DE4208117A1 - Tauchgeraet - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Tauchgerät nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.

Insbesondere bezieht sich die Erfindung auf ein Tauchgerät, mit dem Paste auf Enden von miniaturisierten Komponenten, wie beispielsweise elektronischen Komponenten des Chip-Ty­ pes, mit hoher Genauigkeit aufgebracht werden kann.

Allgemein wird eine Halteplatte mit einer Anzahl von Halte­ löchern verwendet, um wirksam Elektroden auf Endabschnitte von einer Anzahl von elektronischen Komponenten des Chip-Ty­ pes aufzubringen, wie dies in U.S.-Patent 43 95 184 be­ schrieben ist. Diese Halteplatte umfaßt ein hartes Substrat, das in seinem mittigen Bereich einen dünnen flachen Platten­ abschnitt aufweist, der mit einer Anzahl von Durchgangslö­ chern versehen ist, und ein Gummi-artiges elastisches Glied umfaßt, das in einem konkaven Abschnitt, der in dem flachen Plattenabschnitt festgelegt ist, eingebettet ist und Aufnah­ melöcher hat, die sich durch das elastische Glied erstrecken und einen kleineren Durchmesser als die Durchgangslöcher ha­ ben. Die Halteplatte hält elastisch die elektronischen Kom­ ponenten des Chip-Types in den Aufnahmelöchern in der Weise, daß sie sich teilweise über sie hinaus erstrecken, so daß Elektrodenpaste aus Silber oder dergleichen gleichmäßig auf die hervorstehenden Abschnitte aufgebracht werden kann. Da­ raufhin werden die elektronischen Komponenten des Chip-Types zum Trocknen der Elektrodenpaste erwärmt.

Das oben erwähnte U.S.-Patent offenbart ein beispielhaftes Verfahren des Aufbringens von Elektrodenpaste auf derartige elektronische Komponenten des Chip-Types mittels einer Rol­ le. Bei diesem Verfahren wird eine Halteplatte, die die elektronischen Komponenten des Chip-Types derartig hält, daß diese teilweise über sie an ihrer oberen Fläche hinausste­ hen, durch einen Förderer getragen. Eine Rolle, die mit Elektrodenpaste an ihrer peripheren Oberfläche beschichtet ist, wird in Kontakt mit den hervorstehenden Abschnitten der elektronischen Komponenten des Chip-Types gebracht, um Elek­ trodenpaste auf die elektronischen Komponenten des Chip-Ty­ pes aufzubringen. Um die Dicke der Paste um die periphere Oberfläche der Rolle herum zu vergleichmäßigen, wird eine Abstreifklinge verwendet, um einen überschüssigen Anteil der Paste abzustreifen, während sich die Rolle dreht.

Wenn die elektronischen Komponenten des Chip-Types eine Län­ ge von beispielsweise von 1,6 bis 5,7 mm haben, weisen die Elektroden eine äußerst geringe Dicke von ungefähr 0,15 bis 0,3 mm auf, welche mit hoher Genauigkeit gesteuert werden muß. Jedoch wird bei dem bekannten Verfahren die Paste auf die äußere Fläche oder periphere Fläche der Rolle aufge­ bracht und fließt gemäß ihrer Rotation, so daß sich eine feine Variation der Pastendicke ergibt, wodurch sich wiede­ rum Schwankungen der Dicke der Elektroden ergeben, die auf den elektronischen Komponenten des Chip-Types ausgebildet werden. Derartige Ungleichmäßigkeiten können ebenfalls durch Vibrationen des Förderers oder Schwankungen in der Genauig­ keit der horizontalen Einstellung verursacht werden.

Die japanische Patentveröffentlichung Nr. 3-44 404 (1991) beschreibt ein Verfahren des Beschichtens der oberen Fläche einer flachen Beschichtungsplatte mit einem dünnen Film einer Elektrodenpaste und des Annäherns der Halteplatte, die die elektronischen Komponenten des Chip-Types hält, so daß sich diese teilweise nach unten von ihr erstrecken, an die Beschichtungsplatte, um die hervorstehenden Abschnitte der elektronischen Komponenten des Chip-Types gegen die Be­ schichtungsplatte zu drücken, wodurch die Elektrodenpaste auf die elektronischen Komponenten des Chip-Types aufge­ bracht wird.

Bei diesem Verfahren treten nicht die Unannehmlichkeiten des soeben beschriebenen Verfahrens unter Verwendung einer Rolle auf. Bei diesem Verfahren werden die hervorstehenden Ab­ schnitte der elektronischen Komponenten des Chip-Types gegen die Bodenfläche der Beschichtungsplatte gedrückt, die mit der Paste beschichtet ist, wodurch die elektronischen Kompo­ nenten des Chip-Types keine unterschiedlichen Längen der hervorstehenden Abschnitte haben, so daß die Elektroden­ breiten vergleichmäßigt werden. Üblicherweise trägt jedoch eine einzige Halteplatte tausende von elektronischen Kompo­ nenten des Chip-Types. Daher wirkt eine äußerst starke Reak­ tionskraft auf die Halteplatte, wenn die elektronischen Kom­ ponenten des Chip-Types gegen die Beschichtungsplatte ge­ drückt werden, welche mit der Paste beschichtet ist. Daher kann die Halteplatte gegenüber dem parallelen Zustand bezüg­ lich der Paste schräg angestellt sein, oder es kann eine Deformation der Halteplatte selbst oder eine Verschlechte­ rung ihrer ebenen Gestalt auftreten, wobei diese Effekte zu einer Verschlechterung der Genauigkeit bei der Anbringung von Elektroden führen können.

