenmeßgerätes;
Fig. 2 zeigt den Tastkopf des Koordinatenmeßgerätes aus Fig. 1
in vergrößertem Maßstabe teils im Schnitt, teils in
Ansicht;
Fig. 3 zeigt ein im Vergleich zu Fig. 2 leicht geändertes
Ausführungsbeispiel für den Tastkopf;
Fig. 4 zeigt ein drittes gegenüber Fig. 2 und 3 leicht
geändertes Ausführungsbeispiel des Tastkopfes;
Fig. 5a zeigt ein viertes gegenüber Fig. 2 und 3 leicht
geändertes Ausführungsbeispiel des Tastkopfes;
Fig. 5b zeigt den Monitor (10) des Koordinatenmeßgerätes aus
Fig. 1 mit dem Bild des von der Videokamera (6) in Fig.
5a aufgenommenen Tastelementes;
Fig. 6 zeigt ein fünftes gegenüber Fig. 2 und 3 leicht
geändertes Ausführungsbeispiel des Tastkopfes;
Fig. 7 zeigt ein sechstes gegenüber Fig. 2 und 3 leicht
geändertes Ausführungsbeispiel des Tastkopfes;
Fig. 8 ist ein Blockschaltbild, das die wesentlichen
Komponenten eines Koordinatenmeßgerätes zur
Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 3 zeigt.
Das in Fig. 1 dargestellte Koordinatenmeßgerät vom Portaltyp
besitzt einen Meßtisch aus z. B. Granit, auf den die zu
vermessenden Werkstücke (9) aufgelegt werden. Der Granittisch
dient außerdem zur Führung des beweglichen Portals (2) in
y-Richtung. Der Querträger des Portals (2) bildet die x-Führung
für den beweglichen Querschlitten (3), in dem die sogenannte
Pinole (4) des Koordinatenmeßgerätes vertikal verschieblich
gelagert ist. Am unteren Ende der Pinole (4) sind über eine
gemeinsame Halterung (5) ein mechanischer Tastkopf (7) und eine
Videokamera (6) befestigt.
Die Bewegungsabläufe des Koordinatenmeßgerätes werden von einer
Steuerung (11) überwacht, die mit einem Rechner (12)
kommuniziert. Der Rechner enthält des Meßprogramm für den CNC-
Betrieb und die Auswerteprogramme für die Generierung der
Meßergebnisse.
Auf einem Monitor (10) wird das von der Videokamera (6)
aufgenommene Bild der Werkstückoberfläche wiedergegeben.
In Fig. 2 sind die am unteren Ende der Pinole (4) angebrachte
Halterung (5), der daran befestigte Videotastkopf (6) und der
mechanische Tastkopf (7) detaillierter dargestellt. Die
Videokamera besitzt ein Objektiv (13), das die
Werkstückoberfläche auf einen CCD-Chip (14) abbildet. Das
Sehfeld dieses Videotastkopfes entspricht dem mit (17)
bezeichneten Kegel. Dieses Sehfeld wird von einer um die
Videokamera (6) gelegten faseroptischen Ringleuchte (15)
beleuchtet.
Am beweglichen bzw. auslenkbaren Teil (7a) des Tastkopfes (7)
ist über eine an sich bekannte elektro-magnetische
Wechselhalterung (19) die Tastkugel (8) des mechanischen Tasters
befestigt und zwar über einen Taststift (20) in Form eines
Winkelstückes, das so bemessen ist, daß sich die Tastkugel (8)
im scharf abgebildeten Bereich des Sehfeldes (17) der
Videokamera befindet. Es ist somit möglich, die Position der
Tastkugel (8) relativ zum Werkstück (9) bzw. der dort zu
vermessenden Bohrung (9a) sehr genau mit Hilfe des Monitors (10)
zu verfolgen und den Antastvorgang beim Eintauchen in die
Bohrung (9a) manuell zu steuern.
Gleiches gelingt auch mit dem in Fig. 3 dargestellten Aufbau
nach einem alternativen Ausführungsbeispiel der Erfindung. Dort
ist die Tastkugel (28) in herkömmlicher Weise über einen geraden
entlang der Tasterachse ausgerichteten Taststift (30) am
elektro-magnetischen Wechselhalter (19) des mechanischen
Tastkopfs (7) befestigt. Hingegen ist jedoch die Videokamera
(26) über ein Drehgelenk (22) und ein Schwenkgelenk (21) an der
Halterung (5) befestigt und kann so in alle Raumrichtungen
ausgerichtet werden. Für die visuelle Beobachtung des
Antastvorganges ist die Videokamera (26) so ausgerichtet, daß
sein Objektiv (23) die Tastkugel (28) auf den Bildsensor (24)
abbildet. Mit (27) ist wieder der Kegel bezeichnet, der die
Abmessungen des Sehfeldes der Videokamera angibt.
Die Videokamera (26) enthält außerdem eine Hilfslichtquelle (25)
in Form einer im sichtbaren Bereich strahlenden Laserdiode mit
vorgesetzter Kollimatoroptik. Der von der Laserdiode ausgesandte
Lichtstrahl wird über einen Spiegel (25a) vor dem Objektiv (23)
der Videokamera in die optische Achse der Videokamera
eingespiegelt und trifft bei korrekter Ausrichtung der
Videokamera auf die Tastkugel (28) auf. Die von dort emittierte
Streustrahlung läßt die Tastkugel (28) hell und deutlich auf dem
Monitorbild erscheinen.
Wenn die Bedienperson nun unter visueller Kontrolle mit Hilfe
des Monitors versucht die Tastkugel (28) über bestimmte
anzutastende Punkte des Werkstückes (9), beispielsweise wie in
der Figur dargestellt über der Bohrung (9a), zu positionieren,
dann wird die Parallaxe aufgrund der Neigung der optischen Achse
der Videokamera zur Werkstückoberfläche dazu führen, daß die
Tastkugel eher an der mit (128) bezeichneten Stelle neben dem
eigentlichen Zielpunkt positioniert wird. Beim anschließenden
Antastvorgang, wenn der Tastkopf mit dem Taststift entlang der
vertikalen Maschinenachse (z) verfahren wird, taucht die
Tastkugel dann nicht in die Bohrung ein, sondern trifft auf die
Werkstückoberfläche auf. Um das zu vermeiden und die Bedienung
insofern zu erleichtern kann die Steuerung des
Koordinatenmeßgerätes so programmiert sein, daß sie den Tastkopf
(7) wie durch den Pfeil (129) angedeutet beim Verfahren in
Richtung auf das Werkstück (9) in zwei Achsen gleichzeitig
entsprechend der Neigung der Kameraachse verfährt.
Im Ausführungsbeispiel nach Fig. 4 sind der mechanische Taster
(7) und die Videokamera (36) wie im Ausführungsbeispiel nach
Fig. 2 vertikal ausgerichtet an der Halterung (5) am unteren
Ende der Pinole (4) befestigt. Der Taststift (30) mit der
Tastkugel (28) des mechanischen Tasters (7) ist vertikal entlang
der Tasterachse ausgerichtet.
Die Videokamera (36) ist jedoch mit einem Schwenkspiegel (31)
ausgerüstet, der zur visuellen Überwachung der Position der
Tastkugel (28) in die in Fig. 4 fett ausgezeichnete Stellung
geschwenkt wird und den Strahlengang des Objektivs (33) der
Videokamera (36) so umlenkt, daß sich die Tastkugel (28) im
Sehfeld des Sensors (34) der Videokamera (36) befindet.
Für Meßaufgaben, bei denen allein die Videokamera (36) benötigt
ist, wird der Schwenkspiegel (31) wie durch den Pfeil (33)
angedeutet in die gestrichelt gezeichnete Position (31a)
geklappt.
Im Ausführungsbeispiel nach Fig. 5a trägt die Halterung (5) am
unteren Ende der Pinole (4) die gleiche schon anhand von Fig. 2
beschriebene Videokamera (6). Bei dem mechanischen Tastkopf (47)
handelt es sich allerdings um einen kleinen,
richtungsunabhängigen schaltenden Tastkopf, der über eine
Verlängerung (41) an ein sogenanntes Dreh-/Schwenkgelenk (42)
angesetzt ist und demzufolge in beliebige Raumrichtungen
ausgerichtet werden kann. Der Tastkopf (47) trägt einen
Sterntaster (40) mit fünf Tastkugeln (48a-e).
