JP2004177192A - 欠陥高さ検査装置及び欠陥高さ検査方法 - Google Patents
欠陥高さ検査装置及び欠陥高さ検査方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004177192A JP2004177192A JP2002341745A JP2002341745A JP2004177192A JP 2004177192 A JP2004177192 A JP 2004177192A JP 2002341745 A JP2002341745 A JP 2002341745A JP 2002341745 A JP2002341745 A JP 2002341745A JP 2004177192 A JP2004177192 A JP 2004177192A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- defect
- stylus
- area
- substrate surface
- height
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【解決手段】基板表面に接触する触針と、前記基板表面における凸状欠陥を含む欠陥の位置情報を取得し、当該欠陥の位置情報に基づく前記基板表面の掃引エリアにおいて前記触針を掃引するとともに前記基板表面における欠陥の高さを測定する検査制御手段と、を備える欠陥高さ検査装置であって、前記検査制御手段により制御されつつ前記掃引エリア及びその周辺エリアを撮像する撮像手段と、前記検査制御手段により制御されつつ前記撮像された掃引エリア及びその周辺エリア内の画像を表示する表示手段と、ユーザからの前記触針の位置補正指示を受け付ける補正指示受付手段と、を備え、前記検査制御手段は、前記位置補正指示が受け付けられた場合には、当該位置補正指示に従って前記触針の位置を補正する。
【選択図】 図6
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板表面における凸状欠陥を含む欠陥の位置情報を取得し、当該欠陥の位置情報に基づく基板表面の掃引エリアにおいて当該基板表面に接触した触針を掃引するとともに基板表面における欠陥の高さを測定する欠陥高さ検査装置及び方法の技術分野に関する。
【0002】
【従来の技術】
【特許文献1】
特開平10−68618号公報
カラーフィルタ(以下、「CF」という)等の基板表面に発生する突起、異物等の凸状欠陥は、その高さによって、CFを液晶パネルに組込んだ際、画素を潰してしまうショート欠陥を引起す。そのため、従来から、かかる凸状欠陥の高さを測定し、CFの良否を判定することが行われている。この凸状欠陥の高さを測定する方法として、例えば、特開平10−68618号公報には、触針法が開示されている。このような触針法では、図9に一例として示すように、基板表面を触針で掃引して、その触針変位量、即ち、欠陥の高さを測定し、その高さが規定値(例えば、5μm〜8μm)を超えた場合に、不良判定がされるようになっている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来の触針法では、例えば、予め、外観検査機によってCFの基板表面における凸状欠陥、汚れ及び傷等の欠陥が検出され、その欠陥の位置情報に基づいて欠陥に対する触針の位置決め及び掃引するエリアの決定が自動的に行われ、自動的にこれらの欠陥の高さが測定されていた。
【0004】
しかしながら、このように、触針の位置決めが自動的に行われるため、何らかの要因で位置ずれが生じ、触針により掃引するエリアと欠陥の位置とがずれた場合、上記凸状欠陥が存在するCFが流出するという問題が生じてしまう。
【0005】
そこで、本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、触針により掃引するエリアと欠陥の位置とがずれた場合にも、その位置ずれを効果的に補正することが可能な欠陥高さ検査装置及び欠陥高さ検査方法を提供することを目的する。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項1に記載の発明は、基板表面に接触する触針と、前記基板表面における凸状欠陥を含む欠陥の位置情報を取得し、当該欠陥の位置情報に基づく前記基板表面の掃引エリアにおいて前記触針を掃引するとともに前記基板表面における欠陥の高さを測定する検査制御手段と、を備える欠陥高さ検査装置であって、前記検査制御手段により制御されつつ前記掃引エリア及びその周辺エリアを撮像する撮像手段と、前記検査制御手段により制御されつつ前記撮像された掃引エリア及びその周辺エリア内の画像を表示する表示手段と、ユーザからの前記触針の位置補正指示を受け付ける補正指示受付手段と、を備え、前記検査制御手段は、前記位置補正指示が受け付けられた場合には、当該位置補正指示に従って前記触針の位置を補正することを特徴とする。