Ausgehend von diesem Stand der Technik liegt der vorliegen­ den Erfindung daher die Aufgabe zugrunde, ein Tauchgerät der eingangs genannten Art so weiterzubilden, daß es eine Halte­ platte zum Halten von elektronischen Komponenten des Chip- Types parallel zu der Paste halten kann, um die Elektroden der elektronischen Komponenten des Chip-Types mit hoher Genauigkeit aufzubringen.

Diese Aufgabe wird durch ein Tauchgerät gemäß Patentanspruch 1 gelöst.

Ein Vorteil des erfindungsgemäßen Tauchgerätes liegt darin, daß eine Deformation der Halteplatte zur Sicherstellung ihrer ebenen Gestalt verhindert werden kann.

Das erfindungsgemäße Tauchgerät umfaßt einen Tauchkopfab­ schnitt und ein Tauchgefäß, das in horizontaler Richtung unter dem Tauchkopfabschnitt angeordnet ist und eine Boden­ fläche hat, die mit einem dünnen Film der Paste beschichtet ist. Ein Einspannabschnitt ist in vertikaler Richtung beweg­ lich auf dem unteren Teil des Tauchkopfabschnittes über wenigstens zwei Wellen gelagert. Wenigstens eine der Wellen ist als Kugelschraube, die durch einen Motor angetrieben wird, ausgebildet. Der Einspannabschnitt spannt in horizon­ taler Richtung eine Halteplatte ein, die eine Anzahl von elektronischen Komponenten des Chip-Types derart hält, daß sich diese von ihr aus nach unten erstrecken.

Vorzugsweise wird der Einspannabschnitt durch vier Wellen gelagert, die in der Art eines Rechteckes angeordnet sind.

Zwei diagonal angeordnete Wellen von diesen Wellen sind als synchron angetriebene Kugelschrauben ausgebildet, während die anderen, diagonal angeordneten beiden Wellen als Füh­ rungswellen zum Führen der Vertikalbewegung des Einspann­ abschnittes dienen.

Vorzugsweise weist die Halteplatte an ihren Seitenendflächen Einspannkerben auf. Der Einspannabschnitt hat eine horizon­ tale Hilfsplatte und Einspannkrallen, die mit den Einspann­ kerben Eingriff nehmen, um die obere Fläche der Halteplatte gegen die Hilfsplatte bzw. rückwärtige Platte zu pressen.

Eine beispielshafte Wirkung eines Einspannabschnittes, der nach unten von einem Tauchkopfabschnitt über Kugelschrauben hängt, wird nachfolgend erläutert. Wenn Muttern, die mit Kugelschrauben zusammenpassen, durch einen Motor gedreht werden, werden die Kugelschrauben in axiale Richtung bewegt. Daher wird der Einspannabschnitt, der an die unteren Enden der Kugelschrauben angekoppelt ist, nach unten bewegt, und preßt die hervorstehenden Abschnitte der elektronischen Kom­ ponenten des Chip-Types, welche durch eine Halteplatte ge­ halten werden, gegen die Bodenfläche eines Tauchgefäßes, das mit der Paste beschichtet ist. Obwohl die Reaktionskräfte zu diesem Zeitpunkt auf die Halteplatte einwirken, ist es mög­ lich, eine Schrägstellung des Einspannabschnittes zu verhin­ dern, der in vertikaler Richtung durch wenigstens zwei Wel­ len mit Kugelschrauben getragen wird. Die Halteplatte wird regelmäßig in einem horizontalen Zustand gehalten, wodurch es möglich ist, die Elektroden gleichmäßig auf die Endab­ schnitte der elektronischen Komponenten des Chip-Types auf­ zubringen, die von der Halteplatte gehalten werden.

Erfindungsgemäß werden ein Motor und Kugelschrauben als Ver­ tikalbewegungsmittel verwendet, wodurch die Geschwindigkeit der Vertikalbewegung frei mittels des Motors eingestellt werden kann, so daß ein auf die Halteplatte ausgeübter Stoß gemildert wird.

Soweit die Anordnung der Wellen zum vertikalen Tragen des Einspannabschnittes betroffen ist, können zwei Kugelschrau­ ben und zwei Führungswellen in jeweiligen Diagonalpositionen angeordnet werden, so daß die diagonal angeordneten Kugel­ schrauben synchron durch den Motor angetrieben werden. Daher ist es möglich, die Reaktionskraft in einem gleichgewichti­ gen Zustand aufzufangen, die bei dem Eintauchen verursacht wird, wodurch weiterhin eine Schrägstellung des Einspannab­ schnittes verhindert wird.

Die Halteplatte selbst kann leicht durch Reaktionskräfte bei dem Eintauchen deformiert werden, da sie eine Anzahl von elektronischen Komponenten des Chip-Types hält. Wenn die Rückseite der Halteplatte flächig durch eine Hilfsplatte bzw. Rückplatte getragen wird, kann eine Deformation der Halteplatte aufgrund von Reaktionskräften vermieden werden, so daß deren flache Gestalt gewährleistet bleibt. Wenn der Einspannabschnitt in Einspannkerben aufgenommen wird, die an den Seitenflächen der Halteplatte vorgesehen sind, wird der Einspannabschnitt nicht nach unten jenseits der Halteplatte hervorstehen, so daß die Eintauchoperation ohne Behinderung durchgeführt werden kann.

Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 eine Frontansicht eines Tauchgerätes gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung;

Fig. 2 eine perspektivische Darstellung einer Halteplatte, die bei dem in Fig. 1 gezeigten Tauchgerät Verwen­ dung findet;

Fig. 3 eine Schnittdarstellung der Halteplatte zum Halten von elektronischen Komponenten des Chip-Types;

Fig. 4 eine Draufsicht auf einen Tauchkopfabschnitt, der bei dem Tauchgerät gemäß Fig. 1 enthalten ist;

Fig. 5 eine Schnittdarstellung längs der Linie V-V von Fig. 4;

Fig. 6 eine Querschnittsdarstellung eines Einspannabschnit­ tes, der bei dem in Fig. 1 gezeigten Tauchgerät enthalten ist;

Fig. 7 eine teilweise geschnittene Draufsichtdarstellung des in Fig. 6 gezeigten Einspannabschnittes;

Fig. 8 eine Vorderansicht eines Zuführungsförderers, der bei dem in Fig. 1 gezeigten Tauchgerät enthalten ist, in dessen Arbeitsposition;

Fig. 9 eine Draufsicht auf den Zuführungsförderer gemäß Fig. 8;

Fig. 10 eine linke Seitenansicht des in Fig. 8 gezeigten Zuführungsförderers;

Fig. 11 eine Draufsichtdarstellung eines Tauchgefäßes und eines Blattabschnittes, die in dem in Fig. 1 ge­ zeigten Tauchgerät enthalten sind;

Fig. 12 eine Querschnittsdarstellung längs der Linie XII-XII von Fig. 11;

Fig. 13 eine Querschnittsdarstellung längs der Linie XIII-XIII von Fig. 12;

Fig. 14 (a) bis 14 (c) zur Erläuterung dienende Diagramme zum Verdeutlichen eines Verfahrens des Anbringens von Paste.

Fig. 1 zeigt ein Tauchgerät gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung, das zum Anbringen von Elektroden an Endab­ schnitte von elektronischen Komponenten B des Chip-Types dient. Wie in den Fig. 2 und 3 gezeigt ist, sind die elektronischen Komponenten B des Chip-Types in der Weise durch eine Halteplatte A gehalten, daß sie teilweise aus Aufnahmelöchern a₁ hervorstehen. Die Struktur dieser Halte­ platte A ähnelt derjenigen, die in der japanischen Patent­ veroffentlichung Nr. 3-44 404 (1991) beschrieben ist.

Das erfindungsgemäße Tauchgerät wird durch einen Körper 1, der eine Steuereinheit (nicht dargestellt) umfaßt, einen Tauchkopfabschnitt 2, der an dem Körper 1 durch feste Pole 3 und eine obere Platte 4 befestigt ist, einen Zuführungsför­ derer 5, einen Entladungsförderer 6, ein Tauchgefäß 7 und einen Blattabschnitt 8 gebildet.

Wie in den Fig. 4 und 5 gezeigt ist, ist ein Einspannab­ schnitt 10 in vertikaler Richtung beweglich von dem unteren Teil des Tauchkopfabschnittes 2 durch vier Wellen 11a, 11b, 11c und 11d gehalten, wobei diese Wellen derart angeordnet sind, daß sie ein Rechteck um den Schwerpunkt des Einspann­ abschnittes 10 herum bilden. Zwei diagonal angeordnete Wel­ len 11a, 11b von diesen Wellen werden durch Kugelschrauben gebildet, während die anderen, diagonal angeordneten beiden Wellen 11c, 11d als Führungswellen dienen. Die Führungswel­ len 11c, 11d sind in vertikaler Richtung gleitend auf der oberen Platte 4 des Tauchkopfabschnittes 2 mittels Führungs­ buchsen 108 geführt. Die obere Platte 4 weist einen vertika­ len Motor 12 zum Drehen einer Mutter 103 auf, die mit einer ersten Kugelschraube 11a über ein Riemenrad 100, einen Rie­ men 101 und ein weiteres Riemenrad 102 in Verbindung steht. Den Motor 103 dreht eine Mutter 107, die an einer zweiten Kugelschraube 11b angebracht ist, durch ein Riemenrad 104, das sich ein Stück mit dem Riemenrad 102 dreht, einen Riemen 105 und ein weiteres Riemenrad 106. Daher werden die beiden Kugelschrauben 11a, 11b in synchroner Weise angetrieben. Der Einspannabschnitt, der auf diese Weise durch die vier Wellen 11a bis 11b getragen wird, kann in vertikaler Richtung be­ wegt werden, während er ständig einen horizontalen Zustand beibehält.

