JP4001187B2 - 電子部品の外部電極形成方法および装置 - Google Patents

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Description

本発明は、チップ型電子部品の外部電極形成方法、特に多数の電子部品を保持プレートに一端面が突出するように保持し、突出した電子部品の一端面に電極ペーストを塗布する電子部品の外部電極形成方法に関するものである。
チップ型電子部品の両端面に外部電極を形成する方法として、多数の電子部品を保持プレートにその一方端面が突出するように保持し、一方端面に電極ペーストを塗布し、乾燥させた後、電子部品の突出端面が反転するように保持プレートによる保持姿勢を変え、他方端面にも同様に電極ペーストを塗布し、乾燥させた後、両端面に外部電極が形成された電子部品を保持プレートから取り出す方法が広く用いられている。
特許文献1には、ディップ槽の底面上の電極ペーストをディップ槽の一端側へ掻き集めるための回収用ブレードと、一端側へ掻き集められた電極ペーストをディップ槽の他端側へ均しながら膜厚を一定に調整するスキージブレードとを備えた電極塗布装置が提案されている。回収用ブレードとスキージブレードは、ディップ槽に対して水平方向に一体的に往復移動可能である。
特許文献2には、平盤とボックス型のペースト槽とを用いた外部電極の塗布装置が提案されている。ペースト槽は、一側壁に平盤との隙間を調整できるように上下にスライド可能なスキージブレードを有し、他の側壁の下端部が平盤に密着するように構成され、内部に電極ペーストを貯留した構造となっている。スキージブレードと平盤との間に所定の隙間を形成した状態で、平盤上に沿ってペースト槽をスライドさせることで、所定厚みのペースト膜を平盤上に展開することができる。平盤上に展開されたペースト膜に対し、保持プレートに保持された電子部品の一端面を浸漬し、電子部品の一端面に電極ペーストを付着させる。平盤上に残った電極ペーストは、スキージブレードを平盤に当接させた状態で、ペースト槽を展開時と逆方向にスライドさせることで、平盤上から除去、つまり回収することができる。
ところで、電子部品の端面に電極ペーストを塗布する場合、1回の塗布だけでは電子部品のコーナ部の膜厚が薄くなる傾向があるため、電極ペーストを複数回塗布することがある。特許文献1,2の方法では、ペースト膜の展開、塗布を1回行った後、残余ペーストを回収(除去)する必要があるため、図1に示すように複数回塗布(ここでは2回)を行う場合には、タクトタイムTが長くなり、作業効率が良くないという問題がある。
ディップ槽あるいは平盤を、保持プレート複数枚分の長さを持つように長手方向に延長し、この平盤上に電極ペーストを長く展開した状態で、電子部品に複数回に亘って塗布する方法も考えられる。この方法では、複数回の塗布を終了した後に残余ペーストの回収を1回実施すればよいので、タクトタイムを短縮できる。しかし、この方法では、展開後、初回の塗布までの時間と最終回の塗布までの時間との間に時間差を生じるため、その間で膜状に塗布された電極ペーストから溶剤が揮発し、電極ペーストの性状(粘度など)が変化してしまう。特に、薄膜状に電極ペーストを展開すると、電極ペーストの表面積が拡大するため、溶剤の揮発が促進される。そのため、電子部品に付着したペーストにピンホール等の塗布不良が発生する恐れがある。
特開平5−243109号公報 特開平7−161592号公報
そこで、本発明の好ましい実施形態の目的は、電子部品の端面に電極ペーストを複数回塗布する場合に、タクトタイムを短縮でき、かつ外部電極の塗布不良の発生を防止できる電子部品の外部電極形成方法および装置を提供することにある。
上記目的は本発明に係る電子部品の外部電極形成方法および電子部品の外部電極形成装置により達成される。
本発明の好ましい実施形態は、保持プレートに一端面が突出するように保持された多数の電子部品の上記一端面に電極ペーストを塗布する電子部品の外部電極形成方法において、長手方向に保持プレートの複数倍の面積を持つ平盤と、平盤との隙間を調整できるように上下にスライド可能なスキージブレードとを準備する準備ステップと、上記スキージブレードと平盤との間に所定の隙間を形成した状態で、平盤の長手方向にスキージブレードを略保持プレート1枚分に相当する長さずつ相対移動させることにより、所定厚みのペースト膜を平盤上に展開する展開ステップと、上記平盤上に展開された略保持プレート1枚分の大きさの上記ペースト膜に上記保持プレートに保持された電子部品の一端面を浸漬し、電子部品の一端面に電極ペーストを付着させる塗布ステップと、を有し、上記展開ステップと塗布ステップとを繰り返すことにより、電子部品の一端面に電極ペーストを複数回塗布することを特徴とする電子部品の外部電極形成方法である。
