JP4386979B2 - 遠隔操作式測定システム - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、画像測定機、三次元測定機等の測定機を遠隔場所から操作する遠隔操作式測定システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
画像測定機や三次元測定機等が製造ラインに組み込まれたインライン型測定システムや、厳密に空調コントロールされたクリーンルーム等の測定環境で測定するシステムの場合、別途設けられた操作室から測定機を遠隔操作する遠隔操作式測定システムが構築されることがある。この種の遠隔操作システムでは、測定現場に配置された三次元測定機や画像測定機と、操作室に配置された遠隔操作装置とを通信回線や信号ケーブル等を介して相互に接続し、遠隔操作装置からの操作指示コマンドを測定機又はそのコントローラに転送して測定機を操作する。
【０００３】
測定機が画像測定機である場合、ワークの移動操作、光量等の測定条件設定、測定個所の指示等の操作指示は、画像測定機のカメラで撮像されたワーク画像に対して行う必要があり、遠隔操作装置は測定機から送信されたワーク画像を受信して、これを表示装置に表示する。また、測定機がタッチシグナルプローブを使用した三次元測定機である場合でも、マニュアル測定やリピート時のティーチング操作等でワーク及びその周辺を確認しながらプローブの移動操作を行う必要がある。このため、例えば三次元測定機の近傍位置にワーク及びその周辺を撮像するためのＣＣＤカメラ等を配置し、このカメラで捉えたワークの映像を遠隔操作装置の表示装置に表示して必要な操作を行うことがなされている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような従来の遠隔操作式測定システムでは、操作に必要なコマンドと共に多量の画像データを測定機と遠隔操作装置との間で転送する必要があり、測定機と遠隔操作装置との間の通信速度によっては、画像の更新が遅れ、測定操作がしづらくなって実用に耐えないという問題がある。
【０００５】
本発明は、このような点に鑑みなされたもので、測定機を遠隔操作する際の画像表示のリアルタイム性を高めて操作性の向上を図ることができる遠隔操作式測定システムを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る遠隔操作式測定システムは、被測定物を測定する測定機と、これを遠隔操作する遠隔操作手段とが所定の信号伝達媒体を介して接続された遠隔操作式測定システムであって、前記測定機又はその近傍位置に前記被測定物を撮像する撮像手段を設け、前記測定機は、前記撮像手段で得られた被測定物の画像データを圧縮する画像データ圧縮手段と、この画像データ圧縮手段で圧縮された圧縮画像データを前記信号伝達媒体を介して前記遠隔操作手段にリアルタイムで送信するデータ送信手段とを備え、前記遠隔操作手段は、前記圧縮画像データを前記信号伝達媒体を介して受信するデータ受信手段と、このデータ受信手段で受信された圧縮画像データを伸長する画像データ伸長手段と、この画像データ伸長手段で伸長された画像データをリアルタイムで表示する表示手段と、前記測定機に対して信号伝達媒体を介して操作指示を与える操作指示手段とを備えたことを特徴とする。
【０００７】
本発明によれば、測定機側で画像データを圧縮し、これを受信する遠隔操作手段側では、圧縮された画像データを伸長して表示するようにしているので、測定機から遠隔操作手段に伝送される画像データ量を削減することができる。このため、測定操作時の表示画面のリアルタイム性が確保されて測定操作がし易くなる。特にこの種の測定システムの場合、その測定操作に伴う画像の動きは、殆どがパンニング、ズームイン、ズームアウト、輝度変化等に限定される。これらの動きの場合、時間軸上での前後の画像データの相関は極めて高い。このことは、画像データの圧縮・伸長方式として、例えばＭＰＥＧ（Moving Picture Experts Group）のような方式を用いた場合、動きベクトル補償後の画像の双方向予測誤差が非常に少ないことを意味している。従って、この発明によれば、圧縮効率が極めて高くなる画像を取り扱っているため、伝送すべき画像データ量を大幅に削減することができ、リアルタイム性を十分に確保することができる。また、画像データの圧縮・伸長処理は、単純に送信側で画像データを一定間隔で間引きして、受信側で補間する処理としても良い。
【０００８】