Die Fig. 6 und 7 zeigen einen Einspannabschnitt 10 in de­ taillierter Darstellung. Dieser Einspannabschnitt 10 umfaßt ein Grundteil 14, das an den unteren Endabschnitten der Wel­ len 11a bis 11d befestigt ist, und eine Hilfsplatte 15, die in horizontaler Richtung an der unteren Seite des Grundtei­ les 14 festgelegt ist. Zwei Schaltzylinder 16 und ein verti­ kaler Zylinder 17 sind an jeder Seite des Grundteiles 14 vorgesehen. Ein Paar von Gleitwellen 18 sind mit dem Grund­ teil 14 in einem aufrechten Befestigungszustand verbunden, um einen in vertikaler Richtung beweglichen Einspannhalter 19 zu führen, der an eine Kolbenstange des vertikalen Zylin­ ders 17 über einen Steg 20 verbunden ist. Daher kann der Einspannhalter 19 in vertikaler Richtung durch den vertika­ len Zylinder 17 bewegt werden. Zwei vertikal angeordnete Paare von Gleitwellen 21 erstrecken sich gleitend durch die beiden Seitenabschnitte des Einspannhalters 19. Ein horizon­ tal angeordnetes Paar von Einspannklinken 22 ist an die äußeren Endabschnitte der Gleitwellen 21 angekoppelt. Gleit­ teile 23 sind an den Seitenendabschnitten der Gleitwellen 21 in einer sich vertikal erstreckenden Art angebracht. Vordere Endflächen der Kolbenstangen der Schaltzylinder 16 stehen in Gleitkontakt mit den Seitenflächen der Gleitteile 23. Kon­ taktdrücke zwischen den Kolbenstangen der Schaltzylinder 16 und den Gleitteilen 23 werden durch Federn 24 verursacht, die an den Gleitwellen 21 vorgesehen sind.

Während des Betriebes öffnen die Schaltzylinder 16 die Einspannklinken 22 während eines ersten Schrittes. Während eines zweiten Schrittes bewegt sich der vertikale Zylinder 17 nach unten und öffnet die Einspannklinken 22. Bei einem dritten Schritt schließen die Schaltzylinder 16 die Ein­ spannklinken 22 nach innen und nehmen mit deren vorderen Enden an Einspannkerben Eingriff, welche an den beiden Sei­ ten der Halteplatte A vorgesehen sind. Bei einem vierten Schritt bewegt der vertikale Zylinder die geschlossenen Ein­ spannklinken 22 nach oben, um die obere Fläche der Halte­ platte A in engen Kontakt mit der Hilfsplatte 15 zu bringen. Da die untere Fläche der Hilfsplatte 15 durchweg in einem horizontalen Zustand durch die Wellen 11a bis 11d gehalten wird, wird die Halteplatte A gleichfalls horizontal gehal­ ten, um die hervorstehenden Abschnitte der elektronischen Komponenten B des Chip-Types in einem horizontalen Zustand zu halten, welche in den Aufnahmelöchern a₁ aufgenommen sind. Wie in Fig. 6 gezeigt ist, werden die Einspannklinken 22 an der linken Seite geschlossen, während die auf der rechten Seite vorgesehenen Einspannklinken geöffnet werden.

Um die Halteplatte A zu lösen, wird eine umgekehrte Be­ triebsweise zu der oben beschriebenen Betriebsweise ausge­ führt. Es werden nämlich die Einspannklinken 22 nach unten in den geschlossenen Zustand während eines ersten Schrittes bewegt, um die Halteplatte A auf die Förderer 5, 6 aufzule­ gen, wie nachfolgend noch erläutert werden wird. Die Ein­ spannklinken 22 werden während eines zweiten Schrittes geöffnet, um die Halteplatte A loszulassen. Die geöffneten Einspannklinken 22 werden während eines dritten Schrittes nach oben bewegt. Dann werden sie während eines vierten Schrittes nach innen geschlossen, um die Abfolge der Opera­ tionsschritte zu vervollständigen.

Die Fig. 8 bis 10 zeigen den Zuführförderer 5 im Detail. Führungsschienen 32a und 32b sind in horizontaler Richtung auf einem Paar von Tragteilen 31a, 31b angeordnet, von denen ein jedes in horizontaler Richtung an dem Körper 1 durch eine Vielzahl von Tragbeinen 30 befestigt ist, so daß ein Förderkörper 33 auf den Führungsschienen 32a, 32b durch Gleitlager 34a, 34b gleitend geführt ist. Ein Gleitmotor 36 ist an dem Körper 1 durch eine Klammer 35 angebracht. Ein Antriebsriemenrad 37 ist an der Drehwelle dieses Motors 36 befestigt. Das Antriebsriemenrad 37 steht in Leistungsüber­ tragungsverbindung über einen Riemen 38 mit einem Zwischen­ riemenrad 39, welches drehbar durch einen anfänglichen End­ abschnitt des ersten Tragteiles 31a gelagert ist. Das Zwi­ schenriemenrad 39 wird in integraler Weise mit einem Über­ tragungsriemenrad 40 gedreht, welches in einer gegenüber­ liegenden Position jenseits des Tragteiles 31a angeordnet ist. Ein Gleitriemen 42 erstreckt sich über das Übertra­ gungsriemenrad 40 und ein weiteres Übertragungsriemenrad 41, welches in drehbarer Weise an dem hinteren Endabschnitt des Tragteiles 31a gelagert ist. Ein Klammerglied 43 zum teil­ weisen Einklemmen des Gleitriemens 42 ist an der unteren Fläche eines Seitenabschnittes des Förderkörpers 33 ange­ bracht. Daher ist es möglich, den Förderkörper 33 in hori­ zontaler Richtung gleiten zu lassen, indem der Gleitmotor 36 angetrieben wird.

