DE19820307C2 - Berührungslose Temperaturerfassung an einer Mehrkoordinatenmeß- und Prüfeinrichtung - Google Patents

Berührungslose Temperaturerfassung an einer Mehrkoordinatenmeß- und Prüfeinrichtung

Info

Publication number
DE19820307C2
DE19820307C2 DE1998120307 DE19820307A DE19820307C2 DE 19820307 C2 DE19820307 C2 DE 19820307C2 DE 1998120307 DE1998120307 DE 1998120307 DE 19820307 A DE19820307 A DE 19820307A DE 19820307 C2 DE19820307 C2 DE 19820307C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
contact temperature
probe
testing device
measuring
coordinate measuring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE1998120307
Other languages
English (en)
Other versions
DE19820307A1 (de
Inventor
Michael Mettendorf
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mycrona Gesellschaft fuer Innovative Messtechnik mbH
Original Assignee
Mycrona Gesellschaft fuer Innovative Messtechnik mbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mycrona Gesellschaft fuer Innovative Messtechnik mbH filed Critical Mycrona Gesellschaft fuer Innovative Messtechnik mbH
Priority to DE1998120307 priority Critical patent/DE19820307C2/de
Publication of DE19820307A1 publication Critical patent/DE19820307A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE19820307C2 publication Critical patent/DE19820307C2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
    • G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
    • G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
    • G01B21/045—Correction of measurements
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/002—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates
    • G01B11/005—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates coordinate measuring machines
    • G01B11/007—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates coordinate measuring machines feeler heads therefor
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/10—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors
    • G01J5/12—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors using thermoelectric elements, e.g. thermocouples