測定機が画像測定機である場合、撮像手段で得られた被測定物の画像データを圧縮せずに記憶する画像データ格納手段と、この画像データ格納手段に格納された画像データに所定の処理を施して被測定物を測定する画像測定処理手段を設けるようにするとより好ましい。この場合、遠隔操作手段に転送される画像データは圧縮されたものであっても、実際に測定処理に供される画像データは、圧縮前の高細精画像データとなるので、測定精度が些かも低下することはない。
【０００９】
この場合、転送すべき画像データは、画像データ格納手段に一旦格納されることなく画像データ圧縮手段に供給されることが望ましい。このようにすると、画像表示のための画像データ格納手段からの読み出し動作が無くなる分、測定処理のための画像データ格納手段へのアクセス時間が増えて、測定処理の速度を向上させることができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面を参照して、この発明の好ましい実施の形態について説明する。
図１は、この発明の一実施例に係る遠隔操作式画像測定システムの構成を示すブロック図である。
このシステムは、例えばＬＡＮ、ＲＳ４２２、電話回線等、有線又は無線の信号伝達媒体を介して接続された画像測定機１及び遠隔操作端末２により構成されている。測定機１には撮像装置１０が付随している。撮像装置１０は、図示しないワーク（被測定物）を撮像するＣＣＤカメラ等の撮像手段であり、画像測定機１の一部としてクリーンルーム等の特定の測定環境に配置される。
【００１１】
画像測定機１は、次のように構成されている。即ち、撮像装置１０から出力されるビデオ信号は、ビデオデコーダ等の画像データ変換部１１でメモリ保存に適した画像データに変換され、フレームバッファ等の画像データ格納部１２に格納される。画像データ格納部１２に格納された画像データは、順次読み出されて画像データ圧縮部１３に供給される。画像データ圧縮部１３は、入力された画像データにＭＰＥＧエンコード又は間引き等のデータ圧縮処理を施し、そのデータ量を削減する。圧縮画像データは、データ通信部１４（データ送信手段）を介して遠隔操作端末２に伝送される。画像データ格納部１２に格納された圧縮前の画像データは、画像測定処理部１５での測定処理に供される。遠隔操作端末２から伝送された測定指示は、データ通信部１４で受信され、画像測定処理部１５に供給される。また、画像測定処理部１５は、画像測定機１に付随する操作指示部１６からの指示も受け付ける。
【００１２】
一方、遠隔操作端末２は次のように構成されている。画像測定機１から送信されてきた圧縮画像データはデータ通信部２１（データ受信手段）で受信され、
画像データ伸長部２２に供給される。画像データ伸長部は、圧縮画像データに対してＭＰＥＧデコード又は直線補間処理を施し、画像データをもとの画素数に伸長する。伸長された画像データは、画像表示部２３で表示される。操作指示部２４を介して入力された操作指示は、データ通信部２１を介して画像測定機１に転送される。また、これを受けて画像測定機１の画像測定処理部１５による測定処理で得られた測定結果は、データ通信部１４を介して遠隔操作端末２に送られ、遠隔操作端末２の測定結果表示部２５で表示される。
【００１３】
このように構成された測定システムによれば、実際の画像測定時は、画像データ格納部１２に格納された高精細データを用いて画像測定処理部１５によってワークの寸法測定が行われるので、測定の精度劣化は無い。また、測定指示を与えるためのワークの画像については、画像データ圧縮部１３で圧縮されたうえで転送されるので、通信回線の速度が低速でも、画像表示部２３でのリアルタイムの表示が可能になる。従って、オペレータは、画像表示部２３に表示された画像を参照しながら、操作指示部２４を操作して測定個所の指示、測定条件の設定、測定開始の操作等を支障無く行うことができる。
【００１４】
図２は、本発明の第２の実施例に係る遠隔操作式画像測定システムを示すブロック図である。この実施例が先の実施例と異なる点は、画像データ変換部１１から出力される画像データが画像データ格納部１２を介さずに直接画像データ圧縮部１３に供給されている点である。
この実施例によれば、画像データ格納部１２に対するアクセスと、画像データの圧縮伝送処理とが完全に分離されているので、遠隔操作端末２の画像表示部２３での表示更新処理に際して、画像データ格納部１２からの読み出し動作は一切伴わない。このため、画像表示部２３の表示更新の間も、画像測定処理部１５が画像データ格納部１２をアクセスして測定処理を実行することができる。このため、測定処理をスムーズに実行させることができる。
また、この発明によれば、画像データを画像データ格納部１２に格納し、読み出すという処理を介さずに画像データが画像データ圧縮部１３に供給されるので、画像表示部２３での表示のリアルタイム性が先の実施例よりも増すという利点もある。
【００１５】