【0007】
請求項1に記載の発明によれば、凸状欠陥が、欠陥の位置情報に基づく基板表面の掃引エリアから周辺エリアにずれた場合にも、その位置ずれを効果的に補正しつつ凸状欠陥の高さを測定することができる。
【0008】
請求項2に記載の発明は、基板表面に接触する触針と、前記基板表面における凸状欠陥を含む欠陥の位置情報を取得し、当該欠陥の位置情報に基づく前記基板表面の掃引エリアにおいて前記触針を掃引するとともに前記基板表面における欠陥の高さを測定する検査制御手段と、を備える欠陥高さ検査装置であって、前記検査制御手段により制御されつつ掃引エリア及びその周辺エリアを撮像する撮像手段と、前記検査制御手段により制御されつつ前記撮像された掃引エリア及びその周辺エリア内の画像を表示する表示手段と、ユーザからの欠陥探索指示を受け付ける探索指示受付手段と、前記ユーザからの欠陥探索停止指示を受け付ける停止指示受付手段と、を備え、前記検査制御手段は、前記欠陥探索指示が受け付けられた場合には、当該欠陥探索指示に従って前記掃引エリア及びその周辺エリア外の外部エリアを撮像すべく前記撮像手段を移動させ、前記欠陥探索停止指示が受け付けられた場合には、前記撮像手段の移動を停止することを特徴とする。
【0009】
請求項2に記載の発明によれば、凸状欠陥が、欠陥の位置情報に基づく基板表面の掃引エリアから外部エリアにずれた場合にも、その凸状欠陥を探索し、その位置ずれを効果的に補正しつつ凸状欠陥の高さを測定することができる。
【0010】
請求項3に記載の発明は、請求項2に記載の欠陥高さ検査装置において、ユーザからの前記触針の位置補正指示を受け付ける補正指示受付手段と、を備え、前記検査制御手段は、前記位置補正指示が受け付けられた場合には、当該位置補正指示に従って前記触針の位置を補正することを特徴とする。
【0011】
請求項3に記載の発明によれば、凸状欠陥の探索後、凸状欠陥が、基板表面の周辺エリアに存在している場合にも、その位置ずれを効果的に補正しつつ凸状欠陥の高さを測定することができる。
【0012】
請求項4に記載の発明は、基板表面における凸状欠陥を含む欠陥の位置情報を取得し、当該欠陥の位置情報に基づく前記基板表面の掃引エリアにおいて当該基板表面に接触した触針を掃引するとともに前記基板表面における欠陥の高さを測定する欠陥高さ検査方法において、前記掃引エリア及びその周辺エリアを撮像し、当該撮像された掃引エリア及びその周辺エリア内の画像を表示し、ユーザから前記触針の位置補正指示が受け付けられた場合には、当該位置補正指示に従って前記触針の位置を補正することを特徴とする。
【0013】
請求項4に記載の発明によれば、凸状欠陥が、欠陥の位置情報に基づく基板表面の掃引エリアから周辺エリアにずれた場合にも、その位置ずれを効果的に補正しつつ凸状欠陥の高さを測定することができる。
【0014】
請求項5に記載の発明は、基板表面における凸状欠陥を含む欠陥の位置情報を取得し、当該欠陥の位置情報に基づく前記基板表面の掃引エリアにおいて当該基板表面に接触した触針を掃引するとともに前記基板表面における欠陥の高さを測定する欠陥高さ検査方法において、前記掃引エリア及びその周辺エリアを撮像し、当該撮像された掃引エリア及びその周辺エリア内の画像を表示し、ユーザから欠陥探索指示が受け付けられた場合には、当該欠陥探索指示に従って前記掃引エリア及びその周辺エリア外の外部エリアを撮像すべく前記撮像手段を移動させ、前記ユーザから欠陥探索停止指示が受け付けられた場合には、前記撮像手段の移動を停止することを特徴とする。
【0015】
請求項5に記載の発明によれば、凸状欠陥が、欠陥の位置情報に基づく基板表面の掃引エリアから外部エリアにずれた場合にも、その凸状欠陥を探索し、その位置ずれを効果的に補正しつつ凸状欠陥の高さを測定することができる。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
【0017】
先ず、図1乃至図5を参照して、本実施形態における欠陥高さ検査装置の構成および機能等を説明する。
【0018】
図1は、本実施形態における欠陥高さ検査装置の概要構成例を示す図である。また、図2は、CF基板表面に存在する突起、異物等の凸状欠陥3の一例を示す図である。なお、本実施形態においては、CFを例にとって説明するが、これに限定されるものではない。なお、以下の説明で、単に、欠陥という場合には、凸状欠陥、汚れ及び傷等が含まれるものとする。
【0019】