Eine anfängliche Endposition (Ruheposition) und eine letzte Endposition (Arbeitsposition) des Förderkörpers 33 bei dessen Gleitoperation können erfaßt werden, wenn ein Erfas­ sungsglied 44 auf einer Seitenfläche des Förderkörpers 33 Lagedetektoren 45, 46 erreicht, die durch Fotolichtschranken gebildet sind, welche auf dem zweiten Tragteil 31a mit jeweils konstantem Abstand befestigt sind. Die Lagedetek­ toren 45, 46 erzeugen ausgangsseitig Erfassungssignale, um den Gleitmotor 36 anzuhalten. Um Stöße zu verhindern, die auftreten könnten, wenn der Förderkörper an der anfänglichen und letztendlichen Endlage angehalten wird, sind ein Paar von Stoßabsorbern 47, 48 auf dem ersten Tragteil 31a be­ festigt. Ein Anschlagteil 49 ist an dem Seitenabschnitt des Förderkörpers 33 befestigt.

Sich in Querrichtung erstreckende Wellen 50, 51 sind drehbar an vorderen und hinteren Abschnitten des Förderkörpers 33 gelagert. Schlittenriemenräder 54, 55, die in horizontaler Richtung mit Schlittenriemen 52, 53 versehen sind, sind an den beiden Endabschnitten der Wellen 50, 51 befestigt. Die Schlittenriemen 52, 53 dienen zum Tragen der beiden Seiten­ abschnitte der Halteplatte A. Ein Schlittenmotor 57 ist an der unteren Fläche des Förderkörpers 33 mittels einer Klam­ mer 56 befestigt. Ein Antriebsriemenrad 58 ist an der Dreh­ welle dieses Motors 57 angebracht. Das Antriebsriemenrad 58 steht in Antriebsverbindung mit einem weiteren Riemenrad 60 mittels eines Riemens 59, welches an einem Zwischenabschnitt der Welle 50 befestigt ist und welches an dem anfänglichen Ende vorgesehen ist. Daher ist es möglich, die Schlittenrie­ men 52, 53 mit derselben Geschwindigkeit durch den Schlit­ tenmotor 57 anzutreiben, um die Halteplatte A zu tragen, die durch diese Riemen 52, 53 getragen wird, wobei dies vom anfänglichen Ende bis zum hinteren Ende in paralleler Art geschieht.

Der Zuführungsförderer 5 umfaßt eine Zugrolle 61 zum Erzeu­ gen einer konstanten Spannung für den Gleitriemen 42, ein horizontales Paar von Führungsplatten 62, 63 zum gleitenden Tragen der unteren Fläche der Schlittenriemen 52, 53, Zug­ rollen 64, 65 zum Erzeugen einer konstanten Spannung für die Schlittenriemen 52, 53 und eine rückwärtige Abdeckung 66, um zu verhindern, daß Staub und ähnliche Fremdkörper, die an dem Schlittensystem anhaften, in das Tauchgefäß 7 fallen.

Da der Entladungsförderer 6 symmetrisch bezüglich seiner Struktur zu dem Zuführungsförderer 5 ist, kann eine sich wiederholende Beschreibung unterbleiben. Der Entladungsför­ derer 6 ist derart mit der Gleit- und Trag-Operation mit dem Zuführungsförderer 5 synchronisiert, daß der Erstgenannte in Synchronisation mit dem Letztgenannten in die Arbeitslage gleitet. Die Schlittenriemen des Erstgenannten werden mit der gleichen Geschwindigkeit in der gleichen Richtung bezüg­ lich derjenigen des Letztgenannten angetrieben.

Der Entladungsförderer 6 unterscheidet sich in seiner Struk­ tur dahingehend von dem Zuführungsförderer 5, daß ein foto­ elektrischer Schalter 67 und ein Annäherungsschalter 68 an einer unteren Fläche der rückwärtigen Abdeckung 66 befestigt sind, die auf der unteren Fläche des Förderkörpers 33 ange­ bracht ist und daß eine vordere Endseitenfläche des Förder­ körpers 33 zum Erfassen der Positionen der Halteplatte A jeweils vorgesehen ist, wie dies in Fig. 7 dargestellt ist. Der fotoelektrische Schalter 67 dient zum zeitweiligen An­ halten der Halteplatte A, um diese von dem Tauchschritt zu einem nachfolgenden Schritt zu befördern, während der Nähe­ rungsschalter 68 dazu dient, eine Position zum Anhalten der Halteplatte A zu bestimmen, wenn diese quer zu den Förderern 5, 6 vor dem Eintauchen getragen worden ist.

Die Fig. 11 bis 13 zeigen das Tauchgefäß 7 und den Blatt­ abschnitt 8.

Das Tauchgefäß 7 hat die Form eines Rechteckes mit U-förmi­ gem Querschnitt, der geringfügig größer ist als die Halte­ platte, und ist mit Führungsschienen 70 an den beiden Längs­ kanten versehen. Ein Blatt-Tragrahmen 71 ist gleitend auf Führungsschienen 70 gelagert, und erstreckt sich in horizon­ taler Richtung quer zu dem Tauchgefäß 7. Ein Wiedergewin­ nungsblatt 72 zum Sammeln von Elektrodenpaste an einem End­ abschnitt des Tauchgefäßes 7 und ein Nivellierungsblatt 73 zum Einstellung einer bestimmten Dicke der Elektrodenpaste sind unabhängig voneinander an dem Blatt-Tragrahmen 71 in einer in vertikaler Richtung beweglichen Art befestigt. Die Blätter 72, 73 haben die gleiche Breite, die geringfügig kleiner ist, als die innere Breite des Tauchgefäßes 7 längs der jeweils kürzeren Kanten. Das Wiedergewinnungsblatt 72 ist an der unteren Fläche einer Brückenstange 74 angebracht, die in vertikaler Richtung an dem oberen Abschnitt des Blatt-Tragrahmens 71 getragen ist. Diese Brückenstange 74 wird in vertikaler Richtung durch ein Zylinderpaar 75 ange­ trieben, das an den beiden Endabschnitten des Blatt-Trag­ rahmens 71 vorgesehen ist. Ein Gummiblattglied 76 ist an dem unteren Ende des Wiedergewinnungsblattes 72 befestigt und kann in engen Kontakt mit der unteren Fläche des Tauchge­ fäßes 7 gebracht werden.

