DE4119918C2 - Halbleiterspeichereinrichtung und Verfahren zu deren Herstellung - Google Patents
Halbleiterspeichereinrichtung und Verfahren zu deren HerstellungInfo
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- DE4119918C2 DE4119918C2 DE4119918A DE4119918A DE4119918C2 DE 4119918 C2 DE4119918 C2 DE 4119918C2 DE 4119918 A DE4119918 A DE 4119918A DE 4119918 A DE4119918 A DE 4119918A DE 4119918 C2 DE4119918 C2 DE 4119918C2
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- H10B12/033—Making the capacitor or connections thereto the capacitor extending over the transistor
Description
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf Halbleiterspeicherein
richtung und ein Verfahren zu deren Herstellung.
In den letzten Jahren ist die Nachfrage nach Halbleiterspei
chereinrichtungen infolge der bemerkenswerten Verbreitung von
Informationsverarbeitungsausrüstungen wie etwa Computern
schnell angestiegen. Außerdem sind Halbleiterspeichereinrich
tungen mit hoher Speicherkapazität und der Fähigkeit zum
Hochgeschwindigkeitsbetrieb gefragt. Vor diesem Hintergrund
schreitet die technische Entwicklung bezüglich eines hohen
Integrationsgrades, hoher Ansprechgeschwindigkeit und hoher
Zuverlässigkeit von Halbleiterspeichereinrichtungen voran.
Unter den Halbleiterspeichereinrichtungen gibt es den DRAM,
der zur wahlfreien Eingabe und Ausgabe gespeicherter Informa
tionen in der Lage ist. Allgemein ist ein DRAM mit einer
Speicherzellenanordnung, die ein Speichergebiet zum Speichern
einer großen Anzahl von Informationsbits ist, und peripheren
Schaltungen zum Zugriff von außen und zur Ausgabe nach außen
versehen.
Fig. 5 ist ein Blockschaltbild, das den allgemeinen Aufbau
eines DRAM illustriert. Nach Fig. 5 weist ein DRAM 50 eine
Speicherzellenanordnung 51, einen Reihen- und Spaltenadreß
puffer 52, einen Reihendecoder 53 und einen Spaltendecoder
54, einen Lese-Auffrisch-Verstärker 55, einen Dateneingabe
puffer 56 und einen Datenausgabepuffer 57 und einen Taktgene
rator 58 auf. Die Speicherzellenanordnung 51 dient zum Spei
chern eines Datensignals der zu speichernden Information.
Der Reihen- und Spaltenadreßpuffer 52 dient der Aufnahme der
Adreßsignale A0 bis A9 von außerhalb zur Auswahl einer
Speicherzelle, die die Einheitsspeicherschaltung bildet. Der
Reihendecoder 53 und der Spaltendecoder 54 dienen zum Spezi
fizieren einer Speicherzelle durch Decodieren des Adreß
signals. Der Lese-Auffrisch-Verstärker 55 dient zum Verstär
ken und Auslesen des in der spezifizierten Speicherzelle ge
speicherten Signals. Der Dateneingabepuffer 56 und der Daten
ausgabepuffer 57 dienen zur Dateneingabe/-ausgabe. Der Takt
generator 58 erzeugt ein Taktsignal, das als Steuersignal für
jedes Teil dient.
In der Vergangenheit ist über mehr als zehn Jahre der Inte
grationsgrad des obigen DRAM in jeweils drei Jahren um je
weils den Faktor 4 erhöht worden. Es gibt kein Anzeichen für
eine Verlangsamung dieser Entwicklung, nachdem das derzeitige
Vier-Megabit-Niveau erreicht wurde, und die Entwicklung
scheint sich in der Zukunft fortzusetzen. Ein hoher Integra
tionsgrad hängt jedoch weitgehend von der Miniaturisierung
der Speicherzellen ab. Infolge der Verringerung der Kapazität
als Folge der Miniaturisierung tauchten die Probleme der so
genannten Soft-Errors usw. auf. Um diese Probleme zu lösen
und eine Kapazität zu gewährleisten, die höher als ein be
stimmter Wert ist, wurde eine Speicherzelle des Aufbaus ent
wickelt, daß sie einen Trench-Kondensator, der durch Ätzen
eines Halbleitersubstrates in Grabenform gebildet wird, oder
einen Stapelkondensator, der auf dem Halbleitersubstrat ge
stapelt wird, o. ä. enthält.
Fig. 6 ist eine Ausschnittsdarstellung in einer Draufsicht,
die die planare Anordnung von Speicherzellen eines DRAM mit
Stapelkondensatoren zeigt, wie sie z. B. aus der japanischen
Patentveröffentlichung JP-PS 60-2784 (1985) bekannt ist. Fig. 7
ist ein Schaltbild, das die Ersatzschaltung für 4 Bit der
Speicherzellen, die die Speicherzellenanordnung nach Fig. 6
bilden, angibt. Die Speicherzellenanordnung weist eine Mehr
zahl von Wortleitungen WL, die sich parallel in Reihenrich
tung erstrecken, und eine Mehrzahl von Bitleitungspaaren BL,
auf, die sich parallel in Spaltenrichtung erstrecken. Nach
den Fig. 6 und 7 sind Speicherzellen C00, C01 in der Umgebung
der Kreuzungen der Wortleitungen WL00, WL01 mit der Bitlei
tung BL00 angeordnet. Speicherzellen C02, C03 sind in der Um
gebung der Kreuzungen der Wortleitungen WL02, WL03 mit der
Bitleitung angeordnet. Der Kondensator jeder Speicher
zelle ist mit einer unteren Elektrode E00 und einer oberen
Elektrode E01 und einer (in Fig. 6 nicht gezeigten) Oxid
schicht zwischen diesen Elektroden ausgeführt. In Fig. 6 sind
Bitleitungen BL00, über ein Kontaktloch CH mit einem
Störstellendiffusionsgebiet eines Halbleitersubstrates ver
bunden. In Fig. 7 ist ein Paar von Bitleitungen BL00,
parallel zueinander in bezug auf einen Leseverstärker SA an
geordnet. Eine solche Anordnung von Bitleitungen wird als ge
falteter Bitleitungstyp bezeichnet. Der Leseverstärker SA
dient zum Nachweis und zum Verstärken eines Signals aus jeder
Speicherzelle C.
Fig. 8 ist eine ausschnittsweise Querschnittsdarstellung, die
den längs der Linie VIII-VIII in Fig. 6 zu sehenden Aufbau im
Querschnitt zeigt. Der Aufbau einer Speicherzelle eines DRAM
mit einem herkömmlichen Stapelkondensator wird unter Bezug
nahme auf Fig. 8 beschrieben.