Für die visuelle Kontrolle des mechanischen Antastvorganges mit
Hilfe des Monitors (10) ist der Tastkopf (47) so ausgerichtet,
daß der Sterntaster (40) im Sehfeld (17) des Objektivs (13) der
Videokamera liegt.
Im Ausführungsbeispiel nach Fig. 6 ist an die Pinole (4) direkt
ein Tastkopf (55) vom sogenannten messenden Typ angesetzt. Ein
solcher Tastkopf ist beispielsweise in der US-PS 3869799 bzw.
der DE-OS 38 23 993 beschrieben.
Der bewegliche Teil (55a) dieses Tastkopfs kann über hier nicht
näher dargestellte Aktuatoren über Wege von mehreren mm bzw. cm
Länge wie durch die Pfeile angedeutet in die drei Raumrichtungen
ausgelenkt werden. In den beweglichen Teil (55a) des messenden
Tastkopfs (55) ist eine elektro-magnetische Wechselvorrichtung
integriert, wie sie beispielsweise in der US-PS 4637119
beschrieben ist. Der Wechselteller dieser elektro-magnetischen
Wechseleinrichtung ist mit (49) bezeichnet und trägt an seiner
Unterseite sowohl eine kleine Videokamera (56) als auch über ein
Winkelstück (51) einen mechanischen Tastkopf (57) in Form eines
sogenannten Schwingquarztasters. Der Schwingquarztaster besteht
aus einem bei ca. 40 kHz schwingenden Quarz, an den ein
Glasstäbchen (50) von mehreren mm Länge angesetzt ist. Das
Glasstäbchen (50) trägt an seinem vorderen Ende ein Tastelement
(58). Dieses besteht auf einer am Glasstäbchen (50)
aufgeschmolzenen Glaskugel.
Das Winkelstück (51) ist drehbar am unteren Ende des
Wechseltellers (59) befestigt und im vorliegenden Falle so
ausgerichtet, daß sich das Antastelement (58) im Sehfeld der
Videokamera (56) befindet. Es wird von einem in den Strahlengang
der Videokamera eingespiegelten sichtbaren Laserstrahl (52)
beleuchtet und ist deshalb auf den Schirm des hier nicht
dargestellten Monitors deutlich sichtbar.
Mit dem Tastelement (58) werden unter Sichtkontrolle mit Hilfe
des Monitors des Koordinatenmeßgerätes unter Handsteuerung
filigrane Strukturen eines Kunststoffgehäuses (59) vermessen.
Hier ist guter Sichtkontakt besonders wichtig um zu verhindern,
daß infolge von Schaftantastungen das Glasstäbchen (50) des
Schwingquarztasters abbricht.
Beim Ausmessen der Stege und Vertiefungen des Kunststoffgehäuses
(59) wird nicht nur im schaltenden Betrieb gearbeitet und das
Tastelement (58) mit Hilfe der Antriebe in den drei Achsen des
Koordinatenmeßgerätes bewegt. Vielmehr ist es ebenfalls möglich,
mit den im Tastkopf (55) integrierten Aktuatoren kleinere
Bereiche der Werkstückoberfläche bei Stillstand der
Maschinenachsen abzuscannen. Hierbei bleibt die Tastkugel (58)
während des Scanvorganges in direktem Kontakt mit dem
Werkstück (59).
Anstelle des Wechseltellers (49) im Ausführungsbeispiel nach
Fig. 6 kann ein zweiter Wechselteller (79) mit der in Fig. 7
beschriebenen optisch-mechanischen Tasterkombination
eingewechselt werden. Dieser Taster besteht aus einem
photogrammetrischen Videotastkopf d. h. einem Videotastkopf mit
zwei Optiken (73a und 73b), deren Bild über faseroptische
Bildleiter (72a und 72b) auf die lichtempfindliche Oberfläche
des Bildsensors (74) der Videokamera übertragen wird. Auf diese
Weise entsteht ein Stereobild des gemeinsam von den beiden
Sehfeldern (87a und 87b) der beiden Optiken überdeckten
Bereichs (80).
Zwischen den beiden Optiken (73a und 73b) des Videotastkopfs
(76) ist ein mechanischer Schwingquarztaster (77) angeordnet.
Dessen Schwingquarz (81) trägt wie im Ausführungsbeispiel nach
Fig. 6 ein Glasstäbchen von mehreren mm Länge, an dessen Ende
eine Kugel (78) aufgeschmolzen ist, die das Antastelement
bildet. Diese Kugel (78) befindet sich in dem gemeinsam
überdeckten Bereich (80) der beiden Sehfelder (87a und 87b) des
Videotastkopfs (76).
Mit einem geeigneten Stereomonitor läßt sich deshalb die
Position des Antastelementes (78) im Raum visuell sehr gut
verfolgen und der manuelle Antastvorgang steuern. Hierbei werden
die auszumessenden Stellen an den Werkstücken direkt unter
Sichtkontrolle durch die Bedienperson mit dem Tastelement (78)
angefahren.
Die elektrische Versorgung des Videotastkopf s und des
Schwingquarztasters erfolgt über Kontakte (82) an der Rückseite
des Wechseltellers (49). Über diese Kontakte gelangen auch die
Signale des Bildsensors (74) an die Steuerung des
Koordinatenmeßgerätes.
Neben dem manuellen Anfahren der Meßstellen mit dem mechanischen
Tastelement ist es weiterhin möglich, die Meßstellen im Zuge der
Lernprogrammierung allein mit der Videokamera unter
Monitorkontrolle anzufahren und die Tastpositionen zu bestimmen,
die anschließend im CNC-Lauf dann von dem mechanischen
Tastelement angetastet werden sollen. Das Blockdiagramm eines
für dieses Verfahren geeigneten Koordinatenmeßgerätes ist in
Fig. 8 dargestellt. Von seinem mechanischen Aufbau her
entspricht das Koordinatenmeßgerät nach Fig. 8 dem in Fig. 1 und
Fig. 2 mit dem Unterschied, daß an den Tastkopf (7) ein
Tastelement (28) eingewechselt ist, welches nicht
notwendigerweise im Bildfeld (17) der Videokamera (6) liegt. Es
besitzt vielmehr einen Abstand (r [x, y, z]) zum Fokuspunkt (70)
der Videokamera (6). Dieser Abstand kann in an sich bekannter
Weise durch Kalibrierung in Form eines Vergleichs zwischen den
mit dem mechanischen Tastkopf (7) gewonnenen Meßwerten und den
mit dem Videotastkopf (6) ermittelten Meßwerten an einem
gemeinsamen Musterwerkstück (Leerring) bestimmt werden.
Die mit dem Rechner (12) des Koordinatenmeßgerätes über einen
Datenbus verbundene Steuerung (11 ) enthält die für die Steuerung
des Bewegungsablaufes des Koordinatenmeßgerätes notwendigen
Komponenten sowie Module, die für die Meßwerterfassung notwendig
sind. Beispielsweise ist mit (90) das Modul bezeichnet, das aus
den Signalen der photoelektrischen Längenmeßsysteme in den drei
Meßachsen (x, y, z) des Koordinatenmeßgerätes und den in einem
Modul (69) aufbereiteten Signalen des Tastkopfes (7) den mit dem
mechanischen Tastkopf aufgenommenen Meßwert generiert. Die
Steuerung (11) enthält außerdem ein Modul "Bildauswertung", das
die Videosignale des Bildsensors (14) der Videokamera weiter
verarbeitet und in Verbindung mit den Signalen der Wegmeßsysteme
den von der Videokamera generierten Meßwert der optischen
Antastung generiert.
Außerdem enthält die Steuerung (11) einen Bildgenerator (61)
dessen Ausgangssignal über einen Mischer (62) auf den
Monitor (10) gegeben ist. Der Bildgenerator überlagert dem
Monitorbild eine Meßmarke (70′), die der Tastkugel (28) in Form
und Größe unter Berücksichtigung des Abbildungsmaßstabs
entspricht. Diese Meßmarke (70′) repräsentiert den
Fokuspunkt (70) der Videokamera (6).