Description

Die Erfindung betrifft eine berührungslose Temperaturerfassung an einer Mehrkoordinatenmess- und Prüfeinrichtung für die Lösung von Mess- und Prüfaufgaben nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Stand der Technik sind Mehrkoordinatenmess- und Prüfeinrichtungen, diese enthalten einen Maschinengrundeinheit, eine Maschinensteuerungseinheit und ein in zumindest zwei Koordinatenrichtungen bewegbares, maschinengesteuertes Multisensortastsystem zum Antasten eines Werkstückes, dessen erster Taster aus einem an einer Pinole angebrachten mechanischen Tastkopf mit zumindest einem Taststift und dessen zweiter Taster ein Videotaster ist, die beide alleine ansteuerbar sind und unabhängig voneinander arbeiten.
In der Qualitätssicherung werden immer kürzere Mess- und Prüfzeiten der produzierten Teile gefordert, um den Produktionsfluss so gering wie möglich zu beeinflussen. Deshalb ist es notwendig, die produzierten Teile sofort auf die Koordinatenmessmaschine zu legen und zu vermessen ohne zu warten, bis diese die vorgeschriebene Messtemperatur von 20 Grad Celsius erreicht haben. Koordinatenmessmaschinen stehen üblicherweise in einem klimatisierten Raum oder in einer Klimakabine und sind bei 20 Grad Celsius kalibriert. Wenn aber ein Prüfteil, das die geforderte Temperatur nicht hat, auf einer Messmaschine vermessen wird, sind die Messergebnisse, die sich im µm-Bereich bewegen, unbrauchbar, da die Prüfteile aufgrund der von 20 Grad Celsius abweichenden Temperatur eine je nach Längenausdehnungskoeffizient andere Dimensionen aufweisen. Deshalb wurden in der Vergangenheit Temperatursensoren an dem Prüfling angebracht, um die Temperaturdifferenz zu erfassen und zu kompensieren.
Bei der Patent-Offenlegungsschrift DE 38 06 686 A1 handelt es sich ebenfalls um eine Koordinatenmessmaschine, jedoch kommt hier im Gegensatz zu dem neu zum Patent angemeldeten, neben dem mechanischen Taster und dem Videotaster noch ein 3. Taster - ein Lasertaster hinzu, der jedoch nur zum Fokussieren auf Prüfteiloberflächen und zum Scannen der Oberflächenbeschaffenheit benutzt wird. Eine berührungslose Temperaturerfassung kommt hier nicht zum Einsatz.
Die Patent-Offenlegungsschrift DE 44 45 331 A1 beschreibt ein automatisches System welches die nicht benutzten Messsensoren aus dem Messbereich herausbewegt, um eine gegenseitige Behinderung der Sensoren während des Messablaufs zu verhindern. Im Gegensatz zu dem neu zum Patent angemeldeten handelt es sich hier jedoch um ein Zubehörteil das an verschiedene Koordinatenmessmaschinen angebaut werden kann. Eine berührungslose Temperaturerfassung kommt hier ebenfalls nicht zum Einsatz.
Mit einer Videokamera wird bei der Offenlegungsschrift DE 43 27 250 A1 ein Tastelement, das sich im Sehfeld der Videokamera befindet beobachtet. Da dieses Tastelement sehr klein und aus Glas ist, besteht die Gefahr, dass man beim Antasten an ein Werkstück dieses Tastelement abbricht. Mit Hilfe der Videokamera, die den Bereich um das Tastelement stark vergrößert anzeigt, soll eine Beschädigung des Tastelementes verhindert werden. Eine berührungslose Temperaturerfassung kommt auch hier nicht zum Einsatz.
Bei der Offenlegungsschrift DE 40 39 336 A1 wird ein Verfahren zur schnellen Werkstück-Temperaturermessung an Koordinatenmessgeräten beschrieben, jedoch muss hier zuerst der Messtaster abgelegt werden bevor ein Temperaturmesskopf aufgenommen werden kann. Dieses nimmt sehr viel Zeit in Anspruch und es wird ein zusätzliches Taststiftwechselmagazin benötigt, welches sehr teuer ist.