Auf einer vorbestimmten Oberfläche eines p-Si-Halbleitersub
strates 31 ist eine Feldoxidschicht 32 als Elementisolations
gebiet gebildet. Durch die Feldoxidschicht 32 ist ein Insel
bereich als Elementbildungsbereich elektrisch isoliert. Im
Inselbereich sind n⁺-Source-/Drain-Gebiete 33 und 34 derart
gebildet, daß zwischen ihnen ein vorbestimmter Abstand be
steht. Zwischen den n⁺-Source-/Drain-Gebieten 33 und 34 ist
ein Kanalgebiet 35 gebildet. Auf dem Kanalgebiet 35 ist eine
Gateoxidschicht 36 gebildet. Auf der Gateoxidschicht 36 ist,
sich in eine Richtung, die die Richtung der Kanallänge des
Kanalgebietes 35 im rechten Winkel kreuzt, eine eine Polysi
liziumschicht aufweisende Gateelektrode (Wortleitung WL01) 37
gebildet. Ein Zwischenschichtoxidfilm 38 ist so gebildet, daß
er die Oberfläche der Gateelektrode 37 bedeckt. Eine Wortlei
tung (WL02) 39 weist eine Polysiliziumschicht auf und ist auf
der Feldoxidschicht 32 gebildet. Ein Zwischenschichtoxidfilm
40 ist so gebildet, daß er die Oberfläche der Wortleitung
(WL02) 39 bedeckt.
Eine eine Polysiliziumschicht aufweisende untere
Kondensatorelektrode (E00) 41 ist im Kontakt mit dem n⁺-
Source-/Drain-Gebiet 34 gebildet. Außerdem ist die untere
Kondensatorelektrode 41 so gebildet, daß sie sich auf der
Oxidschicht 32 erstreckt und mit dem Zwischenschichtoxidfilm
38 dazwischen auf der Gateelektrode 37 und mit dem Zwischen
schichtoxidfilm 40 dazwischen auf der Wortleitung 39 gebildet
ist. Ein Zwischenschichtoxidfilm 42 ist so gebildet, daß er
die Oberfläche der unteren Kondensatorelektrode (E00) 41 be
deckt. Eine obere Kondensatorelektrode (Plattenelektrode E01)
43, die eine Polysiliziumschicht aufweist, ist so gebildet,
daß sie mit dem dazwischengelegten Zwischenschichtoxidfilm 42
der Oberfläche der unteren Kondensatorelektrode (E00) 41 ge
genüberliegt.
Auf der gesamten Oberfläche des p-Si-Halbleitersubstrates 31
ist zur Bedeckung des auf die oben beschriebene Weise ausge
führten Kondensators eine PSG-Schicht 44 gebildet. Ein Kon
taktloch (CH) 45 ist in der PSG-Schicht 44 so gebildet, daß
die Oberfläche des n⁺-Source-/Drain-Gebietes 33 dort freige
legt ist. Eine Bitleitung (BL00) 46 ist über das Kontaktloch
(CH) 45 mit dem n⁺-Source-/Drain-Gebiet 33 verbunden. Die
Bitleitung 46 weist eine Aluminium enthaltende Metallschicht
auf und ist so gebildet, daß sie sich in eine Richtung längs
der Richtung der Kanallänge des Kanalgebietes 35 erstreckt.
Eine herkömmliche Speicherzelle 47 ist so ausgeführt, wie
oben beschrieben. Gemäß dem Aufbau dieser Speicherzelle er
strecken sich ein Teil der unteren Kondensatorelektrode 41
und der oberen Kondensatorelektrode 43 mit Krümmungen bis
oberhalb der Gateelektrode 37 und der Wortleitung 39. Im Er
gebnis dessen ist es möglich, die Kondensatorfläche zu ver
größern.
Bei der oben beschriebenen herkömmlichen Speicherzelle 47
sind die untere Kondensatorelektrode 41 und die obere Konden
satorelektrode 43 so gebildet, daß sie auf der Oberfläche des
p-Si-Halbleitersubstrates 31 gestapelt sind. Dies bewirkt,
daß die Stufe zwischen der oberen Oberfläche der PSG-Schicht
44 als die die untere Kondensatorelektrode 41 und die obere Kon
densatorelektrode 43 bedeckende Schicht und der Oberfläche
des p-Si-Halbleitersubstrates 31 größer wird. Infolgedessen
wächst auch das Aspektverhältnis (Höhen- zu Breitenverhältnis) des Kontaktlochs 45 zum Ver
binden der Bitleitung 46 mit dem n⁺-Source-/Drain-Gebiet 33
an. Das Anwachsen des Aspektverhältnisses verschlechtert die
Vollständigkeit der Bedeckung der Oberfläche des PSG-Films im
Kontaktloch 45 durch die Bitleitung 46. Damit trat das Pro
blem auf, daß es tendentiell zu Unterbrechungen der Bitlei
tung innerhalb des Kontaktlochs 45 kam und die Zuverlässig
keit der Halbleiterspeichereinrichtung verschlechtert wurde.
Außerdem gab es das Problem, daß zur Bildung des Kontaktlochs 45
mit hohem Flächen- bzw. Längenverhältnis, wie oben beschrieben, ein Pho
tolithographieprozeß mit extrem hoher Genauigkeit erforder
lich ist, und dies in den Herstellungsprozeß ein technisches
Problem einbringt.
Weiterhin ist in der oben beschriebenen herkömmlichen
Speicherzelle 47 die Gateelektrode (Wortleitung) 37 gleich
laufend mit der Erhöhung des Integrationsgrades verkleinert.
Damit gab es die Möglichkeit, daß beim Stromfluß in der Gate
elektrode 37 der Widerstand wächst und das Ansprechen auf ein
Signal verzögert ist. Damit war es erforderlich, sich einer
weiteren Geschwindigkeitserhöhung ohne Ansprechverzögerung
gegenüber dem Signal zuzuwenden.
Es war außerdem erforderlich, einen Aufbau einer Speicher
zelle zu verwirklichen, bei der die Kapazität eines Kondensa
tors hinreichend konstant gehalten werden kann, wenn eine
Speicherzelle weiter miniaturisiert wird.
Aus der EP 0 352 893 A1 ist eine Halbleiterspeichereinrichtung
mit den Merkmalen a) bis c) und f) bis h) des Patentanspruches 1
bekannt. Die Bitleitungen bei der bekannten Halbleiterspeichereinrichtung
erstrecken sich senkrecht zu der Richtung der Kanallänge.
Die in dieser Druckschrift beschriebene Anordnung weist
jedoch eine herkömmliche Ausbildung der Gate-Elektrode auf, mit
der die in der Beschreibungseinleitung beschriebenen Nachteile
des Standes der Technik (Widerstandserhöhung und Ansprechverzögerung)
mit zunehmender Erhöhung des Integrationsgrades bestehen
bleiben.
In der nachveröffentlichten DE 40 19 137 A1 (die auf eine prioritätsältere
Anmeldung zurückgeht) ist eine Halbleiterspeichereinrichtung
mit den Merkmalen a), b) und d) bis h) beschrieben.
Bei dieser beschriebenen Halbleiterspeichereinrichtung erstrecken
sich die Bitleitungen in Richtung der Kanallänge. Das hat zur
Folge, daß ein tiefes Kontaktloch für die Bitleitung notwendig
ist, wodurch die Bitleitungen auf einer hohen Stufe gebildet
werden.