Da das Bild der Meßmarke (70′) dem Bild der Werkstückoberfläche
(9) überlagert ist, können mit dem auf diese Weise "simulierten"
Tastelement im Zuge der Lernprogrammierung die Stellen an einem
Musterwerkstück angefahren werden, die anschließend im
CNC-gesteuerten Serienmeßbetrieb direkt von der Tastkugel (28)
angetastet werden sollen. Zur Durchführung dieses Verfahrens
bringt die Bedienperson während der Lernprogrammierung
handgesteuert unter visueller Kontrolle des Monitorbildes die
Meßmarke (70′) mit den auf dem Monitor dargestellten Meßstellen
an den Geometrieelementen des Werkstücks (9), zum Beispiel der
Bohrung (9a) zur Deckung und löst die Datenübernahme aus, wobei
die Koordinaten der anzutastenden Stellen abgespeichert werden.
Diese Koordinaten werden anschließend mit Hilfe der in dem
vorstehend beschriebenen Kalibriervorgang ermittelten bekannten
räumlichen Beziehung (r [x, y, z]) zwischen dem mechanischen
Tastelement (28) und dem Fokuspunkt (70 bzw. 70′) der
Videokamera in Antastkoordinaten des mechanischen Tastelementes
(28) umgerechnet. Sie können dann nach gegebenenfalls
notwendiger Umrechnung in das Werkstück-Koordinatensystem der
CNC-gesteuert zu vermessenden Teile unter Rechnerkontrolle
automatisch mit dem Tastelement (28) angefahren werden.
Während der Lernprogrammierung mit Hilfe der das Antastelement
simulierenden Meßmarke ist es nicht erforderlich, den Taststift
mit dem Tastelement (28) einzuwechseln. Dieser kann vielmehr
anschließend eingewechselt und relativ zur Videokamera
kalibriert werden.
Claims (18)
1. Verfahren zur Koordinatenmessung an Werkstücken mit einem
Koordinatenmeßgerät (1-4), das eine Videokamera
(6, 26, 36, 56,, 66, 76), und einen mechanischen Tastkopf
(7, 47, 57, 77) mit einem Tastelement (8, 28, 48, 58, 78)
zur berührenden Vermessung der Werkstückoberfläche trägt,
wobei die mit dem Tastelement mechanisch anzutastenden
Stellen am Werkstück unter visueller Kontrolle mit Hilfe
eines an die Videokamera angeschlossenen Monitors (10)
angefahren werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei die anzutastenden Stellen
zuerst an einem Musterwerkstück mit Hilfe der Videokamera
unter visueller Kontrolle und manueller Steuerung angefahren
werden und die Koordinaten der anzutastenden Stellen mit der
Videokamera aufgenommen und abgespeichert werden,
die abgespeicherten Koordinaten anschließend mit Hilfe der in einem Kalibriervorgang ermittelten bekannten räumlichen Beziehung (r [x, y, z]) zwischen dem mechanischen Tastelement (28) und dem Tastpunkt (70) der Videokamera in Antastkoordinaten des mechanischen Tastelementes umgerechnet werden,
und dann die gleichen Stellen am Werkstück mit dem mechanischen Tastelement automatisch gesteuert angefahren werden.
die abgespeicherten Koordinaten anschließend mit Hilfe der in einem Kalibriervorgang ermittelten bekannten räumlichen Beziehung (r [x, y, z]) zwischen dem mechanischen Tastelement (28) und dem Tastpunkt (70) der Videokamera in Antastkoordinaten des mechanischen Tastelementes umgerechnet werden,
und dann die gleichen Stellen am Werkstück mit dem mechanischen Tastelement automatisch gesteuert angefahren werden.
3. Verfahren nach Anspruch 2, wobei das von der Videokamera
(66) aufgenommene Bild der Werkstückoberfläche auf einem
Monitor (10) dargestellt wird und dem Bild eine elektronisch
erzeugte Marke (70′) überlagert wird, die in Form und Größe
dem Tastelement (28) des mechanischen Tastkopfes (7)
entspricht.
4. Verfahren nach Anspruch 3, wobei der mechanische Tastkopf
mehrere Tastelemente trägt und dem Bild der
Werkstückoberfläche auf dem Monitor wahlweise mehrere Marken
unterschiedlicher Form bzw. Größe überlagerbar sind.
5. Verfahren nach Anspruch 1, wobei das mechanische Tastelement
(8, 28, 48, 58, 78) und die Videokamera (6, 26, 36, 56, 66)
so zueinander ausgerichtet werden, daß sich das Tastelement
im Sehfeld (17, 27, 37, 77) der Videokamera befindet, und
die zu vermessenden Stellen unter gleichzeitiger visueller
Kontrolle mit Hilfe des Monitors (10) der Videokamera von
dem mechanischen Tastelement angetastet werden.
6. Koordinatenmeßgerät mit
- - einer Videokamera (6, 26, 36, 56, 66), die mit einem Monitor (10) verbunden ist,
- - einem in mindestens zwei Raumrichtungen verfahrbaren mechanischen Tastkopf (7, 47, 57, 77), der ein auswechselbar an ihm befestigtes Tastelement (8) trägt,
- - einem Rechner (12) sowie einer daran angeschlossenen Steuereinheit (11), von der die Bewegungen des Tastkopfes gesteuert und die von dem Tastkopf abgegebenen Meßsignale weiterverarbeitet werden,
- - wobei die Videokamera und der mechanische Tastkopf so zueinander ausgerichtet sind, daß sich das Tastelement im Sehfeld (17, 27, 37, 87) der Videokamera befindet.
7. Koordinatenmeßgerät nach Anspruch 6, wobei das Tastelement
(8) am Tastkopf (7) über einen Ausleger (20) bzw. einen
Winkelstück oder dergleichen befestigt ist.
8. Koordinatenmeßgerät nach Anspruch 6, wobei das Tastelement
(40) drehbar bzw. schwenkbar ist.
9. Koordinatenmeßgerät nach Anspruch 6, wobei die Videokamera
(26) drehbar- bzw. schwenkbar ist.
10. Koordinatenmeßgerät nach Anspruch 6, wobei ein den
Strahlengang der Videokamera (36) in Richtung auf das
Tastelement (28) umlenkendes Element (Spiegel 31) vorgesehen
ist.
11. Koordinatenmeßgerät nach Anspruch 6, wobei die Videokamera
(6) und mechanische Tastkopf (7) an einem gemeinsamen Träger
(5) befestigt sind und das Tastelement (8) des mechanischen
Tastkopfes über eine elektro-mechanische Wechseleinrichtung
(19) am beweglichen Teil (7a) des Tastkopfes befestigt ist.
12. Koordinatenmeßgerät nach Anspruch 6, wobei die Videokamera
(56, 76) und der mechanische Tastkopf (57, 77) bzw. das
Tastelement des Tastkopfes gemeinsam an dem gleichen
Wechselhalter (49, 79) befestigt sind.
13. Koordinatenmeßgerät nach Anspruch 12, wobei die Videokamera
(76) und der mechanische Taster (77) gemeinsam am
beweglichen Teil eines zweiten mechanischen Tastkopfes
befestigt sind.
14. Koordinatenmeßgerät nach einem der Ansprüche 6 bis 13, wobei
der mechanische Tastkopf ein Miniaturtastkopf in Form eines
Schwingquarztasters (57, 77) ist.
15. Koordinatenmeßgerät nach Anspruch 14, wobei der
Miniaturtaster (77) auswechselbar an dem in mehreren
Raumrichtungen beweglichen Teil eines zweiten mechanischen
Tastkopfes befestigt ist.
16. Koordinatenmeßgerät nach einem der Ansprüche 6 bis 15 mit
einer Beleuchtungseinrichtung (25), die das Tastelement (28)
sichtbar macht bzw. zu Streustrahlung anregt.
17. Koordinatenmeßgerät nach einem der Ansprüche 6 bis 16, wobei
der Videotastkopf (76) zwei zur Aufnahme von Stereobildern
geeignete Optiken (73a, b) enthält und das Tastelement (78)
sich in dem für beide Optiken gemeinsamen Teil (80) des
Sehfeldes (87a, 87b) befindet.