Ein Paar von Blöcken 77 sind an einer Seitenfläche des Ni­ vellierblattes 73 angebracht und können mit Schraubenwellen 78 eingestellt werden und nehmen gleitend Gleitwellen 80 auf, deren obere Endabschnitte an einer Tragplatte 79 befe­ stigt sind. Die Schraubenwellen 78 erstrecken sich drehend durch die Tragplatte 79. Die oberen Endabschnitte der Schraubenwellen 78 werden durch Lagesteuermotoren 81 mittels Riemen 96 angetrieben. Vertikale Zylinder 82 sind an den horizontalen Endabschnitten der Tragplatte 79 angebracht, so daß Kolbenstangen mit dem Blatt-Tragrahmen 71 gekoppelt sind. Gleitwellen 83 stehen nach unten von den beiden Endab­ schnitten des Tragrahmens 79 hervor und werden in vertikaler Richtung beweglich in den Blatt-Tragrahmen 71 aufgenommen. Daher ist es möglich, die Tragplatte 79 über einen großen Abstand in vertikaler Richtung zu bewegen, während eine ho­ rizontale Lage bezüglich des Blatt-Tragrahmens 71 eingehal­ ten wird, in dem die vertikalen Zylinder 82 angetrieben wer­ den. Daher ist es möglich, die vertikale Lage des Nivellier­ blattes 73 bezüglich der Tragplatte 79 durch Antreiben des Positionssteuermotores 71 genau zu steuern. Die untere Grenzlage der Tragplatte 79 wird durch Anschlagsabschnitte 83a der Gleitwellen 83 eingestellt, wodurch es möglich ist, sehr genau die Höhe des Nivellierblattes 73 gegenüber der Bodenfläche des Tauchgefäßes 7 einzustellen. Mit anderen Worten ist es möglich, sehr genau die Dicke der Elektroden­ paste zu steuern, die auf die Bodenfläche des Tauchgefäßes 7 aufgebracht wird.

Vier Befestigungslöcher 84, von denen ein jedes ein kreis­ förmiges Ende und ein anderes Ende mit einem T-förmigen Längsquerschnitt hat, sind in der unteren Fläche des Tauch­ gefäßes 7 ausgebildet, während vier mit Köpfen versehene Stifte 85 entsprechend der Befestigungslöcher 84 nach oben von dem Körper 1 hervorstehen. Das Tauchgefäß 7 ist derart auf dem Körper 1 angeordnet, daß die kreisförmigen Abschnit­ te der Befestigungslöcher 84 die Köpfe der mit Köpfen ver­ sehenen Stifte 85 aufnehmen und in Fig. 11 nach rechts glei­ ten. Daher nehmen die Köpfe der Stifte 85 Eingriff mit den T-förmigen Abschnitten der Befestigungslöcher 84, so daß das Tauchgefäß 7 durch den Körper 1 in einem engen Kontakt gehalten wird.

Eine Kugelschraube 86 ist an dem hinteren Ende des Tauch­ gefäßes 7 parallel zu dessen Längskante angeordnet und ist formschlüssig mit einem Mutterglied 88, das längs Führungs­ schienen 87, die auf dem Körper 1 angeordnet sind, gleitet. Ein Eingriffsglied 89 mit einem Handgriff 90 ist an dem Mutterglied 88 befestigt, und kann um eine Welle herum geschwenkt werden, die sich parallel zu der Schraube 86 erstreckt. Das Eingriffsglied 89 wird durch das Handteil 90 angetrieben und schwenkt in Richtung auf den Blatt-Tragrah­ men 71 und nimmt mit einer Führungskerbe 91 Eingriff, die an einem hinteren Endabschnitt des Blatt-Tragrahmens ausgebil­ det ist, wodurch das Mutterglied 88 mit dem Blatt-Tragrahmen 71 gekoppelt ist. Ein Riemenrad 92 ist an dem rechten Sei­ tenende der Kugelschraube 86 ausgebildet. Wenn das Riemenrad 92 durch einen Motor 95 mittels eines Riemens 93 und eines Riemenrades 94 angetrieben wird, bewegen sich das Mutter­ glied 88 und der Blatt-Tragrahmen 71 in horizontaler Rich­ tung in integraler Art hin und her.

Die Operation des Blattabschnittes 8 wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die Fig. 14 (a) bis 14 (c) erläutert.