Es ist daher Aufgabe der Erfindung, einen Aufbau und ein Verfahren
zur Herstellung einer Halbleiterspeichereinrichtung anzugeben,
bei der die Erhöhung des Widerstandes der Gate-Elektrode
verhindert wird und die Abnahme der Zuverlässigkeit infolge von
Unterbrechungen der Bitleitung verhindert wird.
Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Halbleiterspeichereinrichtung
mit den Merkmalen a) bis h) des Patentanspruches 1.
Bevorzugte Ausgestaltungen der Halbleiterspeichereinrichtung ergeben
sich aus den Unteransprüchen 2 bis 4.
Die Aufgabe wird ebenfalls gelöst durch ein Herstellungsverfahren
mit den Merkmalen des Patentanspruches 5.
Bevorzugte Ausgestaltungen des Verfahrens ergeben sich aus den
Unteransprüchen 6 und 7.
Beim Feldeffekttransistor der Halbleiterspeichereinrichtung der vorlie
genden Erfindung sind beide Enden der Gatelektrode so gebil
det, daß sie sich längs der Richtung der Kanallänge bis ober
halb der ersten leitenden Schicht und der zweiten leitenden
Schicht hinauf erstrecken. Auch wenn der Elementbildungsbe
reich, insbesondere das Kanalgebiet, entsprechend einer hohen
Integrationsrate der Halbleiterspeichereinrichtung ver
kleinert wird, kann damit die Querschnittsfläche längs der
Richtung der Kanallänge der Gatelektrode vergrößert
werden. Damit wird es möglich, das An
wachsen des Widerstandes bei einem Stromfluß in der Gateelek
trode zu verhindern.
Bei der Halbleiterspeichereinrichtung entsprechend einer Ausgestaltung
der vorliegenden Erfindung kann der Kondensator so gebildet
sein, daß er niedriger als eine Wortleitung und weiterhin
oberhalb einer mit dem anderen Störstellengebiet verbundenen
Bitleitung angeordnet ist. Dies vergrößert die Möglichkeiten
bei der Bildung des Kondensators. Der Kondensator ist
schließlich so gebildet, daß er sich von oberhalb der Gate
elektrode bis oberhalb der Bitleitung erstreckt. Es ist da
mit, da die Fläche des Kondensators vergrößert werden kann,
möglich, eine Halbleiterspeichereinrichtung bereitzustellen,
bei der die Kapazität eines Kondensators bei der Verkleine
rung einer Speicherzelle hinreichend erhalten werden kann.
Bei der Halbleiterspeichereinrichtung
ist es möglich, daß die eine Bitleitung
bildende erste leitende Schicht elektrisch mit dem Störstel
lengebiet verbunden wird, ohne daß sie sich durch ein Kontaktloch
hindurch erstreckt. Die Bitleitung ist damit elektrisch mit
dem Störstellengebiet verbunden, ohne daß sie über einen größeren
Stufenteil läuft. Das bedeutet, daß das mit einem hohen Inte
grationsgrad einer Halbleiterspeichereinrichtung einherge
hende Anwachsen des Aspektverhältnisses den Verbindungsaufbau
der Bitleitung nicht beeinflußt. Es ist damit möglich, eine
aus dem Anwachsen des Aspektverhältnisses herrührende Unter
brechung der Bitleitung zu verhindern und eine Halbleiter
speichereinrichtung mit hoher Zuverlässigkeit bereitzustel
len.
Das Herstellungsverfahren einer Halbleiterspeichereinrichtung
ermöglicht es, die
erste leitende Schicht und die zweite leitende Schicht ohne
Ausführung eines photolithographischen Prozesses mit hoher
Präzision mit den Störstellengebieten zu verbinden.
Beim Verfahren zur Herstellung einer Halbleiterspeicherein
richtung wird
eine Stufe bei der Ausbildung eines Kontakt
lochs zum Verbinden der Bitleitung unnötig. Ande
rerseits ist die Gateelektrode so gebildet, daß sie sich in
Richtung der Kanallänge auf die mit der einen Kondensator
elektrode verbundene erste leitende Schicht und die die Bit
leitung bildende zweite leitende Schicht erstreckt.
Insbe
sondere wird das Höhen- zu Breitenverhältnis des Kontaktlochs herunter
gedrückt, so daß es niedrig ist. Demzufolge ist es möglich,
sowohl die Bitleitung mit dem Störstellengebiet ohne Ausfüh
rung eines photolithographischen Prozesses mit hoher Genauig
keit als auch die Wortleitung mit der Gateelektrode leicht zu
verbinden. Dies erleichtert die Herstellung einer Halbleiter
speichereinrichtung.
Es folgt die Erläuterung von Ausführungsbeispielen anhand der
Figuren. Von den Figuren zeigt
Fig. 1 eine Ausschnittsdarstellung (Draufsicht),
die die planare Anordnung einer Halblei
terspeichereinrichtung nach einer Ausfüh
rungsform zeigt;
Fig. 2 eine Ausschnittsdarstellung
(Querschnitt), die einen Querschnitt
längs der Linie II-II in Fig. 1 zeigt;
Fig. 3 eine Ausschnittsdarstellung
(Querschnitt), die eine Querschnittsdar
stellung längs der Linie III-III in Fig. 1
zeigt;
Fig. 4A bis 4G Ausschnittsdarstellungen (Querschnitte),
die die Querschnitte bei jeweils aufein
anderfolgenden Stufen eines Verfahrens
zur Herstellung einer Halbleitereinrich
tung nach einer Ausführungsform zeigen;
Fig. 5 ein Blockschaltbild, das den gesamten
Aufbau eines herkömmlichen dynamischen
Speichers mit wahlfreiem Zugriff (DRAM)
zeigt;
Fig. 6 eine Ausschnittsdarstellung (Draufsicht),
die die Anordnung einer Speicherzelle in
der Ebene eines herkömmlichen DRAM zeigt;
Fig. 7 ein Ersatzschaltbild, das der planaren
Anordnung der Speicherzelle in Fig. 6
entspricht;
Fig. 8 eine Ausschnittsdarstellung
(Querschnitt), die den Aufbau längs der
Linie VIII-VIII in Fig. 6 im Querschnitt
verdeutlicht.
Unter Bezugnahme auf die Fig. 1 bis 3 wird der Aufbau eines
Speicherzellengebietes eines DRAM entspechend einer Ausfüh
rungsform beschrieben.
Wie in Fig. 1 gezeigt, sind in der Umgebung der Kreuzungen
einer Wortleitung WL1 mit Bitleitungen , BL0 Speicherzel
len C0, C1 angeordnet. Speicherzellen C2, C3 sind in der Um
gebung der Kreuzungen der Wortleitung WL2 mit den Bitleitun
gen BL0, gebildet. Eine Speicherzelle C4 ist in der Umge
bung der Kreuzung der Wortleitung WL0 mit der Bitleitung
gebildet. Eine Speicherzelle C5 ist in der Umgebung der Kreu
zung der Wortleitung WL3 mit der Bitleitung gebildet.