Bei diesem Verfahren kommt es auch noch zu einer Berührung des Temperaturmesskopfes mit dem Werkstück, was bei dem neu zum Patent angemeldeten Verfahren nicht der Fall ist. Weiterhin beträgt die Messgeschwindigkeit, d. h. die Zeit in der, der Temperaturmesskopf auf dem Werkstück ruht etwa 27 sec., welches mit einem speziellen Auswerteverfahren auf 5 sec. verkürzt wird, ohne die Zeit, die benötigt wird, um den Messtaster gegen den Temperaturmesskopf auszutauschen und nach erfolgter Temperaturmessung wieder zurückzutauschen (ca. 20 sec.). Bei dem neu zum Patent angemeldeten Verfahren dauert diese Messung komplett lediglich 1-2 sec. und die Temperaturmessung kann gleichzeitig mit der Messpunktaufnahme des Koordinatenmessgerätes erfolgen.
Bekannt sind Temperatursensoren (Thermoelemente) vom Typ PT100. Diese Temperatursensoren mussten von Hand an dem Prüfling angebracht werden wie in der Offenlegungsschrift DE 195 43 024 A1 beschrieben. Dieses ist stellenweise je nach Prüflingsgröße sehr schwierig und zeitaufwendig. In der Regel wurde nur ein solcher Temperatursensor an dem Prüfling angebracht, was weiterhin zur Folge hatte, dass unterschiedliche Abkühlungsverläufe des Prüflings, bedingt durch unterschiedliche Wärmeleitfähigkeit der verschiedenen in Kombination gebrachten Werkstoffe, nicht erfasst werden konnten und somit die Genauigkeit der Temperaturkompensation stark verfälscht wird. Da die Messung des Prüflings je nach Umfang der Messaufgabe einige Minuten dauern kann, kommt es hier zu unterschiedlichen Abkühlungsprozessen der verschiedenen Materialien und somit zu unterschiedlichen Kompensationswerten. Hier kommt ebenfalls eine berührungslose Temperaturerfassung nicht zum Einsatz.
Technische Beschreibung
Die nachstehende Erfindung beschreibt eine Temperaturerfassung an einer Mehrkoordinatenmess- und Prüfeinrichtung, die im Gegensatz zu den oben beschriebenen berührungslos arbeitet. Hier wird mit einem berührungslosen Temperatursensor (z. B. Spektralpyrometer oder Bandstrahlungspyrometer) die Temperatur des Prüfteils gemessen. Der daraus errechnete Längenmessfehler der sich aus dem Längenausdehnungskoeffizient des Prüfmaterials ergibt, wird automatisch in der angeschlossenen Messmaschinensteuerung verrechnet, sodass ein kompensierter Messwert ausgegeben werden kann.
Der berührungslose Temperatursensor kann im einfachen Fall seitlich an einer oder mehreren in Z-Richtung verfahrbaren Pinolen so angebracht werden, dass der Fokuspunkt des berührungslosen Temperatursensors im Fokuspunkt eines an der Pinole angebrachten optischen Sensors oder eines taktilen Sensors liegt. Somit ist immer gewährleistet, dass die Stelle, die mit dem optischen - oder taktilen Sensor gemessen werden soll, ebenfalls durch den berührungslosen Temperatursensor erfasst wird. Da der Durchmesser, den der berührungslose Temperatursensor erfasst, sehr klein ist, kann vor jeder Messwertaufnahme durch einen der normalen Messsensoren eine Temperaturmessung exakt an der gleichen Stelle durchgeführt werden.
Bei einer Messmaschine mit optischem Sensor kann der berührungslose Temperatursensor auch in die Optik integriert werden. Hier benutzt der berührungslose Temperatursensor die gleiche optische Achse wie der optische Sensor. Man kann somit sicherstellen, das der Messpunkt, den der berührungslose Temperatursensor erfasst, der gleiche ist, den auch der optische Sensor erfasst. Dieser exakt ermittelte Temperaturwert wird automatisch in der angeschlossenen Messmaschinensteuerung verrechnet und ermöglicht die Ausgabe eines kompensierten Messwerts.