18. Koordinatenmeßgerät nach einem der Ansprüche 6 - 17, wobei
die optische Achse der Videokamera (26,36) gegen mindestens
eine der Maschinenachsen des Koordinatenmeßgerätes geneigt
ist und die Steuerung des Koordinatenmeßgerätes den
mechanischen Tastkopf in mindestens zwei
Koordinatenrichtungen gleichzeitig verfährt, entsprechend
dem Neigungswinkel zwischen der optischen Achse der
Videokamera und der betreffenden Maschinenachse (z).
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---|---|---|---|
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
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DE4327250B4 DE4327250B4 (de) | 2006-08-24 |
DE4327250C5 DE4327250C5 (de) | 2008-11-20 |
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Family Applications (2)
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---|---|---|---|
DE4327250A Expired - Fee Related DE4327250C5 (de) | 1992-09-25 | 1993-08-13 | Verfahren zur Koordinatenmessung an Werkstücken |
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Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE59305773T Expired - Fee Related DE59305773D1 (de) | 1992-09-25 | 1993-09-17 | Verfahren und vorrichtung zur koordinatenmessung an werkstücken |
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---|---|
US (1) | US5615489A (de) |
EP (1) | EP0614517B1 (de) |
JP (1) | JP3612068B2 (de) |
DE (2) | DE4327250C5 (de) |
WO (1) | WO1994008205A1 (de) |
Cited By (31)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4425879A1 (de) * | 1994-07-09 | 1996-01-11 | Ges Zur Foerderung Angewandter Optik Optoelektronik Quantenelektronik & Spektroskopie Ev | Vorrichtung zum Ritzen von im wesentlichen einkristallinen Substraten |
DE19639780A1 (de) * | 1996-09-27 | 1998-04-02 | Leitz Brown & Sharpe Mestechni | Verfahren zur Durchführung von optischen und mechanischen Messungen in der Koordinatenmeßtechnik |
DE19805892A1 (de) * | 1997-06-12 | 1998-12-24 | Werth Messtechnik Gmbh | Verfahren und Anordnung zur Messung von Strukturen eines Objekts |
DE19820307A1 (de) * | 1998-05-07 | 1999-11-18 | Mycrona Ges Fuer Innovative Me | Berührungslose Temperaturerfassung an einer Mehrkoordinatenmeß- und Prüfeinrichtung |
WO1999063301A1 (de) * | 1998-05-29 | 1999-12-09 | Werth Messtechnik Gmbh | Anordnung zur messung von strukturen eines objektes |
EP0965816A2 (de) | 1998-06-17 | 1999-12-22 | MYCRONA Gesellschaft für innovative Messtechnik mbH | Vorrichtung zur Messung der geometrischen Struktur eines Objekts |
DE19847711A1 (de) * | 1998-05-29 | 2000-02-17 | Werth Messtechnik Gmbh | Anordnung zur Messung von Strukturen eines Objektes |
US6154972A (en) * | 1998-07-16 | 2000-12-05 | Mitutoyo Corporation | Measuring machine with cleaning device |
DE29918341U1 (de) * | 1999-10-18 | 2001-03-01 | Tassakos Charalambos | Vorrichtung zur Positionsbestimmung von Meßpunkten eines Meßobjekts relativ zu einem Bezugssystem |
WO2003008905A1 (de) * | 2001-07-16 | 2003-01-30 | Werth Messtechnik Gmbh | Verfahren zur messung von oberflächeneigenschaften sowie koordinatenmessgerät |
US6651351B1 (en) | 1997-06-12 | 2003-11-25 | Werth Messtechnik Gmbh | Coordinate measuring instrument with feeler element and optic sensor for measuring the position of the feeler |
WO2003106918A2 (de) * | 2002-06-15 | 2003-12-24 | Bundesrepublik Deutschland, vertreten durch das Bundesministerium für Wirtschaft und Arbeit, dieses vertreten durch den Präsidenten der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt | Oberflächenmessvorrichtung und verfahren zur mechanischen sowie berührungslosen-optischen untersuchung von objektoberflächen |
DE10240292A1 (de) * | 2002-08-31 | 2004-03-18 | Carl Mahr Holding Gmbh | Tasteinrichtung für vielfältige Messaufgaben |
EP1570234A2 (de) * | 2002-12-13 | 2005-09-07 | Werth Messtechnik GmbH | Verfahren zum scannenden messen einer kontur eines werkstücks |
FR2868349A1 (fr) * | 2004-04-06 | 2005-10-07 | Kreon Technologies Sarl | Palpeur mixte, optique et mecanique et procede de recalage y afferant |
DE19980859B4 (de) * | 1998-05-12 | 2006-07-13 | Mahr Gmbh | Mehrkoordinatenmess- und -prüfeinrichtung |
WO2007033811A1 (de) | 2005-09-20 | 2007-03-29 | Werth Messtechnik Gmbh | Verfahren und anordnung zur messung von strukturen eines objekts |
EP1777483A1 (de) * | 2005-10-19 | 2007-04-25 | Mitutoyo Corporation | Taststiftbeobachtungsgerät |
DE102010060833A1 (de) | 2009-11-26 | 2011-06-01 | Werth Messtechnik Gmbh | Verfahren und Anordnung zur taktil-optischen Bestimmung der Geometrie eines Messobjektes |
DE102010014812A1 (de) * | 2010-04-13 | 2011-10-13 | Eads Deutschland Gmbh | Verfahren zur Messung des Schwingungsverhaltens von elektronischen Bauteilen |
DE102010018819A1 (de) * | 2010-04-29 | 2011-11-03 | Hommel-Etamic Gmbh | Oberflächenmeßgerät |
NL2006590C2 (nl) * | 2011-04-12 | 2012-10-15 | W L F M Donkers Beheer B V | Inrichting en werkwijze voor het bepalen van de dikte van de rhizoom van een plant. |
DE102011056805A1 (de) | 2011-12-21 | 2013-06-27 | Werth Messtechnik Gmbh | Verfahren zum opto-taktilen Messen eines Objektes sowie Koordinatenmessgerät |
DE19928518B4 (de) * | 1998-07-07 | 2013-10-10 | Faro Technologies, Inc. | Host-unabhängiger Gelenkarm |
DE102013208397A1 (de) * | 2013-05-07 | 2014-11-13 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Koordinatenmessgerät mit einem zusätzlichen, berührungslos messenden Oberflächenvermessungsgerät |
EP2463615A3 (de) * | 2010-12-08 | 2015-11-25 | Robert Bosch GmbH | Tastsystem zur Erfassung der Form, des Durchmessers und/oder der Rauhigkeit einer Oberfläche |
DE102005021645B4 (de) * | 2004-09-09 | 2016-09-01 | Werth Messtechnik Gmbh | Verfahren zum opto-taktilen Messen eines Objektes |
DE102016100308A1 (de) * | 2016-01-11 | 2017-07-13 | Datron Ag | Verfahren zur Bestimmung von einer Referenzkoordinate eines Werkstücks und Bearbeitungsmaschine |
DE102016220127A1 (de) | 2016-10-14 | 2018-04-19 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zum Betrieb eines Koordinatenmessgeräts |
WO2019101439A1 (de) * | 2017-11-22 | 2019-05-31 | Siemens Aktiengesellschaft | Messsystem zur erfassung der räumlichen lage eines sicherungsstiftes und verfahren zum ausbohren eines sicherungsstiftes |
DE102015013770B4 (de) | 2014-10-23 | 2020-06-04 | Cognex Corporation | System und Verfahren zum Kalibrieren eines Bildverarbeitungssystems bezüglich eines Messtasters |
Families Citing this family (139)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06186025A (ja) * | 1992-12-16 | 1994-07-08 | Yunisun:Kk | 三次元測定装置 |
IT1279210B1 (it) * | 1995-05-16 | 1997-12-04 | Dea Spa | Dispositivo e metodo di visione per la misura tridimensionale senza contatto. |