Jeder Kondensator einer Speicherzelle ist mit einer unteren
Elektrode E0, einer oberen Elektrode E1 und einer (in Fig. 1
nicht gezeigt) zwischen diesen Elektroden vorgesehenen Oxid
schicht ausgeführt. Die Wortleitungen WL0 bis WL3 sind über
ein Kontaktloch CH0 mit einer Gateelektrode verbunden. Die
untere Elektrode E0 ist über ein Kontaktloch CH1 mit einer
leitenden Schicht D0 verbunden.
Wie in Fig. 2 gezeigt, ist auf der Hauptoberfläche eines p-
Si-Halbleitersubstrates 1 mit einer Störstellenkonzentration
von 1×1015 cm-3 und einem Widerstand von 10 Ω×cm eine Feld
oxidschicht 2 gebildet. Ein n⁺-Source-/Drain-Gebiet 3 mit
einer Störstellenkonzentration von etwa 1×1020 cm-3 ist in
dem durch die Feldoxidschicht 2 abgetrennten Inselgebiet gebil
det. Ein n⁺-Source-/Drain-Gebiet 4 mit einer Störstellenkon
zentration von etwa 1×1020 cm-3 ist in einem durch die
Feldoxidschicht 2 getrennten Inselgebiet auf die gleiche
Weise wie das n⁺-Source-/Drain-Gebiet 3 gebildet. Zwischen
den n⁺-Source-/Drain-Gebieten 3 und 4 ist ein Kanalgebiet 5
gebildet. Eine Gateoxidschicht 6 ist auf dem Kanalgebiet 5
gebildet. Eine leitende Schicht (die Bitleitung BL0) 7, die
eine Polysiliziumschicht aufweist, ist in elektrischem Kontakt mit einem Teil des n⁺-
Source-/Drain-Gebietes 3
gebildet. Die
leitende Schicht (Bitleitung) 7 ist so gebildet, daß sie sich
auf die Oberfläche der Feldoxidschicht 2 und längs einer
Richtung, die die Richtung der Kanallänge des Kanalgebietes 5
im rechten Winkel schneidet, erstreckt. Eine leitende Schicht
(D0) 8 ist mit einem Ende im Kontakt mit dem n⁺-Source-
/Drain-Gebiet 4 und in elektrischer Verbindung mit diesem ge
bildet. Die leitende Schicht 8 weist eine Polysiliziumschicht
auf und ist so gebildet, daß sie sich auf der Oberfläche der
Feldoxidschicht 2 erstreckt. Eine leitende Schicht (die Bit
leitung ) 9 weist eine Polysiliziumschicht auf und ist so
gebildet, daß sie sich auf der Oberfläche der Feldoxidschicht
2 und längs einer Richtung, die die Richtung der Kanallänge
des Kanalgebietes 5 im rechten Winkel schneidet, erstreckt.
Eine leitende Schicht (die Bitleitung ) 10 weist eine
Polysiliziumschicht auf und ist so gebildet, daß sie sich auf
der Oberfläche der Feldoxidschicht 2 und in einer Richtung,
die die Richtung der Kanallänge des Kanalgebietes 5 in einem
rechten Winkel schneidet, erstreckt, auf dieselbe Weise, wie
die Bitleitung () 9 gebildet ist.
Wie in Fig. 2 gezeigt, ist auf dem n⁺-Source-/Drain-Gebiet 3 neben
der Bitleitung (BL0) 7 oder auf dem
n⁺-Source-/Drain-Gebiet 4 neben der leiten
den Schicht (D0) 8 jeweils ein Zwischenschichtoxidfilm 11 gebildet.
Weiterhin ist, wie in Fig. 3 gezeigt, der Zwischenschicht
oxidfilm so gebildet, daß er sich auf der Oberfläche der
Feldoxidschicht 2 in einer Richtung erstreckt, die die Rich
tung der Kanallänge des Kanalgebietes 5 im rechten Winkel
kreuzt. Wie in Fig. 2 gezeigt, steht eine Seitenwandoxid
schicht 12 im Kontakt mit der Oberfläche des n⁺-Source-
/Drain-Gebietes 3. Die Oxidschicht 12 ist auf der Seitenflä
che der Bitleitung (BL0) 7 und des Zwischenschichtoxidfilms
11 gebildet. Eine Seitenwandoxidschicht 12 ist des weiteren
in Kontakt mit der Oberfläche des n⁺-Source-/Drain-Gebietes 4
auf den Seitenflächen der leitenden Schicht (D0) 8 und des
Zwischenschichtoxidfilms 11 gebildet. Eine Seitenwandoxid
schicht 13 ist in Kontakt mit der Feldoxidschicht 2 auf den
Seitenflächen der leitenden Schicht (D0) 8, der Bitleitung
() 9 oder der Bitleitung () 10 gebildet.
Wie in Fig. 2 gezeigt, ist eine Gateelektrode 14 mit ihrer
unteren Oberfläche in Kontakt mit der Gateoxidschicht 6 in
einem durch die Feldoxidschicht 2 abgetrennten Inselgebiet so
gebildet, daß ihre Seitenfläche sich in die Richtung der
Kanallänge des Kanalgebietes 5 in Kontakt mit der Oberseite
des Zwischenschichtoxidfilms 11 und der Seitenwandoxidschicht
12 erstreckt. Weiterhin ist, wie in Fig. 3 gezeigt, die Gate
elektrode 14 mit ihrer Unterseite in Kontakt mit dem Zwi
schenschichtoxidfilm 11 auf der Feldoxidschicht 2 in einer
die Richtung der Kanallänge des Kanalgebietes 5 kreuzenden
Richtung sich erstreckend gebildet. Die Gatelektrode 14 weist
eine Polysiliziumschicht unter Hinzufügung von Phosphor auf.
Wie in Fig. 2 gezeigt, ist auf der Oberfläche der Gateelek
trode 14 ein Zwischenschichtoxidfilm 15 gebildet. Auf den
Oberflächen der Bitleitung (BL0) 7, der leitenden Schicht
(D0) 8, der Bitleitung () 9 und der Bitleitung () 10
ist eine Titansilizidschicht 16 gebildet. Ein Kontaktloch
(CH1) 17 ist so angeordnet, daß ein Teil der auf der Oberflä
che der leitenden Schicht (D0) 8 gebildeten Titansilizid
schicht 16 freigelegt wird. Ein Zwischenschichtoxidfilm 18
ist auf der gesamten Oberfläche
mit Ausnahme eines Teiles der leitenden Schicht (D0) 8 und
eines Teiles der Gateelektrode 14 gebildet. Eine Seitenwand
oxidschicht 19 ist im Kontakt mit der Titansilizidschicht 16
auf der leitenden Schicht (D0) 8 auf Seitenflächen des Zwi
schenschichtoxidfilms 11, der Gateelektrode 14 und des Zwi
schenschichtoxidfilms 15 gebildet.