本発明の好ましい他の実施形態は、保持プレートに一端面が突出するように保持された多数の電子部品の上記一端面に電極ペーストを塗布する電子部品の外部電極形成装置において、長手方向に保持プレートの複数倍の面積を持つ平盤と、上記平盤との隙間を調整できるように上下にスライド可能なスキージブレードと、上記スキージブレードと平盤との間に所定の隙間を形成した状態で、平盤の長手方向にスキージブレードを略保持プレート1枚分に相当する長さずつ相対移動させることにより、所定厚みのペースト膜を平盤上に展開する展開手段と、上記平盤上に展開された略保持プレート1枚分の大きさの上記ペースト膜に上記保持プレートに保持された電子部品の一端面を浸漬し、電子部品の一端面に電極ペーストを付着させる塗布手段と、上記略保持プレート1枚分に相当するペースト膜を展開する度に上記保持プレートに保持された電子部品の一端面を浸漬させ、電子部品の一端面に電極ペーストが複数回塗布されるまで展開動作と浸漬動作とを繰り返すよう上記展開手段と塗布手段とを制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする電子部品の外部電極形成装置である。
本発明の好ましい実施形態では、長手方向に保持プレートの複数倍の面積を持つ平盤を準備し、その上に平盤との隙間を調整できるように上下にスライド可能なスキージブレードを配置する。スキージブレードと平盤との間に所定の隙間を形成した状態で、平盤の長手方向にスキージブレードを略保持プレート1枚分に相当する長さだけ相対移動させ、ペースト膜を平盤上に展開する。この略保持プレート1枚分の大きさのペースト膜に対して保持プレートに保持された電子部品の一端面を浸漬し、電子部品の一端面に電極ペーストを付着させる。ここで、略保持プレート1枚分とは、厳密に1枚分に相当する長さである必要はなく、前後に多少の余裕を持つ寸法であってもよい。
次に、再び平盤の長手方向にスキージブレードを略保持プレート1枚分に相当する長さだけ相対移動させることにより、ペースト膜を平盤上に展開し、その上に保持プレートに保持された電子部品の一端面を浸漬し、電子部品の一端面に電極ペーストを付着させる動作を繰り返す。
従来では、図1に示すように塗布工程の度に回収(除去)工程が必要であり、展開〜塗布〜回収という一連の工程を繰り返していたが、本発明では平盤が保持プレート複数枚分の長さを持つため、図2に示すように展開〜塗布〜展開〜塗布というように回収工程を省略して連続的に複数回の塗布作業を実施でき、最後に1回だけ回収工程を行えばよく、タクトタイムTをΔT分だけ短縮できる。塗布回数が増えれば、タクトタイムTの短縮効果がさらに大きくなることは明らかである。しかも、1回の展開を行う度に塗布を行うので、展開から塗布までの時間が短くかつほぼ一定であり、その間で電極ペーストの性状が殆ど変化せず、外部電極の塗布不良の発生を防止できる。
展開ステップの後、次の展開ステップまでの間に、スキージブレードを平盤に当接させた状態で、スキージブレードを平盤に沿って所定長さだけ展開方向と同方向に相対移動させてもよい。
上記のようにスキージブレードを平盤に当接させた状態で、平盤に沿ってスキージブレードを所定長さだけ展開方向と同方向に相対移動させれば、前後のペースト膜の間にペースト膜の非形成領域が形成される。
平盤上に電極ペーストを展開するとき、保持プレートとスキージブレードとが干渉しないように、余裕を見込んで保持プレート1枚分より大きな面積に展開する必要があり、展開されたペースト膜の両側には無駄な領域が生成される。電子部品に対して電極を複数回塗布する場合には、この無駄なペースト膜が塗布回数分だけ加算され、ペースト消費量が増大するという欠点がある。これに対し、前後のペースト膜の間にペースト膜の非形成領域を形成すれば、ペースト膜の両側に干渉防止のための無駄なペースト膜を少なくすることができ、ペーストの消費量を削減できる。