図1に示すように、欠陥高さ検査装置1は、CF基板表面2に接触する触針11と、触針11を送る(移動させる)とともに、その触針11の垂直方向の変位量を検出する送りユニット12と、触針11の欠陥の高さ測定を行うとともに、欠陥高さ検査装置1全体を制御する演算ユニット13と、掃引エリア及びその周辺エリアを撮像する撮像手段としてのカメラ14と、撮像された掃引エリア及びその周辺エリア内の画像を表示する表示手段としてのディスプレイ15と、ユーザからの各種操作指示を受け付ける各種操作ボタンを有する操作パネル16と、を含んで構成されている。なお、本実施形態において、上記送りユニット12及び演算ユニット13は、本発明の検査制御手段として機能する。
【0020】
図3は、触針11を斜め上から見た図である。図3に示すように、触針11の先端部11aは、掃引方向に対して一定の幅Wを有し、また、触針11の先端部11aは半径Rの曲率を有している。この触針11には、例えば、ダイヤモンド、サファイアを適用することができる。なお、ステンレス、タングステン等の硬質の金属を適用するようにしてもかまわない。
【0021】
また、触針11は、図1に示すように、アーム11bに接合されていおり、当該アーム11bは、送りユニット12に摺動可能に設けられている。また、触針11は、アーム11bとともに、送りユニット12の上下左右の移動に伴い移動するようになっている。
【0022】
送りユニット12は、図示しないが、モータ、ギア等を含んで構成された駆動制御部を備えている。該駆動制御部は、演算ユニット13からの指示に従い、CF基板表面2上において、送りユニット12を上下左右に移動させる。また、該駆動制御部は、演算ユニット13からの指示に従い、図3に示す掃引方向にアーム11bを摺動させるようになっている。
【0023】
また、送りユニット12は、触針11の垂直方向の変位量を検出し、変位量検出信号を演算ユニット13に出力するようになっている。
【0024】
演算ユニット13は、図示しないが、CPU、ROM及びRAM等を備えている。該演算ユニット13は、例えば、ROMに記憶されたプログラムを実行することにより、触針11の位置決め処理、触針11の掃引処理、欠陥高さ測定及び判定処理を行うようになっている。
【0025】
演算ユニット13は、例えば、ROMに記憶されたプログラムを実行することにより、触針11の位置決め処理、触針11の掃引処理、欠陥高さ測定及び判定処理を行うようになっている。
【0026】
触針11の位置決め処理では、演算ユニット13が、CF基板表面2における欠陥の位置情報を、例えば、外観検査機から入力して取得し、当該欠陥の位置情報に基づいて欠陥に対する触針11の位置決めを行い、送りユニット12の駆動制御部に対しその指示を行う。かかる自動的な位置決めによってCF基板表面2において欠陥が存在するであろう掃引エリアが決まることになる。つまり、この掃引エリアは、図3に示す触針11の先端部11aの幅W及び掃引方向から決まるエリアである。
【0027】
ここで、外観検査機は、CF基板表面2を撮像しその画像データから、自動的に若しくはオペレータにより欠陥の位置を検出し、その情報を、例えば、専用ケーブルを介して演算ユニット13に供給するようになっている。なお、欠陥の位置情報の検出方法は、これに限定されるものではなく、CF基板表面2に光を照射し、その反射光の散乱などを利用して欠陥の位置を検出し、その情報を演算ユニット13に供給するようにしてもよい。
【0028】
触針11の位置決め後に実行される触針11の掃引処理では、演算ユニット13が、送りユニット12の駆動制御部に対し触針11の掃引指示を行う。該駆動制御部は、かかる指示に従い触針11の掃引開始位置まで送りユニット12を移動させ下降させる。これにより、触針11も移動、下降して、その先端部11aがCF基板表面2に接触することになる。続いて、該駆動制御部は、CF基板表面2の掃引エリアにおいて触針11を掃引するべく、図3に示す掃引方向にアーム11bを摺動させることになる。
【0029】
図4は、CF基板表面2において触針11が掃引されるときの様子を示す図である。図4(A)は、触針11が位置決めされたときの状態を、図4(B)は、触針11が送りユニット12とともに掃引開始位置にオフセット(移動)されたときの状態を、図4(C)は、触針11が掃引されているときの状態を、それぞれ示している。このように、触針11が適正に位置決めされれば、掃引エリア内に欠陥が位置することになり、その欠陥の高さが測定されることになる。
【0030】
欠陥高さ測定及び判定処理では、触針11が掃引されているときに、演算ユニット13が、欠陥の高さ測定処理を行う。即ち、演算ユニット13は、送りユニット12からの変位量検出信号に基づいて、CF基板表面2における欠陥の高さを測定し、その高さが規定値(例えば、5μm〜8μm)を超えた場合に、不良判定を行う。
【0031】
さらに、演算ユニット13は、上記触針11の位置決め後、ユーザからの操作パネル16からの指示に従って触針11の位置補正を行ったり、カメラ14を移動させCF基板表面2の欠陥探索を行う機能を有する。これらの機能の詳細については後述する。
【0032】