Eine untere Kondensatorelektrode (E0) 20 ist so gebildet, daß
sie über das Kontaktloch (CH1) 17 elektrisch mit der Titansi
lizidschicht 16 verbunden ist. Die untere Kondensatorelek
trode 20 weist eine Polysiliziumschicht auf und ist so gebil
det, daß sie sich auf die Oberseite der Bitleitung (BL0) 7
erstreckt. Auf der Oberfläche der unteren Kondensatorelek
trode 20 ist eine dielektrische Schicht 21 gebildet. Eine
obere Kondensatorelektrode (Plattenelektrode E1) 22 ist so
gebildet, daß sie mit der dazwischengelegten dielektrischen
Schicht 21 der Oberfläche der unteren Kondensatorelektrode 20
gegenüberliegt. Auf der gesamten Oberfläche des p-Si-Halblei
tersubstrates 1 ist zur Bedeckung der oberen Kondensatorelek
trode 22 eine BPSG-Schicht 23 gebildet.
Die Speicherzellen (C1, C2) 24 und 25 sind wie oben beschrie
ben ausgeführt.
Wie in Fig. 3 gezeigt, ist ein Kontaktloch (CH0) 26 so ange
ordnet, daß ein Teil der Oberfläche der Gateelektrode 14
freigelegt wird. Eine Wortleitung (WL1) 27 ist über das Kon
taktloch (CH0) 26 elektrisch mit der Gateelektrode 14 verbun
den. Eine Wortleitung 27 ist so gebildet, daß sie sich längs
der Richtung der Kanallänge des Kanalgebietes 5 erstreckt.
Nun wird unter Bezugnahme auf die Fig. 4A bis 4G ein Verfah
ren zur Herstellung der Speicherzellen 24 und 25, die wie
oben beschrieben ausgeführt sind, beschrieben.
Zuerst wird, wie in Fig. 4A gezeigt, auf einer Hauptoberflä
che eines p-Si-Halbleitersubstrates 1 mit einer Störstellen
konzentration von etwa 1×1015 cm-3 und einem Widerstand von
10 Ω×cm selektiv eine Oxidationsbehandlung ausgeführt. Eine
Feldoxidschicht 2 wird so gebildet, daß sie einen vorbestimm
ten Elementbildungsbereich abtrennt. Auf der gesamten Ober
fläche des p-Si-Halbleitersubstrates 1 wird mittels eines
CVD-Verfahrens eine Polysiliziumschicht gebildet. Die Polysi
liziumschicht wird in dem Gebiet eines Teiles der Feldoxid
schicht 2 geätzt, und eine Polysiliziumschicht 5a wird gebil
det.
Danach wird, wie in Fig. 4B gezeigt, auf der gesamten Ober
fläche des p-Si-Halbleitersubstrates 1 durch ein CVD-Verfah
ren eine Oxidschicht gebildet. In einem Teil des durch die
Feldoxidschicht 2 abgetrennten Inselgebietes werden Bitlei
tungen 7, 9 und 10 und die leitende Schicht durch Ätzen der
Oxidschicht und der Polysiliziumschicht 5a gebildet. Zu die
sem Zeitpunkt wird auf den Bitleitungen 7, 9 und 10 und der
leitenden Schicht 8 ein Zwischenschichtoxidfilm 11 gebildet.
Dann wird auf der gesamten Oberfläche des p-Si-Halbleitersub
strates 1 durch ein CVD-Verfahren eine Oxidschicht gebildet.
Die Seitenwandoxidschicht 12 wird auf den Seitenflächen der
Bitleitung 9, der leitenden Schicht 8 und des Zwischen
schichtoxidfilm 11 im durch die Feldoxidschicht 2 abgetrenn
ten Inselgebiet durch Entfernen der Oxidschicht mittels einer
anisotropen reaktiven Ionenätztechnik gebildet.
Wie in Fig. 4C gezeigt, wird auf der freigelegten Oberfläche
des p-Si-Halbleitersubstrates 1 eine Gateoxidschicht 6 gebil
det. Dann werden eine mit Phosphor dotierte Polysilizium
schicht und eine Oxidschicht aufeinanderfolgend auf die ge
samte Oberfläche des p-Si-Halbleitersubstrates 1 durch ein
CVD-Verfahren laminiert. Auf der Polysiliziumschicht und der
Oxidschicht wird eine Ätzbearbeitung derart ausgeführt, daß
ein Teil der Polysiliziumschicht und der Oxidschicht auf dem
durch die Feldoxidschicht 2 abgetrennten Inselgebiet (siehe
Fig. 4C) und der zum Inselgebiet benachbarten Feldoxidschicht
2 (siehe Fig. 3) verbleiben. Dadurch werden die Gateelektrode
14 und der Zwischenschichtoxidfilm 15 gebildet. Zu dieser
Zeit wird der Zwischenschichtoxidfilm 11, der in einem ande
ren Gebiet als unterhalb der Gateelektrode 14 gebildet ist,
so geätzt, daß ein Teil der Oberflächen der Bitleitungen 7, 9
und 10 und der leitenden Schicht 8 freigelegt wird. Des wei
teren wird auf den Seitenflächen der auf der Feldoxidschicht
2 gebildeten Bitleitungen 7, 9 und 10 und leitenden Schicht 8
eine Seitenwandoxidschicht 13 gebildet.
Dann werden von der Oberseite der Bitleitung 7 und der lei
tenden Schicht 8 unter Nutzung der Gateelektrode 14 und des
Zwischenschichtoxidfilms 15 als Masken Arsenionen in die
Oberfläche des p-Si-Halbleitersubstrates 1 mit den Bedingun
gen einer Beschleunigungsspannung von 50 keV und einer Dosie
rung von 4×1015 cm-2 implantiert. Das Ausführen einer Wär
mebehandlung bei einer Temperatur von etwa 900°C bewirkt, daß
die in die Bitleitung 7 und leitende Schicht 8 implantier
ten Ionen im p-Si-Halbleitersubstrat 1 verteilt werden. Dies
bewirkt die Bildung von n⁺-Source-/Drain-Gebieten 3 und 4 mit
einer Störstellenkonzentration von etwa 1×1020 cm-3 in dem
der Bitleitung 7 und der leitenden Schicht 8 benachbarten Ge
biet des p-Si-Halbleitersubstrates 1. Zwischen den n⁺-Source-
/Drain-Gebieten 3 und 4 wird ein Kanalgebiet 5 gebildet.
Wie in Fig. 4D gezeigt, wird auf der gesamten Oberfläche des
p-Si-Halbleitersubstrates durch ein Sputterverfahren eine
Titanschicht gebildet. Das Ausführen einer Wärmebehandlung
bei einer Temperatur von etwa 600 bis 700°C mittels eines
Lampenausheilverfahrens bewirkt, daß das die Bitleitungen 7,
9 und 10 und die leitende Schicht 8 bildende Polysilizium und
Titan eine Silizidreaktion zeigen. Dann wird der auf der
Feldoxidschicht 2, der Seitenwandoxidschicht 13 und dem Zwi
schenschichtoxidfilm 15 gebildete Titanfilm mit einer Lösung
aus Ammoniumhydroxid/Wasserstoffperoxid (NH3×H2O/H2O2) wegge
ätzt. Das Ausführen einer Wärmebehandlung bei einer Tempera
tur oberhalb 800°C unter Verwendung des Lampenausheilverfah
rens bewirkt, daß eine Titansilizidschicht 16 gebildet wird.