US5825666A (en) * | 1995-06-07 | 1998-10-20 | Freifeld; Daniel | Optical coordinate measuring machines and optical touch probes |
DE19816272C2 (de) * | 1998-04-11 | 2000-05-11 | Werth Messtechnik Gmbh | Verfahren und Anordnung zur Messung von Strukturen eines Objekts |
DE19816270A1 (de) * | 1998-04-11 | 1999-10-21 | Werth Messtechnik Gmbh | Verfahren und Anordnung zur Erfassung der Geometrie von Gegenständen mittels eines Koordinatenmeßgeräts |
US6240651B1 (en) * | 1998-06-17 | 2001-06-05 | Mycrona Gmbh | Coordinate measuring machine having a non-sensing probe |
JP4387454B2 (ja) * | 1998-08-25 | 2009-12-16 | 株式会社ミツトヨ | 遠隔操作式測定システム |
JP4386979B2 (ja) * | 1998-08-25 | 2009-12-16 | 株式会社ミツトヨ | 遠隔操作式測定システム |
EP1152209B1 (de) * | 2000-05-01 | 2009-06-03 | Mitutoyo Corporation | Formmesssensor und Formmessinstrument |
US6606403B2 (en) * | 2000-05-04 | 2003-08-12 | Daniel Freifeld | Repetitive inspection system with intelligent tools |
EP1299691B1 (de) * | 2000-07-13 | 2004-12-08 | Werth Messtechnik GmbH | Verfahren zum berührungslosen messen von geometrien von gegenständen |
AU2002212258A1 (en) * | 2000-09-20 | 2002-04-02 | Werth Messtechnik Gmbh | Assembly and method for the optical-tactile measurement of a structure |
JP4689890B2 (ja) * | 2001-02-08 | 2011-05-25 | 株式会社ミツトヨ | 表面性状測定装置 |
DE10108774A1 (de) * | 2001-02-23 | 2002-09-05 | Zeiss Carl | Koordinatenmessgerät zum Antasten eines Werkstücks, Tastkopf für ein Koordinatenmessgerät und Verfahren zum Betrieb eines Koordinatenmessgerätes |
JP3905771B2 (ja) | 2001-03-02 | 2007-04-18 | 株式会社ミツトヨ | 測定機の校正方法及び装置 |
US20020131633A1 (en) * | 2001-03-13 | 2002-09-19 | Zwick Robert Leonard | System and method for machine vision inspection through platen |
US7065892B2 (en) * | 2001-03-19 | 2006-06-27 | Veeco Instruments Inc. | Method and apparatus for calibrating a vision system to a parts handling device |
US6983547B2 (en) * | 2001-03-19 | 2006-01-10 | Veeco Instruments Inc. | Goniometer |
US20030048448A1 (en) * | 2001-03-19 | 2003-03-13 | Fleming Timothy J. | Automated apparatus for testing optical filters |
US20020166220A1 (en) * | 2001-05-11 | 2002-11-14 | United Air Lines, Inc. | Process for repairing a structure |
EP1395911A4 (de) * | 2001-06-12 | 2006-10-25 | Hexagon Metrology Ab | Kommunikationsverfahren und zentralsteuerungsbus, der eine steuerung und eine präzisionsmessbaugruppe verbindet |
FR2829571A1 (fr) * | 2001-09-11 | 2003-03-14 | Ms Mesure | Systeme et procede de metrologie tridimensionnelle, et micro-machine de mesure mise en oeuvre dans ce systeme |
DE10294376D2 (de) * | 2001-09-24 | 2004-08-26 | Jpk Instruments Ag | Vorrichtung und Verfahren für ein Rastersondenmikroskop |
DE10157174A1 (de) * | 2001-11-22 | 2003-06-05 | Wolfgang Madlener | Verfahren und Vorrichtung zum räumlichen Vermessen von Werkstücken an einer Werkzeugmaschine |
DE10211070A1 (de) * | 2002-03-13 | 2003-09-25 | Gurny Broesch Andrea | Vorrichtung zum Vermessen eines Messobjekts |
FR2837567B1 (fr) * | 2002-03-19 | 2005-05-06 | Romain Granger | Capteur pour machine de mesure de coordonnees tridimensionnelles |
JP4047096B2 (ja) * | 2002-08-09 | 2008-02-13 | キヤノン株式会社 | 表面形状測定装置および方法 |
JP3867230B2 (ja) * | 2002-09-26 | 2007-01-10 | 本田技研工業株式会社 | メカニカルスクライブ装置 |
JP2004177192A (ja) * | 2002-11-26 | 2004-06-24 | Dainippon Printing Co Ltd | 欠陥高さ検査装置及び欠陥高さ検査方法 |
JP4031375B2 (ja) * | 2003-01-24 | 2008-01-09 | 株式会社ミツトヨ | 測定機 |
JP2004294311A (ja) * | 2003-03-27 | 2004-10-21 | Nikon Corp | 画像測定装置 |
US7152456B2 (en) | 2004-01-14 | 2006-12-26 | Romer Incorporated | Automated robotic measuring system |
US7693325B2 (en) * | 2004-01-14 | 2010-04-06 | Hexagon Metrology, Inc. | Transprojection of geometry data |
DE102004011707B3 (de) * | 2004-03-10 | 2005-12-22 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Koordinatenmeßsystem und Koordinatenmeßverfahren unter Einsatz eines Koordinatenmeßgeräts |
US20050235506A1 (en) * | 2004-04-22 | 2005-10-27 | Eastman Kodak Company | Method for profilometer position registration |
US8711365B2 (en) | 2004-12-16 | 2014-04-29 | Werth Messtechnik Gmbh | Coordinate measuring device and method for measuring with a coordinate measuring device |
US20100014099A1 (en) * | 2004-12-16 | 2010-01-21 | Werth Messtechnik Gmbh | Coordinate measuring device and method for measuring with a coordinate measuring device |
DE102005011258A1 (de) * | 2005-03-11 | 2006-09-14 | Forschungszentrum Karlsruhe Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Messung von Strukturen eines Objekts |
JP4588525B2 (ja) * | 2005-05-02 | 2010-12-01 | 株式会社ミツトヨ | 画像プローブ |
JP4500729B2 (ja) * | 2005-05-11 | 2010-07-14 | キヤノン株式会社 | 表面形状測定装置 |
DE502006000556D1 (de) * | 2005-06-21 | 2008-05-15 | Bernina Int Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Minimierung von Einstichfehlern bei Stickvorrichtungen |
JP2007064670A (ja) * | 2005-08-29 | 2007-03-15 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 表面形状測定機 |
US7525276B2 (en) * | 2005-09-13 | 2009-04-28 | Romer, Inc. | Vehicle having an articulator |
DE102006002619B3 (de) * | 2006-01-19 | 2007-07-26 | Forschungszentrum Karlsruhe Gmbh | Vorrichtung zur Messung von Strukturen eines Objekts |
US7568293B2 (en) * | 2006-05-01 | 2009-08-04 | Paul Ferrari | Sealed battery for coordinate measurement machine |
US7805854B2 (en) | 2006-05-15 | 2010-10-05 | Hexagon Metrology, Inc. | Systems and methods for positioning and measuring objects using a CMM |
DE102006031580A1 (de) | 2006-07-03 | 2008-01-17 | Faro Technologies, Inc., Lake Mary | Verfahren und Vorrichtung zum dreidimensionalen Erfassen eines Raumbereichs |
US7652275B2 (en) * | 2006-07-28 | 2010-01-26 | Mitutoyo Corporation | Non-contact probe control interface |
US7508529B2 (en) * | 2006-07-31 | 2009-03-24 | Mitutoyo Corporation | Multi-range non-contact probe |
EP2092269B1 (de) * | 2006-11-20 | 2019-05-01 | Hexagon Technology Center GmbH | Koordinatenmessungsmaschine mit verbesserter verbindung |
WO2008080142A1 (en) * | 2006-12-22 | 2008-07-03 | Romer, Inc. | Improved joint axis for coordinate measurement machine |
JP5168985B2 (ja) * | 2007-03-30 | 2013-03-27 | 株式会社東京精密 | 測定ヘッド調整装置 |
DE102007000306B4 (de) * | 2007-05-08 | 2015-07-09 | Werth Messtechnik Gmbh | Koordinatenmessvorrichtung |
US7546689B2 (en) * | 2007-07-09 | 2009-06-16 | Hexagon Metrology Ab | Joint for coordinate measurement device |
WO2009038465A1 (en) * | 2007-09-17 | 2009-03-26 | Conoptica As | Rotating part position and change finding method and apparatus |
US7774949B2 (en) * | 2007-09-28 | 2010-08-17 | Hexagon Metrology Ab | Coordinate measurement machine |
