DE19820307C2 - Berührungslose Temperaturerfassung an einer Mehrkoordinatenmeß- und Prüfeinrichtung - Google Patents
Berührungslose Temperaturerfassung an einer Mehrkoordinatenmeß- und PrüfeinrichtungInfo
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- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims description 25
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title description 7
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 16
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 8
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 238000012854 evaluation process Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000275 quality assurance Methods 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
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- G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
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- G01—MEASURING; TESTING
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- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/002—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates
- G01B11/005—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates coordinate measuring machines
- G01B11/007—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates coordinate measuring machines feeler heads therefor
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- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/10—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors
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Description
Die Erfindung betrifft eine berührungslose Temperaturerfassung an einer
Mehrkoordinatenmess- und Prüfeinrichtung für die Lösung von Mess- und
Prüfaufgaben nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Stand der Technik sind Mehrkoordinatenmess- und Prüfeinrichtungen, diese enthalten
einen Maschinengrundeinheit, eine Maschinensteuerungseinheit und ein in zumindest
zwei Koordinatenrichtungen bewegbares, maschinengesteuertes Multisensortastsystem
zum Antasten eines Werkstückes, dessen erster Taster aus einem an einer Pinole
angebrachten mechanischen Tastkopf mit zumindest einem Taststift und dessen
zweiter Taster ein Videotaster ist, die beide alleine ansteuerbar sind und unabhängig
voneinander arbeiten.
In der Qualitätssicherung werden immer kürzere Mess- und Prüfzeiten der
produzierten Teile gefordert, um den Produktionsfluss so gering wie möglich zu
beeinflussen. Deshalb ist es notwendig, die produzierten Teile sofort auf die
Koordinatenmessmaschine zu legen und zu vermessen ohne zu warten, bis diese die
vorgeschriebene Messtemperatur von 20 Grad Celsius erreicht haben.
Koordinatenmessmaschinen stehen üblicherweise in einem klimatisierten Raum oder in
einer Klimakabine und sind bei 20 Grad Celsius kalibriert. Wenn aber ein Prüfteil, das
die geforderte Temperatur nicht hat, auf einer Messmaschine vermessen wird, sind die
Messergebnisse, die sich im µm-Bereich bewegen, unbrauchbar, da die Prüfteile
aufgrund der von 20 Grad Celsius abweichenden Temperatur eine je nach
Längenausdehnungskoeffizient andere Dimensionen aufweisen. Deshalb wurden in der
Vergangenheit Temperatursensoren an dem Prüfling angebracht, um die
Temperaturdifferenz zu erfassen und zu kompensieren.
Bei der Patent-Offenlegungsschrift DE 38 06 686 A1 handelt es sich ebenfalls um eine
Koordinatenmessmaschine, jedoch kommt hier im Gegensatz zu dem neu zum Patent
angemeldeten, neben dem mechanischen Taster und dem Videotaster noch ein 3.
Taster - ein Lasertaster hinzu, der jedoch nur zum Fokussieren auf Prüfteiloberflächen
und zum Scannen der Oberflächenbeschaffenheit benutzt wird. Eine berührungslose
Temperaturerfassung kommt hier nicht zum Einsatz.
Die Patent-Offenlegungsschrift DE 44 45 331 A1 beschreibt ein automatisches System
welches die nicht benutzten Messsensoren aus dem Messbereich herausbewegt, um
eine gegenseitige Behinderung der Sensoren während des Messablaufs zu verhindern.
Im Gegensatz zu dem neu zum Patent angemeldeten handelt es sich hier jedoch um
ein Zubehörteil das an verschiedene Koordinatenmessmaschinen angebaut werden
kann. Eine berührungslose Temperaturerfassung kommt hier ebenfalls nicht zum
Einsatz.
Mit einer Videokamera wird bei der Offenlegungsschrift DE 43 27 250 A1 ein
Tastelement, das sich im Sehfeld der Videokamera befindet beobachtet. Da dieses
Tastelement sehr klein und aus Glas ist, besteht die Gefahr, dass man beim Antasten
an ein Werkstück dieses Tastelement abbricht. Mit Hilfe der Videokamera, die den
Bereich um das Tastelement stark vergrößert anzeigt, soll eine Beschädigung des
Tastelementes verhindert werden. Eine berührungslose Temperaturerfassung kommt
auch hier nicht zum Einsatz.