Zunächst wird das Blattglied 76 des Wiedergewinnungsblattes 72 gegen die Bodenfläche des Tauchgefäßes 7 gedrückt und der Blatt-Tragrahmen 71 nach links angetrieben, wie dies in Fig. 14 (a) gezeigt ist, wodurch die Elektrodenpaste, die in dem Tauchgefäß 7 enthalten ist, an dem linken Ende gesammelt wird. Dann wird das Wiedergewinnungsblatt 72 nach oben be­ wegt, woraufhin sich das Nivellierungsblatt 73 der Bodenflä­ che des Tauchgefäßes 7 nähert, wie dies in Fig. 14 (b) ge­ zeigt ist. Zu diesem Zeitpunkt bildet sich ein Pastenvorrat in einer Position vor dem Nivellierungsblatt 73 aus, welcher durch das Wiedergewinnungsblatt 72 gesammelt worden ist. Dann wird das Nivellierungsblatt 73 nach rechts bewegt, wie dies in Fig. 14 (c) gezeigt ist, wodurch ein dünner Film der Elektrodenpaste auf der Bodenfläche des Tauchgefäßes 7 gemäß dem Freiraum zwischen dem Nivellierungsblatt 73 und dem Tauchgefäß 7 ausgebildet wird. Daraufhin werden die hervor­ stehenden Abschnitte der elektronischen Komponenten B des Chip-Types, die durch die Halteplatte A gehalten sind, in Kontakt mit dem Pastenfilm gebracht, so daß sie mit Elek­ troden beschichtet werden.

Ein Verfahren des Anbringens der Elektroden auf die hervor­ stehenden Abschnitte der elektronischen Komponenten B des Chip-Types, die von der Halteplatte A gehalten werden, mit­ tels des Tauchgefäßes 7, das mit einem dünnen Film der Elek­ trodenpaste beschichtet ist, wird nachfolgend erläutert.

Zunächst werden die vorderen Enden der Einspannklinken 22 in Einspannkerben a₂ der Halteplatte A eingesetzt, die die elektronischen Komponenten B des Chip-Types hält, so daß diese nach unten hervorstehen. Dann werden die Einspann­ klinken 22 nach oben bewegt, um die obere Fläche der Halte­ platte A in Druckkontakt mit der Hilfsplatte 15 zu bringen. Die Hilfsplatte 15 wird vorab genau parallel zu der Boden­ fläche des Tauchgefäßes 7 eingestellt. Der Motor 12 wird bewegt, um die Kugelschrauben 11a, 11b nach unten zu bewe­ gen, wodurch der Einspannabschnitt 10 in einem horizontalen Zustand nach unten bewegt wird. Wenn die hervorstehenden Abschnitte der elektronischen Komponenten B des Chip-Types in Kontakt mit der Bodenfläche des Tauchgefäßes 7 kommen, wird der Einspannabschnitt 10 weiterhin geringfügig nach un­ ten bewegt, um die elektronischen Komponenten B des Chip-Ty­ pes leicht in die Aufnahmelöcher a₁ einzudrücken. Dann wer­ den die hervorstehenden Enden der elektronischen Komponenten B des Chip-Types zu konstanter Länge korrigiert, um Elektro­ den mit gleichmäßiger Breite zu erzeugen. Zu diesem Zeit­ punkt sind die Einspannkrallen 22 nicht in Kontakt mit der Bodenfläche des Tauchgefäßes 7, da deren vordere Enden in Einspannkerben a₂ der Halteplatte A aufgenommen sind. Daher kann die Tauchoperation ohne Behinderung durchgeführt wer­ den.

Da eine einzige Halteplatte A allgemein Tausende von elek­ tronischen Komponenten B des Chip-Types hält, wirkt eine starke Reaktionskraft auf die Halteplatte A und den Ein­ spannabschnitt 10, wenn die elektronischen Komponenten B des Chip-Types gegen die Bodenfläche des Tauchgefäßes 7 gedrückt werden, welche mit der Paste beschichtet ist. Ferner ändern sich die Höhe und die Wirkung einer derartigen Reaktions­ kraft in Abhängigkeit von den Halteplatten A. Jedoch wird eine Neigung des Einspannabschnittes 10 verhindert, da die­ ser durch in diagonale Richtung angeordnete Kugelschrauben 11a, 11b und Führungswellen 11c, 11d in einem Gleichge­ wichtszustand getragen wird.

Ferner wird eine Deformation der Halteplatte A verhindert, da die Oberfläche flächig von der Hilfsplatte 15 abgestützt wird. Daher ist es möglich, die Elektroden an den hervor­ stehenden Abschnitten der elektronischen Komponenten B des Chip-Types sehr genau anzubringen.

Die Geschwindigkeit der Vertikalbewegung, der Hub- und ähn­ liche Parameter des Einspannabschnittes 10 können willkür­ lich durch den Motor 12 verändert werden. Daher ist es gleichfalls möglich, die elektronischen Komponenten B des Chip-Types in die Elektrodenpaste mehrfach einzutauchen.

Wenn das Eingriffsglied 89 außer Eingriff mit der Aufnahme­ kerbe 91 steht und wenn die Befestigungslöcher 84, die in der Bodenfläche des Tauchgefäßes 7 ausgebildet sind, von den auf dem Körper 1 vorgesehenen Stiften 85 getrennt sind, kann das Tauchgefäß 7 auf einfache Weise durch ein anderes Gefäß ausgetauscht werden. Mit anderen Worten ist es möglich, die Paste durch eine andere Paste zu ersetzen, ohne daß die an dem Tauchgefäß 7 haftende Paste und an den Blättern 72, 73 anhaftende Paste entfernt wird, wodurch die Auswechselzeit sehr stark vermindert werden kann. Da das Tauchgefäß 7 und die Blätter 72, 73 beim Austauschen der Paste gemeinsam miteinander gehandhabt werden, wird keine Abweichung in der Lagebeziehung verursacht, welche mit hoher Genauigkeit zwi­ schen der Bodenfläche des Tauchgefäßes 7 und der Nivellier­ klinge 73 eingestellt werden muß.