Wie in Fig. 4E gezeigt, wird auf der gesamten Oberfläche des
p-Si-Halbleitersubstrates 1 durch ein CVD-Verfahren eine
Oxidschicht gebildet. Das selektive Ausführen eines anisotro
pen reaktiven Ionenätzprozesses auf der Oxidschicht bewirkt,
daß ein Teil der auf der leitenden Schicht 8 und der Gate
elektrode 14 gebildeten Oxidschicht entfernt wird. Infolge
dessen wird ein Kontaktloch 17 derart gebildet, daß ein Teil
der Oberfläche der Titansilizidschicht 16, die auf der Ober
fläche der leitenden Schicht 8 gebildet ist, freigelegt wird.
Zu diesem Zeitpunkt bildet der verbliebene, nicht entfernte
Teil der Oxidschicht den Zwischenschichtoxidfilm 18. Eine
Seitenwandoxidschicht 19 wird auf den Seitenflächen der Zwi
schenschichtoxidfilme 11 und 15 und der Gateelektrode 14 ge
bildet.
Wie in Fig. 4F gezeigt, wird auf der gesamten Oberfläche des
p-Si-Halbleitersubstrates 1 durch ein CVD-Verfahren eine
Polysiliziumschicht gebildet. Ein Teil der Polysilizium
schicht wird über das Kontaktloch 17 mit der Titansilizid
schicht 16 verbunden, und auf die Polysiliziumschicht wird
ein Ätzverfahren derart angewendet, daß sie, sich nach ober
halb der Bitlinie 7 erstreckend, verbleibt. Auf diese Weise
wird die untere Kondensatorelektrode 20 gebildet.
Wie in Fig. 4G gezeigt, wird auf der Oberfläche der unteren
Kondensatorelektrode 20 durch ein CVD-Verfahren eine Nitrid
schicht gebildet. Dann wird eine Oxidschicht auf der Nitrid
schicht durch Ausführen einer Wärmebehandlung in oxidierender
Atmosphäre gebildet. Auf diese Weise wird die dielektrische
Schicht 21 gebildet. Dann wird durch ein CVD-Verfahren auf
der gesamten Oberfläche der Gateelektrode 14, die auf der
Feldoxidschicht 2 gebildet ist, mit Ausnahme eines Gebietes
eines Teiles der Gateelektrode 14, eine Polysiliziumschicht
gebildet. Dies bewirkt die Bildung der oberen Kondensator
elektrode (Plattenelektrode) 22, die mit der dazwischenlie
genden dielektrischen Schicht 21 der unteren Kondensatorelek
trode 20 gegenüberliegt. Auf der gesamten Oberfläche des p-
Si-Halbleitersubstrates 1 wird durch ein CVD-Verfahren eine
BPSG-Schicht 23 gebildet. Wie in Fig. 3 gezeigt, werden in
einem Teil des Bereiches, in dem die obere Kondensatorelek
trode 22 nicht gebildet ist, die Zwischenschichtoxidfilme 15,
18 und die BPSG-Schicht 23 geätzt. Dies führt durch Freilegen
eines Teils der Oberfläche der Gateelektrode 14 zur Ausbil
dung eines Kontaktloches 26. Auf der gesamten Oberfläche des
p-Si-Halbleitersubstrates 1 wird durch ein Sputterverfahren
eine Aluminium enthaltende Metallschicht gebildet. Auf die
Metallschicht wird ein Ätz-Bearbeitungsschritt so angewandt,
daß ein Teil der Metallschicht über das Kontaktloch 26 elek
trisch mit der Gateelektrode 14 verbunden ist und sich längs
der Richtung der Kanallänge des Kanalgebietes 5 erstreckend
verbleibt. Auf diese Weise wird eine Wortleitung 27 nach Fig.
3 gebildet. Damit werden die Speicherzellen 24 und 25 fertig
gestellt.
Bei einer wie oben beschrieben ausgeführten Halbleiterspei
chereinrichtung sind beide sich in Richtung der Kanallänge
des Kanalgebietes 5 erstreckende Enden der Gateelektrode 14
so gebildet, daß sie sich jeweils bis oberhalb des Zwischen
schichtoxidfilms 11 auf der Bitleitung 7 oder des Zwischen
schichtoxidfilms 11 auf der leitenden Schicht 8 erstrecken.
Dementsprechend wächst die Querschnittsfläche der Gateelek
trode 14 längs der Richtung der Kanallänge des Kanalgebietes
5 an. Infolgedessen ist es möglich, das Anwachsen des Wider
standes beim Stromfluß in der Gateelektrode 14 zu verhindern.
Damit wird eine Verzögerung im Ansprechen auf ein Signal ver
hindert und die Arbeitsgeschwindigkeit erhöht. Es ist damit
möglich, eine für eine Geschwindigkeitserhöhung geeignete
Halbleiterspeichereinrichtung bereitzustellen.
Andererseits ist der Kondensator oberhalb der Bitleitung 7
und der leitenden Schicht 8 und unterhalb der Wortleitung 27
angeordnet. Dies erhöht die Freiheit des den Kondensator bil
denden Gebietes. Der Kondensator kann so gebildet werden, daß
er sich über die Gateelektrode 14 bis oberhalb der Bitleitung
7 hin erstreckt. Es ist damit möglich, eine Halbleiterspei
chereinrichtung bereitzustellen, bei der die Kondensatorflä
che erhöht ist und die Kapazität des Kondensators bei der
Miniaturisierung der Speicherzelle auf einem ausreichend
großen Wert gehalten werden kann.
Die Bitleitung 7 und die leitende Schicht 8 sind mit dem n⁺-
Source-/Drain-Gebiet 3 bzw. dem n⁺-Source-/Drain-Gebiet 4
ohne Kontaktlöcher verbunden. Dies ermöglicht es, daß die
Bitleitung 7 mit dem im Silizium-Halbleitersubstrat 1 gebil
deten Source-/Drain-Gebiet 3 ohne störende Beeinflussung
durch den Stufenteil der Schichtstruktur verbunden ist. Dies
bedeutet, daß die Verbindung zwischen der Bitleitung und dem
Störstellengebiet ohne Beeinflussung durch das Flächenverhält
nis ausgeführt werden kann. Dementsprechend wird eine Unter
brechung der Bitleitung 7 verhindert, und es ist möglich,
eine Halbleiterspeichereinrichtung mit hoher Zuverlässigkeit
bereitzustellen.