Claims (6)

1. Mehrkoordinatenmess- und Prüfeinrichtung, diese enthaltend eine Maschinengrundeinheit, eine Maschinensteuerungseinheit und ein in zumindest zwei Koordinatenrichtungen bewegbares, maschinengesteuertes Multisensortastsystem zum Antasten eines Werkstückes, dessen erster Taster aus einem an einer Pinole angebrachten mechanischen Tastkopf mit zumindest einem Taststift und dessen zweiter Taster ein Videotaster ist, die beide alleine ansteuerbar sind und unabhängig voneinander arbeiten dadurch gekennzeichnet, dass ein berührungslos arbeitender Temperatursensor zur Messung der Temperatur des Prüfteils vorgesehen ist, der seitlich an der in Z-Richtung verfahrbaren Pinole so angebracht ist, dass der Fokuspunkt des berührungslosen Temperatursensors im Fokuspunkt des an der Pinole angebrachten Videotasters oder im Antastpunkt des mechanischen Tasters liegt.
2. Mehrkoordinatenmess- und Prüfeinrichtung, diese enthaltend eine Maschinengrundeinheit, eine Maschinensteuerungseinheit und ein in zumindest zwei Koordinatenrichtungen bewegbares, maschinengesteuertes Multisensortastsystem zum Antasten eines Werkstückes, dessen erster Taster aus einem an einer Pinole angebrachten mechanischen Tastkopf mit zumindest einem Taststift und dessen zweiter Taster ein Videotaster ist, die beide alleine ansteuerbar sind und unabhängig voneinander arbeiten dadurch gekennzeichnet, dass ein berührungslos arbeitender Temperatursensor zur Messung der Temperatur des Prüfteils vorgesehen ist, der in den Videotaster integriert ist, wobei die vom Prüfteil ausgesandte Infrarotstrahlung mittels Strahlteiler aus der gleichen optischen Achse des optischen Sensors herausgespiegelt und zu dem berührungslosen Temperatursensor geführt ist, sodass der Messpunkt, den der berührungslose Temperatursensor erfasst, der gleiche ist, den der Videotaster erfasst.
3. Mehrkoordinatenmess- und Prüfeinrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der berührungslose Temperatursensor mikroprozessorgesteuert arbeitet.
4. Mehrkoordinatenmess- und Prüfeinrichtung nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass der ermittelte Temperaturwert in der angeschlossenen Maschinensteuerung verrechenbar und als Kompensationswert ausgebbar ist.
5. Mehrkoordinatenmess- und Prüfeinrichtung nach Anspruch 1, 2, 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere berührungslose Temperatursensoren zum Einsatz kommen.
6. Mehrkoordinatenmess- und Prüfeinrichtung nach Anspruch 1, 2, 3, 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere berührungslose Temperatursensor in Kombination mit Kontakttemperatursensoren zum Einsatz kommen.
DE1998120307 1998-05-07 1998-05-07 Berührungslose Temperaturerfassung an einer Mehrkoordinatenmeß- und Prüfeinrichtung Expired - Fee Related DE19820307C2 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE1998120307 DE19820307C2 (de) 1998-05-07 1998-05-07 Berührungslose Temperaturerfassung an einer Mehrkoordinatenmeß- und Prüfeinrichtung