図３は、この発明の第３の実施例に係る遠隔操作式測定システムのブロック図である。この実施例が図２の実施例と異なる点は、画像測定用の画像データ変換部１１に加えて、画像データ圧縮用の画像データ変換部１７を設け、撮像装置１０から供給されるビデオ信号を信号分配部１８で画像データ変換部１１，１７にそれぞれ分配するようにしている点である。
この実施例では、信号分配部１８→画像データ変換部１１→画像データ格納部１２→画像測定処理部１５からなる画像測定用データ経路と、信号分配部１８→画像データ変換部１７→画像データ圧縮部１３→データ通信部１４からなる画像表示用データ経路とが独立しているため、装置の構成が簡単になる。例えば信号分配部１８、画像データ変換部１７及び画像データ圧縮部１３の機能を持つ拡張ボード１９を画像測定機１に装着するようにすれば、遠隔操作端末２に送信される画像表示用の画像データを、画像測定機１のＣＰＵに負担をかけずに常に送信することが可能になる。
【００３０】
なおこの発明において、画像データ圧縮手段としては、上述したＭＰＥＧの他に、Motion ＪＰＥＧ，Microsoft社のVideo 1及びＲＬＥ，Intel社のIndeo，Radius社のCinepak等を用いることもでき、この場合にも上記と同様の効果が得られる。
【００３１】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、測定機側で画像データを圧縮し、これを受信する遠隔操作手段側では、圧縮された画像データを伸長して表示するようにしているので、測定機から遠隔操作手段に伝送される画像データ量を削減することができる。このため、測定操作時の表示画面のリアルタイム性が確保されて測定操作がし易くなるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の第１の実施例に係る遠隔操作式画像測定システムのブロック図である。
【図２】 本発明の第２の実施例に係る遠隔操作式画像測定システムのブロック図である。
【図３】 本発明の第３の実施例に係る遠隔操作式画像測定システムのブロック図である。
【符号の説明】
１…画像測定機、２…遠隔操作端末、１１，１７…画像データ変換部、１２…画像データ格納部、１３…画像データ圧縮部、１４，２１…データ通信部、１５…画像測定処理部、１６，２４…操作指示部、１８…信号分配部、２２…画像データ伸長部、２３…画像表示部、２５…測定結果表示部。
【発明の属する技術分野】
本発明は、画像測定機、三次元測定機等の測定機を遠隔場所から操作する遠隔操作式測定システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
画像測定機や三次元測定機等が製造ラインに組み込まれたインライン型測定システムや、厳密に空調コントロールされたクリーンルーム等の測定環境で測定するシステムの場合、別途設けられた操作室から測定機を遠隔操作する遠隔操作式測定システムが構築されることがある。この種の遠隔操作システムでは、測定現場に配置された三次元測定機や画像測定機と、操作室に配置された遠隔操作装置とを通信回線や信号ケーブル等を介して相互に接続し、遠隔操作装置からの操作指示コマンドを測定機又はそのコントローラに転送して測定機を操作する。
【０００３】
測定機が画像測定機である場合、ワークの移動操作、光量等の測定条件設定、測定個所の指示等の操作指示は、画像測定機のカメラで撮像されたワーク画像に対して行う必要があり、遠隔操作装置は測定機から送信されたワーク画像を受信して、これを表示装置に表示する。また、測定機がタッチシグナルプローブを使用した三次元測定機である場合でも、マニュアル測定やリピート時のティーチング操作等でワーク及びその周辺を確認しながらプローブの移動操作を行う必要がある。このため、例えば三次元測定機の近傍位置にワーク及びその周辺を撮像するためのＣＣＤカメラ等を配置し、このカメラで捉えたワークの映像を遠隔操作装置の表示装置に表示して必要な操作を行うことがなされている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような従来の遠隔操作式測定システムでは、操作に必要なコマンドと共に多量の画像データを測定機と遠隔操作装置との間で転送する必要があり、測定機と遠隔操作装置との間の通信速度によっては、画像の更新が遅れ、測定操作がしづらくなって実用に耐えないという問題がある。
【０００５】