展開ステップは、スキージブレードを一定位置に保持し、平盤がその長手方向に移動することで、ペースト膜を平盤上に展開するのがよい。
平盤を一定位置に保持し、スキージブレードを水平移動させる構造としてもよいが、スキージブレードの動きに伴って保持プレートも水平移動しなければならないため、作動機構が複雑になる問題がある。これに対し、平盤が水平移動する構造であれば、スキージブレードは一定位置に保持され、かつ保持プレートも一定位置で昇降するだけで済むので、作動機構を簡素化できる。
電子部品の一端面に電極ペーストを複数回塗布した後、スキージブレードを平盤に当接させ、平盤に対しスキージブレードを展開方向と逆方向に相対移動させることにより、平盤上に展開されたペースト膜を除去(回収)するステップをさらに設けてもよい。
この場合は、スキージブレードがペースト膜の形成用ブレードと、残余ペーストの回収用ブレードとを兼用できるので、構成を簡略化できる。また、回収ステップを複数回の塗布を終了した後に1回行うだけでよいので、タクトタイムが長くならない。
電極ペーストを展開する手段として、一側壁に上記スキージブレードを有し、他の側壁の下端部が平盤に密着するように構成され、内部に電極ペーストを貯留したペースト槽を用い、ペースト槽を平盤の長手方向に相対移動可能としてもよい。これは、特許文献2に示されたボックス形のペースト槽を用いたものである。
また、スキージブレードに対して平盤の長手方向に間隔をあけて配置され、平盤との接触位置と離間位置との間で上下にスライド可能な回収ブレードを設けてもよい。これは、特許文献1に示された回収ブレードをを用いたものである。
この場合は、電子部品の一端面に電極ペーストを複数回塗布した後、スキージブレードを平盤から離間させるとともに、回収ブレードを平盤に当接させ、平盤に対し回収ブレードを展開方向と逆方向に相対移動させることにより、平盤上に展開されたペースト膜を除去すればよい。
発明の好ましい実施形態の効果
以上のように、本発明の好ましい実施形態によれば、電子部品の端面に電極ペーストを複数回塗布する場合に、ペースト膜を展開する平盤を複数回分展開できる長さにし、スキージブレードを平盤に対して相対的に一方向に移動させながら、電子部品の端面に電極ペーストを塗布する作業を連続的に実施するので、途中で回収工程を行う必要がなく、タクトタイムを短縮することができる。また、略保持プレート1枚分ずつペースト膜を展開する毎に後、電子部品の端面に電極ペーストを塗布するため、展開から塗布までの時間が短くかつほぼ一定になり、電極ペーストの溶剤の揮発を抑制でき、塗布形状不良の発生を抑制できる。
従来の外部電極形成工程を示すタイムチャート図である。 本発明にかかる外部電極形成工程の一例を示すタイムチャート図である。 本発明にかかる外部電極形成装置の第1実施例の側面図である。 図3に示す外部電極形成装置の斜視図である。 本発明にかかる外部電極形成方法の一例の工程図である。 本発明にかかる外部電極形成装置の第2実施例の側面図である。 本発明にかかる外部電極形成装置の第3実施例の側面図である。
以下に、本発明の好ましい実施の形態を、実施例を参照して説明する。
図3,図4は本発明にかかる電子部品の外部電極形成装置の第1実施例を示す。
この装置では、多数のチップ型電子部品Cをその一方端面が突出するように保持する保持プレートHを用いる。この保持プレートHは、例えば特開昭58−90719号公報、特開昭60−109204号公報などで公知のように、周壁が弾性ゴムで形成された多数の保持穴を有し、これら保持穴に電子部品Cを1個ずつ保持するものでもよいし、特開平5−74665号公報のような表面に電子部品を粘着保持するタイプの保持プレートでもよい。
本外部電極形成装置は、平坦な上面を持つ平盤1を備えており、この平盤1は長手方向に保持プレートHの複数倍の面積を持つ。平盤1は、駆動装置2によってその長手方向に水平駆動される。平盤1の始端側端部には、平盤1上の残余ペーストを回収する回収用ボックス3が固定されている。
平盤1上には、電極ペーストPが貯留したボックス型のペースト槽4が一定位置に配置されている。このペースト槽4は、一側壁に平盤1との隙間を調整できるように上下にスライド可能なスキージブレード5を有し、他の側壁6の下端部が平盤1に密着するように構成されている。スキージブレード5は、ペースト展開時におけるペースト槽4の後方側側面に設けられ、ブレード調整装置7によって上下位置が調整される。スキージブレード5は、平盤1上に電極ペーストPを所定厚みに形成するレベル出し機能と、平盤1上に残った残余ペーストを掻き取る回収機能とを有する。