US8122610B2 (en) * | 2008-03-28 | 2012-02-28 | Hexagon Metrology, Inc. | Systems and methods for improved coordination acquisition member comprising calibration information |
US7779548B2 (en) | 2008-03-28 | 2010-08-24 | Hexagon Metrology, Inc. | Coordinate measuring machine with rotatable grip |
US20090266445A1 (en) * | 2008-04-28 | 2009-10-29 | Lee-Cheng Chang | Work Bench for a Hand Jointer |
US7640674B2 (en) * | 2008-05-05 | 2010-01-05 | Hexagon Metrology, Inc. | Systems and methods for calibrating a portable coordinate measurement machine |
GB0809037D0 (en) * | 2008-05-19 | 2008-06-25 | Renishaw Plc | Video Probe |
US7908757B2 (en) | 2008-10-16 | 2011-03-22 | Hexagon Metrology, Inc. | Articulating measuring arm with laser scanner |
CN101769729A (zh) * | 2008-12-27 | 2010-07-07 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 量测数据动态提示系统及方法 |
US9551575B2 (en) | 2009-03-25 | 2017-01-24 | Faro Technologies, Inc. | Laser scanner having a multi-color light source and real-time color receiver |
DE102009015920B4 (de) | 2009-03-25 | 2014-11-20 | Faro Technologies, Inc. | Vorrichtung zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung |
US20100294399A1 (en) * | 2009-05-22 | 2010-11-25 | Bor-Yann Chuang | Working platform provided with a manual wood planer |
DE102009031323B4 (de) | 2009-06-30 | 2023-03-30 | M & H Inprocess Messtechnik Gmbh | Signalübertragungseinheit sowie Signalübertragungssystem |
US8104189B2 (en) * | 2009-06-30 | 2012-01-31 | Hexagon Metrology Ab | Coordinate measurement machine with vibration detection |
JP5350171B2 (ja) | 2009-10-13 | 2013-11-27 | 株式会社ミツトヨ | オフセット量校正方法および表面性状測定機 |
US8650939B2 (en) | 2009-10-13 | 2014-02-18 | Mitutoyo Corporation | Surface texture measuring machine and a surface texture measuring method |
JP5350170B2 (ja) * | 2009-10-13 | 2013-11-27 | 株式会社ミツトヨ | 表面性状測定機 |
JP2011085405A (ja) * | 2009-10-13 | 2011-04-28 | Mitsutoyo Corp | 表面性状測定機 |
JP5350169B2 (ja) | 2009-10-13 | 2013-11-27 | 株式会社ミツトヨ | オフセット量校正方法および表面性状測定機 |
US8099877B2 (en) | 2009-11-06 | 2012-01-24 | Hexagon Metrology Ab | Enhanced position detection for a CMM |
EP2322897A1 (de) * | 2009-11-11 | 2011-05-18 | Günther Battenberg | Optisches und mechanisches Verfahren und Vorrichtung zum Vermessen von Werkstücken |
US9529083B2 (en) | 2009-11-20 | 2016-12-27 | Faro Technologies, Inc. | Three-dimensional scanner with enhanced spectroscopic energy detector |
DE102009057101A1 (de) | 2009-11-20 | 2011-05-26 | Faro Technologies, Inc., Lake Mary | Vorrichtung zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung |
US9113023B2 (en) | 2009-11-20 | 2015-08-18 | Faro Technologies, Inc. | Three-dimensional scanner with spectroscopic energy detector |
US9210288B2 (en) | 2009-11-20 | 2015-12-08 | Faro Technologies, Inc. | Three-dimensional scanner with dichroic beam splitters to capture a variety of signals |
US20110213247A1 (en) * | 2010-01-08 | 2011-09-01 | Hexagon Metrology, Inc. | Articulated arm with imaging device |
US8630314B2 (en) | 2010-01-11 | 2014-01-14 | Faro Technologies, Inc. | Method and apparatus for synchronizing measurements taken by multiple metrology devices |
US8028432B2 (en) | 2010-01-20 | 2011-10-04 | Faro Technologies, Inc. | Mounting device for a coordinate measuring machine |
US8898919B2 (en) | 2010-01-20 | 2014-12-02 | Faro Technologies, Inc. | Coordinate measurement machine with distance meter used to establish frame of reference |
US9607239B2 (en) | 2010-01-20 | 2017-03-28 | Faro Technologies, Inc. | Articulated arm coordinate measurement machine having a 2D camera and method of obtaining 3D representations |
GB2489370B (en) * | 2010-01-20 | 2014-05-14 | Faro Tech Inc | Coordinate measuring machine having an illuminated probe end and method of operation |
US8875409B2 (en) | 2010-01-20 | 2014-11-04 | Faro Technologies, Inc. | Coordinate measurement machines with removable accessories |
WO2011090895A1 (en) | 2010-01-20 | 2011-07-28 | Faro Technologies, Inc. | Portable articulated arm coordinate measuring machine with multi-bus arm technology |
US8832954B2 (en) | 2010-01-20 | 2014-09-16 | Faro Technologies, Inc. | Coordinate measurement machines with removable accessories |
US9879976B2 (en) | 2010-01-20 | 2018-01-30 | Faro Technologies, Inc. | Articulated arm coordinate measurement machine that uses a 2D camera to determine 3D coordinates of smoothly continuous edge features |
US8677643B2 (en) | 2010-01-20 | 2014-03-25 | Faro Technologies, Inc. | Coordinate measurement machines with removable accessories |
US8615893B2 (en) | 2010-01-20 | 2013-12-31 | Faro Technologies, Inc. | Portable articulated arm coordinate measuring machine having integrated software controls |
US9628775B2 (en) | 2010-01-20 | 2017-04-18 | Faro Technologies, Inc. | Articulated arm coordinate measurement machine having a 2D camera and method of obtaining 3D representations |
US9163922B2 (en) | 2010-01-20 | 2015-10-20 | Faro Technologies, Inc. | Coordinate measurement machine with distance meter and camera to determine dimensions within camera images |
JP5410330B2 (ja) * | 2010-02-24 | 2014-02-05 | 株式会社ミツトヨ | スタイラス観察装置 |
USD643319S1 (en) | 2010-03-29 | 2011-08-16 | Hexagon Metrology Ab | Portable coordinate measurement machine |
DE102010020925B4 (de) | 2010-05-10 | 2014-02-27 | Faro Technologies, Inc. | Verfahren zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung |
US8127458B1 (en) | 2010-08-31 | 2012-03-06 | Hexagon Metrology, Inc. | Mounting apparatus for articulated arm laser scanner |
CN103003713B (zh) | 2010-09-08 | 2015-04-01 | 法罗技术股份有限公司 | 具有投影器的激光扫描器或激光跟踪器 |
US9168654B2 (en) | 2010-11-16 | 2015-10-27 | Faro Technologies, Inc. | Coordinate measuring machines with dual layer arm |
JP5693978B2 (ja) * | 2011-01-11 | 2015-04-01 | 株式会社ミツトヨ | 画像プローブの校正方法 |
JP5500653B2 (ja) * | 2011-01-21 | 2014-05-21 | 学校法人 中村産業学園 | 位置測定装置 |
US20120263344A1 (en) * | 2011-04-12 | 2012-10-18 | Stefan Viviroli | Measuring apparatus and method for determining at least of the crimp height of a conductor crimp |
JP5829884B2 (ja) * | 2011-10-18 | 2015-12-09 | 株式会社小坂研究所 | 触針式測定装置 |
EP3144632B1 (de) * | 2015-09-18 | 2021-08-11 | Hexagon Technology Center GmbH | Koordinatenmessmaschine mit einer kamera |
US8763267B2 (en) | 2012-01-20 | 2014-07-01 | Hexagon Technology Center Gmbh | Locking counterbalance for a CMM |
DE102012100609A1 (de) | 2012-01-25 | 2013-07-25 | Faro Technologies, Inc. | Vorrichtung zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung |
US9019511B2 (en) | 2012-02-27 | 2015-04-28 | Quality Vision International, Inc. | Optical probe for vision measurements |