Bei der Offenlegungsschrift DE 40 39 336 A1 wird ein Verfahren zur schnellen
Werkstück-Temperaturermessung an Koordinatenmessgeräten beschrieben, jedoch
muss hier zuerst der Messtaster abgelegt werden bevor ein Temperaturmesskopf
aufgenommen werden kann. Dieses nimmt sehr viel Zeit in Anspruch und es wird ein
zusätzliches Taststiftwechselmagazin benötigt, welches sehr teuer ist.
Bei diesem Verfahren kommt es auch noch zu einer Berührung des
Temperaturmesskopfes mit dem Werkstück, was bei dem neu zum Patent
angemeldeten Verfahren nicht der Fall ist. Weiterhin beträgt die Messgeschwindigkeit,
d. h. die Zeit in der, der Temperaturmesskopf auf dem Werkstück ruht etwa 27 sec.,
welches mit einem speziellen Auswerteverfahren auf 5 sec. verkürzt wird, ohne die Zeit,
die benötigt wird, um den Messtaster gegen den Temperaturmesskopf auszutauschen
und nach erfolgter Temperaturmessung wieder zurückzutauschen (ca. 20 sec.). Bei
dem neu zum Patent angemeldeten Verfahren dauert diese Messung komplett lediglich
1-2 sec. und die Temperaturmessung kann gleichzeitig mit der Messpunktaufnahme
des Koordinatenmessgerätes erfolgen.
Bekannt sind Temperatursensoren (Thermoelemente) vom Typ PT100. Diese
Temperatursensoren mussten von Hand an dem Prüfling angebracht werden wie in der
Offenlegungsschrift DE 195 43 024 A1 beschrieben. Dieses ist stellenweise je nach
Prüflingsgröße sehr schwierig und zeitaufwendig. In der Regel wurde nur ein solcher
Temperatursensor an dem Prüfling angebracht, was weiterhin zur Folge hatte, dass
unterschiedliche Abkühlungsverläufe des Prüflings, bedingt durch unterschiedliche
Wärmeleitfähigkeit der verschiedenen in Kombination gebrachten Werkstoffe, nicht
erfasst werden konnten und somit die Genauigkeit der Temperaturkompensation stark
verfälscht wird. Da die Messung des Prüflings je nach Umfang der Messaufgabe einige
Minuten dauern kann, kommt es hier zu unterschiedlichen Abkühlungsprozessen der
verschiedenen Materialien und somit zu unterschiedlichen Kompensationswerten. Hier
kommt ebenfalls eine berührungslose Temperaturerfassung nicht zum Einsatz.
Die nachstehende Erfindung beschreibt eine Temperaturerfassung an einer
Mehrkoordinatenmess- und Prüfeinrichtung, die im Gegensatz zu den oben
beschriebenen berührungslos arbeitet. Hier wird mit einem berührungslosen
Temperatursensor (z. B. Spektralpyrometer oder Bandstrahlungspyrometer) die
Temperatur des Prüfteils gemessen. Der daraus errechnete Längenmessfehler der sich
aus dem Längenausdehnungskoeffizient des Prüfmaterials ergibt, wird automatisch in
der angeschlossenen Messmaschinensteuerung verrechnet, sodass ein kompensierter
Messwert ausgegeben werden kann.
Der berührungslose Temperatursensor kann im einfachen Fall seitlich an einer oder
mehreren in Z-Richtung verfahrbaren Pinolen so angebracht werden, dass der
Fokuspunkt des berührungslosen Temperatursensors im Fokuspunkt eines an der
Pinole angebrachten optischen Sensors oder eines taktilen Sensors liegt. Somit ist
immer gewährleistet, dass die Stelle, die mit dem optischen - oder taktilen Sensor
gemessen werden soll, ebenfalls durch den berührungslosen Temperatursensor erfasst
wird. Da der Durchmesser, den der berührungslose Temperatursensor erfasst, sehr
klein ist, kann vor jeder Messwertaufnahme durch einen der normalen Messsensoren
eine Temperaturmessung exakt an der gleichen Stelle durchgeführt werden.
Bei einer Messmaschine mit optischem Sensor kann der berührungslose
Temperatursensor auch in die Optik integriert werden. Hier benutzt der berührungslose
Temperatursensor die gleiche optische Achse wie der optische Sensor. Man kann somit
sicherstellen, das der Messpunkt, den der berührungslose Temperatursensor erfasst,
der gleiche ist, den auch der optische Sensor erfasst. Dieser exakt ermittelte
Temperaturwert wird automatisch in der angeschlossenen Messmaschinensteuerung
verrechnet und ermöglicht die Ausgabe eines kompensierten Messwerts.