ペースト槽4の後方側に隣接して、保持プレートHを上下に昇降させる昇降ヘッド8が配置されており、保持プレートHは昇降ヘッド8の水平な下面に取り付けられている。昇降ヘッド8はヘッド昇降装置9によって上下に昇降される。昇降ヘッド8を降下させることにより、保持プレートHの下面に突出状態で保持された電子部品Cの一方端面が平盤1上に展開されたペースト膜に浸漬される。
上記平盤駆動装置2、ブレード調整装置7、ヘッド昇降装置9は制御装置10と信号ラインによって接続されており、各装置2,7,9は制御装置10により予め決められたプログラムに従って制御される。
次に、上記構成よりなる外部電極形成装置の動作を、図5に従って説明する。
図5の(a)は初期状態を示し、ペースト槽4は平盤1の始端側端部に位置している。この状態では、スキージブレード5は平盤1に接触しており、ペースト槽4内のペーストPは流出しない。
図5の(b)は、スキージブレード5と平盤1との間に所定の隙間を形成した状態で、平盤1を矢印A方向に保持プレート1枚分に相当する長さだけ移動させることにより、ペースト膜P1を平盤1上に展開した様子を示す。
図5の(c)は、平盤1上に展開されたペースト膜P1の上から保持プレートHを降下させ、保持プレートHの下面に突出する電子部品Cの一方端面をペースト膜P1に浸漬し、1回目の塗布を行う様子を示す。
図5の(d)は、保持プレートHを上昇させるとともに、平盤1を矢印A方向に保持プレート1枚分に相当する長さだけ移動させ、次のペースト膜P2を平盤1上に展開した状態を示す。ここでは、2回目のペースト膜P2の膜厚を1回目のペースト膜P1より大きくするため、2回目のペースト膜P2を形成する前にブレード調整装置7を作動させてスキージブレード5を上昇させる。なお、2回目のペースト膜P2の膜厚を1回目のペースト膜P1の膜厚と同じにしてもよい。
図5の(e)は、平盤1上に展開されたペースト膜P2に保持プレートHの下面に突出する電子部品Cの一方端面を浸漬し、2回目の塗布を行う様子を示す。
図5の(f)は、保持プレートHを上昇させるとともに、平盤1を矢印A方向に保持プレート1枚分に相当する長さだけ移動させ、次のペースト膜P3を平盤1上に展開した状態を示す。ここでは、3回目のペースト膜P3の膜厚を1回目のペースト膜P1とほぼ同じにしたが、2回目のペースト膜P1とほぼ同じにしてもよいし、1回目および2回目の膜厚と異なるものでもよい。
図5の(g)は、平盤1上に展開されたペースト膜P3に保持プレートHの下面に突出する電子部品Cの一方端面を浸漬し、3回目の塗布を行う様子を示す。
図5の(h)は、保持プレートHを上昇させるとともに、スキージブレード5を平盤1に接触させ、平盤1を矢印A方向と逆方向Bに移動を開始した状態を示す。平盤1上に残った残余のペーストP1〜P3はスキージブレード5によって掻き取られる。
図5の(i)は、平盤1を始端位置まで移動させることで、平盤1上の全てのペーストが掻き取られ、回収ボックス3に回収された状態を示す。
回収されたペーストは、溶剤成分が調整された後、再利用される。
図5では、平盤1が保持プレート3面分の広さを持つ場合について説明したが、2面分あるいは4面以上の広さを有していてもよい。
また、ペースト膜の展開後、電子部品への塗布の最中もスキージブレード5が平盤1から離れている例について説明したが、1回の展開毎にスキージブレード5を平盤1に接触させてもよい。この場合には、ペーストPの粘度が低くても、ペースト槽4からのペーストPの流出を防止することができる。
図6は上記外部電極形成装置の他の動作例を示す。
この実施例は、所定厚みのペースト膜を保持プレート1面分だけ平盤1上に展開した後、スキージブレード5を平盤1に当接させ、その状態で平盤1に沿ってペースト槽4を所定長さだけ展開方向と同方向に相対移動させるものである。そのため、前後のペースト膜P1,P2の間に、ペースト膜の非形成領域S1が形成される。