カメラ14は、図1に示すように、送りユニット12に固設されており、該送りユニット12の上下左右の移動に伴い移動するようになっている。そして、カメラ14は、演算ユニット13の制御の下、上述した掃引エリア及びその周辺エリアを撮像し、その画像データをディスプレイ15に出力するようになっている。
【0033】
ディスプレイ15は、カメラ14からの画像データを入力し、演算ユニット13の制御の下、撮像された掃引エリア及びその周辺エリア内の画像を表示する。
【0034】
図5は、図4(A)に示すように触針11が位置決めされたときの状態において、ディスプレイ15上に表示されたCF基板表面2における掃引エリア及びその周辺エリアの一例を示す図である。図5の例では、十字マークが表示されており、その中心がカメラ14の中心に一致するようになっている。また、図5の例では、上記位置決めが適正である状態を示しており、掃引エリア内において十字マークのほぼ中心に欠陥が表示されている。このように位置決めが適正であれば、触針11の掃引により当該欠陥の高さが正確に測定されることになる。
【0035】
操作パネル16には、図1に示すように、位置決め開始ボタン16a、触針位置補正キー16b、欠陥探索ボタン16c、欠陥探索停止ボタン16d及び次欠陥移行ボタン16eが設けられている。
【0036】
位置決め開始ボタン16aは、演算ユニット13に上記触針11の位置決めを開始させるためのものである。
【0037】
触針位置補正キー16bは、ユーザからの触針11の位置補正指示を受け付ける補正指示受付手段として機能する。演算ユニット13は、かかる位置補正指示に従って触針11の位置補正を行うことになる。より具体的には、この触針位置補正キー16bは、例えば、十字キーによりなっており、当該十字キーにおける各方向(前後左右)に対応する部分の押下に従って、演算ユニット13は、その部分に対応する方向に移動することによって触針11の位置補正を行う。
【0038】
つまり、触針位置補正キー16bは、ディスプレイ15上に表示された欠陥が、掃引エリアになく周辺エリア内に存在している場合に、その欠陥を掃引エリア内に位置させるように触針11の位置補正をさせるためのものである。
【0039】
欠陥探索ボタン16cは、ユーザからの欠陥探索指示を受け付ける探索指示受付手段として機能する。演算ユニット13は、かかる欠陥探索指示に従って掃引エリア及びその周辺エリア外の外部エリアを撮像すべくカメラ14と共に移動する。この外部エリアは、例えば、ディスプレイ15上に表示されていないエリアを意味する。つまり、欠陥探索ボタン16cは、ディスプレイ15上に欠陥が表示されない場合に、外部エリアに存在するであろう欠陥を探索させるためのものである。
【0040】
欠陥探索停止ボタン16dは、ユーザからの欠陥探索停止指示を受け付ける停止指示受付手段として機能する。演算ユニット13は、かかる欠陥探索指示に従ってカメラ14と共に移動を停止する。つまり、欠陥探索停止ボタン16dは、外部エリアに存在していた欠陥がディスプレイ15上に表示された掃引エリア若しくは周辺エリアに入ってきた場合、その位置でカメラ14の移動を停止させるためのものである。
【0041】
次欠陥移行ボタン16eは、例えば、欠陥が存在せず外観検査機により発見されなかった場合、或いは、外観検査機の誤検出等により欠陥が発見されなかった場合、或いは、ディスプレイ15に表示された欠陥がその凸状欠陥3でない場合に(高さ測定の必要がないため)、次の欠陥に移行させるために使用されるものである。
【0042】
次欠陥移行ボタン16eが押下されると、演算ユニット13は、次の欠陥に対する触針11の位置決めを行うことになる。
【0043】
次に、図6乃至図8を参照して、本実施形態における欠陥高さ検査装置1の動作を説明する。
【0044】
図6は、欠陥高さ検査装置1の演算ユニット13における処理を示すフローチャートである。
【0045】
図6に示す処理において、例えば、ユーザが操作パネル16における位置決め開始ボタン16aを押下すると、欠陥高さ検査装置1の演算ユニット13は、CF基板表面2における凸状欠陥3を含む欠陥の位置情報を、例えば、外観検査機から入力して取得し、当該欠陥の位置情報に基づいて欠陥に対する触針11の位置決めを行い、送りユニット12の駆動制御部に対しその指示を行う(ステップS1)。これにより、該駆動制御部は、図4(A)に示すように、かかる指示に従い送りユニット12をその位置まで移動させる。
【0046】
そして、この時、カメラ14は、CF基板表面2の掃引エリア及びその周辺エリアを撮像し、ディスプレイ15は、撮像された掃引エリア及びその周辺エリア内の画像を表示する。触針11の位置決めが適正であるならば、図5に示すように、掃引エリア内において十字マークのほぼ中心に欠陥が表示されることになる。そして、この時、オペレータは、ディスプレイ15上に表示された画像を見ながら、CF基板表面2における欠陥が掃引エリアからずれているか否かを確認する。