Claims (6)
1. Mehrkoordinatenmess- und Prüfeinrichtung, diese enthaltend eine
Maschinengrundeinheit, eine Maschinensteuerungseinheit und ein in zumindest zwei
Koordinatenrichtungen bewegbares, maschinengesteuertes Multisensortastsystem zum
Antasten eines Werkstückes, dessen erster Taster aus einem an einer Pinole
angebrachten mechanischen Tastkopf mit zumindest einem Taststift und dessen
zweiter Taster ein Videotaster ist, die beide alleine ansteuerbar sind und unabhängig
voneinander arbeiten dadurch gekennzeichnet, dass ein berührungslos arbeitender
Temperatursensor zur Messung der Temperatur des Prüfteils vorgesehen ist, der
seitlich an der in Z-Richtung verfahrbaren Pinole so angebracht ist, dass der
Fokuspunkt des berührungslosen Temperatursensors im Fokuspunkt des an der Pinole
angebrachten Videotasters oder im Antastpunkt des mechanischen Tasters liegt.
2. Mehrkoordinatenmess- und Prüfeinrichtung, diese enthaltend eine
Maschinengrundeinheit, eine Maschinensteuerungseinheit und ein in zumindest zwei
Koordinatenrichtungen bewegbares, maschinengesteuertes Multisensortastsystem zum
Antasten eines Werkstückes, dessen erster Taster aus einem an einer Pinole
angebrachten mechanischen Tastkopf mit zumindest einem Taststift und dessen
zweiter Taster ein Videotaster ist, die beide alleine ansteuerbar sind und unabhängig
voneinander arbeiten dadurch gekennzeichnet, dass ein berührungslos arbeitender
Temperatursensor zur Messung der Temperatur des Prüfteils vorgesehen ist, der in den
Videotaster integriert ist, wobei die vom Prüfteil ausgesandte Infrarotstrahlung mittels
Strahlteiler aus der gleichen optischen Achse des optischen Sensors herausgespiegelt
und zu dem berührungslosen Temperatursensor geführt ist, sodass der Messpunkt, den
der berührungslose Temperatursensor erfasst, der gleiche ist, den der Videotaster
erfasst.
3. Mehrkoordinatenmess- und Prüfeinrichtung nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet, dass der berührungslose Temperatursensor
mikroprozessorgesteuert arbeitet.
4. Mehrkoordinatenmess- und Prüfeinrichtung nach Anspruch 1, 2 oder 3,
dadurch gekennzeichnet, dass der ermittelte Temperaturwert in der angeschlossenen
Maschinensteuerung verrechenbar und als Kompensationswert ausgebbar ist.
5. Mehrkoordinatenmess- und Prüfeinrichtung nach Anspruch 1, 2, 3 oder 4,
dadurch gekennzeichnet, dass mehrere berührungslose Temperatursensoren zum
Einsatz kommen.
6. Mehrkoordinatenmess- und Prüfeinrichtung nach Anspruch 1, 2, 3, 4 oder 5,
dadurch gekennzeichnet, dass mehrere berührungslose Temperatursensor in
Kombination mit Kontakttemperatursensoren zum Einsatz kommen.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1998120307 DE19820307C2 (de) | 1998-05-07 | 1998-05-07 | Berührungslose Temperaturerfassung an einer Mehrkoordinatenmeß- und Prüfeinrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1998120307 DE19820307C2 (de) | 1998-05-07 | 1998-05-07 | Berührungslose Temperaturerfassung an einer Mehrkoordinatenmeß- und Prüfeinrichtung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19820307A1 DE19820307A1 (de) | 1999-11-18 |
DE19820307C2 true DE19820307C2 (de) | 2003-01-02 |
Family
ID=7866905
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1998120307 Expired - Fee Related DE19820307C2 (de) | 1998-05-07 | 1998-05-07 | Berührungslose Temperaturerfassung an einer Mehrkoordinatenmeß- und Prüfeinrichtung |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE19820307C2 (de) |
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US8683709B2 (en) | 2010-01-20 | 2014-04-01 | Faro Technologies, Inc. | Portable articulated arm coordinate measuring machine with multi-bus arm technology |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8122 | Nonbinding interest in granting licenses declared | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |
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