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE1998120307 DE19820307C2 (de) 1998-05-07 1998-05-07 Berührungslose Temperaturerfassung an einer Mehrkoordinatenmeß- und Prüfeinrichtung

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE19820307A1 DE19820307A1 (de) 1999-11-18
DE19820307C2 true DE19820307C2 (de) 2003-01-02

Family

ID=7866905

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE1998120307 Expired - Fee Related DE19820307C2 (de) 1998-05-07 1998-05-07 Berührungslose Temperaturerfassung an einer Mehrkoordinatenmeß- und Prüfeinrichtung

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE19820307C2 (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004013361A1 (de) * 2004-03-17 2005-10-20 Wolfgang Madlener Messtaster, Empfangsteil, Messsystem sowie Verfahren zur Messung der Temperatur an einem Werkstück
US8683709B2 (en) 2010-01-20 2014-04-01 Faro Technologies, Inc. Portable articulated arm coordinate measuring machine with multi-bus arm technology

Families Citing this family (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102006031580A1 (de) 2006-07-03 2008-01-17 Faro Technologies, Inc., Lake Mary Verfahren und Vorrichtung zum dreidimensionalen Erfassen eines Raumbereichs
US9551575B2 (en) 2009-03-25 2017-01-24 Faro Technologies, Inc. Laser scanner having a multi-color light source and real-time color receiver
DE102009015920B4 (de) 2009-03-25 2014-11-20 Faro Technologies, Inc. Vorrichtung zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung
US9529083B2 (en) 2009-11-20 2016-12-27 Faro Technologies, Inc. Three-dimensional scanner with enhanced spectroscopic energy detector
DE102009057101A1 (de) 2009-11-20 2011-05-26 Faro Technologies, Inc., Lake Mary Vorrichtung zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung
US9113023B2 (en) 2009-11-20 2015-08-18 Faro Technologies, Inc. Three-dimensional scanner with spectroscopic energy detector
US8630314B2 (en) 2010-01-11 2014-01-14 Faro Technologies, Inc. Method and apparatus for synchronizing measurements taken by multiple metrology devices
US8832954B2 (en) 2010-01-20 2014-09-16 Faro Technologies, Inc. Coordinate measurement machines with removable accessories
US9607239B2 (en) 2010-01-20 2017-03-28 Faro Technologies, Inc. Articulated arm coordinate measurement machine having a 2D camera and method of obtaining 3D representations
US8875409B2 (en) 2010-01-20 2014-11-04 Faro Technologies, Inc. Coordinate measurement machines with removable accessories
US9628775B2 (en) 2010-01-20 2017-04-18 Faro Technologies, Inc. Articulated arm coordinate measurement machine having a 2D camera and method of obtaining 3D representations
US8615893B2 (en) 2010-01-20 2013-12-31 Faro Technologies, Inc. Portable articulated arm coordinate measuring machine having integrated software controls
CN102782442A (zh) 2010-01-20 2012-11-14 法罗技术股份有限公司 具有被照亮的探针端的坐标测量机及操作方法
CN102713499B (zh) 2010-01-20 2014-07-09 法罗技术股份有限公司 用于坐标测量设备的配重
US8677643B2 (en) 2010-01-20 2014-03-25 Faro Technologies, Inc. Coordinate measurement machines with removable accessories
US8898919B2 (en) 2010-01-20 2014-12-02 Faro Technologies, Inc. Coordinate measurement machine with distance meter used to establish frame of reference
DE102010020925B4 (de) 2010-05-10 2014-02-27 Faro Technologies, Inc. Verfahren zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung
WO2012033892A1 (en) 2010-09-08 2012-03-15 Faro Technologies, Inc. A laser scanner or laser tracker having a projector
US9168654B2 (en) 2010-11-16 2015-10-27 Faro Technologies, Inc. Coordinate measuring machines with dual layer arm
DE102012100609A1 (de) 2012-01-25 2013-07-25 Faro Technologies, Inc. Vorrichtung zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung
US8997362B2 (en) 2012-07-17 2015-04-07 Faro Technologies, Inc. Portable articulated arm coordinate measuring machine with optical communications bus
US9513107B2 (en) 2012-10-05 2016-12-06 Faro Technologies, Inc. Registration calculation between three-dimensional (3D) scans based on two-dimensional (2D) scan data from a 3D scanner
DE102012109481A1 (de) 2012-10-05 2014-04-10 Faro Technologies, Inc. Vorrichtung zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung
US10067231B2 (en) 2012-10-05 2018-09-04 Faro Technologies, Inc. Registration calculation of three-dimensional scanner data performed between scans based on measurements by two-dimensional scanner
DE102015122844A1 (de) 2015-12-27 2017-06-29 Faro Technologies, Inc. 3D-Messvorrichtung mit Batteriepack
CN112082522A (zh) * 2020-09-01 2020-12-15 广船国际有限公司 一种沉管隧道钢壳外形尺寸测量方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3806686A1 (de) * 1988-03-02 1989-09-14 Wegu Messtechnik Mehrkoordinatenmess- und -pruefeinrichtung
DE4039336A1 (de) * 1990-12-10 1992-06-11 Zeiss Carl Fa Verfahren zur schnellen werkstueck-temperaturmessung auf koordinatenmessgeraeten
DE4327250A1 (de) * 1992-09-25 1994-03-31 Zeiss Carl Fa Verfahren zur Koordinatenmessung an Werkstücken
DE4445331A1 (de) * 1994-12-19 1996-06-27 Mycrona Ges Fuer Innovative Me Automatischer Multisensormeßkopf für Koordinatenmeßgeräte
DE19543024A1 (de) * 1995-11-18 1997-05-22 Leitz Mestechnik Gmbh Verfahren zur Messung der Temperatur eines mit Hilfe eines Koordinatenmeßgerätes auszumessenden Werkstückes

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3806686A1 (de) * 1988-03-02 1989-09-14 Wegu Messtechnik Mehrkoordinatenmess- und -pruefeinrichtung
DE4039336A1 (de) * 1990-12-10 1992-06-11 Zeiss Carl Fa Verfahren zur schnellen werkstueck-temperaturmessung auf koordinatenmessgeraeten
DE4327250A1 (de) * 1992-09-25 1994-03-31 Zeiss Carl Fa Verfahren zur Koordinatenmessung an Werkstücken
DE4445331A1 (de) * 1994-12-19 1996-06-27 Mycrona Ges Fuer Innovative Me Automatischer Multisensormeßkopf für Koordinatenmeßgeräte
DE19543024A1 (de) * 1995-11-18 1997-05-22 Leitz Mestechnik Gmbh Verfahren zur Messung der Temperatur eines mit Hilfe eines Koordinatenmeßgerätes auszumessenden Werkstückes