【0047】
始めに、CF基板表面2における欠陥が掃引エリアから周辺エリアにずれた場合について説明する。
【0048】
図7は、図4(A)に示す位置で、ディスプレイ15上に表示されたCF基板表面2における周辺エリア内に存在する欠陥の一例を示す図である。上記自動的にされた位置決めが何らか要因で不正となった場合、欠陥の位置が掃引エリアからずれ、図7に示す周辺エリア若しくは、ディスプレイ15外の外部エリアに存在することになる。このような場合、触針11の掃引により当該欠陥の高さが測定されなくなるため、オペレータは、触針11の位置補正指示を演算ユニット13に与えることになる。
【0049】
つまり、オペレータが触針位置補正キー16bを押下すると、演算ユニット13はこれに応じ(ステップS2)、触針位置補正キー16bの方向に従って触針11の位置補正をすべく送りユニット12の駆動制御部に位置補正指示する(ステップS3)。これにより、該駆動制御部は、かかる指示に従い送りユニット12を移動させることによって触針11の位置補正を行うことになる。
【0050】
こうして、該駆動制御部は、オペレータからの位置補正指示の下、例えば、図7に示す周辺エリア内に存在する欠陥を、図5に示すように、掃引エリア内の中心部に位置させることができる。従って、欠陥の位置情報に基づくCF基板表面2の掃引エリアから凸状欠陥3がずれた場合にも、その位置ずれを効果的に補正することができる。
【0051】
次に、CF基板表面2における欠陥が掃引エリアから外部エリアにずれた場合について説明する。
【0052】
ディスプレイ15上に表示されたCF基板表面2における掃引エリア及び周辺エリア内に欠陥が存在しない場合、オペレータは、CF基板表面2における欠陥が、ディスプレイ15上に表示されていない外部エリアに存在するものと判断し、欠陥探索指示を演算ユニット13に与えることになる。
【0053】
つまり、オペレータが欠陥探索ボタン16cを押下すると、演算ユニット13はこれに応じ(ステップS4)、CF基板表面2における外部エリアを撮像すべく送りユニット12の駆動制御部に欠陥探索指示する(ステップS5)。これにより、該駆動制御部は、かかる指示に従い送りユニット12を移動させることによって上記外部エリアを撮像すべくカメラ14を移動させる。
【0054】
図8は、このような欠陥探索が行われているときの様子を示す図である。図8(A)に示す外部エリアに存在する欠陥を探索するため、図8(B)に示すようにカメラ14が複数の外部エリアを順次、撮像(スキャン)していくことになる。このように撮像されたCF基板表面2における外部エリアは、ディスプレイ15上に表示されていく。CF基板表面2におけるどの外部エリアを順次、撮像していくかは、ランダムであってもよいし、予め設定しておいてもよい。なお、当該外部エリアは、かかる欠陥探索前にディスプレイ15上に表示されていた掃引エリア及びその周辺エリアと一部重複するものであってもよい。
【0055】
そして、例えば、カメラ14がCF基板表面2における欠陥を捉え、ディスプレイ15上に表示された場合、オペレータは、欠陥探索停止指示を演算ユニット13に与えることになる。つまり、オペレータが欠陥探索停止ボタン16dを押下すると、演算ユニット13はこれに応じ(ステップS6)、その位置でカメラ14の移動を停止すべく送りユニット12の駆動制御部に欠陥探索停止を指示する(ステップS7)。これにより、該駆動制御部は、かかる指示に従い送りユニット12の移動を停止させることによってカメラ14の移動を停止させる。
【0056】
こうして、例えば、図5若しくは図7に示すように、ディスプレイ15上のCF基板表面2における掃引エリア若しくは周辺エリア内に欠陥を表示させることができる。もし、欠陥が周辺エリア内に存在している場合、上記と同様、オペレータは、触針11の位置補正指示を演算ユニット13に与えればよい。従って、欠陥の位置情報に基づくCF基板表面2の掃引エリアから凸状欠陥3がディスプレイ15外にずれた場合にも、凸状欠陥3を探索し、その位置ずれを効果的に補正することができる。
【0057】
次に、CF基板表面2の掃引エリア若しくは周辺エリアに存在する欠陥が凸状欠陥3でない場合について説明する。
【0058】
オペレータが、ディスプレイ15上に表示されたCF基板表面2の掃引エリア若しくは周辺エリアにおける欠陥が凸状欠陥3でないと判断した場合、高さ測定の必要がないため、次欠陥移行指示を演算ユニット13に与えることになる。
【0059】
つまり、オペレータが次欠陥移行ボタン16eを押下すると、演算ユニット13はこれに応じ(ステップS8)、ステップS1に戻り、上記取得された欠陥の位置情報に基づき、次の欠陥に対する触針11の位置決めを行い、送りユニット12の駆動制御部に対しその指示を行う。これにより、該駆動制御部は、かかる指示に従い送りユニット12をその位置まで移動させる。