本発明は、このような点に鑑みなされたもので、測定機を遠隔操作する際の画像表示のリアルタイム性を高めて操作性の向上を図ることができる遠隔操作式測定システムを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る遠隔操作式測定システムは、被測定物を測定する測定機と、これを遠隔操作する遠隔操作手段とが所定の信号伝達媒体を介して接続された遠隔操作式測定システムであって、前記測定機又はその近傍位置に前記被測定物を撮像する撮像手段を設け、前記測定機は、前記撮像手段で得られた被測定物の画像データを圧縮する画像データ圧縮手段と、この画像データ圧縮手段で圧縮された圧縮画像データを前記信号伝達媒体を介して前記遠隔操作手段にリアルタイムで送信するデータ送信手段とを備え、前記遠隔操作手段は、前記圧縮画像データを前記信号伝達媒体を介して受信するデータ受信手段と、このデータ受信手段で受信された圧縮画像データを伸長する画像データ伸長手段と、この画像データ伸長手段で伸長された画像データをリアルタイムで表示する表示手段と、前記測定機に対して信号伝達媒体を介して操作指示を与える操作指示手段とを備えたことを特徴とする。
【０００７】
本発明によれば、測定機側で画像データを圧縮し、これを受信する遠隔操作手段側では、圧縮された画像データを伸長して表示するようにしているので、測定機から遠隔操作手段に伝送される画像データ量を削減することができる。このため、測定操作時の表示画面のリアルタイム性が確保されて測定操作がし易くなる。特にこの種の測定システムの場合、その測定操作に伴う画像の動きは、殆どがパンニング、ズームイン、ズームアウト、輝度変化等に限定される。これらの動きの場合、時間軸上での前後の画像データの相関は極めて高い。このことは、画像データの圧縮・伸長方式として、例えばＭＰＥＧ（Moving Picture Experts Group）のような方式を用いた場合、動きベクトル補償後の画像の双方向予測誤差が非常に少ないことを意味している。従って、この発明によれば、圧縮効率が極めて高くなる画像を取り扱っているため、伝送すべき画像データ量を大幅に削減することができ、リアルタイム性を十分に確保することができる。また、画像データの圧縮・伸長処理は、単純に送信側で画像データを一定間隔で間引きして、受信側で補間する処理としても良い。
【０００８】
測定機が画像測定機である場合、撮像手段で得られた被測定物の画像データを圧縮せずに記憶する画像データ格納手段と、この画像データ格納手段に格納された画像データに所定の処理を施して被測定物を測定する画像測定処理手段を設けるようにするとより好ましい。この場合、遠隔操作手段に転送される画像データは圧縮されたものであっても、実際に測定処理に供される画像データは、圧縮前の高細精画像データとなるので、測定精度が些かも低下することはない。
【０００９】
この場合、転送すべき画像データは、画像データ格納手段に一旦格納されることなく画像データ圧縮手段に供給されることが望ましい。このようにすると、画像表示のための画像データ格納手段からの読み出し動作が無くなる分、測定処理のための画像データ格納手段へのアクセス時間が増えて、測定処理の速度を向上させることができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面を参照して、この発明の好ましい実施の形態について説明する。
図１は、この発明の一実施例に係る遠隔操作式画像測定システムの構成を示すブロック図である。
このシステムは、例えばＬＡＮ、ＲＳ４２２、電話回線等、有線又は無線の信号伝達媒体を介して接続された画像測定機１及び遠隔操作端末２により構成されている。測定機１には撮像装置１０が付随している。撮像装置１０は、図示しないワーク（被測定物）を撮像するＣＣＤカメラ等の撮像手段であり、画像測定機１の一部としてクリーンルーム等の特定の測定環境に配置される。
【００１１】
画像測定機１は、次のように構成されている。即ち、撮像装置１０から出力されるビデオ信号は、ビデオデコーダ等の画像データ変換部１１でメモリ保存に適した画像データに変換され、フレームバッファ等の画像データ格納部１２に格納される。画像データ格納部１２に格納された画像データは、順次読み出されて画像データ圧縮部１３に供給される。画像データ圧縮部１３は、入力された画像データにＭＰＥＧエンコード又は間引き等のデータ圧縮処理を施し、そのデータ量を削減する。圧縮画像データは、データ通信部１４（データ送信手段）を介して遠隔操作端末２に伝送される。画像データ格納部１２に格納された圧縮前の画像データは、画像測定処理部１５での測定処理に供される。遠隔操作端末２から伝送された測定指示は、データ通信部１４で受信され、画像測定処理部１５に供給される。また、画像測定処理部１５は、画像測定機１に付随する操作指示部１６からの指示も受け付ける。
【００１２】
一方、遠隔操作端末２は次のように構成されている。画像測定機１から送信されてきた圧縮画像データはデータ通信部２１（データ受信手段）で受信され、