ペースト槽4と昇降ヘッド8とは近い位置に配置されるが、ペースト槽4(またはスキージブレード5)と昇降ヘッド8(または保持プレートH)との間に干渉防止のための空間S2を設ける必要がある。第1実施例(図4参照)のように各ペースト膜の間に非形成領域S1が存在しない場合には、電極塗布に必要なペースト膜の両側に、空間S2に相当する無駄なペースト膜が生成される。この無駄なペースト膜が塗布回数分だけ加算されるので、ペースト消費量が増大する。これに対し、図6に示すように、各ペースト膜の間に非形成領域S1を設ければ、ペースト槽4と昇降ヘッド8との間に空間S2を確保しながら、無駄なペースト膜の領域を狭くでき、ペースト消費量を削減できる。
図7は本発明にかかる外部電極形成装置の第3実施例を示す。
この実施例は、スキージブレード5の平盤1に対する進行方向前方で、かつスキージブレード5に対して平盤1の長手方向に間隔をあけて回収ブレード11を配置したものである。回収ブレード11は、駆動装置12によって平盤1との接触位置と離間位置との2位置で上下に駆動される。スキージブレード5のブレード調整装置7と、回収ブレード11の駆動装置12とは、所定位置に一体的に保持されている。
図7の(a)に示すように、平盤1を矢印A方向に移動させながら、スキージブレード5によって平盤1の上にペースト膜Pを展開し、昇降ヘッド8によって保持された保持プレートHを昇降させて電子部品Cの端面に電極ペーストPを複数回塗布する。その後、図7の(b)に示すように、スキージブレード5を平盤1から離間させるとともに、回収ブレード11を平盤1に当接させ、平盤1を展開方向Aと逆方向Bに移動させることにより、平盤1上に残った残余ペーストを掻き取り、回収ボックス3に回収することができる。なお、回収ボックス3に回収することなく、平盤1の始端側へ掻き集められたペーストを用いて再度展開・塗布を行うこともできる。
この実施例では、スキージブレード5がレベル出し専用のブレードであり、回収ブレード11が回収専用のブレードであるため、個々の機能にとって最適な材料でブレード5,11を形成することができる。
図2では、展開工程、塗布工程、回収工程が時間的に重複することなく実施される例について説明したが、これら工程を時間的に一部重複させることで、タクトタイムをさらに短縮することが可能である。例えば、塗布工程には、保持プレート降下〜電子部品浸漬〜保持プレート上昇という3つの動作が含まれるが、保持プレートが上昇を開始して電子部品がペースト膜から離れれば、即座に平盤1を移動させることで、塗布工程と展開工程を時間的に一部重複させることも可能である。また、同様に塗布工程と回収工程とを時間的に一部重複させることも可能である。
第1実施例では、ペースト槽4を一定位置に保持し、平盤1を水平に移動させる例について説明したが、平盤1を一定位置に保持し、ペースト槽4を平盤1に沿って水平移動させてもよい。同様に、第3実施例では、スキージブレード5および回収ブレード11を一定位置に保持し、平盤1を水平に移動させる例について説明したが、平盤1を一定位置に保持し、スキージブレード5および回収ブレード11を平盤1に沿って水平移動させてもよい。

Claims (12)

  1. 保持プレートに一端面が突出するように保持された多数の電子部品の上記一端面に電極ペーストを塗布する電子部品の外部電極形成方法において、
    長手方向に保持プレートの複数倍の面積を持つ平盤と、平盤との隙間を調整できるように上下にスライド可能なスキージブレードとを準備する準備ステップと、
    上記スキージブレードと平盤との間に所定の隙間を形成した状態で、平盤の長手方向にスキージブレードを略保持プレート1枚分に相当する長さずつ相対移動させることにより、所定厚みのペースト膜を平盤上に展開する展開ステップと、
    上記平盤上に展開された略保持プレート1枚分の大きさの上記ペースト膜に上記保持プレートに保持された電子部品の一端面を浸漬し、電子部品の一端面に電極ペーストを付着させる塗布ステップと、を有し、
    上記展開ステップと塗布ステップとを繰り返すことにより、電子部品の一端面に電極ペーストを複数回塗布することを特徴とする電子部品の外部電極形成方法。
  2. 上記展開ステップの後、次の展開ステップまでの間に、上記スキージブレードを平盤に当接させた状態で、スキージブレードを平盤に沿って所定長さだけ上記展開方向と同方向に相対移動させるステップを有することを特徴とする請求項1に記載の電子部品の外部電極形成方法。
  3. 上記展開ステップは、上記スキージブレードを一定位置に保持し、平盤がその長手方向に移動することで、ペースト膜を平盤上に展開することを特徴とする請求項1または2に記載の電子部品の外部電極形成方法。