US9069355B2 (en) | 2012-06-08 | 2015-06-30 | Hexagon Technology Center Gmbh | System and method for a wireless feature pack |
US8997362B2 (en) | 2012-07-17 | 2015-04-07 | Faro Technologies, Inc. | Portable articulated arm coordinate measuring machine with optical communications bus |
US8903516B2 (en) * | 2012-09-04 | 2014-12-02 | United Technologies Corporation | Visual alignment system and method for workpiece marking |
CN104603573B (zh) * | 2012-09-05 | 2017-07-04 | 赫克斯冈技术中心 | 具有自动地址分配的测量机通信 |
US10067231B2 (en) | 2012-10-05 | 2018-09-04 | Faro Technologies, Inc. | Registration calculation of three-dimensional scanner data performed between scans based on measurements by two-dimensional scanner |
DE102012109481A1 (de) | 2012-10-05 | 2014-04-10 | Faro Technologies, Inc. | Vorrichtung zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung |
US9513107B2 (en) | 2012-10-05 | 2016-12-06 | Faro Technologies, Inc. | Registration calculation between three-dimensional (3D) scans based on two-dimensional (2D) scan data from a 3D scanner |
US9250214B2 (en) | 2013-03-12 | 2016-02-02 | Hexagon Metrology, Inc. | CMM with flaw detection system |
US20150073584A1 (en) * | 2013-09-10 | 2015-03-12 | Andrew Goodale | Wireless vision systems and methods for use in harsh environments |
CN103727869A (zh) * | 2013-09-22 | 2014-04-16 | 雷孔成 | 袖珍三坐标测长仪 |
US9429416B2 (en) | 2013-12-06 | 2016-08-30 | Tesa Sa | Accessory for coordinate measuring machine |
US9163921B2 (en) | 2013-12-18 | 2015-10-20 | Hexagon Metrology, Inc. | Ultra-portable articulated arm coordinate measurement machine |
US9594250B2 (en) | 2013-12-18 | 2017-03-14 | Hexagon Metrology, Inc. | Ultra-portable coordinate measurement machine |
US9759540B2 (en) | 2014-06-11 | 2017-09-12 | Hexagon Metrology, Inc. | Articulating CMM probe |
WO2016015775A1 (de) * | 2014-07-31 | 2016-02-04 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Tastkopf für ein koordinatenmessgeraet |
US9784564B2 (en) * | 2014-12-19 | 2017-10-10 | Quality Vision International, Inc. | Deployment mechanism for optical measurement system |
DE102015208772B4 (de) | 2015-05-12 | 2023-09-28 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Koordinatenmessgerät mit einer Beleuchtung, über die zumindest eines der Tastelemente eines Tasters beleuchtet werden kann |
JP6530974B2 (ja) * | 2015-06-10 | 2019-06-12 | 株式会社ミツトヨ | 測定機の衝突防止装置 |
EP3147627B1 (de) | 2015-09-22 | 2023-04-26 | GF Machining Solutions AG | Optische messtaster-kalibration |
DE102015122844A1 (de) | 2015-12-27 | 2017-06-29 | Faro Technologies, Inc. | 3D-Messvorrichtung mit Batteriepack |
JP6692658B2 (ja) * | 2016-02-25 | 2020-05-13 | 株式会社ミツトヨ | 内壁測定装置及びオフセット量算出方法 |
JP6829062B2 (ja) * | 2016-11-29 | 2021-02-10 | ヘキサゴン・メトロジー株式会社 | 三次元測定装置 |
GB201702391D0 (en) | 2017-02-14 | 2017-03-29 | Renishaw Plc | Surface sensing device |
CN107199482B (zh) * | 2017-06-07 | 2023-07-14 | 广东长盈精密技术有限公司 | 电子装置、壳体侧孔的加工方法及其加工装置 |
US10776950B2 (en) * | 2018-04-02 | 2020-09-15 | Quality Vision International Inc. | Alignment system for imaging sensors in multiple orientations |
CH715610A1 (fr) * | 2018-12-04 | 2020-06-15 | Watch Out S A | Système et procédés de mesure du profil d'une pièce. |
JP7249846B2 (ja) * | 2019-03-28 | 2023-03-31 | ヘキサゴン・メトロジー株式会社 | Cnc加工装置のキャリブレーション方法 |
JP6788207B2 (ja) * | 2019-04-16 | 2020-11-25 | 株式会社東京精密 | 変位検出器、表面性状測定機、及び真円度測定機 |
US11168971B2 (en) * | 2019-04-19 | 2021-11-09 | The Boeing Company | Systems and methods for evaluating a surface of a bore formed in a structure |
DE102021115046A1 (de) | 2021-06-10 | 2022-12-15 | Hans-Georg Grün | Messkopf für ein taktiles Koordinatenmessgerät, Verfahren zum Vermessen eines Werkstücks mit einem taktilen Koordinatenmessgerät sowie Koordinatenmessgerät |
CN114184114A (zh) * | 2021-12-20 | 2022-03-15 | 河源市皓吉达通讯器材有限公司 | 一种微型轻质塑胶产品的接触式测量装置及方法 |
CN114858056A (zh) * | 2022-05-19 | 2022-08-05 | 华中科技大学 | 一种基于深孔测量装置自动大量测量小深孔孔深的方法 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2242355C2 (de) * | 1972-08-29 | 1974-10-17 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Elektronischer Mehrkoordinatentaster |
DE3348472C2 (de) * | 1983-06-03 | 1994-09-29 | Zeiss Carl Fa | Taststiftwechselhalter |
DD222391A1 (de) * | 1984-03-01 | 1985-05-15 | Zeiss Jena Veb Carl | Verfahren und anordnung zur optischen kontrolle mechanischer messobjektabtastung |
DE3806686A1 (de) * | 1988-03-02 | 1989-09-14 | Wegu Messtechnik | Mehrkoordinatenmess- und -pruefeinrichtung |
DE3809656A1 (de) * | 1988-03-22 | 1989-10-12 | Reinert Guido Georg | Fernsehokular fuer visuelle optische geraete |
DE3823993A1 (de) * | 1988-07-15 | 1990-01-18 | Zeiss Carl Fa | Verfahren zur koordinatenmessung an werkstuecken |
DE8915535U1 (de) * | 1989-03-02 | 1990-10-25 | Carl Zeiss, 89518 Heidenheim | Auflicht-Objektbeleuchtungseinrichtung |
GB8920447D0 (en) * | 1989-09-09 | 1989-10-25 | Renishaw Plc | Method and apparatus of datuming a coordinate positioning machine |
JPH03142301A (ja) * | 1989-10-30 | 1991-06-18 | Erionikusu:Kk | 走査トンネル顕微鏡 |
JPH04225173A (ja) * | 1990-12-27 | 1992-08-14 | Hioki Ee Corp | 回路基板検査装置 |
IT1245014B (it) * | 1991-01-29 | 1994-09-13 | Dea Spa | Sistema per la misura tridimensionale di superfici sculturate da matematizzare |
DE9115942U1 (de) * | 1991-12-21 | 1992-05-27 | Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V., 7000 Stuttgart | Antastvorrichtung für die Längenmeßtechnik |
-
1993
- 1993-08-13 DE DE4327250A patent/DE4327250C5/de not_active Expired - Fee Related
- 1993-09-17 EP EP93920757A patent/EP0614517B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1993-09-17 DE DE59305773T patent/DE59305773D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1993-09-17 US US08/244,497 patent/US5615489A/en not_active Expired - Lifetime
- 1993-09-17 WO PCT/EP1993/002523 patent/WO1994008205A1/de active IP Right Grant
- 1993-09-17 JP JP50863894A patent/JP3612068B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (43)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4425879A1 (de) * | 1994-07-09 | 1996-01-11 | Ges Zur Foerderung Angewandter Optik Optoelektronik Quantenelektronik & Spektroskopie Ev | Vorrichtung zum Ritzen von im wesentlichen einkristallinen Substraten |
DE19639780A1 (de) * | 1996-09-27 | 1998-04-02 | Leitz Brown & Sharpe Mestechni | Verfahren zur Durchführung von optischen und mechanischen Messungen in der Koordinatenmeßtechnik |
DE19805892A1 (de) * | 1997-06-12 | 1998-12-24 | Werth Messtechnik Gmbh | Verfahren und Anordnung zur Messung von Strukturen eines Objekts |