Des weiteren wird beim oben beschriebenen Verfahren zur Her
stellung einer Halbleiterspeichereinrichtung der Kondensator
gebildet, nachdem die Bitleitung 7 so gebildet ist, daß sie
ohne Hindurchführung durch ein Kontaktloch mit dem n⁺-Source-
/Drain-Gebiet 3 verbunden ist. Damit wird der Schritt des
Bildens eines Kontaktloches zum Verbinden der Bitleitung
überflüssig. Auf der anderen Seite sind beide Enden der sich
in Richtung der Kanallänge des Kanalgebietes 5 erstreckenden
Gateelektrode 14 jeweils so gebildet, daß sie sich bis ober
halb des Zwischenschichtoxidfilms 11 auf der Bitleitung 7
oder oberhalb des Zwischenschichtoxidfilms 11 auf der leiten
den Schicht 8 erstrecken. Das Kontaktloch 26 wird durch Ätzen
der Zwischenschichtoxidfilme 15 und 18 und BPSG-Schicht 23,
die auf der Gateelektrode 14 gebildet sind, gebildet. Dies
ermöglicht es, das Flächenverhältnis des Kontaktlochs 16 zum
Verbinden der Wortleitung 27 mit der Gateelektrode 14 zu ver
hindern. Dementsprechend ist es möglich, die Bitleitung 7 mit
dem n⁺-Source-/Drain-Gebiet 3 und die Wortleitung 27 mit der
Gateelektrode 14 ohne Ausführung eines photolithographischen
Prozesses mit hoher Genauigkeit zu verbinden. Damit wird die
Herstellung der Halbleiterspeichereinrichtung vereinfacht.
Bei der oben beschriebenen Ausführungsform ist die Gateelek
trode 14 aus einer Polysiliziumschicht mit Phosphordotierung
ausgeführt. Der gleiche Effekt wie bei dieser Ausführungsform
kann jedoch erhalten werden, wenn die Gateelektrode 14 aus
einer Refraktärmetallsilizidschicht oder einer Schichtstruk
tur einer Refraktärmetallsilizidschicht und einer Polysilizi
umschicht gebildet wird.
Darüber hinaus wird bei der oben beschriebenen Ausführungs
form durch Herbeiführen einer Silizidreaktion von die Bitlei
tungen 7, 9 und 10 und die leitende Schicht 8 bildendem Poly
silizium und Titan nach Bildung einer Titanschicht auf der
gesamten Oberfläche des p-Si-Halbleitersubstrates 1 durch ein
Sputterverfahren eine Titansilizidschicht 16 gebildet. Der
gleiche Effekt wie bei dieser Ausführungsform wird jedoch
auch erhalten, wenn die Titansilizidschicht 16 durch Herbei
führen eines Silizidreaktion von Polysilizium und Titan nach
Bildung einer Titanschicht nur auf den Oberflächen der Bit
leitungen 7, 9 und 10 und der leitenden Schicht 8 durch ein
selektives CVD-Verfahren gebildet wird.
Obgleich in der oben beschriebenen Ausführungsform die Titan
silizidschicht auf den Oberflächen der Bitleitungen 7, 9 und
10 und der leitenden Schicht 8 gebildet wird, kann der glei
che Effekt wie bei dieser Ausführungsform erreicht werden,
wenn eine Molybdänsilizidschicht, eine Wolframsilizidschicht
oder ein Tantalsilizidschicht gebildet wird.
Die Speicherzellen 24 und 25 sind bei der oben beschriebenen
Ausführungsform auf einem p-Si-Halbleitersubstrat 1 gebildet,
der gleiche Effekt kann jedoch erreicht werden, wenn der Lei
tungstyp umgekehrt ist und die Speicherzellen auf einem n-Si-
Halbleitersubstrat gebildet werden.
Claims (7)
1. Halbleiterspeichereinrichtung mit:
- a) einem Halbleitersubstrat (1) eines ersten Leitfähigkeitstyps mit einer Hauptoberfläche,
- b) einem Paar von Störstellengebieten (3, 4) eines zweiten Leitungstyps, die so gebildet sind, daß in Richtung einer Kanallänge zur Ausbildung eines Kanalgebietes (5) auf der Hauptoberfläche des Halbleitersubstrates (1) ein Abstand zwischen ihnen besteht,
- c) einer ersten leitenden Schicht (7), die so gebildet ist, daß sie mit einem der Störstellengebiete elektrisch verbunden ist, und einen Teil einer Bitleitung bildet, die sich in eine die Richtung der Kanallänge kreuzende Richtung erstreckt,
- d) einer zweiten leitenden Schicht (8), die so gebildet ist, daß sie mit dem anderen der Störstellengebiete elektrisch verbunden ist,
- e) einer Gateelektrode (14), die auf dem Kanalgebiet gebildet
ist, wobei die Gateelektrode
einen ersten auf dem Kanalgebiet mit einer ersten dazwischen liegenden Isolierschicht (6) gebildeten Teil,
einen zweiten, sich vom ersten Teil erstreckenden und auf der Oberfläche der ersten leitenden Schicht (7) mit dazwischengelegten zweiten Isolierschichten (11, 12) gebildeten Teil und einen dritten, sich vom ersten Teil weg erstreckenden und auf der Oberfläche der zweiten leitenden Schicht (8) mit dazwischenliegenden dritten Isolierschichten (11, 12) gebildeten Teil enthält, - f) einer Elektrode (20) eines Kondensators, die so gebildet ist, daß sie elektrisch mit der zweiten leitenden Schicht (8) verbunden ist,
- g) einer weiteren Elektrode (22) des Kondensators, die so gebildet ist, daß sie mit einer dazwischengelegten dielektrischen Schicht (21) der Oberfläche der einen Kondensatorelektrode (20) gegenüberliegt, und
- h) einer dritten leitenden Schicht (27), die so gebildet ist, daß sie elektrisch mit der Gateelektrode (14) verbunden ist und einen Teil einer Wortleitung bildet.
2. Halbleiterspeichereinrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß die erste leitende Schicht (7) und
die zweite leitende Schicht (8) einen leitenden Schichtteil enthalten,
der so gebildet ist, daß er sich auf einem Elementisolationsgebiet
(2) erstreckt.
3. Halbleiterspeichereinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis
2,
dadurch gekennzeichnet, daß die dritte leitende Schicht (27)
einen ersten, in Kontakt mit der Oberfläche der Gateelektrode
(14) gebildeten Teil, und
einen zweiten, sich vom ersten Teil erstreckenden und auf der
anderen Elektrode (22) des Kondensators mit einer dazwischenliegenden
zweiten Isolierschicht (23) gebildeten Teil enthält.
4. Halbleiterspeichereinrichtung nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet, daß die Wortleitung (27) sich in Richtung
der Kanallänge erstreckt.