【0060】
このように、従来、凸状欠陥3でない場合も高さ測定を行った工程を削減することができるので、時間短縮を達成することができる。
【0061】
そして、図4(A)に示す状態が所定時間(例えば、数秒間)続き、その時間が経過すると、ステップS10の処理に移行する(ステップS9)。
【0062】
ステップS10では、上述したように、演算ユニット13が、送りユニット12の駆動制御部に対し触針11の掃引指示を行う。これにより、該駆動制御部は、図4(B)に示すように、かかる指示に従い触針11の掃引開始位置まで演算ユニット13を移動させ下降させる。続いて、該駆動制御部は、図4(C)に示すように、CF基板表面2の掃引エリアにおいて触針11を掃引する。
【0063】
このように触針11が掃引されているときに、送りユニット12は、触針11の垂直方向の変位量を検出し、変位量検出信号を演算ユニット13に出力する。そして、演算ユニット13は、その変位量検出信号に基づいて、CF基板表面2における欠陥の高さを測定し、その高さが規定値(例えば、5μm〜8μm)を超えた場合に、不良判定を行う(ステップS11)。
【0064】
以上説明した処理は、例えば、上記欠陥の位置情報から特定された全ての掃引エリアについて触針11が掃引された場合に終了し(ステップS12)、次のCF基板に以降する。
【0065】
以上説明したように本実施形態によれば、凸状欠陥3が、欠陥の位置情報に基づくCF基板表面2の掃引エリアから周辺エリアにずれた場合にも、その位置ずれを効果的に補正しつつ凸状欠陥3の高さを正確に測定することができる。
【0066】
さらに、凸状欠陥3が、欠陥の位置情報に基づくCF基板表面2の掃引エリアから外部エリアにずれた場合にも、その凸状欠陥3を探索し、その位置ずれを効果的に補正しつつ凸状欠陥3の高さを正確に測定することができる。
【0067】
なお、上記処理において、凸状欠陥3が掃引エリア内に存在する場合にも、オペレータは、触針11の位置補正指示を演算ユニット13に与え、演算ユニット13に当該触針11の位置補正を行わせるようにしてもよい。つまり、上述したように、触針11は、掃引方向に対して一定の幅Wを有しているため、触針11が若干傾いた場合、当該触針11の中心部分と両端部分とで測定された高さに誤差が生じてしまう。このような触針11の傾きは、傾き補正をかけても微小であるが残ってしまう。従って、上記触針11の位置補正により、例えば、掃引エリア内の両端部(触針11の両端部)に存在する凸状欠陥3が、掃引エリア内の中心部(触針11の中心部)に位置するようにできれば、常に触針11の同一箇所(この場合、中心部)で高さ測定が可能となり、触針11の傾きにより測定誤差を解消することができる。
【0068】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、触針により掃引するエリアと欠陥の位置とがずれた場合にも、その位置ずれを効果的に補正することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施形態における欠陥高さ検査装置の概要構成例を示す図である。
【図2】CF基板表面に存在する突起、異物等の凸状欠陥3の一例を示す図である。
【図3】触針11を斜め上から見た図である。
【図4】CF基板表面2において触針11が掃引されるときの様子を示す図である。
【図5】図4(A)に示すように触針11が位置決めされたときの状態において、ディスプレイ15上に表示されたCF基板表面2における掃引エリア及びその周辺エリアの一例を示す図である。
【図6】欠陥高さ検査装置1の演算ユニット13における処理を示すフローチャートである。
【図7】図4(A)に示す位置で、ディスプレイ15上に表示されたCF基板表面2における周辺エリア内に存在する欠陥の一例を示す図である。
【図8】欠陥探索が行われているときの様子を示す図である。
【図9】基板表面を触針で掃引して凸状欠陥の高さを測定する様子を示す図である。
【符号の説明】
1 欠陥高さ検査装置
2 CF基板表面
3 凸状欠陥
11 触針
12 送りユニット
13 演算ユニット
14 カメラ
15 ディスプレイ
16 操作パネル
Claims (5)
- 基板表面に接触する触針と、前記基板表面における凸状欠陥を含む欠陥の位置情報を取得し、当該欠陥の位置情報に基づく前記基板表面の掃引エリアにおいて前記触針を掃引するとともに前記基板表面における欠陥の高さを測定する検査制御手段と、を備える欠陥高さ検査装置であって、
前記検査制御手段により制御されつつ前記掃引エリア及びその周辺エリアを撮像する撮像手段と、
前記検査制御手段により制御されつつ前記撮像された掃引エリア及びその周辺エリア内の画像を表示する表示手段と、
ユーザからの前記触針の位置補正指示を受け付ける補正指示受付手段と、を備え、