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004013361A1 (de) * 2004-03-17 2005-10-20 Wolfgang Madlener Messtaster, Empfangsteil, Messsystem sowie Verfahren zur Messung der Temperatur an einem Werkstück
DE102004013361B4 (de) * 2004-03-17 2006-11-09 Wolfgang Madlener Verfahren zur Messung der Temperatur an einem Werkstück
US8683709B2 (en) 2010-01-20 2014-04-01 Faro Technologies, Inc. Portable articulated arm coordinate measuring machine with multi-bus arm technology

Also Published As

Publication number Publication date
DE19820307A1 (de) 1999-11-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE19820307C2 (de) Berührungslose Temperaturerfassung an einer Mehrkoordinatenmeß- und Prüfeinrichtung
EP1407224B1 (de) Verfahren zur messung von oberflächeneigenschaften sowie koordinatenmessgerät
DE102015217637C5 (de) Betreiben eines konfokalen Weißlichtsensors an einem Koordinatenmessgerät und Anordnung
EP2504658B1 (de) Verfahren und anordnung zur taktil-optischen bestimmung der geometrie eines messobjektes
DE60311527T2 (de) Werkstückinspektionsverfahren und vorrichtung
DE112006001423B4 (de) Koordinatenmessgerät sowie Verfahren zum Messen eines Objektes mit einem Koordinatenmessgerät
EP0330901A1 (de) Mehrkoordinatenmess- und prüfeinrichtung
EP0185167B1 (de) Optisch-elektronisches Messverfahren, eine dafür erforderliche Einrichtung und deren Verwendung
EP1082581B1 (de) Anordnung zur messung von strukturen eines objektes
DE102008019435B4 (de) Verfahren zum berührungslosen Vermessen dreidimensionaler, komplex geformter Bauteile
DE102004033526A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Analyse zumindest partiell reflektierender Oberflächen
WO2004055475A2 (de) Verfahren zum scannenden messen einer kontur eines werkstücks
EP3435032A1 (de) Optischer rauheitssensor für eine koordinatenmessmaschine
DE102011008513B4 (de) Einstell- und/oder Messgerätevorrichtung
DE10214489A1 (de) Verfahren zur Bestimmung und Korrektur von Führungsfehlern bei einem Koordinatenmeßgerät
EP1528354A2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Messen eines Objektes mittels eines Koordinatenmessgerätes
DE102015205569B4 (de) Kalibrierung eines beweglichen Teils eines Koordinatenmessgeräts oder eines daran angebrachten taktilen Tasters
DE10150511B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Inspektion von Messgeräten
DE4209491A1 (de) Verfahren und Einrichtung zur berührunglosen Messung der statischen und dynamischen Verformung von mikromechanischen Strukturen
DE102016013550B3 (de) Profilmesssystem für eine Rauheits- und Konturmessung an einer Oberfläche eines Werkstücks
DD222391A1 (de) Verfahren und anordnung zur optischen kontrolle mechanischer messobjektabtastung
AT502410B1 (de) Vorrichtung zur prüfung von werkstücken
DE4134689C1 (en) Optically measuring contour of toroidal opaque object - registering shadows cast by light source using line or matrix camera taking into account distance from object and imaging scale
DE10349946B4 (de) Anordnung zur Messung von Oberflächeneigenschaften
DE102020105768A1 (de) Koordinatenmessgerät und Verfahren zum Betreiben desselben

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8122 Nonbinding interest in granting licenses declared
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee

Effective date: 20111201