  4. 上記電子部品の一端面に電極ペーストを複数回塗布した後、上記スキージブレードを平盤に当接させ、平盤に対し上記スキージブレードを上記展開方向と逆方向に相対移動させることにより、平盤上に展開されたペースト膜を除去するステップをさらに有することを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の電子部品の外部電極形成方法。
  5. 一側壁に上記スキージブレードを有し、他の側壁の下端部が平盤に密着するように構成され、内部に電極ペーストを貯留したペースト槽が設けられ、上記ペースト槽は平盤の長手方向に相対移動可能であることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の電子部品の外部電極形成方法。
  6. 上記スキージブレードに対して平盤の長手方向に間隔をあけて配置され、平盤との接触位置と離間位置との間で上下にスライド可能な回収ブレードを設け、
    上記電子部品の一端面に電極ペーストを複数回塗布した後、上記スキージブレードを平盤から離間させるとともに、上記回収ブレードを平盤に当接させ、平盤に対し上記回収ブレードを上記展開方向と逆方向に相対移動させることにより、平盤上に展開されたペースト膜を除去するステップをさらに有することを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の電子部品の外部電極形成方法。
  7. 保持プレートに一端面が突出するように保持された多数の電子部品の上記一端面に電極ペーストを塗布する電子部品の外部電極形成装置において、
    長手方向に保持プレートの複数倍の面積を持つ平盤と、
    上記平盤との隙間を調整できるように上下にスライド可能なスキージブレードと、
    上記スキージブレードと平盤との間に所定の隙間を形成した状態で、平盤の長手方向にスキージブレードを略保持プレート1枚分に相当する長さずつ相対移動させることにより、所定厚みのペースト膜を平盤上に展開する展開手段と、
    上記平盤上に展開された略保持プレート1枚分の大きさの上記ペースト膜に上記保持プレートに保持された電子部品の一端面を浸漬し、電子部品の一端面に電極ペーストを付着させる塗布手段と、
    上記略保持プレート1枚分に相当するペースト膜を展開する度に上記保持プレートに保持された電子部品の一端面を浸漬させ、電子部品の一端面に電極ペーストが複数回塗布されるまで展開動作と浸漬動作とを繰り返すよう上記展開手段と塗布手段とを制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする電子部品の外部電極形成装置。
  8. 上記制御手段は、上記所定厚みのペースト膜を平盤上に展開した後、次に展開するまでの間に、上記スキージブレードを平盤に当接させた状態で、スキージブレードを平盤に沿って所定長さだけ展開方向と同方向に相対移動させることを特徴とする請求項7に記載の電子部品の外部電極形成装置。
  9. 上記展開手段は、上記スキージブレードを一定位置に保持し、上記平盤をその長手方向に移動させることを特徴とする請求項7または8に記載の電子部品の外部電極形成装置。
  10. 上記制御手段は、電子部品の一端面に電極ペーストを複数回塗布した後、上記スキージブレードを平盤に当接させ、平盤に対しスキージブレードを展開方向と逆方向に相対移動させることにより、平盤上に展開されたペースト膜を除去するよう制御することを特徴とする請求項7ないし9のいずれか1項に記載の電子部品の外部電極形成装置。
  11. 一側壁に上記スキージブレードを有し、他の側壁の下端部が平盤に密着するように構成され、内部に電極ペーストを貯留したペースト槽が設けられ、上記ペースト槽は平盤の長手方向に相対移動可能であることを特徴とする請求項7ないし10のいずれか1項に記載の電子部品の外部電極形成装置。
  12. 上記スキージブレードに対して平盤の長手方向に間隔をあけて配置され、平盤との接触位置と離間位置との間で上下にスライド可能な回収ブレードが設けられていることを特徴とする請求項7ないし9のいずれか1項に記載の電子部品の外部電極形成装置。
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