画像データ伸長部２２に供給される。画像データ伸長部は、圧縮画像データに対してＭＰＥＧデコード又は直線補間処理を施し、画像データをもとの画素数に伸長する。伸長された画像データは、画像表示部２３で表示される。操作指示部２４を介して入力された操作指示は、データ通信部２１を介して画像測定機１に転送される。また、これを受けて画像測定機１の画像測定処理部１５による測定処理で得られた測定結果は、データ通信部１４を介して遠隔操作端末２に送られ、遠隔操作端末２の測定結果表示部２５で表示される。
【００１３】
このように構成された測定システムによれば、実際の画像測定時は、画像データ格納部１２に格納された高精細データを用いて画像測定処理部１５によってワークの寸法測定が行われるので、測定の精度劣化は無い。また、測定指示を与えるためのワークの画像については、画像データ圧縮部１３で圧縮されたうえで転送されるので、通信回線の速度が低速でも、画像表示部２３でのリアルタイムの表示が可能になる。従って、オペレータは、画像表示部２３に表示された画像を参照しながら、操作指示部２４を操作して測定個所の指示、測定条件の設定、測定開始の操作等を支障無く行うことができる。
【００１４】
図２は、本発明の第２の実施例に係る遠隔操作式画像測定システムを示すブロック図である。この実施例が先の実施例と異なる点は、画像データ変換部１１から出力される画像データが画像データ格納部１２を介さずに直接画像データ圧縮部１３に供給されている点である。
この実施例によれば、画像データ格納部１２に対するアクセスと、画像データの圧縮伝送処理とが完全に分離されているので、遠隔操作端末２の画像表示部２３での表示更新処理に際して、画像データ格納部１２からの読み出し動作は一切伴わない。このため、画像表示部２３の表示更新の間も、画像測定処理部１５が画像データ格納部１２をアクセスして測定処理を実行することができる。このため、測定処理をスムーズに実行させることができる。
また、この発明によれば、画像データを画像データ格納部１２に格納し、読み出すという処理を介さずに画像データが画像データ圧縮部１３に供給されるので、画像表示部２３での表示のリアルタイム性が先の実施例よりも増すという利点もある。
【００１５】
図３は、この発明の第３の実施例に係る遠隔操作式測定システムのブロック図である。この実施例が図２の実施例と異なる点は、画像測定用の画像データ変換部１１に加えて、画像データ圧縮用の画像データ変換部１７を設け、撮像装置１０から供給されるビデオ信号を信号分配部１８で画像データ変換部１１，１７にそれぞれ分配するようにしている点である。
この実施例では、信号分配部１８→画像データ変換部１１→画像データ格納部１２→画像測定処理部１５からなる画像測定用データ経路と、信号分配部１８→画像データ変換部１７→画像データ圧縮部１３→データ通信部１４からなる画像表示用データ経路とが独立しているため、装置の構成が簡単になる。例えば信号分配部１８、画像データ変換部１７及び画像データ圧縮部１３の機能を持つ拡張ボード１９を画像測定機１に装着するようにすれば、遠隔操作端末２に送信される画像表示用の画像データを、画像測定機１のＣＰＵに負担をかけずに常に送信することが可能になる。
【００３０】
なおこの発明において、画像データ圧縮手段としては、上述したＭＰＥＧの他に、Motion ＪＰＥＧ，Microsoft社のVideo 1及びＲＬＥ，Intel社のIndeo，Radius社のCinepak等を用いることもでき、この場合にも上記と同様の効果が得られる。
【００３１】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、測定機側で画像データを圧縮し、これを受信する遠隔操作手段側では、圧縮された画像データを伸長して表示するようにしているので、測定機から遠隔操作手段に伝送される画像データ量を削減することができる。このため、測定操作時の表示画面のリアルタイム性が確保されて測定操作がし易くなるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の第１の実施例に係る遠隔操作式画像測定システムのブロック図である。
【図２】 本発明の第２の実施例に係る遠隔操作式画像測定システムのブロック図である。
【図３】 本発明の第３の実施例に係る遠隔操作式画像測定システムのブロック図である。
【符号の説明】
１…画像測定機、２…遠隔操作端末、１１，１７…画像データ変換部、１２…画像データ格納部、１３…画像データ圧縮部、１４，２１…データ通信部、１５…画像測定処理部、１６，２４…操作指示部、１８…信号分配部、２２…画像データ伸長部、２３…画像表示部、２５…測定結果表示部。
Claims (4)
- 被測定物を測定する測定機と、これを遠隔操作する遠隔操作手段とが所定の信号伝達媒体を介して接続された遠隔操作式測定システムであって、