US6651351B1 (en) | 1997-06-12 | 2003-11-25 | Werth Messtechnik Gmbh | Coordinate measuring instrument with feeler element and optic sensor for measuring the position of the feeler |
DE19820307C2 (de) * | 1998-05-07 | 2003-01-02 | Mycrona Ges Fuer Innovative Me | Berührungslose Temperaturerfassung an einer Mehrkoordinatenmeß- und Prüfeinrichtung |
DE19820307A1 (de) * | 1998-05-07 | 1999-11-18 | Mycrona Ges Fuer Innovative Me | Berührungslose Temperaturerfassung an einer Mehrkoordinatenmeß- und Prüfeinrichtung |
DE19980859B4 (de) * | 1998-05-12 | 2006-07-13 | Mahr Gmbh | Mehrkoordinatenmess- und -prüfeinrichtung |
WO1999063301A1 (de) * | 1998-05-29 | 1999-12-09 | Werth Messtechnik Gmbh | Anordnung zur messung von strukturen eines objektes |
DE19847711A1 (de) * | 1998-05-29 | 2000-02-17 | Werth Messtechnik Gmbh | Anordnung zur Messung von Strukturen eines Objektes |
DE19847711B4 (de) * | 1998-05-29 | 2004-08-19 | Werth Messtechnik Gmbh | Anordnung zur Messung von Strukturen eines Objektes |
EP0965816A3 (de) * | 1998-06-17 | 2002-06-19 | MYCRONA Gesellschaft für innovative Messtechnik mbH | Vorrichtung zur Messung der geometrischen Struktur eines Objekts |
EP0965816A2 (de) | 1998-06-17 | 1999-12-22 | MYCRONA Gesellschaft für innovative Messtechnik mbH | Vorrichtung zur Messung der geometrischen Struktur eines Objekts |
DE19928518B4 (de) * | 1998-07-07 | 2013-10-10 | Faro Technologies, Inc. | Host-unabhängiger Gelenkarm |
US6154972A (en) * | 1998-07-16 | 2000-12-05 | Mitutoyo Corporation | Measuring machine with cleaning device |
DE29918341U1 (de) * | 1999-10-18 | 2001-03-01 | Tassakos Charalambos | Vorrichtung zur Positionsbestimmung von Meßpunkten eines Meßobjekts relativ zu einem Bezugssystem |
WO2003008905A1 (de) * | 2001-07-16 | 2003-01-30 | Werth Messtechnik Gmbh | Verfahren zur messung von oberflächeneigenschaften sowie koordinatenmessgerät |
WO2003106918A2 (de) * | 2002-06-15 | 2003-12-24 | Bundesrepublik Deutschland, vertreten durch das Bundesministerium für Wirtschaft und Arbeit, dieses vertreten durch den Präsidenten der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt | Oberflächenmessvorrichtung und verfahren zur mechanischen sowie berührungslosen-optischen untersuchung von objektoberflächen |
WO2003106918A3 (de) * | 2002-06-15 | 2004-03-18 | Bundesrep Deutschland | Oberflächenmessvorrichtung und verfahren zur mechanischen sowie berührungslosen-optischen untersuchung von objektoberflächen |
DE10240292A1 (de) * | 2002-08-31 | 2004-03-18 | Carl Mahr Holding Gmbh | Tasteinrichtung für vielfältige Messaufgaben |
EP1570234A2 (de) * | 2002-12-13 | 2005-09-07 | Werth Messtechnik GmbH | Verfahren zum scannenden messen einer kontur eines werkstücks |
WO2005100908A1 (fr) * | 2004-04-06 | 2005-10-27 | Kreon Technologies | Palpeur mixte, optique et mecanique et procede de recalage y afferant |
FR2868349A1 (fr) * | 2004-04-06 | 2005-10-07 | Kreon Technologies Sarl | Palpeur mixte, optique et mecanique et procede de recalage y afferant |
DE102005021645B4 (de) * | 2004-09-09 | 2016-09-01 | Werth Messtechnik Gmbh | Verfahren zum opto-taktilen Messen eines Objektes |
WO2007033811A1 (de) | 2005-09-20 | 2007-03-29 | Werth Messtechnik Gmbh | Verfahren und anordnung zur messung von strukturen eines objekts |
EP1777483A1 (de) * | 2005-10-19 | 2007-04-25 | Mitutoyo Corporation | Taststiftbeobachtungsgerät |
DE102010060833A1 (de) | 2009-11-26 | 2011-06-01 | Werth Messtechnik Gmbh | Verfahren und Anordnung zur taktil-optischen Bestimmung der Geometrie eines Messobjektes |
WO2011064339A2 (de) | 2009-11-26 | 2011-06-03 | Werth Messtechnik Gmbh | Verfahren und anordnung zur taktil-optischen bestimmung der geometrie eines messobjektes |
DE102010014812A1 (de) * | 2010-04-13 | 2011-10-13 | Eads Deutschland Gmbh | Verfahren zur Messung des Schwingungsverhaltens von elektronischen Bauteilen |
DE102010018819A1 (de) * | 2010-04-29 | 2011-11-03 | Hommel-Etamic Gmbh | Oberflächenmeßgerät |
DE102010018819B4 (de) * | 2010-04-29 | 2012-01-19 | Hommel-Etamic Gmbh | Oberflächenmeßgerät |
EP2463615A3 (de) * | 2010-12-08 | 2015-11-25 | Robert Bosch GmbH | Tastsystem zur Erfassung der Form, des Durchmessers und/oder der Rauhigkeit einer Oberfläche |
NL2006590C2 (nl) * | 2011-04-12 | 2012-10-15 | W L F M Donkers Beheer B V | Inrichting en werkwijze voor het bepalen van de dikte van de rhizoom van een plant. |
DE102011056805A1 (de) | 2011-12-21 | 2013-06-27 | Werth Messtechnik Gmbh | Verfahren zum opto-taktilen Messen eines Objektes sowie Koordinatenmessgerät |
DE102013208397B4 (de) * | 2013-05-07 | 2018-05-24 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Koordinatenmessgerät mit einem zusätzlichen, berührungslos messenden Oberflächenvermessungsgerät |
DE102013208397A1 (de) * | 2013-05-07 | 2014-11-13 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Koordinatenmessgerät mit einem zusätzlichen, berührungslos messenden Oberflächenvermessungsgerät |
DE102015013770B4 (de) | 2014-10-23 | 2020-06-04 | Cognex Corporation | System und Verfahren zum Kalibrieren eines Bildverarbeitungssystems bezüglich eines Messtasters |
US11159784B2 (en) | 2014-10-23 | 2021-10-26 | Cognex Corporation | System and method for calibrating a vision system with respect to a touch probe |
US11563931B2 (en) | 2014-10-23 | 2023-01-24 | Cognex Corporation | System and method for calibrating a vision system with respect to a touch probe |
DE102016100308A1 (de) * | 2016-01-11 | 2017-07-13 | Datron Ag | Verfahren zur Bestimmung von einer Referenzkoordinate eines Werkstücks und Bearbeitungsmaschine |
WO2017121585A1 (de) * | 2016-01-11 | 2017-07-20 | Datron Ag | Verfahren zur bestimmung von einer x-y-z-referenzkoordinate eines werkstücks und bearbeitungsmaschine |
US11045918B2 (en) | 2016-01-11 | 2021-06-29 | Datron Ag | Method for determining an X-Y-Z reference coordinate of a workpiece, and machine tool |
DE102016220127A1 (de) | 2016-10-14 | 2018-04-19 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zum Betrieb eines Koordinatenmessgeräts |
WO2019101439A1 (de) * | 2017-11-22 | 2019-05-31 | Siemens Aktiengesellschaft | Messsystem zur erfassung der räumlichen lage eines sicherungsstiftes und verfahren zum ausbohren eines sicherungsstiftes |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE4327250B4 (de) | 2006-08-24 |
DE59305773D1 (de) | 1997-04-17 |
WO1994008205A1 (de) | 1994-04-14 |
JPH07505958A (ja) | 1995-06-29 |
JP3612068B2 (ja) | 2005-01-19 |
EP0614517B1 (de) | 1997-03-12 |
US5615489A (en) | 1997-04-01 |
EP0614517A1 (de) | 1994-09-14 |
DE4327250C5 (de) | 2008-11-20 |
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