5. Verfahren zur Herstellung der Halbleiterspeichereinrichtung
nach Anspruch 1 mit den Schritten:
Bilden eines Elementisolationsgebietes (2) zur Abtrennung eines Elementbildungsbereiches auf der Hauptoberfläche des Halbleitersubstrates (1),
Bilden der ersten leitenden Schicht (7) auf einem Teil des Elementbildungsbereiches und auf dem diesem Teil benachbarten Elementisolationsgebiet,
Bilden der zweiten leitenden Schicht (8) auf einem Teil eines Gebietes im Elementbildungsbereich, das von der ersten leitenden Schicht (7) getrennt liegt, und auf dem zu diesem Teil benachbarten Elementisolationsgebiet,
Bilden der zweiten Isolierschicht (12) auf einer Seitenfläche der ersten leitenden Schicht (7),
Bilden der dritten Isolierschicht (12) auf einer Seitenfläche der zweiten leitenden Schicht (8),
Bilden der Gateelektrode (14) auf dem Elementbildungsbereich zwischen der zweiten Isolierschicht (12) und der dritten Isolierschicht (12) mit der dazwischengelegten ersten Isolierschicht (6) und auf Abschnitten der ersten leitenden Schicht (7) und der zweiten leitenden Schicht (8) mit der jeweils dazwischenliegenden zweiten und dritten Isolierschicht (11) und
Bilden des Paares von Störstellengebieten (3, 4) derart, daß zwischen ihnen ein Abstand zur Bildung des Kanalgebietes vorhanden ist, im Elementbildungsbereich durch Einführen einer Verunreinigung des zweiten Leitfähigkeitstyps in den Elementbildungsbereich unter Nutzung der Gateelektrode (14) als Maske.
Bilden eines Elementisolationsgebietes (2) zur Abtrennung eines Elementbildungsbereiches auf der Hauptoberfläche des Halbleitersubstrates (1),
Bilden der ersten leitenden Schicht (7) auf einem Teil des Elementbildungsbereiches und auf dem diesem Teil benachbarten Elementisolationsgebiet,
Bilden der zweiten leitenden Schicht (8) auf einem Teil eines Gebietes im Elementbildungsbereich, das von der ersten leitenden Schicht (7) getrennt liegt, und auf dem zu diesem Teil benachbarten Elementisolationsgebiet,
Bilden der zweiten Isolierschicht (12) auf einer Seitenfläche der ersten leitenden Schicht (7),
Bilden der dritten Isolierschicht (12) auf einer Seitenfläche der zweiten leitenden Schicht (8),
Bilden der Gateelektrode (14) auf dem Elementbildungsbereich zwischen der zweiten Isolierschicht (12) und der dritten Isolierschicht (12) mit der dazwischengelegten ersten Isolierschicht (6) und auf Abschnitten der ersten leitenden Schicht (7) und der zweiten leitenden Schicht (8) mit der jeweils dazwischenliegenden zweiten und dritten Isolierschicht (11) und
Bilden des Paares von Störstellengebieten (3, 4) derart, daß zwischen ihnen ein Abstand zur Bildung des Kanalgebietes vorhanden ist, im Elementbildungsbereich durch Einführen einer Verunreinigung des zweiten Leitfähigkeitstyps in den Elementbildungsbereich unter Nutzung der Gateelektrode (14) als Maske.
6. Verfahren nach Anspruch 5,
dadurch gekennzeichnet, daß der Schritt des Bildens der Störstellengebiete
(3, 4) die Schritte des Implantierens von Verunreinigungsionen
in die erste leitende Schicht (7) und die zweite
leitende Schicht (8) und des Bildens der Störstellengebiete durch
thermisches Diffundieren der Verunreinigungsionen von der ersten
leitenden Schicht (7) und der zweiten leitenden Schicht (8) in
den Elementbildungsbereich aufweist.
7. Verfahren nach Anspruch 5 oder 6,
gekennzeichnet durch die Schritte:
Bilden der Elektrode (20) des Kondensators so, daß sie elektrisch mit der zweiten leitenden Schicht (8) verbunden ist, nach dem Bilden des Paares von Störstellengebieten (3, 4),
Bilden der weiteren Elektrode (22) des Kondensators so, daß sie der Oberfläche der einen Elektrode (20) des Kondensators mit der dazwischenliegenden dielektrischen Schicht (21) gegenüberliegt und daß sie sich auf die erste leitende Schicht (7) erstreckt,
Bilden einer vierten Isolierschicht (23) so, daß sie die weitere Elektrode (22) des Kondensators bedeckt,
Bilden eines Kontaktlochs (26) in der vierten Isolierschicht (23) so, daß ein Teil der Oberfläche der Gateelektrode (14) freigelegt wird, durch selektives Entfernen der vierten Isolierschicht (23) und
Bilden der Wortleitung (27) so, daß sie über das Kontaktloch (26) elektrisch mit der Gateelektrode (14) verbunden ist.
Bilden der Elektrode (20) des Kondensators so, daß sie elektrisch mit der zweiten leitenden Schicht (8) verbunden ist, nach dem Bilden des Paares von Störstellengebieten (3, 4),
Bilden der weiteren Elektrode (22) des Kondensators so, daß sie der Oberfläche der einen Elektrode (20) des Kondensators mit der dazwischenliegenden dielektrischen Schicht (21) gegenüberliegt und daß sie sich auf die erste leitende Schicht (7) erstreckt,
Bilden einer vierten Isolierschicht (23) so, daß sie die weitere Elektrode (22) des Kondensators bedeckt,
Bilden eines Kontaktlochs (26) in der vierten Isolierschicht (23) so, daß ein Teil der Oberfläche der Gateelektrode (14) freigelegt wird, durch selektives Entfernen der vierten Isolierschicht (23) und
Bilden der Wortleitung (27) so, daß sie über das Kontaktloch (26) elektrisch mit der Gateelektrode (14) verbunden ist.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2160802A JP2564972B2 (ja) | 1990-06-18 | 1990-06-18 | 半導体記憶装置およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4119918A1 DE4119918A1 (de) | 1991-12-19 |
DE4119918C2 true DE4119918C2 (de) | 1994-08-11 |
Family
ID=15722759
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE4119918A Expired - Fee Related DE4119918C2 (de) | 1990-06-18 | 1991-06-17 | Halbleiterspeichereinrichtung und Verfahren zu deren Herstellung |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2564972B2 (de) |
KR (1) | KR940007460B1 (de) |
DE (1) | DE4119918C2 (de) |
IT (1) | IT1248495B (de) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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DE4300357C2 (de) * | 1992-01-18 | 1995-06-01 | Mitsubishi Electric Corp | Herstellungsverfahren für eine Halbleitereinrichtung |
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DE19640273C1 (de) * | 1996-09-30 | 1998-03-12 | Siemens Ag | Verfahren zur Herstellung barrierenfreier Halbleiterspeicheranordnungen |
JP3185745B2 (ja) * | 1998-04-01 | 2001-07-11 | 日本電気株式会社 | 半導体メモリセル |
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-
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-
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- 1991-06-17 IT ITMI911649A patent/IT1248495B/it active IP Right Grant
- 1991-06-17 DE DE4119918A patent/DE4119918C2/de not_active Expired - Fee Related
- 1991-06-17 KR KR1019910009967A patent/KR940007460B1/ko not_active IP Right Cessation
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Publication number | Publication date |
---|---|
ITMI911649A1 (it) | 1992-12-17 |
JPH0449656A (ja) | 1992-02-19 |
ITMI911649A0 (it) | 1991-06-17 |
KR920005814A (ko) | 1992-04-03 |
DE4119918A1 (de) | 1991-12-19 |
KR940007460B1 (ko) | 1994-08-18 |
JP2564972B2 (ja) | 1996-12-18 |
IT1248495B (it) | 1995-01-19 |
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8328 | Change in the person/name/address of the agent |
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