前記測定機は、前記被測定物を撮像する撮像手段と、前記撮像手段で得られた前記被測定物の画像データを圧縮せずに記憶する画像データ格納手段と、この画像データ格納手段に格納された画像データに所定の処理を施して前記被測定物の測定点の座標を測定する画像測定処理手段と、前記撮像手段で得られた被測定物の画像データを圧縮する画像データ圧縮手段と、この画像データ圧縮手段で圧縮された圧縮画像データを前記信号伝達媒体を介して前記遠隔操作手段にリアルタイムで送信するデータ送信手段とを備え、
前記遠隔操作手段は、前記信号伝達媒体を介して送られた前記圧縮画像データを受信するデータ受信手段と、このデータ受信手段で受信された圧縮画像データを伸長する画像データ伸長手段と、この画像データ伸長手段で伸長された画像データをリアルタイムで表示する表示手段と、前記測定機に対して前記信号伝達媒体を介して操作指示を与える操作指示手段とを備えた
ことを特徴とする遠隔操作式測定システム。 - 前記撮像手段で得られた被測定物の画像データは、前記画像データ格納手段に一旦記憶されることなく前記画像データ圧縮手段で圧縮されて前記遠隔操作手段に送信されることを特徴とする請求項１記載の遠隔操作式測定システム。
- 前記撮像手段で得られた被測定物の画像データを、前記画像データ圧縮手段への圧縮用データと、前記画像データ格納手段に格納される測定用データとに分配する分配手段を更に備えたことを特徴とする請求項１記載の遠隔操作式測定システム。
- 前記画像データ圧縮手段はＭＰＥＧエンコーダであり、前記画像データ伸長手段はＭＰＥＧデコーダであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項記載の遠隔操作式測定システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36498498A JP4386979B2 (ja) | 1998-08-25 | 1998-12-22 | 遠隔操作式測定システム |
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| JP23826298 | 1998-08-25 | ||
| JP10-238262 | 1998-08-25 | ||
| JP36498498A JP4386979B2 (ja) | 1998-08-25 | 1998-12-22 | 遠隔操作式測定システム |
Related Child Applications (1)
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Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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| JP2000161945A JP2000161945A (ja) | 2000-06-16 |
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| JP36498498A Expired - Fee Related JP4386979B2 (ja) | 1998-08-25 | 1998-12-22 | 遠隔操作式測定システム |
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| JP4689890B2 (ja) * | 2001-02-08 | 2011-05-25 | 株式会社ミツトヨ | 表面性状測定装置 |
| JP2004147005A (ja) | 2002-10-23 | 2004-05-20 | Leader Electronics Corp | 映像信号レベルを測定する測定器、及び、映像信号レベルを表示する表示装置 |
| JP5528067B2 (ja) * | 2009-11-20 | 2014-06-25 | 株式会社ミツトヨ | 三次元測定機 |
| JP6113691B2 (ja) * | 2014-09-24 | 2017-04-12 | 株式会社小野測器 | センサ装置、処理装置、センサシステム及び物理量の出力方法 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPH06161533A (ja) * | 1992-11-25 | 1994-06-07 | Sanyo Electric Co Ltd | ３次元測定装置の制御方式 |
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