前記検査制御手段は、前記位置補正指示が受け付けられた場合には、当該位置補正指示に従って前記触針の位置を補正することを特徴とする欠陥高さ検査装置。 - 基板表面に接触する触針と、前記基板表面における凸状欠陥を含む欠陥の位置情報を取得し、当該欠陥の位置情報に基づく前記基板表面の掃引エリアにおいて前記触針を掃引するとともに前記基板表面における欠陥の高さを測定する検査制御手段と、を備える欠陥高さ検査装置であって、
前記検査制御手段により制御されつつ掃引エリア及びその周辺エリアを撮像する撮像手段と、
前記検査制御手段により制御されつつ前記撮像された掃引エリア及びその周辺エリア内の画像を表示する表示手段と、
ユーザからの欠陥探索指示を受け付ける探索指示受付手段と、
前記ユーザからの欠陥探索停止指示を受け付ける停止指示受付手段と、を備え、
前記検査制御手段は、前記欠陥探索指示が受け付けられた場合には、当該欠陥探索指示に従って前記掃引エリア及びその周辺エリア外の外部エリアを撮像すべく前記撮像手段を移動させ、前記欠陥探索停止指示が受け付けられた場合には、前記撮像手段の移動を停止することを特徴とする欠陥高さ検査装置。 - 請求項2に記載の欠陥高さ検査装置において、
ユーザからの前記触針の位置補正指示を受け付ける補正指示受付手段と、を備え、
前記検査制御手段は、前記位置補正指示が受け付けられた場合には、当該位置補正指示に従って前記触針の位置を補正することを特徴とする欠陥高さ検査装置。 - 基板表面における凸状欠陥を含む欠陥の位置情報を取得し、当該欠陥の位置情報に基づく前記基板表面の掃引エリアにおいて当該基板表面に接触した触針を掃引するとともに前記基板表面における欠陥の高さを測定する欠陥高さ検査方法において、
前記掃引エリア及びその周辺エリアを撮像し、当該撮像された掃引エリア及びその周辺エリア内の画像を表示し、
ユーザから前記触針の位置補正指示が受け付けられた場合には、当該位置補正指示に従って前記触針の位置を補正することを特徴とする欠陥高さ検査方法。 - 基板表面における凸状欠陥を含む欠陥の位置情報を取得し、当該欠陥の位置情報に基づく前記基板表面の掃引エリアにおいて当該基板表面に接触した触針を掃引するとともに前記基板表面における欠陥の高さを測定する欠陥高さ検査方法において、
前記掃引エリア及びその周辺エリアを撮像し、当該撮像された掃引エリア及びその周辺エリア内の画像を表示し、
ユーザから欠陥探索指示が受け付けられた場合には、当該欠陥探索指示に従って前記掃引エリア及びその周辺エリア外の外部エリアを撮像すべく前記撮像手段を移動させ、前記ユーザから欠陥探索停止指示が受け付けられた場合には、前記撮像手段の移動を停止することを特徴とする欠陥高さ検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002341745A JP2004177192A (ja) | 2002-11-26 | 2002-11-26 | 欠陥高さ検査装置及び欠陥高さ検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002341745A JP2004177192A (ja) | 2002-11-26 | 2002-11-26 | 欠陥高さ検査装置及び欠陥高さ検査方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004177192A true JP2004177192A (ja) | 2004-06-24 |
Family
ID=32703987
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002341745A Pending JP2004177192A (ja) | 2002-11-26 | 2002-11-26 | 欠陥高さ検査装置及び欠陥高さ検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004177192A (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62102106U (ja) * | 1985-12-17 | 1987-06-29 | ||
JPH01250051A (ja) * | 1988-03-30 | 1989-10-05 | Toshiba Corp | 金属薄板の製造方法 |
JPH0676811U (ja) * | 1993-03-31 | 1994-10-28 | 京セラ株式会社 | 平面度測定機 |
JPH07505958A (ja) * | 1992-09-25 | 1995-06-29 | カール−ツアイス−スチフツング | ワークにおける座標測定法 |
JPH1090284A (ja) * | 1996-09-12 | 1998-04-10 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡及びその測定方法 |