Bei dem gezeigten Ausführungsbeispiel sind die Riemen durch Taktriemen bzw. Zahnriemen ausgebildet und die Riemenräder als Zahnriemenräder ausgestaltet. Obwohl bei dem gezeigten Ausführungsbeispiel die Zylinder als Luftzylinder ausgeführt sind, können diese in Abweichung hiervon auch durch Soli­ noide gebildet sein. Der Motor 12 zum vertikalen Bewegen des Einspannmechanismus und der Motor 95 zum Antreiben der Blät­ ter sind durch Servomotoren gebildet. Der Gleitmotor 36 und der Schlittenmotor 57 sind durch in ihrer Antriebsrichtung umkehrbare Motoren gebildet. Die Blattsteuermotoren 81 sind jeweils durch Schrittmotoren gebildet.

Die Erfindung ist jedoch nicht auf das gezeigte Ausführungs­ beispiel beschränkt, sondern kann in vielfacher Hinsicht modifiziert werden. Beispielsweise ist es nicht erforder­ lich, daß der vertikale Motor 12 Muttern 103 und 107 dreht, die auf Ballschrauben 11a, 11b zum vertikalen Bewegen der Ballschrauben 11a, 11b passen. In Abweichung hiervon kann ein Motor zum Drehen der Ballschrauben angetrieben werden, während die auf die Ballschrauben passenden Muttern an den Einspannabschnitt angebracht sind. Die unteren Abschnitte der Führungswellen 11c, 11d können an den Einspannabschnitt angebracht sein, so daß die Führungswellen 11c, 11d bezüg­ lich des Tauchkopfabschnittes 2 gleiten. In Abweichung hier­ von können derartige Gleitwellen an den Tauchkopfabschnitt 2 angebracht sein, so daß der Einspannabschnitt 10 bezüglich der Gleitwellen gleitet. Der Motor 12 kann in dem Führungs­ körper 1 anstelle der Anordnung in dem Tauchkopfabschnitt 2 enthalten sein.

Der Einspannabschnitt kann durch lediglich zwei Kugelschrau­ ben anstelle der beiden Kugelschrauben und der beiden Füh­ rungswellen gebildet sein, und kann wunschgemäß mit Füh­ rungswellen kombiniert werden. Die beiden Kugelschrauben und die beiden Führungswellen sind nicht auf die diagonale An­ ordnung beschränkt, sondern können jegliche wunschgemäße Tragstruktur haben, sofern diese dazu geeignet ist, den Einspannabschnitt in einem horizontalen Zustand zu halten.

Der Einspannabschnitt muß nicht nötigerweise die Halteplatte in Kontakt mit seiner Hilfsplatte bringen, sondern kann die Halteplatte in willkürlicher Art einspannen.

Erfindungsgemäß wird der Einspannabschnitt in vertikaler Richtung durch wenigstens zwei Wellen mit wenigstens einer Kugelschraube getragen, wodurch es möglich ist, eine Neigung des Einspannabschnittes zu verhindern, die durch Reaktions­ kräfte auftreten würde, wenn die hervorstehenden Abschnitte der elektronischen Komponenten des Chip-Types, die durch die Halteplatte gehalten werden, gegen die Bodenfläche des Tauchgefäßes gepreßt werden, welche mit der Paste beschich­ tet ist. Daher wird die Halteplatte immer in einem horizon­ talen Zustand gehalten, so daß die Elektroden gleichmäßig auf die Enden der elektronischen Komponenten aufgebracht werden können, die von der Halteplatte gehalten werden.

Claims (3)

1. Tauchgerät, gekennzeichnet durch folgende Merkmale:
einen Tauchkopfabschnitt (2);
ein Tauchgefäß (7), das horizontal unter dem Tauchkopf­ abschnitt (2) angeordnet ist, wobei das Tauchgefäß (7) eine Bodenfläche hat, die mit einem dünnen Film einer Paste beschichtet ist;
einen Einspannabschnitt (10), der an einem unteren Teil des Tauchkopfabschnittes (2) in einer vertikalen beweg­ lichen Art mittels wenigstens zweier Wellen (11a, 11b, 11c, 11d) getragen ist, die zumindest eine Kugelschraube (11a, 11b), welche durch einen Motor (12) angetrieben wird, umfaßt, wobei der Einspannabschnitt (10) zum hori­ zontalen Einspannen einer Halteplatte ausgebildet ist, welche eine Anzahl von elektronischen Komponenten (B) des Chip-Types hält, so daß diese von ihr nach unten hervor­ stehen.

2. Tauchgerät gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Einspannabschnitt (10) durch vier Wellen (11a, 11b, 11c, 11d) getragen wird, die in der Art eines Recht­ eckes angeordnet sind, wobei zwei diagonal angeordnete Wellen durch synchron angetriebene Kugelschrauben (11a, 11b) gebildet sind, während die anderen beiden diagonal angeordneten Wellen als Führungswellen (11c, 11d) zum Führen der Vertikalbewegung des Einspannabschnittes (10) dienen.

3. Tauchgerät nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeich­ net,
daß die Halteplatte (A) an ihren Seitenendflächen mit Einspannkerben (a₂) versehen ist, und
daß der Einspannabschnitt (10) mit einer horizontalen Hilfsplatte (15) und Einspannklinken (22) versehen ist, um mit den Einspannkerben (a₂) Eingriff zu nehmen, wodurch die obere Fläche der Halteplatte (A) gegen die Hilfsplatte (15) gedrückt wird.