JPH10339630A (ja) * | 1997-06-10 | 1998-12-22 | Mitsutoyo Corp | 三次元測定システム |
-
2002
- 2002-11-26 JP JP2002341745A patent/JP2004177192A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62102106U (ja) * | 1985-12-17 | 1987-06-29 | ||
JPH01250051A (ja) * | 1988-03-30 | 1989-10-05 | Toshiba Corp | 金属薄板の製造方法 |
JPH07505958A (ja) * | 1992-09-25 | 1995-06-29 | カール−ツアイス−スチフツング | ワークにおける座標測定法 |
JPH0676811U (ja) * | 1993-03-31 | 1994-10-28 | 京セラ株式会社 | 平面度測定機 |
JPH1090284A (ja) * | 1996-09-12 | 1998-04-10 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡及びその測定方法 |
JPH10339630A (ja) * | 1997-06-10 | 1998-12-22 | Mitsutoyo Corp | 三次元測定システム |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3373831B2 (ja) | 試験片の伸び測定方法及び装置 | |
JP2006281270A (ja) | 手溶接作業分析装置および手溶接作業分析装置に適用する手溶接トーチ一体型監視カメラ | |
JP5335614B2 (ja) | 欠陥画素アドレス検出方法並びに検出装置 | |
JP2014197762A (ja) | 画像処理システムおよび画像処理プログラム | |
JP2008070135A (ja) | 撮像装置の光軸ずれ検出方法、及び部品位置検出方法と装置 | |
JP2004177192A (ja) | 欠陥高さ検査装置及び欠陥高さ検査方法 | |
JP2004170394A (ja) | 刷版検査装置及び刷版検査システム | |
JP2010127703A (ja) | 撮像手段の垂直度判定方法 | |
JP2009079915A (ja) | 微小寸法測定方法および測定装置 | |
JP2019219357A (ja) | 撮影装置、撮影方法および撮影プログラム | |
JP2012026857A (ja) | 清掃作業支援装置 | |
JP2004042118A (ja) | 溶接位置自動倣い制御装置及び自動倣い溶接方法 | |
JP2012194000A (ja) | カメラ解像度自動測定方法及び自動調節方法並びに画像検査方法及び装置 | |
JP4401126B2 (ja) | 寸法測定装置の所定部位登録方法 | |
JP2008139260A (ja) | 画像表示装置、外観検査装置、クリーム半田印刷機、及び画像表示方法 | |
JP4879549B2 (ja) | 欠陥修正装置及び欠陥修正方法 | |
JP2007049603A (ja) | 画像処理装置、画像形成装置、画像処理方法及びプログラム | |
JPH102723A (ja) | 溶接ビード形状測定装置 | |
JP3781508B2 (ja) | チップのパッドの位置検出方法 | |
JPH1063229A (ja) | 液晶ディスプレイの画質検査装置及びその検査方法 | |
JP4761663B2 (ja) | パターン検査における画像処理方法及びパターン検査装置 | |
JP4792314B2 (ja) | 基板検査装置および基板検査方法 | |
JP3846840B2 (ja) | 電子ディスプレイの検査方法及びその装置 | |
CN117782982A (zh) | 面板检测装置的控制方法、面板检测装置、电子设备 | |
JP2008045887A (ja) | 検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051118 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080229 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080318 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080513 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090203 |